JP2001208792A - バーンイン試験システム、バーンイン試験方法及び記憶媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バーンイン試験装置と挿抜機との間のＩ／Ｆ
（インターフェイス）の構築を容易にし、また、バーン
インボードの実装位置情報および測定結果等の各情報フ
ァイルのデータの受け渡しの際にミスを発生することが
なく、バーンイン試験を容易にする。 【解決手段】 情報ファイル２１・２２・２３・２４
を、対応するバーンインボード７に対応づけてファイル
サーバ２に記憶させ、ファイルサーバ２が一括管理する
ことにより、挿抜機３・６、バーンイン試験装置４・５
で情報ファイル２１・２２・２３・２４を共用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、バーンイン試験シ
ステム、バーンイン試験方法及び記憶媒体に関し、詳細
には、半導体集積回路のバーンインボードへの実装、バ
ーンイン試験およびバーンインボードからの抜去におけ
る各工程間でのインターフェイスに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、様々な電子機器に使用される半導
体集積回路（ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（La
rge Scale Integrated-circuit）等）は、抵抗、コンデ
ンサ、トランジスタ等の各素子の働きを、印刷、蒸着等
の方法により形成した回路によって実現するが、大量生
産される製品間には多少の特性のばらつきが生じる。そ
のため、このような半導体集積回路の特性が規格を満た
しているか否かを試験して良否判定することにより、半
導体集積回路の信頼性を確保する必要がある。この半導
体集積回路の試験、すなわちＩＣ試験は、ＩＣ試験シス
テムにより行われる。

【０００３】このようなＩＣ試験システムの一形態とし
て、半導体集積回路（以下、ＤＵＴ：Device Under Tes
t）を恒温槽の中に入れ、槽内のＤＵＴに外部から電源
電圧や試験パターン信号を印加して試験するバーンイン
試験システムがある。

【０００４】バーンイン試験システムにおいては、恒温
槽内の温度を一定に設定し、ＤＵＴに長時間にわたり試
験パターン信号を印加してストレスを加え、初期不良を
検出している。また、ＤＵＴの１個当たりの試験時間が
長いため、恒温槽内に数千個から一万個のＤＵＴを収容
して試験時間を短縮させ、効率をあげている。

【０００５】恒温槽内には、ＤＵＴに外部から電源電圧
や試験パターン信号等を印加するために、ＤＵＴを実装
するバーンインボードとよばれるボードがある。バーン
インボードには、１枚当たり数百個のＤＵＴを実装する
ことができ、また、恒温槽内には数枚から数十枚のバー
インボードを収容することができる。

【０００６】バーンインボードへのＤＵＴの実装作業
は、自動的に実装作業をする挿抜機により実行される。
この挿抜機は、試験対象となるＤＵＴをバーンインボー
ドへ実装すると共に、バーンインボード１枚分実装後
に、バーンインボードへＤＵＴを実装した実装位置情報
を作成する。

【０００７】バーンイン試験装置は、挿抜機で作成され
た実装位置情報をもとにＤＵＴのバーンイン試験を行
い、バーンイン試験の結果であるパス／フェイルマップ
およびカテゴリ情報を作成する。また、バーンイン試験
装置は、バーンイン試験を実行する際、バーンインボー
ドへＤＵＴを実装した部分は全て良品（パス）の状態と
して試験を開始する。

【０００８】バーンイン試験装置による試験が終了する
と、抜去用の挿抜機は、バーンイン試験装置で作成され
たカテゴリ情報をもとにＤＵＴをバーンインボードから
抜去し、複数のカテゴリに分類する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
バーンイン試験システムでは、使用するバーンインボー
ドの品種に応じたボードの仕様（row ：縦の数、colum
n：横の数）を、使用する挿抜機ごとに入力する必要が
あった。

【００１０】また、挿抜機で作成された実装位置情報、
バーンイン試験の結果であるパス／フェイルマップおよ
びカテゴリ情報は、ＦＤを用いてデータの受け渡しが行
われていた。そのため、大量のバーンインボードを扱う
バーンイン試験においては、ＦＤの受け渡しのミスや、
添付するＦＤの間違い等のミスを発生させ、作業効率を
悪くさせていた。また、複数台のバーンイン試験装置で
同一ロットのＤＵＴを分散して測定する場合において
は、バーンインボードの実装位置情報の受け渡しミスが
発生することがあった。

