JP2007041120A - 共焦点走査型顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対物レンズ15を含む共焦点光学系と、共焦点光学系を介して測定対象物2からの検出光を受光し、検出信号を生成する光検出部18と、測定対象物2に対して検出光を2次元走査するとともに、対物レンズ15の光軸方向に走査する走査系と、検出信号に基づいて2次元走査面上の各ピクセルの高さ情報及び輝度情報からなるピクセルデータを生成するピクセルデータ生成部19からなり、検出信号のゲインを調整するゲイン調整手段と、ゲインを異ならせて生成された2以上のピクセルデータについて、ピクセルごとに輝度を所定の閾値と比較する比較部23と、比較部23による比較結果に基づいて、上記2以上のピクセルデータを合成し、測定対象物2の3次元形状画像又は光量画像を生成する画像データ生成部24により構成される。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1による共焦点走査型顕微鏡の一構成例を示したブロック図であり、レーザー光を測定対象物2に照射してその反射光又は散乱光を観測するレーザー顕微鏡装置1が示されている。本実施の形態によるレーザー顕微鏡装置1は、測定対象物2にレーザー光を照射し、測定対象物2によって反射又は散乱された光を受光して測定対象物2の表面形状を計測する顕微鏡であり、被写体表面の3次元形状を示す3次元形状画像や光量を示す光量画像の生成を行っている。
図15は、本発明の実施の形態2による共焦点走査型顕微鏡の構成例を示したブロック図である。本実施の形態によるレーザー顕微鏡装置1は、図1のレーザー顕微鏡装置と比較すれば、ずれ検出部31及び高さ情報補正部32を備えている点で異なる。
図16は、本発明の実施の形態3による共焦点走査型顕微鏡の構成例を示したブロック図である。本実施の形態によるレーザー顕微鏡装置1は、図1のレーザー顕微鏡装置と比較すれば、増幅率切り替え部22に代えて、2つのアンプ41及び増幅率決定部42を備えている点で異なる。各アンプ41は、それぞれ光検出部18からの検出信号を電力増幅する増幅器である。
図17は、本発明の実施の形態4による共焦点走査型顕微鏡の構成例を示したブロック図である。本実施の形態によるレーザー顕微鏡装置1は、図1のレーザー顕微鏡装置と比較すれば、光検出部18及び増幅率切り替え部22に代えて、分光器51、2つの受光素子52及び増幅率決定部53を備えている点で異なる。分光器51は、検出光を分光する光学素子である。ここでは、分光器51がスリット17の後段、すなわち、検出光の伝搬経路上におけるスリット17よりも下流側に配置される。
図18は、本発明の実施の形態5による共焦点走査型顕微鏡の構成例を示したブロック図である。本実施の形態によるレーザー顕微鏡装置1は、図1のレーザー顕微鏡装置と比較すれば、光検出部18及び増幅率切り替え部22に代えて、分光器51、2つの受光素子52及び分光率決定部61を備えている点で異なる。
2 測定対象物
2a 金属ピン
11 レーザー光源
12 ハーフミラー
13 2次元走査光学系
14 ミラー
15 対物レンズ
16 結像レンズ
17 スリット
18 光検出部
19 ピクセルデータ生成部
20 2次元走査駆動部
21 昇降駆動部
21a 可動ステージ
22 増幅率切り替え部
23 比較部
24 画像データ生成部
31 ずれ検出部
32 高さ情報補正部
41 アンプ
42 増幅率決定部
52 受光素子
53 増幅率決定部
61 分光率決定部
71 出力強度切り替え部
Claims (15)
- 対物レンズを含む共焦点光学系と、
上記共焦点光学系を介して測定対象物からの検出光を受光し、検出信号を生成する光検出手段と、
上記測定対象物に対して上記検出光を2次元走査するとともに、上記対物レンズの光軸方向に走査する走査系と、
上記検出信号に基づいて2次元走査面上の各ピクセルの高さ情報及び輝度情報からなるピクセルデータを生成するピクセルデータ生成手段とからなる共焦点走査型顕微鏡において、
上記検出信号のゲインを調整するゲイン調整手段と、
ゲインを異ならせて生成された2以上の上記ピクセルデータについて、ピクセルごとに輝度を所定の閾値と比較する比較手段と、
上記比較手段による比較結果に基づいて上記2以上のピクセルデータを合成し、上記測定対象物の3次元形状画像又は光量画像を生成する画像データ生成手段とを備えたことを特徴とする共焦点走査型顕微鏡。 - 上記ゲイン調整手段が、上記検出信号を増幅する2以上のアンプと、上記各アンプの増幅率を決定するとともに、アンプ間で増幅率を異ならせる増幅率決定手段とからなり、
上記ピクセルデータ生成手段が、上記各アンプによりそれぞれ増幅された検出信号に基づいて各ピクセルデータを生成することを特徴とする請求項1に記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記光検出手段が、検出光を受光して検出信号を出力する2以上の受光素子からなり、
上記ゲイン調整手段が、上記検出光を分光する分光器と、上記各受光素子が上記分光器により分光された上記検出光に基づいてそれぞれ検出信号を生成する際の増幅率を決定するとともに、受光素子間で増幅率を異ならせる増幅率決定手段とからなり、
上記ピクセルデータ生成手段が、上記各受光素子によりそれぞれ出力された検出信号に基づいて各ピクセルデータを生成することを特徴とする請求項1に記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記光検出手段が、検出光を受光して検出信号を出力する2以上の受光素子からなり、
