JP2001238475A

JP2001238475A - 振動アクチュエータを用いた位置決め装置

Info

Publication number: JP2001238475A
Application number: JP2000049940A
Authority: JP
Inventors: Kazuyasu One; 一泰大根
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2000-02-25
Filing date: 2000-02-25
Publication date: 2001-08-31

Abstract

(57)【要約】【課題】小型であって小さな設置スペースにも設置す
ることができ、かつ、光ファイバの切換装置にも適用可
能な高精度の位置決めを、短い整定時間で行うことがで
きる、超音波アクチュエータを用いた位置決め装置が存
在しない。【解決手段】直線状のレール部材３２ａ及びガイド部
材３２ｂを有するリニアガイド３２と、ガイド部材３２
ｂに支持されてレール部材３２ａに対して直線的に移動
する可動ステージ３３と、可動ステージ３３の移動方向
と略直交する加圧方向へ可動ステージ３３を加圧するこ
とにより可動ステージ３３との間で相対運動を発生する
振動子３９を有する超音波アクチュエータ３４とを備え
る位置決め装置３０である。可動ステージ３３は、加圧
方向に略平行な方向へ延設された搭載面３３ｂを有する
とともに、レール部材３２ａ及びガイド部材３２ｂそれ
ぞれの嵌合方向は、振動子３９による可動ステージ３３
の加圧方向と略同じ方向である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動アクチュエー
タを用いた位置決め装置に関する。具体的には、本発明
は、例えば光ファイバ等の情報伝送路の切換装置に適用
するのに好適な、例えば超音波アクチュエータ等の振動
アクチュエータを用いた位置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、光ファイバや電気的な信号線さ
らには磁気的な信号線等といった各種の情報伝送路を切
り替えるために、情報伝送路切換装置が用いられる。こ
の情報伝送路切換装置は、一般的に、入力側の情報伝送
路及び出力側の情報伝送路それぞれの端部に設けられた
切換端子同士を、所定距離だけ離して互いに対向配置さ
せること（以下、本明細書では「軸芯合わせ」とい
う。）により、入力側の情報伝送路から出力側の情報伝
送路への情報の伝送を行う。従来、この情報伝送路切換
装置において切換端子を駆動させるための切換端子駆動
機構には、電気的なステップモータや、サーボモータと
リニアステージとの組合せ、さらには電磁石とリニアス
テージとの組合せ等が、用いられてきた。

【０００３】しかし、これらの切換端子駆動機構に用い
られる電気的なステップモータ等の開発は既に尽くされ
た感があり、その寸法や重量の点でよりいっそうの小型
化や軽量化を図ることは難しかった。このため、情報伝
送路切換装置の全体の小型化や軽量化も、殆ど限界に達
していた。

【０００４】そこで、特開平６−３４８９７号公報に
は、切換端子駆動機構に超音波アクチュエータを用いる
ことが提案されている。図１０は、この公報により開示
された情報伝送路切換装置１の構成を示す説明図であっ
て、図１０（Ａ）は全体の構成を示す斜視図、図１０
（Ｂ）は図１０（Ａ）における出力側ホルダ５を抽出し
て示す斜視図、図１０（Ｃ）は出力側ホルダ５の内部を
走行する端末部品８を示す説明図である。

【０００５】図１０（Ａ）に示すように、この情報伝送
路切換装置１は、入力側の情報伝送路２を支持する入力
側ホルダ３と、出力側の情報伝送路４を支持する出力側
ホルダ５と、入力側の情報伝送路２及び出力側の情報伝
送路４それぞれの先端に設けられた切換端子同士（図示
しない。）の軸芯合わせを行う位置合わせ装置６とを有
する。入力側ホルダ３及び出力側ホルダ５それぞれの内
部には、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示すように、
情報伝送路２、４の延設方向へ向けて開口した複数の移
動スペース７が設けられる。図１０（Ｃ）に示すよう
に、各移動スペース７の内部には、超音波振動を発生す
る圧電セラミックス９ａ〜９ｄが四隅に配置された直方
体型の端末部品８が移動スペース７の内面に加圧接触し
た状態で配置される。そして、端部から離れた中間部を
端末部品８によって支持された情報伝送路２、４が各移
動スペース７を貫通する。

【０００６】各圧電セラミックス９ａ〜９ｄは、適当な
駆動信号を入力されることにより、超音波振動を発生す
る。これにより、端末部品８は、情報伝送路２、４の中
間点を支持しながら、図１０（Ａ）における両矢印方向
へ移動する。端末部品８の移動に伴って、情報伝送路
２、４の先端に設けられた切換端子も移動する。そし
て、情報伝送路２、４の先端に設けられた切換端子同士
の軸芯合わせが、位置合わせ装置６の内部で行われる。
この軸芯合わせにより、情報伝送路２の切換端子と、情
報伝送路４の切換端子とは、数μｍ程度の位置合わせ誤
差の範囲内で対向配置される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この情報伝送路切換装
置１では、入力側の情報伝送路２および出力側の情報伝
送路４それぞれの中間点を、端末部品８により支持す
る。しかし、各情報伝送路２、４は一般的に可撓性を有
するため、情報伝送路２、４の中間点から各切換端子が
装着される情報伝送路２、４の端部までの間で情報伝送
路２、４が屈曲変形してしまう。このため、この情報伝
送路切換装置１では、切換端子同士を数μｍ程度の位置
合わせ誤差の範囲内で対向配置させるためには、位置合
わせ装置６は不可欠であった。

【０００８】また、停止時に、端末部品８自体は所定の
位置で確かに停止するものの、各切換端子は、いずれ
も、端末部品８により支持される中間点から離れている
ため、位置合わせ装置６の内部において切換端子を支持
する部材（図示しない。）にブレーキ機構を設けて、所
定の位置で正確に停止させる必要もあった。

【０００９】このように、図１０に示す従来の情報伝送
路切換装置１は、停止時にはその位置で保持される自己
保持性や高精度の位置決め性を有する超音波アクチュエ
ータを用いているにもかかわらず、切換端子の位置合わ
せ装置６が不可欠であったり、切換端子を支持する部材
にブレーキ機構を設ける必要があった。このため、この
超音波アクチュエータを用いた情報伝送路切換装置１に
は、よりいっそうの小型化や軽量化を図る余地があっ
た。