【００１１】さらに、バーンイン試験装置と挿抜機との
インターフェイス（以下、Ｉ／Ｆという）を構築する場
合において、使用する挿抜機の仕様にあわせてＩ／Ｆを
構築しなければならず、Ｉ／Ｆ構築のために多大なる工
数が発生していた。

【００１２】本発明の課題は、バーンイン試験装置と挿
抜機との間のＩ／Ｆの構築を容易にし、また、バーンイ
ンボードの実装位置情報および測定結果等のデータの受
け渡しの際にミスを発生することがなく、バーンイン試
験を容易にすることである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項１記載の発明は、複数の被試験デバイスを
バーンインボード（例えば、図１のバーンインボード
７）上に搬送して配置すると共に、当該バーンインボー
ドから複数の被試験デバイスを搬出するデバイス搬送／
搬出装置（例えば、図１の挿抜機（挿入）３、挿抜機
（抜去）６）と、前記複数の被試験デバイスが配置され
るバーンインボードを恒温槽に収納し、当該複数の被試
験デバイスに試験信号を印加してバーンイン試験を実行
するバーンイン試験装置（例えば、図１のバーンイン試
験装置４および５）と、前記デバイス搬送／搬出装置お
よび前記バーンイン試験装置と通信回線（例えば、図１
のネットワーク１）を介して接続され、前記通信回線を
介して前記デバイス搬送／搬出装置から送信される前記
複数の被試験デバイスの配置情報（例えば、図１の実装
位置情報ファイル２２）と、前記通信回線を介して前記
バーンイン装置から送信されるバーンイン試験結果（例
えば、図１のパス／フェイルマップファイル２３、カテ
ゴリ情報ファイル２４）と、を対応づけて記憶する記憶
手段を備える管理装置（例えば、図１のファイルサーバ
２）と、から構成されるバーンイン試験システム（例え
ば、図１のバーンイン試験システム１０）であって、前
記管理手段は、前記バーンインボードの情報を含むマス
タファイル（例えば、図１のマスタファイル２１）を作
成し、前期被試験デバイスの配置情報およびバーンイン
試験結果を、前記マスタファイルと対応づけて前記管理
装置の記憶手段に記憶することを特徴とする。

【００１４】したがって、ファイルサーバが、使用する
バーンインボード毎に対応するマスタファイルを作成す
ることにより、バーンインボードを使用する度にその仕
様を入力する必要がなくなり、また、バーンインボード
を再使用する際においても、対応するマスタファイルを
再度読み出して使用することにより、容易にバーンイン
試験を実行できる。

【００１５】また、マスタファイルに基づいて、バーン
インボードに対応する実装位置情報ファイル、パス／フ
ェイルマップファイルおよびカテゴリ情報ファイル等の
各情報ファイルを作成でき、対応する各情報ファイルの
管理が容易にできる。

【００１６】さらに、複数のバーンイン試験装置間で各
情報ファイルを共有できるので、バーンイン試験の結果
を、以降実行するバーンイン試験に受け継ぐことが可能
になり、ＦＤによるデータの受け渡しのミスを防止でき
る。

【００１７】しかも、使用するバーンインボードの品種
または枚数の違い、さらに、使用するバーンイン試験装
置の性能または数の違いに関係なく、このバーンイン試
験システムを適用できるので、異なるＩ／Ｆ毎に行って
いたＩ／Ｆ構築の手間を大幅に削減できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。まず構成を説明する。

【００１９】図１において、バーンイン試験システム１
０は、ファイルサーバ２、挿抜機（挿入）３、バーンイ
ン試験装置４・５、挿抜機（抜去）６およびバーンイン
ボード７により構成される。そして、これらの各部は、
ネットワーク１により接続されている。

【００２０】バーンインボード７は、複数のＤＵＴを実
装することができる。バーンインボード７上へのＤＵＴ
の実装は挿抜機（挿入）３によって実行され、ＤＵＴの
実装位置は実装位置情報ファイル２２に登録される。ま
た、挿抜機（挿入）３によってＤＵＴを実装されたバー
ンインボード７は、バーンイン試験装置４・５が有する
恒温槽内にセットされる。そして、試験済みのＤＵＴ
は、挿抜機（抜去）６により、抜去される。

【００２１】バーンイン試験装置４・５は、各構成部を
制御する試験制御部、試験制御部が実行するための試験
プログラムとしての測定処理プログラムや試験結果等を
記憶する試験装置記憶部、バーンインボード７をセット
する恒温槽、試験制御部から入力される指示信号に応じ
てこの恒温槽内の温度を一定に保つヒータ部等から、そ
れぞれ構成される。

