JP5137772B2 - 共焦点顕微鏡 - Google Patents
共焦点顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5137772B2 JP5137772B2 JP2008256998A JP2008256998A JP5137772B2 JP 5137772 B2 JP5137772 B2 JP 5137772B2 JP 2008256998 A JP2008256998 A JP 2008256998A JP 2008256998 A JP2008256998 A JP 2008256998A JP 5137772 B2 JP5137772 B2 JP 5137772B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- signal
- photodetectors
- confocal microscope
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 39
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 35
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 31
- 238000010606 normalization Methods 0.000 claims description 8
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 85
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 3
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
図10に示す共焦点顕微鏡50は、レーザ光源51と、PBS(偏光ビームスプリッタ)52と、2次元光スキャナ53と、複数の対物レンズ54と、1/4λ板55と、結像レンズ56と、ピンホール57と、光検出器58と、ピンホールターレット59と、レボルバ60と、XYステージ61と、Zステージ62と、コンピュータ63と、モニタ64とを備えて構成されている。
料65各点において共焦点画像を取得し、各点で光検出器58から出力される信号Iが最大になるZステージ62の位置を検出することにより試料65の高さ情報が得られる。また、試料65各点の光検出器58から出力される信号Iの最大値を重ねて表示することにより、全ての面にピントの合った画像(全焦点画像)を得ることができる。
また、解像度向上を目的として、複数のピンホール径を用いて、各ピンホールから得られる情報同士の差分をとり、その差分に基づいて画像を得る共焦点顕微鏡もある(例えば、特許文献3参照)。
また、複数のピンホール径を用いた方法では、ターレット方式や光路を分割する方法と同様に、各ピンホールから得られる信号同士の差分のみしか情報が得られず、さらに中間的な情報を得ることができないという問題がある。
すなわち、本発明の共焦点顕微鏡は、光源から出射される光を試料に対して集束させる対物レンズと、前記試料への集束光を、前記試料に対し相対的に走査する走査機構と、前記対物レンズの集光位置と光学的に共役な位置に配置され、それぞれ絞り径の異なる複数の共焦点絞りと、前記複数の共焦点絞りをそれぞれ通過する光の強度を検出する複数の光検出器とを備える共焦点顕微鏡であって、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号を重み付けした上で結合する重み付け結合演算処理手段を備える。
また、上記共焦点顕微鏡において、前記重み付け結合演算処理手段により演算された演
算結果を表示する表示手段と、前記重み付け結合演算処理手段に重みの入力並びに演算及び演算結果の表示の指示を行う指示入力手段とを備え、前記重み付け結合演算処理手段は、前記指示入力手段に入力された重みに基づいて、加重平均を行い、その演算結果を前記表示手段に表示させるように構成してもよい。
また、前記所定の判断基準は、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号と所定値との関係、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号同士の差、又は前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号により求められる近似曲線と基準曲線との関係に基づいて設定されてもよい。
また、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号は、前記試料の焦点位置での信号強度がそれぞれ同等になるように、光学的又は電気的に調整されていてもよい。
図1は、本発明の実施形態の共焦点顕微鏡を示す図である。なお、図10に示す共焦点顕微鏡50の構成と同じ構成には同じ符号を付している。
ここで、光検出器5、6に光電子増倍管を用いた場合の電気的な調整方法について説明する。光電子増倍管を用いた場合、電気的に調整する値は、検出感度Gとなる。この検出感度Gは、光電子増倍管に印加する印加電圧HVを制御することで調整することができ、印加電圧HVと、検出感度Gと印加電圧HVの関係を表す係数coeと、ダイノード数で決まる係数kとの関係により、下記式(1)で表すことができる。
なお、係数coeは、光電子増倍管の特性として、製造メーカが公表している値を用いても良いし、より厳密には、装置毎に実験的に特性を求めても良い。
Ib=p(b)×k(b)×HV(b)^coe(b) (3)
これにより、信号IaとIbが等しいとき、下記式(4)で表すことができる。
よって、上記式(4)に例えば、光検出器5への印加電圧HV(a)を入力することで、他方の光検出器6への印加電圧HV(b)を得ることができ、その結果、焦点の合った相対位置Z0での信号Ia、Ibを等しくすることができる。
重み付け結合演算処理部8は、重み付けを含む結合方法として下記の式(5)に示す比率rの加重平均を行い、光検出器5から出力される信号Iaと光検出器6から出力される信号Ibとを重み付けした上で結合した結果である信号Icを出力する。
