JP2001284674A - 圧電トランス - Google Patents
圧電トランスInfo
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- JP2001284674A JP2001284674A JP2000095797A JP2000095797A JP2001284674A JP 2001284674 A JP2001284674 A JP 2001284674A JP 2000095797 A JP2000095797 A JP 2000095797A JP 2000095797 A JP2000095797 A JP 2000095797A JP 2001284674 A JP2001284674 A JP 2001284674A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric transformer
- internal electrode
- electrode
- sheet
- piezoelectric
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- Withdrawn
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/40—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers
Abstract
(57)【要約】
【課題】 発熱を抑制して大出力を得ることができる圧
電トランス，特に汎用性の高い降圧用の圧電トランスを
提供する。 【解決手段】 （Ａ）では、内部電極１２の周辺に不定
形状１２Ａがランダムに形成されているため、（Ｃ）の
ように該部分における変位になだらかな傾斜ができる。
従って、応力集中が緩和されるようになり、発熱が抑制
されるようになる。一方、（Ｄ）では、内部電極１２の
周辺に不定形状１２Ａが形成されていないために、
（Ｅ）のように変位が急激に変化する。すなわち、応力
が集中した状態となる。
電トランス，特に汎用性の高い降圧用の圧電トランスを
提供する。 【解決手段】 （Ａ）では、内部電極１２の周辺に不定
形状１２Ａがランダムに形成されているため、（Ｃ）の
ように該部分における変位になだらかな傾斜ができる。
従って、応力集中が緩和されるようになり、発熱が抑制
されるようになる。一方、（Ｄ）では、内部電極１２の
周辺に不定形状１２Ａが形成されていないために、
（Ｅ）のように変位が急激に変化する。すなわち、応力
が集中した状態となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンバータやアダ
プタなどに使用される圧電トランスの改良に関するもの
である。
プタなどに使用される圧電トランスの改良に関するもの
である。
【０００２】
【背景技術と発明が解決しようとする課題】圧電トラン
スは、電磁型のトランスと比較して小型，高効率のもの
を比較的容易に得ることができるという利点があり、液
晶ディスプレイのバックライト駆動用インバータなどに
昇圧用トランスとして利用されている。しかし、電源用
として汎用性の高いトランスとしては、昇圧型のものよ
りも降圧型のものが一般的である。
スは、電磁型のトランスと比較して小型，高効率のもの
を比較的容易に得ることができるという利点があり、液
晶ディスプレイのバックライト駆動用インバータなどに
昇圧用トランスとして利用されている。しかし、電源用
として汎用性の高いトランスとしては、昇圧型のものよ
りも降圧型のものが一般的である。
【０００３】一方、圧電トランスとしての好ましい特性
としては、出力が大きいこと，発熱が小さいこと，
小型であること，効率が高いこと，である。しかし
ながら、従来の圧電トランスで大出力を得ようとする
と、その発熱のために出力が低下してしまう。
としては、出力が大きいこと，発熱が小さいこと，
小型であること，効率が高いこと，である。しかし
ながら、従来の圧電トランスで大出力を得ようとする
と、その発熱のために出力が低下してしまう。
【０００４】基本的に圧電トランスでは、機械振動の振
動速度が出力の大きさを決める。大きな機械振動速度を
得るためには、入力側（１次側）を高変位振動できる構
成とすることが望ましい。このための具体的な手段とし
ては、電極を積層構造とするあるいは電極面積を大きく
するなどして、機械的変位量が多く得られるようにする
方法がある。しかし、圧電素子を高変位で駆動すると、