【００１０】そこで、本出願人は、先に特願平１１−２
０３３６９号により、超音波アクチュエータを用いた情
報伝送路切換装置を提案した。図１１は、この提案にか
かる情報伝送路切換装置１０の構成例を、一部破断した
状態で示す斜視図である。

【００１１】この情報伝送路切換装置１０は、入力側の
情報伝送路１１ａの端部に設けられる切換端子１１と、
出力側の情報伝送路１２ａの端部に設けられる切換端子
１２と、切換端子１１を支持しながら、これらを略平行
に相対移動させ、情報伝送時には切換端子１１および切
換端子１２を対向配置させる超音波アクチュエータを用
いた切換端子駆動機構１４とを備える。

【００１２】この超音波アクチュエータ１３は、収容枠
１５ａおよび基板１５ｂを有するベース部材１５と、コ
イルスプリング１６および振動子支持部材１７を有し収
容枠１５ａによって支持される加圧支持機構１８と、矩
形平板状の弾性体１９ａ及び圧電素子１９ｂを有して１
次の縦振動及び４次の屈曲振動を励振する振動子１９
と、レール部材２１ａ及びガイド部材２１ｂを有して移
動子２０を直線的に移動自在に支持するリニアガイド２
１とを備え、振動子１９と移動子（相対運動部材）２０
との間で相対運動を発生する。切換端子１１は移動子２
０に固定されるとともに、切換端子１２は基板１５ｂに
固定される。なお、この振動子１９は、例えば「第５回
電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集」
の３９３頁等により開示された、いわゆる異形モード縮
退型の振動子である。

【００１３】この情報伝送路切換装置１０は、超音波ア
クチュエータ１３の構成要素である基板１５ｂに切換端
子１２を直接固定するとともに移動子２０に切換端子１
１を直接固定するため、切換端子１１、１２の専用の位
置合わせ機構やブレーキ機構を設ける必要がない。この
ため、図１０に示す情報伝送路切換装置１よりも、充分
に小型化や軽量化を図ることができる。また、この情報
伝送路切換装置１０は、超音波アクチュエータ１３が優
れた起動停止特性を有することから、電磁モータを用い
た情報伝送路切換装置よりも、整定時間が短縮化される
ことも期待される。

【００１４】しかし、本発明者は、情報伝送路切換装置
のよりいっそうの性能向上を図るためにさらに検討を重
ねた結果、この情報伝送路切換装置１０には以下に列記
する課題があることがわかった。

【００１５】（課題１）情報伝送路切換装置１０は、図
１１に示すように、上方から下方に向けて順に、収容枠
１５ａ、加圧支持機構１８、振動子１９、移動子２０、
切換端子１１、１２および基板１５ｂを有する。このた
め、振動子１９と移動子２０との加圧方向と平行な方向
（図１１におけるＺ方向）への寸法が大きくなってしま
い、設置スペースが嵩む。このため、適用可能な搭載機
器がかなり限定されてしまう。

【００１６】（課題２）縦振動及び屈曲振動を組み合わ
せた異形モード縮退型の振動子１９を有する超音波アク
チュエータ１３は、振動子１９に発生した縦振動を屈曲
振動により移動子２０へ断続的に伝播する機能（以下、
本明細書では「クラッチ機能」という。）を有するた
め、移動子２０は、いわば、屈曲振動により振動子１９
によって断続的に叩かれている状態にある。このため、
移動子２０は、振動子１９により叩かれることによる衝
撃力によってその固有振動数で振動し、さらに、移動子
２０を固定する部材等もそれらの固有振動数で振動す
る。特に、軽量化を目的とした薄肉化により移動子２０
等の剛性が高くない場合、超音波アクチュエータのクラ
ッチ機能に起因した移動子２０の振動が顕著に発生して
しまう。

【００１７】一方、一般的に、光ファイバの切換装置で
は、軸芯合わせの位置精度は±１μｍ程度の高精度が要
求される。このため、この情報伝送路切換装置１０で
は、移動子２０の振動に起因して、例えば光ファイバの
軸芯合わせのような高精度の位置決めを行うことができ
ないおそれがある。位置決め精度を上げるには、移動子
２０が目標の停止範囲に入るまで移動子２０の停止制御
を繰り返して行えばよいが、これでは、位置決めに長時
間を要し、光ファイバの切換装置として要求される性能
を満足できないおそれがある。

【００１８】このため、この情報伝送路切換装置１０を
光ファイバの切換装置に適用するには、よりいっそう高
い位置決め精度を短い整定時間で得られる必要がある。

【００１９】本発明の第１の目的は、小型であること、
特に振動子の加圧方向に平行な方向への寸法が小さいこ
とから小さな設置スペースにも設置することができる、
例えば超音波アクチュエータ等の振動アクチュエータを
用いた位置決め装置を提供することである。また、本発
明の第２の目的は、振動子が発生する振動に起因した位
置決め精度の低下や位置決めの長時間化を抑制し、例え
ば光ファイバの切換装置にも適用可能な高精度の位置決
めを、短い整定時間で行うことが可能な振動アクチュエ
ータを用いた位置決め装置を提供することである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明は、振動子により
加圧される可動ステージを支持するリニアガイドのレー
ル部材及びガイド部材それぞれの嵌合方向を、振動子の
加圧方向と略一致させることにより、上記第１の目的及
び第２の目的を、ともに達成することができるという新
規かつ重要な知見に基づくものである。

【００２１】請求項１の発明では、直線状のレール部
材、及びレール部材に嵌合する移動部材をいずれも有す
る案内部材と、移動部材に支持されて、レール部材に対
して直線的に移動する可動ステージと、可動ステージの
移動方向と略直交する加圧方向へ可動ステージを加圧す
ることにより可動ステージとの間で相対運動を発生する
振動子を有する振動アクチュエータとを備え、可動ステ
ージが、加圧方向に略平行な方向へ延設された搭載面を
有するとともに、レール部材及び移動部材それぞれの嵌
合方向が、加圧方向と略同じ方向であることを特徴とす
る振動アクチュエータを用いた位置決め装置を提供す
る。

【００２２】請求項２の発明は、請求項１に記載された
振動アクチュエータを用いた位置決め装置において、案
内部材を構成するレール部材及び移動部材それぞれのう
ちの一方が凸形の断面形状を有するとともに、他方がこ
の凸形の断面形状に対して嵌合する凹形の断面形状を有
することを特徴とする。

