JP2001219130A - 薄形ワーク用洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ミクロン単位の厚さを持つ薄形のワークであ
っても破損することなく安全かつ確実に洗浄することが
できる、構造が簡単で安全性に勝れた洗浄装置を得る。 【解決手段】 ワークの搬送手段と洗浄手段とを兼ねる
上下一対のスポンジローラー１５ａ，１５ｂからなる複
数のローラーユニット１５を有し、上記各ローラーユニ
ット１５におけるスポンジローラー１５ａ，１５ｂは、
互いに同一径を有すると共に、ワークＷ表面の汚れを転
写により除去可能な程度に緻密な表面を有し、かつワー
クの送り方向に対して順方向に等速回転するよう回転方
向及び回転速度を揃えられ、上下のスポンジローラー１
５ａ，１５ｂでワークを両側から挟圧して搬送しなが
ら、該ワーク表面の汚れをローラー表面に転写させて除
去可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄形ワークを洗浄
するための洗浄装置に関するものであり、更に詳しく
は、水晶基板やＬＮ（リチウムナイオレート）基板、Ｌ
Ｔ（リチウムタンタレート）基板、ガリウム砒素単結晶
基板のような、ミクロン単位の厚さ（例えば５０〜５０
０μｍ）を持つ薄形のワークの洗浄に適した洗浄装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】上下一対のローラーブラシを複数対並べ
て設置し、これらのローラーブラシで半導体ウエハや磁
気ディスク用アルミ基板などを洗浄する洗浄装置は、例
えば特開昭６３−２２４３３２号公報や特開平６−７７
１９５号公報等に開示するように従来より公知である。
これらの洗浄装置は、複数組のローラーブラシを搬送用
と洗浄用とに機能分けし、搬送用のローラーブラシでワ
ークを搬送しながら、洗浄用のローラーブラシで該ワー
クの表面を擦ってスクラブ洗浄するものである。特開昭
６３−２２４３３２号においては、搬送用のローラーブ
ラシと洗浄用のローラーブラシとを回転速度を違えるこ
とにより機能分けし、低速回転するローラーブラシでワ
ークを搬送しながら、高速回転するローラーブラシで該
ワークを洗浄するようにしている。また、特開平６−７
７１９５号においては、搬送用のローラーブラシと洗浄
用のローラーブラシとを回転方向を違えることにより機
能分けし、順方向に回転するローラーブラシでワークを
搬送しながら、逆方向に回転するローラーブラシで該ワ
ークの表面を洗浄するようにしている。

【０００３】このように、ローラーブラシを回転方向又
は回転速度を違えることによって搬送用と洗浄用とに機
能分けした従来の洗浄装置は、ワークの洗浄時に搬送用
のローラーブラシと洗浄用のローラーブラシとによって
該ワークの径方向に逆向きの力が作用するため、例えば
水晶基板やＬＮ基板、ＬＴ基板、ガリウム砒素単結晶基
板といったようなミクロン単位の厚さを持つ薄くて割れ
易いワークの洗浄には適していない。しかも、一部のロ
ーラーブラシの回転方向や回転速度が違っているため、
逆転機構や減速機構等を必要として駆動機構の構造が複
雑化し、製造もメンテナンスも面倒である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、ミクロン単位の厚さを持つ薄形のワークであっても
破損することなく安全かつ確実に洗浄することができ
る、構造が簡単で安全性に勝れた洗浄装置を提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明によれば、薄形ワークを一枚ずつ搬送しながら洗
浄処理する洗浄部と、該洗浄部に未洗浄ワークを供給す
るためのローディング部と、洗浄されたワークを取り出
すためのアンローデング部とを有し、上記洗浄部が、洗
浄液によりワークを洗浄する少なくとも一つの洗浄槽を
含んでいて、該洗浄槽には、ワークの搬送手段と洗浄手
段とを兼ねる上下一対のスポンジローラーからなる複数
のローラーユニットが、ワークの径より小さい間隔で配
設され、上記各ローラーユニットにおけるスポンジロー
ラーは、互いに同一径を有すると共に、ワーク表面の汚
れを転写により除去可能な程度に緻密な表面を有し、か
つワークの送り方向に対して順方向に等速回転するよう
回転方向及び回転速度を揃えられ、上下のスポンジロー
ラーでワークを両側から挟圧して搬送しながら、該ワー
ク表面の汚れをローラー表面に転写させて除去するよう
に構成されていることを特徴とする薄形ワーク用洗浄装
置が提供される。

