JP2001248741A - チェックバルブ - Google Patents

チェックバルブ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 常に弁体による正常なシール性能の確保を図
れるチェックバルブを提供する。 【解決手段】 弁体１と、この弁体１を閉弁方向に押圧
付勢する圧縮コイルばね２とを合成樹脂材で一体成形す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、往復動ポンプなど
に取り付け、流体の逆流を防いで一方向にだけ流すため
に用いるチェックバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造装置の洗浄薬液の循
環や移送などに使用される往復動ポンプには移送液の吸
込みや吐出し用のチェックバルブが取り付けられてい
る。そのチェックバルブとしては、弁体それ自体の重量
のみで閉止する自重式のものと、弁ケーシング内に弁体
と、この弁体を弁座に密着するよう押圧付勢するための
圧縮コイルばねとが組み込まれたばね式のものがある
が、ばね式のものが自重式のものよりもシール性能に優
れるという理由でこれが主に採用されている（例えば、
特開平３−１７９１８４号公報や特開平１０−１９６５
２１号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記ばね式
のチェックバルブでは、弁体と圧縮コイルばねとが別体
に分離可能に形成されているので、弁の作動時に弁体の
中心軸に対し圧縮コイルばねの中心軸がずれやすく、最
悪の場合弁体と圧縮コイルばねとが外れかけたりするこ
とがあり、そのため、圧縮コイルばねによる押圧付勢力
が弁体に適正に作用しなくなり、弁体による正常なシー
ル性能の低下ないし喪失を来すという問題が生じること
があった。
【０００４】本発明の目的は、このような問題を解消す
るためになされたもので、常に弁体による正常なシール
性能を確保でき、またポンプ等への組込み作業の能率化
を図れるばね式のチェックバルブを提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、弁体と、この
弁体を閉弁方向に押圧付勢する圧縮コイルばねとを備え
たチェックバルブにおいて、前記弁体と圧縮コイルばね
とが一体に形成されていることに特徴を有するものであ
る。上記弁体と圧縮コイルばねとは樹脂材で一体成形す
ることができる。
【０００６】
【作用】一体形成された弁体と圧縮コイルばねとは相互
に位置ずれしたり、外れたりすることがないので、圧縮
コイルばねによる押圧付勢力を常時弁体に適正に作用さ
せることができ、常に逆流や液漏れを確実に防止できる
安定したシール性能を発揮することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図１ないし図
３に基づき説明する。図１は本発明の一実施例を示すチ
ェックバルブの側面図、図２はそのチェックバルブの正
面図、図３は図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【０００８】本発明に係るチェックバルブＶは弁体１と
圧縮コイルばね２とを金属または合成樹脂で一体に形成
してなる。弁体１と圧縮コイルばね２とを合成樹脂で一
体成形する場合、その成形材料としては、例えば、耐熱
性、耐薬品性に優れるＰＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレ
ン）、ＰＦＡ（パーフロロアルコキシ）等のフッ素樹脂
を用いる。その一体成形に際しては、射出成形法により
安価に量産することができる。
【０００９】合成樹脂製の弁体１は先細とする截頭円錐
形状に、圧縮コイルばね２は円筒形にそれぞれ形成され
るが、この弁体１と圧縮コイルばね２とは、弁体１の後
端部と圧縮コイルばね２の前端部とがこれら前後端部ど
うし間に一体に形成される複数本の連結杆３を介して両
者１，２の中心軸が一致するよう連結される形に一体成
形される。
【００１０】図１に示すごとく弁体１の最大外径Ｄ1 よ
りも圧縮コイルばね２の外径Ｄ2 を大きく設定するこ
と、図４に示すごとく弁体１の最大外径Ｄ1 と圧縮コイ
ルばね２の外径Ｄ2 とをほぼ同等にすることは任意であ
る。
【００１１】図５は上記構成のチェックバルブＶを半導
