JP2001274186A - 湾曲状ワイヤの形成方法 - Google Patents

湾曲状ワイヤの形成方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】ワイヤに掛けられたバックテンションの影響を
受けなく、安定した高品質の形状が得られる。 【解決手段】図３（ａ）に示すようにワイヤボンディン
グ装置によりピン状ワイヤ１０を形成し、図３（ｃ）に
示すようにピン状ワイヤ１０にキャピラリ４を挿通した
状態で、図３（ｄ）乃至（ｊ）に示すように、キャピラ
リ４を、形成される湾曲状ワイヤ１１の形状に沿って移
動させて湾曲状ワイヤ１１を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は湾曲状ワイヤの形成
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、湾曲部を有する湾曲状ワイヤをワ
イヤボンディング装置で形成する方法として、例えば特
表平１１−５１４４９３号公報に示すものが挙げられ
る。この方法は、キャピラリに挿通されて該キャピラリ
の下面より延在したワイヤの先端にボールを形成し、キ
ャピラリを下降させてボールを電極パッドにボンディン
グする。その後は、キャピラリの軌跡が湾曲状になるよ
うに移動させて湾曲状ワイヤの形状を形成する。次にワ
イヤの切断位置より上方にキャピラリを上昇させ、電子
的火炎射出、ナイフ等の機械的手段でワイヤを切断して
湾曲状ワイヤを形成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ワイヤボンディング装
置は、キャピラリに挿通されたワイヤにバックテンショ
ンが掛けられ、ワイヤに一定のテンションを与えてい
る。またワイヤを保持するためにキャピラリの上方にワ
イヤクランパが設けられている。
【０００４】上記従来技術は、キャピラリを移動させて
湾曲状ワイヤの形状を形成した後にワイヤを切断するの
で、次のような問題があった。キャピラリを移動させて
湾曲状ワイヤの形状を形成する時は、キャピラリよりワ
イヤを繰り出す必要があるので、ワイヤクランパは開い
た状態にある。このため、ワイヤに掛けられたバックテ
ンションにより、切断前の湾曲状ワイヤの形状が上方に
引っ張られて変形し、安定した形状が得られない。また
単に形成される湾曲状ワイヤの形状に沿ってキャピラリ
を移動させて湾曲状ワイヤの形状を形成するので、ワイ
ヤの弾性力により湾曲状ワイヤの湾曲部及び傾斜部の形
状が変形し、この点からも安定した形状が得られない。
【０００５】本発明の第１の課題は、ワイヤに掛けられ
たバックテンションの影響を受けなく、安定した高品質
の形状が得られる湾曲状ワイヤの形成方法を提供するこ
とにある。
【０００６】本発明の第２の課題は、ワイヤの有する余
分な弾性力を吸収して一定量の弾性力とし、更に安定し
た高品質の形状が得られる湾曲状ワイヤの形成方法を提
供することにある。
【０００７】本発明の第３の課題は、電子回路素子等に
ボンディングされたボールより上方のワイヤ長さを任意
に設定でき、またコスト高になることもないと共に、ピ
ン状ワイヤの長さが一定となり、安定した一定量の長さ
の湾曲状ワイヤの形成方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記第１の課題を解決す
るための本発明の第１の手段は、ワイヤボンディング装
置によりピン状ワイヤを形成し、このピン状ワイヤにキ
ャピラリを挿通した状態で、キャピラリの軌跡が湾曲状
になるように移動させて湾曲状ワイヤを形成することを
特徴とする。
【０００９】上記第１の課題を解決するための本発明の
第２の手段は、ワイヤボンディング装置によりピン状ワ
イヤを形成し、この状態において、前記ピン状ワイヤに