【００２３】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２に記載された振動アクチュエータを用いた位置決め装
置において、移動部材が、その移動方向へ離間して少な
くとも２基設けられることを特徴とする。

【００２４】さらに、請求項４の発明は、請求項１から
請求項３までのいずれか１項に記載された振動アクチュ
エータを用いた位置決め装置において、振動子が、相対
運動の方向と略同じ方向へ振動する第１の振動と、加圧
方向と略同じ方向へ振動する第２の振動とを励振するこ
とを特徴とする。

【００２５】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明に
かかる振動アクチュエータを用いた位置決め装置の実施
の形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。な
お、以降の実施の形態は、振動アクチュエータが超音波
の振動域を利用した超音波アクチュエータである場合を
例にとって、説明する。

【００２６】図１は、本実施形態の位置決め装置３０
を、一部簡略化及び透視するとともに省略して示す斜視
図である。また、図２は、図１におけるＡ矢視図であ
る。さらに、図３は、図１におけるＢ矢視図である。

【００２７】図１〜図３に示すように、本実施形態の位
置決め装置３０は、ベース基板３１と、案内部材３２
と、可動ステージ３３と、超音波アクチュエータ３４
と、位置検出装置３５と、固定ステージ３６とを有す
る。以下、位置決め装置３０のこれらの構成要素を順次
説明する。

【００２８】〔ベース基板３１〕ベース基板３１は、位
置決め装置３０の各構成要素を搭載して固定する平板材
である。すなわち、ベース基板３１は、位置検出装置３
５と、固定ステージ３６と、敷設部材３７と、固定ブロ
ック４７とを、いずれも、その上面に搭載して固定す
る。

【００２９】ベース基板３１は、これらの各構成要素を
搭載するのに充分な剛性を有する材料により構成すれば
よく、特定の材料には限定されない。本実施形態のベー
ス基板３１は、以上のように構成される。

【００３０】〔案内部材３２〕ベース基板３１には、敷
設部材３７を介して、案内部材３２が支持される。本実
施形態では、案内部材３２として、レール部材３２ａ
と、移動部材であるガイド部材３２ｂとをともに有す
る、いわゆるリニアガイドを用いた。

【００３１】すなわち、レール部材３２ａは、図３に示
すような凸形の異形断面形状を有し、直線状に形成され
る。また、レール部材３２ａは、ベース基板３１の上面
に垂直に設置された敷設部材３７の縦面３７ａに敷設さ
れる。また、ガイド部材３２ｂは、このレール部材３２
ａと嵌合可能な凹形の断面形状を有し、レール部材３２
ａとの間に摺動するようにして嵌合する。これにより、
本実施形態では、レール部材３２ａとガイド部材３２ｂ
との嵌合方向は、図１〜図３におけるＹ方向となり、後
述するように、振動子３９による可動ステージ３３の加
圧方向と一致する方向に設定される。

【００３２】また、ガイド部材３２ｂは可動ステージ３
３の裏面に、例えばねじ止め等の適宜手段により固定さ
れる。ガイド部材３２ｂはレール部材３２ａの敷設方向
へ直線的に往復移動自在に配置されるため、このガイド
部材３２ｂに固定される可動ステージ３３も、レール部
材３２ａの敷設方向へ往復移動自在に支持される。

【００３３】なお、本実施形態では、レール部材３２ａ
が凸形の異形断面形状を有するとともにガイド部材３２
ｂがレール部材３２ａと嵌合可能な凹形の断面形状を有
する場合を例にとった。しかし、本発明はこの形態に限
定されるものではなく、この形態とは逆に、レール部材
３２ａが凹形の異形断面形状を有するとともにガイド部
材３２ｂがレール部材３２ａと嵌合可能な凸形の断面形
状を有するようにしてもよい。

【００３４】本実施形態では、案内部材３２としてリニ
アガイドを用いているため、可動ステージ３３の位置精
度を、向上できる。本実施形態の案内部材３２は、以上
のように構成される。

【００３５】〔可動ステージ３３〕可動ステージ３３
は、例えばアルミニウム合金のような軽金属材料により
軽量に構成される。本実施形態では、この可動ステージ
３３は、振動子３９が接触する第１の平面である振動子
接触面３３ａと、振動子接触面３３ａと略直交する第２
の平面である搭載面３３ｂとを有し、図３に示すよう
に、略Ｌ字状に屈曲して形成される。このため、相対運
動の方向に対しての垂直な面を断面として見たときの断
面二次モーメントが大きく、剛性が高い。したがって、
振動子接触面３３ａは、振動子３９が発生する第２の振
動である屈曲振動Ｂ４による加圧力を垂直に受けても、
変形し難い。これにより、搭載面３３ｂには、振動子３
９が発生する振動に起因した振動が発生し難い構造とな
っている。これにより、可動ステージ３３の停止位置精
度を向上できる。

【００３６】振動子接触面３３ａの外面のうちで振動子
３９と接触する平面には、振動子３９との接触状態を安
定に保つことにより振動子３９が発生する駆動力を効率
的に受けるため、ラップ加工による鏡面仕上を行われて
いる。

【００３７】一方、搭載面３３ｂは、振動子３９の加圧
方向、すなわち屈曲振動Ｂ４の振動方向と平行な方向へ
向けて延設されている。このため、振動子３９及び可動
ステージ３３の加圧方向と直交する方向への寸法を抑制
できる。

【００３８】この搭載面３３ｂの裏面の略中央部には、
前述したように、適宜手段によってガイド部材３２ｂが
固定される。このため、可動ステージ３３は、レール部
材３２ａの敷設方向へ往復移動自在に支持される。

【００３９】本実施形態では、搭載面３３ｂには、光フ
ァイバ３８ａの切換端子３８が搭載される。この切換端
子３８は、例えば樹脂材料により直方体状に形成され、
入力側の光ファイバ３８ａの端部を貫通させた状態で固
定されて、装着される。

【００４０】本実施形態では、光ファイバ３８ａとし
て、中心部に設けられた屈折率がｎ₁であるコアと、コ
アの外周に設けられた屈折率がｎ₂ （ｎ₂ ＜ｎ₁ ）のク
ラッディングと、クラッディングの外周に設けられたコ
アやクラッディングに比較して格段に光吸収の多い材料
からなるジャケットとを有するステップ形光ファイバを
用いた。本実施形態の可動ステージ３３は、以上のよう
に構成される。

