JP2001219307A - 多層耐摩耗性被膜を有する切断工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 付着性の高い耐摩耗性被膜を有する切断工具
又は切断板を提供する。 【解決手段】 酸化アルミニウム層を有する切断工具の
被膜に対して、固定層を適用する。当該固定層は、好ま
しくはアルミニウムチタネートから形成され、紙片状の
結晶構造を有する。この固定層は、特にその下方に位置
する窒化チタン、炭化チタン或いは炭化チタン窒化物層
の上で酸化アルミニウム層の付着性を改善する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、切断工具又は切断
板及び積層された耐摩耗性の被膜を備える切断板或いは
切断工具の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】切断工具は、運転中に種々の負荷を受
け、時間とともに摩耗する。摩耗は、切断縁部が発生す
るため、切断面及び自由面の摩滅を含む。高負荷により
高温になると、切断工具の縁部及び面での拡散摩耗及び
酸化摩耗が発生する可能性がある。高い引裂性能を用い
て摩耗を低下させるために、切断工具又は切断板の種々
の被膜が開発されてきた。

【０００３】例えば、ＥＰ−０７８６５３６Ａ１によ
り、多層の被膜を備える硬い金属から成る切断板が知ら
れている。その被膜は、３μｍから２０μｍの厚さであ
り、化学的或いは物理的蒸着法（ＣＶＤ或いはＰＶＤ）
により、硬い金属固体上に成長させられる。この被膜
は、非常に微量の塩素分を有する酸化アルミニウム層を
含有する。

【０００４】酸化アルミニウム層は、相対的に高い硬度
を示す。さらに、酸化アルミニウム層は酸化された表面
層として作用し、同時にそれ以下の層の酸化保護層とし
て作用する。そのため摩擦化学的な攻撃を受ける工具に
対して特に適している。酸化アルミニウム層は、拡散と
酸化のような摩擦化学的な摩滅時の保護体として作用
し、また断熱材として作用し、そのため塑性変形の保護
層となる。

【０００５】ＥＰ−０７３６６１５Ａ２は、同様に切断
工具の多層被膜の外側に位置する層として酸化アルミニ
ウム層を提案している。酸化アルミニウム層と適当な硬
い金属固体との間には、基板として作用する多くの層が
形成されている。酸化アルミニウム層と直接接して下方
に位置する層は、０．１〜２μｍの厚さを有する酸化チ
タン炭窒化物層と針状の結晶構造物である。これらの層
の下には、一つ或いは複数の、柱状の結晶構造物を備え
る同一の化学的元素から構成される層が成長している。

【０００６】酸化アルミニウム層の基板上への固着は、
重要である。これらの基板は、特に塑性変形及び４２Ｃ
ｒＭｏ_４Ｖ及び５６ＮｉＣｒＭｏＶ_７のような特に高度
に硬い材料を用いた鋼鉄及び鋳造製素材の断続的切断
（フライス盤、回転盤、ボール盤）により酷使される。

【０００７】対応する基板上の酸化アルミニウム層の付
着性の改良に対して、ＵＳ−ＰＳ５９５８５６９号は、
外側に配置された酸化アルミニウム層とその下側に配置
された窒化チタンとの間の炭化チタン窒化物固定層を提
案している。固定層は、酸化物被膜と炭化金属窒化物被
膜との間に互いに延びた指状突起物を発達させるようで
ある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記実状
に鑑みてなされ、切断工具、切断板等の酸化物層（特に
酸化アルミニウム層）のその下層との付着性を改善する
ことを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第１の観点に係る多層耐摩耗性被膜を有す
る切断工具は、断続的切断及び／又は高い運転温度用の
切断工具（１）であって、耐摩耗性の多層被膜（６）領
域を有する切断部（５）を少なくとも備え、前記被膜は
基板材料（７）の上に形成され、被膜（６）は少なくと
も次の単一或いは多層に形成された基板層（８）と、固
定層（１２）と、酸化物層（９）とを有し、基板層
（８）は、化学元素の周期律のIV族、Ｖ族或いはVI族の
隣接群の一以上の金属の窒化物（ナイトライド）層、炭
化物（カーバイド）層或いは窒化炭素層であり、固定層
（１２）は、隣接群のIV族、Ｖ族或いはVI族の一の金属
と、化学元素の周期律の主要群のIII族の元素と、少な
くとも一の非金属とを有し、前記非金属は、炭素、窒
素、酸素のグループに属し、酸化物層（９）は、好まし
くは酸化アルミニウムを含む、ことを特徴とする。