【００２２】また、恒温槽には、槽内にセットされるバ
ーンインボード７に試験制御部から入力される電源電圧
や試験パターン信号を供給するための試験信号入力端子
が設けられている。

【００２３】また、バーンイン試験装置４・５は、恒温
槽内にバーンインボード７がセットされ、かつ、ファイ
ルサーバ２から実装位置情報ファイル２２を読み込む
と、試験装置記憶部に記憶された試験プログラムにした
がってバーンイン試験を実行する。そして、試験結果
を、パス／フェイルマップファイルおよびカテゴリ情報
ファイル２４として、ファイルサーバ２に出力する。

【００２４】挿抜機（挿入）３は、ＤＵＴを実装するバ
ーンインボード７に対応するマスタファイル２１をファ
イルサーバ２から読み込み、マスタファイル２１に基づ
いてバーンインボード７にＤＵＴを実装するとともに、
ＤＵＴを実装した位置を登録する実装位置情報ファイル
２２を作成し、ファイルサーバ２に出力する。そして、
ＤＵＴを実装したバーンインボード７を、バーンイン試
験装置４・５の恒温槽内にセットする。

【００２５】挿抜機（抜去）６は、バーンイン装置４・
５から試験済みのバーンインボード７を受け継ぐと、フ
ァイルサーバ２から、対応するカテゴリ情報ファイル２
４を読み出し、この読み出したカテゴリ情報ファイル２
４に基づいて、バーンインボード７からＤＵＴを除去
し、複数のカテゴリに分類する。

【００２６】ファイルサーバ２は、ファイルサーバ２の
各構成部を制御する制御部、制御部から出力されるデー
タを表示する表示部、キーボードやマウス等によって入
力される情報を入力信号として制御部に出力する入力
部、制御部から指示されるデータや制御部が各種処理を
実行するためのプログラム等を記憶する記憶部等から構
成される。

【００２７】また、ファイルサーバ２の記憶部には、マ
スタファイル２１、実装位置情報ファイル２２、パス／
フェイルマップファイル２３およびカテゴリ情報ファイ
ル２４が記憶され、ネットワーク１を介してバーンイン
試験装置４・５、挿抜機（挿入）３および挿抜機（抜
去）６とデータのやりとりを行う。

【００２８】マスタファイル２１は、ファイルサーバ２
によって作成され、バーンインボード７の品種、縦の
数、横の数およびシリアル番号等の情報が登録される。

【００２９】実装位置情報ファイル２２は、挿抜機（挿
入）３によって、バーンインボード７にＤＵＴが実装さ
れた後に作成され、実装されたＤＵＴの位置等が登録さ
れる。

【００３０】パス／フェイルマップファイル２３は、フ
ァイルサーバ２によって、実装位置情報ファイル２２に
基づいて作成され、バーンインボード７上に実装したＤ
ＵＴが良品（パス）または不良品（フェイル）のどちら
であるかが登録される。また、初期設定として、全ての
ＤＵＴは良品（パス）と設定され、バーンイン試験装置
４・５によりバーンイン試験が実行されると、その試験
結果に応じて設定変更される。

【００３１】カテゴリ情報ファイル２４は、バーンイン
試験装置４・５によりバーンイン試験が終了すると、そ
の試験結果に応じて作成される。そして、このカテゴリ
情報ファイル２４に基づいて、挿抜機（抜去）６はバー
ンインボード７上から試験済みのＤＵＴを抜去・分類す
る。

【００３２】すなわち、バーンインボード毎に対応する
マスタファイル２１、実装位置情報ファイル２２、パス
／フェイルマップファイル２３およびカテゴリ情報ファ
イル２４が作成され、対応づけられてファイルサーバ２
の記憶部に記憶される。

【００３３】また、ファイルサーバ２は、使用するバー
ンインボード７に対応するマスタファイル２１を作成
し、記憶部に記憶する。そして、挿抜機（挿入）３から
入力される実装位置情報ファイル２２を、マスタファイ
ル２１に対応づけて記憶部に記憶し、この実装位置情報
ファイル２２に基づいて対応するパス／フェイルマップ
ファイル２３を作成し、記憶部に記憶する。

【００３４】また、バーンイン試験装置４・５から更新
されたパス／フェイルマップファイル２３およびカテゴ
リ情報ファイル２４が入力されると、記憶部に記憶され
ている、対応するパス／フェイルマップファイル２３を
更新し、フェイルが発生したＤＵＴにはフェイル情報を
付加して記憶する。また、入力されるカテゴリ情報ファ
イル２４を記憶部に記憶する。