【００４１】〔超音波アクチュエータ３４〕超音波アク
チュエータ３４は、振動子３９及び振動子固定部材４０
を有する。以下、これらについて順次説明する。

【００４２】（ｉ）振動子３９図４は、本実施形態における振動子３９の構成を示す斜
視図である。また、図５は、振動子３９の説明図であ
り、図５（Ａ）は上面図、図５（Ｂ）は側面図、図５
（Ｃ）は振動子３９に発生する二つの異なる振動Ｌ１及
びＢ４それぞれの波形例を示す説明図である。

【００４３】図１〜図５にそれぞれ示すように、本実施
形態で用いる振動子３９は、弾性体４１と、弾性体４１
の一方の平面に装着された圧電体４２とを備える。

【００４４】弾性体４１は、例えば鉄鋼、ステンレス
鋼、リン青銅又はエリンバー材等といった共振先鋭度が
大きな金属材料により構成されることが望ましく、矩形
平板状に形成される。また、弾性体４１の各部の寸法
は、発生する１次の縦振動Ｌ１及び４次の屈曲振動Ｂ４
それぞれの固有振動数ｆ_L1、f _B4が略一致するように、
設定される。

【００４５】弾性体４１の一方の平面には、圧電体４２
が例えば接着により装着される。また、弾性体４１の他
方の平面には、弾性体４１の幅方向に２本の溝部が相対
運動方向（図２、図４及び図５それぞれにおける左右方
向）に関して所定距離だけ離れて設けられる。これらの
溝部に、横断面形状が矩形である各棒型の、高分子材等
を主成分とした摺動部材が嵌め込まれて装着され、突起
状に突出して装着される。高分子材としては、ＰＴＦ
Ｅ、ポリイミド樹脂、ポリアセタール、ＰＰＳさらには
ＰＥＥＫ等の高分子材料が例示される。

【００４６】そして、この摺動部材が駆動力取出部４３
ａ、４３ｂとして機能する。したがって、弾性体４１は
これら摺動部材からなる駆動力取出部４３ａ、４３ｂを
介して、可動ステージ３３の振動子接触面３３ａに加圧
接触する。

【００４７】また、図３に示すように、各駆動力取出部
４３ａ、４３ｂは、いずれも、振動子３９の幅方向に二
つに分割され、分割されたそれぞれの駆動力取出部４３
ａ、４３ａ’、４３ｂ、４３ｂ’が振動子３９の幅方向
の端部側に配置される。このように、本実施形態では、
各駆動力取出部４３ａ、４３ｂは、それぞれが２個の摺
動材により構成される。

【００４８】これらの駆動力取出部４３ａ、４３ｂは、
図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）に示すように、弾性体４１に
発生する４次の屈曲振動Ｂ４の４つの腹位置ｌ₁ 〜ｌ₄
のうちの外側に位置する二つの腹位置ｌ₁ 、ｌ₄ に一致
する位置にそれぞれ設けられる。なお、駆動力取出部４
３ａ、４３ｂは、屈曲振動Ｂ４の二つの腹位置ｌ₁ 、ｌ
₄ に正確に一致する位置に設けられる必要はなく、これ
らの腹位置ｌ₁ 、ｌ₄の近傍に設けられていてもよい。

【００４９】圧電体４２は、本実施形態ではＰＺＴ（チ
タンジルコン酸鉛）からなる一枚の薄板状の圧電素子に
より構成される。この圧電体４２には、図４及び図５に
示すように、Ａ相の駆動信号Ｖ_A が入力される入力領域
４２ａ、４２ｃと、Ａ相の駆動信号とは位相が約（π／
２）ずれたＢ相の駆動信号Ｖ_B が入力される入力領域４
２ｂ、４２ｄとが形成される。各入力領域４２ａ〜４２
ｄは、いずれも、図５（Ａ）〜図５（Ｃ）に示すよう
に、弾性体４１に発生する屈曲振動Ｂ４の５つの節位置
ｎ₁ 〜ｎ₅ により区画された４つの領域に連続して形成
される。すなわち、駆動信号の入力により変形する各入
力領域４２ａ〜４２ｄが、いずれも、不動点である節位
置ｎ₁ 〜ｎ₅ を跨がない。そのため、入力領域４２ａ〜
４２ｄの変形が節位置ｎ₁ 〜ｎ₅ によって抑制されるこ
とがない。これにより、各入力領域４２ａ〜４２ｄに入
力された電気エネルギを最大の効率で弾性体４１の変
形、すなわち機械エネルギへ変換することができる。

【００５０】また、屈曲振動Ｂ４の節位置ｎ₂ 、ｎ₄ に
は、振動子３９が発生する縦振動Ｌ１により電気エネル
ギを出力する検出領域４２ｐ、４２ｐ’が設けられる。
これにより、振動子３９が発生する縦振動Ｌ１の振動状
態がモニタされる。

【００５１】そして、図４、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）
に示すように、各入力領域４２ａ〜４２ｄと各検出領域
４２ｐ、４２ｐ’とは、それぞれの表面を、銀電極４４
ａ〜４４ｄ、４４ｐ、４４ｐ’により覆われる。これに
より、各入力領域４２ａ〜４２ｄへ独立して駆動信号を
入力したり、各検出領域４２ｐ、４２ｐ’から独立して
検出信号を出力することができる。なお、図面を簡略化
して理解を容易にするため、図１〜図３では、いずれ
も、銀電極４４ａ〜４４ｄ、４４ｐ、４４ｐ’は省略し
てある。

【００５２】各銀電極４４ａ〜４４ｄには、電気エネル
ギの授受を行うためのリード線４５ａ〜４５ｄが半田付
けされて接続され、また、銀電極４４ｐ、４４ｐ’に
は、同じくリード線（図示しない。）が半田付けされて
接続されている。

【００５３】本実施形態では、振動子３９の両側面の長
手方向の中央部に、それぞれ、貫通孔を有する支持用突
起部４６ａ、４６ｂが設けられている。この支持用突起
部４６ａ、４６ｂの形成位置は、図５（Ｂ）及び図５
（Ｃ）に示すように、振動子３９が発生する縦振動Ｌ１
及び屈曲振動Ｂ４それぞれの節位置であるため、支持に
伴う振動の減衰が最小限に抑制される。