キャピラリが挿通され、かつピン状ワイヤより切断され
たワイヤもキャピラリ内にあり、キャピラリの軌跡が湾
曲状になるように移動させて湾曲状ワイヤを形成するこ
とを特徴とする。
【００１０】上記第１の課題を解決するための本発明の
第３の手段は、ワイヤボンディング装置によりピン状ワ
イヤを形成し、このピン状ワイヤに空のキャピラリが挿
通し、キャピラリの軌跡が湾曲状になるように移動させ
て湾曲状ワイヤを形成することを特徴とする。
【００１１】上記第１及び第２の課題を解決するための
本発明の第４の手段は、上記第１、第２又は第３の手段
において、前記キャピラリを移動させて湾曲状ワイヤの
湾曲部に癖を付けて傾斜部を形成した後に、キャピラリ
を僅かに下降させて該キャピラリで前記傾斜部を押し下
げる工程を有することを特徴とする。
【００１２】上記第１及び第３の課題を解決するための
本発明の第５の手段は、上記第１、第２又は第３の手段
において、前記ピン状ワイヤの形成は、キャピラリに挿
通されたワイヤの先端にボールを形成した後、キャピラ
リの下端よりワイヤを延在させ、ワイヤボンディング装
置に設けた傷付け手段によって前記ボールと前記キャピ
ラリ間のワイヤ部分に傷を付け、前記ボールを前記キャ
ピラリを用いて電子回路素子等の電極パッドにボンディ
ングし、次にキャピラリを上昇させた後に、ワイヤを上
方に引っ張って前記傷部分よりワイヤを切断して形成す
ることを特徴とする。
【００１３】上記第１及び第３の課題を解決するための
本発明の第６の手段は、上記第１、第２又は第３の手段
において、前記ピン状ワイヤの形成は、キャピラリと共
に上下動する第１ワイヤクランパと上下動しない第２ワ
イヤクランパを有するワイヤボンディング装置を用い、
第２ワイヤクランパ及び第１ワイヤクランパを通してキ
ャピラリにワイヤが挿通され、前記第２ワイヤクランパ
を開き、前記第１ワイヤクランパを閉じた状態で、キャ
ピラリに挿通されたワイヤの先端にボールを形成した
後、前記第１ワイヤクランパを開き、前記ワイヤに掛け
られているバックテンションの作用によってボールがキ
ャピラリの下端に当接し、次にキャピラリ及び第１ワイ
ヤクランパを下降させ、続いて第２ワイヤクランパを閉
じてからキャピラリ及び第１ワイヤクランパを上昇させ
てキャピラリの下端よりワイヤを延在させ、次に第１ワ
イヤクランパを閉じ、第２ワイヤクランパを開いた状態
でワイヤボンディング装置に設けた傷付け手段によって
前記ボールと前記キャピラリ間のワイヤ部分に傷を付
け、続いて第１ワイヤクランパを開いてキャピラリ及び
第１ワイヤクランパを下降させて、前記ボールを前記キ
ャピラリを用いて電子回路素子等の電極パッドにボンデ
ィングし、次にキャピラリ及び第１ワイヤクランパを上
昇させ、この上昇途中で第１ワイヤクランパを閉じてワ
イヤを上方に引っ張って前記傷部分よりワイヤを切断し
て形成することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１及び
図２により説明する。図１（ａ）に示すように、ワイヤ
１は、第２ワイヤクランパ２及び第１ワイヤクランパ３
を通してキャピラリ４に挿通され、キャピラリ４の下端
より延在している。この状態においては、第２ワイヤク
ランパ２が開き、第１ワイヤクランパ３が閉じた状態に
ある。ここで、第２ワイヤクランパ２は上下動しなく、
第１ワイヤクランパ３はキャピラリ４と共に上下動する
ようになっている。この状態で図１（ｂ）に示すよう
に、ワイヤ１の先端に電気トーチ５による放電によって
ボール１ａを作る。その後、電気トーチ５は矢印方向へ
移動する。
【００１５】次に図１（ｃ）に示すように、第１ワイヤ
クランパ３が開く。これにより、ワイヤ１に掛けられて
いるバックテンションの作用によってボール１ａがキャ
