KR20010087168A - 체크밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 항상 밸브체에 의한 정상적인 시일성능의 확보를 꾀할 수 있는 체크밸브에 관한 것으로서,

밸브체(1)와, 이 밸브체(1)를 밸브닫힘방향으로 눌러내림탄성지지하는 압축코일스프링(2)을 합성수지재로 일체성형하는 것을 특징으로 한다.

Description

체크밸브{CHECK VALVE}

본 발명은 왕복운동펌프 등에 부착하여 유체의 역류를 막아서 한 방향으로만 흐르게 하기 위해 이용하는 체크밸브에 관한 것이다.

예를 들면 반도체제조장치의 세정약액의 순환이나 이송 등에 사용되는 왕복운동펌프에는 이송액의 흡입이나 토출용의 체크밸브가 부착되어 있다. 그 체크밸브로서는 밸브체 그 자체의 중량만으로 폐지하는 자중식의 것과, 밸브케이싱내에 밸브체와, 이 밸브체를 밸브시트에 밀착하도록 눌러내림탄성지지하기 위한 압축코일스프링이 편입된 스프링식의 것이 있는데, 스프링식의 것이 자중식의 것보다도 시일성능이 우수하다는 이유로 이것이 주로 채용되고 있다(예를 들면 일본국 특허 공개공보91-179184호나 일본국 특허 공개공보98-196521호).

그런데 상기 스프링식의 체크밸브에서는 밸브체와 압축코일스프링이 별개체로 분리 가능하게 형성되어 있기 때문에 밸브의 작동시에 밸브체의 중심축에 대하여 압축코일스프링의 중심축이 어긋나기 쉽고, 최악의 경우 밸브체와 압축코일스프링이 벗겨지거나 하는 일이 있으며, 그 때문에 압축코일스프링에 의한 눌러내림탄성지지력이 밸브체에 적정하게 작용하지 않게 되어 밸브체에 의한 정상적인 시일성능의 저하 내지 상실을 초래한다는 문제가 발생하는 일이 있었다.

본 발명의 목적은 이와 같은 문제를 해소하기 위해 이루어진 것으로, 항상 밸브체에 의한 정상적인 시일성능을 확보할 수 있으며, 또 펌프 등으로의 편입작업의 능률화를 꾀할 수 있는 스프링식의 체크밸브를 제공하는 것에 있다.

본 발명은 밸브체와, 이 밸브체를 밸브닫힘방향으로 눌러내림탄성지지하는 압축코일스프링을 구비한 체크밸브에 있어서, 상기 밸브체와 압축코일스프링이 일체로 형성되어 있는 것에 특징을 갖는 것이다. 상기 밸브체와 압축코일스프링은 수지재로 일체성형할 수 있다.

일체성형된 밸브체와 압축코일스프링은 상호 위치어긋나거나 벗겨지는 일이 없기 때문에 압축코일스프링에 의한 눌러내림탄성지지력을 항상 밸브체에 적정하게 작용시킬 수 있으며, 항상 역류나 액누설을 확실하게 방지할 수 있는 안정된 시일성능을 발휘할 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예를 나타내는 체크밸브의 측면도.

도 2는 그 체크밸브의 정면도.

도 3은 도 2에 있어서의 A-A선단면도.

도 4는 다른 실시예를 나타내는 체크밸브의 측면도.

도 5는 도 1의 체크밸브를 부착한 왕복운동펌프의 종단면도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: 밸브체 2: 압축코일스프링

본 발명의 한 실시예를 도 1 내지 도 3에 의거하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 한 실시예를 나타내는 체크밸브의 측면도, 도 2는 그 체크밸브의 정면도, 도 3은 도 2에 있어서의 A-A선단면도이다.

본 발명에 관련되는 체크밸브(V)는 밸브체(1)와 압축코일스프링(2)을 금속 또는 합성수지로 일체로 형성하여 이루어진다.

밸브체(1)와 압축코일스프링(2)을 합성수지로 일체성형하는 경우, 그 성형재료로서는 예를 들면 내열성, 내약품성이 우수한 PTFE(폴리4불화에틸렌), PFA(퍼플로로알콕시) 등의 불소수지를 이용한다. 그 일체성형시에는 사출성형법에 의해 싼 값으로 양산할 수 있다.

합성수지제의 밸브체(1)는 끝을 가늘게 하는 절두원추형상으로, 압축코일스프링(2)은 원통형으로 각각 형성되는데, 이 밸브체(1)와 압축코일스프링(2)은 밸브체(1)의 후단부와 압축코일스프링(2)의 전단부가 이들 전후단부끼리간에 일체로 형성되는 복수개의 연결레버(3)를 통하여 양자(1, 2)의 중심축이 일치하도록 연결되는 형태로 일체성형된다.

