JP2001222323A - 振動モータを用いた位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 既存の超音波モータを用いた光ファイバ切換
装置は、小型、可動ステージの整定時間の短縮化、さら
には可動ステージの位置決め精度向上をいずれも図れな
い。 【解決手段】 （ｉ）振動子３１、及び駆動力取出部３
７ａ〜３７ｂ’を介して加圧接触して直線的に移動する
移動子３２を有し、移動子３２の移動方向と平行な方向
へ振動する１次の縦振動と、加圧方向と平行な方向へ振
動する４次の屈曲振動とを励振する超音波モータ３３
と、（ｉｉ）移動子３２に固定されて加圧方向と平行な
方向へ向けて延設されるとともに、移動子３２に固定さ
れる移動子取付面３４ａと移動子取付面３４ａとは異な
るとともに中空部３４ｄ及び切欠き部３４ｅが形成され
た搭載面３４ｂとを有し、さらに移動子３２の移動方向
と平行な方向へ移動自在に支持される可動ステージ３４
とを備える位置決め装置３０である。移動子３２のうち
の駆動力取出部３７ａ〜３７ｂ’との非接触部の厚さ
が、接触部の厚さよりも小さい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動モータを用い
た位置決め装置に関する。具体的には、本発明は、例え
ば光ファイバ等の情報伝送路の切換装置に適用するのに
好適な、例えば超音波モータ等の振動モータを用いた位
置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、光ファイバや電気的な信号線さ
らには磁気的な信号線等といった各種の情報伝送路を切
り替えるために、情報伝送路切換装置が用いられる。こ
の情報伝送路切換装置は、一般的に、入力側の情報伝送
路及び出力側の情報伝送路それぞれの端部に設けられた
切換端子同士を、所定距離だけ離して互いに対向配置さ
せること（以下、本明細書では「軸芯合わせ」とい
う。）により、入力側の情報伝送路から出力側の情報伝
送路への情報の伝送を行う。従来、この情報伝送路切換
装置において切換端子を駆動させるための切換端子駆動
機構には、電気的なステップモータや、サーボモータと
リニアステージとの組合せ、さらには電磁石とリニアス
テージとの組合せ等が、用いられてきた。

【０００３】しかし、これらの切換端子駆動機構に用い
られる電気的なステップモータ等の開発は既に尽くされ
た感があり、その寸法や重量の点でよりいっそうの小型
化や軽量化を図ることは難しかった。このため、情報伝
送路切換装置の全体の小型化や軽量化も、殆ど限界に達
していた。

【０００４】そこで、特開平６−３４８９７号公報に
は、切換端子駆動機構に超音波モータを用いることが提
案されている。図９は、この公報により開示された情報
伝送路切換装置１の構成を示す説明図であって、図９
（Ａ）は全体の構成を示す斜視図、図９（Ｂ）は図９
（Ａ）における出力側ホルダ５を抽出して示す斜視図、
図９（Ｃ）は出力側ホルダ５の内部を走行する端末部品
８を示す説明図である。

【０００５】図９（Ａ）に示すように、この情報伝送路
切換装置１は、入力側の情報伝送路２を支持する入力側
ホルダ３と、出力側の情報伝送路４を支持する出力側ホ
ルダ５と、入力側の情報伝送路２及び出力側の情報伝送
路４それぞれの先端に設けられた切換端子同士（図示し
ない。）の軸芯合わせを行う位置合わせ装置６とを有す
る。入力側ホルダ３及び出力側ホルダ５それぞれの内部
には、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、情報伝
送路２、４の延設方向へ向けて開口した複数の移動スペ
ース７が設けられる。図９（Ｃ）に示すように、各移動
スペース７の内部には、超音波振動を発生する圧電セラ
ミックス９ａ〜９ｄが四隅に配置された直方体型の端末
部品８が移動スペース７の内面に加圧接触した状態で配
置される。そして、端部から離れた中間部を端末部品８
によって支持された情報伝送路２、４が各移動スペース
７を貫通する。

【０００６】各圧電セラミックス９ａ〜９ｄは、適当な
駆動信号を入力されることにより、超音波振動を発生す
る。これにより、端末部品８は、情報伝送路２、４の中
間点を支持しながら、図９（Ａ）における両矢印方向へ
移動する。端末部品８の移動に伴って、情報伝送路２、
４の先端に設けられた切換端子も移動する。そして、情
報伝送路２、４の先端に設けられた切換端子同士の軸芯
合わせが、位置合わせ装置６の内部で行われる。この軸
芯合わせにより、情報伝送路２の切換端子と、情報伝送
路４の切換端子とは、数μｍ程度の位置合わせ誤差の範
囲内で対向配置される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この情報伝送路切換装
置１では、入力側の情報伝送路２および出力側の情報伝
送路４それぞれの中間点を、端末部品８により支持す
る。しかし、各情報伝送路２、４は一般的に可撓性を有
するため、情報伝送路２、４の中間点から各切換端子が
装着される情報伝送路２、４の端部までの間で情報伝送
路２、４が屈曲変形してしまう。このため、この情報伝
送路切換装置１では、切換端子同士を数μｍ程度の位置
合わせ誤差の範囲内で対向配置させるためには、位置合
わせ装置６は不可欠であった。

【０００８】また、停止時に、端末部品８自体は所定の
位置で確かに停止するものの、各切換端子は、いずれ
も、端末部品８により支持される中間点から離れている
ため、位置合わせ装置６の内部において切換端子を支持
する部材（図示しない。）にブレーキ機構を設けて、所
定の位置で正確に停止させる必要もあった。

【０００９】このように、図９に示す従来の情報伝送路
切換装置１は、停止時にはその位置で保持される自己保
持性や高精度の位置決め性を有する超音波モータを用い
ているにもかかわらず、切換端子の位置合わせ装置６が
不可欠であったり、切換端子を支持する部材にブレーキ
機構を設ける必要があった。このため、この超音波モー
タを用いた情報伝送路切換装置１には、よりいっそうの
小型化や軽量化を図る余地があった。

【００１０】そこで、本出願人は、先に特願平１１−２
０３３６９号により、超音波モータを用いた情報伝送路
切換装置を提案した。図１０は、この提案にかかる情報
伝送路切換装置１０の構成例を、一部破断した状態で示
す斜視図である。

【００１１】この情報伝送路切換装置１０は、入力側の
情報伝送路１１ａの端部に設けられる切換端子１１と、
出力側の情報伝送路１２ａの端部に設けられる切換端子
１２と、切換端子１１を支持しながら、これらを略平行
に相対移動させ、情報伝送時には切換端子１１および切
換端子１２を対向配置させる超音波モータ１３を用いた
切換端子駆動機構１４とを備える。