ピラリ４の下端に当接する。続いて図１（ｄ）に示すよ
うに、キャピラリ４及び第１ワイヤクランパ３が長さＬ
１だけ下降する。次に図１（ｅ）に示すように、第２ワ
イヤクランパ２が閉じ、キャピラリ４及び第１ワイヤク
ランパ３が元の位置に上昇、即ち長さＬ１だけ上昇す
る。これにより、キャピラリ４の下端からワイヤ１が長
さＬ１だけ延在する。
【００１６】次に図１（ｆ）に示すように、第１ワイヤ
クランパ３が閉じた後に第２ワイヤクランパ２が開き、
キャピラリ４の下端より長さＬ２だけ下方に配設されて
いる図示しないワイヤボンディング装置に設けたカッタ
ー６が往復動作してワイヤ１を切断する箇所に傷１ｂを
付ける。この時、カッター６がワイヤ１に対向するよう
に当接してほぼ等しく喰い込むので、傷１ｂは対向した
位置にほぼ等しい大きさで付けられる。
【００１７】カッター６が退避した後、図１（ｇ）に示
すように、第１ワイヤクランパ３が開き、キャピラリ４
及び第１ワイヤクランパ３が下降し、ボール１ａをＩ
Ｃ、ＬＳＩ等の電子回路素子７の電極パッド８に圧接さ
せる。次にキャピラリ４に超音波振動を印加し、ボール
１ａを電極パッド８にボンディングし、ボール１ａは圧
着ボール１ｃとなる。
【００１８】次に図１（ｈ）に示すように、キャピラリ
４と第１ワイヤクランパ３が共に上昇し、この上昇途中
で第１ワイヤクランパ３が閉じる。これにより、傷１ｂ
部分よりワイヤ１が切断され、ピン状ワイヤ１０が形成
される。この場合、第１ワイヤクランパ３が閉じるタイ
ミングは、キャピラリ４がピン状ワイヤ１０内で、キャ
ピラリ４は次の図２に示す工程で形成する湾曲状ワイヤ
１１（図２（ｇ）参照）の形成工程のスタート位置まで
上昇する。前記傷１ｂ部分はワイヤ１の対抗する位置に
等しい大きさで付けられているので、切断面はばらつか
ずに一様となり、またピン状ワイヤ１０の長さは安定
し、一定量の長さＬ４が得られる。
【００１９】次に湾曲状ワイヤ１１の形成方法を図２に
より説明する。なお、図２（ａ）乃至（ｆ）は第２ワイ
ヤクランパ２を省略して図示した。図１（ｈ）の状態よ
り図２（ａ）に示すように、キャピラリ４及び第１ワイ
ヤクランパ３は水平に移動する。これにより、キャピラ
リ４の下端に当接する第１湾曲部１２に癖が付き、圧着
ボール１ｃから第１湾曲部１２までに第１傾斜部１３が
形成される。続いて図２（ｂ）に示すように、キャピラ
リ４及び第１ワイヤクランパ３は約１００μｍ程度下降
する。これにより、第１傾斜部１３がキャピラリ４の下
面により押し下げられる。次に図２（ｃ）に示すよう
に、キャピラリ４及び第１ワイヤクランパ３は上昇す
る。
【００２０】ここで、図２（ｂ）の工程を行わないで、
図２（ａ）の工程より図２（ｃ）の工程を行うと、第１
傾斜部１３の弾性により第１傾斜部１３の傾斜角度（形
状）が変化する。本実施の形態のように、図２（ａ）の
工程と図２（ｃ）の工程間に図２（ｂ）の工程を行うこ
とにより、第１傾斜部１３の弾性変形分を吸収するの
で、図２（ｃ）のようにキャピラリ４が上昇した時に第
１傾斜部１３の傾斜角度（形状）が安定する。
【００２１】次に図２（ｄ）に示すように、キャピラリ
４及び第１ワイヤクランパ３は図１（ｈ）から図２
（ａ）への移動方向と逆方向に水平に圧着ボール１ｃの
中心線１４上より僅かに（約１００μｍ程度）多く移動
する。これにより、キャピラリ４の下端に当接する第２
湾曲部１５に癖が付き、第１湾曲部１２から第２湾曲部
１５までに前記第１傾斜部１３と逆方向の第２傾斜部１
６が形成される。続いて図２（ｅ）に示すように、キャ
ピラリ４及び第１ワイヤクランパ３は約１００μｍ程度
下降する。これにより、第２傾斜部１６がキャピラリ４
の下面により押し下げられる。次に図２（ｆ）に示すよ
うに、圧着ボール１ｃの中心線１４上に斜めに上昇す
る。前記図２（ｅ）の工程により、前記した図２（ｂ）