【００３５】次に動作を説明する。本実施の形態におけ
るバーンイン試験システム１０の、挿抜機（挿入）３、
挿抜機（抜去）６、ファイルサーバ２およびバーンイン
試験装置４・５の動作を、図２に示すフローチャートに
より説明する。

【００３６】まず、ファイルサーバ２は、バーンイン試
験を行うバーンインボード７の品種、縦の数、横の数お
よびシリアル番号などの情報を登録したマスタファイル
２１を作成し（ステップＳ１２）、ファイルサーバ２の
記憶部に記憶する。

【００３７】次に、挿抜機（挿入）３は、ネットワーク
１を介してファイルサーバ２から、ＤＵＴを実装するバ
ーンインボード７に対応するマスタファイル２１を読み
出す（ステップＳ２１）。そして、挿抜機（挿入）３
は、読み出したマスタファイル２１に基づいてバーンイ
ンボード７上にＤＵＴを実装し（ステップＳ２２）、こ
の実装したＤＵＴの位置を登録する実装位置情報ファイ
ル２２を作成し（ステップＳ２３）、ネットワーク１を
介してファイルサーバ２に出力する。

【００３８】ファイルサーバ２は、ネットワーク１を介
して挿抜機（挿入）３から入力される実装位置情報ファ
イル２２を、マスタファイル２１に対応づけて記憶部に
記憶し（ステップＳ１４）、実装位置情報ファイル２２
を基づいて、パス／フェイルマップファイル２３を作成
し（ステップＳ１５）、マスタファイル２１に対応づけ
て記憶部に記憶する。

【００３９】この時、パス／フェイルマップファイル２
３において、全てのＤＵＴは良品（パス）に初期設定す
る。

【００４０】そして、バーンイン試験装置４・５は、Ｄ
ＵＴが実装されたバーンインボード７が挿抜機（挿入）
３により恒温槽内にセットされると、ネットワーク１を
介して、ファイルサーバ２から実装位置情報ファイル２
２を読み出し（ステップＳ３１）、実装されたＤＵＴに
対するバーンイン試験を実行する（ステップＳ３２）。

【００４１】バーンイン試験が終了すると、バーンイン
試験装置４・５は、試験結果に基づいてパス／フェイル
マップファイル２３を作成し（ステップＳ３３）、ネッ
トワーク１を介してファイルサーバ２に出力する。

【００４２】また、バーンイン試験装置４・５は、試験
結果に基づいてカテゴリ情報ファイル２４を作成し（ス
テップＳ３４）、ネットワーク１を介してファイルサー
バ２に出力する。

【００４３】ファイルサーバ２は、バーンイン装置４・
５からネットワーク１を介して、パス／フェイルマップ
ファイル２３およびカテゴリ情報ファイル２４が入力さ
れると、フェイルが発生したＤＵＴにはフェイル情報を
付加して、ファイルサーバ２上のパス／フェイルマップ
ファイル２３の内容を更新する（ファイルＳ１７）。

【００４４】また、ファイルサーバ２は、入力されたカ
テゴリ情報ファイル２４を記憶部に記憶する（ステップ
Ｓ１８）。

【００４５】そして、挿抜機（抜去）６は、ネットワー
ク１を介してファイルサーバ２より、バーンイン装置４
・５により作成されたカテゴリ情報ファイル２４を読み
出し（ステップＳ４１）、このカテゴリ情報ファイル２
４に基づいてバーンインボード７から試験済みのＤＵＴ
を抜去・分類する（ステップＳ４２）。

【００４６】挿抜機（抜去）６は、全ての試験済みのＤ
ＵＴについてバーンインボード７上からの抜去・分類が
終了すると、対応する実装位置情報ファイル２２をファ
イルサーバ２より削除し、バーンイン試験処理を終了す
る。

【００４７】本実施の形態においては、バーンインボー
ドが１枚の場合において説明を行ったが、もちろんこれ
は複数枚使用してもよい。その場合においては、ファイ
ルサーバ２は、使用する複数のバーンインボード７毎に
対応するマスタファイル２１を作成し、また、実装位置
情報ファイル２２、パス／フェイルマップファイル２３
およびカテゴリ情報ファイル２４は、この各マスタファ
イル２１毎に対応づけて作成・記憶される。

【００４８】また、挿抜機（挿入）３は、ＤＵＴの実装
を行う際に、バーンインボード７に対応するマスタファ
イル２１をファイルサーバ２から読み出し、このマスタ
ファイル２１に基づいてＤＵＴを実装する。