【０００６】上記構成を有する本発明の洗浄装置におい
て、被洗浄物である薄形ワークは、洗浄槽内を順方向に
等速回転する複数組のスポンジローラーにより搬送さ
れ、その間に表面の汚れがこれらのスポンジローラーの
表面に転写されることにより除去される。このとき、各
スポンジローラーは順方向に等速回転しているため、こ
れらのスポンジローラーによりワークに無理な力が作用
することがなく、このため、該ワークが破損したり傷つ
けられることがない。また、各スポンジローラーが同一
径であるため一種類のスポンジローラーだけを使用する
ことができ、しかも、各スポンジローラーの回転方向及
び回転速度が全て同じであるため減速機構や逆転機構等
を必要としないなど、構造が簡単で製造及びメンテナン
スも容易である。

【０００７】本発明においては、上記洗浄槽に、スポン
ジローラーに転写された汚れを洗浄液の噴射により洗い
流すためのシャワーノズルを複数設けることが望まし
い。

【０００８】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
スポンジローラーが、中心のローラー軸と、該ローラー
軸の外周に嵌め付けられた合成樹脂発泡体からなる円筒
形のスポンジ体とからなっていて、上記ローラー軸の外
周には、ワークの搬送及び洗浄時におけるスポンジ体の
円周方向への変移を防止するための係止用細溝が軸線方
向に設けられている。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照しながら詳細に説明する。図１に概念的に
示す洗浄装置は、円形又は矩形をした薄形のワークを一
枚ずつ搬送しながら洗浄処理する洗浄部１と、該洗浄部
１に未洗浄ワークＷを供給するためのローディング部２
と、洗浄処理されたワークＷを洗浄部１から取り出すた
めのアンローディング部３とを有している。

【００１０】上記洗浄部１は、ワークを薬液に浸漬させ
て洗浄する第１洗浄槽５と、シャワーノズルから噴射さ
れる純水により洗浄する第２洗浄槽６と、純水中に浸漬
して洗浄する第３洗浄槽７と、ワークの水切りを行う水
切槽８と、ワークを乾燥させる乾燥槽９とを、ローディ
ング部２側からアンローディング部３側に向けて上述し
た順に並べて設置したもので、上記各槽５〜９内に設置
されて互いに連続する複数対のスポンジローラーによ
り、上記ワークを一枚ずつ順次搬送しながら、各槽にお
いてそれぞれ上述した処理を施すものである。

【００１１】上記第１洗浄槽５は、図２〜図４に示すよ
うに、洗浄液である薬液１１を収容するための内槽１３
と、その外側の外槽１４とを有している。上記内槽１３
は、低尺の左右両側壁１８，１８で外槽１４と区画され
ていて、これら両側壁１８，１８間に該側壁より低尺の
前後一対の隔壁１７，１７を設けることにより、該内槽
１３の内部が、これらの隔壁１７，１７間に位置する内
側領域１３ａと、その外側に位置する外側領域１３ｂ，
１３ｂとに区画されている。該内槽１３の内部には、ワ
ークＷの搬送手段と洗浄手段とを兼ねる上下一対のスポ
ンジローラー１５ａ，１５ｂからなる複数のローラーユ
ニット１５が、それぞれのローラー軸１６の両端を両側
壁１８，１８に液密状態で回転自在なるように支持され
て、ワークの径より小さい間隔を保って配設されてい
る。これらのローラーユニット１５の大部分は、洗浄装
置の第１側に設けられた第１伝動機構１９ａを介して第
１モーター２０ａにより駆動されるようになっている
が、上記内側領域１３ａ内に位置する一部のローラーユ
ニット１５Ａ、図示の例では、第１側で駆動されるロー
ラーユニット２組おきに１組のローラーユニット１５Ａ
が、洗浄装置の第２側に設けられた第２伝動機構１９ｂ
を介して第２モーター２０ｂで駆動されるようになって
いる。そしてこれらのモーター２０ａ，２０ｂと伝動機
構１９ａ，１９ｂとからなる駆動手段により全てのスポ
ンジローラー１５ａ，１５ｂが、ワークＷの移動方向に
対して順方向に等速で駆動回転されるように構成されて
いる。換言すれば、図２において上段の全スポンジロー
ラー１５ａが反時計回りに等速で駆動され、下段の全ス
ポンジローラー１５ｂが時計回りに等速で駆動されるよ
うに構成されている。

