JP2001281550A - 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法 - Google Patents

共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法

Info

Publication number
JP2001281550A
JP2001281550A JP2000094262A JP2000094262A JP2001281550A JP 2001281550 A JP2001281550 A JP 2001281550A JP 2000094262 A JP2000094262 A JP 2000094262A JP 2000094262 A JP2000094262 A JP 2000094262A JP 2001281550 A JP2001281550 A JP 2001281550A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scanning
sample
gain
light
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000094262A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2001281550A5 (enExample
Inventor
Masaya Katsumata
政也 勝俣
Yasutada Miura
靖忠 三浦
Yoshinari Ota
佳成 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP2000094262A priority Critical patent/JP2001281550A/ja
Publication of JP2001281550A publication Critical patent/JP2001281550A/ja
Publication of JP2001281550A5 publication Critical patent/JP2001281550A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Image Input (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
JP2000094262A 2000-03-30 2000-03-30 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法 Pending JP2001281550A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000094262A JP2001281550A (ja) 2000-03-30 2000-03-30 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000094262A JP2001281550A (ja) 2000-03-30 2000-03-30 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001281550A true JP2001281550A (ja) 2001-10-10
JP2001281550A5 JP2001281550A5 (enExample) 2007-04-05

Family

ID=18609333

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000094262A Pending JP2001281550A (ja) 2000-03-30 2000-03-30 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001281550A (enExample)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006216834A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Jeol Ltd 電子ビーム描画装置における高さ測定方法
JP2007041120A (ja) * 2005-08-01 2007-02-15 Keyence Corp 共焦点走査型顕微鏡
JP2008129226A (ja) * 2006-11-20 2008-06-05 Olympus Corp 共焦点顕微鏡
JP2008170973A (ja) * 2006-12-13 2008-07-24 Olympus Corp 共焦点レーザ顕微鏡
WO2009107321A1 (ja) * 2008-02-28 2009-09-03 株式会社ニコン 顕微鏡装置および細胞培養装置
JP2009222399A (ja) * 2008-03-13 2009-10-01 Nikon Corp 画像ゲイン調整装置およびその方法、並びに三次元形状測定装置
JP2014206749A (ja) * 2014-06-13 2014-10-30 株式会社キーエンス 顕微鏡システム
CN111610197A (zh) * 2020-06-01 2020-09-01 上海御微半导体技术有限公司 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08292198A (ja) * 1995-02-23 1996-11-05 Olympus Optical Co Ltd 共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法
JPH0961720A (ja) * 1995-08-29 1997-03-07 Olympus Optical Co Ltd 共焦点走査型光学顕微鏡及びこの顕微鏡を使用した測定方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08292198A (ja) * 1995-02-23 1996-11-05 Olympus Optical Co Ltd 共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法
JPH0961720A (ja) * 1995-08-29 1997-03-07 Olympus Optical Co Ltd 共焦点走査型光学顕微鏡及びこの顕微鏡を使用した測定方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006216834A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Jeol Ltd 電子ビーム描画装置における高さ測定方法
JP2007041120A (ja) * 2005-08-01 2007-02-15 Keyence Corp 共焦点走査型顕微鏡
JP2008129226A (ja) * 2006-11-20 2008-06-05 Olympus Corp 共焦点顕微鏡
JP2008170973A (ja) * 2006-12-13 2008-07-24 Olympus Corp 共焦点レーザ顕微鏡
WO2009107321A1 (ja) * 2008-02-28 2009-09-03 株式会社ニコン 顕微鏡装置および細胞培養装置
JP5293733B2 (ja) * 2008-02-28 2013-09-18 株式会社ニコン 顕微鏡装置および細胞培養装置
US9562215B2 (en) 2008-02-28 2017-02-07 Nikon Corporation Microscope apparatus and cell culture apparatus
US10155926B2 (en) 2008-02-28 2018-12-18 Nikon Corporation Microscope apparatus and cell culture apparatus
JP2009222399A (ja) * 2008-03-13 2009-10-01 Nikon Corp 画像ゲイン調整装置およびその方法、並びに三次元形状測定装置
JP2014206749A (ja) * 2014-06-13 2014-10-30 株式会社キーエンス 顕微鏡システム
CN111610197A (zh) * 2020-06-01 2020-09-01 上海御微半导体技术有限公司 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法
CN111610197B (zh) * 2020-06-01 2023-09-12 上海御微半导体技术有限公司 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3704387B2 (ja) 共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法
JP2001281550A (ja) 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法
JP4908934B2 (ja) 半導体ウェーハ検査装置および半導体ウェーハ検査方法
US7349152B2 (en) Three-dimensional confocal microscope system
JP2002098901A (ja) 走査型レーザ顕微鏡
JPH0961720A (ja) 共焦点走査型光学顕微鏡及びこの顕微鏡を使用した測定方法
KR101345619B1 (ko) 낮은 대비 반도체 소자의 명시야 이미징을 위한 패턴 인식매칭
JP3783790B2 (ja) レーザー顕微鏡
JPH1038511A (ja) 照明方法および照明装置
JPH11183803A (ja) 共焦点顕微鏡装置
US11706526B2 (en) Focusing position detection method, focusing position detection device and recording medium
JP3869521B2 (ja) 走査型レーザ顕微鏡
JP2010262104A (ja) 走査型共焦点顕微鏡
JP3814847B2 (ja) 放射線画像読取装置
JP4812276B2 (ja) 光検出回路および該光検出回路を備えたレーザ顕微鏡
JP2005291720A (ja) 蛍光検出装置、濃淡情報補正方法および濃淡情報補正プログラム
JP2001091844A (ja) 共焦点走査型顕微鏡
JP2005321728A (ja) 走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法
JP2000330026A (ja) 共焦点顕微鏡
JP2924514B2 (ja) 断面形状測定装置
JP4292066B2 (ja) 走査電子顕微鏡
JP2000321503A (ja) 共焦点顕微鏡の自動調整方法および共焦点顕微鏡
US11900574B2 (en) Image processing system and image processing method
JP2008046484A (ja) 自動焦点検出装置及び自動焦点検出方法
CN111964779B (zh) 一种dmd基于pwm调制的光学调制方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070219

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100624

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100706

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100827

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100928

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110315