도 1에 나타내는 바와 같이 밸브체(1)의 최대외경(D₁)보다도 압축코일스프링(2)의 외경(D₂)을 크게 설정하는 것, 도 4에 나타내는 바와 같이 밸브체(1)의 최대외경(D₁)과 압축코일스프링(2)의 외경(D₂)을 대략 동등하게 하는 것은 임의이다.

도 5는 상기 구성의 체크밸브(V)를 반도체제조장치의 세정약액의 순환이나 이송 등에 사용되는 왕복운동펌프(P)에 사용한 경우를 예시하고 있다.

왕복운동펌프(P)는 액체의 유입로(10) 및 유출로(11)를 구비한 펌프헤드구성벽(12)의 양측에 고정연설된 통상의 케이싱(13A, 13B)내에 각각 동일방향으로 신축변형 가능한 한쌍의 벨로즈(14, 14)를 서로 대향상태로 설치하고, 이들 한쌍의 벨로즈(14, 14)의 개구둘레틀부(14a, 14a)를 환상 고정판(15, 15)을 통하여 펌프헤드구성벽(12)에 기밀상으로 고정함으로써 케이싱(13A, 13B)의 내부공간을 액실(16a, 16a)과 공기실(16b, 16b)로 밀봉구획하여 이루어지는 한쌍의 펌프부(17A, 17B)가 구성되어 있다.

그리고 한쌍의 펌프부(17A, 17B)에 있어서의 한쌍의 벨로즈(14, 14)는 펌프헤드구성벽(12)을 관통하여 설치된 원주방향에 복수개의 연결로드(18)를 통하여 한쪽의 벨로즈(14)가 축소동작할 때 다른쪽의 벨로즈(14)가 신장동작하도록 연동연결되어 있다. 또 펌프헤드구성벽(12)에는 유입로(10) 및 유출로(11)에 연통하는 흡입구(19, 19) 및 토출구(20, 20)가 펌프부(17A, 17B)에 있어서의 액실(16a, 16a)에 각각 개구하도록 형성되어 있다. 각 흡입구(19) 및 토출구(20)에는 각각 불소수지 등의 수지재로 원통상으로 성형된 흡입용 및 토출용의 밸브케이싱(21, 22)이 비틀어넣음결합되는데, 그 때 각 밸브케이싱(21, 22)내에는 미리 상기 구성의 일체화된 밸브체(1)와 압축코일스프링(2)이 밸브체(1)를 각각의 밸브시트(21a, 22a)에 밀착시키도록 편입된다. 또한 케이싱(13A, 13B)의 저벽부(13a, 13b)에는 공기실(16b,16b)에 가압공기를 번갈아 공급하는 공기구멍(23, 23)이 형성되어 있다.

그런 경우에는 압축기 등의 가압공기공급장치(도시 생략)로부터 송급되는 가압공기를 번갈아 공기구멍(23, 23)을 통하여 공기실(16b, 16b)에 공급함으로써 한쌍의 벨로즈(14, 14)를 연결로드(18)를 통하여 가역적으로 신축변형구동시켜서 한쌍의 펌프부(17A, 17B)의 흡입행정과 토출행정을 번갈아 실시하게 하고, 이에 따라서 유입로(10)로부터 흡입용 밸브케이싱(21)내의 체크밸브(V)를 통하여 액실(16a, 16a)에 유입되는 액체가 토출용 밸브케이싱(22)내의 체크밸브(V)를 통하여 유출로(11)에 대략 연속적으로 토출한다는 펌프작용이 실시된다.

상기와 같이 왕복운동펌프(P)내에 편입된 체크밸브(V)는 밸브체(1)와 압축코일스프링(2)을 일체로 형성하고 있기 때문에 밸브체(1) 및 압축코일스프링(2)의 양자가 각 밸브케이싱(21, 22)내에서 상호 위치어긋나거나 벗겨지는 일이 없어지고, 따라서 압축코일스프링(2)에 의한 눌러내림탄성지지력을 항상 밸브체(1)에 적정하게 작용시킬 수 있으며, 항상 이송액의 역류나 액누설을 확실하게 방지할 수 있어서 정량보냄의 신뢰성을 향상할 수 있다.

또 각 밸브케이싱(21, 22)내에는 밸브체(1)를 편입하는 동시에 압축코일스프링(2)을 편입할 수 있기 때문에 그들을 개개로 편입하는 것에 비하여 능률 좋게 편입할 수 있다.

본 발명의 체크밸브에 따르면, 항상 안정된 시일성능을 발휘할 수 있으며, 또 펌프 등으로의 맞붙임작업면에 있어서도 유리하다는 효과를 이룬다.

Claims (2)

1. 밸브체와, 이 밸브체를 밸브닫힘방향으로 눌러내림탄성지지하는 압축코일스프링을 구비한 체크밸브에 있어서, 상기 밸브체와 압축코일스프링이 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 체크밸브.
2. 제 1 항에 있어서,

   밸브체와 압축코일스프링이 수지재로 일체성형되어 있는 것을 특징으로 하는 체크밸브.