【００１０】上記目的を達成するため、本発明の第２の
観点に係る多層耐摩耗性被膜を有する切断板は、断続的
切断及び／又は高い運転温度用の切断板（５）であっ
て、耐摩耗性の多層被膜（６）の領域を備え、前記被膜
（６）は、基板材料上に形成され、少なくとも次の単一
或いは多層に形成された基板層（８）と、固定層（１
２）と、酸化物層（９）とを有し、基板層（８）は、化
学元素の周期律のIV族、Ｖ族或いはVI族の隣接群の一以
上の金属の窒化物（ナイトライド）層、炭化物（カーバ
イド）層或いは窒化炭素層であり、固定層（１２）は、
隣接群のIV族、Ｖ族或いはVI族の一の金属と、化学元素
の周期律の主要群のIII族の元素と、少なくとも一の非
金属とを有し、前記非金属は、炭素、窒素、酸素のグル
ープに属し、酸化物層（９）は、好ましくは酸化アルミ
ニウムを含む、ことを特徴とする。

【００１１】上記目的を達成するため、本発明の第３の
観点に係る多層耐摩耗性被膜は、切断工具に対する被膜
（コーティング）であって、前記被膜がアルミニウムチ
タネートを含有する、ことを特徴とする。

【００１２】上記目的を達成するため、本発明の第４の
観点に係る多層耐摩耗性被膜を有する切断板或いは切断
工具の製造方法は、耐摩耗性被膜（６）を有する切断板
（５）或いは切断工具（１）の製造方法であって、前記
被膜は、二の異なる層（８，９）を有し、ＴｉＣ及び／
又はＴｉＣＮ及び他のＡｌ_２Ｏ_３を含有し、基板上の固
定層（１２）の二層（８，９）の間に酸化チタンアルミ
ニウム炭窒化物Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏを形成し、Ｔｉ
Ｃ−及び／又はＴｉＣＮ−層の製造を行う場合、一定温
度のＣＶＤ法、或いは、例えば９００℃から１１００℃
の間の温度変化を伴うＣＶＤ法で、Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ
−Ｏ固定層を形成し、前駆物質としてハロゲン化アルミ
ニウム化合物並びにハロゲン化アルミニウム化合物の存
在下で、アルカン（飽和脂肪族炭素）又はアルカン化合
物の群から一以上の選択された気体が炭素供与体とし
て、一酸化炭素及び／又は二酸化炭素が酸素供与体とし
て、同様に水素がキャリアガスとして使用される、こと
を特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態にかかる多層
耐摩耗性被膜を有する切断工具について、以下図面を参
照して説明する。

【００１４】発明にふさわしい切断装置（工具）或いは
切断板は、酸化アルミニウム層を備え、それを使用し
て、基板層上の固定層は維持される。基板層は、例え
ば、チタン窒化物、チタン炭化物或いは炭化チタン窒化
物層であり、その層中にはチタン以外の、周期律中のI
V、Ｖ或いはVI族の隣接群の他の金属が存在し得る。固
定層は、基板層に酸化アルミニウム層を硬く固定し、酸
化アルミニウム層のはげ落ち或いは剥離、損傷或いは破
壊が実際に悪化することを防ぐ。基板層上の酸化アルミ
ニウム層の付着性を改善することにより、切断装置（工
具）或いは切断板の高ひずみ耐久性及び／又は長い寿命
を可能にする。