の工程と同様に、第２傾斜部１６の傾斜角度（形状）が
安定する。
【００２２】次に図２（ｇ）に示すように、第２ワイヤ
クランパ２が閉じ、第１ワイヤクランパ３が開き、キャ
ピラリ４及び第１ワイヤクランパ３は上昇し、キャピラ
リ４の下端よりワイヤ１が延在する。次に第２ワイヤク
ランパ２が開き、第１ワイヤクランパ３が閉じ、次の電
極パッド８の上方に移動し、図１（ａ）の状態となる。
これにより、湾曲状ワイヤ１１が形成される。以後、図
１（ａ）乃至（ｈ）、図２（ａ）乃至（ｇ）の工程を行
い、順次湾曲状ワイヤ１１を形成する。
【００２３】このように、本実施の形態においては、ま
ず図１（ｈ）に示すように、ワイヤ１より切断されたピ
ン状ワイヤ１０を形成し、このピン状ワイヤ１０に図２
（ａ）乃至（ｇ）に示す工程で湾曲状ワイヤ１１を形成
するので、この湾曲状ワイヤ１１形成時には、ワイヤ１
に予め掛けられているバックテンションが全く作用しな
く、形成された湾曲状ワイヤ１１が変形することがな
い。また湾曲状ワイヤ１１の第１傾斜部１３及び第２傾
斜部１６を形成する場合、図２（ｂ）及び（ｅ）に示す
ようにキャピラリ４を僅かに下降させて押し下げる工程
を設けることにより、更に安定した湾曲状ワイヤ１１が
得られる。
【００２４】またピン状ワイヤ１０を形成する場合、図
１（ｆ）に示すように、ワイヤ１にカッター６で傷１ｂ
を付ける工程は、ボール１ａを電極パッド８にボンディ
ングするためにキャピラリ４が下降する前に行われる。
従って、電極パッド８とキャピラリ４間はカッター６を
配設するのに十分な間隔があり、何ら支障はない。また
既に密集して図２（ｇ）に示す湾曲状ワイヤ１１が形成
されている場合も、カッター６は湾曲状ワイヤ１１より
離れた上方で作動するので、カッターが湾曲状ワイヤ１
１に接触することもない。これらのことにより、傷１ｂ
を付けるワイヤ１の部分に制限はなく、ピン状ワイヤ１
０の長さＬ３を任意に設定できる。
【００２５】また第２ワイヤクランパ２を用いることに
より、図１（ｅ）に示すようにキャピラリ４の下端より
一定量の長さＬ１だけワイヤ１を延在させることができ
るので、図１（ｆ）に示すように予め決められたワイヤ
１の長さＬ３の位置に傷１ｂを付けることができる。こ
れにより、ボール１ａから傷１ｂまでの長さＬ３は安定
した一定量となる。従って、図１（ｈ）に示すように形
成されたピン状ワイヤ１０の長さが一定となり、前記長
さＬ３とほぼ等しい安定した一定量の長さＬ４が得られ
る。
【００２６】図３は本発明の他の実施の形態を示す。本
実施の形態は、ワイヤボンディング装置による一連の工
程で湾曲状ワイヤ１１を形成した。本実施の形態は、ワ
イヤボンディング装置でピン状ワイヤ１０を予め形成
し、その後別工程でワイヤボンディング装置の空のキャ
ピラリ４（ワイヤ１が挿通されていないキャピラリ４）
で湾曲状ワイヤ１１を形成する。
【００２７】まず、図３（ａ）に示すピン状ワイヤ１０
の形成方法について説明する。このピン状ワイヤ１０の
形成は、図１（ａ）乃至（ｇ）及び図３（ａ）の工程に
よって形成する。即ち、前記実施の形態の図１（ｈ）の
工程が図３（ａ）の工程に変わるのみである。そこで、
図１（ａ）乃至（ｇ）までの工程の説明は省略し、図１
（ｇ）の工程が終わった状態から説明する。
【００２８】図１（ｇ）に示すように、ボール１ａを電
極パッド８にボンディングし、ボール１ａは圧着ボール
１ｃとなる。次にキャピラリ４が図１（ｇ）に示す傷１
ｂより上方に第１ワイヤクランパ３が共に上昇し、この
上昇途中で第１ワイヤクランパ３が閉じる。これによ
り、図３（ａ）に示すように、傷１ｂ部分よりワイヤ１
が切断され、ピン状ワイヤ１０が形成され、またキャピ
ラリ４の下面よりワイヤ１が延在する。この図１（ａ）
乃至（ｇ）及び図３（ａ）の工程を行い、順次ピン状ワ
