JPH09264433A - 液体制御用弁装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流路における液体の流れを円滑とし、流路内
に液体が溜まることを防止する。 【解決手段】 ハウジング１１，１２内には、流入ポー
ト１４ａと流出ポート１６ａとを結ぶ樹脂製のチューブ
状弁体２３，３３が配置されている。それぞれのチュー
ブ状弁体２３，３３内には、それぞれのチューブ状弁体
２３，３３により流路の開度を変化させる内側弁体２
５，３５が配置されている。それぞれのチューブ状弁体
２３，３３の外側にはこれを囲むように圧力室４１，４
２が設けられ、それぞれの圧力室４１，４２内を正圧状
態にしたり、負圧状態にすることによって、チューブ状
弁体２３，３３と内側弁体２５，３５との間の流路の開
度を変化させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は薬液などの液体を案
内する流路に設けられ、液体の流れを制御する液体制御
用弁装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ製造技術を始めとして、液
晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術および多層配線
基板製造技術などの種々の技術分野における製造プロセ
スにあっては、フォトレジスト液、スピニオンガラス
液、ポリイミド樹脂液、純水、現像液、エッチング液、
有機溶剤などの化学薬液が使用されている。

【０００３】これらの液体を被供給部にまで供給するに
は、ポンプなどの液体供給部と被供給部との間を液体供
給管などの流路により接続するようにし、流路内の液体
の流れを制御するために、流路には弁装置が組み込まれ
るようになっている。

【０００４】たとえば、半導体ウエハにレジスト液を供
給する場合には、薬液供給ポンプと塗布ノズルとの間に
接続された流路には、この流路内を開閉するための開閉
バルブと、レジスト液の塗布を終了した後にレジスト液
を流路側に戻してレジスト液が塗布ノズルの先端から液
垂れするのを防止するためのサックバックバルブが設け
られている。

【０００５】開閉バルブやサックバックバルブのような
制御弁装置にあっては、従来では、ダイヤフラム型の弁
体を有するものが使用されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このような制御弁装置
の弁体としてダイヤフラムを使用した場合には、弁装置
内における流路に曲がり部が存在している。曲がり部が
存在すると、この部分を液体が流れる際にキャビテーシ
ョンに起因した泡が液体内に発生することがあった。ま
た、曲がり部が存在すると、流路内に形成されたデッド
スペースにおいて液体がそこに溜まり変質してしまうと
いう問題点があった。

【０００７】そのため、流路を開閉して液体を流したり
流れを停止する開閉バルブ、流路の開度を調整する流量
制御バルブおよびサックバックバルブなどのような液体
の流れを制御する制御弁にあっては、バルブの部分にお
ける液体の流れが円滑となるような制御弁装置の開発が
望まれている。

【０００８】本発明の目的は、流路における液体の流れ
を円滑とし、流路内に液体が溜まってしまうデッドスペ
ースを有しない液体制御弁装置を提供することにある。

【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１１】すなわち、本発明の液体制御用弁装置は、
液体流入口と液体流出口とを有するハウジングと、ハウ
ジング内に配置され液体流入口と液体流出口とを結び液
体の流路を形成する樹脂製のチューブ状弁体と、チュー
ブ状弁体内に配置されチューブ状弁体との間で流路の開
度を変化させる内側弁体と、ハウジング内にチューブ状
弁体の外側に位置させて設けられチューブ状弁体を変形
させる弁体変形手段と、チューブ状弁体を弁体変形手段
によって変形しにくい円弧部と、変形し易い平坦部とを
有する断面異形に形成したことを特徴とするものであ
る。