【００１２】この超音波モータ１３は、収容枠１５ａお
よび基板１５ｂを有するベース部材１５と、コイルスプ
リング１６および振動子支持部材１７を有し収容枠１５
ａによって支持される加圧支持機構１８と、矩形平板状
の弾性体１９ａ及び圧電素子１９ｂを有して１次の縦振
動及び４次の屈曲振動を励振する振動子１９と、振動子
１９との間で相対運動を発生する移動子（相対運動部
材）２０と、レール部材２１ａ及びガイド部材２１ｂを
有して移動子２０を直線的に移動自在に支持するリニア
ガイド２１とを備える。切換端子１１は移動子２０に固
定されるとともに、切換端子１２は基板１５ｂに固定さ
れる。なお、この振動子１９は、例えば「第５回電磁力
関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集」の３９
３頁等により開示された、いわゆる異形モード縮退型の
振動子である。

【００１３】この情報伝送路切換装置１０は、超音波モ
ータ１３の構成要素である移動子２０及び基板１５ｂそ
れぞれに切換端子１１及び１２をいずれも直接固定する
ため、切換端子１１、１２同士を光学的に導通させるた
めの専用の位置合わせ機構やブレーキ機構を設ける必要
がない。このため、図９に示す情報伝送路切換装置１よ
りも、充分に小型化や軽量化を図ることができる。ま
た、この情報伝送路切換装置１０は、超音波モータ１３
が優れた起動停止特性を有することから、電磁モータを
用いた情報伝送路切換装置よりも、整定時間が短縮化さ
れることも期待される。

【００１４】しかし、本発明者らは、情報伝送路切換装
置のより一層の性能向上を図るためにさらに検討を重ね
た結果、この情報伝送路切換装置１０には以下に列記す
る課題があることがわかった。

【００１５】（課題１）情報伝送路切換装置１０は、図
１０に示すように、上方から下方に向けて順に、収容枠
１５ａ、加圧支持機構１８、振動子１９、移動子２０、
切換端子１１、１２および基板１５ｂを有する。このた
め、振動子１１と移動子２０との加圧方向と平行な方向
（図１０におけるＺ方向）への寸法が大きくなってしま
い、設置スペースが嵩む。このため、適用可能な搭載機
器が相当限られてしまう。

【００１６】（課題２）一般的に、超音波モータを用い
た各種の位置決め装置では、搭載対象を搭載する可動ス
テージを移動子に固定し、振動子により移動子及び可動
ステージをともに駆動する構成が、採用される。この場
合、この可動ステージの整定時間を短縮化するには、こ
の位置決め装置における移動系である移動子及び可動ス
テージそれぞれを軽量化することが有効である。

【００１７】しかし、特願平１１−２０３３６９号で
は、移動子２０や切換端子１１、さらには図示しない可
動ステージ等の軽量化については何ら言及していない。
このため、この情報伝送路切換装置１０では、要求され
る整定時間の長さによっては、この整定時間を満足でき
ないおそれがある。

【００１８】（課題３）縦振動及び屈曲振動を組み合わ
せた異形モード縮退型の振動子１９を有する超音波モー
タ１３は、振動子１９に発生した縦振動を屈曲振動によ
り移動子２０へ断続的に伝播する機能（以下、本明細書
では「クラッチ機能」という。）を有するため、移動子
２０は、いわば、屈曲振動により振動子１９によって断
続的に叩かれている状態にある。

【００１９】このため、移動子２０は、振動子１３によ
り叩かれることによる衝撃力によってその固有振動数で
振動し、さらに、移動子２０を固定する部材や可動ステ
ージ等もそれらの固有振動数で振動する。特に、軽量化
を目的とした薄肉化により可動ステージの移動子２０と
の固定部の剛性が高くない場合、超音波モータ１３のク
ラッチ機能に起因した可動ステージの振動、特に移動子
２０との固定面を基にした屈曲振動が顕著に発生してし
まう。このため、この情報伝送路切換装置１０では、こ
の振動に起因して、例えば光ファイバの軸芯合わせを行
うことができるような高精度の位置決めを行うことがで
きないおそれがある。

【００２０】本発明の第１の目的は、小型であること、
特に振動子と移動子との加圧方向に平行な方向への寸法
が小さいことから小さな設置スペースにも設置すること
ができる、例えば超音波モータ等の振動モータを用いた
位置決め装置を提供することである。また、本発明の第
２の目的は、この振動モータを用いた位置決め装置の移
動系を軽量化することにより、可動ステージの整定時間
を短縮化することである。さらに、本発明の第３の目的
は、このような軽量化を行っても、可動ステージに発生
する振動を抑制し、可動ステージの位置決め精度の低下
を抑制することである。

【００２１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明では、振
動子、及びこの振動子に加圧接触することにより振動子
との間で直線的な相対運動を行う相対運動部材を有する
振動モータと、相対運動部材に固定されて、振動子と相
対運動部材との加圧方向に略平行な方向へ向けて延設さ
れるとともに、相対運動の方向と略平行な方向へ移動自
在に支持される可動ステージとを備えることを特徴とす
る振動モータを用いた位置決め装置を提供する。

【００２２】請求項２の発明では、駆動力取出部を有す
る振動子、及びこの駆動力取出部を介して振動子に加圧
接触することにより振動子との間で直線的な相対運動を
行う相対運動部材を有する振動モータと、相対運動部材
に固定されるとともに、相対運動の方向と略平行な方向
へ移動自在に支持される可動ステージとを備え、相対運
動部材のうちの駆動力取出部との非接触部の厚さが、駆
動力取出部との接触部の厚さよりも小さいことを特徴と
する振動モータを用いた位置決め装置を提供する。

【００２３】請求項３の発明では、駆動力取出部を有す
る振動子、及びこの駆動力取出部を介して振動子に加圧
接触することにより振動子との間で直線的な相対運動を
行う相対運動部材を有する振動モータと、相対運動部材
に固定されて、振動子と相対運動部材との加圧方向と略
平行な方向へ向けて延設されるとともに、相対運動の方
向と略平行な方向へ移動自在に支持される可動ステージ
とを備え、相対運動部材のうちの駆動力取出部との非接
触部の厚さが、駆動力取出部との接触部の厚さよりも小
さいことを特徴とする振動モータを用いた位置決め装置
を提供する。

【００２４】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載された振動モータを用いた位
置決め装置において、可動ステージには、切欠き部及び
中空部のうちの少なくとも一方が形成されることを特徴
とする。

