JP2001189547A - 電極形成方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 焼成体が形成される絶縁性基板上に、形成位
置精度の高い電極を容易且つ安価に形成することができ
る電極形成方法及び装置を提供すること。 【解決手段】 成形用雌型１００の、ＰＤＰの背面板２
の電極形成部位と対向する部位に、背面電極４の原材料
としての導電材層４Ａを形成し、背面板２上に導電材層
４Ａが密着するように成形用雌型１００を載置した状態
で、該成形用雌型１００の型溝１００ａ内に、バリアリ
ブ６の原材料となるセラミックペースト１２を充填し
て、バリアリブ６の原型体６Ａを形成した後、該原型体
６Ａ及び導電材層４Ａを、焼成炉２００内で成形用雌型
１００とともに燃焼して、該原型体６Ａ及び導電材層４
Ａを焼成するとともに、可燃性材料からなる成形用雌型
１００を焼失させる。これにより、焼成時の熱ストレス
によって、背面電極４の形成位置とバリアリブ６の形成
位置とに位置ズレが発生することがなくなり、背面板２
上に形成位置精度の高い背面電極４が容易且つ安価に形
成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの背面ガラス基板や表面ガラス基板、あるい
は、静電アクチュエータの固定子などのような絶縁性基
板に電極を形成する電極形成方法及び装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイパネル（以下、
［ＰＤＰ］という）の背面ガラス基板（以下、「背面
板」という）には、複数の放電セルの放電空間を仕切る
ためのバリアリブが設けられている。該バリアリブは、
通常、セラミックペーストなどを焼成した焼成体で形成
されている。また、ＰＤＰの表面ガラス基板（以下、
「表面板」という）及び背面板には、Ｎｉ，Ａｌ，Ａ
ｕ，Ａｇなどの導電材からなる陰極及び陽極としての電
極が形成されている。

【０００３】カラーＰＤＰは、原理的には、カラー蛍光
灯を微小化してアレイ状に配列したもので、該蛍光灯に
相当する放電セルの放電空間を上記バリアリブで仕切る
ことによって形成したものである。このＰＤＰは、図６
（ａ）に示すようなＤＣ型と、図６（ｂ）、（ｃ）に示
すようなＡＣ型とに大別され、また、主流になりつつあ
るＡＣ型のＰＤＰには、図６（ｂ）に示すような対向放
電型と、図６（ｃ）に示すような面放電型との２種類が
ある。

【０００４】ＤＣ型のＰＤＰは、図６（ａ）に示すよう
に、表面板１に対して所定の高さの放電空間を隔てて対
向配置された背面板２、ＩＴＯもしくはＳｎＯ_２をフォ
トエッチング法もしくはリフトオフ法により表面板１の
内面に製膜（パターニング）して設けた陰極としての透
明な表面電極３、Ａｇペーストなどのペースト状の導電
剤を印刷法やフォトエッチング法などにより背面板２の
内面に製膜（パターニング）して設けた陽極としての背
面電極４、背面板に塗布され紫外線によりＲＧＢの３原
色を発光する発光体５、表面板１と背面板２との間の放
電空間をセル状に仕切るためのバリアリブ６、表面電極
３と背面電極４とに直流電圧を印加して表面電極３と背
面電極４との間で放電現象を生じさせることにより表面
板１と背面板２との間の放電空間に封入した水銀ガスに
固有の紫外線を発光させる直流電源７などで構成されて
いる。このＤＣ型のＰＤＰは、表面電極３及び背面電極
４が放電空間に露出しているため、気体イオンによって
該電極がスパッタされ飛散してなくなったり、飛散した
陰極材料が蛍光体５の上に堆積して蛍光体５への紫外線
照射を遮ってしまったりして、寿命が低下する不具合が
ある。

【０００５】ＡＣ型のＰＤＰは、上記ＤＣ型のＰＤＰの
不具合を解消するために、図６（ｂ）、（ｃ）に示すよ
うに、表面電極３及び背面電極４を、誘電体層８と酸化
マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層９とで覆って、
放電空間に直接露出しないように構成したものである。
このＡＣ型のＰＤＰの放電は、絶縁物である保護層９の
表面を介して行われるため、交流電源１０により行われ
る。つまり、電子回路的には、ＤＣ型のＰＤＰをコンデ
ンサを通して駆動するのと同じである。また、酸化マグ
ネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層９は、ＤＣ型のＰＤ
Ｐの陰極の役目をする他、余分な放電電流を抑えたり、
一旦点弧した放電を維持するメモリ機能などの役割を果
たす。なお、図６（ｂ）に示す対向放電型のＰＤＰは、
陰極と陽極との２本の電極を、表面電極３及び背面電極
４として上下対向させて配置したもので、図６（ｃ）に
示す面放電型のＰＤＰは、陰極と陽極とからなる２本の
表面電極３ａ、３ｂを、表面板１の内面にほぼ平行に並
べて配置したものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のＰＤ
Ｐにおいては、その背面板２に背面電極４及びバリアリ
ブ６を形成する場合、一般的に、背面電極４を背面板２
に形成した後、この背面電極４が形成された背面板２上
にバリアリブ６を形成している。このように、従来のＰ
ＤＰでは、その背面電極４とバリアリブ６とが、それぞ
れ独自の加工工程により別々に形成されるため、この背
面電極４の形成位置とバリアリブ６の形成位置とに位置
ズレが発生する虞があった。この位置ズレを解消するに
は、背面電極４の形成位置とバリアリブ６の形成位置と
を厳密に位置合わせする必要があるため、極めて高度な
位置決め技術や高精度な位置決め装置が必要となる。