【００５４】なお、本実施形態では、図５（Ａ）に示す
ように、振動子３９はその平面の中央部を中心として点
対称となるように、形成される。これにより、各駆動力
取出部４３ａ、４３ａ’、４３ｂ、４３ｂ’に発生する
楕円運動を略同じ形状とすることができ、相対運動方向
の反転に伴う駆動差が殆ど解消される。

【００５５】図６を参照しながら後述するように、位置
決め装置３０の駆動制御装置６１から、圧電体４２の入
力領域４２ａ、４２ｃには、縦振動Ｌ１及び屈曲振動Ｂ
４それぞれの固有振動数に一致した周波数を有するＡ相
の駆動信号Ｖ_A が入力される。また、入力領域４２ｂ、
４２ｄには、Ａ相の駆動信号とは（π／２）の位相差を
有するＢ相の駆動信号Ｖ_B が入力される。すると、図５
（Ｃ）に示すように、弾性体４１には、相対運動方向
（図５における左右方向）へ振動する第１の振動である
１次の縦振動Ｌ１と、この相対運動方向に直交する上下
方向、すなわち振動子３９と可動ステージ３３との加圧
方向に平行な方向へ振動する第２の振動である４次の屈
曲振動Ｂ４とが同時に発生する。

【００５６】発生した縦振動Ｌ１と屈曲振動Ｂ４とは合
成されて、駆動力取出部４３ａ、４３ａ’と駆動力取出
部４３ｂ、４３ｂ’とには、図５（Ｂ）に例示するよう
に、互いの位相がπずれた楕円運動がそれぞれ発生す
る。これにより、振動子３９は加圧接触する可動ステー
ジ３３との間で、縦振動Ｌ１の振動方向への相対的な直
線運動を発生する。なお、相対運動方向を逆向きにする
には、Ｂ相の駆動信号が、Ａ相の駆動信号に対して（−
π／２）の位相差を有するように設定すればよい。

【００５７】このように、本実施形態の振動子３９は、
相対運動の方向へ振動する第１の振動である縦振動Ｌ１
と、振動子３９と可動ステージ３３との加圧方向と同じ
方向へ振動する第２の振動である屈曲振動Ｂ４とを励振
することにより、可動ステージ３３との間で直線的な相
対運動を発生する、いわゆる異形モード縮退型の振動子
である。

【００５８】（ｉｉ）振動子固定部材４０図１〜図３に示すように、振動子固定部材４０は、固定
ブロック４７と、加圧部材４８と、支持部材４９とを有
する。

【００５９】固定ブロック４７は、ベース基板３１に、
例えばねじ止め等の適宜手段により固定されるブロック
体である。固定ブロック４７の内部には、振動子３９の
加圧方向（図２における上下方向）に貫通した装着部が
設けられており、この装着部に、ねじ部４８ｂ及び加圧
部材であるコイルスプリング４８ａが設けられ、コイル
スプリング４８ａの先端に、略円錐状の加圧端子４８ｃ
が設けられている。この加圧端子４８ｃの先端が振動子
３９の中央部に当接する。このため、振動子３９は、コ
イルスプリング４８ａが発生するばね力により、加圧端
子４８ｃにより加圧される。このため、振動子３９の駆
動力取出部４３ａ〜４３ｂ’と可動ステージ３３の振動
子接触面３３ａとが適当な加圧力で加圧接触する。

【００６０】なお、ねじ部４８ｂのねじ込み位置を変更
することにより、コイルスプリング４８ａが発生するば
ね力が変更される。これにより、振動子３９の駆動力取
出部４３ａ〜４３ｂ’と可動ステージ３３の振動子接触
面３３ａとの間の加圧力を、適宜変更することができ
る。

【００６１】固定ブロック４７の振動子３９側の平面に
は、支持部材４９が設けられる。本実施形態では、支持
部材４９は、振動子３９と可動ステージ３３との加圧方
向と平行な方向へ向けて延設された２本の支持ピン４９
ａ、４９ｂを有する。支持ピン４９ａ、４９ｂは、振動
子３９に形成された支持用突起部４６ａ、４６ｂにそれ
ぞれ設けられた二つの貫通孔の間の間隔と同じ距離だけ
離れて、固定ブロック４７に適宜手段により固定され
る。また、支持ピン４９ａ、４９ｂは、支持用突起部４
６ａ、４６ｂにそれぞれ設けられた二つの貫通孔に、隙
間を有して嵌まり合う。

【００６２】このように、振動子３９は、加圧部材４８
により可動ステージ３３へ加圧されるとともに、支持部
材４９により加圧部材４８の加圧方向へは変位自在であ
るとともに相対運動の方向には拘束されて、固定ブロッ
ク４７に支持される。すなわち、振動子３９による可動
ステージ３３の加圧方向は、図１〜図３におけるＹ方向
となり、レール部材３２ａとガイド部材３２ｂとの嵌合
方向と同じ方向とされる。本実施形態の超音波アクチュ
エータ３４は、以上のように構成される。

【００６３】〔位置検出装置３５〕ベース基板３１に
は、可動ステージ３３の位置検出装置３５が設けられ
る。本実施形態では、位置検出装置として、発光及び受
光を行う本体３５ａと、スケールを形成されて検出部を
構成する反射板３５ｂとを有する反射型の光学式リニア
エンコーダを用いた。

【００６４】本体３５ａは、ベース基板３１に適宜手段
により固定される。一方、本実施形態では、反射板３５
ｂは、可動ステージ３３の本体３５ａ側の端部に、搭載
面３３ｂに直交するようにして、設けられる。

【００６５】このエンコーダ３５により、可動ステージ
３３の現位置が検出される。検出値は、位置決め装置３
０の駆動制御装置６１へ出力され、超音波アクチュエー
タ３４の駆動状態が制御される。本実施形態の位置検出
装置３５は、以上のように構成される。