【００２５】請求項５の発明は、請求項４に記載された
振動モータを用いた位置決め装置において、可動ステー
ジが、相対運動部材に固定される第１の面とこの第１の
面とは異なる第２の面とを有し、切欠き部及び中空部の
うちの少なくとも一方が、第２の面に形成されることを
特徴とする。

【００２６】さらに、請求項６の発明は、請求項１から
請求項５までのいずれか１項に記載された振動モータを
用いた位置決め装置において、振動子が、相対運動の方
向と略平行な方向へ振動する第１の振動と、加圧方向と
略平行な方向へ振動する第２の振動とを励振することを
特徴とする。

【００２７】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明に
かかる振動モータを用いた位置決め装置の実施の形態
を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以
降の実施の形態の説明では、振動モータとして超音波の
振動域を利用した超音波モータを用いるとともに、本発
明にかかる位置決め装置を、光ファイバの切換装置に適
用した場合を例にとる。

【００２８】図１は、本実施形態の位置決め装置３０
を、一部が透視されるとともに簡略化された状態で示す
斜視図である。また、図２は図１におけるＡ矢視図であ
り、図３は図１におけるＢ矢視図である。

【００２９】図１〜図３にそれぞれ示すように、本実施
形態の位置決め装置３０は、超音波モータ３３と可動ス
テージ３４とを有する。以下、本実施形態の位置決め装
置３０のこれらの構成要素について、順次説明する。

【００３０】〔超音波モータ３３〕超音波モータ３３
は、振動子３１、移動子３２及び振動子固定部材４２を
有する。以下、これらについて順次説明する。

【００３１】（ｉ）振動子３１ 図４は、本実施形態における振動子３１及び移動子３２
それぞれの構成を示す斜視図である。また、図５は、振
動子３１の説明図であり、図５（Ａ）は上面図、図５
（Ｂ）は側面図、図５（Ｃ）は振動子３１に発生する二
つの異なる振動Ｌ１及びＢ４それぞれの波形例を示す説
明図である。

【００３２】図１〜図５にそれぞれ示すように、本実施
形態で用いる振動子３１は、弾性体３５と、弾性体３５
の一方の平面に装着された圧電体３６とを備える。

【００３３】弾性体３５は、例えば鉄鋼、ステンレス
鋼、リン青銅又はエリンバー材等といった共振先鋭度が
大きな金属材料により構成されることが望ましく、矩形
平板状に形成される。また、弾性体３５の各部の寸法
は、発生する１次の縦振動Ｌ１及び４次の屈曲振動Ｂ４
それぞれの固有振動数ｆ_L1、f _B4が略一致するように、
設定される。

【００３４】弾性体３５の一方の平面には、圧電体３６
が例えば接着により装着される。また、弾性体３５の他
方の平面には、弾性体３５の幅方向に２本の溝部が相対
運動方向（図２、図４及び図５それぞれにおける左右方
向）に関して所定距離だけ離れて設けられる。これらの
溝部に、横断面形状が矩形である各棒型の、高分子材等
を主成分とした摺動部材が嵌め込まれて装着され、突起
状に突出して装着される。高分子材としては、ＰＴＦ
Ｅ、ポリイミド樹脂、ポリアセタール、ＰＰＳさらには
ＰＥＥＫ等の高分子材料が例示される。

【００３５】そして、この摺動部材が駆動力取出部３７
ａ、３７ｂとして機能する。したがって、弾性体３５は
これら摺動部材からなる駆動力取出部３７ａ、３７ｂを
介して移動子３２に加圧接触する。

【００３６】また、図３に示すように、各駆動力取出部
３７ａ、３７ｂは、いずれも、振動子３１の幅方向に二
つに分割され、分割されたそれぞれの駆動力取出部３７
ａ、３７ａ’、３７ｂ、３７ｂ’が振動子３１の幅方向
の端部側に配置される。このように、本実施形態では、
各駆動力取出部３７ａ、３７ｂは、それぞれが２個の摺
動材により構成される。

【００３７】これらの駆動力取出部３７ａ、３７ｂは、
図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）に示すように、弾性体３５に
発生する４次の屈曲振動Ｂ４の４つの腹位置ｌ₁ 〜ｌ₄
のうちの外側に位置する二つの腹位置ｌ₁ 、ｌ₄ に一致
する位置にそれぞれ設けられる。なお、駆動力取出部３
７ａ、３７ｂは、屈曲振動Ｂ４の二つの腹位置ｌ₁ 、ｌ
₄ に正確に一致する位置に設けられる必要はなく、これ
らの腹位置ｌ₁ 、ｌ₄の近傍に設けられていてもよい。

【００３８】圧電体３６は、本実施形態ではＰＺＴ（チ
タンジルコン酸鉛）からなる一枚の薄板状の圧電素子に
より構成される。この圧電体３６には、図４及び図５に
示すように、Ａ相の駆動信号Ｖ_A が入力される入力領域
３６ａ、３６ｃと、Ａ相の駆動信号とは位相が約（π／
２）ずれたＢ相の駆動信号Ｖ_B が入力される入力領域３
６ｂ、３６ｄとが形成される。各入力領域３６ａ〜３６
ｄは、いずれも、図５（Ａ）〜図５（Ｃ）に示すよう
に、弾性体３５に発生する屈曲振動Ｂ４の５つの節位置
ｎ₁ 〜ｎ₅ により区画された４つの領域に連続して形成
される。すなわち、駆動信号の入力により変形する各入
力領域３６ａ〜３６ｄが、いずれも、不動点である節位
置ｎ₁ 〜ｎ₅ を跨がない。そのため、入力領域３６ａ〜
３６ｄの変形が節位置ｎ₁ 〜ｎ₅ によって抑制されるこ
とがない。これにより、各入力領域３６ａ〜３６ｄに入
力された電気エネルギを最大の効率で弾性体３５の変
形、すなわち機械エネルギへ変換することができる。

【００３９】また、屈曲振動Ｂ４の節位置ｎ₂ 、ｎ₄ に
は、振動子３１が発生する縦振動Ｌ１により電気エネル
ギを出力する検出領域３６ｐ、３６ｐ’が設けられる。
これにより、振動子３１が発生する縦振動Ｌ１の振動状
態がモニタされる。

