JP2001185513A - 円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具 - Google Patents
円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具Info
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- JP2001185513A JP2001185513A JP36450999A JP36450999A JP2001185513A JP 2001185513 A JP2001185513 A JP 2001185513A JP 36450999 A JP36450999 A JP 36450999A JP 36450999 A JP36450999 A JP 36450999A JP 2001185513 A JP2001185513 A JP 2001185513A
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤーと円柱状ワークとの相対振動を抑制
し、ウエハの割れを防止することができる円柱状ワーク
の切断方法及びこれに用いる保持具を提供する。 【解決手段】 円柱状ワーク１と保持具１０との同時切
削開始時に生じる切削抵抗の急激な増加を抑制すること
ができる円柱状ワークの切断方法である。保持具１０
は、円柱状ワーク１を接着剤を用いて固定する円柱状ワ
ーク１の曲面形状に対応した凹部１２と、凹部１２から
溢れ出た接着剤を受容する凹部１２の両端に設けられた
縁部１４ａ，１４ｂとを備えたものであり、縁部１４
ａ，１４ｂを凹部１２のワイヤーの切削終了点（Ｅ−
Ｅ）以降に設けたものである。
し、ウエハの割れを防止することができる円柱状ワーク
の切断方法及びこれに用いる保持具を提供する。 【解決手段】 円柱状ワーク１と保持具１０との同時切
削開始時に生じる切削抵抗の急激な増加を抑制すること
ができる円柱状ワークの切断方法である。保持具１０
は、円柱状ワーク１を接着剤を用いて固定する円柱状ワ
ーク１の曲面形状に対応した凹部１２と、凹部１２から
溢れ出た接着剤を受容する凹部１２の両端に設けられた
縁部１４ａ，１４ｂとを備えたものであり、縁部１４
ａ，１４ｂを凹部１２のワイヤーの切削終了点（Ｅ−
Ｅ）以降に設けたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、主にシリコン単
結晶の円柱状ワークを複数枚のウエハに切断する円柱状
ワークの切断方法及びこれに用いる保持具に関する。
結晶の円柱状ワークを複数枚のウエハに切断する円柱状
ワークの切断方法及びこれに用いる保持具に関する。
【０００２】
【従来の技術】 一般に、半導体シリコンの単結晶イン
ゴット（円柱状ワーク）をワイヤーソーでウエハに切断
する場合、図３に示すように、ワイヤー４にシリコンカ
ーバイドの砥粒を含有するスラリー３をスラリー供給管
２から吹き付け、高速で走行するワイヤー４に円柱状ワ
ーク１を押しつけることにより、円柱状ワーク１をウエ
ハに切断することが行われる。尚、円柱状ワーク１は、
作業台６に保持具（ビーム）７で所定の位置に保持さ
れ、複数枚のウエハに切断される。
ゴット（円柱状ワーク）をワイヤーソーでウエハに切断
する場合、図３に示すように、ワイヤー４にシリコンカ
ーバイドの砥粒を含有するスラリー３をスラリー供給管
２から吹き付け、高速で走行するワイヤー４に円柱状ワ
ーク１を押しつけることにより、円柱状ワーク１をウエ
ハに切断することが行われる。尚、円柱状ワーク１は、
作業台６に保持具（ビーム）７で所定の位置に保持さ
れ、複数枚のウエハに切断される。
【０００３】 上記保持具７は、例えば、図２に示すよ
うに、円柱状ワークの曲面形状に対応した凹部８と、凹
部８の両端に設けられた縁部９ａ，９ｂとを備えたもの
である。尚、保持具７は、円柱状ワーク１と保持具７と
の同時切削時に生じる切削抵抗を抑制するため、樹脂又
はカーボン等の円柱状ワーク１よりも柔らかい材質で形
成されている。
うに、円柱状ワークの曲面形状に対応した凹部８と、凹
部８の両端に設けられた縁部９ａ，９ｂとを備えたもの
である。尚、保持具７は、円柱状ワーク１と保持具７と
の同時切削時に生じる切削抵抗を抑制するため、樹脂又
はカーボン等の円柱状ワーク１よりも柔らかい材質で形
成されている。
【０００４】 円柱状ワーク１を上記保持具７に固定す
る場合、凹部８に接着剤を塗布した後、円柱状ワーク１
を凹部８に圧着しながら接着する。尚、円柱状ワーク１
と凹部８との間から溢れ出た接着剤は、縁部９ａ，９ｂ
で受容される。
る場合、凹部８に接着剤を塗布した後、円柱状ワーク１
を凹部８に圧着しながら接着する。尚、円柱状ワーク１
と凹部８との間から溢れ出た接着剤は、縁部９ａ，９ｂ