イヤ１０を形成する。
【００２９】次に湾曲状ワイヤ１１の形成方法を図３
（ｂ）乃至（ｊ）により説明する。本実施の形態の図３
（ｄ）乃至（ｊ）は、それぞれ前記実施の形態の図２
（ａ）乃至（ｇ）に対応する。即ち、図２（ａ）乃至
（ｇ）においては、キャピラリ４内にワイヤ１の下方部
が位置していたが、図３（ｄ）乃至（ｊ）においては、
ワイヤ１がない点が異なっている。
【００３０】まず、図３（ｂ）に示すように、ピン状ワ
イヤ１０の上方に空のキャピラリ４が位置し、続いて図
３（ｂ）に示すようにキャピラリ４が下降し、図３
（ｃ）に示すようにキャピラリ４にピン状ワイヤ１０が
挿通される。
【００３１】次に図３（ｄ）に示すように、キャピラリ
４は矢印で示す水平方向に移動する。これにより、キャ
ピラリ４の下端に当接する第１湾曲部１２に癖が付き、
圧着ボール１ｃから第１湾曲部１２までに第１傾斜部１
３が形成される。続いて図３（ｅ）に示すように、キャ
ピラリ４は約１００μｍ程度下降する。これにより、第
１傾斜部１３がキャピラリ４の下面により押し下げられ
る。次に図３（ｆ）に示すように、キャピラリ４は上昇
する。
【００３２】次に図３（ｇ）に示すように、キャピラリ
４は前記と逆方向に矢印で示す水平方向に圧着ボール１
ｃの中心線１４上より僅かに（約１００μｍ程度）多く
移動する。これにより、キャピラリ４の下端に当接する
第２湾曲部１５に癖が付き、第１湾曲部１２から第２湾
曲部１５までに前記第１傾斜部１３と逆方向の第２傾斜
部１６が形成される。続いて図３（ｈ）に示すように、
キャピラリ４は約１００μｍ程度下降する。これによ
り、第２傾斜部１６がキャピラリ４の下面により押し下
げられる。次に図３（ｉ）に示すように、圧着ボール１
ｃの中心線１４上に矢印で示す斜め方向に上昇する。
【００３３】次に図３（ｊ）に示すように、キャピラリ
４は上昇し湾曲状ワイヤ１１が形成される。以後、図３
（ｂ）乃至（ｊ）の工程を行い、ピン状ワイヤ１０に順
次湾曲状ワイヤ１１を形成する。
【００３４】本実施の形態においても前記実施の形態と
同様に、まず図３（ａ）に示すように、ワイヤ１より切
断されたピン状ワイヤ１０を形成し、このピン状ワイヤ
１０に図３（ｂ）乃至（ｊ）に示す工程で湾曲状ワイヤ
１１を形成するので、この湾曲状ワイヤ１１形成時に
は、ワイヤ１に予め掛けられているバックテンションが
全く作用しなく、形成された湾曲状ワイヤ１１が変形す
ることがない。また湾曲状ワイヤ１１の第１傾斜部１３
及び第２傾斜部１６を形成する場合、図３（ｅ）及び
（ｈ）に示すようにキャピラリ４を僅かに下降させて押
し下げる工程を設けることにより、更に安定した湾曲状
ワイヤ１１が得られる。
【００３５】なお、図１及び図２に示す実施の形態にお
いては、一連の工程で湾曲状ワイヤ１１を形成したの
で、図１（ｆ）に示すように予め切断位置に傷１ｂを付
ける必要があった。しかし、図３に示す実施の形態にお
いては、ピン状ワイヤ１０を形成し、その後に空のキャ
ピラリ４で湾曲状ワイヤ１１を形成するので、ピン状ワ
イヤ１０の形成方法は、前記した図１（ａ）乃至
（ｇ）、図３（ａ）の工程に限定されない。例えば図４
に示す方法によってピン状ワイヤ１０を形成してもよ
い。
【００３６】図４（ａ）に示すように、ワイヤ１は、第
２ワイヤクランパ２及び第１ワイヤクランパ３を通して
キャピラリ４に挿通され、キャピラリ４の下端より延在
している。この状態においては、第２ワイヤクランパ２
が開き、第１ワイヤクランパ３が閉じた状態にある。こ
の状態で図４（ｂ）に示すように、ワイヤ１の先端に電
気トーチ５による放電によってボール１ａを作る。その
後、電気トーチ５は矢印方向へ移動する。
【００３７】次に図４（ｃ）に示すように、第１ワイヤ
クランパ３が開く。これにより、ワイヤ１に掛けられて
いるバックテンションの作用によってボール１ａがキャ