なお、0≦r≦1とする。
図2Cは、対物レンズ54及び試料65の相対位置Zと、比率rを任意の値に設定した場合の重み付け結合演算処理部8から出力される信号Icとの関係を示す図である。
このように、比率rを調整することにより、無段階で中間的なI−Zカーブ(共焦点効果)を得ることができる。
3において、30は光検出器5から出力される信号Iaにより得られる全焦点画像を示し、31は光検出器6から出力される信号Ibにより得られる全焦点画像を示し、32はユーザにより比率調整バー33で設定された比率rが上記式(5)に代入されて演算された結果である信号Icにより得られる全焦点画像を示している。
Ic1=r1×Ia+(1−r1)×Ib (6)
Ic2=r2×Ia+(1−r2)×Ib (7)
なお、0≦r1≦1、0≦r2≦1とする。
次に、コンピュータ7は、読み込んだ比率を輝度高さ情報演算部42で使用される比率として設定する(S1003)。
次に、コンピュータ7は、S1004で演算された全焦点画像及び高さ情報を保持する(S1005)。
比率の数が一致しないと判断した場合(S1006がNo)、コンピュータ7は、予め保持されている比率のうちまだ使用していない比率を読み込み、S1003に戻る。
図6は、図5に示すフローチャートの動作を、レボルバ60に搭載される全ての対物レンズ54に対して行った際にモニタ64にされる全焦点画像の一例を示す図である。
る。
図7は、本発明の他の実施形態の共焦点顕微鏡を示す図である。なお、図1に示す共焦点顕微鏡1の構成と同じ構成には同じ符号を付している。また、図1に示す共焦点顕微鏡1と同様に、ピンホール4の径は、ピンホール3の径よりも大きいものとする。また、図7に示す共焦点顕微鏡40においても、焦点の合った相対位置Z0での信号Ia、Ibが等しくなるように、前記実施形態と同様の方法で電気的に調整されているものとする。なお、なお、焦点の合った相対位置Z0での出力Ia、Ibが等しくなるように調整するその他の方法としては、事前に基準試料を用いて光学的に調整してもよい。また、焦点の合った相対位置Z0での信号Ia、Ibが等しくなるように、光検出器5、6のそれぞれの感度特性に基づいて正規化処理を行ってもよい。
例えば、光検出器5から出力される信号Ia に対して、閾値(所定値)を設定し、信号Iaが所定値以下になった場合、光検出器6から出力される信号Ibをより信頼性の高い情報と判断する。
また、輝度高さ情報演算部42は、重み付け結合演算処理部8において、信号Iaと信号Ibとが加重平均された後の信号Icの最大値に対応するZステージ62の高さに基づいて高さ情報を得るとともに、信号Iaと信号Ibとが加重平均された後の信号Icの最大値に対応する輝度情報を、焦点の合った相対位置Zの輝度情報として集めて、全焦点輝度情報を得てもよい。
なお、このように構成する場合、光検出器5の感度と光検出器6の感度との差は、信号Iaの信頼性が低くなる試料65の表面部分において、信号Ibの信頼性が十分に得られるような値になっているものとする。この場合、信号Iaの信頼性が低くなる試料65の表面部分以外では、信号Ibが飽和してしまう可能性がある。そのため、重み付け結合演算処理部8は、信号Iaの信頼性を信号強度、近似曲線形状、又は上記判断基準などにより判断し、信号Iaの信頼性が高い場合は、できる限り信号Iaを用いて高さ情報を求め、信号Iaの信頼性が低い場合は、信号Ibが飽和しない場合に限り、信号Ibを用いて高さ情報を求める。また、全焦点輝度情報を求める場合は、光検出器5の感度と光検出器6の感度との差に基づいて、正規化処理を行った後、全焦点輝度情報を求めるものとする。例えば、光検出器6の感度を光検出器5の感度に対して2倍にした場合、信号Iaを基準として、信号Ibを1/2にする。
も大きいものとする。また、図8に示す共焦点顕微鏡43においても、焦点の合った相対位置Z0での信号Ia、Ibが等しくなるように、前記実施形態と同様の方法で電気的に調整されているものとする。なお、焦点の合った相対位置Z0での出力Ia、Ibが等しくなるように調整するその他の方法としては、事前に基準試料を用いて光学的に調整してもよい。また、焦点の合った相対位置Z0での信号Ia、Ibが等しくなるように、光検出器5、6のそれぞれの感度特性に基づいて正規化処理を行ってもよい。
信号強度が最も高い信号Ib(high)を信頼性の高い信号と判断し、信号Ib(high)が飽和している場合、信号Ib(low)を信頼性の高い信号と判断する。
例えば、光検出器5から出力される信号Ia に対して、閾値(所定値)を設定し、信号Iaが所定値以下になった場合、光検出器6から出力される信号Ibをより信頼性の高い情報と判断する。
また、輝度高さ情報演算部42は、重み付け結合演算処理部8において、信号Iaと信号Ibとが加重平均された後の信号Icの最大値に対応するZステージ62の高さに基づいて高さ情報を得るとともに、信号Iaと信号Ibとが加重平均された後の信号Icの最大値に対応する輝度情報を、焦点の合った相対位置Zの輝度情報として集めて、全焦点輝度情報を得てもよい。
なお、このように構成する場合、光検出器5の感度と光検出器6の感度との差は、信号Iaの信頼性が低くなる試料65の表面部分において、信号Ibの信頼性が十分に得られるような値になっているものとする。この場合、信号Iaの信頼性が低くなる試料65の表面部分以外では、信号Ibが飽和してしまう可能性がある。そのため、重み付け結合演算処理部8は、信号Iaの信頼性を信号強度、近似曲線形状、又は上記判断基準などにより判断し、信号Iaの信頼性が高い場合は、できる限り信号Iaを用いて高さ情報を求め、信号Iaの信頼性が低い場合は、信号Ibが飽和しない場合に限り、信号Ibを用いて高さ情報を求める。また、全焦点輝度情報を求める場合は、光検出器5の感度と光検出器6の感度との差に基づいて、正規化処理を行った後、全焦点輝度情報を求めるものとする
。例えば、光検出器6の感度を光検出器5の感度に対して2倍にした場合、信号Iaを基準として、信号Ibを1/2にする。
2 ビームスプリッタ
3 ピンホール
4 ピンホール
5 光検出器
6 光検出器
7 コンピュータ
8 重み付け結合演算処理部
40 共焦点顕微鏡
41 コンピュータ
42 輝度高さ情報演算部
43 共焦点顕微鏡
44 信号選択部
45 テーブル
46 全焦点画像