上記ゲイン調整手段が、上記検出光を分光する分光器と、上記分光器が上記検出光を上記各受光素子に分光する際の分光率を決定するとともに、上記受光素子間で受光量を異ならせる分光率決定手段とからなり、
上記ピクセルデータ生成手段が、上記各受光素子によりそれぞれ出力された検出信号に基づいて各ピクセルデータを生成することを特徴とする請求項1に記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記比較手段が、所定のゲインで生成された第1のピクセルデータと、この第1のピクセルデータよりも大きなゲインで生成された第2のピクセルデータについて輝度を閾値と比較し、
上記画像データ生成手段が、上記第1のピクセルデータから輝度が上記閾値以上のピクセル領域を適正輝度領域として抽出するとともに、上記第2のピクセルデータから上記適正輝度領域以外のピクセル領域を抽出し、上記適正輝度領域における上記第1のピクセルデータと、適正輝度領域以外のピクセル領域における上記第2のピクセルデータについて、両領域の境界線からの距離に応じて重みを異ならせる加重平均により3次元形状画像又は光量画像を生成することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記比較手段が、所定のゲインで生成された第1のピクセルデータと、この第1のピクセルデータよりも大きなゲインで生成された第2のピクセルデータについて輝度を閾値と比較し、
上記画像データ生成手段が、上記第1のピクセルデータから輝度が上記閾値以上のピクセル領域を適正輝度領域として抽出するとともに、上記第2のピクセルデータから上記適正輝度領域以外のピクセル領域を抽出し、さらに、第1及び第2のピクセルデータのいずれにおいても輝度が上記閾値以上となるピクセル領域を重複領域として抽出し、この重複領域における各ピクセルデータの輝度情報に基づいて第2のピクセルデータの輝度情報を補正して光量画像を生成することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記光量画像についてガンマ補正を行い、低輝度領域の輝度レベルを高輝度化するガンマ補正手段を備えたことを特徴とする請求項6に記載の共焦点走査型顕微鏡。
- 対物レンズを含む共焦点光学系と、
上記共焦点光学系を介して測定対象物からの検出光を受光し、検出信号を生成する光検出手段と、
上記測定対象物に対して上記検出光を2次元走査するとともに、上記対物レンズの光軸方向に走査する走査系と、
上記検出信号に基づいて2次元走査面上の各ピクセルの高さ情報及び輝度情報からなるピクセルデータを生成するピクセルデータ生成手段とからなる共焦点走査型顕微鏡において、
上記測定対象物に照射される照射光を生成する光源装置と、
上記光源装置の出力強度を切り替える出力強度切り替え手段と、
上記出力強度を異ならせて生成された2以上の上記ピクセルデータについて、ピクセルごとに輝度を所定の閾値と比較する比較手段と、
上記比較手段による比較結果に基づいて上記2以上のピクセルデータを合成し、上記測定対象物の3次元形状画像又は光量画像を生成する画像データ生成手段とを備えたことを特徴とする共焦点走査型顕微鏡。 - 上記比較手段が、所定の出力強度で生成された第1のピクセルデータと、この第1のピクセルデータよりも大きな出力強度で生成された第2のピクセルデータについて輝度を閾値と比較し、
上記画像データ生成手段が、上記第1のピクセルデータから輝度が上記閾値以上のピクセル領域を適正輝度領域として抽出するとともに、上記第2のピクセルデータから上記適正輝度領域以外のピクセル領域を抽出し、上記適正輝度領域における上記第1のピクセルデータと、適正輝度領域以外のピクセル領域における上記第2のピクセルデータについて、両領域の境界線からの距離に応じて重みを異ならせる加重平均により3次元形状画像又は光量画像を生成することを特徴とする請求項8に記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記比較手段が、所定の出力強度で生成された第1のピクセルデータと、この第1のピクセルデータよりも大きな出力強度で生成された第2のピクセルデータについて輝度を閾値と比較し、
上記画像データ生成手段が、上記第1のピクセルデータから輝度が上記閾値以上のピクセル領域を適正輝度領域として抽出するとともに、上記第2のピクセルデータから上記適正輝度領域以外のピクセル領域を抽出し、さらに、第1及び第2のピクセルデータのいずれにおいても輝度が上記閾値以上となるピクセル領域を重複領域として抽出し、この重複領域における各ピクセルデータの輝度情報に基づいて第2のピクセルデータの輝度情報を補正して光量画像を生成することを特徴とする請求項8に記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記光量画像についてガンマ補正を行い、低輝度領域の輝度レベルを高輝度化するガンマ補正手段を備えたことを特徴とする請求項10に記載の共焦点走査型顕微鏡。
- 上記ゲイン調整手段が、上記検出信号を生成する際の増幅率をピクセルデータに応じて切り替える増幅率切り替え手段からなり、
上記比較手段が、所定の増幅率で生成された第1のピクセルデータと、この第1のピクセルデータよりも大きな増幅率で生成された第2のピクセルデータについて輝度を閾値と比較し、
上記画像データ生成手段が、上記第1のピクセルデータから輝度が上記閾値以上のピクセル領域を適正輝度領域として抽出するとともに、上記第2のピクセルデータから上記適正輝度領域以外のピクセル領域を抽出し、3次元形状画像又は光量画像を生成することを特徴とする請求項1に記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記第1及び第2のピクセルデータのいずれにおいても輝度が上記閾値以上となるピクセル領域を重複領域として抽出し、この重複領域における各ピクセルデータの高さ情報に基づいて両ピクセルデータに関する高さのずれを検出するずれ検出手段と、