【００４０】そして、図４、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）
に示すように、各入力領域３６ａ〜３６ｄと各検出領域
３６ｐ、３６ｐ’とは、それぞれの表面を、銀電極３８
ａ〜３８ｄ、３８ｐ、３８ｐ’により覆われる。これに
より、各入力領域３６ａ〜３６ｄへ独立して駆動信号を
入力したり、各検出領域３６ｐ、３６ｐ’から独立して
検出信号を出力することができる。なお、図面を簡略化
して理解を容易にするため、図１〜図３では、いずれ
も、銀電極３８ａ〜３８ｄ、３８ｐ、３８ｐ’は省略し
てある。

【００４１】各銀電極３８ａ〜３８ｄには、電気エネル
ギの授受を行うためのリード線３９ａ〜３９ｄが半田付
けされて接続され、また、銀電極３８ｐ、３８ｐ’に
は、同じくリード線（図示しない。）が半田付けされて
接続されている。

【００４２】なお、本実施形態では、図５（Ａ）に示す
ように、振動子３１はその平面の中央部を中心として点
対称となるように、形成される。これにより、各駆動力
取出部３７ａ、３７ａ’、３７ｂ、３７ｂ’に発生する
楕円運動を略同じ形状とすることができ、相対運動方向
の反転に伴う駆動差が殆ど解消される。

【００４３】図７を参照しながら後述するように、位置
決め装置３０の駆動制御装置６１から、圧電体３６の入
力領域３６ａ、３６ｃには、縦振動Ｌ１及び屈曲振動Ｂ
４それぞれの固有振動数に一致した周波数を有するＡ相
の駆動信号Ｖ_A が入力される。また、入力領域３６ｂ、
３６ｄには、Ａ相の駆動信号とは（π／２）の位相差を
有するＢ相の駆動信号Ｖ_B が入力される。すると、図５
（Ｃ）に示すように、弾性体３５には、相対運動方向
（図５における左右方向）へ振動する第１の振動である
１次の縦振動Ｌ１と、この相対運動方向に直交する上下
方向、すなわち振動子３１と移動子３２との加圧方向に
平行な方向へ振動する第２の振動である４次の屈曲振動
Ｂ４とが同時に発生する。発生した縦振動Ｌ１と屈曲振
動Ｂ４とは合成されて、駆動力取出部３７ａ、３７ａ’
と駆動力取出部３７ｂ、３７ｂ’とには、図５（Ｂ）に
例示するように、互いの位相がπずれた楕円運動がそれ
ぞれ発生する。これにより、振動子３１は加圧接触する
移動子３２との間で、縦振動Ｌ１の振動方向への相対的
な直線運動を発生する。なお、相対運動方向を逆向きに
するには、Ｂ相の駆動信号が、Ａ相の駆動信号に対して
（−π／２）の位相差を有するように設定すればよい。

【００４４】このように、本実施形態の振動子３１は、
相対運動の方向へ振動する第１の振動である縦振動Ｌ１
と、この第１の振動の振動方向と直交する方向へ振動す
る第２の振動である屈曲振動Ｂ４とを励振することによ
り、移動子３２との間で直線的な相対運動を発生する、
いわゆる異形モード縮退型の振動子である。

【００４５】（ｉｉ）移動子３２ 図１〜図５にそれぞれ示すように、本実施形態では、振
動子３１との間で相対運動を行う相対運動部材として、
移動子３２を用いる。図６は、移動子３２及び可動ステ
ージ３４を抽出して示す斜視図である。

【００４６】移動子３２は、ステンレス鋼、銅合金又は
アルミニウム合金等からなっており、可動ステージ３４
の移動子取付面３４ａに３本の平小ねじ４０により固定
される。

【００４７】本実施形態では、図６に示すように、移動
子３２の振動子３１との当接面のうちで、駆動力取出部
３７ａ、３７ａ’及び駆動力取出部３７ｂ、３７ｂ’の
いずれにも接触しない十字型の非接触部４１ｃは、駆動
力取出部３７ａ、３７ａ’及び駆動力取出部３７ｂ、３
７ｂ’のいずれかに接触する接触部４１ａ、４１ａ’、
４１ｂ、４１ｂ’よりも、肉薄に形成されている。これ
により、移動子３２の振動子３１との当接面は、図１〜
図４及び図６に示すように、十字型の溝状に形成され
る。すなわち、移動子３２の振動子３１との当接面の四
隅部には、突起部４１ａ〜４１ｂ’がそれぞれ形成され
る。なお、本実施形態では、後述するように、移動子３
２の振動子３１との当接面に十字型の溝を形成している
が、この溝の部分を節に振動し難いようになっている。
なぜなら、移動子３２は、断面２次モーメントが大きい
Ｌ型の断面形状を有する可動ステージ３４の移動子取付
面３４ａに装着されているため、移動子３２には曲げ変
形に伴った屈曲振動は発生しない。

【００４８】移動子３２は、図１〜図３を参照しながら
後述するように、振動子固定部材４２により加圧支持さ
れた振動子３１の駆動力取出部３７ａ、３７ａ’と駆動
力取出部３７ｂ、３７ｂ’とに、突起部４１ａ〜４１
ｂ’を介して適当な加圧力で加圧接触して配置される。

【００４９】これにより、振動子３１を起動すると、移
動子３２は、駆動力取出部３７ａ、３７ａ’と駆動力取
出部３７ｂ、３７ｂ’とに互いの位相がπだけずれてそ
れぞれ発生した楕円運動によって、突起部４１ａ〜４１
ｂ’を介して駆動される。このため、移動子３２は、後
述するベース基板６０上に固定されたリニアガイド５５
によって直線的に案内される可動ステージ３４ととも
に、直線的に駆動される。このように、本実施形態で
は、固定配置された振動子３１によって移動子３２が直
線的に駆動される。

【００５０】本実施形態では、移動子３２の振動子３１
との当接面に十字型の溝が形成されることにより、位置
決め装置３０の移動系の一部をなす移動子３２の軽量化
が図られている。これにより、移動子３２とともに移動
する可動ステージ３４の整定時間が短縮化される。

【００５１】また、移動子３２の振動子３１との接触面
に、振動子３１との接触状態を良好にするためにラップ
加工による鏡面仕上を施す場合、本実施形態では、突起
部４１ａ〜４１ｂ’の底面だけにこのラップ加工を施せ
ばよい。このため、ラップ加工の面積が低減され、ラッ
プ加工による鏡面仕上の加工時間を短縮化することがで
きる。