ピラリ４の下端に当接する。続いて図４（ｄ）に示すよ
うに、キャピラリ４及び第１ワイヤクランパ３が下降
し、ボール１ａをＩＣ、ＬＳＩ等の電子回路素子７の電
極パッド８に圧接させる。次にキャピラリ４に超音波振
動を印加し、ボール１ａを電極パッド８にボンディング
し、ボール１ａは圧着ボール１ｃとなる。
【００３８】次に図４（ｅ）に示すように、キャピラリ
４及び第１ワイヤクランパ３は、ピン状ワイヤ１０の長
さ及びテール長さ分だけ上昇する。続いて図４（ｆ）に
示すように、第１ワイヤクランパ３が閉じた後、カッタ
ー６が往復移動してワイヤ１を切断する。カッター６が
退避した後、図４（ｇ）に示すように、キャピラリ４及
び第１ワイヤクランパ３が上昇し、ピン状ワイヤ１０が
形成される。このような方法でピン状ワイヤ１０を形成
してもよい。
【００３９】
【発明の効果】本発明の第１の手段は、ワイヤボンディ
ング装置によりピン状ワイヤを形成し、このピン状ワイ
ヤにキャピラリを挿通した状態で、キャピラリの軌跡が
湾曲状になるように移動させて湾曲状ワイヤを形成する
ので、ワイヤに掛けられたバックテンションの影響を受
けなく、安定した高品質の形状が得られる。
【００４０】本発明の第２又は第３の手段は、ワイヤボ
ンディング装置によりピン状ワイヤを形成し、この状態
において、前記ピン状ワイヤにキャピラリが挿通され、
かつピン状ワイヤより切断されたワイヤもキャピラリ内
にあり、キャピラリの軌跡が湾曲状になるように移動さ
せて湾曲状ワイヤを形成するか、またはワイヤボンディ
ング装置によりピン状ワイヤを形成し、このピン状ワイ
ヤに空のキャピラリが挿通し、キャピラリの軌跡が湾曲
状になるように移動させて湾曲状ワイヤを形成するの
で、前記第１の手段と同じ効果が得られる。
【００４１】本発明の第４の手段は、上記第１、第２又
は第３の手段において、前記キャピラリを移動させて湾
曲状ワイヤの湾曲部に癖を付けて傾斜部を形成した後
に、キャピラリを僅かに下降させて該キャピラリで前記
傾斜部を押し下げる工程を有するので、前記効果の他
に、有する余分な弾性力を吸収して一定量の弾性力と
し、更に安定した高品質の形状が得られる。
【００４２】本発明の第５の手段は、上記第１、第２又
は第３の手段において、前記ピン状ワイヤの形成は、キ
ャピラリに挿通されたワイヤの先端にボールを形成した
後、キャピラリの下端よりワイヤを延在させ、ワイヤボ
ンディング装置に設けた傷付け手段によって前記ボール
と前記キャピラリ間のワイヤ部分に傷を付け、前記ボー
ルを前記キャピラリを用いて電子回路素子等の電極パッ
ドにボンディングし、次にキャピラリを上昇させた後
に、ワイヤを上方に引っ張って前記傷部分よりワイヤを
切断して形成するので、前記第１の手段の効果の他に、
電子回路素子等にボンディングされたボールより上方の
ワイヤ長さを任意に設定でき、またコスト高になること
もないと共に、ピン状ワイヤの長さが一定となり、安定
した一定量の長さとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の湾曲状ワイヤの形成方法の一実施の形
態におけるピン状ワイヤ形成を示す工程図である。
【図２】図１の続きの工程で、本発明の湾曲状ワイヤの
形成の一実施の形態を示す工程図である。
【図３】本発明の湾曲状ワイヤの形成方法の他の実施の
形態を示す工程図である。
【図４】ピン状ワイヤ形成の他の実施の形態を示す工程
図である。
【符号の説明】
１ ワイヤ １ａ ボール １ｂ 傷 １ｃ 圧着ボール ２ 第２ワイヤクランパ ３ 第１ワイヤクランパ ４ キャピラリ ５ 電気トーチ ６ カッター ７ 電子回路素子 ８ 電極パッド １０ ピン状ワイヤ １１ 湾曲状ワイヤ １２ 第１湾曲部 １３ 第１傾斜部 １５ 第２湾曲部 １６ 第２傾斜部