結晶的な損失や電気的な損失などが影響して発熱を生
じ、この発熱のために出力が低下するようになる。
動速度が出力の大きさを決める。大きな機械振動速度を
得るためには、入力側（１次側）を高変位振動できる構
成とすることが望ましい。このための具体的な手段とし
ては、電極を積層構造とするあるいは電極面積を大きく
するなどして、機械的変位量が多く得られるようにする
方法がある。しかし、圧電素子を高変位で駆動すると、
結晶的な損失や電気的な損失などが影響して発熱を生
じ、この発熱のために出力が低下するようになる。
【０００５】本発明は、以上の点に着目したもので、発
熱を抑制して大出力を得ることができる圧電トランス，
特に汎用性の高い降圧型の圧電トランスを提供すること
を、その目的とするものである。
熱を抑制して大出力を得ることができる圧電トランス，
特に汎用性の高い降圧型の圧電トランスを提供すること
を、その目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、圧電材料によるシートを積層した積層型
の圧電トランスであって、入力側の電極外縁部における
シート積層体の応力集中を緩和する応力緩和手段を設け
たことを特徴とする。主要な形態の一つは、前記応力緩
和手段を、複数の内部電極の重なりが不揃いとなる電極
形状としたことを特徴とする。本発明の前記及び他の目
的，特徴，利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から
明瞭になろう。
め、本発明は、圧電材料によるシートを積層した積層型
の圧電トランスであって、入力側の電極外縁部における
シート積層体の応力集中を緩和する応力緩和手段を設け
たことを特徴とする。主要な形態の一つは、前記応力緩
和手段を、複数の内部電極の重なりが不揃いとなる電極
形状としたことを特徴とする。本発明の前記及び他の目
的，特徴，利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から
明瞭になろう。
【０００７】
【発明の実施の形態】＜発明の概要＞……最初に、本発
明の概要を説明する。圧電トランスにおける発熱は、ほ
とんどが入力側（１次側）から発生するものであること
が知られている。そこで、１次側の具体的にいずれの部
位で発熱が生じているかを調べたところ、その詳細な発
熱個所は、変位を得るために設けた１次側の電極とそれ
に接続された非変位部分との界面，すなわち１次側電極
周辺であることが判明した。この界面では、圧電体の変
位部と非変位部との間に応力が集中し、機械的な摩擦熱
も大きくなっている。このように、圧電トランスの発熱
は結晶的な因子よりも機械的な因子が強い。従って、前
記電極周辺部分の応力を緩和することで発熱を抑制し、
効率的な圧電トランスを得ることができる。
明の概要を説明する。圧電トランスにおける発熱は、ほ
とんどが入力側（１次側）から発生するものであること
が知られている。そこで、１次側の具体的にいずれの部
位で発熱が生じているかを調べたところ、その詳細な発
熱個所は、変位を得るために設けた１次側の電極とそれ
に接続された非変位部分との界面，すなわち１次側電極
周辺であることが判明した。この界面では、圧電体の変
位部と非変位部との間に応力が集中し、機械的な摩擦熱
も大きくなっている。このように、圧電トランスの発熱
は結晶的な因子よりも機械的な因子が強い。従って、前
記電極周辺部分の応力を緩和することで発熱を抑制し、
効率的な圧電トランスを得ることができる。
【０００８】＜実施形態１＞……次に、図１〜図４を参
照しながら、本発明の実施形態１について説明する。本
実施形態の圧電トランスは、図１に積層状態を示すよう
に、入力部（励振側）１０が出力部（発電側）２０を挟
んだ積層型の構造となっている。まず、上下の入力部１
０から説明すると、略円形の内部電極１２が中央に形成
されたシート１４，１６が２枚積層されている。内部電
極１２の外縁側には、不定形状１２Ａが形成されてい
る。この不定形状１２Ａは、上下で形状が一致しないよ
うに、すなわち電極の重なりが不揃いとなるようになっ
ている。具体的には、不定形状１２Ａをランダムに形成
する，不定形状１２Ａが同一の場合は、電極中心に対す
る不定形状１２Ａの角度や、シート上における内部電極
１２の位置をずらすようにする。
照しながら、本発明の実施形態１について説明する。本
実施形態の圧電トランスは、図１に積層状態を示すよう
に、入力部（励振側）１０が出力部（発電側）２０を挟