【００１２】弁体駆動手段として、ハウジング内にチュ
ーブ状弁体を囲むようにして形成された圧力室と、この
圧力室内に供給され前記チューブ状弁体に圧力を作用さ
せる圧力媒体とにより形成するようにしても良い。ま
た、この液体制御用弁装置を流路を開閉する開閉バルブ
あるいは流路の開度を変化させてその流路の容積を調整
するサックバックバルブとして使用するようにしても良
い。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１４】図１は本発明の一実施の形態である液体制
御弁装置を有する薬液供給装置を示す図であり、この薬
液供給装置は容器１内に収容されたレジスト液Ｌを半導
体ウエハＷに塗布するために使用されている。図示する
ように、ポンプハウジング２に往復動自在に設けられた
ベローズ３を駆動するためにポンプハウジング２には駆
動部材４が設けられており、ベローズ３の往復動によっ
て２つの逆止弁５ａ，５ｂを介して薬液Ｌはノズル６に
供給される。ノズル６と逆止弁５ｂの間に設けられた薬
液供給路には、薬液Ｌの異物を除去するフィルタ７と、
供給路を開閉する開閉バルブ８と、サックバックバルブ
９とが設けられてる。

【００１５】図示する薬液供給装置を用いて薬液Ｌを半
導体ウエハＷに塗布する場合には、ベローズ３を後退移
動させることにより逆止弁５ａを介して薬液Ｌをポンプ
室内に流入し、ベローズ３を前進移動させることにより
逆止弁５ｂを介してノズル６に薬液Ｌが供給される。所
定の量の薬液Ｌをノズルから吐出した後には、ノズル６
からの液垂れを防止するために、開閉バルブ８を閉じた
後にサックバックバルブ９を作動させて、ノズル６の先
端部内に薬液Ｌを吸引するようにしている。

【００１６】図２〜５は、図１に示されそれぞれ制御弁
装置を構成する開閉バルブ８とサックバックバルブ９と
が一体となったバルブユニット１０を示す図であり、開
閉バルブ８を構成する第１のハウジング１１と、サック
バックバルブを構成する第２のハウジング１２とが接合
端面の部分で接触しており、相互に４本のねじ部材１３
によって締結されている。

【００１７】第１のハウジング１１には流入ポート１４
ａを有する流入側の接続アダプター１４が接合端面の反
対側に組み付けられ、この接続アダプター１４の外側に
はリテーナ１５が組み付けられている。一方、第２のハ
ウジング１２には流出ポート１６ａを有する流出側の接
続アダプター１６が接合端面の反対側に組み付けられ、
この接続アダプター１６の外側にはリテーナ１７が組み
付けられている。それぞれのハウジング１１，１２内に
は流入ポート１４ａから流出ポート１６ａにほぼ真っ直
ぐに連なる連通孔が形成されている。

【００１８】それぞれのハウジング１１，１２およびリ
テーナ１５，１７は金属により形成されており、接続ア
ダプター１４，１６は、たとえば、フッ素樹脂であるテ
トラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエー
テル共重合体（ＰＦＡ）によりそれぞれ形成されてい
る。

【００１９】第１のハウジング１１の連通孔内には両端
部にフランジ部２１，２２を有し、断面が図４に示すよ
うに長円形となった管状つまりチューブ状となったチュ
ーブ状弁体２３が配置されている。接続アダプター１４
とハウジング１１との間に締結されるフランジ部２４を
有する内側弁体２５がチューブ状弁体２３内に配置され
ている。チューブ状弁体２３および内側弁体２５は接続
アダプター１４などと同様にＰＦＡにより形成されてい
る。

【００２０】この内側弁体２５にあっては、図６に示す
ように、フランジ部２４に長円形の貫通孔２６が形成さ
れ、内側弁体２５の横断面形状は、両側部に円弧形状部
２５ａ，２５ｂを有し、中央部分には円弧形状部の幅よ
りも薄くなった幅狭部２７を有している。また、内側弁
体２５には貫通孔２６に連通する切り欠き部２６ａが形
成され、この切り欠き部２６ａに向かうに従って幅が狭
くなったテーパー部２８が内側弁体２５に形成され、内
側弁体２５の先端には先端に向かうに従って幅が狭くな
ったテーパー部２９が形成されている。また、内側弁体
２５の長さ方向のほぼ中央部分には、外周面全体に突起
３０が設けられている。ただし、この突起３０は図示す
るように１本のみでなく、複数本設けるようにしても良
い。

【００２１】チューブ状弁体２３は、図４に示されるよ
うに、ほぼ半円形の円弧部２３ａ、２３ｂと、これらに
連なる平坦部２３ｃ，２３ｄとを有する断面長円形の異
形断面形状となっている。それぞれの円弧部２３ａ，２
３ｂの内面には、内側弁体２５の両側部に形成された円
弧状部２５ａ，２５ｂが接触している。