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワイヤボンディング装置によりピン状ワ
    イヤを形成し、このピン状ワイヤにキャピラリを挿通し
    た状態で、キャピラリの軌跡が湾曲状になるように移動
    させて湾曲状ワイヤを形成することを特徴とする湾曲状
    ワイヤの形成方法。
  2. 【請求項２】 ワイヤボンディング装置によりピン状ワ
    イヤを形成し、この状態において、前記ピン状ワイヤに
    キャピラリが挿通され、かつピン状ワイヤより切断され
    たワイヤもキャピラリ内にあり、キャピラリの軌跡が湾
    曲状になるように移動させて湾曲状ワイヤを形成するこ
    とを特徴とする湾曲状ワイヤの形成方法。
  3. 【請求項３】 ワイヤボンディング装置によりピン状ワ
    イヤを形成し、このピン状ワイヤに空のキャピラリが挿
    通し、キャピラリの軌跡が湾曲状になるように移動させ
    て湾曲状ワイヤを形成することを特徴とする湾曲状ワイ
    ヤの形成方法。
  4. 【請求項４】 前記キャピラリを移動させて湾曲状ワイ
    ヤの湾曲部に癖を付けて傾斜部を形成した後に、キャピ
    ラリを僅かに下降させて該キャピラリで前記傾斜部を押
    し下げる工程を有することを特徴とする請求項１、２又
    は３記載の湾曲状ワイヤの形成方法。
  5. 【請求項５】 前記ピン状ワイヤの形成は、キャピラリ
    に挿通されたワイヤの先端にボールを形成した後、キャ
    ピラリの下端よりワイヤを延在させ、ワイヤボンディン
    グ装置に設けた傷付け手段によって前記ボールと前記キ
    ャピラリ間のワイヤ部分に傷を付け、前記ボールを前記
    キャピラリを用いて電子回路素子等の電極パッドにボン
    ディングし、次にキャピラリを上昇させた後に、ワイヤ
    を上方に引っ張って前記傷部分よりワイヤを切断して形
    成することを特徴とする請求項１、２又は３記載の湾曲
    状ワイヤの形成方法。
  6. 【請求項６】 前記ピン状ワイヤの形成は、キャピラリ
    と共に上下動する第１ワイヤクランパと上下動しない第
    ２ワイヤクランパを有するワイヤボンディング装置を用
    い、第２ワイヤクランパ及び第１ワイヤクランパを通し
    てキャピラリにワイヤが挿通され、前記第２ワイヤクラ
    ンパを開き、前記第１ワイヤクランパを閉じた状態で、
    キャピラリに挿通されたワイヤの先端にボールを形成し
    た後、前記第１ワイヤクランパを開き、前記ワイヤに掛
    けられているバックテンションの作用によってボールが
    キャピラリの下端に当接し、次にキャピラリ及び第１ワ
    イヤクランパを下降させ、続いて第２ワイヤクランパを
    閉じてからキャピラリ及び第１ワイヤクランパを上昇さ
    せてキャピラリの下端よりワイヤを延在させ、次に第１
    ワイヤクランパを閉じ、第２ワイヤクランパを開いた状
    態でワイヤボンディング装置に設けた傷付け手段によっ
    て前記ボールと前記キャピラリ間のワイヤ部分に傷を付
    け、続いて第１ワイヤクランパを開いてキャピラリ及び
    第１ワイヤクランパを下降させて、前記ボールを前記キ
    ャピラリを用いて電子回路素子等の電極パッドにボンデ
    ィングし、次にキャピラリ及び第１ワイヤクランパを上
    昇させ、この上昇途中で第１ワイヤクランパを閉じてワ
    イヤを上方に引っ張って前記傷部分よりワイヤを切断し
    て形成することを特徴とする請求項１、２又は３記載の
    湾曲状ワイヤの形成方法。
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