47 全焦点画像
48−1〜48−6 全焦点画像
49−1 表示枠
49−2 表示枠
49−3 設定ボタン
50 共焦点顕微鏡
51 レーザ光源
52 PBS
53 2次元光スキャナ
54 対物レンズ
55 1/4λ板
56 結像レンズ
57 ピンホール
58 光検出器
59 ピンホールターレット
60 レボルバ
61 XYステージ
62 Zステージ
63 コンピュータ
64 モニタ
65 試料
Claims (12)
- 光源から出射される光を試料に対して集束させる対物レンズと、
前記試料への集束光を、前記試料に対し相対的に走査する走査機構と、
前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる焦点移動手段と、
前記対物レンズの集光位置と光学的に共役な位置に配置され、それぞれ絞り径の異なる複数の共焦点絞りと、
前記複数の共焦点絞りをそれぞれ通過する光の強度を検出する複数の光検出器と、
を備える共焦点顕微鏡であって、
前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号を重み付けした上で結合する重み付け結合演算処理手段と、
前記重み付け結合演算処理手段により演算された信号に基づいて、前記試料の全焦点輝度情報と、前記試料の高さ情報を演算する輝度高さ情報演算手段と、
前記対物レンズの種類に応じて、前記複数の光検出器からの信号を少なくとも1つ選択する信号選択手段と、を備え、
前記重み付け結合演算処理手段は、前記信号選択手段により前記複数の光検出器からそれぞれ出力される複数の信号が選択された場合、それら複数の信号のうち信頼性の高い信号を判断し、
前記輝度高さ情報演算手段は、前記重み付け結合演算処理手段により判断された信頼性の高い信号に基づいて、前記試料の全焦点輝度情報と、前記試料の高さ情報を演算する
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 光源から出射される光を試料に対して集束させる対物レンズと、
前記試料への集束光を、前記試料に対し相対的に走査する走査機構と、
前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる焦点移動手段と、
前記対物レンズの集光位置と光学的に共役な位置に配置され、それぞれ絞り径の異なる複数の共焦点絞りと、
前記複数の共焦点絞りをそれぞれ通過する光の強度を検出する複数の光検出器と、
を備える共焦点顕微鏡であって、
前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号を重み付けした上で結合する重み付け結合演算処理手段と、
前記重み付け結合演算処理手段により演算された信号に基づいて、前記試料の全焦点輝度情報と、前記試料の高さ情報を演算する輝度高さ情報演算手段と、
前記対物レンズの種類に応じて、前記複数の光検出器からの信号を少なくとも1つ選択する信号選択手段と、を備え、
前記信号選択手段により所定の光検出器から出力される1つの信号のみが選択される場合、前記所定の光検出器の感度又はゲインが複数回変更され、前記感度又はゲインが変更される度に前記所定の光検出器から前記重み付け結合演算処理手段に信号が出力され、
前記重み付け結合演算処理手段は、前記所定の光検出器から出力される複数の信号のうち信頼性の高い信号を判断し、
前記輝度高さ情報演算手段は、前記重み付け結合演算処理手段により判断された信頼性の高い信号に基づいて、前記試料の全焦点輝度情報と、前記試料の高さ情報を演算する
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 請求項2に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記重み付け結合演算処理手段は、前記所定の光検出器から出力される複数の信号のうち飽和せず、かつ、信号強度が最も高い信号を前記信頼性の高い信号と判断する
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 光源から出射される光を試料に対して集束させる対物レンズと、
前記試料への集束光を、前記試料に対し相対的に走査する走査機構と、
前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる焦点移動手段と、
前記対物レンズの集光位置と光学的に共役な位置に配置され、それぞれ絞り径の異なる複数の共焦点絞りと、
前記複数の共焦点絞りをそれぞれ通過する光の強度を検出する複数の光検出器と、
を備える共焦点顕微鏡であって、
前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号を重み付けした上で結合する重み付け結合演算処理手段と、
前記重み付け結合演算処理手段により演算された信号に基づいて、前記試料の全焦点輝度情報と、前記試料の高さ情報を演算する輝度高さ情報演算手段と、
前記対物レンズの種類に応じて、前記複数の光検出器からの信号を少なくとも1つ選択する信号選択手段と、を備え、
前記重み付け結合演算処理手段は、前記信号選択手段により前記複数の光検出器からそれぞれ出力される複数の信号が選択された場合、それら複数の信号を重み付けした上で結合する
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 光源から出射される光を試料に対して集束させる対物レンズと、
前記試料への集束光を、前記試料に対し相対的に走査する走査手段と、
前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる焦点移動手段と、
前記対物レンズの集光位置と光学的に共役な位置に配置され、それぞれ絞り径の異なる複数の共焦点絞りと、
前記複数の共焦点絞りをそれぞれ通過する光の強度を検出する複数の光検出器と、
を備える共焦点顕微鏡であって、
前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号を、重み付けを含む所定の結合方法で結合する重み付け結合演算処理手段と、
前記複数の光検出器のうち所定の光検出器から出力される信号に基づいて、前記試料の全焦点輝度情報と、前記試料の高さ情報を演算する輝度高さ情報演算手段と、