【００２２】第２のハウジング１２の連通孔内には両端
部にフランジ部３１，３２を有し、断面が図５に示すよ
うに長円形となった環状つまりチューブ状となったチュ
ーブ状弁体３３が配置されている。接続アダプター１６
とハウジング１２との間に締結されるフランジ部３４を
有する内側弁体３５がチューブ状弁体３３内に配置され
ている。チューブ状弁体３３および内側弁体３５も、Ｐ
ＦＡにより形成されている。

【００２３】この内側弁体３５にあっては、図７に示す
ように、フランジ部３４に長円形の貫通孔３６が形成さ
れ、内側弁体３５の横断面形状は、両側部に円弧形状部
３５ａ，３５ｂを有し、中央部分３７が平坦な形状とな
っている。内側弁体３５には貫通孔３６に連通する切り
欠き部３６ａが形成され、この切り欠き部３６ａに向か
うに従って幅が狭くなったテーパー部３８が内側弁体３
５に形成され、内側弁体３５の先端には先端に向かうに
従って幅が狭くなったテーパー部３９が形成されてい
る。

【００２４】チューブ状弁体３３は、図５に示されるよ
うに、チューブ状弁体２３と同様に、ほぼ半円形の円弧
部３３ａ，３３ｂと、これらに連なる平坦部３３ｃ，３
３ｄとを有する断面長円形の異形断面形状となってい
る。平坦部３３ｄはその一部がストッパ５１により内側
弁体３５に常時接触するようになっている。

【００２５】図２に示されるように両方のハウジング１
１，１２の間には、２つの内側弁体２５，３５の間に位
置させて、段部が形成され、この段部にはスリーブ４０
が配置され、このスリーブ４０にはその両側から内側弁
体２５，３５のフランジ部２１，３１が接触し、流路内
を流れる液体をシールしている。このスリーブ４０はハ
ウジング１１，１２あるいは内側弁体２５，３５と同様
の材質により形成されている。

【００２６】第１のハウジング１１内にはチューブ状弁
体２３の外側を囲むようにして圧力室４１が形成され、
第２のハウジング１２内にもチューブ状弁体３３の外側
を囲むようにして圧力室４２が形成されている。それぞ
れのハウジング１１，１２には、図３に示すように、圧
力室４１，４２に連通する操作ポート４３ａ，４４ａを
有するアダプター４３，４４が取り付けられている。

【００２７】操作ポート４３ａから圧力室４１内に、加
圧された空気を注入してこの圧力室４１を正圧状態にす
ると、図４（ｂ）に示すように、チューブ状弁体２３は
内側弁体２５に向けて変形し、チューブ状弁体２３と内
側弁体２５との間の流路が閉塞される。一方、操作ポー
ト４３ａを介して圧力室４１内を負圧状態つまり真空状
態にすると、図４（ａ）に示すように、チューブ状弁体
２３は内側弁体２５の幅狭部２７から離れて流路が開か
れる。このようにして、圧力室４１内の圧力を変化させ
ることにより、チューブ状弁体２３は開閉バルブとして
機能する。

【００２８】図５に示すように、ハウジング１２にはス
トッパ５１を有するキャップ５２が取り付けられてお
り、このストッパ５１の先端部は、チューブ状弁体３３
の平坦部３３ｄを押し付けてこの部分を内側弁体３５に
密着させている。一方、ハウジング１２に取り付けられ
た支持筒体５３には、ストッパ５１に対向するように、
調整ねじ５４がねじ結合されており、この調整ねじ５４
の先端にはチューブ状弁体３３の図５における平坦部３
３ｃに接触する調整駒５５が設けられている。

【００２９】調整ねじ５４の後端部にはノブ５６が設け
られ、このノブ５６を用いて調整ねじ５４を回転させる
ことによって、調整駒５５のチューブ状弁体３３に接触
する位置を調整することができる。なお、符号５７はロ
ックナットを示す。