【００４９】バーンイン装置４・５は、バーンイン試験
を行う際に、バーンイン試験を行うバーンインボード７
に対応する実装位置情報ファイル２２をファイルサーバ
２から読み出し、バーンイン試験する。

【００５０】また、このバーンイン試験が終了すると、
パス／フェイルマップファイル２３およびカテゴリ情報
ファイル２４を作成し、ファイルサーバ２に出力する。

【００５１】ファイルサーバ２は、入力されるパス／フ
ェイルマップファイル２３およびカテゴリ情報ファイル
２４を、対応するバーンインボード７に対応づけて記憶
する。

【００５２】また、本実施の形態においては、バーンイ
ン試験装置を２台使用する場合において説明をしたが、
もちろんこれは何台でも良いし、使用するバーンイン試
験装置は、それぞれ異なる性能等を持っていてもかまわ
ない。

【００５３】以上のように、ファイルサーバ２が、使用
するバーンインボード７毎に対応するマスタファイル２
１を作成することにより、バーンイン試験をする際に、
バーンインボード７を使用する度にその仕様を入力する
必要がなくなり、また、バーンインボード７を再度使用
する際においても、対応するマスタファイル２１を再度
読み出して使用することにより、容易にバーンイン試験
を実行できる。

【００５４】また、マスタファイル２１に基づいて、バ
ーンインボード７毎に対応する実装位置情報ファイル２
２、パス／フェイルマップファイル２３およびカテゴリ
情報ファイル２４等の各情報ファイルを作成することに
より、各情報ファイルの判別・管理を容易に実行でき
る。

【００５５】また、実装位置情報ファイル２２は、ＤＵ
Ｔを実装するバーンインボード７のマスタファイル２１
に対応して作成されるので、同一ロッドのバーンインボ
ード７を複数使用する場合でも、実装位置情報ファイル
２２の受け渡しミスを防止できる。

【００５６】さらに、各挿抜機３および６、複数のバー
ンイン試験装置４・５で各情報ファイルを共有できるの
で、バーンイン試験の結果を、以降実行するバーンイン
試験装置が受け継ぐことが可能になる。

【００５７】例えば、全てのバーンイン試験装置に良品
（パス）の判定されたＤＵＴのみを選別したい場合、一
度フェイル（不良品）と判定されたＤＵＴは以降のバー
ンイン試験の対象から除外できるので、バーンイン試験
の効率をアップできる。

【００５８】また、使用するバーンインボードの品種ま
たは枚数の違い、さらに、使用するバーンイン試験装置
の性能または数の違い等に関係なく、このバーンイン試
験システムを適用できる。このため、異なるＩ／Ｆ毎に
行っていたＩ／Ｆ構築の手間を大幅に削減できる。

【００５９】

【発明の効果】請求項１、３および５記載の発明によれ
ば、ファイルサーバが、使用するバーンインボード毎に
対応するマスタファイルを作成することにより、バーン
インボードを使用する度にその仕様を入力する必要がな
くなる。また、バーンインボードを再使用する際におい
ても、対応するマスタファイルを再度読み出して使用す
ることにより、容易にバーンイン試験を実行できる。

【００６０】また、マスタファイルに基づいて、バーン
インボードに対応する実装位置情報ファイル、パス／フ
ェイルマップファイルおよびカテゴリ情報ファイル等の
各情報ファイルを作成でき、対応する各情報ファイルの
管理が容易にできる。

【００６１】さらに、複数のバーンイン試験装置間で各
情報ファイルを共有できるので、バーンイン試験の結果
を、以降実行するバーンイン試験に受け継ぐことが可能
になり、ＦＤによるデータの受け渡しのミスを防止でき
る。

【００６２】しかも、使用するバーンインボードの品種
または枚数の違い、さらに、使用するバーンイン試験装
置の性能または数の違いに関係なく、このバーンイン試
験システムを適用できる。したがって、異なるＩ／Ｆ毎
に行っていたＩ／Ｆ構築の手間を大幅に削減できる。

【００６３】請求項２、４および６記載の発明によれ
ば、対応するマスタファイルに基づいて、バーンインボ
ード上に被試験デバイスを配置でき、実装位置情報ファ
イルをバーンインボード毎に対応づけて作成・記憶でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】バーンイン試験システムの内部構成を示すブロ
ック図である。