【００１２】このように、全部のスポンジローラー１５
ａ，１５ｂを同じ側で駆動することなく、１本又は複数
本おきに交互に反対側から駆動することにより、片側駆
動に起因するスポンジローラー１５ａ，１５ｂの微妙な
傾き等によって各スポンジローラー１５ａ，１５ｂ間の
回転バランスや水平バランス等が崩れるのを防止し、搬
送時にワークＷが蛇行したり一側に片寄ったりするのを
防いで該ワークを真っ直ぐバランス良く搬送することが
できる。

【００１３】上記各スポンジローラー１５ａ，１５ｂは
互いに同一径及び同一構成を有するもので、図５に示す
ように、中心にあるステンレス製のローラー軸１６と、
該ローラー軸１６の外周に嵌め付けられた合成樹脂発泡
体からなる円筒形のスポンジ体２２とで構成されてい
る。そして、上記ローラー軸１６の外周面には、図６に
示すように、その複数箇所に、ローラー軸１６の軸線方
向に伸びる複数の係止用細溝１６ａがローラー軸１６の
外周を取り巻くように並べて形成され、これらの細溝１
６ａの係止力により、ワークの搬送及び洗浄時における
スポンジ体２２の円周方向の変移が防止されるようにな
っている。

【００１４】上記スポンジ体２２としては、ワークの表
面を傷付けない程度の柔軟性と弾性とを備えていて、か
つワーク表面の汚れを転写により除去することができる
程度に緻密な表面を備えているものが好ましく、例えば
ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）等を発泡成形したもの
が好適に使用される。

【００１５】上記内槽１３における内側領域１３ａ内に
洗浄液である薬液１１を供給するため、図２から分かる
ように、該内側領域１３ａの上流端側の底壁に給液口２
３が設けられると共に、下流端側の底壁に排液口２４が
設けられ、給液口２３に接続された洗浄液源２５から、
少なくともワークＷが浸漬する深さ、好ましくは上段の
スポンジローラー１５ａが１／２程度かそれ以上浸漬す
る深さの薬液１１が供給されるようになっている。この
薬液１１は、内側領域１３ａ内を上流側から下流側に向
かって流れ、その一部は前後の隔壁１７，１７をオーバ
ーフローして外側領域１３ｂ，１３ｂ内に流れ込み、底
壁に設けられた排出口２１から外部に排出される。そし
て、下流側の槽端壁２６に設けられた開口２６ａから洗
浄槽５内に送り込まれたワークＷが、その搬送方向とは
逆向きに流れる上記薬液１１中をスポンジローラー１５
ａ，１５ｂにより上流側に向けて向流的に搬送され、そ
の間にこれらのスポンジローラー１５ａ，１５ｂでワー
ク表面の汚れが転写により除去されるようになってい
る。

【００１６】上記各スポンジローラー１５ａ，１５ｂを
回転させるための駆動手段は、該スポンジローラー１５
ａ，１５ｂを順方向に等速で駆動できるものであればど
のようなものでも良いが、図示した実施例では次のよう
に構成されている。即ち、図３、図４及び図７に示すよ
うに、各スポンジローラー１５ａ，１５ｂのローラー軸
１６の一端には従動歯車２８が固定され、上下のスポン
ジローラー１５ａ，１５ｂの従動歯車２８，２８同士が
相互に直接噛合している。そして、洗浄槽５の第１側に
ある第１伝動機構１９ａにおいては、隣接するローラー
ユニット１５，１５における下段のスポンジローラー１
５ｂ，１５ｂの従動歯車２８，２８間に、これらの従動
歯車の回転方向を一方向に揃えるためのアイドル歯車２
９が、両従動歯車２８，２８に噛合するように設けら
れ、これらの従動歯車２８とアイドル歯車２９とが連な
る歯車列の端部の従動歯車２８には、駆動歯車３０が噛
合している。この駆動歯車３０は、機体に回転自在に支
持された中継駆動軸３１により傘歯歯車３２を介して主
駆動軸３３に連結され、この主駆動軸３３を介して上記
第１モーター２０ａで駆動されるようになっている。

【００１７】一方、洗浄槽５の第２側にある第２伝動機
構１９ｂにおいては、各ローラーユニット１５における
下段のスポンジローラー１５ｂ，１５ｂの従動歯車２８
に駆動歯車３０が直接噛合し、この駆動歯車３０により
中継駆動軸３１及び主駆動軸３３を介して第２モーター
２０ｂにより駆動されるようになっている。第２側で駆
動されるローラーユニット１５が複数組連なっている場
合には、第２伝動機構１９ｂは上記第１伝動機構１９ａ
と同様に構成される。