んだ積層型の構造となっている。まず、上下の入力部１
０から説明すると、略円形の内部電極１２が中央に形成
されたシート１４，１６が２枚積層されている。内部電
極１２の外縁側には、不定形状１２Ａが形成されてい
る。この不定形状１２Ａは、上下で形状が一致しないよ
うに、すなわち電極の重なりが不揃いとなるようになっ
ている。具体的には、不定形状１２Ａをランダムに形成
する，不定形状１２Ａが同一の場合は、電極中心に対す
る不定形状１２Ａの角度や、シート上における内部電極
１２の位置をずらすようにする。
【０００９】シート１４の内部電極１２には、図の背面
方向にシート端部まで延設された引出部１４Ａが設けら
れている。また、シート１６の内部電極１２には、図の
正面方向にシート端部まで延設された引出部１６Ａが設
けられている。すなわち、内部電極１２は、引出部１４
Ａ，１６Ａによって前後方向に引き出されている。
方向にシート端部まで延設された引出部１４Ａが設けら
れている。また、シート１６の内部電極１２には、図の
正面方向にシート端部まで延設された引出部１６Ａが設
けられている。すなわち、内部電極１２は、引出部１４
Ａ，１６Ａによって前後方向に引き出されている。
【００１０】出力部２０は、例えば円形の内部電極２２
が略中央に形成されたシート２４，２６が交互に多数積
層されている例えば、シート２４，２６を、交互に６層
づつ，全体で１２層積層する。ただし、シート２４の内
部電極２２には、図の右方向にシート端部まで延設され
た引出部２４Ａが設けられている。また、シート２６の
内部電極２２には、図の左方向にシート端部まで延設さ
れた引出部２６Ａが設けられている。すなわち、内部電
極２２は、引出部２４Ａ，２６Ａによって右左方向に引
き出されている。
が略中央に形成されたシート２４，２６が交互に多数積
層されている例えば、シート２４，２６を、交互に６層
づつ，全体で１２層積層する。ただし、シート２４の内
部電極２２には、図の右方向にシート端部まで延設され
た引出部２４Ａが設けられている。また、シート２６の
内部電極２２には、図の左方向にシート端部まで延設さ
れた引出部２６Ａが設けられている。すなわち、内部電
極２２は、引出部２４Ａ，２６Ａによって右左方向に引
き出されている。
【００１１】入力部１０と出力部２０との間には分離用
絶縁シート３０が積層されており、上下端には保護用絶
縁シート３２が積層されている。シート１４，１６，２
４，２６としては、例えばＰＺＴグリーンシートが使用
される。一方、内部電極１２，２２及び引出部１４Ａ，
１６Ａ，２４Ａ，２６Ａとしては、例えばＡｇとＰｄの
合金が使用される。
絶縁シート３０が積層されており、上下端には保護用絶
縁シート３２が積層されている。シート１４，１６，２
４，２６としては、例えばＰＺＴグリーンシートが使用
される。一方、内部電極１２，２２及び引出部１４Ａ，
１６Ａ，２４Ａ，２６Ａとしては、例えばＡｇとＰｄの
合金が使用される。
【００１２】各シートは、図１に示すように積層した後
に圧着される。そして、脱バインダ及び焼成の処理後、
図２に示すように外部電極付けが行なわれる。この例で
は、入力部１０の引出部１４Ａが外部電極４０Ａに接続
され、引出部１６Ａが４０Ｂに接続される。また、出力
部２０の引出部２４Ａが４２Ａに接続され、引出部２６
Ａが４２Ｂに接続される。外部電極４０Ａ，４０Ｂ，４
２Ａ，４２Ｂとしては、例えばＡｇが使用される。次
に、形成した外部電極を利用して圧電材の分極処理が行
なわれる。例えば、外部電極４０Ａ，４０Ｂ間及び４２
Ａ，４２Ｂ間に、２kv／mmを１００℃で１０分印加する
ことで、分極を施す。このようにして、圧電トランス４
４が得られる。
に圧着される。そして、脱バインダ及び焼成の処理後、
図２に示すように外部電極付けが行なわれる。この例で
は、入力部１０の引出部１４Ａが外部電極４０Ａに接続
され、引出部１６Ａが４０Ｂに接続される。また、出力
部２０の引出部２４Ａが４２Ａに接続され、引出部２６
Ａが４２Ｂに接続される。外部電極４０Ａ，４０Ｂ，４
２Ａ，４２Ｂとしては、例えばＡｇが使用される。次
に、形成した外部電極を利用して圧電材の分極処理が行
なわれる。例えば、外部電極４０Ａ，４０Ｂ間及び４２
Ａ，４２Ｂ間に、２kv／mmを１００℃で１０分印加する
ことで、分極を施す。このようにして、圧電トランス４
４が得られる。
【００１３】次に、以上のようにして得た本実施形態の
圧電トランスの特性の良否を検討するため、比較用サン
プルを得る。この比較サンプルでは、前記図１に示した
