JP2007220699A - スタッドバンプの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャピラリ1に挿通されたワイヤ2の先端に形成されたボール21をパッド3にボンディングして圧着ボール22を形成する。次にキャピラリ1の移動動作によって該キャピラリ1の内部エッジ部11で圧着ボール22上方のワイヤ部分に傷23を付ける。続いてキャピラリ1の移動動作によってワイヤ2の前記傷23部分で折り曲げる。その後キャピラリ1を上昇させ、この上昇途中でクランパを閉じて前記傷23部分よりワイヤ2を切断する切断工程とにより、スタッドバンプ25を形成する。
【選択図】 図1
Description
このようにして接続された半導体装置は、ダイと回路基板との接合を強くするために、両者間に接着剤が封入される。この場合、スタッドバンプの数が多い多ピンのダイにおいては、ピン間の隙間が狭くなり、スタッドバンプの抵抗が大きく、接着剤が奥まで届き難くなる。そこで最近はスタッドの高さの高いスタッドバンプの要求が出てきた。
第1の方法は、キャピラリの側面に付設された放電電極により、ワイヤのキャピラリ孔先端部分に放電させてワイヤ切断を行う。
第2の方法は、キャピラリの下端側方に配設されたレーザ手段により、ワイヤのキャピラリ孔先端部分にレーザ光を照射してワイヤ切断を行う。
第3の方法は、キャピラリの先端側方に配設されたエアノズルにより、ワイヤのキャピラリ孔先端部分にエアを吹き付けてワイヤ切断を行う。
第4の方法は、キャピラリをワイヤの締め付けとその解除を可能とした複数のチャック片とするか、或いは先端部のみをチャック部とし、ワイヤのキャピラリ孔先端部分にキャピラリのエッジによって傷を付け、ワイヤに引っ張り力を加えてワイヤ切断を行う。
第5の方法は、キャピラリの側方にカッターを配設し、ワイヤのキャピラリ孔先端部分にカッターを押し付けてワイヤ切断を行う。
第6の方法は、キャピラリに挿通されたワイヤに予め切込みやプレス溝等による歪み部分を長手方向に等間隔に形成しておき、ワイヤに引っ張り力を加えてワイヤ切断を行う。
11 内部エッジ部
2 ワイヤ
21 ボール
22 圧着ボール
23 傷
24 スタッド
25 スタッドバンプ
3 パッド
Claims (2)
- キャピラリに挿通されたワイヤの先端に形成されたボールをパッドにボンディングして圧着ボールを形成する圧着ボール形成工程と、次にキャピラリの移動動作によって該キャピラリの内部エッジ部で前記圧着ボール上方のワイヤ部分に傷を付ける傷付け工程と、続いてキャピラリの移動動作によってワイヤの前記傷部分を折り曲げる折り曲げ工程と、その後キャピラリの上昇途中でクランパを閉じて前記傷部分よりワイヤを切断する切断工程とにより、スタッドバンプを形成することを特徴とするスタッドバンプの形成方法。
- 前記傷付け工程は、圧着ボールを形成後にキャピラリを一定高さ上昇させ、次にキャピラリを横方向に移動させた後、キャピラリを下降させる工程よりなり、前記折り曲げ工程は、キャピラリを前記傷部分側の横方向に前記圧着ボールの中心を過ぎて移動させた後、キャピラリを下降させる工程よりなることを特徴とする請求項1記載のスタッドバンプの形成方法。
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