【００５２】さらに、突起部４１ａ〜４１ｂ’それぞれ
は、いずれも振動子３１よりも相当質量が小さいため、
これら突起部４１ａ〜４１ｂ’それぞれの固有振動数
は、振動子３１の超音波の振動数（例えば５０ｋＨＺ程
度）よりも高くなる。このため、振動子３１が発生する
振動が駆動力取出部３７ａ、３７ａ’及び駆動力取出部
３７ｂ、３７ｂ’を介して突起部４１ａ〜４１ｂ’に伝
播されても、突起部４１ａ〜４１ｂ’はいずれも、駆動
を害するような振動（低周波の振動）が発生し難くな
る。このため、振動子３１が発生した振動により可動ス
テージ３４が振動することも、抑制される。このため、
可動ステージ３４の振動が抑制され、可動ステージ３４
を高精度で位置決めすることができる。

【００５３】（ｉｉｉ）振動子固定部材４２ 図１〜図３に示すように、本実施形態の振動モータ３０
は、振動子固定部材４２を有する。振動子固定部材４２
は、Ｌ型の水平断面形状を有するブロック体であり、ア
ルミニウム合金やステンレス鋼等の金属材料からなる。
この振動子固定部材４２は、振動子支持部材４３と振動
子加圧部材４４とを備える。

【００５４】図１〜図３に示すように、振動子支持部材
４３は、アルミニウム合金やステンレス鋼等の金属材料
からなる薄板状部材であり、板厚の小さな屈曲部４３ａ
と、板厚が大きな支持部４３ｂとを有する。屈曲部４３
ａの一方の端部には二つの貫通孔が設けられており、振
動子支持部材４３は、これらの貫通孔をそれぞれ貫通す
る固定ねじ４３ｃによって、振動子固定部材４２の端面
に固定される。

【００５５】また、支持部４３ｂの振動子１１側の平面
には、ステンレス鋼製の二つの支持ピン４５ａ、４５ｂ
が、例えば接着や溶接等の適宜手段により固定される。
そして、支持ピン４５ａ、４５ｂは、振動子１１の両側
面の長手方向の略中央部に形成された半円上の二つの切
欠き部３１ａ、３１ｂ（図５（Ａ）参照。）に嵌め込ま
れて、例えば接着や溶接等の適宜手段により固定され
る。

【００５６】なお、振動子３１の一方の平面に装着され
た圧電体３６と支持部４３ｂとの間には、例えばプラス
チック等からなる絶縁部材４６が挟まれた状態で配置さ
れており、入力領域３６ｂ及び３６ｃの短絡が防止され
る。

【００５７】振動子３１は、振動子支持部材４３によっ
て、相対運動の方向（図２における左右方向）について
拘束されるとともに、屈曲部４３ａが円弧状に屈曲変位
することにより加圧方向（図２における上下方向）へ略
直線的に微小に変位できるように、支持される。

【００５８】一方、図１〜図３に示すように、振動子加
圧部材４４は、四隅部に加圧用突起４７ａ〜４７ｄを有
する板材である。加圧用突起４７ａ〜４７ｄを振動子加
圧部材４４の四隅部に配置したのは、電極３８ａ〜３８
ｄ、３８ｐ、３８ｐ’とリード線３９ａ〜３９ｄとの半
田付けの盛り上がり部との干渉を防止するためである。
加圧用突起４７ａ及び４７ｃは、振動子３１に発生する
屈曲振動Ｂ４の節位置ｎ₂ の位置と一致する位置に、ま
た、加圧用突起４７ｂ及び４７ｄは、振動子３１に発生
する屈曲振動Ｂ４の節位置ｎ₄ の位置と一致する位置
に、それぞれ設けられて、振動子３１に当接する。つま
り、加圧用突起４７ａ〜４７ｄは、いずれも、屈曲振動
Ｂ４の節位置ｎ₂ 、ｎ₄ を跨ぐ位置に形成されている。

【００５９】また、振動子支持部材４３の屈曲部４３ａ
には貫通孔４３ｄが設けられており、振動子加圧部材４
４の加圧用突起４７ｂ及び４７ｄは、いずれも、この貫
通孔４３ｄを貫通して振動子３１に装着された圧電体３
６に当接する。これにより、振動子支持部材４３と、振
動子加圧部材４４との接触が防止される。

【００６０】図２に示すように、振動子固定部材４２の
振動子加圧部材４４側の平面の略中央部に設けられた収
容孔４２ａには、加圧力発生部材４８が装着される。本
実施形態では、加圧力発生部材４８としてコイルばねを
用いた。なお、振動子固定部材４２の加圧力発生部材４
８との当接部には、ねじ部材４９がねじ止めされてお
り、ねじ部材４９のねじ込み深さを調節することによ
り、加圧力発生部材４８が発生する加圧力を適宜調節で
きるように構成されている。

【００６１】加圧力発生部材４８が発生した加圧力によ
り、振動子加圧部材４４は振動子３１の方向へ付勢され
る。これにより、加圧用突起４７ａ〜４７ｄにより振動
子３１は、駆動力取出部３７ａ〜３７ｂ’を介して、移
動子３２の突起部４１ａ〜４１ｂ’と適宜加圧力で加圧
接触する。

【００６２】振動子固定部材４２は、２本の取付けねじ
４２ｂによってベース基板６０に固定される。これによ
り、振動子３１及び移動子３２は、ベース基板６０の表
面から一定距離だけ離れて支持される。

【００６３】このように、本実施形態では、振動子支持
部材４３及び振動子加圧部材４４を備える振動子固定部
材４２により、振動子３１が支持される。

【００６４】すなわち、本実施形態の超音波モータ３３
は、駆動力取出部を有する振動子３１と、駆動力取出部
を介して振動子３１に加圧接触することによりこの振動
子３１との間で直線的な相対運動を行う移動子３２と、
振動子３１を移動子３２に加圧接触させる振動子固定部
材４２とを有する。

【００６５】なお、本実施形態では、振動子固定部材４
２に中継基板５０が固定されている。中継基板５０は、
リード線３９と、位置決め装置３０の駆動制御装置６１
に接続されるリード線５１とを接続し、駆動制御装置６
１からの駆動信号を圧電体３６に入力する。また、この
中継基板５０を、例えばガラス、アルミナ、セラミック
又はシリコーン等の熱伝導度が小さい絶縁材料により構
成した場合には、この中継基板５０に温度センサ（図示
しない。）を設けて駆動時の振動子３１の近辺の環境温
度を検出し、この検出値を駆動制御装置６１からの駆動
信号のフィードバック制御因子とすることにより、より
正確な制御を行うことができる。