【００１５】固定層は、化学元素周期律中の隣接群のI
V、Ｖ或いはVI族の金属と、例えば硼素或いはアルミニ
ウムといったIII族の元素と、炭素及び／又は窒素及び
／又は酸素とを含む。隣接群のIV、Ｖ或いはVI族の金属
（例えばチタン）の隣の主要群III族の２番目の元素の
存在により、酸化物層の付着性が改良される。特に、固
定層中にチタン及びアルミニウムを付与することが望ま
しい。このとき、チタン部を多く、アルミニウム部はむ
しろ僅かにすべきである。それは、分配比率として理解
される。固定層は、上部に位置する酸化アルミニウム層
の結晶で硬く覆うこと、或いはその中に拡散することが
できる結晶を形成する。従って、酸化アルミニウム層
は、固定層中に定着される。このことは、特に、アルミ
ニウム成分（含有量）が高くとも約４％で、酸素成分
（含有量）が高くても６％の数値になる、Ｔｉ_ｘＡｌ_ｙ
Ｃ_ｕＮ_ｖＯ_ｗ層の固定層の場合に、達成される。従っ
て、酸化アルミニウム層の良好な付着を可能にするよう
に、チタン酸塩アルミニウム（アルミニウムチタネー
ト）が固定層を貫通し得る。結果的に、固定層はかなり
多量の炭化チタン窒化物を含有することが可能である。

【００１６】固定層は、好ましくは相対的に薄く、即ち
明確に酸化アルミニウム層及びその下層に位置する基板
層より薄い。層厚０．１μｍ〜３μｍが効果的であると
判断される。好ましくは、層厚が１μｍである。

【００１７】基板層の金属は、好ましくは、チタンであ
るけれども、他の既知の個々の金属或いはチタンを伴う
混合物中の金属も考慮される。

【００１８】基板層は、それらとしては、多層に形成さ
れることができ、例えば、約０．５μｍの窒化チタン層
及び／又は１μｍから１６μｍの炭化チタン窒化物層を
含有することが可能である。結果的に、不純物として、
例えば炭素及び／又は酸素が存在し、例えば、基板材料
或いはそれ以外の源（ソース）に由来する。基板層は、
特に平均温度法で形成される層である。固定層は、これ
らの平均温度層（基板層）と酸化アルミニウム層との硬
い結合を許容する。酸化アルミニウム層は、α−酸化ア
ルミニウム層として、或いはκ−酸化アルミニウム層と
して、或いは酸化物層として形成可能であり、さらに改
良したものも含有する。

【００１９】固定層は、特に、紙片の形をした結晶構造
を示している。固定層の紙片状の結晶は、間隔が空いて
おり、その中に酸化アルミニウム層が成長して入ること
ができ、その層の中で固定層のアルミニウム含有量によ
って、成長する酸化アルミニウム層のための結晶生成核
が既に存在する。そのため、酸化アルミニウム層と固定
層との間、即ち酸化アルミニウム層と基板層との間に密
接な結合が発達し得る。酸化アルミニウム層の解離の際
の反応気体混合物の酸化ポテンシャルは、核となる相の
前面或いはその間では、過度に少なく含有されるべきで
はない。水及び他の酸化物（オキシダント）の含有量
は、酸化アルミニウム層に対する結晶生成核を既に含有
する固定層により、重要ではない。

【００２０】固定層は、非常に多数の結晶生成核を含有
する或いは、その構造とともに多数の結晶生成核のよう
に作用する。この結晶生成核は、引き続くＡｌ_２Ｏ_３層
の解離の際に、同様に非常に微細結晶の発達を惹起す
る。約６μｍの層厚の場合、約１から１．５μｍまでの
範囲のみの粒子幅が達成される。

【００２１】図１では、切断装置１が部分的にかつ例示
的に分かり易く示されている。切断装置１は、運転中は
回転軸３の回りに回転する工具胴体部２を備える手動フ
ライス盤である。この手動フライス盤は、その前方の端
部に、その周囲に切断板（切断プレート）５が形成され
るプレート台座（プラテンシート）４を備える。この切
断板５は、例えば、硬金属製の切断板、例えばタングス
テンカーバイド／コバルト製の硬い金属切断板である。
別の基板材料としては、例えばＨＳＳのように、浸炭セ
ラミック又はサーメット（セラミックスと金属の複合材
料）、硬い金属カーバイド又は混合カーバイド等も同様
に使用可能である。硬金属製の切断板５は、図７で図解
的に分かり易く示されているように、摩耗を減少させる
（耐摩耗性の）被膜６を備える。被膜６は、硬い金属の
基盤部７に付着し、切断角と同様に機能的に定まる面、
例えば切削片面と保護されていない面の周囲も被覆す
る。