を備え、
前記重み付け結合演算処理手段は、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号のうち前記輝度高さ情報演算手段へ出力される信号を所定の判断基準により決め、
前記所定の判断基準及び前記所定の結合方法は、前記高さ情報を演算する場合と、前記全焦点輝度情報を演算する場合とで異なっている、
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 光源から出射される光を試料に対して集束させる対物レンズと、
前記試料への集束光を、前記試料に対し相対的に走査する走査手段と、
前記集束光の光軸方向に沿って、前記対物レンズの集光位置と前記試料の位置を相対的に移動させる焦点移動手段と、
前記対物レンズの集光位置と光学的に共役な位置に配置され、それぞれ絞り径の異なる複数の共焦点絞りと、
前記複数の共焦点絞りをそれぞれ通過する光の強度を検出する複数の光検出器と、
を備える共焦点顕微鏡であって、
前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号を、重み付けを含む所定の結合方法で結合する重み付け結合演算処理手段と、
前記複数の光検出器のうち所定の光検出器から出力される信号に基づいて、前記試料の全焦点輝度情報と、前記試料の高さ情報を演算する輝度高さ情報演算手段と、
を備え、
前記重み付け結合演算処理手段は、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号のうち前記輝度高さ情報演算手段へ出力される信号を所定の判断基準により決め、
前記所定の判断基準は、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号と所定値との関係、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号同士の差、又は前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号により求められる近似曲線と基準曲線との関係に基づいて設定される、
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 請求項1、2、4、5、6の何れか1項に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記複数の光検出器は、前記複数の共焦点絞りをそれぞれ通過する光の強度を同時に検出する、
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 請求項1、2、4、5、6の何れか1項に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号は、前記試料の焦点位置での信号強度がそれぞれ同等になるように、光学的又は電気的に調整されている、
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 請求項1、2、4、5、6の何れか1項に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号は、前記試料の焦点位置での信号強度がそれぞれ所定の割合で異なるように、光学的又は電気的に調整されている、
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 請求項1、2、4、5、6の何れか1項に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記重み付け結合演算処理手段は、前記複数の光検出器の各感度特性に基づいて、前記複数の光検出器からそれぞれ出力される信号の正規化処理を行う、
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 請求項1、2、4、5、6の何れか1項に記載の共焦点顕微鏡であって、
少なくとも2つ以上の互いに異なる比率を設定する重み付け比率設定手段と、
前記輝度高さ情報演算手段により演算される複数の全焦点輝度情報を一画面上に表示する表示手段と、
を備え、
前記重み付け結合演算処理手段は、前記重み付け比率設定手段により設定される2以上の比率毎に、前記複数の信号を重み付けした上で結合し、
前記輝度高さ情報演算手段は、前記重み付け結合演算処理手段により演算された複数の信号に対して、それぞれ、前記全焦点輝度情報を演算する
ことを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 請求項11に記載の共焦点顕微鏡であって、
前記表示手段により表示される複数の全焦点輝度情報のうち、1つの全焦点輝度情報をユーザに選択させる演算結果選択手段と、
前記演算結果選択手段で選択された全焦点輝度情報を演算する際に使用された比率を、次回以降の前記重み付け結合演算処理手段の演算において使用される比率とする重み付け比率指示手段と、
を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008256998A JP5137772B2 (ja) | 2007-12-27 | 2008-10-02 | 共焦点顕微鏡 |
US12/343,239 US8188412B2 (en) | 2007-12-27 | 2008-12-23 | Confocal microscope which weights and combines signals output from a plurality of photodetectors and calculates omnifocal brightness information for the plurality of signals |
KR1020080135006A KR101006624B1 (ko) | 2007-12-27 | 2008-12-26 | 공초점 현미경 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007337832 | 2007-12-27 | ||