【００６６】〔可動ステージ３４〕図１〜図３及び図６
に示すように、本実施形態の位置決め装置３０は、可動
ステージ３４を有する。

【００６７】可動ステージ３４は、例えばアルミニウム
合金のような軽金属材料により軽量に構成される。本実
施形態では、この可動ステージ３４は、移動子３２が固
定される第１の平面である移動子取付面３４ａと、移動
子取付面３４ａと略直交する第２の平面である搭載面３
４ｂとを有し、図３に示すように、Ｌ字状に屈曲して形
成される。このため、図３に示すように、相対運動の方
向に対しての垂直な面を断面として見たときの断面二次
モーメントが大きく、摺動面における曲げに対する剛性
が高い。したがって、移動子取付面３４ａは、振動子３
１が発生する第２の振動である屈曲振動Ｂ４による加圧
力を垂直に受けても、変形し難い。

【００６８】移動子取付面３４ａは、図６に示すよう
に、移動子３２を装着するための３本の平小ねじ４０を
ネジ止めするためのネジ穴以外は何も設けられず、一様
な面とされている。

【００６９】一方、搭載面３４ｂは、振動子３１及び移
動子３２の加圧方向、すなわち屈曲振動Ｂ４の振動方向
と平行な方向へ向けて延設されている。

【００７０】この搭載面３４ｂの下面の略中央部には、
４本のねじ５２によってガイド５３が固定される。ガイ
ド５３は、ベース基板６０に相対運動の方向と平行な方
向へ向けて敷設されたレール５４に嵌合し、レール５４
とともにリニアガイド５５を構成する。このため、可動
ステージ３４は、リニアガイド５５により相対運動の方
向と平行な方向へ移動自在に支持される。

【００７１】搭載面３４ｂには、光ファイバ５６ａの切
換端子５６が搭載される。この切換端子５６は、例えば
樹脂材料により直方体状に形成され、入力側の光ファイ
バ５６ａの端部を貫通させた状態で固定されて、装着さ
れる。

【００７２】本実施形態では、光ファイバ５６ａとし
て、中心部に設けられた屈折率がｎ₁であるコアと、コ
アの外周に設けられた屈折率がｎ₂ （ｎ₂ ＜ｎ₁ ）のク
ラッディングと、クラッディングの外周に設けられたコ
アやクラッディングに比較して格段に光吸収の多い材料
からなるジャケットとを有するステップ形光ファイバを
用いた。

【００７３】また、ベース基板６０に固定された支持台
５７に、４本の光ファイバ５８ａそれぞれの４つの切換
端子５８が、光ファイバ５６ａの切換端子５６と同じ設
置高さになるようにして搭載される。各切換端子５８
は、いずれも、例えば樹脂材料により直方体状に形成さ
れ、４本の光ファイバ５８ａの端部をそれぞれ貫通させ
た状態で固定されて、装着される。切換端子５８それぞ
れの一つの端面には、各光ファイバ５８ａの端面が同一
平面をなして、配置される。この光ファイバ５８ａは、
光ファイバ５６ａと同様に、ステップ形光ファイバであ
る。

【００７４】なお、図１〜図３では、図面を簡略化して
理解を容易にするために、切換端子５８が４つ並設され
た場合を示すが、本発明はこれに限られるものではな
く、２つ、３つ又は５つ以上の切換端子が並設された場
合にも、同様に適用される。

【００７５】なお、ベース基板６０には、透過型のエン
コーダ５９の検出部を構成する発光部５９ａ及び受光部
５９ｂが、可動ステージ３４の縦フランジ３４ｃに固定
されたスケール部５９ｃを挟んで、対向して配置され
る。このエンコーダ５９により、可動ステージ３４の現
位置が検出される。検出値は、位置決め装置３０の駆動
制御装置６１へ出力され、超音波モータ３３の駆動が制
御される。

【００７６】本実施形態では、可動ステージ３４を、移
動子取付面３４ａ及び搭載面３４ｂによりＬ字状に屈曲
して形成することにより、剛性を高めてある。また、搭
載面３４ｂが移動子取付面３４ａに対して垂直に張り出
している構造である。このため、搭載面３４ｂに、軽量
化のための切欠き部や中空部を設けても、移動子取付面
３４ａの曲げ剛性を充分に保つことができ、振動モータ
３３のクラッチ機能による衝撃を受けても、移動子取付
面３４ａが変形することに起因した振動が、搭載面３４
ｂに生じ難い（特に曲げ）構造である。したがって、本
実施形態では、搭載面３４ｂのうちで、切換端子５６の
搭載部及びガイド５３装着部以外の部分、すなわち、受
光部５９ｂの上方に位置する部分と、発光部５９ａと支
持台５７との間とに、それぞれ中空部３４ｄ、切欠き部
３４ｅをそれぞれ設けてある。このため、本実施形態に
よれば、振動モータ３３のクラッチ機能に振動を可動ス
テージ３４に生じることなく、可動ステージ３４を軽量
化することができる。

【００７７】なお、本実施形態では、図１〜図３及び図
６に示すように、中空部３４ｄ及び切欠き部３４ｅを、
いずれも、リニアガイド５５の装着部に関して振動子取
付面３４ａと反対側に位置する可動ステージ３４の平面
に設けてあるため、可動ステージ３４の重心位置を、リ
ニアガイド５５のレール５４の直上に近づけることがで
きる。これにより、停止の直前における可動ステージ３
４に作用するヨー慣性モーメントを低減できる。このた
め、本実施形態によれば、可動ステージ３４をその重心
回りに回転する変位を生じることなく停止でき、可動ス
テージ３４の位置決め精度を向上できる。

【００７８】このように、可動ステージ３４は、移動子
３２に固定されて振動子３１と移動子３２との加圧方向
に略平行な方向へ向けて延設されるとともに、リニアガ
イド５５により振動子３１と移動子３２との相対運動の
方向と略平行な方向へ直線的に移動自在に支持される。

【００７９】図７は、本実施形態の位置決め装置３０の
駆動制御装置６１の一例を示すブロック図である。

【００８０】駆動制御装置６１の発振器６２から、振動
子３１の縦振動Ｌ１及び屈曲振動Ｂ４それぞれに相当す
る周波数の信号が、出力される。発振器６２からの出力
は移相器６３によって位相が（π／２）異なる二種の信
号に分岐されて、駆動信号切換器６４に入力される。駆
動信号切換器６４は、振動子３１の駆動状態（粗動、微
動）に応じて、１種又は２種の信号を出力する。

【００８１】駆動信号切換器６４からの一方の出力は増
幅器６５によって増幅された後に、Ａ相の駆動信号Ｖ_A
として入力領域３６ａ、３６ｃの銀電極３８ａ、３８ｃ
へ印加される。また、他方の出力は増幅器６６によって
増幅された後に、Ｂ相の駆動信号Ｖ_B として入力領域３
６ｂ、３６ｄの銀電極３８ｂ、３８ｄへ印加される。こ
れにより、振動子３１は励振し、駆動力取出部３７ａ〜
３７ｂ’を介して加圧接触する移動子３２と、この移動
子３２に固定された可動ステージ３４とを、ともに直線
的に駆動する。