【００６６】〔固定ステージ３６〕ベース基板３１に
は、固定ステージ３６が適宜手段により固定される。そ
して、この固定ステージ３６の上面に、４本の光ファイ
バ５０ａそれぞれの４つの切換端子５０が、光ファイバ
３８ａの切換端子３８と同じ設置高さになるようにして
搭載される。各切換端子５０は、いずれも、例えば樹脂
材料により直方体状に形成され、４本の光ファイバ５０
ａの端部をそれぞれ貫通させた状態で固定されて、装着
される。切換端子５０それぞれの一つの端面には、各光
ファイバ５０ａの端面が同一平面をなして、配置され
る。この光ファイバ５０ａは、光ファイバ３８ａと同様
に、ステップ形光ファイバである。

【００６７】なお、図１〜図３では、図面を簡略化して
理解を容易にするために、切換端子５０が４つ並設され
た場合を示すが、本発明はこれに限られるものではな
く、２つ、３つ又は５つ以上の切換端子が並設された場
合にも、同様に適用される。また、図３では、固定ステ
ージ３６は二点鎖線により透視状態で示してある。本実
施形態の固定ステージ３６は、以上のように構成され
る。

【００６８】図６は、本実施形態の位置決め装置３０の
駆動制御装置６１の一例を示すブロック図である。

【００６９】制御部６７からの指令により、駆動制御装
置６１の発振器６２から、振動子３９の縦振動Ｌ１及び
屈曲振動Ｂ４それぞれに相当する高周波の駆動信号が、
出力される。発振器６２からの出力は移相器６３によっ
て位相が（π／２）異なる二種の信号に分岐されて、駆
動信号切換器６４に入力される。駆動信号切換器６４
は、振動子３９の駆動状態（粗動、微動）に応じて、１
種又は２種の信号を出力する。すなわち、駆動信号切換
器６４は、粗動駆動時及び微動駆動時それぞれの駆動信
号の伝達方法を、粗動駆動時には移相器６３からの二つ
の駆動信号が各入力領域４２ａ〜４２ｄに入力されるよ
うに、また微動駆動時には移相器６３からの二つの駆動
信号のうちの一方が入力領域４２ａ、４２ｃまたは入力
領域４２ｂ、４２ｄに入力されるように、切り替える。

【００７０】駆動信号切換器６４からの一方の出力は増
幅器６５によって増幅された後に、Ａ相の駆動信号Ｖ_A
として入力領域４２ａ、４２ｃの銀電極４４ａ、４４ｃ
へ印加される。また、他方の出力は増幅器６６によって
増幅された後に、Ｂ相の駆動信号Ｖ_B として入力領域４
２ｂ、４２ｄの銀電極４４ｂ、４４ｄへ印加される。こ
れにより、振動子３９は励振し、駆動力取出部４３ａ〜
４３ｂ’を介して加圧接触する可動ステージ３３を、レ
ール部材３２ａの敷設方向へ向けて直線的に駆動する。

【００７１】本実施形態では、エンコーダ３５により直
線的に駆動される可動ステージ３３の位置が検出され、
エンコーダ３５からの検出値が制御部６７に入力され
る。制御部６７は、この検出値の値に応じて、駆動信号
切換器６４に制御信号Ｓ₁ を出力して振動子３９の駆動
状態を粗動及び微動の２段階に切り替えるとともに、発
振器６１に制御信号Ｓ₂ を出力する。これにより、振動
子３１の振動振幅が所定の大きさに制御される。

【００７２】なお、制御部６７には、検出領域４２ｐ、
４２ｐ’からの出力電圧も入力される。制御部６７は、
予め設定されていた基準電圧と各検出領域４２ｐ、４２
ｐ’からの出力電圧とを比較して、検出領域４２ｐ、４
２ｐ’からの出力電圧のほうが小さいときには周波数を
低くするように、発振器６２を制御する。一方、制御部
６７は、検出領域４２ｐ、４２ｐ’からの出力電圧のほ
うが大きいときには周波数を高くするように、発振器６
２を制御する。

【００７３】次に、可動ステージ３３の駆動を、駆動制
御装置６１からの各種の命令とともに説明する。

【００７４】本実施形態の位置決め装置３０において、
可動ステージ３３の位置をある位置から所望の位置に移
動する場合、駆動制御装置６１の制御部６７は、発振器
６２及び切換器それぞれに、粗動駆動状態になる信号Ｓ
₁ を出力する。つまり、発振器６２には超音波アクチュ
エータ３４の共振点から離れた周波数から共振点に近い
周波数に掃引させるように命令する。これにより、可動
ステージ３３は、速度ゼロの状態から速い速度で駆動さ
れる。これと同時に、駆動信号切換器６４には、入力領
域４２ａ、４２ｃ及び入力領域４２ｂ、４２ｄのいずれ
にも駆動信号を印加するように、切換えを選択させる。

【００７５】そして、エンコーダ３５からの信号により
所望の位置に近付いたことが制御部６７に伝達される
と、制御部６７は発振器６２に周波数を共振点から離す
ように指令し、これにより、振動子３９の駆動力は無く
なり、可動ステージ３３は、速い速度から速度が瞬時に
遅くなり、停止する。この停止を、本明細書では、「粗
動停止」という。

【００７６】可動ステージ３３が粗動停止した後、制御
部６７は、エンコーダ３５からの検出信号に基づいて、
可動ステージ３３の現位置と所望位置との偏差を求め
る。そして、可動ステージ３３の現位置と所望の位置と
の偏差が許容範囲を超えている場合、発振器６２及び駆
動信号切換器６４それぞれに微動駆動状態になるように
命令し、可動ステージ３３の現位置と所望の位置との偏
差が許容範囲内になるまで微動を行う。つまり、発振器
６２にはある値の周波数を間欠的に印加する。間欠信号
は、高周波信号をＢＨ時間印加した後にＢＬ時間印加し
ないという周期ＢＴのバースト信号である。

【００７７】これと同時に、駆動信号切換器６４には、
入力領域４２ａ、４２ｃ及び入力領域４２ｂ、４２ｄの
うちの一方に駆動信号を印加するように、切換えを選択
させる。例えば図４では、可動ステージ３３を左方向へ
微動駆動させる時には入力領域４２ａ、４２ｃに駆動信
号を入力し、一方、右方向へ微動駆動させる時には入力
領域４２ｂ、４２ｄに駆動信号を入力する。