【００３０】図５（ａ）はチューブ状弁体３３がその中
の流路を広げてその容積を大きくした状態を示す図であ
り、圧力室４２内を真空状態に設定することにより、図
示する状態となって、サックバック状態となる。一方、
図５（ｂ）に示すように、圧力室４２内を正圧状態とす
ると、チューブ状弁体３３内の流路の断面積が小さくな
り、サックバック戻し状態となる。

【００３１】それぞれのチューブ状弁体２３，３３は、
内部にほぼ真っ直ぐな流路を形成しており、内部を流れ
る薬液などの液体は蛇行したり曲がったりすることな
く、内側弁体２５，３５との間の断面積が変化するのみ
であり、液体は流路内を円滑に流れることになる。これ
により、流路内にはデッドスペースが存在することがな
くなり、流路内に液体が溜まることつまり停留が防止さ
れ、薬液の変質発生が防止され。また、曲がり部が存在
しないことから、液体が流路内を流れる際にキャビテー
ションに起因した泡が液体内に発生することを防止する
ことができる。

【００３２】それぞれのチューブ状弁体２３，３３は、
前述のように、フッ素樹脂であるＰＦＡにより形成され
ており、比較的硬度の高い樹脂により形成されているた
めに、ゴムなどと比較して大きな圧力を加えなければ変
形しないが、チューブ状弁体２３は、円弧部２３ａ，２
３ｂと平坦部２３ｃ，２３ｄを有し、これらの平坦部２
３ｃ，２３ｄは円弧部２３ｃ，２３ｄに比較して変形し
易いことから、圧力室４１内に正圧を加えたり負圧を加
えると、平坦部２３ｃ，２３ｄの部分が変形することに
なり、流路が開閉されることになる。平坦部２３ｃ，２
３ｄの変形量は、圧力室４２内の圧力と一定の関係とな
る。

【００３３】チューブ状弁体３３もチューブ状弁体２３
と同様に、ほぼ半円形の円弧部３３ａ，３３ｂと、これ
らに連なる平坦部３３ｃ，３３ｄとを有しており、圧力
室４２内に正圧を加えたり負圧を加えると、円弧部３３
ａ，３３ｂはその形状のために比較的変形しにくく、平
坦部３３ｃの部分は変形し易い。したがって、平坦部３
３ｃの中心部が最も大きな変形量となって図５（ｂ）に
示すように変形する。その変形量は、圧力室４２内の圧
力と一定の関係となる。

【００３４】チューブ状弁体２３，３３を図示するよう
な異形断面形状とすることなく、断面円形とした場合に
は、圧力室４１，４２内の圧力と変形量との関係を一定
にすることができなかった。この理由は、チューブ状弁
体の素材が比較的硬度の高い樹脂により形成されてお
り、かつ断面が円形となっていると、所定の圧力を超え
るまではチューブ状弁体は変形せず、その圧力を超えた
時点で急に変形することとになり、その変形量、変形個
所が不特定となるからである。

【００３５】半導体ウエハの製造に使用される薬液にあ
っては、その中に異物が混入したり、流路を構成する素
材が薬液によって腐食したり、溶解されないようにする
ことが必要となっており、弁装置を構成する部材にも薬
液が接触する部分には金属などを使用することができな
い。したがって、チューブ状弁体としても、ゴムなどの
ように比較的容易に変形し得るものを使用することがで
きず、前述したようなフッ素樹脂の使用が考慮された
が、チューブ状弁体２３，３３の断面形状を円形断面と
すると、高い精度での液体の流れの制御を行うことがで
きなかった。

【００３６】これに対して、図示するように、円弧部と
平坦部とを有する異形断面形状のチューブ状弁体２３，
３３を使用すると、平坦部が円弧部に比してその形状の
故に比較的容易に変形し、その変形量は圧力室内の圧力
と一定となる良好な特性となることが判明した。

【００３７】図示する実施の形態にあっては、図４
（ｂ）に示す状態から、図４（ａ）に示す状態に戻すた
めに、圧力室４１内を負圧状態としているが、チューブ
状弁体２３を形成する樹脂の種類や流路内を流れる液体
の圧力によっては、平坦部２３ｃ，２３ｄを内側弁体２
５の幅狭部２７に向けて図４（ａ）に示すように押し付
ける際にのみ加圧し、押し付けられた状態から図４
（ｂ）に示すように平坦部２３ｃ，２３ｄを戻す際には
圧力室４１に負圧を供給しないようにしても良い。この
ことは、チューブ状弁体３３についても同様である。