上記ずれ検出手段により検出された高さのずれに基づいて上記第2のピクセルデータの高さ情報を補正する高さ情報補正手段とを備え、
上記画像データ生成手段が、上記高さ情報補正手段により補正された第2のピクセルデータに基づいて3次元形状画像を生成することを特徴とする請求項12に記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記比較手段が、所定の出力強度で生成された第1のピクセルデータと、この第1のピクセルデータよりも大きな出力強度で生成された第2のピクセルデータについて輝度を閾値と比較し、
上記画像データ生成手段が、上記第1のピクセルデータから輝度が上記閾値以上のピクセル領域を適正輝度領域として抽出するとともに、上記第2のピクセルデータから上記適正輝度領域以外のピクセル領域を抽出し、3次元形状画像又は光量画像を生成することを特徴とする請求項8に記載の共焦点走査型顕微鏡。 - 上記第1及び第2のピクセルデータのいずれにおいても輝度が上記閾値以上となるピクセル領域を重複領域として抽出し、この重複領域における各ピクセルデータの高さ情報に基づいて両ピクセルデータに関する高さのずれを検出するずれ検出手段と、
上記ずれ検出手段により検出された高さのずれに基づいて上記第2のピクセルデータの高さ情報を補正する高さ情報補正手段とを備え、
上記画像データ生成手段が、上記高さ情報補正手段により補正された第2のピクセルデータに基づいて3次元形状画像を生成することを特徴とする請求項14に記載の共焦点走査型顕微鏡。
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---|---|
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008170973A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-07-24 | Olympus Corp | 共焦点レーザ顕微鏡 |
JP2009175682A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-08-06 | Olympus Corp | 共焦点顕微鏡 |
JP2009258191A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Olympus Corp | 走査型レーザ顕微鏡 |
JP2012155010A (ja) * | 2011-01-24 | 2012-08-16 | Keyence Corp | 顕微鏡システム、表面状態観察方法および表面状態観察プログラム |
US20130070054A1 (en) * | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Olympus Corporation | Image processing apparatus, fluorescence microscope apparatus, and image processing program |
JP2015052805A (ja) * | 2014-12-01 | 2015-03-19 | 株式会社キーエンス | 共焦点顕微鏡システム |
WO2015087629A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | ソニー株式会社 | 画像取得装置及び画像取得方法 |
JP2016040626A (ja) * | 2015-11-20 | 2016-03-24 | 株式会社キーエンス | 共焦点顕微鏡システム |
EP3333610A1 (en) | 2016-12-09 | 2018-06-13 | Olympus Corporation | Detection device and microscope system |
JP2022174039A (ja) * | 2018-05-30 | 2022-11-22 | 株式会社ニコン | 情報処理装置、顕微鏡、情報処理方法及び情報処理プログラム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08210819A (ja) * | 1994-12-02 | 1996-08-20 | Keyence Corp | レーザ顕微鏡 |
JPH08292198A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-11-05 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法 |
JPH11183803A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡装置 |
JP2001281550A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法 |
JP2004342067A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-12-02 | 3D Media Co Ltd | 画像処理方法、画像処理装置、及びコンピュータプログラム |
JP2005195538A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Nikon Corp | 光学測定装置 |