【００１８】上記各ローラーユニット１５は、上下のス
ポンジローラー１５ａ，１５ｂを予め一体に組み合わせ
た状態で両端を軸受部材に取り付け、この軸受部材を内
槽１３の側壁１８，１８に液密に着脱自在なるように構
成することもでき、これにより、スポンジローラー１５
ａ，１５ｂの交換が容易になる。この場合、複数又は全
部のローラーユニット１５を一体化し、それらを一斉に
交換できるように構成することもできる。

【００１９】上記第１洗浄槽５内にはまた、上記ローラ
ーユニット１５の上部に、薬液又は純水等の洗浄液源に
接続された複数のシャワーノズル３５が、各ローラーユ
ニット１５に向けて洗浄液を噴射可能なるように設けら
れている。このシャワーノズル３５は、洗浄作業が終了
したあと、スポンジローラー１５ａ，１５ｂに付着した
汚れをこれらのシャワーノズルから噴射される洗浄液に
より洗い流すのに使用される。

【００２０】上記シャワーノズル３５は、それらの複数
又は全部を共通の支持部材３６に取り付けることにより
一体化し、この支持部材３６を外槽１４に着脱自在なる
ように構成することもでき、これにより、メンテナンス
時のシャワーノズルの交換が容易になる。

【００２１】図中３７は、洗浄中のワークＷに超音波を
照射して洗浄効率を高めるための超音波照射手段、３８
は、洗浄槽５の上部を被う開閉自在の蓋体である。

【００２２】上記第１洗浄槽５において、ローディング
部２から槽端壁２６の開口２６ａを通じて槽内に送り込
まれた未洗浄ワークＷは、流れる洗浄液１１中を上下の
スポンジローラー１５ａ，１５ｂにより上流側に向けて
向流的に搬送され、その間に上記洗浄液１１により洗浄
されると共に、表面の汚れが上記スポンジローラー１５
ａ，１５ｂに転写されることにより除去され、槽端壁２
６に形成された開口２６ａを通じて隣の第２洗浄槽６に
送られる。このとき、全てのスポンジローラー１５ａ，
１５ｂが順方向に等速回転しているため、これらのスポ
ンジローラー１５ａ，１５ｂによりワークに直径方向の
力が作用することがなく、従ってワークがミクロン単位
の肉厚を持つ薄形ワークであっても、それを破損するこ
となく安全に洗浄することができる。

【００２３】上記第２洗浄槽６は、ワークＷにシャワー
ノズル３５から純水を噴射して薬液を洗い流すというリ
ンス処理を行うためのもので、図８及び図９に示すよう
に構成されている。この第２洗浄槽６が上記第１洗浄槽
５と相違する点は、使用する洗浄液が純水である点と、
内槽１３が洗浄液源に接続されていないという点だけ
で、その他の構成や変形例等については実質的に第１洗
浄槽５と同じである。従って、説明の重複を避けるた
め、主要な同一構成部分に第１洗浄槽５と同一符号を付
してその説明は省略する。この第２洗浄槽６において
は、スポンジローラー１５ａ，１５ｂで搬送中のワーク
Ｗにシャワーノズル３５から純水が噴射されることによ
り、付着した薬液がこの純水で洗い流されると共に、上
下のスポンジローラー１５ａ，１５ｂに転写されて除去
される。そして、純水でシャワーリンスされたワーク
は、槽端壁２６に形成されている開口２６ａを通じて隣
の第３洗浄槽７に送り込まれる。

【００２４】なお、上記第２洗浄槽６は、第１洗浄槽５
及び第３洗浄槽７と基本構成を共通化して、薬液又は純
水による浸漬洗浄と純水によるシャワーリンス洗浄との
何れにも使い分けできるようにしているため、超音波照
射手段３７が取り付けられたものが示されているが、シ
ャワーリンス洗浄にはこの超音波照射手段３７が使用さ
れないため、取り外しても良い。

【００２５】上記第３洗浄槽７は、ワークを純水中に浸
漬した状態でスポンジローラー１５ａ，１５ｂにより仕
上げ洗浄するもので、上記第１洗浄槽５とは、使用する
洗浄液が純水である点で相違するだけで、その他の構成
や作用及び変形例等については実質的に第１洗浄槽５と
同じであるから、ここでの詳細な説明は省略する。