体製造装置の洗浄薬液の循環や移送などに使用される往
復動ポンプＰに使用した場合を例示している。往復動ポ
ンプＰは、液体の流入路１０及び流出路１１を備えたポ
ンプヘッド構成壁１２の両側に固定連設された筒状のケ
ーシング１３Ａ，１３Ｂ内にそれぞれ、同一方向に伸縮
変形可能な一対のベローズ１４，１４を相対向状態に配
設し、これら一対のベローズ１４，１４の開口周縁部１
４ａ，１４ａを環状固定板１５，１５を介してポンプヘ
ッド構成壁１２に気密状に固定することによりケーシン
グ１３Ａ，１３Ｂの内部空間を液室１６ａ，１６ａと空
気室１６ｂ，１６ｂとに密封区画してなる一対のポンプ
部１７Ａ，１７Ｂが構成されている。
【００１２】そして、一対のポンプ部１７Ａ，１７Ｂに
おける一対のベローズ１４，１４はポンプヘッド構成壁
１２を貫通して設けられた円周方向に複数本の連結ロッ
ド１８を介して、一方のベローズ１４が縮小動作すると
き他方のベローズ１４が伸長動作するように連動連結さ
れている。また、ポンプヘッド構成壁１２には、流入路
１０及び流出路１１に連通する吸入口１９、１９及び吐
出口２０，２０がポンプ部１７Ａ，１７Ｂにおける液室
１６ａ，１６ａにそれぞれ開口するよう形成されてい
る。各吸入口１９及び吐出口２０にはそれぞれ、フッ素
樹脂等の樹脂材で円筒状に成形された吸入用及び吐出用
の弁ケーシング２１，２２がねじ込み結合されるが、そ
の際、各弁ケーシング２１，２２内には予め上記構成の
一体化された弁体１と圧縮コイルばね２が弁体１を各々
の弁座２１ａ，２２ａに密着させるよう組み込まれる。
さらに、ケーシング１３Ａ，１３Ｂの底壁部１３ａ，１
３ｂには空気室１６ｂ，１６ｂに加圧空気を交互に供給
する空気孔２３，２３が形成されている。
【００１３】しかるときは、コンプレッサー等の加圧空
気供給装置（図示省略）から送給される加圧空気を交互
に空気孔２３，２３を通して空気室１６ｂ，１６ｂに供
給することにより、一対のベローズ１４，１４を連結ロ
ッド１８を介して可逆的に伸縮変形駆動させて一対のポ
ンプ部１７Ａ，１７Ｂの吸入行程と吐出行程とを交互に
行わせ、これによって流入路１０から吸入用弁ケーシン
グ２１内のチェックバルブＶを介して液室１６ａ，１６
ａに流入される液体が吐出用弁ケーシング２２内のチェ
ックバルブＶを介して流出路１１へほぼ連続的に吐出す
るといったポンプ作用が行われる。
【００１４】上記のように往復動ポンプＰ内に組み込ま
れたチェックバルブＶは弁体１と圧縮コイルばね２とを
一体に形成してあるので、弁体１及び圧縮コイルばね２
の両者が各弁ケーシング２１，２２内で相互に位置ずれ
したり、外れたりするようなことが無くなり、したがっ
て圧縮コイルばね２による押圧付勢力を常時弁体１に適
正に作用させることができ、常に移送液の逆流や液漏れ
を確実に防止できて定量送りの信頼性を向上できる。ま
た、各弁ケーシング２１，２２内には弁体１を組み込む
と同時に圧縮コイルばね２をも組み込むことができるの
で、それらを個々に組み込むに比べて能率よく組み込む
ことができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明のチェックバルブによれば、常に
安定したシール性能を発揮することができ、またポンプ
等への組付け作業面においても有利であるという効果を
奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すチェックバルブの側面
図である。
【図２】そのチェックバルブの正面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】他の実施例を示すチェックバルブの側面図であ
る。
【図５】図１のチェックバルブを取り付けた往復動ポン
プの縦断面図である。
【符号の説明】
１ 弁体 ２ 圧縮コイルばね

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 弁体と、この弁体を閉弁方向に押圧付勢
    する圧縮コイルばねとを備えたチェックバルブにおい
    て、前記弁体と圧縮コイルばねとが一体に形成されてい
    ることを特徴とするチェックバルブ。
  2. 【請求項２】 弁体と圧縮コイルばねとが樹脂材で一体
    成形されている請求項１記載のチェックバルブ。
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