入力部１０の内部電極１２から不定形状１２Ａを除いた
もので、他は前記実施形態と同様である。図３には、本
実施形態のサンプルと比較用のサンプルの内部電極１２
の周辺における積層体の変位の様子が示されている。同
図（Ａ）は上述した本実施形態のサンプルで、各シート
の変位は同図（Ｂ）に示すようになる。従って、積層体
としての変位は、内部電極１２の周辺に不定形状１２Ａ
がランダムに形成されているため、同図（Ｃ）に示すよ
うななだらかな傾斜となる。このため、応力集中が緩和
されるようになる。一方、同図（Ｄ）は比較例のサンプ
ルで、内部電極１２の周辺に不定形状１２Ａが形成され
ていないために、該部分における変位が同図（Ｅ）のよ
うに急激に変化する。すなわち、応力が集中した状態と
なる。
圧電トランスの特性の良否を検討するため、比較用サン
プルを得る。この比較サンプルでは、前記図１に示した
入力部１０の内部電極１２から不定形状１２Ａを除いた
もので、他は前記実施形態と同様である。図３には、本
実施形態のサンプルと比較用のサンプルの内部電極１２
の周辺における積層体の変位の様子が示されている。同
図（Ａ）は上述した本実施形態のサンプルで、各シート
の変位は同図（Ｂ）に示すようになる。従って、積層体
としての変位は、内部電極１２の周辺に不定形状１２Ａ
がランダムに形成されているため、同図（Ｃ）に示すよ
うななだらかな傾斜となる。このため、応力集中が緩和
されるようになる。一方、同図（Ｄ）は比較例のサンプ
ルで、内部電極１２の周辺に不定形状１２Ａが形成され
ていないために、該部分における変位が同図（Ｅ）のよ
うに急激に変化する。すなわち、応力が集中した状態と
なる。
【００１４】このような各サンプルについて入力電力と
温度上昇との関係を調べたところ、図４に示すような結
果が得られた。同図中、横軸は入力電力（Ｗ），縦軸は
温度上昇Δｔ（℃）である。グラフＧＡは本実施形態の
サンプルの場合であり、グラフＧＢは比較用サンプルの
場合である。これらのグラフを比較すれば明らかなよう
に、本実施形態は、比較例よりも温度上昇が大幅に抑制
されている。
温度上昇との関係を調べたところ、図４に示すような結
果が得られた。同図中、横軸は入力電力（Ｗ），縦軸は
温度上昇Δｔ（℃）である。グラフＧＡは本実施形態の
サンプルの場合であり、グラフＧＢは比較用サンプルの
場合である。これらのグラフを比較すれば明らかなよう
に、本実施形態は、比較例よりも温度上昇が大幅に抑制
されている。
【００１５】このように、本形態によれば、入力側ない
しは１次側の電極外縁側に変位傾斜が生ずるので、応力
集中が緩和されて発熱が抑制され、効率のよい大出力の
圧電トランスを得ることができる。
しは１次側の電極外縁側に変位傾斜が生ずるので、応力
集中が緩和されて発熱が抑制され、効率のよい大出力の
圧電トランスを得ることができる。
【００１６】＜実施形態２＞……次に、図５を参照しな
がら実施形態２について説明する。なお、上述した実施
形態１に対応する部分には、同一の符号を用いる。図５
には、本実施形態の積層構造が示されており、入力部１
０のシート１４上には円形の内部電極１２Ｂが形成され
ており、シート１６上には円形の内部電極１２Ｃが形成
されている。本形態では、内部電極１２Ｂの径が内部電
極１２Ｃの径よりも小さく設計されている。このため、
前記実施形態１と同様に変位傾斜が生じ、入力部１０の
積層体全体として内部電極外縁における応力集中が緩和
され、前記実施形態１と同様に発熱が低減されるように
なる。
がら実施形態２について説明する。なお、上述した実施
形態１に対応する部分には、同一の符号を用いる。図５
には、本実施形態の積層構造が示されており、入力部１
０のシート１４上には円形の内部電極１２Ｂが形成され
ており、シート１６上には円形の内部電極１２Ｃが形成
されている。本形態では、内部電極１２Ｂの径が内部電
極１２Ｃの径よりも小さく設計されている。このため、
前記実施形態１と同様に変位傾斜が生じ、入力部１０の
積層体全体として内部電極外縁における応力集中が緩和
され、前記実施形態１と同様に発熱が低減されるように
なる。
【００１７】＜実施形態３＞……次に、図６を参照しな
がら本発明の実施形態３について説明する。同図（Ａ）
の例は、円形の１次側内部電極５０に、外縁に行くに従
って面積が大きくなる小孔５２が形成されている。この
ような小孔５２を有する内部電極５２を、該小孔５２の
重なりが不揃いとなるように積層する。このようにする
ことでも、前記実施形態と同様に圧電シートの変位に傾