-
2005
- 2005-08-01 JP JP2005222740A patent/JP4865271B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08210819A (ja) * | 1994-12-02 | 1996-08-20 | Keyence Corp | レーザ顕微鏡 |
JPH08292198A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-11-05 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型光学顕微鏡およびこの顕微鏡を使用した測定方法 |
JPH11183803A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡装置 |
JP2001281550A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型顕微鏡および画像情報構築方法 |
JP2004342067A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-12-02 | 3D Media Co Ltd | 画像処理方法、画像処理装置、及びコンピュータプログラム |
JP2005195538A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Nikon Corp | 光学測定装置 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008170973A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-07-24 | Olympus Corp | 共焦点レーザ顕微鏡 |
JP2009175682A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-08-06 | Olympus Corp | 共焦点顕微鏡 |
JP2009258191A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Olympus Corp | 走査型レーザ顕微鏡 |
US8994808B2 (en) | 2011-01-24 | 2015-03-31 | Keyence Corporation | Microscope system, surface state observing method, and surface state observing program |
JP2012155010A (ja) * | 2011-01-24 | 2012-08-16 | Keyence Corp | 顕微鏡システム、表面状態観察方法および表面状態観察プログラム |
US9279973B2 (en) | 2011-09-20 | 2016-03-08 | Olympus Corporation | Image processing apparatus, fluorescence microscope apparatus, and image processing program |
EP2573607A3 (en) * | 2011-09-20 | 2014-01-22 | Olympus Corporation | Image processing apparatus, fluorescence microscope apparatus, and image processing program |
US20130070054A1 (en) * | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Olympus Corporation | Image processing apparatus, fluorescence microscope apparatus, and image processing program |
WO2015087629A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | ソニー株式会社 | 画像取得装置及び画像取得方法 |
JP2015052805A (ja) * | 2014-12-01 | 2015-03-19 | 株式会社キーエンス | 共焦点顕微鏡システム |
JP2016040626A (ja) * | 2015-11-20 | 2016-03-24 | 株式会社キーエンス | 共焦点顕微鏡システム |
EP3333610A1 (en) | 2016-12-09 | 2018-06-13 | Olympus Corporation | Detection device and microscope system |
US10425592B2 (en) | 2016-12-09 | 2019-09-24 | Olympus Corporation | Detection device and microscope system |
JP2022174039A (ja) * | 2018-05-30 | 2022-11-22 | 株式会社ニコン | 情報処理装置、顕微鏡、情報処理方法及び情報処理プログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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