【００３８】次に、図１に示す薬液供給装置に前記した
バルブユニット１０を使用して、薬液を供給する手順に
ついて説明する。

【００３９】図１に示す駆動部材４を作動させて、容器
１内の薬液Ｌをノズル６から吐出させるには、開閉バル
ブ８を構成するチューブ状弁体２３を図４（ａ）に示す
ように、流路を開いた状態とし、サックバックバルブ９
を構成するチューブ状弁体３３を図５（ｂ）に示すよう
に、流路を狭めた状態とする。この状態のもとで、薬液
はノズル６から吐出されてウエハＷの表面に塗布され
る。

【００４０】塗布が終了したときには、圧力室４１内に
正圧を供給してチューブ状弁体２３を図４（ｂ）に示す
ように、その平坦部２３ｃ，２３ｄを幅狭部２７に押し
付けて、流路を閉塞する。これにより、ノズル６からの
液体の吐出が停止される。次いで、圧力室４２内に負圧
を供給してチューブ状弁体３３の平坦部３３ｃを、図５
（ａ）に示すように、変形して流路を広げる。これによ
り、チューブ状弁体３３内の流路の容積が拡大し、ノズ
ル６からサックバックバルブ９までの流路内に占める薬
液が逆流することになり、ノズル６からの液垂れが防止
される。

【００４１】図示するバルブユニット１０は開閉バルブ
８を構成するハウジング１１と、サックバックバルブ９
を構成するハウジング１２とが組合せられているが、そ
れぞれを別々に独立させるようにしても良い。また、本
発明の液体制御用弁装置は、実施の形態に示すように、
開閉バルブやサックバックバルブとして使用することな
く、流量を制御するためのバルブなどのように種々の弁
装置として使用することができ、腐食性の液体を制御す
る場合に特に有用である。

【００４２】図８（ａ），（ｂ）はそれぞれチューブ状
弁体２３と内側弁体２５の変形例であり、前記実施の形
態にあってはそれぞれの断面が長円形となっているのに
対して、図８（ａ）に示すように、チューブ状弁体２３
の断面形状を４つの円弧部と４つの平坦部とを有するほ
ぼ四角形としたり、図８（ｂ）に示すように、チューブ
状弁体２３の断面形状を３つの円弧部と３つの平坦部を
有するほぼ三角形としても良い。チューブ状弁体３３と
内側弁体３５についても同様に図８（ａ），（ｂ）に示
す形状としても良い。

【００４３】図９はチューブ状弁体２３の平坦部２３
ｃ，２３ｄを変形させるための弁体変形手段の他の具体
例を示す概略構造図であり、シリンダ６１内に設けられ
たピストン６２に対してピストンロッド６３を介して変
形部材６４が取り付けられており、変形部材６４に対し
て平坦部２３ｃに向かう押し付け力を付勢するために、
シリンダ６１の後端部内には圧縮コイルばね６５が設け
られている。変形部材６４の先端には、ゴムなどからな
り幅狭部２７の表面形状に対応した形状の押圧部６４ａ
が設けられている。

【００４４】チューブ状弁体２３内の流路を広げる際に
変形部材６４を後退移動させるために、シリンダ６１の
前端部内に形成された圧力室６６内には圧縮空気が供給
路６７から供給されるようになっており、圧力室４１に
は流路を広げる際にこの中を負圧状態に設定するため
に、操作ポート４３ａには負圧流体供給路が接続される
ようになっている。なお、平坦部２３ｄを変形させる構
造も、平坦部２３ｃを変形させる構造と同様となってい
る。また、チューブ状弁体２３などを形成するための樹
脂としては、前記したＰＦＡ以外に、たとえば、フッ素
樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を
使用するようにしても良い。

【００４５】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４６】たとえば、本発明は図示する実施の形態に
おけるレジスト液の塗布以外に、種々の液体を供給する
場合における弁装置に適用することができる。