【００７８】これにより、可動ステージ３３は、粗動停
止した後に、再度微小駆動され、最終的に所望の停止許
容範囲に高精度に停止する。

【００７９】しかし、粗動停止時に、可動ステージ３３
は、リニアガイド３２を構成するレール部材３２ａ及び
ガイド部材３２ｂ間が完全に固定されていないことによ
る微小なガタつきや、高分子材料からなる駆動力取出部
４２ａ〜４２ｂ’の変形、さらには自身のイナーシャ等
といった様々な要因により、移動方向に関して主として
発生するヨーイング、さらにはこのヨーイングに随伴し
て発生するピッチングやローリング等の様々な微小振動
を複合して発生する。そのため、粗動停止した後に直ち
にエンコーダ３５からの検出信号を用いて可動ステージ
３３の現位置を求めると、粗動停止時に可動ステージ３
３に発生している微小振動、特にヨーイング振動によ
り、エンコーダ３５からの検出値には大きな検出誤差が
含まれてしまい、その後に微小駆動を行っても、最終的
に、光ファイバの切換装置に要求される±１μｍ程度の
停止位置精度を得ることができないことがある。これを
防止するには、微小振動がなくなるまで、エンコーダ３
５からの検出信号を用いた可動ステージ３３の現位置の
検出を待つ必要があり、整定時間が長時間化してしま
う。

【００８０】しかし、本実施形態では、前述したよう
に、レール部材３２ａ及びガイド部材３２ｂの嵌合方向
を、振動子３９による可動ステージ３３の加圧方向と略
同じ方向として、振動子３９による加圧力によりヨーイ
ング等の振動を発生することがないようにしている。こ
のため、上記の様々な微小振動のうちの特にヨーイング
振動に起因した、エンコーダ３５の検出値に含まれる誤
差が、著しく低減される。このため、本実施形態では、
粗動停止した可動ステージ３３に上記の微小振動が発生
している時に、エンコーダ３５からの検出信号を用いた
可動ステージ３３の現位置の検出を行っても、可動ステ
ージ３３の位置を正確に検出することができる。このた
め、このエンコーダ３５からの検出信号に基づいて微動
駆動を行っても、最終的に、光ファイバの切換装置に要
求される±１μｍ程度の停止位置精度を得ることができ
る。

【００８１】このように、本実施形態によれば、以下に
列記する効果が奏せられる。（１）可動ステージ３３の搭載面を、超音波アクチュエ
ータ３４の加圧方向と平行な方向へ向けて延設させるた
め、振動子３９と可動ステージ３３との加圧方向と直交
する方向への寸法を抑制できる。このため、小型である
ことから小さな設置スペースにも設置することができ
る、例えば超音波アクチュエータ３４を用いた位置決め
装置を提供できる。

【００８２】（２）レール部材３２ａ及びガイド部材３
２ｂの嵌合方向を、振動子３９による可動ステージ３３
の加圧方向と略同じ方向としている。このため、粗動停
止時に直ちにエンコーダ３５を用いて可動ステージ３３
の位置検出を行っても、その検出値の誤差が小さく抑制
される。このため、例えば光ファイバの軸芯合わせを行
うことができるような高精度の位置決めを、短い整定時
間で行うことが初めて可能となる。

【００８３】（３）レール部材３２ａ及びガイド部材３
２ｂの嵌合方向を、振動子３９による可動ステージ３３
の加圧方向と略同じ方向とするために粗動停止時に直ち
にエンコーダ３５を用いて可動ステージ３３の位置検出
を行っても、その検出値の誤差が小さく抑制されること
から、安価かつ小型であって剛性の小さなリニアガイド
３２を用いることもできる。このため、この分だけ、移
動時の可動ステージ３３のイナーシャを低減できるため
に位置決め精度を向上できるとともに、位置決め装置３
０のコストを低下できる。

【００８４】（第２実施形態）次に、第２の実施の形態
を説明する。なお、以降の本実施形態の説明は、前述し
た第１の実施の形態と相違する部分について行うことと
し、共通する部分は、同一の図中符号を付すことによ
り、重複する説明を省略する。

【００８５】図７は、本実施形態の位置決め装置３０−
１を、一部簡略化及び透視するとともに省略して示す斜
視図である。また、図８は、図７におけるＡ矢視図であ
る。さらに、図９は、図７におけるＢ矢視図である。

【００８６】本実施形態の位置決め装置３０−１が、第
１実施形態の位置決め装置３０と相違するのは、案内部
材３２’である。

【００８７】すなわち、本実施形態では、案内部材３
２’を構成するガイド部材を、ガイド部材の移動方向へ
離間した２基のガイド部材３２ｂ−１、３２ｂ−２に分
けている。

【００８８】これにより、各ガイド部材３２ｂ−１、３
２ｂ−２を、第１実施形態のガイド３２ｂよりも小型化
・軽量化できる。このため、可動ステージ３３のイナー
シャを低減できるとともに、加減速性能を向上できる。

【００８９】また、ガイド部材３２ｂ−１、３２ｂ−２
を設けたことにより、粗動停止時における可動ステージ
３３のヨーイング等の振動を低減できる。このため、第
１実施形態よりも微動駆動後の最終的な停止位置の精度
を向上することができるとともに、可動ステージ３３の
ヨーイングによるガイド部材３２ｂ−１、３２ｂ−２と
レール部材３２ａ’との摺動に起因した、ガイド部材３
２ｂ−１、３２ｂ−２及びレール部材３２ａ’それぞれ
の摩耗を低減でき、位置決め装置３０−１の耐久性を向
上できる。

【００９０】さらに、小型化されたガイド部材３２ｂ−
１、３２ｂ−２を用いることにより、ガイド部材３２ｂ
−１、３２ｂ−２と嵌合するレール部材３２ａ’の断面
積を低減して小型化することもできる。このため、案内
部材３２’に要するコストを低減することもできる。

【００９１】なお、本実施形態では、２基のガイド部材
３２ｂ−１、３２ｂ−２を設けたが、必要に応じて、３
基以上設けてもよい。

【００９２】（変形形態）各実施形態の説明では、振動
アクチュエータが超音波アクチュエータである場合を例
にとった。しかし、本発明は超音波アクチュエータには
限定されず、超音波以外の他の振動域を利用した振動ア
クチュエータについても、等しく適用される。

【００９３】また、各実施形態の説明では、本発明にか
かる位置決め装置を光ファイバの切換装置に適用した場
合を例にとった。しかし、本発明は光ファイバの切換装
置には限定されず、各種の位置決め装置についても等し
く適用される。