【００８２】本実施形態では、エンコーダ５９により直
線的に移動する可動ステージ３４の位置が検出され、エ
ンコーダ５９からの検出値が制御部６７に入力される。
制御部６７は、この検出値の値に応じて、駆動信号切換
器６４に制御信号Ｓ₁ を出力して振動子３１の駆動状態
を粗動及び微動の２段階に切り替えるとともに、発振器
６２に制御信号Ｓ₂ を出力する。これにより、振動子３
１の振動振幅が所定の大きさに制御され、可動ステージ
３４の速度が制御される。また、可動ステージ３４が所
定の位置まで駆動された場合には、制御部６７は、駆動
停止の制御信号Ｓ₁ 、Ｓ₂ を出力し、これにより、振動
子３１の振動が止まり、可動ステージ３４は停止する。

【００８３】この本実施形態の位置決め装置３０によれ
ば、以下に列記する効果が奏せられる。

【００８４】（１）可動ステージ３４を、振動子３１と
移動子３２との加圧方向に略平行な方向へ向けて延設さ
れた状態で移動子３２に固定したため、振動子固定部材
４２、振動子３１、移動子３２及び可動ステージ３４を
いずれもこの方向について並設して配置できる。このた
め、ベース基板６０に直交する方向に関する位置決め装
置３０の寸法をできるだけ抑制できる。このため、小型
であることから小さな設置スペースにも設置することが
できる位置決め装置３０を提供できる。

【００８５】（２）移動子３２のうちの駆動力取出部３
７ａ〜３７ｂ’との非接触部４１ｃの厚さを、駆動力取
出部３７ａ〜３７ｂ’との接触部４１ａ〜４１ｂ’の厚
さよりも小さくしたため、移動子３２を軽量化できる。
また、可動ステージ３４に、中空部３４ｄ及び切欠き部
３４ｅを形成したため、可動ステージ３４を軽量化でき
る。したがって、これらの相乗的効果により、移動子３
２及び可動ステージ３４をともに軽量化でき、可動ステ
ージ３４の整定時間を短縮化することができる。

【００８６】（３）移動子３２のうちの駆動力取出部３
７ａ〜３７ｂ’との非接触部４１ｃの厚さを、駆動力取
出部３７ａ〜３７ｂ’との接触部４１ａ〜４１ｂ’の厚
さよりも小さくしたため、突起部４１ａ〜４１ｂ’への
ラップ加工の加工時間を低減できる。

【００８７】（４）移動子３２のうちの駆動力取出部３
７ａ〜３７ｂ’との非接触部４１ｃの厚さを、駆動力取
出部３７ａ〜３７ｂ’との接触部４１ａ〜４１ｂ’の厚
さよりも小さくしたため、振動子３１が発生した振動に
起因して可動ステージ３４が振動することを抑制でき
る。また、可動ステージ３４に、移動子３２に固定され
る振動子取付け面３４ａと搭載面３４ｂとを設けたた
め、搭載面３４ｂに中空部３４ｄ及び切欠き部３４ｅを
形成しても、振動子３１が発生した振動に起因して可動
ステージ３４が振動することを抑制できる。さらに、中
空部３４ｄ及び切欠き部３４ｅを、いずれも、リニアガ
イド５５の装着部に関して振動子取付面３４ａと反対側
に位置する可動ステージ３４の平面に設けることによ
り、可動ステージ３４をその重心回りに回転する変位を
生じることなく停止できる。したがって、これらの相乗
的効果により、可動ステージ３４の位置決め精度を向上
できる。

【００８８】このため、本実施形態によれば、小型であ
り、整定時間が短く、さらに±１μｍ程度の位置決め精
度を有することから、光ファイバの切換装置に充分適用
できる位置決め装置３０を提供できる。

【００８９】（第２実施形態）次に、第２実施形態を説
明する。なお、本実施形態の説明では、前述した第１実
施形態と相違する部分を説明し、共通する部分は同一の
図中符号を付すことにより重複する説明を適宜省略す
る。

【００９０】図８は、本実施形態の位置決め装置３０−
１の上面図である。本実施形態の位置決め装置３０−１
が、第１実施形態の位置決め装置３０と相違するのは、
可動ステージ３４−１の形状である。

【００９１】すなわち、図８に示すように、可動ステー
ジ３４−１は、切換端子５６を、搭載面３４−１ａのう
ちでリニアガイド５５の直上に位置する位置に搭載す
る。このため、この分だけ、可動ステージ３４−１を小
型化してあるとともに、中空部３４−１ｄの面積を大き
くとってある。

【００９２】なお、図８では省略してあるが、切換端子
５８は、ベース基板６０に固定された適当な支持台に搭
載されて、切換端子５６の正面に対向配置される。

【００９３】本実施形態の位置決め装置３０−１によれ
ば、第１実施形態の位置決め装置３０と同一の効果を奏
するとともに、可動ステージ３４−１をより軽量化で
き、可動ステージ３４−１の整定時間をさらに短縮でき
る。

【００９４】（変形形態）各実施形態の説明では、振動
モータが超音波モータである場合を例にとった。しか
し、本発明は超音波モータには限定されず、超音波以外
の他の振動域を利用した振動モータについても、等しく
適用される。

【００９５】また、各実施形態の説明では、本発明にか
かる位置決め装置を光ファイバの切換装置に適用した場
合を例にとった。しかし、本発明は光ファイバの切換装
置には限定されず、各種の位置決め装置についても等し
く適用される。

【００９６】また、各実施形態の説明では、振動子と移
動子との間で発生する相対運動の方向と略平行な方向へ
振動する第１の振動である１次の縦振動と、振動子と移
動子との加圧方向と略平行な方向へ振動する第２の振動
である４次の屈曲振動とを励振する異形モード縮退型の
振動子を用いた場合を例にとった。しかし、本発明で用
いる振動子は縦振動及び屈曲振動それぞれの振動の次数
には限定されない。例えば、１次の縦振動と２次の屈曲
振動とを励振する振動子や、１次の縦振動と６次の屈曲
振動とを励振する振動子、さらには３次の縦振動と８次
の屈曲振動とを励振する振動子等も、同様に用いること
ができる。

【００９７】また、本発明で用いる振動子は、縦振動及
び屈曲振動の組合せにも限定されず、この組合せ以外の
異形モード縮退型の振動子や、同形モード縮退型の振動
子であっても、同様に適用することができる。