【０００７】しかし、この背面電極４の形成位置とバリ
アリブ６の形成位置とは、該バリアリブ６及び背面板４
が焼成される際の熱ストレスによって、狂いが生じる可
能性が高いため、例え高精度な位置決め装置を用いて高
度な技術を駆使したとしても、それぞれの形成位置の位
置ズレを完全に解消することは難しい。また、上述のよ
うに、背面電極４とバリアリブ６とを、それぞれ独自の
加工工程により別々に形成した場合には、加工工数が多
くなるため、ＰＤＰの低コスト化実現の障碍ともなる。

【０００８】なお、ここでは、焼成体としてのバリアリ
ブ６が形成されるＰＤＰの背面板２上に、背面電極４を
形成する場合について述べたが、上述のような課題は、
例えば、静電アクチュエータの固定子を焼成体で形成
し、この焼成体からなる固定子に電極を形成する場合で
も生じる。

【０００９】本発明は以上の問題点に鑑みなされたもの
であり、その目的とするところは、焼成体が形成される
絶縁性基板上に、形成位置精度の高い電極を容易且つ安
価に形成することができる電極形成方法及び装置を提供
することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、焼成体が形成される絶縁性基板
に電極を形成する電極形成方法であって、上記焼成体を
象った型溝を有する可燃性材料で形成した成形用雌型
の、上記絶縁性基板の電極形成部位と対向する部位に、
上記電極の原材料としての導電材層を形成した後、該絶
縁性基板上に該導電材層が密着するように該成形用雌型
を載置した状態で、該型成形用雌型の型溝内に該焼成体
の原材料を充填して該絶縁性基板上に焼成体の原型体を
成形し、該成形用雌型と一体の状態で該原型体に対する
焼成処理を行って該成形用雌型を焼失させるとともに該
絶縁性基板上に該焼成体及び該電極を焼成することを特
徴とするものである。

【００１１】この電極形成方法においては、まず、焼成
体を象った型溝を有する可燃性材料で形成した成形用雌
型の、絶縁性基板の電極形成部位と対向する部位に、電
極の原材料としての導電材層が形成される。その後、該
絶縁性基板上に該導電材層が密着するように該成形用雌
型が載置された状態で、該型成形用雌型の型溝内に該焼
成体の原材料が充填されて、該絶縁性基板上に焼成体の
原型体が成形される。次いで、該成形用雌型と一体の状
態で該原型体に対する焼成処理が行われる。これによ
り、該成形用雌型が焼失されるとともに該絶縁性基板上
に該焼成体及び該電極が焼成される。つまり、この電極
形成方法においては、電極の原材料としての導電材層が
形成された成形用雌型の型溝内に、該焼成体の原材料が
充填された状態で、該原型体及び導電材層が同時に焼成
される。このように、この電極形成方法においては、該
原型体及び導電材層が成形用雌型の型溝により支承され
た状態で、該原型体と導電材層とが一度の焼成工程によ
り絶縁性基板上に同時に焼成されるので、焼成時の熱ス
トレスによって、該電極の形成位置と該焼成体の形成位
置とに位置ズレが発生することがなくなる。従って、こ
の電極形成方法においては、電極の形成位置と焼成体の
形成位置との厳密な位置合わせを行うことなく、焼成体
が形成される絶縁性基板上に、形成位置精度の高い電極
を容易且つ安価に形成することができる。また、この電
極形成方法では、該原型体を成形用雌型の型溝から型抜
きする必要がないので、該型抜きにより原型体が変形し
たり欠損したりすることがなく、該原型体を高精度且つ
容易に形成できる。更に、この電極形成方法によれば、
原型体を乾燥又は固化あるいは焼成する際に、該原型体
が成形用雌型の型溝により支承された状態となるので、
該原型体の変形（歪み）やひび割れの発生が減少され、
焼成時の歩留まりが向上される。