斜が形成されるようになり、同様の発熱低減の効果を得
ることができる。同図（Ｂ）の例は、ローゼン型の圧電
トランスの例で、圧電体６０の左側表裏には１次側外部
電極６２，６４が形成されており、圧電体６０の右側端
部には２次側電極６６が形成されている。そして、１次
側の内部電極７０の位置をずらした構造となっている。
このようにすることでも、同様に変位傾斜が生じ、発熱
が抑制される。
がら本発明の実施形態３について説明する。同図（Ａ）
の例は、円形の１次側内部電極５０に、外縁に行くに従
って面積が大きくなる小孔５２が形成されている。この
ような小孔５２を有する内部電極５２を、該小孔５２の
重なりが不揃いとなるように積層する。このようにする
ことでも、前記実施形態と同様に圧電シートの変位に傾
斜が形成されるようになり、同様の発熱低減の効果を得
ることができる。同図（Ｂ）の例は、ローゼン型の圧電
トランスの例で、圧電体６０の左側表裏には１次側外部
電極６２，６４が形成されており、圧電体６０の右側端
部には２次側電極６６が形成されている。そして、１次
側の内部電極７０の位置をずらした構造となっている。
このようにすることでも、同様に変位傾斜が生じ、発熱
が抑制される。
【００１８】＜他の実施形態＞……本発明には数多くの
実施形態があり、以上の開示に基づいて多様に改変する
ことが可能である。例えば、次のようなものも含まれ
る。 （１）圧電材料や電極材料については、公知の各種のも
のを使用してよい。また、前記実施形態を組み合わせる
ようにしてもよい。変位傾斜を得るための電極形状も、
同様の作用を奏するように各種の態様が可能である。 （２）本発明は、大出力が得られるため、特に降圧型の
トランスに好適であるが、昇圧型のトランスに適用する
ことを妨げるものではない。
実施形態があり、以上の開示に基づいて多様に改変する
ことが可能である。例えば、次のようなものも含まれ
る。 （１）圧電材料や電極材料については、公知の各種のも
のを使用してよい。また、前記実施形態を組み合わせる
ようにしてもよい。変位傾斜を得るための電極形状も、
同様の作用を奏するように各種の態様が可能である。 （２）本発明は、大出力が得られるため、特に降圧型の
トランスに好適であるが、昇圧型のトランスに適用する
ことを妨げるものではない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧電体に変位傾斜を形成して応力集中を緩和することと
したので、発熱が抑制され、出力の大きな圧電トランス
を得ることができるという効果がある。
圧電体に変位傾斜を形成して応力集中を緩和することと
したので、発熱が抑制され、出力の大きな圧電トランス
を得ることができるという効果がある。
【図１】本発明の実施形態１の積層構造を示す図であ
る。
る。
【図２】前記実施形態１の圧電トランスの外観を示す図
である。
である。
【図３】前記実施形態１と比較例の変位状態を示す図で
ある。
ある。
【図４】前記実施形態１と比較例の温度上昇を示すグラ
フである。
フである。
【図５】本発明の実施形態２を示す図である。
【図６】本発明の実施形態３を示す図である。
１０…入力部 １２，１２Ｂ，１２Ｃ…内部電極 １２Ａ…不定形状 １４，１６…シート １４Ａ，１６Ａ…引出部 ２０…出力部 ２２…内部電極 ２４，２６…シート ２４Ａ，２６Ａ…引出部 ３０…分離用絶縁シート ３２…保護用絶縁シート ４０Ａ，４０Ｂ，４２Ａ，４２Ｂ…外部電極 ４４…圧電トランス ５０…内部電極 ５２…小孔 ６０…圧電体 ６２，６４…１次側外部電極 ６６…２次側電極 ７０…内部電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 猪又 康之 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 石井 茂雄 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 Ｆターム(参考） 5H730 AA14 AS05 EE48 ZZ19
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電材料によるシートを積層した積層型
の圧電トランスであって、 入力側の電極外縁部におけるシート積層体の応力集中を
緩和する応力緩和手段を設けたことを特徴とする圧電ト
ランス。 - 【請求項２】 前記応力緩和手段は、複数の内部電極の
重なりが不揃いとなる電極形状であることを特徴とする