【図２】各挿抜機、ファイルサーバおよびバーンイン試
験装置の動作を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１０ バーンイン試験システム １ ネットワーク ２ ファイルサーバ ２１ マスタファイル ２２ 実装位置情報ファイル ２３ パス／フェイルマップファイル ２４ カテゴリ情報ファイル ３ 挿抜機（挿入） ４、５ バーンイン試験装置 ６ 挿抜機（抜去） ７ バーンインボード

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の被試験デバイスをバーンインボード
   上に搬送して配置すると共に、当該バーンインボードか
   ら複数の被試験デバイスを搬出するデバイス搬送／搬出
   装置と、 前記複数の被試験デバイスが配置されるバーンインボー
   ドを恒温槽に収納し、当該複数の被試験デバイスに試験
   信号を印加してバーンイン試験を実行するバーンイン試
   験装置と、 前記デバイス搬送／搬出装置および前記バーンイン試験
   装置と通信回線を介して接続され、前記通信回線を介し
   て前記デバイス搬送／搬出装置から送信される前記複数
   の被試験デバイスの配置情報と、前記通信回線を介して
   前記バーンイン試験装置から送信されるバーンイン試験
   結果と、を対応づけて記憶する記憶手段を備えた管理装
   置と、 から構成されるバーンイン試験システムであって、 前記管理装置は、前記バーンインボードの情報を記憶す
   るマスタファイルを作成し、前記被試験デバイスの配置
   情報およびバーンイン試験結果を、前記マスタファイル
   と対応づけて前記記憶手段に記憶することを特徴とする
   バーンイン試験システム。
2. 【請求項２】前記デバイス搬送／搬出装置は、前記管理
   装置の記憶手段に記憶される前記マスタファイルを読み
   出し、当該マスタファイルに基づいて、前記バーンイン
   ボード上に前記複数の被試験デバイスを配置することを
   特徴とする請求項１記載のバーンイン試験システム。
3. 【請求項３】複数の被試験デバイスをバーンインボード
   上に搬送して配置すると共に、当該バーンインボードか
   ら複数の被試験デバイスを搬出するデバイス搬送／搬出
   工程と、 前記複数の被試験デバイスが配置されるバーンインボー
   ドを恒温槽に収納し、当該複数の被試験デバイスに試験
   信号を印加してバーンイン試験を実行するバーンイン試
   験工程と、 通信回線を介して送信される前記複数の被試験デバイス
   の配置情報とバーンイン試験結果とを対応づけて管理す
   る管理工程と、 を備えるバーンイン試験方法であって、 前記管理工程において、前記バーンインボードの情報を
   記憶するマスタファイルを作成し、前記被試験デバイス
   の配置情報およびバーンイン試験結果を、前記マスタフ
   ァイルと対応づけて記憶する記憶工程を含むことを特徴
   とするバーンイン試験方法。
4. 【請求項４】前記記憶工程に続き、前記マスタファイル
   を読み出し、当該マスタファイルに基づいて、前記バー
   ンインボード上に前記複数の被試験デバイスを配置する
   配置工程をさらに含むことを特徴とする請求項３記載の
   バーンイン試験方法。
5. 【請求項５】デバイス搬送／搬出装置により、複数の被
   試験デバイスをバーンインボード上に搬送して配置する
   と共に、当該バーンインボードから複数の被試験デバイ
   スを搬出し、 バーンイン試験装置により、前記複数の被試験デバイス
   が配置されるバーンインボードを恒温槽に収納し、当該
   複数の被試験デバイスに試験信号を印加してバーンイン
   試験を実行し、 前記デバイス搬送／搬出装置および前記バーンイン試験
   装置と通信回線を介して接続される管理装置により、前
   記通信回線を介して前記デバイス搬送／搬出装置から送
   信される前記複数の被試験デバイスの配置情報と、前記
   通信回線を介して前記バーンイン試験装置から送信され
   るバーンイン試験結果と、を対応づけて管理するバーン
   イン試験を制御するためのコンピュータが実行可能なプ
   ログラムを格納した記憶媒体であって、 前記バーンインボードの情報を記憶するマスタファイル
   を作成し、前記被試験デバイスの配置情報およびバーン
   イン試験結果を、前記マスタファイルに対応づけて記憶
   するためのプログラムコードを含むプログラムを格納し
   たことを特徴とする記憶媒体。
6. 【請求項６】記憶された前記マスタファイルを読み出
   し、当該マスタファイルに基づいて、前記バーンインボ
   ード上に前記複数の被試験デバイスを配置するためのプ
   ログラムコードをさらに格納したことを特徴とする請求
   項５記載の記憶媒体。