【００４７】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００４８】(1).弁装置内における流路がほぼ真っ直ぐ
となっており、流路の面積を徐々に変化させることによ
り、流路の開度を変化させるようにしたことから、流路
の曲がり部が存在することなく、液体を円滑に案内する
ことができ、流路内の滞留を防止できる。

【００４９】(2).曲がり部が存在しないことから、キャ
ビテーションの発生が防止され、キャビテーションに起
因した液体内における泡の発生を防止することができ
る。

【００５０】(3).流路の開度調整を高い精度で確実に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】液体制御弁装置が使用された薬液供給装置を示
す概略図である。

【図２】本発明の液体制御弁装置の一実施の形態である
バルブユニットを示す断面図である。

【図３】図２におけるIII −III 線に沿う断面図であ
る。

【図４】（ａ）は図２におけるIV−IV線に沿う断面図で
あり、（ｂ）はチューブ状弁体が変形した状態における
同図（ａ）の要部を示す断面図である。

【図５】（ａ）は図２におけるＶ−Ｖ線に沿う断面図で
あり、（ｂ）はチューブ状弁体が変形した状態における
同図（ａ）の要部を示す断面図である。

【図６】チューブ状弁体を示す斜視図である。

【図７】他のチューブ状弁体を示す斜視図である。

【図８】（ａ），（ｂ）はそれぞれチューブ状弁体の変
形例を示す断面図である。

【図９】弁変形手段の他の具体例を示す概略構造図であ
る。

【符号の説明】

１０ バルブユニット １１，１２ ハウジング １３ ねじ部材 １４ 接続アダプター １４ａ 流入ポート（液体流入口） １５ リテーナ １６ 接続アダプター １６ａ 流出ポート（液体流出口） １７ リテーナ ２１，２２ フランジ部 ２３ チューブ状弁体 ２３ａ，２３ｂ 円弧部 ２３ｃ，２３ｄ 平坦部 ２４ フランジ部 ２５ 内側弁体 ２６ 貫通孔 ２７ 幅狭部 ２８，２９ テーパー部 ３１，３２ フランジ部 ３３ チューブ状弁体 ３３ａ，３３ｂ 円弧部 ３３ｃ，３３ｄ 平坦部 ３４ フランジ部 ３５ 内側弁体 ３６ 貫通孔 ３７ 中央部分 ３８，３９ テーパー部 ４０ スリーブ ４１，４２ 圧力室 ４３ アダプター ４３ａ 操作ポート ４４ アダプター ４４ａ 操作ポート ５１ ストッパ ５２ キャップ ５３ 支持筒体 ５４ 調整ねじ ５５ 調整駒 ５６ ノブ ５７ ロックナット

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体流入口と液体流出口とを有するハウ
   ジングと、 前記ハウジング内に配置され、前記液体流入口と前記液
   体流出口とを結び液体の流路を形成する樹脂製のチュー
   ブ状弁体と、 前記チューブ状弁体内に配置され、前記チューブ状弁体
   との間で流路の開度を変化させる内側弁体と、 前記ハウジング内に前記チューブ状弁体の外側に位置さ
   せて設けられ、前記チューブ状弁体を変形させる弁体変
   形手段と、 前記チューブ状弁体を前記弁体変形手段によって変形し
   にくい円弧部と、変形し易い平坦部とを有する断面異形
   に形成したことを特徴とする液体制御用弁装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の液体制御用弁装置であっ
   て、前記ハウジング内に前記チューブ状弁体を囲むよう
   にして形成された圧力室と、この圧力室内に供給され前
   記チューブ状弁体に圧力を作用させる圧力媒体とにより
   前記弁体変形手段を形成したことを特徴とする液体制御
   用弁装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の液体制御用弁装
   置であって、前記チューブ状弁体と前記内側弁体との間
   の流路を全開状態と全閉状態とに設定する開閉バルブと
   したことを特徴とする液体制御用弁装置。
4. 【請求項４】 請求項１または２記載の液体制御用弁装
   置であって、前記チューブ状弁体と前記内側弁体との間
   の流路の開度を変化させてその流路の容積を調整するサ
   ックバックバルブとしたことを特徴とする液体制御用弁
   装置。