【００９８】また、各実施形態の説明では、振動子が圧
電体を備える場合を例にとった。しかし、本発明は圧電
体には限定されず、例えば電歪素子等の電気エネルギ及
び機械エネルギの相互変換素子であれば、等しく適用す
ることができる。

【００９９】また、各実施形態の説明では、振動子が４
つの駆動力取出部を有する場合を例にとった。しかし、
本発明はこの形態には限定されず、例えば、弾性体の幅
方向に２つの駆動力取出部が相対運動方向に関して所定
距離だけ離れて設けられた場合であっても、等しく適用
される。この場合、移動子の駆動力取出部との接触部は
矩形の平面形状を呈することから、移動子の振動子との
当接面には、各実施形態のような十字型の溝は形成され
ず、矩形平面形状の溝部が相対運動の方向の略中心部に
形成される。

【０１００】また、各実施形態の説明では、移動ステー
ジに切欠き部及び中空部がともに形成された場合を例に
とった。しかし、本発明はこの形態には限定されず、切
欠き部及び中空部の一方が形成されていてもよい。

【０１０１】さらに、各実施形態は、本発明を具現化し
た一例を示したものであり、本発明の作用効果を奏する
範囲で様々な変形が可能である。

【０１０２】

【発明の効果】請求項１、請求項３〜請求項６の発明に
より、小型であること、特に振動子と移動子との加圧方
向に平行な方向への寸法が小さいことから小さな設置ス
ペースにも設置することができる、例えば超音波モータ
等の振動モータを用いた位置決め装置を提供することが
できる。

【０１０３】また、請求項２〜請求項６の発明により、
振動モータを用いた位置決め装置の移動系を軽量化で
き、これにより、可動ステージの整定時間を短縮化する
ことができる。

【０１０４】さらに、請求項２〜請求項６の発明によ
り、可動ステージの軽量化を行っても、可動ステージに
発生する振動を抑制し、可動ステージの位置決め精度の
低下を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の位置決め装置を、一部が透視さ
れるとともに簡略化された状態で示す斜視図である。

【図２】図１におけるＡ矢視図である。

【図３】図１におけるＢ矢視図である。

【図４】第１実施形態における振動子及び移動子それぞ
れの構成を示す斜視図である。

【図５】第１実施形態における振動子の説明図であり、
図５（Ａ）は上面図、図５（Ｂ）は側面図、図５（Ｃ）
は振動子に発生する二つの異なる振動Ｌ１及びＢ４それ
ぞれの波形例を示す説明図である。

【図６】第１実施形態における移動子及び可動ステージ
を抽出して示す斜視図である。

【図７】第１実施形態の位置決め装置の駆動制御装置の
一例を示すブロック図である。

【図８】第２実施形態の位置決め装置の上面図である。

【図９】特開平６−３４８９７号公報により開示された
情報伝送路切換装置の構成を示す説明図であって、図９
（Ａ）は全体の構成を示す斜視図、図９（Ｂ）は図９
（Ａ）における出力側ホルダを抽出して示す斜視図、図
９（Ｃ）は出力側ホルダの内部を走行する端末部品を示
す説明図である。

【図１０】本出願人が特願平１１−２０３３６９号によ
り提案した情報伝送路切換装置の構成例を、一部破断し
た状態で示す斜視図である。

【符号の説明】

３０ 位置決め装置 ３１ 振動子 ３２ 移動子 ３３ 超音波モータ ３４ 可動ステージ ３４ａ 移動子取付面 ３４ｂ 搭載面 ３４ｄ 中空部 ３４ｅ 切欠き部 ３７ａ〜３７ｂ’駆動力取出部

フロントページの続き Ｆターム(参考） 5H303 AA05 BB01 BB07 BB11 BB17 CC01 CC03 DD14 EE03 EE07 FF09 GG11 HH01 5H680 AA19 BB01 BB13 BC10 DD02 DD13 DD23 DD34 DD74 EE22 FF23 FF24 FF30 FF33 FF36 GG02 GG27

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動子、及び該振動子に加圧接触するこ
   とにより前記振動子との間で直線的な相対運動を行う相
   対運動部材を有する振動モータと、 前記相対運動部材に固定されて、前記振動子と前記相対
   運動部材との加圧方向に略平行な方向へ向けて延設され
   るとともに、前記相対運動の方向と略平行な方向へ移動
   自在に支持される可動ステージとを備えることを特徴と
   する振動モータを用いた位置決め装置。
2. 【請求項２】 駆動力取出部を有する振動子、及び前記
   駆動力取出部を介して前記振動子に加圧接触することに
   より前記振動子との間で直線的な相対運動を行う相対運
   動部材を有する振動モータと、 前記相対運動部材に固定されるとともに、前記相対運動
   の方向と略平行な方向へ移動自在に支持される可動ステ
   ージとを備え、 前記相対運動部材のうちの前記駆動力取出部との非接触
   部の厚さは、該駆動力取出部との接触部の厚さよりも小
   さいことを特徴とする振動モータを用いた位置決め装
   置。
3. 【請求項３】 駆動力取出部を有する振動子、及び前記
   駆動力取出部を介して前記振動子に加圧接触することに
   より前記振動子との間で直線的な相対運動を行う相対運
   動部材を有する振動モータと、 前記相対運動部材に固定されて、前記振動子と前記相対
   運動部材との加圧方向と略平行な方向へ向けて延設され
   るとともに、前記相対運動の方向と略平行な方向へ移動
   自在に支持される可動ステージとを備え、 前記相対運動部材のうちの前記駆動力取出部との非接触
   部の厚さは、該駆動力取出部との接触部の厚さよりも小
   さいことを特徴とする振動モータを用いた位置決め装
   置。
4. 【請求項４】 前記可動ステージには、切欠き部及び中
   空部のうちの少なくとも一方が形成されることを特徴と
   する請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載さ
   れた振動モータを用いた位置決め装置。
5. 【請求項５】 前記可動ステージは、前記相対運動部材
   に固定される第１の面と該第１の面とは異なる第２の面
   とを有し、前記切欠き部及び中空部のうちの少なくとも
   一方は、前記第２の面に形成されることを特徴とする請
   求項４に記載された振動モータを用いた位置決め装置。
6. 【請求項６】 前記振動子は、前記相対運動の方向と略
   平行な方向へ振動する第１の振動と、前記加圧方向と略
   平行な方向へ振動する第２の振動とを励振することを特
   徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記
   載された振動モータを用いた位置決め装置。