【００１２】請求項２の発明は、請求項１の電極形成方
法において、上記電極の原材料としての導電材層が、ペ
ースト状の導電剤からなることを特徴とするものであ
る。

【００１３】この電極形成方法においては、上記成形用
雌型にペースト状の導電剤を印刷又は塗布して形成され
た導電材層が焼成されることにより、上記絶縁性基板の
所定の位置に電極が形成される。このように、上記成形
用雌型に形成される導電材層をペースト状の導電剤で形
成することにより、周知の印刷法や塗布などにより該導
電剤層を極めて容易に形成することができる。また、該
ペースト状の導電剤のバインダーとして、接着力の高い
バインダーを用いることにより、上記絶縁性基板と電極
との接着性を向上させることが可能になる。

【００１４】請求項３の発明は、請求項１又は２の電極
形成方法において、上記原型体を焼成する焼成炉内に窒
素を導入して該原型体及び上記導電材層を窒素雰囲気中
で焼成した後、該焼成炉内に酸素を導入して上記成形用
雌型を焼失させることを特徴とするものである。

【００１５】この電極形成方法においては、上記原型体
及び導電材層が窒素雰囲気中で焼成され、その後、該窒
素雰囲気中に酸素が導入されることによって上記成形用
雌型が焼失される。つまり、該原型体及び導電材層の焼
成が完了するまで、該原型体及び導電材層が成形用雌型
の型溝によって支承された状態となる。これにより、原
型体及び導電材層の焼成時に成形用雌型が先に焼失され
て、該成形用雌型による原型体及び導電材層の支承機能
が損なわれることがなくなり、該原型体及び導電材層の
焼成時における変形（歪み）やひび割れの発生が大幅に
減少され、ＰＤＰの歩留まりがより向上される。

【００１６】請求項４の発明は、請求項１、２又は３の
電極形成方法において、上記成形用雌型をカーボンで形
成したことを特徴とするものである。

【００１７】この電極形成方法においては、上記成形用
雌型がカーボンで形成されているので、該成形用雌型が
焼失される際に、原型体及び導電材層や環境に害を及ぼ
すような有害物質の発生が少なくなる。また、カーボン
からなる成形用雌型の燃焼によって、原型体及び導電材
層の焼成が助長されるので、原型体及び導電材層の焼成
にかかる燃料や時間を節約できるようになる。

【００１８】請求項５の発明は、請求項１、２、３又は
４の電極形成方法において、上記焼成体の原材料が、ガ
ラス成分を含有していることを特徴とするものである。

【００１９】この電極形成方法においては、上記焼成体
の原材料にガラス粒子を含有させることで、該焼成体の
原型体が乾燥する際に該原型体に変形（歪み）やひび割
れが生じても、該原型体が成形用雌型の型溝により支承
されて焼成される際に、焼成体の原材料のガラス成分が
溶融して結合することにより、該原型体に生じた変形
（歪み）やひび割れが消滅されるようになる。

【００２０】請求項６の発明は、請求項１、２、３、４
又は５の電極形成方法において、上記成形用雌型は、焼
成体の雛形を用いて型取りしたカーボンペーストで形成
されていることを特徴とするものである。

【００２１】この電極形成方法においては、焼成体の原
型体及び導電材層を焼成する度に、該成形用雌型が焼失
されてしまうため、該成形用雌型を安価な可燃性材料に
より容易に量産できるようにして、焼成体及び電極の生
産性の向上及び生産コストの低減を図ることが求められ
る。この電極形成方法においては、焼成体の雛形を用い
て型取りされたカーボンペーストによって成形用雌型が
形成されるので、該成形用雌型を安価な材料により容易
に量産することが可能になる。

【００２２】請求項７の発明は、請求項１、２、３、
４、５又は６の電極形成方法において、上記焼成体は、
プラズマディスプレイパネルの放電セルを仕切るための
バリアリブであり、上記電極は、該プラズマディスプレ
イパネルの背面板上に形成される背面電極であることを
特徴とするものである。

【００２３】この電極形成方法においては、上記焼成体
としてのプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の放電
セルを仕切るためのバリアリブ及び電極が、成形用雌型
の型溝により支承された状態で焼成されるので、該バリ
アリブ及び電極の変形（歪み）やひび割れの発生が減少
され、ＰＤＰの歩留まりが向上される。

【００２４】請求項８の発明は、焼成体が形成される絶
縁性基板に電極を形成する電極形成装置であって、上記
焼成体を象った型溝を有する可燃性材料で形成した成形
用雌型の、上記絶縁性基板の電極形成部位と対向する部
位に、上記電極の原材料としての導電材層を形成する導
電材層形成手段と、該絶縁性基板上に該導電材層が密着
するように該成形用雌型を載置した状態で、該型成形用
雌型の型溝内に該焼成体の原材料を充填して該絶縁性基
板上に焼成体の原型体を成形する原型体形成手段と、該
原型体に対する焼成処理を行って該成形用雌型を焼失さ
せるとともに該絶縁性基板上に該焼成体及び該電極を焼
成する焼成炉とを有することを特徴とするものである。

【００２５】この電極形成装置においては、まず、上記
導電材層形成手段により、焼成体を象った型溝を有する
可燃性材料で形成した成形用雌型の、絶縁性基板の電極
形成部位と対向する部位に、電極の原材料としての導電
材層が形成される。その後、上記原型体形成手段によ
り、該絶縁性基板上に該導電材層が密着するように該成
形用雌型が載置された状態で、該型成形用雌型の型溝内
に該焼成体の原材料が充填されて、該絶縁性基板上に焼
成体の原型体が成形される。次いで、上記焼成炉によ
り、該原型体に対する焼成処理が行われる。これによ
り、該成形用雌型が燃焼されて焼失され、該絶縁性基板
上に該焼成体及び該電極が焼成される。つまり、この電
極形成装置においては、電極の原材料としての導電材層
が形成された成形用雌型の型溝内に、該焼成体の原材料
が充填された状態で、該原型体及び電極が同時に焼成さ
れる。このように、この電極形成装置においては、原型
体を乾燥又は固化あるいは焼成する際に、該原型体が成
形用雌型の型溝により支承された状態で、該電極と焼成
体とが一度の焼成工程により絶縁性基板上に同時に形成
されるので、焼成時の熱ストレスによって、該電極の形
成位置と該焼成体の形成位置とに位置ズレが発生するこ
とがなくなる。従って、この電極形成装置においては、
電極の形成位置と焼成体の形成位置との厳密な位置合わ
せを行うことなく、焼成体が形成される絶縁性基板上
に、形成位置精度の高い電極を容易且つ安価に形成する
ことができる。また、この電極形成装置では、該原型体
を成形用雌型の型溝から型抜きする必要がないので、該
型抜きにより原型体が変形したり欠損したりすることが
なく、該原型体を高精度且つ容易に形成できる。更に、
この電極形成装置によれば、原型体及び導電材層を焼成
する際に、該原型体及び導電材層が成形用雌型の型溝に
より支承された状態となるので、該原型体及び導電材層
の変形（歪み）やひび割れの発生が減少され、焼成時の
歩留まりが向上される。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を、プラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）の背面板２上に背面電極４を形
成する場合の電極形成方法に適用した実施形態について
説明する。図１に、本実施形態に係る電極形成方法の一
例を示す。上記背面電極４は、ＰＤＰの放電セルを仕切
るバリアリブ６を背面板２上に成形するための、可燃性
材料により作成された成形用雌型１００を使用して製造
される。この成形用雌型１００には、図１（ａ）に示す
ように、形成しようとするバリアリブ６を象った型溝１
００ａが形成されている。この成形用雌型１００の作成
方法については後に詳述することとする。

【００２７】上記背面電極４を背面板２上に形成する手
順としては、まず、図１（ａ）に示すように、上記成形
用雌型１００の、ＰＤＰの背面板２の電極形成部位と対
向する部位（通常は、放電セルのほぼ中央の部位）に、
背面電極４の原材料としての導電材層４Ａを形成する。
この導電材層４Ａは、上記成形用雌型１００の所定の部
位に、例えば、スクリーンやマスクあるいはロールを用
いて、導電性ペーストを印刷あるいは塗布することによ
り、所定の厚さに形成される。また、導電性ペーストの
材料としては、Ａｕ，Ａｇ，Ｎｉ等の導電性の高い材
料、又はＡｌ，Ｃｒ，Ｔａ，Ｗ等の耐スパッタリング性
の高い導電性材料が用いられる。

【００２８】次いで、図１（ｂ）に示すように、上記成
形用雌型１００の型溝１００ａがＰＤＰの背面板２に形
成されるバリアリブ６の形成位置に対応し、且つ、背面
板２上に上記導電材層４Ａが密着するように、該成形用
雌型１００を背面板２上に配設する。その後、図１
（ｃ）に示すように、背面板２上に導電材層４Ａが密着
するように成形用雌型１００が載置された状態で、該成
形用雌型１００の型溝１００ａ内に、バリアリブ６の原
材料となるセラミックペースト１２を、スキージングあ
るいは塗布などの方法により充填する。これにより、該
成形用雌型１００の型溝１００ａ内に充填されたセラミ
ックペースト１２により、焼成体としてのバリアリブ６
の原型体６Ａが形成される。

【００２９】次いで、図１（ｄ）に示すように、セラミ
ックペースト１２からなるバリアリブ６の原型体６Ａ及
び上記導電材層４Ａを、焼成炉２００内で成形用雌型１
００とともに焼成処理する。この焼成処理により該バリ
アリブ６の原型体６Ａ及び導電材層４Ａが焼成され、且
つ、可燃性材料からなる成形用雌型１００が焼失され
る。これにより、図１（ｅ）に示すように、背面板２上
の所定の位置に、成形用雌型１００の型溝１００ａによ
り成形された所定の幅及び高さのバリアリブ６が焼成さ
れるとともに、該バリアリブ６により仕切られた放電セ
ルに対応する背面板２上の所定部位に背面電極４が焼成
される。

【００３０】このように、本実施形態に係る電極形成方
法においては、バリアリブ６の原型体６Ａが成形用雌型
１００の型溝１００ａにより支承され、且つ、上記背面
電極４の原材料としての導電材層４Ａが成形用雌型１０
０に形成された状態で、該導電材層４Ａと原型体６Ａと
が一度の焼成工程により背面板２上に同時に焼成される
ので、焼成時の熱ストレスによって、背面電極４の形成
位置とバリアリブ６の形成位置とに位置ズレが発生する
ことがなくなる。従って、この電極形成方法において
は、背面電極４の形成位置とバリアリブ６の形成位置と
の厳密な位置合わせを行うことなく、バリアリブ６が形
成される背面板２上に、形成位置精度の高い背面電極４
を容易且つ安価に形成することができる。また、この電
極形成方法では、バリアリブ６の原型体６Ａを成形用雌
型１００の型溝１００ａから型抜きする必要がないの
で、この型抜きにより原型体６Ａが変形したり欠損した
りすることがなく、該原型体６Ａを高精度且つ容易に形
成できる。更に、この電極形成方法によれば、原型体６
Ａを乾燥又は固化あるいは焼成する際に、該原型体６Ａ
が成形用雌型１００の型溝１００ａにより支承された状
態となるので、該原型体６Ａの変形（歪み）やひび割れ
の発生が減少され、焼成時の歩留まりが向上される。

【００３１】上記電極形成方法においては、図１（ｄ）
に示す焼成工程において、まず、焼成炉２００内に吸気
バルブ２００ａを通して窒素を導入して、上記原型体６
Ａ及び上記導電材層４Ａを窒素雰囲気中で焼成した後、
排気バルブ２００ｂを通して該焼成炉２００内の窒素を
排気し、次いで、焼成炉２００内に他の吸気バルブ２０
０ｃを通して酸素を導入して、上記成形用雌型１００を
焼失させることが好ましい。このように、原型体６Ａ及
び導電材層４Ａを窒素雰囲気中で焼成した後、該焼成炉
２００内に酸素を導入して成形用雌型１００を焼失させ
ることによって、該原型体６Ａ及び導電材層４Ａの焼成
が完了するまで、該原型体６Ａ及び導電材層４Ａが成形
用雌型１００によって支承された状態となる。これによ
り、原型体６Ａ及び導電材層４Ａの焼成時に成形用雌型
１００が先に焼失されて、該成形用雌型１００による原
型体６Ａ及び導電材層４Ａの支承機能が損なわれること
がなくなり、該原型体６Ａ及び意導電材層４Ａの変形
（歪み）やひび割れの発生が大幅に減少され、ＰＤＰの
歩留まりがより向上される。

【００３２】また、上記成形用雌型１００を作成するた
めの可燃性材料は、乾燥や固化により雌型としての適度
な剛性を呈し且つ燃焼により焼失されるものであれば、
例えば可燃性の樹脂など、どのようなものでもよいが、
この成形用雌型１００を作成する可燃性材料としてはカ
ーボンを使用することが好ましい。すなわち、成形用雌
型１００をカーボンで作成することにより、該成形用雌
型１００が焼失される際に、原型体６Ａや環境に害を及
ぼすような有害物質の発生が少なくなる。また、カーボ
ンからなる成形用雌型１００の燃焼によって、原型体６
Ａの焼成が助長されるので、原型体６Ａの焼成にかかる
燃料や時間を節約することができるようになる。

【００３３】また、上記背面板２上に配設された成形用
雌型１００の型溝１００ａ内に充填されるバリアリブ６
の原材料は、焼成されることによってバリアリブ６とし
ての機能や強度を呈するものであればどのようなもので
もよいが、このバリアリブ６の原材料としてはセラミッ
クペースト１２のようなガラス成分を含んでいるものを
使用することが好ましい。すなわち、バリアリブ６の原
材料としてセラミックペースト１２を用いた場合には、
バリアリブ６の原型体６Ａが乾燥する際に該原型体６Ａ
に変形（歪み）やひび割れが生じても、該原型体６Ａが
成形用雌型１００に支承されて焼成される際に、セラミ
ックペースト１２のガラス成分が溶融して結合すること
により、該原型体６Ａに生じた変形（歪み）やひび割れ
が消滅されるようになる。

【００３４】ところで、上述の電極形成方法では、その
原型体６Ａ及び導電材層４Ａを焼成する度に、成形用雌
型１００が焼失されてしまうため、該成形用雌型１００
を安価な可燃性材料により容易に量産できるようにし
て、バリアリブ６及び背面電極４の生産性の向上及び生
産コストの低減を図ることが重要となる。そこで、この
電極形成方法においては、該バリアリブ６の雛形を用い
て型取りしたカーボンペーストによって成形用雌型１０
０を作成するようにする。すなわち、前述したように、
成形用雌型１００を作成する可燃性材料としてはカーボ
ンを使用することが好ましく、該カーボンをペースト状
にしたカーボンペーストは比較的安価で且つ容易に入手
できる。また、カーボンペーストはその取り扱いも容易
であるので、複雑且つ高価な設備も不要となる。成形用
雌型１００を、バリアリブ６の雛形を用いて型取りして
形成することで、該成形用雌型１００を容易に量産する
ことが可能になる。

【００３５】ところで、ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕
切るバリアリブ６は、周知のように、細かなピッチのス
トライプ形状に形成されている。また、ＤＣ型のＰＤＰ
の放電セルを仕切るバリアリブ６は、細かなピッチのメ
ッシュ形状に形成されている。従って、これらのバリア
リブ６の成形用雌型１００の型溝１００ａは、このバリ
アリブ６に対応したストライプ形状あるいはメッシュ形
状に形成される。このため、この成形用雌型１００を上
記背面板２に一体的に形成する場合には、該背面板２が
該成形用雌型１００の支持体として機能するので、該成
形用雌型１００の型溝１００ａを、図１に示すような貫
通開口とすることができる。しかしながら、この成形用
雌型１００を上記背面板２から分離独立して形成する場
合には、該成形用雌型１００の型溝１００ａを貫通開口
とすると、該成形用雌型１００の支持体が存在しなくな
るため、ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリブ
６の成形用雌型１００の場合には強度が著しく低下し、
また、ＤＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリブ６
の成形用雌型１００の場合には型溝１００ａ自体を形成
することができなくなる。

【００３６】そこで、上述のように、上記成形用雌型１
００を上記背面板２から分離独立して形成する場合に
は、該成形用雌型１００の型溝１００ａを、図１１に示
した金型２０の型溝２０ａのように、ハーフエッチング
形状に形成する。この型溝１００ａをハーフエッチング
形状に形成した、ＤＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバ
リアリブ６の成形用雌型１００の一例を図２（ａ）に、
ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリブ６の成形
用雌型１００の一例を図２（ｂ）に示す。このような型
溝１００ａをハーフエッチング形状に形成した成形用雌
型１００を用いて、背面板２上に背面電極４及びバリア
リブ６を形成する場合には、例えば、図３（ａ）に示す
ように、まず、該成形用雌型１００の型溝１００ａが形
成されている面に、前述した導電材層４Ａを印刷又は塗
布した後、バリアリブ６の原材料であるセラミックペー
スト１２をスキージ１３により該成形用雌型１００の型
溝１００ａ内に充填する。次いで、図３（ｂ）に示すよ
うに、この成形用雌型１００に印刷又は塗布した導電材
層４Ａ及び型溝１００ａ内に充填されたセラミックペー
スト１２が背面板２の上面に密着するように、該成形用
雌型１００を背面板２上に位置決めする。そして、この
状態で、図１（ｄ）に示したように、焼成炉２００内
で、成形用雌型１００に印刷又は塗布した導電材層４Ａ
及び型溝１００ａ内に充填されたセラミックペースト１
２を焼成処理する。これにより、該導電材層４Ａ及びバ
リアリブ６の原型体６Ａであるセラミックペースト１２
が焼成され且つ可燃性材料からなる成形用雌型１００が
焼失される。そして、図３（ｃ）に示すように、成形用
雌型１００の型溝１００ａにより成形された所定の幅及
び高さのバリアリブ６が、背面板２上の所定の位置に焼
成されるとともに、該バリアリブ６により仕切られた放
電セルに対応する背面板２上の所定部位に背面電極４が
焼成される。

【００３７】一方、上記バリアリブ６の形状は、台形状
であることが望ましい。すなわち、このＰＤＰの放電セ
ルを仕切るためのバリアリブ６を台形状に形成した場合
には、図４に示すように、該バリアリブ６の壁面（側
面）に塗布された該蛍光体５の、ＰＤＰの視覚領域にお
いて直視できる面積が、バリアリブ６を矩形状に形成し
た場合よりも増大されるので、ＰＤＰの輝度を向上させ
ることができる。このような台形状のバリアリブ６は、
図５に示すように、上記成形用雌型１００の型溝１００
ａの形状を予め台形状に形成しておくことで、容易に形
成することができる。また、このように、バリアリブ６
の形状を台形状に形成することで、その成形用雌型１０
０及びバリアリブ６自体の強度も向上される。

【００３８】

【発明の効果】請求項１乃至７の発明によれば、原型体
及び導電材層が成形用雌型の型溝により支承された状態
で、該原型体と導電材層とが一度の焼成工程により絶縁
性基板上に同時に焼成されるので、焼成時の熱ストレス
によって、該電極の形成位置と該焼成体の形成位置とに
位置ズレが発生することがなくなる。従って、この電極
形成方法においては、電極の形成位置と焼成体の形成位
置との厳密な位置合わせを行うことなく、焼成体が形成
される絶縁性基板上に、形成位置精度の高い電極を容易
且つ安価に形成することができる。また、この電極形成
方法では、該原型体及び導電材層を成形用雌型から型抜
きする必要がないので、該型抜きにより原型体及び導電
材層が変形したり欠損したりすることがなく、該原型体
及び導電材層を高精度且つ容易に形成できる。更に、こ
の電極形成方法によれば、原型体及び導電材層を焼成す
る際に、該原型体及び導電材層が成形用雌型の型溝によ
り支承された状態となるので、該原型体及び導電材層の
変形（歪み）やひび割れの発生が減少され、焼成時の歩
留まりを向上できるという優れた効果がある。

【００３９】特に、請求項２の発明によれば、上記成形
用雌型に形成される導電材層をペースト状の導電剤で形
成することにより、周知の印刷法や塗布などにより該導
電剤層を極めて容易に形成することができる。また、該
ペースト状の導電剤のバインダーとして、接着力の高い
バインダーを用いることにより、上記絶縁性基板と電極
との接着性を向上させることが可能になるという優れた
効果がある。

【００４０】また、請求項３の発明によれば、上記原型
体の焼成が完了するまで、該原型体が成形用雌型の型溝
によって支承された状態となるので、該原型体の焼成時
に成形用雌型が先に焼失されて、該成形用雌型の型溝に
よる原型体の支承機能が損なわれることがなくなり、該
原型体や焼成体の変形（歪み）やひび割れの発生が大幅
に減少され、ＰＤＰの歩留まりをより向上できるという
優れた効果がある。

【００４１】また、請求項４の発明によれば、上記成形
用雌型がカーボンで形成されているので、該成形用雌型
が焼失される際に、原型体や環境に害を及ぼすような有
害物質の発生が少なくなる。また、カーボンからなる成
形用雌型の燃焼によって、原型体の焼成が助長されるの
で、原型体の焼成にかかる燃料や時間を節約できるよう
になるという優れた効果がある。

【００４２】請求項５の発明によれば、上記焼成体の原
材料にガラス粒子を含有させることで、該焼成体の原型
体が乾燥する際に該原型体に変形（歪み）やひび割れが
生じても、該原型体が成形用雌型の型溝により支承され
て焼成される際に、焼成体の原材料のガラス成分が溶融
して結合することにより、該原型体に生じた変形（歪
み）やひび割れが消滅されるようになるという優れた効
果がある。

【００４３】請求項６の発明によれば、焼成体の雛形を
用いて型取りされたカーボンペーストによって上記成形
用雌型が形成されるので、該成形用雌型を安価な材料に
より容易に量産することが可能になるという優れた効果
がある。

【００４４】請求項７の発明によれば、上記焼成体とし
てのＰＤＰの放電セルを仕切るためのバリアリブ、及
び、ＰＤＰの背面板上の背面電極が、成形用雌型の型溝
により支承された状態で焼成されるので、該バリアリブ
及び背面電極の変形（歪み）やひび割れの発生が減少さ
れ、ＰＤＰの歩留まりが向上されるという優れた効果が
ある。

【００４５】請求項８の発明によれば、原型体及び導電
材層が成形用雌型の型溝により支承された状態で、該原
型体と導電材層とが一度の焼成工程により絶縁性基板上
に同時に焼成されるので、焼成時の熱ストレスによっ
て、該電極の形成位置と該焼成体の形成位置とに位置ズ
レが発生することがなくなる。従って、この電極形成装
置においては、電極の形成位置と焼成体の形成位置との
厳密な位置合わせを行うことなく、焼成体が形成される
絶縁性基板上に、形成位置精度の高い電極を容易且つ安
価に形成することができる。また、この電極形成装置で
は、該原型体及び導電材層を成形用雌型から型抜きする
必要がないので、該型抜きにより原型体及び導電材層が
変形したり欠損したりすることがなく、該原型体を高精
度且つ容易に形成できる。更に、この電極形成装置によ
れば、原型体及び導電材層を焼成する際に、該原型体及
び導電材層が成形用雌型の型溝により支承された状態と
なるので、該原型体及び導電材層の変形（歪み）やひび
割れの発生が減少され、焼成時の歩留まりを向上できる
という優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）乃至（ｅ）は、本発明の実施形態に係る
背面電極及びバリアリブの製造工程を示す概略工程図。

【図２】（ａ）は、ＤＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切る
バリアリブの成形用雌型の一例を示す部分斜視図。
（ｂ）は、ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリ
ブの成形用雌型の一例を示す部分斜視図。

【図３】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の実施形態に係る
背面電極及びバリアリブの他の製造工程を示す概略工程
図。

【図４】上記バリアリブを台形状に形成したＰＤＰの概
略断面図。

【図５】上記台形状のバリアリブを形成するための成形
用雌型の概略断面図。

【図６】（ａ）は、従来のＤＣ型のＰＤＰの放電セルの
構成を示す概略断面図。（ｂ）は、従来のＡＣ型・対向
放電型のＰＤＰの放電セルの構成を示す概略断面図。
（ｃ）は、従来のＡＣ型・面放電型のＰＤＰの放電セル
の構成を示す概略断面図。

【符号の説明】

１ 表面ガラス基板（表面板） ２ 背面ガラス基板（背面板） ３ 表面電極 ４ 背面電極 ４Ａ 背面電極の原材料からなる導電材層 ５ 発光体 ６ バリアリブ ６Ａ バリアリブの原型体 ７ 直流電源 ８ 誘電体層 ９ 保護層 １０ 交流電源 １１ スクリーン １２ セラミックペースト １３ スキージ １４ セラミック板 １５ 感光樹脂層 １６ フィルム １７ 印刷マスク ２０ 金型 ２０ａ 型溝 １００ 成形用雌型 １００ａ 成形用雌型の型溝 ２００ 焼成炉 ２００ａ、２００ｃ 吸気バルブ ２００ｂ 排気バルブ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】焼成体が形成される絶縁性基板に電極を形
   成する電極形成方法であって、 上記焼成体を象った型溝を有する可燃性材料で形成した
   成形用雌型の、上記絶縁性基板の電極形成部位と対向す
   る部位に、上記電極の原材料としての導電材層を形成し
   た後、該絶縁性基板上に該導電材層が密着するように該
   成形用雌型を載置した状態で、該型成形用雌型の型溝内
   に該焼成体の原材料を充填して該絶縁性基板上に焼成体
   の原型体を成形し、該成形用雌型と一体の状態で該原型
   体に対する焼成処理を行って該成形用雌型を焼失させる
   とともに該絶縁性基板上に該焼成体及び該電極を焼成す
   ることを特徴とする電極形成方法。
2. 【請求項２】請求項１の電極形成方法において、 上記電極の原材料としての導電材層が、ペースト状の導
   電剤からなることを特徴とする電極形成方法。
3. 【請求項３】請求項１又は２の電極形成方法において、 上記原型体を焼成する焼成炉内に窒素を導入して該原型
   体及び上記導電材層を窒素雰囲気中で焼成した後、該焼
   成炉内に酸素を導入して上記成形用雌型を焼失させるこ
   とを特徴とする電極形成方法。
4. 【請求項４】請求項１、２又は３の電極形成方法におい
   て、 上記成形用雌型をカーボンで形成したことを特徴とする
   電極形成方法。
5. 【請求項５】請求項１、２、３又は４の電極形成方法に
   おいて、 上記焼成体の原材料が、ガラス成分を含有していること
   を特徴とする電極形成方法。
6. 【請求項６】請求項１、２、３、４又は５の電極形成方
   法において、 上記成形用雌型は、焼成体の雛形を用いて型取りしたカ
   ーボンペーストで形成されていることを特徴とする電極
   形成方法。
7. 【請求項７】請求項１、２、３、４、５又は６の電極形
   成方法において、 上記焼成体は、プラズマディスプレイパネルの放電セル
   を仕切るためのバリアリブであり、 上記電極は、該プラズマディスプレイパネルの背面板又
   は表面板上に形成される背面電極又は表面電極であるこ
   とを特徴とする電極形成方法。
8. 【請求項８】焼成体が形成される絶縁性基板に電極を形
   成する電極形成装置であって、 上記焼成体を象った型溝を有する可燃性材料で形成した
   成形用雌型の、上記絶縁性基板の電極形成部位と対向す
   る部位に、上記電極の原材料としての導電材層を形成す
   る導電材層形成手段と、 該絶縁性基板上に該導電材層が密着するように該成形用
   雌型を載置した状態で、該型成形用雌型の型溝内に該焼
   成体の原材料を充填して該絶縁性基板上に焼成体の原型
   体を成形する原型体形成手段と、 該原型体に対する焼成処理を行って該成形用雌型を焼失
   させるとともに該絶縁性基板上に該焼成体及び該電極を
   焼成する焼成炉とを有することを特徴とする電極形成装
   置。