【００９４】また、各実施形態の説明では、振動子と可
動ステージとの間で発生する相対運動の方向と略平行な
方向へ振動する第１の振動である１次の縦振動と、振動
子と可動ステージとの加圧方向と略平行な方向へ振動す
る第２の振動である４次の屈曲振動とを励振する異形モ
ード縮退型の振動子を用いた場合を例にとった。しか
し、本発明で用いる振動子は縦振動及び屈曲振動それぞ
れの振動の次数には限定されない。例えば、１次の縦振
動と２次の屈曲振動とを励振する振動子や、１次２縦振
動と６次の屈曲振動とを励振する振動子、さらには３次
の縦振動と８次の屈曲振動とを励振する振動等も、同様
に用いることができる。

【００９５】また、本発明で用いる振動子は、縦振動及
び屈曲振動の組合せにも限定されず、この組合せ以外の
異形モード縮退型の振動子や、同形モード縮退型の振動
子であっても、同様に適用することができる。

【００９６】また、各実施形態の説明では、振動子が圧
電体を備える場合を例にとった。しかし、本発明は圧電
体には限定されず、例えば電歪素子等の電気エネルギ及
び機械エネルギの相互変換素子であれば、等しく適用す
ることができる。

【００９７】また、各実施形態の説明では、位置検出装
置の検出部である反射板が、可動ステージの搭載面に直
交して配置された場合を例にとった。しかし、本発明は
この形態には限定されず、位置決め装置の高さが許容さ
れる範囲で、反射板を９０度以外の角度で傾斜させて配
置してもよい。

【００９８】また、各実施形態の説明では、案内部材
が、いわゆるリニアガイドである場合を例にとった。し
かし、本発明はリニアガイドには限定されず、直線状の
レール部材と、このレール部材に隙間を有して嵌合する
移動部材をいずれも有する案内部材であれば、等しく適
用される。

【００９９】また、各実施形態の説明では、案内部材が
すべり案内部材である場合を例にとった。しかし、本発
明はすべり案内部材には限定されず、球又はころを案内
面に配置したころがり案内部材や、案内面に設けたポケ
ットに油圧或いは空圧を絞りを介して供給する静圧案内
部材等も、等しく適用される。

【０１００】さらに、各実施形態は、本発明を具現化し
た一例を示したものであり、本発明の作用効果を奏する
範囲で様々な変形が可能である。

【０１０１】

【発明の効果】請求項１〜請求項４の発明により、振動
子の加圧方向に平行な方向への寸法が小さいことから小
さな設置スペースにも設置することができるとともに、
振動子が発生する振動に起因した位置決め精度の低下
や、位置決めの長時間化を抑制し、例えば光ファイバの
切換装置にも適用可能な高精度の位置決めを、短い整定
時間で行うことができる、超音波アクチュエータ等の振
動アクチュエータを用いた小型の位置決め装置を提供す
ることができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の位置決め装置を、一部簡略化及
び透視するとともに省略して示す斜視図である。

【図２】図１におけるＡ矢視図である。

【図３】図１におけるＢ矢視図である。

【図４】実施形態における振動子の構成を示す斜視図で
ある。

【図５】振動子の説明図であり、図５（Ａ）は上面図、
図５（Ｂ）は側面図、図５（Ｃ）は振動子に発生する二
つの異なる振動Ｌ１及びＢ４それぞれの波形例を示す説
明図である。

【図６】実施形態の位置決め装置の駆動制御装置の一例
を示すブロック図である。

【図７】第２実施形態の位置決め装置を、一部簡略化及
び透視するとともに省略して示す斜視図である。

【図８】図７におけるＡ矢視図である。

【図９】図８におけるＢ矢視図である。

【図１０】特開平６−３４８９７号公報により開示され
た情報伝送路切換装置の構成を示す説明図であって、図
１０（Ａ）は全体の構成を示す斜視図、図１０（Ｂ）は
図１０（Ａ）における出力側ホルダを抽出して示す斜視
図、図１０（Ｃ）は出力側ホルダの内部を走行する端末
部品を示す説明図である。

【図１１】本出願人が特願平１１−２０３３６９号によ
り提案した情報伝送路切換装置の構成例を、一部破断し
た状態で示す斜視図である。

【符号の説明】

３０位置決め装置３２リニアガイド３２ａレール部材３２ｂガイド部材３３可動ステージ３３ｂ搭載面３４超音波アクチュエータ３９振動子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2H041 AA14 AB20 AC08 AZ03 5H303 AA05 BB01 BB07 BB11 BB17 CC01 DD14 DD22 DD30 FF06 GG11 KK16 5H680 AA07 BB03 BB13 BC10 CC07 DD02 DD23 DD27 DD34 DD53 DD55 DD74 DD82 FF03 FF24 FF30 FF33 GG02 GG25

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】直線状のレール部材、及び該レール部材
に嵌合する移動部材をいずれも有する案内部材と、該移動部材に支持されて、前記レール部材に対して直線
的に移動する可動ステージと、該可動ステージの移動方向と略直交する加圧方向へ前記
可動ステージを加圧することにより前記可動ステージと
の間で相対運動を発生する振動子を有する振動アクチュ
エータとを備え、前記可動ステージは、前記加圧方向に略平行な方向へ延
設された搭載面を有するとともに、前記レール部材及び
前記移動部材それぞれの嵌合方向は、前記加圧方向と略
同じ方向であることを特徴とする振動アクチュエータを
用いた位置決め装置。
【請求項２】前記案内部材を構成する前記レール部材
及び前記移動部材それぞれのうちの一方は凸形の断面形
状を有するとともに、他方は該凸形の断面形状に対して
嵌合する凹形の断面形状を有することを特徴とする請求
項１に記載された振動アクチュエータを用いた位置決め
装置。
【請求項３】前記移動部材は、その移動方向へ離間し
て少なくとも２基設けられることを特徴とする請求項１
または請求項２に記載された振動アクチュエータを用い
た位置決め装置。
【請求項４】前記振動子は、前記相対運動の方向と略
同じ方向へ振動する第１の振動と、前記加圧方向と略同
じ方向へ振動する第２の振動とを励振することを特徴と
する請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載さ
れた振動アクチュエータを用いた位置決め装置。