【００２６】この第３洗浄槽７において、ワークが流れ
る洗浄液中を上下のスポンジローラー１５ａ，１５ｂに
より上流側に向けて向流的に搬送される間に、上記洗浄
液及びスポンジローラー１５ａ，１５ｂにより仕上げ洗
浄され、槽端壁２６に形成されている開口２６ａを通じ
て隣の水切槽８に送られる。

【００２７】上記水切槽８は、ワークに付着した洗浄液
をスポンジローラー１５ａ，１５ｂにより吸収して除去
するもので、図１０及び図１１に示すように、上記第１
〜第３洗浄槽５〜７に設けたローラーユニット１５と同
様の構成を持つ、上下一対のスポンジローラー１５ａ，
１５ｂからなるローラーユニット１５を複数設けると共
に、これらの各ローラーユニット１５における下段のス
ポンジローラー１５ｂの下部に、吸水した該スポンジロ
ーラー１５ｂを絞るための硬質の絞りローラー４０を圧
接状態に配設したものである。この絞りローラー４０
は、例えばポリ塩化ビニル等の合成樹脂素材により形成
されていて、下段のスポンジローラー１５ｂの回転に従
動して回転する。

【００２８】そして、この水切槽８内の各ローラーユニ
ット１５及び絞りローラー４０は、洗浄装置の第１側に
上記第１伝送機構１９ａ及び第１モーター２０ａとは別
に設けた第３伝動機構１９ｃ及び第３モーター２０ｃ
（図１３参照）により、乾燥槽９及びアンローディング
部３におけるローラーユニット１５と一緒に駆動される
ように構成されている。

【００２９】上記水切槽８の内部には、各ローラーユニ
ット１５の上部にノズル４２が設けられ、各ノズル４２
から対応するローラーユニット１５にそれぞれ洗浄液
（純水）を滴下することにより、スポンジローラー１５
ａ，１５ｂが乾燥するのを防止するようになっている。

【００３０】上記水切槽８の底部には排水口４３が設け
られ、ワークから除去された洗浄液とノズル４２から滴
下された洗浄液とがこの排水口４３から排出されるよう
になっている。

【００３１】この水切槽８においては、ワークＷが各ロ
ーラーユニット１５で搬送される間に、付着した洗浄液
が上下のスポンジローラー１５ａ，１５ｂに吸収されて
除去され、槽端壁４４の開口４４ａを通じて隣の乾燥槽
９に送られる。また、上下のスポンジローラー１５ａ，
１５ｂに吸収された洗浄液は、絞りローラー４０で絞ら
れることにより排出されるが、このとき、上段のスポン
ジローラー１５ａに吸収された洗浄液は、重力の作用に
より下段のスポンジローラー１５ｂに移動し、この下段
のスポンジローラー１５ｂを介して絞られることにより
排出される。

【００３２】上記乾燥槽９は、ワークにエアを吹き付け
て乾燥させるもので、図１２及び図１３に示すように、
上下一対のスポンジローラー１５ａ，１５ｂからなる複
数のローラーユニット１５と、一定間隔を保って配設さ
れた上下一対のエアノズル４６ａ，４６ｂと、該エアノ
ズル４６ａ，４６ｂに接続されたエア供給装置（図示せ
ず）とを有し、上記各エアノズル４６ａ，４６ｂから搬
送中のワークの上下面に斜め方向からエアを吹き付ける
ように構成されている。この場合、温度の高いホットエ
アを吹き付けることにより熱で乾燥させるようにして
も、常温のエアをエアナイフ状に吹き付けることにより
水分を吹き飛ばすようにしても良い。なお、上記ローラ
ーユニット１５は、第１〜第３洗浄槽７に設けたローラ
ーユニット１５と同じ構成を有するものである。図中４
７は槽底に設けた排気口である。

【００３３】また、上記ローディング部２とアンローデ
ィング部３とは、スポンジローラー１５ａ，１５ｂでワ
ークＷの供給及び取り出しを行うもので、図２、図３、
図１２、図１３から分かるように、上記洗浄部１が上下
２段にスポンジローラー１５ａ，１５ｂを配設している
のに対し、これらのローディング部２及びアンローディ
ング部３においては、洗浄部１における下段のスポンジ
ローラー１５ｂと対応する高さに一段だけスポンジロー
ラー１５ｂを配設している。ローディング部２のスポン
ジローラー１５ｂは、上記第１〜第３洗浄槽７のスポン
ジローラー１５ａ，１５ｂと同じ第１モーター２０ａ及
び第１伝動機構１９ａにより駆動され、アンローディン
グ部３のスポンジローラー１５ｂは、上記水切槽８及び
乾燥槽９内の各スポンジローラー１５ａ，１５ｂと同じ
第３モーター２０ｃ及び第３伝動機構１９ｃにより駆動
される。