請求項１記載の圧電トランス。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000095797A JP2001284674A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 圧電トランス |
| US09/823,551 US6346762B2 (en) | 2000-03-30 | 2001-03-30 | Piezoelectric transformer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000095797A JP2001284674A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 圧電トランス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001284674A true JP2001284674A (ja) | 2001-10-12 |
Family
ID=18610652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000095797A Withdrawn JP2001284674A (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | 圧電トランス |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6346762B2 (ja) |
| JP (1) | JP2001284674A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001284675A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電トランス |
| US6448699B1 (en) * | 2001-08-31 | 2002-09-10 | Cts Corporation | Octagonal electrode for crystals |
| JP2003132798A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Nec Corp | プラズマディスプレイパネル |
| US6392332B1 (en) * | 2001-12-04 | 2002-05-21 | Kuan Kuan Sung | Laminated piezo ceramic transformer device |
| US20040036383A1 (en) * | 2002-08-23 | 2004-02-26 | Rubach Robert Walter | Elliptical electrode for crystals |
| US6888291B2 (en) * | 2002-10-31 | 2005-05-03 | The Boeing Company | Electrical system for electrostrictive bimorph actuator |
| JP4149444B2 (ja) * | 2005-01-12 | 2008-09-10 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタ |
| DE102006035638A1 (de) * | 2006-07-31 | 2007-12-27 | Siemens Ag | Piezoelektrisches Mehrschichtbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US9337411B2 (en) * | 2011-10-05 | 2016-05-10 | Qortek, Inc. | Slat-constructed autonomic transformers |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04214686A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-08-05 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
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