【００２２】摩耗を減少させる被膜６は、少なくとも、
平均温度法でその大部分が分離される単層或いは多層に
形成された基板層８を有する。例えば、基板層８は本質
的に柱状の結晶構造と１μｍから１６μｍの厚さとを備
える炭化チタン窒化物層（ＴｉＣＮ）である。炭化チタ
ン窒化物層と基板材料のタングステンカーバイド（Ｗ
Ｃ）との間に、約０．１μｍから１μｍの、好ましくは
０．５μｍの厚さの窒化チタン（ＴｉＮ）を配置するこ
とができる。回転盤或いはフライス盤を使用する際に発
生するような酸化的かつ拡散的な摩耗に対して、それ自
体が硬く耐摩耗性のある炭化チタン窒化物層を保護する
ために、摩耗を減少させる被膜６は、基板層８の上に酸
化アルミニウム層９を有する。酸化アルミニウム層９
は、κ−酸化アルミニウム、α−酸化アルミニウム、或
いは領域的に異なる（酸化アルミニウム）によって、形
成されている。酸化アルミニウム層９は、単層或いは多
層に形成された表面層１１を備え、例えば、IV、Ｖ又は
VI族の隣接群（Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔｉ）の元素と炭素、窒素
及び／又は硼素との組み合わせ（化合物）、或いはに酸
化亜鉛、酸化アルミニウム、窒化ボロン、ボロンカーバ
イド、窒化チタン、チタンカーバイド或いは炭化チタン
窒化物或いは他の表面層から形成される。

【００２３】基板層８は、その基板部のチタン以外に、
例えば酸素のように、基板材料に由来する可能性のあ
る、或いは処理気体に付着する、避けるべき不純物とし
て、炭素及び窒素を、殆ど含有しない。基板材料に由来
する可能性のある、例えばコバルトによる汚染は、粒界
に沿って優先的に拡散するので、基板材料から基板層８
全体に浸透する可能性がある。それにもかかわらず、全
ての条件の下で、基板層８の上に酸化アルミニウム層９
の良好な付着を達成するために、固定層１２が両者の間
に配置され、固定層の厚さは、運転中に必要に応じて
０．１μｍから３μｍまで定めることができる。ここ
で、固定層は、炭窒化チタンアルミニウム酸化物層Ｔｉ
−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏであり、その構成は図３から図６よ
り明らかになる。図３に示されるように、基板層８上
で、柱状の構造を備えるＴｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏ層１２
が成長し、それに対してに、酸化アルミニウム層が、一
番外側の割れ目のある表面上に外側を向いて形成されて
いる。Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏ層１２の表面構造は、図
５及び図６に具体的に示されている。これらの図は、紙
片状の結晶構造を示し、それには個々の結晶の欠陥と空
隙とが存在する。これらの結晶構造中で、酸化アルミニ
ウム層の結晶成長は、酸化アルミニウム層のさらなる広
がりにより開始し、それによって優れた付着性が確保さ
れる。

【００２４】図３にさらに具体的に示されるように、表
面層１１は、例えば、多層に形成され、Ｔｉ−Ｎ層、κ
−酸化アルミニウム層そして再度Ｔｉ−Ｎ層を有する。
従って、次の層構成となる。 １．ＴｉＮ、０．１μｍから２μｍ ２．（ＭＴ）−（Ｔｉ、Ｃ、Ｎ）−基板層、１μｍから
１６μｍ ３．固定層 Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏ、０．１μｍから
３μｍ ４．α−又はκ−酸化アルミニウム層Ａｌ_２Ｏ_３、０．
５μｍから１２μｍ ５．ＴｉＮ，０．１μｍから２μｍ ６．場合によっては、全部で０．１から２μｍの厚さの
さらなる層、ＴｉＮ−κ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＮ、ＴｉＣ
Ｎ／ＴｉＮ、Ｔｉ−Ｂ−Ｃ−Ｎ、ＨｆＮ、ＨｆＣＮ、或
いは類似のもの

【００２５】上記の被膜は、次のように形成される。第
１に、適当な基板材料上に７００℃から１０００℃の解
離温度を適用し、例えばタングステンカーバイド或いは
任意の他の基板層８の浸炭材料を形成する。例えば、炭
素及び窒素供与体として、アセトニトリル又は、窒素及
びアルカン（飽和脂肪族炭素）の混合物が使用される。
基板層は、通常は柱状の結晶構造を伴って成長する。

【００２６】次の実行段階では、固定層が形成される。
そのためには、切断工具例えば切断板５は、９００℃か
ら１１００℃の間（好ましくは１０００℃）の温度で、
アルミニウムとチタンの前駆物質を含む雰囲気を必要と
する。これらの前駆物質は、四塩化チタン及び三塩化ア
ルミニウムであることが可能である。炭素供与体とし
て、気相メタン或いは他のアルカン或いはアセトニトリ
ル（ＣＨ_３ＣＮ）或いは他のニトリルが含まれる。さら
に、気体の分子状窒素中で、例えば一酸化炭素或いは二
酸化炭素のような酸素供与体が存在する。キャリアガス
として、水素が使用される。

【００２７】三塩化アルミニウムは、比較的僅かな量で
添加され、その一方で四塩化チタンは、比較的多量に存
在する。それによって、固定層１２が、図５及び図６で
具体的に示される構造を伴って成長する。図４では、使
用済みの回転切断板の斜めの研磨面が描かれている。こ
の図は、研磨面の表面に広がる海綿状態を示し、さら
に、固定層の薄く（削り取られた）細孔のある構造を示
している。使用済みの回転切断板のＸ線分光顕微鏡によ
る観察は、図７中でその結果が描かれているように、基
板材料であるタングステンカーバイド（ＷＣ−Ｃｏ）並
びに存在する炭化チタン窒化物（Ｔｉ、Ｃ、Ｎ）及びア
ルミニウムチタネート（Ａｌ_２ＴｉＯ_５）を示してい
る。これにより、アルミニウムチタネート（Ａｌ_２Ｔｉ
Ｏ_５）が存在し、炭化チタン窒化物（ＴｉＣ_ｘＮ_ｙ；ｘ
＋ｙ＝１；ｘ＝０．．．１）が同時に肉眼で見える構造
として存在することがわかる。固定層は、好ましくは、
立方形状の格子を伴う炭化チタン窒化物及び全ての炭素
位置の３分の１の上の酸素から構成されている。この
（結晶）格子は、酸素フリーである。そのため、酸素
は、アルミニウムチタネートの結晶中で完全に結合され
る。この結晶は、擬チタン石として存在する。

【００２８】チタン石（ブルーキット）構造中で、改良
された酸化チタン（ＴｉＯ_２）は、アルミニウム原子に
よって、若干チタン原子が交換されている。両金属原子
種は、酸素原子により偏った八面体的に囲まれるので、
酸化チタン結晶と酸化アルミニウム結晶の肉眼で見える
混合物には、好ましくは、純粋なチタン石から導出され
る得る均一な結晶構造が存在しない。両層の相対的に大
きい領域は、その結晶構造中で、均一な炭化チタン窒化
物から構成され得る。そのため、酸化アルミニウム層と
炭化チタン窒化物との間でほぼ最適な交換が生じる。ア
ルミニウムチタネート領域は、相対的に小さくても良
く、その際の望ましい効果は、既に２％以下のアルミニ
ウム含有量で発揮される。固定層は、基板層とＡｌ_２Ｏ
_３層との間のエピタキシ結合を発生させる。固定層は、
基板層とＡｌ_２Ｏ_３層との間に発生するエピタキシ結合
を妨害しない。

【００２９】適正に製造された層に対して、適正な切断
工具を用いた引裂試験と付着試験とを実行した。発明に
ふさわしい層は、層付着強度試験（スクラッチ試験）を
受け、発明にふさわしい層構造の顕著に改善された付着
固定性を示し、また改善された付着性に関して、酸化ア
ルミニウム層を摩耗させるものも示した。引裂試験は、
工具の改善された安定性と同様に、κ−そしてα−酸化
アルミニウム層に対する改善された酸化アルミニウム層
付着性とを示した。

【００３０】

【発明の効果】この発明により、酸化アルミニウム層を
用いた切断工具の被膜（コーティング）に対して、固定
層が形成され、それは好ましくは、アルミニウムチタネ
ートによって形成され、紙片状の結晶構造を示す。この
固定層は、特にその下方に位置する窒化チタン、チタン
カーバイド、炭化チタン窒化物層の上の酸化アルミニウ
ム層の付着性を改善する。

【図面の簡単な説明】

【図１】多層の被膜を有する切断板を備える切断装置の
側面図である。

【図２】図１に従う切断装置の切断板の耐摩耗層の層構
造の拡大切断図である。

【図３】図２に従う層構造の透過電子顕微鏡写真（像）
である。

【図４】図３による固定層を斜めに研磨された（面の）
光学顕微鏡写真である。

【図５】固定層の電子顕微鏡写真（像）を５０００倍に
拡大した上面図である。

【図６】図５に従う固定層の１００００倍の倍率の走査
電子顕微鏡写真である。

【図７】図３に従う層構造に由来する、ある厚さ（３μ
ｍ）までに配列された固定層の連続層のＸ線分光スペク
トルである。

【符号の説明】

１ 切断装置 ２ 工具胴体部 ４ プレート台座 ５ 切断板 ６ 被膜 ７ 基盤部 ８ 基板層 ９ 酸化アルミニウム層 １１ 表面層 １２ 固定層

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】断続的切断及び／又は高い運転温度用の切
   断工具（１）であって、 耐摩耗性の多層被膜（６）領域を有する切断部（５）を
   少なくとも備え、前記被膜は基板材料（７）の上に形成
   され、被膜（６）は少なくとも次の単一或いは多層に形
   成された基板層（８）と、固定層（１２）と、酸化物層
   （９）とを有し、 基板層（８）は、化学元素の周期律のIV族、Ｖ族或いは
   VI族の隣接群の一以上の金属の窒化物（ナイトライド）
   層、炭化物（カーバイド）層或いは窒化炭素層であり、 固定層（１２）は、IV族、Ｖ族或いはVI族の隣接群の一
   の金属と、化学元素の周期律の主要群のIII族の元素
   と、少なくとも一の非金属とを有し、前記非金属は、炭
   素、窒素、酸素のグループに属し、 酸化物層（９）は、好ましくは酸化アルミニウムを含
   む、 ことを特徴とする切断工具。
2. 【請求項２】断続的切断及び／又は高い運転温度用の切
   断板（５）であって、 耐摩耗性の多層被膜（６）の領域を備え、前記被膜
   （６）は、基板材料上に形成され、少なくとも次の単一
   或いは多層に形成された基板層（８）と、固定層（１
   ２）と、酸化物層（９）とを有し、 基板層（８）は、化学元素の周期律のIV族、Ｖ族或いは
   VI族の隣接群の一以上の金属の窒化物（ナイトライド）
   層、炭化物（カーバイド）層或いは窒化炭素層から構成
   され、 固定層（１２）は、隣接群のIV族、Ｖ族或いはVI族の一
   の金属と、化学元素の周期律の主要群のIII族の元素
   と、少なくとも一の非金属とを有し、前記非金属は、炭
   素、窒素、酸素のグループに属し、 酸化物層（９）は、好ましくは酸化アルミニウムを含
   む、 ことを特徴とする切断板。
3. 【請求項３】固定層（１２）が、紙片状の結晶を有する
   結晶構造を備える、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
   切断板。
4. 【請求項４】固定層（１２）中の周期律III族の主要群
   （IIIａ）の元素がアルミニウム（Ａｌ）である、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
   切断板。
5. 【請求項５】固定層（１２）がＴｉｘＡｌｙＣｕＮｖＯ
   ｗ層を備え、ｘ＋ｙ＝１かつｕ＋ｖ＋ｗ＝１であって、
   ｙ≦０．０４かつｗ≦０．０４、より好ましくは、ｙ≦
   ０．０２かつｗ≦０．０３である、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
   切断板。
6. 【請求項６】固定層（１２）がアルミニウムチタネート