【００３４】図示した実施例では、洗浄部１に異なる洗
浄処理を行う複数の洗浄槽５〜７を設置しているが、ワ
ークの種類や洗浄目的等によっては何れか一つの洗浄槽
だけを設置しても良い。

【００３５】

【発明の効果】このように本発明の洗浄装置によれば、
ワークの搬送手段と洗浄手段とを兼ねる上下のスポンジ
ローラーを、ワークの送り方向に対して順方向に等速回
転するよう回転方向及び回転速度を揃えて設置し、ワー
ク表面の汚れをこれらのスポンジローラーに転写させて
除去するように構成したので、洗浄時にこれらのスポン
ジローラーによってワークに無理な力が作用することが
なく、ミクロン単位の厚さを持つ薄いワークであっても
損傷や破損等を生じることなく洗浄することができる。
また、各スポンジローラーが同一径であるため一種類の
スポンジローラーだけを使用することができ、しかも、
各スポンジローラーの回転方向及び回転速度が全て同じ
であるため減速機構や逆転機構等を必要としないなど、
構造が簡単で製造及びメンテナンスも容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る洗浄装置を概略的に示す断面図で
ある。

【図２】図１の要部側面図である。

【図３】図２の平面図である。

【図４】図１の縦断面図である。

【図５】図２におけるローラーユニットの拡大断面図で
ある。

【図６】スポンジローラーの部分断面図である。

【図７】スポンジローラーの駆動部の拡大図である。

【図８】図１の要部側面図である。

【図９】図７の平面図である。

【図１０】図１の要部側面図である。

【図１１】図９の平面図である。

【図１２】図１の要部側面図である。

【図１３】図１１の平面図である。

【符号の説明】

Ｗ ワーク １ 洗浄部 ２ ローディング部 ３ アンローディング部 ５，６，７ 洗浄槽 １５ ローラーユニット １５ａ，１５ｂ スポンジローラー １６ ローラー軸 １６ａ 細溝 ２２ スポンジ体 ３５ シャワーノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B116 AA02 AB14 AB42 BA08 BA15 BB02 BB24 BB32 BB62 BC07 CC03 CD23 4K053 PA11 QA04 RA07 SA04 SA06 SA18 TA18 TA19 XA01 XA09 XA22 XA26 XA41

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】薄形ワークを一枚ずつ搬送しながら洗浄す
   る洗浄部と、該洗浄部に未洗浄ワークを供給するための
   ローディング部と、洗浄されたワークを取り出すための
   アンローデング部とを有し、 上記洗浄部が、少なくとも一つの洗浄槽を含んでいて、
   該洗浄槽には、ワークの搬送手段と洗浄手段とを兼ねる
   上下一対のスポンジローラーからなる複数のローラーユ
   ニットが、ワークの径より小さい間隔で配設され、 上記各ローラーユニットにおけるスポンジローラーは、
   互いに同一径を有すると共に、ワーク表面の汚れを転写
   により除去可能な程度に緻密な表面を有し、かつワーク
   の送り方向に対して順方向に等速回転するよう回転方向
   及び回転速度を揃えられ、上下のスポンジローラーでワ
   ークを両側から挟圧して搬送しながら、該ワーク表面の
   汚れをローラー表面に転写させて除去するように構成さ
   れていることを特徴とする薄形ワーク用洗浄装置。
2. 【請求項２】請求項１に記載の洗浄装置において、上記
   洗浄槽が、スポンジローラーに転写された汚れを洗浄液
   の噴射により洗い流すためのシャワーノズルを複数有す
   ることを特徴とするもの。
3. 【請求項３】請求項１又は２に記載の洗浄装置におい
   て、上記スポンジローラーが、中心のローラー軸と、該
   ローラー軸の外周に嵌め付けられた合成樹脂発泡体から
   なる円筒形のスポンジ体とからなっていて、上記ローラ
   ー軸の外周には、ワークの搬送及び洗浄時におけるスポ
   ンジ体の円周方向への変移を防止するための係止用細溝
   が軸線方向に設けられていることを特徴とするもの。