JP2007337832 | 2007-12-27 | ||
JP2008256998A JP5137772B2 (ja) | 2007-12-27 | 2008-10-02 | 共焦点顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009175682A JP2009175682A (ja) | 2009-08-06 |
JP5137772B2 true JP5137772B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=41030789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008256998A Active JP5137772B2 (ja) | 2007-12-27 | 2008-10-02 | 共焦点顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5137772B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101181395B1 (ko) * | 2012-04-24 | 2012-09-19 | 나노스코프시스템즈 (주) | 다중 검출 공초점 현미경 |
US8988520B2 (en) | 2012-07-19 | 2015-03-24 | Sony Corporation | Method and apparatus for improving depth of field (DOF) in microscopy |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007010697A1 (ja) * | 2005-07-21 | 2007-01-25 | Nikon Corporation | 共焦点顕微鏡装置 |
JP4865271B2 (ja) * | 2005-08-01 | 2012-02-01 | 株式会社キーエンス | 共焦点走査型顕微鏡 |
-
2008
- 2008-10-02 JP JP2008256998A patent/JP5137772B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009175682A (ja) | 2009-08-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101006624B1 (ko) | 공초점 현미경 | |
JP2004528605A (ja) | 光学機器用オートフォーカス装置 | |
JP2012073285A (ja) | 撮像方法および顕微鏡装置 | |
JPH08211282A (ja) | オートフォーカス式顕微鏡 | |
JP2019144570A (ja) | 顕微鏡用の検出装置 | |
JP2010101959A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP6132650B2 (ja) | 共焦点顕微鏡装置 | |
JP2012155011A (ja) | 顕微鏡システム、焦点位置検出方法および焦点位置検出プログラム | |
JP4812325B2 (ja) | 走査型共焦点顕微鏡および試料情報測定方法 | |
JP5137772B2 (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JP2007139884A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
JP6363477B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
US20050122577A1 (en) | Confocal microscope and measuring method by this confocal microscope | |
JPH09218355A (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JP4963567B2 (ja) | 微小高さ測定装置 | |
WO2008065741A1 (fr) | Microscope confocal | |
US20040124334A1 (en) | Autofocus module for microscope-based systems | |
US20220043247A1 (en) | White light interference microscope | |
JP2007286284A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡システム、及びそれを使用した観察方法 | |
JP2004102032A (ja) | 走査型共焦点顕微鏡装置 | |
JP4493453B2 (ja) | 光検出回路および該光検出回路を備えた走査型共焦点顕微鏡 | |
JP2010262104A (ja) | 走査型共焦点顕微鏡 | |
JP2000352661A (ja) | 合焦装置 | |
JP4021750B2 (ja) | 受光素子に光電子増倍管を用いた共焦点顕微鏡システム、コンピュータプログラム、及び画面表示の明るさ調整方法 | |
JP2004078175A (ja) | 共焦点顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120814 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121010 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121113 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5137772 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151122 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |