JP2001054907A

JP2001054907A - 焼成体の製造方法及び装置

Info

Publication number: JP2001054907A
Application number: JP23156799A
Authority: JP
Inventors: Shingen Kinoshita; 真言木下
Original assignee: Ricoh Microelectronics Co Ltd
Current assignee: Ricoh Microelectronics Co Ltd
Priority date: 1999-08-18
Filing date: 1999-08-18
Publication date: 2001-02-27

Abstract

(57)【要約】【課題】高精度且つ容易に焼成体の原型体を形成で
き、また、該原型体を乾燥又は固化及び焼成する際に、
該原型体や焼成体の変形（歪み）やひび割れの発生を抑
制することができる焼成体の製造方法を提供すること。【解決手段】可燃性材料により作成した成形用雌型１
００の型溝１００ａ内にバリアリブ６の原材料となるセ
ラミックペースト１２を充填してバリアリブ６の原型体
６Ａを背面板２上に形成する。この原型体６Ａを焼成炉
２００内で成形用雌型１００とともに燃焼し、成形用雌
型１００を焼失させて、背面板２上にバリアリブ６を焼
成する。この製法によれば、原型体６Ａを型抜きしない
ので高精度且つ容易に形成できる。また、原型体６Ａを
乾燥又は固化あるいは焼成する際に、該原型体６Ａが成
形用雌型１００に支承された状態となるので、該原型体
６Ａやバリアリブ６の変形（歪み）やひび割れの発生が
減少され、焼成時の歩留まりが向上される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、焼成体の製造方法
に関し、詳しくは、成形用雌型に充填して成形された原
型体を焼成して焼成体を製造する焼成体の製造方法及び
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の一般的な焼成体としては、陶土や
良質の粘土などからなる主原料に長石や石英を混ぜて焼
成した陶磁器などがある。また、この種の焼成体の一種
として、プラズマディスプレイパネル（以下、［ＰＤ
Ｐ］という）の放電空間をセル状に仕切るためのガラス
微粉末ペーストを主原料とするバリアリブが知られてい
る。カラーＰＤＰは、原理的には、カラー蛍光灯を微小
化してアレイ状に配列したもので、該蛍光灯に相当する
放電セルの放電空間を上記バリアリブで仕切ることによ
って形成したものである。このＰＤＰは、図６（ａ）に
示すようなＤＣ型と、図６（ｂ）、（ｃ）に示すような
ＡＣ型とに大別され、また、主流になりつつあるＡＣ型
のＰＤＰには、図６（ｂ）に示すような対向放電型と、
図６（ｃ）に示すような面放電型との２種類がある。

【０００３】ＤＣ型のＰＤＰは、図６（ａ）に示すよう
に、表面ガラス基板（以下、「表面板」という）１、表
面板１に対して所定の高さの放電空間を隔てて対向配置
された背面ガラス基板（以下、「背面板」という）２、
ＩＴＯもしくはＳｎＯ_２をフォトエッチング法もしくは
リフトオフ法により表面板１の内面に製膜（パターニン
グ）して設けた陰極としての透明な表面電極３、Ａｇペ
ーストなどの導電性ペーストを印刷法やフォトエッチン
グ法などにより背面板２の内面に製膜（パターニング）
して設けた陽極としての背面電極４、背面板に塗布され
紫外線によりＲＧＢの３原色を発光する発光体５、表面
板１と背面板２との間の放電空間をセル状に仕切るため
のバリアリブ６、表面電極３と背面電極４とに直流電圧
を印加して表面電極３と背面電極４との間で放電現象を
生じさせることにより表面板１と背面板２との間の放電
空間に封入した水銀ガスに固有の紫外線を発光させる直
流電源７などで構成されている。このＤＣ型のＰＤＰ
は、表面電極３及び背面電極４が放電空間に露出してい
るため、気体イオンによって該電極がスパッタされ飛散
してなくなったり、飛散した陰極材料が蛍光体５の上に
堆積して蛍光体５への紫外線照射を遮り光透過率が低下
してしまったりして、寿命が低下する不具合がある。

【０００４】ＡＣ型のＰＤＰは、上記ＤＣ型のＰＤＰの
不具合を解消するために、図６（ｂ）、（ｃ）に示すよ
うに、表面電極３及び背面電極４を、誘電体層８と酸化
マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層９とで覆って、
放電空間に直接露出しないように構成したものである。
このＡＣ型のＰＤＰの放電は、絶縁物である保護層９の
表面を介して行われるため、交流電源１０により行われ
る。つまり、電子回路的には、ＤＣ型のＰＤＰをコンデ
ンサを通して駆動するのと同じである。また、酸化マグ
ネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層９は、ＤＣ型のＰＤ
Ｐの陰極の役目をする他、余分な放電電流を抑えたり、
一旦点弧した放電を維持するメモリ機能などの役割を果
たす。なお、図６（ｂ）に示す対向放電型のＰＤＰは、
陰極と陽極との２本の電極を、表面電極３及び背面電極
４として上下対向させて配置したもので、図６（ｃ）に
示す面放電型のＰＤＰは、陰極と陽極とからなる２本の
表面電極３ａ、３ｂを、表面板１の内面にほぼ平行に並
べて配置したものである。

【０００５】上記ＰＤＰにおいては、ＡＣ型、ＤＣ型の
如何を問わず、上記バリアリブ６で仕切られた放電セル
の輝度や解像度を向上させることが課題となっており、
ＣＲＴに比較して明るさが不充分なことが最大の課題と
なっている。その原因は、ＰＤＰの発光原理であるプラ
ズマ放電紫外線発光＋可視光発光現象（フォトルミネッ
センス）の発光効率が、ＣＲＴの発光原理であるカソー
ドルミネッセンスの発光効率に比べて格段に低いことに
ある。すなわち、ＰＤＰと同じ発光原理の蛍光灯ではＣ
ＲＴに匹敵する発光効率を実現しているが、ＰＤＰで
は、該蛍光灯に相当する放電セルをあまりにも小さくし
ているため、プラズマ放電による紫外線発光と紫外線に
よるフォトルミネッセンスの両面での発光効率の低下を
余儀なくされ、蛍光灯に比べて２桁程度低い発光効率し
か達成できていないことにある。なお、ＰＤＰの発光効
率を高める駆動技術の開発や、放電セルを仕切るバリア
リブ６の幅を狭くしたり、放電セルの壁面（バリアリブ
６の側面）にも蛍光体５を塗布して紫外線を余すことな
く使いきるといった工夫によって、ＰＤＰの輝度は数百
ｃｄ／ｍ^２にまで向上されてきているが、まだ不十分な
状態である。

【０００６】一方、ＰＤＰの解像度は、放電セルを小さ
くすることによって向上される。しかし、放電セルを小
さくして解像度を上げようとすると、放電セルを仕切る
バリアリブ６の空間占有率が相対的に大きくなり、発光
に寄与する放電空間が狭くなるため輝度が犠牲になる。
ＰＤＰの放電セルのギャップ（蛍光灯の長さに相当）や
ピッチの寸法は、バリアリブ６の高さやピッチの寸法に
よって決定される。この放電セルのギャップ（バリアリ
ブ６の高さ）としては２００μm程度、ピッチとしては
数百μm程度であるが、バリアリブ６の幅は、強度上の
問題もあり、少なくとも数十μm程度は必要とされてい
る。このようなことから、ＰＤＰの輝度と解像度の両立
には、格段に細く且つ丈夫なバリアリブ６を形成するこ
とが必要であり、輝度や解像度の高いＰＤＰを得る上
で、高精細なバリアリブ６の製法技術の確立が大きな課
題となっている。

【０００７】従来のバリアリブ６の製法としては、スクリーン印刷法（ＳＣＲＥＥＮＰＲＩＮＴＩＮ
Ｇ）サンドブラスト法（ＳＡＮＤ−ＢＬＡＳＴ）フォトレジスト法（ＰＨＯＴＯＲＥＳＩＳＴ）フォトセンシティブフィルムペースト法（ＰＨＯ
ＴＯＳＥＮＳＩＴＩＶＥＦＩＬＭＰＡＳＴＥ）プレスメソッド法（ＰＲＥＳＳＭＥＴＨＯＤ）などが実施又は提案されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来の
バリアリブ６の製法では、次に述べるような問題点があ
った。すなわち、上記スクリーン印刷法では、例えば、
図７（ａ）に示すように、バリアリブ６の平面形状に相
当する開口（パターン）が形成されたステンレスメッシ
ュからなるスクリーン（印刷版）１１を用いて、ＰＤＰ
の背面板２上に、バリアリブ６の原材料である絶縁性ペ
ーストからなるバインダーにガラス粉を分散混合したグ
レーズと呼ばれるセラミックペースト１２を、スキージ
１３によりスキージングして、バリアリブ６に対応した
ペースト層１２ａを印刷する。そして、図７（ｂ）、
（ｃ）に示すように、このペースト層１２ａを所定の高
さになるまで繰り返し重ね印刷して、図７（ｃ）に示す
ようなバリアリブ６の原型体６Ａを形成した後、図７
（ｄ）に示すように、この背面板２上に印刷形成された
原型体６Ａを図示しない焼成炉内で焼成してバリアリブ
６を成形している。この製法では、ＰＤＰの背面板２に
ペースト層１２ａを重ね印刷する際に、下層に印刷され
ているペースト層１２ａをある程度乾燥させておく必要
があり、該ペースト層１２ａの印刷工程に多大な時間を
要するため、量産化への対応が難しい。また、この製法
では、重ね印刷時におけるペースト層１２ａの印刷ズレ
を防止するために、該背面板２とスクリーン１１とを厳
密に位置合わせする必要があり、極めて高度な印刷技術
や印刷装置の高精度化が要求される。しかし、この重ね
印刷時におけるペースト層１２ａの印刷ズレは、例え高
精度な印刷装置を用いて高度な印刷技術を駆使したとし
ても、スキージングの度ごとに摩擦がばらつくことによ
ってスクリーン開口部の位置がズレたり、該スクリーン
１１が繰り返しスキージングされることによって、その
ステンレスメッシュのテンションが経時的に変化して、
該スクリーン１１に形成されたパターンが歪む可能性が
高いため、完全に解消することは難しい。

【０００９】上記サンドブラスト法では、まず、図８
（ａ）に示すように、ＰＤＰの背面板２上に所定の厚さ
の粘土状のセラッミク板１４を積層形成する。そして、
図８（ｂ）に示すように、該セラッミク板１４上に、感
光樹脂を塗布して感光樹脂層１５を形成する。次いで、
図８（ｃ）に示すように、バリアリブ６の平面画像が形
成されたフィルム１６を通して、該感光樹脂層１５を露
光して、フォトレジスト加工を行うことにより、図８
（ｄ）に示すような、バリアリブ６の平面形状に相当す
る開口１７ａ（パターン）が形成されたマスク層１７ｂ
を形成する。次いで、図８（ｅ）に示すように、該マス
ク層１７ｂの開口１７ａを通して、セラミック板１４に
砂粒状の掘削剤１８を吹き付け、該セラミック板１４の
該開口１７ａに対応する部分を、サンドブラスト加工に
より掘り下げる。このようにして、図８（ｆ）に示すよ
うなバリアリブ６の原型体６Ａを形成した後、図８
（ｇ）に示すように、この背面板２上に掘削形成された
原型体６Ａを図示しない焼成炉内で焼成してバリアリブ
６を成形している。この製法では、ＰＤＰの背面板２に
前述した背面電極４や誘電体層８及び保護層９などが予
め形成されている場合、セラミック板１４にサンドブラ
スト加工を施す際に、該背面板２に形成されている背面
電極４や誘電体層８及び保護層９などを破損しないよう
に注意する必要がある。このため、極めて高度な加工技
術が要求される。また、この製法では、単純な穴形状又
は溝形状などの掘削加工しかできないため、バリアリブ
６の断面形状が極めて限定されたものになってしまう。

【００１０】上記フォトレジスト法では、まず、上記サ
ンドブラスト法の場合と同様、図９（ａ）に示すよう
に、ＰＤＰの背面板２上に感光樹脂を塗布して感光樹脂
層１５を形成し、図９（ｂ）に示すように、バリアリブ
６の平面画像が形成されたフィルム１６を通して、該感
光樹脂層１５を露光してフォトレジスト加工を行うこと
により、図９（ｃ）に示すような、バリアリブ６の平面
形状に相当する開口１７ａが形成されたマスク層１７ｂ
を形成する。次いで、図９（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）に示
すように、該マスク層１７ｂの上に、上述のようなフォ
トレジスト加工を繰り返し施して、該背面板２上に、該
マスク層１７ｂが所定の高さに積層された印刷マスク１
７を形成する。そして、図９（ｇ）に示すように、この
印刷マスク１７の開口１７ａにセラミックペースト１２
を充填し、該印刷マスク１７を分離して、図９（ｈ）に
示すような、セラミックペースト１２からなるバリアリ
ブ６の原型体６Ａを型抜きする。その後、この背面板２
上に型抜きされたバリアリブ６の原型体６Ａを図示しな
い焼成炉内で焼成して、図９（ｉ）に示すようなバリア
リブ６を成形している。この製法では、上記印刷マスク
１７がフォトレジスト加工により感光樹脂層１５を積層
して形成されるため、その開口１７ａの内壁面が粗い状
態になり易い。

【００１１】上記フォトセンシティブフィルムペー
スト法は、上述したフォトレジスト法で用いられている
感光樹脂の替りに、バリアリブ６の原材料として感光性
を有する絶縁性ペーストを使用し、該フォトレジスト法
と同様のフォトレジスト加工により、ＰＤＰの背面板２
上に絶縁性ペーストからなるバリアリブ６の原型体６Ａ
を形成する方法である。すなわち、この製法では、ま
ず、上記フォトレジスト法の場合と同様、図１０（ａ）
に示すように、ＰＤＰの背面板２上に感光性を有する絶
縁性ペースト１９を塗布し、図１０（ｂ）に示すよう
に、バリアリブ６の平面画像が形成されたフィルム１６
を通して、該絶縁性ペースト１９を露光してフォトレジ
スト加工を行うことにより、図１０（ｃ）に示すよう
な、バリアリブ６に対応したペースト層１９ａを形成す
る。次いで、図１０（ｄ）、（ｅ）に示すように、該ペ
ースト層１９ａの上に、上述のようなフォトレジスト加
工を繰り返し施し、該背面板２上に該ペースト層１９ａ
を所定の高さに積層して、図１０（ｆ）に示すような、
ペースト層１９ａからなるバリアリブ６の原型体６Ａを
背面板２上に形成する。その後、この背面板２上に形成
されたバリアリブ６の原型体６Ａを図示しない焼成炉内
で焼成して、図１０（ｇ）に示すようなバリアリブ６を
成形している。この製法では、バリアリブ６の原型体６
Ａを一度のフォトプロセスで形成できるので、前述した
フォトレジスト法よりも低コストとなる利点がある。し
かし、この製法では、バリアリブ６の原材料である絶縁
性ペースト１９自体に感光性物質が含有されている。こ
のため、この絶縁性ペースト１９からなるバリアリブ６
の原型体６Ａの焼成時、あるいはＰＤＰの発光時に、該
絶縁性ペースト１９に含有されている感光性物質が化学
変化を起こして、バリアリブ６に変質や変形及び強度低
下などの悪影響を及ぼす懸念があるため、通常のグレー
ズに比べて特殊な対応を要する。

【００１２】上記プレスメソッド法では、まず、図１１
（ａ）に示すように、ＰＤＰの背面板２上に所定量の粘
土状のセラッミクペースト１２を塗布する。次いで、図
１１（ｂ）に示すように、形成しようとするバリアリブ
６の型溝２０ａが形成されたプレス型２０を用いて、該
背面板２上に塗布された粘土状のセラッミクペースト１
２をプレス（型押し）する。そして、この型押しにより
プレス型２０の型溝２０ａに沿って形成されたセラッミ
クペースト１２からなるバリアリブ６の原型体６Ａを型
抜きした後、該背面板２上に型抜きされたセラッミクペ
ースト１２からなる原型体６Ａを図示しない焼成炉内で
焼成して、図１１（ｃ）に示すようなバリアリブ６を成
形している。この製法では、上記プレス型２０でセラッ
ミクペースト１２をプレスした際に、該セラミックペー
スト１２がプレス型２０の型溝２０ａ内に十分に充満さ
れず、型押しされたバリアリブ６の原型体６Ａの形状が
部分的に欠損した形状になる虞がある。また、この製法
では、該プレス型２０の型溝２０ａからセラミックペー
スト１２からなるバリアリブ６の原型体６Ａを型抜きす
る際に、該プレス型２０の型溝２０ａにより型押しされ
たバリアリブ６の原型体６Ａが変形したり背面板２から
割れて欠けたりする虞がある。このような不具合は、プ
レス型２０の型溝２０ａの溝幅、すなわち、形成しよう
とするバリアリブ６の幅が狭くなるに従って発生しやす
くなる傾向にある。このため、この製法では、ＰＤＰの
輝度を向上させるために、バリアリブ６の幅を狭くして
ＰＤＰの放電セルの放電空間の拡大を図ることが難しく
なる。

【００１３】また、上述のような従来のバリアリブ６の
製法では、何れの製法においても、ＰＤＰの背面板２上
に形成されたセラッミクペースト１２等からなるバリア
リブ６の原型体６Ａが、自己の粘性や剛性などによって
自立した状態、つまり、他の何らの支えもない状態とな
る。このため、これらの製法では、ＰＤＰの背面板２上
に形成されたバリアリブ６の原型体６Ａを乾燥又は固化
及び焼成する際の熱ストレスにムラが生じやすくなるた
め、該原型体６Ａや焼成体としてのバリアリブ６に変形
（歪み）やひび割れが生じる虞が高い。

【００１４】なお、ここでは、焼成対象としての焼成体
が、ＰＤＰの背面板上に形成されるバリアリブである場
合について述べたが、陶磁器などのような一般的な焼成
体の場合でも、その原型体を乾燥又は固化及び焼成する
際に、該原型体や焼成体としての陶磁器に変形（歪み）
やひび割れが生じる虞がある。そして、この原型体や焼
成体に変形（歪み）やひび割れが生じることにより、該
焼成体の機能や価値が著しく損なわれることは広く知ら
れているところである。

【００１５】本発明は以上の問題点に鑑みなされたもの
であり、その目的とするところは、高精度且つ容易に焼
成体の原型体を形成でき、また、該原型体を乾燥又は固
化及び焼成する際に、該原型体や焼成体の変形（歪み）
やひび割れの発生を抑制することができる焼成体の製造
方法及び装置を提供することである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、焼成体を象った成形用雌型の型
溝内に焼成体の原材料を充填して該焼成体の原型体を成
形し、該原型体を焼成して焼成体を形成する焼成体の製
造方法であって、上記成形用雌型を可燃性材料で作成
し、該成形用雌型の型溝内に焼成体の原材料を充填して
原型体を形成し、該成形用雌型の型溝内に充填された原
型体に対する焼成処理を行って該成形用雌型を焼失させ
るとともに該焼成体を焼成することを特徴とするもので
ある。

【００１７】この焼成体の製造方法においては、成形用
雌型の焼成体を象った型溝内に充填して成形された焼成
体の原型体に対する焼成処理によって、可燃性材料で作
成された成形用雌型が焼失されるとともに焼成体が焼成
される。つまり、該焼成体の原材料が成形用雌型の型溝
内に充填されたままの状態で、該原型体が焼成される。
従って、この焼成体の製造方法では、該原型体を成形用
雌型の型溝から型抜きする必要がないので、該型抜きに
より原型体が変形したり欠損したりすることがなく、該
原型体を高精度且つ容易に形成できる。また、この焼成
体の製造方法によれば、原型体を乾燥又は固化あるいは
焼成する際に、該原型体が成形用雌型の型溝により支承
された状態となるので、該原型体や焼成体の変形（歪
み）やひび割れの発生が減少され、焼成時の歩留まりが
向上される。

【００１８】請求項２の発明は、請求項１の焼成体の製
造方法において、上記原型体を焼成する焼成炉内に不活
性ガスを導入して該原型体を不活性ガス雰囲気中で焼成
した後、該焼成炉内に酸素を導入して上記成形用雌型を
焼失させることを特徴とするものである。

【００１９】この焼成体の製造方法においては、上記原
型体が不活性ガス雰囲気中で焼成され、その後、任意の
タイミングで該不活性ガス雰囲気中に酸素が導入される
ことによって上記成形用雌型が焼失される。つまり、該
原型体の焼成が完了するまで、該原型体が成形用雌型の
型溝によって支承された状態となる。これにより、原型
体の焼成時に成形用雌型が先に焼失されて、該成形用雌
型による原型体の支承機能が損なわれることがなくな
り、該原型体や焼成体の変形（歪み）やひび割れの発生
が大幅に減少され、焼成時の歩留まりがより向上され
る。

【００２０】請求項３の発明は、請求項１又は２の焼成
体の製造方法において、上記成形用雌型をカーボンで形
成したことを特徴とするものである。

【００２１】この焼成体の製造方法においては、上記成
形用雌型がカーボンで形成されているので、該成形用雌
型が焼失される際に、原型体や環境に害を及ぼすような
有害物質の発生が少なくなる。また、カーボンからなる
成形用雌型の燃焼によって、原型体の焼成が助長される
ので、原型体の焼成にかかる燃料や時間を節約できるよ
うになる。

【００２２】請求項４の発明は、請求項１、２又は３の
焼成体の製造方法において、上記焼成体の原材料が、ガ
ラス成分を含有していることを特徴とするものである。

【００２３】この焼成体の製造方法においては、上記焼
成体の原材料にガラス粒子を含有させることで、該焼成
体の原型体が乾燥する際に該原型体に変形（歪み）やひ
び割れが生じても、該原型体が成形用雌型の型溝により
支承されて焼成される際に、焼成体の原材料のガラス成
分が溶融して結合することにより、該原型体に生じた変
形（歪み）やひび割れが消滅されるようになる。

【００２４】請求項５の発明は、請求項１、２、３又は
４の焼成体の製造方法において、上記成形用雌型は、焼
成体の雛形を用いて型取りされたカーボンで形成されて
いることを特徴とするものである。

【００２５】上記焼成体の製造方法では、焼成体の原型
体を焼成する度に、該原型体の成形用雌型が焼失されて
しまうため、該成形用雌型を安価な可燃性材料により容
易に量産できるようにして、焼成体の生産性の向上及び
生産コストの低減を図ることが求められる。この焼成体
の製造方法においては、焼成体の雛形を用いて型取りさ
れたカーボンペーストによって上記成形用雌型が形成さ
れるので、該成形用雌型を安価な材料により容易に量産
することが可能になる。

【００２６】請求項６の発明は、請求項１、２、３、４
又は５の焼成体の製造方法において、上記焼成体は、プ
ラズマディスプレイパネルの放電セルを仕切るためのバ
リアリブであることを特徴とするものである。

【００２７】この焼成体の製造方法においては、上記焼
成体としてのプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の
放電セルを仕切るためのバリアリブが、成形用雌型の型
溝により支承された状態で、乾燥又は固化及び焼成され
るので、該バリアリブの変形（歪み）やひび割れの発生
が減少され、バリアリブの歩留まりが向上される。

【００２８】請求項７の発明は、請求項６の焼成体の製
造方法において、上記バリアリブの断面形状は、台形状
であることを特徴とするものである。

【００２９】この焼成体の製造方法においては、上記焼
成体としてのプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の
放電セルを仕切るための台形状に形成されたバリアリブ
が製造される。この台形状に形成されたバリアリブは、
該バリアリブの壁面（側面）に蛍光体が塗布されること
により、ＰＤＰの視覚領域において直視できる該蛍光体
の面積を増大させる効果があるので、ＰＤＰの輝度を向
上させることができる。また、このように、バリアリブ
の形状を台形状に形成することで、その成形用雌型及び
バリアリブ自体の強度も向上される。

【００３０】請求項８の発明は、焼成体を象った可燃性
材料からなる成形用雌型の型溝内に焼成体の原材料を充
填して該焼成体の原型体を成形し、該原型体を焼成して
焼成体を形成する焼成体の製造装置であって、上記成形
用雌型の型溝内に焼成体の原材料を充填して該焼成体の
原型体を成形する原型体形成手段と、該原型体形成手段
により成形された原型体に対する焼成処理を行って該成
形用雌型を焼失させるとともに該焼成体を焼成する焼成
炉とを有することを特徴とするものである。

【００３１】この焼成体の製造装置においては、まず、
上記原型体形成手段により、成形用雌型の焼成体を象っ
た型溝内に充填されて焼成体の原型体が成形される。次
いで、上記焼成炉内で、原型体形成手段により成形され
た原型体に対する焼成処理が行われて、該成形用雌型が
焼失されるとともに該焼成体が焼成される。この焼成体
の製造装置では、該原型体を成形用雌型の型溝から型抜
きする必要がないので、該型抜きにより原型体が変形し
たり欠損したりすることがなく、該原型体を高精度且つ
容易に形成できる。また、この焼成体の製造装置によれ
ば、原型体を乾燥又は固化あるいは焼成する際に、該原
型体が成形用雌型の型溝により支承された状態となるの
で、該原型体や焼成体の変形（歪み）やひび割れの発生
が減少され、焼成時の歩留まりが向上される。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を、プラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）の放電セルを仕切るためのバリ
アリブ６に適用した実施形態について説明する。図１
に、本実施形態に係るバリアリブ６の製造方法の一例を
示す。該バリアリブ６は、可燃性材料により作成された
成形用雌型１００を使用して製造される。この成形用雌
型１００には、図１（ａ）に示すように、形成しようと
するバリアリブ６を象った型溝１００ａが形成されてい
る。この成形用雌型１００の作成方法については後に詳
述することとする。

【００３３】上記成形用雌型１００は、図１（ｂ）に示
すように、その型溝１００ａがＰＤＰの背面板２に形成
されるバリアリブ６の形成位置に対応するように、該背
面板２上に配設される。次いで、図１（ｃ）に示すよう
に、該背面板２上に配設された成形用雌型１００の型溝
１００ａ内に、バリアリブ６の原材料となるセラミック
ペースト１２が、スキージングあるいは塗布などの方法
により充填される。従って、この製法では、この成形用
雌型１００の型溝１００ａ内に充填されたセラミックペ
ースト１２が、そのまま焼成体としてのバリアリブ６の
原型体６Ａとなる。次いで、このセラミックペースト１
２からなるバリアリブ６の原型体６Ａは、図１（ｄ）に
示すように、焼成炉２００内で焼成処理される。そし
て、この焼成処理により該バリアリブ６の原型体６Ａが
焼成され且つ可燃性材料からなる成形用雌型１００が焼
失される。これによって、図１（ｅ）に示すように、背
面板２上の所定の位置に、成形用雌型１００の型溝１０
０ａにより成形された所定の幅及び高さのバリアリブ６
が焼成されて、該背面板２に一体形成される。

【００３４】このように、本実施形態に係るバリアリブ
６の製造方法においては、上記成形用雌型１００の型溝
１００ａに充填して成形されたバリアリブ６の原型体６
Ａが、成形用雌型１００の型溝１００ａ内に充填された
ままの状態で焼成処理される。そして、この焼成処理に
より、可燃性材料で作成された成形用雌型１００が焼失
されてバリアリブ６が焼成される。従って、この製法で
は、バリアリブ６の原型体６Ａを成形用雌型１００の型
溝１００ａから型抜きする必要がないので、該型抜きに
より原型体６Ａが変形したり欠損したりすることがな
く、該原型体６Ａを高精度且つ容易に形成できる。ま
た、この製法によれば、原型体６Ａを乾燥又は固化ある
いは焼成する際に、該原型体６Ａが成形用雌型１００の
型溝１００ａにより支承された状態となるので、該原型
体６Ａや焼成体としてのバリアリブ６の変形（歪み）や
ひび割れの発生が減少され、焼成時の歩留まりが向上さ
れる。

【００３５】本実施形態に係るバリアリブ６の製造方法
においては、図１（ｄ）に示す焼成工程において、ま
ず、焼成炉２００内に吸気バルブ２００ａを通して不活
性ガスを導入して、上記原型体６Ａを窒素等の不活性ガ
ス雰囲気中で焼成した後、排気バルブ２００ｂを通して
該焼成炉２００内の不活性ガスを排気し、次いで、焼成
炉２００内に他の吸気バルブ２００ｃを通して酸素を導
入して、上記成形用雌型１００を焼失させることが好ま
しい。このように、原型体６Ａを不活性ガス雰囲気中で
焼成した後、該焼成炉２００内に酸素を導入して成形用
雌型１００を焼失させることによって、成形用雌型１０
０の焼失タイミングを制御できるので、該原型体６Ａの
焼成が完了するまで、該原型体６Ａが成形用雌型１００
によって支承された状態となる。これにより、原型体６
Ａの焼成時に成形用雌型１００が先に焼失されて、該成
形用雌型１００による原型体６Ａの支承機能が損なわれ
ることがなくなり、該原型体６Ａやバリアリブ６の変形
（歪み）やひび割れの発生が大幅に減少され、焼成時の
歩留まりがより向上される。

【００３６】また、上記成形用雌型１００を作成するた
めの可燃性材料は、乾燥や固化により雌型としての適度
な剛性を呈し且つ燃焼により焼失されるものであれば、
例えば可燃性の樹脂など、どのようなものでもよいが、
この成形用雌型１００を作成する可燃性材料としてはカ
ーボンを使用することが好ましい。すなわち、成形用雌
型１００をカーボンで作成することにより、該成形用雌
型１００が焼失される際に、原型体６Ａや環境に害を及
ぼすような有害物質の発生が少なくなる。また、カーボ
ンからなる成形用雌型１００の燃焼によって、原型体６
Ａの焼成が助長されるので、原型体６Ａの焼成にかかる
燃料や時間を節約することができるようになる。

【００３７】また、上記背面板２上に配設された成形用
雌型１００の型溝１００ａ内に充填されるバリアリブ６
の原材料は、焼成されることによってバリアリブ６とし
ての機能や強度を呈するものであればどのようなもので
もよいが、このバリアリブ６の原材料としてはセラミッ
クペースト１２のようなガラス成分を含んでいるものを
使用することが好ましい。すなわち、バリアリブ６の原
材料としてセラミックペースト１２を用いた場合には、
バリアリブ６の原型体６Ａが乾燥する際に該原型体６Ａ
に変形（歪み）やひび割れが生じても、該原型体６Ａが
成形用雌型１００に支承されて焼成される際に、セラミ
ックペースト１２のガラス成分が溶融して結合すること
により、該原型体６Ａに生じた変形（歪み）やひび割れ
が消滅されるようになる。例えば、この製法において
は、バリアリブ用原料として広く使用されているグレー
ズ（ガラス微粉末ペースト）を使用できる。

【００３８】ところで、このようなバリアリブ６の製造
方法では、その原型体６Ａを焼成する度に、該原型体６
Ａの成形用雌型１００が焼失されてしまうため、該成形
用雌型１００を安価な可燃性材料により容易に量産でき
るようにして、焼成体の生産性の向上及び生産コストの
低減を図ることが重要となる。そこで、本実施系に係る
バリアリブ６の製造方法においては、該バリアリブ６の
雛形を用いて型取りしたカーボンペーストを硬化処理し
て成形用雌型１００を作成するようにする。すなわち、
前述したように、成形用雌型１００を作成する可燃性材
料としてはカーボンを使用することが好ましく、該カー
ボンをペースト状にしたカーボンペーストは、鉛筆の芯
材の原料などとして知られているように、比較的安価で
且つ容易に入手できる。また、カーボンペーストはその
取り扱いも容易であるので、複雑且つ高価な設備も不要
となる。成形用雌型１００を、バリアリブ６の雛形を用
いて型取りして形成することで、該成形用雌型１００を
容易に量産することが可能になる。

【００３９】次に、上記成形用雌型１００の作成方法に
ついて説明する。上記成形用雌型１００は、図７乃至図
１１に示した従来のバリアリブ６の製法である、スクリーン印刷法（ＳＣＲＥＥＮＰＲＩＮＴＩＮ
Ｇ）サンドブラスト法（ＳＡＮＤ−ＢＬＡＳＴ）フォトレジスト法（ＰＨＯＴＯＲＥＳＩＳＴ）フォトセンシティブフィルムペースト法（ＰＨＯ
ＴＯＳＥＮＳＩＴＩＶＥＦＩＬＭＰＡＳＴＥ）プレスメソッド法（ＰＲＥＳＳＭＥＴＨＯＤ）や、機械加工などにより作成することができる。

【００４０】すなわち、上記スクリーン法により上記成
形用雌型１００を作成する場合には、例えば、図７
（ａ）に示すステンレスメッシュからなるスクリーン
（印刷版）１１に、該成形用雌型１００の平面形状に相
当する開口（パターン）を形成し、該スクリーン１１を
用いて、ＰＤＰの背面板２上に、該成形用雌型１００の
原材料である可燃性材料を、スキージ１３によりスキー
ジングして、成形用雌型１００に対応したペースト層を
印刷する。そして、図７（ｂ）、（ｃ）に示した場合と
同様に、この成形用雌型１００の原材料である可燃性材
料からなるペースト層を所定の高さになるまで繰り返し
重ね印刷して成形用雌型１００を成形する。ここで、上
記成形用雌型１００となる上記ペースト層の幅は、ＰＤ
Ｐの放電セルの放電空間に対応した幅となる。従って、
上記スクリーン１１に形成される開口は、上記バリアリ
ブ６の幅の約３倍程度の大きさになるので、ペーストの
抜け性が良くなり目詰まりを生じにくい。また、上記ペ
ースト層の重ね合わせ印刷時に、上記スクリーン１１と
背面板２との位置合わせ精度が多少低下しても、該ペー
スト層の幅が大きいので、該ペースト層が変形し難い。
なお、スクリーン１１と背面板２との位置合わせ精度の
低下に伴うペースト層の印刷ズレは、焼成されたバリア
リブ６の壁面のガサツキとなって現れるが、バリアリブ
６の壁面のガサツキは、該壁面への発光体５の塗布によ
ってある程度改善される。更に、成形用雌型１００の原
材料のバインダとして速乾性のものを使用することで、
その乾燥速度をバリアリブ６の場合よりも速めることが
できるので、上記ペースト層の印刷工程に多大な時間を
浪費することもなくなる。

【００４１】また、上記サンドブラスト法により上記成
形用雌型１００を作成する場合には、図８に示す粘土状
のセラミック板１４に替えて、該成形用雌型１００の原
材料である可燃性材料をサンドブラスト加工により掘り
下げて、該成形用雌型１００の型溝１００ａを形成す
る。この製法では、ＰＤＰの背面板２に前述した背面電
極４や誘電体層８及び保護層９などが予め形成されてい
る場合でも、背面電極４や誘電体層８及び保護層９など
が可燃性材料により覆われた部位、つまり、ＰＤＰの放
電セルの放電空間に対応した部位となるので、該サンド
ブラスト加工を施す際に、該背面板２に形成されている
背面電極４や誘電体層８及び保護層９などを破損するこ
とがなく、高度な加工技術を必要としない。

【００４２】また、上記フォトレジスト法により上記成
形用雌型１００を作成する場合には、該形成用雌型１０
０の平面画像が形成されたフィルムを通して、該感光樹
脂層を露光してフォトレジスト加工を行うことにより、
図９（ｆ）に示したような、該成形用雌型１００に相当
する開口１７ａが形成された印刷マスク１７を形成す
る。そして、図９（ｇ）に示したセラミックペースト１
２に替えて、該成形用雌型１００の原材料である可燃性
材料を該印刷マスク１７の開口１７ａに充填し、該印刷
マスク１７を分離し、該成形用雌型１００を型抜きして
形成する。この製法では、上記印刷マスク１７がフォト
レジスト加工により感光樹脂層１５を積層して形成され
るため、その開口１７ａの内壁面が粗い状態になり易い
が、上述したように、該成形用雌型１００の幅は、ＰＤ
Ｐの放電セルの放電空間に対応した幅となり、上記バリ
アリブ６の幅の約３倍程度の大きさになるので、ペース
トの抜け性が良くなり、該型抜き時に目詰まりや変形を
生じにくい。

【００４３】また、上記フォトセンシティブフィルム
ペースト法により上記成形用雌型１００を作成する場
合には、上述したフォトレジスト法で用いられている感
光樹脂の替りに、該成形用雌型１００の原材料として感
光性を有する可燃性ペーストを使用し、該フォトレジス
ト法と同様のフォトレジスト加工により、該成形用雌型
１００を形成する。この製法では、該成形用雌型１００
を一度のフォトプロセスで形成できるので、前述したフ
ォトレジスト法よりも低コストとなる利点がある。ま
た、この製法では、該成形用雌型１００の原材料である
可燃性ペーストに感光性物質が含有されているが、この
感光性物質が焼成体としてのバリアリブ６の原型体６Ａ
内に存在することがないので、該成形用雌型１００の焼
失時に、該感光性物質が化学変化を起こしても、バリア
リブ６に変質や変形及び強度低下などの悪影響を及ぼす
ことがない。

【００４４】また、上記プレスメソッド法により上記成
形用雌型１００を作成する場合には、図１１（ｂ）に示
したプレス型２０を、形成しようとする成形用雌型１０
０の雛形とし、該プレス型２０を用いて、該成形用雌型
１００の原材料である可燃性ペーストをプレス（型押
し）して、該成形用雌型１００を成形する。この製法で
は、該成形用雌型１００の雛形としての上記プレス型２
０に形成される型溝２０ａの幅が、ＰＤＰの放電セルの
放電空間に対応した幅となり、上記バリアリブ６の幅の
約３倍程度の大きさになるので、該プレス型２０により
可燃性ペーストをプレスした際に、該可燃性ペーストが
プレス型２０の型溝２０ａ内に十分に充満されなかった
り、型押しされた該成形用雌型１００の形状が部分的に
欠損した形状になったりすることが少なくなる。また、
プレス（型押し）される可燃性ペーストの抜け性も良く
なり、該型抜き時に目詰まりや変形を生じにくい。

【００４５】更に、上記フォトレジスト法により上記成
形用雌型１００を作成する場合には、従来のバリアリブ
６を作成する際に用いられる該バリアリブ６に相当する
開口１７ａが形成された印刷マスク１７を可燃性材料で
形成して、この印刷マスク１７自体を上記成形用雌型１
００としても良い。

【００４６】ところで、ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕
切るバリアリブ６は、周知のように、細かなピッチのス
トライプ形状に形成されている。また、ＤＣ型のＰＤＰ
の放電セルを仕切るバリアリブ６は、細かなピッチのメ
ッシュ形状に形成されている。従って、これらのバリア
リブ６の成形用雌型１００の型溝１００ａは、このバリ
アリブ６に対応したストライプ形状あるいはメッシュ形
状に形成される。このため、この成形用雌型１００を上
記背面板２に一体的に形成する場合には、該背面板２が
該成形用雌型１００の支持体として機能するので、該成
形用雌型１００の型溝１００ａを、図１に示すような貫
通開口とすることができる。しかしながら、この成形用
雌型１００を上記背面板２から分離独立して形成する場
合には、該成形用雌型１００の型溝１００ａを貫通開口
とすると、該成形用雌型１００の支持体が存在しなくな
るため、ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリブ
６の成形用雌型１００の場合には強度が著しく低下し、
また、ＤＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリブ６
の成形用雌型１００の場合には型溝１００ａ自体を形成
することができなくなる。

【００４７】そこで、上述のように、上記成形用雌型１
００を上記背面板２から分離独立して形成する場合に
は、該成形用雌型１００の型溝１００ａを、図１１に示
したプレス型２０の型溝２０ａのように、ハーフエッチ
ング形状に形成する。この型溝１００ａをハーフエッチ
ング形状に形成した、ＤＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切
るバリアリブ６の成形用雌型１００の一例を図２（ａ）
に、ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリブ６の
成形用雌型１００の一例を図２（ｂ）に示す。このよう
な型溝１００ａをハーフエッチング形状に形成した成形
用雌型１００を用いて背面板２上にバリアリブ６を形成
する場合には、例えば、図３（ａ）に示すように、ま
ず、バリアリブ６の原材料であるセラミックペースト１
２をスキージ１３により該成形用雌型１００の型溝１０
０ａ内に充填する。次いで、図３（ｂ）に示すように、
この成形用雌型１００の型溝１００ａ内に充填されたセ
ラミックペースト１２が背面板２の上面に接するよう
に、該成形用雌型１００を背面板２上に位置決めする。
そして、この状態で、図１（ｄ）に示したように、焼成
炉２００内で、成形用雌型１００の型溝１００ａ内に充
填されたセラミックペースト１２を焼成処理して、該成
形用雌型１００を燃焼させる。これにより、該バリアリ
ブ６の原型体６Ａである成形用雌型１００の型溝１００
ａ内に充填されたセラミックペースト１２が焼成され且
つ可燃性材料からなる成形用雌型１００が焼失される。
この結果、図３（ｃ）に示すように、成形用雌型１００
の型溝１００ａにより成形された所定の幅及び高さのバ
リアリブ６が、背面板２上の所定の位置に焼成される。

【００４８】次に、上記成形用雌型１００を機械加工に
よって作成する場合について説明する。バリアリブ６の
成形用雌型１００を機械加工によって作成する場合に
は、図１２（ａ）に示すように、例えば、カーボンペー
ストを硬化処理した板状の雌型材１００Ａの加工面（こ
こでは上面）に、ディスク状の回転カッタ３００によ
り、雌型材１００Ａと回転カッタ３００とを相対移動さ
せて、型溝１００ａを切削加工する。これにより、回転
カッタ３００の刃の形状に応じた断面形状の型溝１００
ａが形成される。

【００４９】回転カッタ３００としては、図１２（ａ）
に示すような１枚刃のものでもよく、図１２（ｂ）に示
すように、複数枚のカッティングディスクをバリアリブ
６のピッチに対応する間隔で配設したものでもよい。図
１２（ｂ）に示す回転カッタ３００を用いた場合には、
カッティングディスクの枚数分の型溝１００ａを一度に
切削加工することができるので、加工時間を短縮できる
効果がある。

【００５０】ここで、図１２（ｂ）に示すように、回転
カッタ３００により雌型材１００Ａのｘ方向のみに型溝
１００ａを切削加工することにより、図２（ｂ）に示す
ような、ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリブ
６の成形用雌型１００を作成することができる。また、
図１２（ｃ）に示すように、回転カッタ３００により雌
型材１００Ａのｘ方向及びｙ方向に型溝１００ａを切削
加工することにより、図２（ａ）に示すような、ＤＣ型
のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリブ６の成形用雌型
１００を作成することができる。

【００５１】なお、上述のように、回転カッタ３００に
より成形用雌型１００の型溝１００ａを切削加工した場
合には、切削された型溝１００ａの縁がチップ状に欠け
ることがある。そこで、このような切削加工を行う場合
には、図１２（ｄ）に示すように、雌型材１００Ａの加
工面に、フラックスなどからなる保護膜４００を予め形
成しておき、この保護膜４００の上から型溝１００ａを
切削加工して、型溝１００ａの縁の欠けを防止するよう
にすることが望ましい。

【００５２】一方、本実施形態に係る製造方法によって
形成される上記バリアリブ６の形状は、台形状であるこ
とが望ましい。すなわち、このＰＤＰの放電セルを仕切
るためのバリアリブ６を台形状に形成した場合には、図
４に示すように、該バリアリブ６の壁面（側面）に塗布
された該蛍光体５の、ＰＤＰの視覚領域において直視で
きる面積が、バリアリブ６を矩形状に形成した場合より
も増大されるので、ＰＤＰの輝度を向上させることがで
きる。このような台形状のバリアリブ６は、図５に示す
ように、上記成形用雌型１００の型溝１００ａの形状を
予め台形状に形成しておくことで、容易に形成すること
ができる。また、このように、バリアリブ６の形状を台
形状に形成することで、その成形用雌型１００及びバリ
アリブ６自体の強度も向上される。

【００５３】

【発明の効果】請求項１乃至７の発明によれば、原型体
を成形用雌型の型溝から型抜きする必要がないので、該
型抜きにより原型体が変形したり欠損したりすることが
なく、該原型体を高精度且つ容易に形成できる。また、
該原型体を乾燥又は固化あるいは焼成する際に、該原型
体が成形用雌型の型溝により支承された状態となるの
で、該原型体や焼成体の変形（歪み）やひび割れの発生
が減少され、焼成時の歩留まりを向上できるという優れ
た効果がある。

【００５４】特に、請求項２の発明によれば、上記原型
体の焼成が完了するまで、該原型体が成形用雌型の型溝
によって支承された状態となるので、該原型体の焼成時
に成形用雌型が先に焼失されて、該成形用雌型の型溝に
よる原型体の支承機能が損なわれることがなくなり、該
原型体や焼成体の変形（歪み）やひび割れの発生が大幅
に減少され、焼成時の歩留まりをより向上できるという
優れた効果がある。

【００５５】また、請求項３の発明によれば、上記成形
用雌型がカーボンで形成されているので、該成形用雌型
が焼失される際に、原型体や環境に害を及ぼすような有
害物質の発生が少なくなる。また、カーボンからなる成
形用雌型の燃焼によって、原型体の焼成が助長されるの
で、原型体の焼成にかかる燃料や時間を節約できるよう
になるという優れた効果がある。

【００５６】請求項４の発明によれば、上記焼成体の原
材料にガラス粒子を含有させることで、該焼成体の原型
体が乾燥する際に該原型体に変形（歪み）やひび割れが
生じても、該原型体が成形用雌型の型溝により支承され
て焼成される際に、焼成体の原材料のガラス成分が溶融
して結合することにより、該原型体に生じた変形（歪
み）やひび割れが消滅されるようになるという優れた効
果がある。

【００５７】請求項５の発明によれば、焼成体の雛形を
用いて型取りされたカーボンペーストによって上記成形
用雌型が形成されるので、該成形用雌型を安価な材料に
より容易に量産することが可能になるという優れた効果
がある。

【００５８】請求項６の発明によれば、上記焼成体とし
てのプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の放電セル
を仕切るためのバリアリブが、成形用雌型の型溝により
支承された状態で、乾燥又は固化及び焼成されるので、
該バリアリブの変形（歪み）やひび割れの発生が減少さ
れ、バリアリブの歩留まりが向上されるという優れた効
果がある。

【００５９】請求項７の発明によれば、上記焼成体とし
てのプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の放電セル
を仕切るためのバリアリブが台形状に形成されるので、
該バリアリブの壁面（側面）に蛍光体が塗布されること
により、ＰＤＰの視覚領域において直視できる該蛍光体
の面積が増大され、ＰＤＰの輝度が向上される。また、
バリアリブの形状が台形状に形成されることで、その成
形用雌型及びバリアリブ自体の強度も向上されるという
優れた効果がある。

【００６０】請求項８の発明によれば、原型体を成形用
雌型の型溝から型抜きする必要がないので、該型抜きに
より原型体が変形したり欠損したりすることがなく、該
原型体を高精度且つ容易に形成できる。また、該原型体
を乾燥又は固化あるいは焼成する際に、該原型体が成形
用雌型の型溝により支承された状態となるので、該原型
体や焼成体の変形（歪み）やひび割れの発生が減少さ
れ、焼成時の歩留まりを向上できるという優れた効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）乃至（ｅ）は、本発明の実施形態に係る
バリアリブの製造工程を示す概略工程図。

【図２】（ａ）は、ＤＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切る
バリアリブの成形用雌型の一例を示す部分斜視図。
（ｂ）は、ＡＣ型のＰＤＰの放電セルを仕切るバリアリ
ブの成形用雌型の一例を示す部分斜視図。

【図３】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の実施形態に係る
バリアリブの他の製造工程を示す概略工程図。

【図４】上記バリアリブを台形状に形成したＰＤＰの概
略断面図。

【図５】上記台形状のバリアリブを形成するための成形
用雌型の概略断面図。

【図６】（ａ）は、従来のＤＣ型のＰＤＰの放電セルの
構成を示す概略断面図。（ｂ）は、従来のＡＣ型・対向
放電型のＰＤＰの放電セルの構成を示す概略断面図。
（ｃ）は、従来のＡＣ型・面放電型のＰＤＰの放電セル
の構成を示す概略断面図。

【図７】従来のスクリーン印刷法によるバリアリブの製
造工程を示す概略工程図。

【図８】従来のサンドブラスト法によるバリアリブの製
造工程を示す概略工程図。

【図９】従来のフォトレジスト法によるバリアリブの製
造工程を示す概略工程図。

【図１０】従来のフォトセンシティブフィルムペー
スト法によるバリアリブの製造工程を示す概略工程図。

【図１１】従来のプレスメソッド法によるバリアリブの
製造工程を示す概略工程図。

【図１２】（ａ）乃至（ｄ）は、上記成形用雌型を機械
加工によって作成する場合の一例を示す概略図。

【符号の説明】

１表面ガラス基板（表面板）２背面ガラス基板（背面板）３表面電極４背面電極５発光体６バリアリブ６Ａバリアリブの原型体７直流電源８誘電体層９保護層１０交流電源１１スクリーン１２セラミックペースト１３スキージ１４セラミック板１５感光樹脂層１６フィルム１７印刷マスク２０プレス型２０ａ型溝１００成形用雌型１００ａ成形用雌型の型溝２００焼成炉２００ａ、２００ｃ吸気バルブ２００ｂ排気バルブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】焼成体を象った成形用雌型の型溝内に焼成
体の原材料を充填して該焼成体の原型体を成形し、該原
型体を焼成して焼成体を形成する焼成体の製造方法であ
って、上記成形用雌型を可燃性材料で作成し、該成形用雌型の
型溝内に焼成体の原材料を充填して原型体を形成し、該
成形用雌型の型溝内に充填された原型体に対する焼成処
理を行って該成形用雌型を焼失させるとともに該焼成体
を焼成することを特徴とする焼成体の製造方法。
【請求項２】請求項１の焼成体の製造方法において、上記原型体を焼成する焼成炉内に不活性ガスを導入して
該原型体を不活性ガス雰囲気中で焼成した後、該焼成炉
内に酸素を導入して上記成形用雌型を焼失させることを
特徴とする焼成体の製造方法。
【請求項３】請求項１又は２の焼成体の製造方法におい
て、上記成形用雌型をカーボンで形成したことを特徴とする
焼成体の製造方法。
【請求項４】請求項１、２又は３の焼成体の製造方法に
おいて、上記焼成体の原材料が、ガラス成分を含有していること
を特徴とする焼成体の製造方法。
【請求項５】請求項１、２、３又は４の焼成体の製造方
法において、上記成形用雌型は、焼成体の雛形を用いて型取りしたカ
ーボンで形成されていることを特徴とする焼成体の製造
方法。
【請求項６】請求項１、２、３、４又は５の焼成体の製
造方法において、上記焼成体は、プラズマディスプレイパネルの放電セル
を仕切るためのバリアリブであることを特徴とする焼成
体の製造方法。
【請求項７】請求項６の焼成体の製造方法において、上記バリアリブの断面形状は、台形状であることを特徴
とする焼成体の製造方法。
【請求項８】焼成体を象った可燃性材料からなる成形用
雌型の型溝内に焼成体の原材料を充填して該焼成体の原
型体を成形し、該原型体を焼成して焼成体を形成する焼
成体の製造装置であって、上記成形用雌型の型溝内に焼成体の原材料を充填して該
焼成体の原型体を成形する原型体形成手段と、該原型体形成手段により成形された原型体に対する焼成
処理を行って該成形用雌型を焼失させるとともに該焼成
体を焼成する焼成炉とを有することを特徴とする焼成体
の製造装置。