   （Ａｌ_２ＴｉＯ_５）を含有する、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
   切断板。
7. 【請求項７】固定層（１２）が炭化チタン窒化物（Ｔｉ
   ＣＮ）を含有する、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
   切断板。
8. 【請求項８】固定層（１２）の厚さが０．１μｍから３
   μｍの範囲であり、好ましくは、１μｍである、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
   切断板。
9. 【請求項９】基板層（８）の金属がチタン（Ｔｉ）であ
   る、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
   切断板。
10. 【請求項１０】基板層（８）が多層に形成され、Ｔｉ−
    Ｎ層を有し、当該Ｔｉ−Ｎ層の厚さは、０．５μｍを越
    えることなく、 当該Ｔｉ−Ｎ層は、極く僅かの、例えば、炭素（Ｃ）及
    び／又は酸素（Ｏ）の不純物を含有する、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
    切断板。
11. 【請求項１１】基板層（８）が多層に形成され、ＴｉＣ
    Ｎ層を有し、当該ＴｉＣＮ層の厚さは、好ましくは１か
    ら１６μｍの範囲にあり、 当該ＴｉＣＮ層は、極く僅かの、酸素（Ｏ）の不純物を
    含有する、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
    切断板。
12. 【請求項１２】基板層（１２）には、平均温度法により
    層或いは連続層が形成されている、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
    切断板。
13. 【請求項１３】酸化物層（９）がα−酸化アルミニウム
    を含有する、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
    切断板。
14. 【請求項１４】酸化物層（９）がκ−酸化アルミニウム
    を含有する、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
    切断板。
15. 【請求項１５】酸化物層（９）の上に、１つ以上層（１
    １）が形成されている、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の切断工具又は
    切断板。
16. 【請求項１６】前記層（１１）は、ＴｉＮ層、κ−酸化
    アルミニウム層及びＴｉＮ層から形成されている、 ことを特徴とする請求項１５に記載の切断工具。
17. 【請求項１７】切断工具（１）が少なくとも１つの請求
    項２の切断板（５）を備える、 ことを特徴とする請求項１に記載の切断工具。
18. 【請求項１８】切断工具に対する被膜（コーティング）
    であって、 前記被膜がアルミニウムチタネートを含有する、 ことを特徴とする被膜。
19. 【請求項１９】耐摩耗性被膜（６）を有する切断板
    （５）或いは切断工具（１）の製造方法であって、 前記被膜は、２つの異なる層（８，９）を有し、ＴｉＣ
    及び／又はＴｉＣＮ及び他のＡｌ_２Ｏ_３を含有し、 基板上の固定層（１２）の二層（８，９）の間に酸化チ
    タンアルミニウム炭窒化物Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ−Ｎ−Ｏを形
    成し、 ＴｉＣ−及び／又はＴｉＣＮ−層の製造を行う場合、一
    定温度のＣＶＤ法、或いは、例えば９００℃から１１０
    ０℃の間の温度変化を伴うＣＶＤ法で、Ｔｉ−Ａｌ−Ｃ
    −Ｎ−Ｏ固定層を形成し、 前駆物質としてハロゲン化アルミニウム化合物並びにハ
    ロゲン化アルミニウム化合物の存在下で、アルカン（飽
    和脂肪族炭素）又はアルカン化合物の群から一以上の選
    択された気体が炭素供与体として、一酸化炭素及び／又
    は二酸化炭素が酸素供与体として、同様に水素がキャリ
    アガスとして使用される、 ことを特徴とする切断板或いは切断工具の製造方法。
20. 【請求項２０】補助的な炭素及び窒素供与体として、或
    いはアルカン又はアルカン化合物の代わりとして、ニト
    リル化合物の窒素が使用される、 ことを特徴とする請求項１９に記載の切断板或いは切断
    工具の製造方法。