で受容される。
【０００５】 従来から行われている円柱状ワーク１と
保持具７との接着作業は、手作業であり、余分な接着剤
の除去が容易であるため、縁部９ａ，９ｂを必要最小限
にすることができた。これにより、ワイヤー４による円
柱状ワーク１のウエハ切断時に、ウエハの割れは、ほと
んど発生しなかった。
保持具７との接着作業は、手作業であり、余分な接着剤
の除去が容易であるため、縁部９ａ，９ｂを必要最小限
にすることができた。これにより、ワイヤー４による円
柱状ワーク１のウエハ切断時に、ウエハの割れは、ほと
んど発生しなかった。
【０００６】 しかしながら、最近、円柱状ワーク１と
保持具７との接着作業が自動化されるようになると、余
分な接着剤の除去が困難となるため、縁部９ａ，９ｂの
面積を十分に確保しなければならなかった。これによ
り、ワイヤー４による円柱状ワーク１のウエハ切断時
に、円柱状ワーク１と縁部９ａ，９ｂとの接着部（Ｃ２
−Ｃ２）で切削抵抗が急激に上昇するため、ワイヤー４
が振動してしまい、ウエハの割れが頻発するという問題
があった（図２（ｃ）参照）。
保持具７との接着作業が自動化されるようになると、余
分な接着剤の除去が困難となるため、縁部９ａ，９ｂの
面積を十分に確保しなければならなかった。これによ
り、ワイヤー４による円柱状ワーク１のウエハ切断時
に、円柱状ワーク１と縁部９ａ，９ｂとの接着部（Ｃ２
−Ｃ２）で切削抵抗が急激に上昇するため、ワイヤー４
が振動してしまい、ウエハの割れが頻発するという問題
があった（図２（ｃ）参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】 本発明は上記した従
来の課題に鑑みてなされたものであり、その目的とする
ところは、円柱状ワークと保持具との同時切削開始時に
生じる切削抵抗の急激な増加を抑制することができる保
持具を用いることにより、ワイヤーと円柱状ワークとの
相対振動を抑制し、ウエハの割れを防止することができ
る円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具を提
供するものである。
来の課題に鑑みてなされたものであり、その目的とする
ところは、円柱状ワークと保持具との同時切削開始時に
生じる切削抵抗の急激な増加を抑制することができる保
持具を用いることにより、ワイヤーと円柱状ワークとの
相対振動を抑制し、ウエハの割れを防止することができ
る円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具を提
供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】 すなわち、本発明によ
れば、作業台に保持具で保持された円柱状ワークを、高
速で走行するワイヤーに押しつけるとともに、研磨砥粒
を含有するスラリーを該ワイヤーに供給しつつ、該円柱
状ワークをウエハに切断する円柱状ワークの切断方法で
あって、該円柱状ワークと保持具との同時切削開始時に
生じる切削抵抗の急激な増加を抑制することができる保
持具を用いることにより、該ワイヤーと該円柱状ワーク
との相対振動を抑制し、ウエハの割れを防止することを
特徴とする円柱状ワークの切断方法が提供される。
れば、作業台に保持具で保持された円柱状ワークを、高
速で走行するワイヤーに押しつけるとともに、研磨砥粒
を含有するスラリーを該ワイヤーに供給しつつ、該円柱
状ワークをウエハに切断する円柱状ワークの切断方法で
あって、該円柱状ワークと保持具との同時切削開始時に
生じる切削抵抗の急激な増加を抑制することができる保
持具を用いることにより、該ワイヤーと該円柱状ワーク
との相対振動を抑制し、ウエハの割れを防止することを
特徴とする円柱状ワークの切断方法が提供される。
【０００９】 また、本発明によれば、ワイヤーソー用
の作業台に円柱状ワークを保持する保持具であって、円
柱状ワークを接着剤を用いて固定する円柱状ワークの曲
面形状に対応した凹部と、該凹部から溢れ出た接着剤を
受容する該凹部の両端に設けられた縁部と、を備えたも
のであり、該縁部を、該凹部のワイヤーの切削終了点以
降に設けたことを特徴とする保持具が提供される。この
とき、上記縁部は、凹部の端面と直交していることが好
ましい。
の作業台に円柱状ワークを保持する保持具であって、円
柱状ワークを接着剤を用いて固定する円柱状ワークの曲
面形状に対応した凹部と、該凹部から溢れ出た接着剤を
受容する該凹部の両端に設けられた縁部と、を備えたも
のであり、該縁部を、該凹部のワイヤーの切削終了点以
降に設けたことを特徴とする保持具が提供される。この
とき、上記縁部は、凹部の端面と直交していることが好
ましい。
【００１０】 尚、本発明の保持具は、樹脂又はカーボ
ン等の円柱状ワークよりも柔らかい材質で形成されてい
ることが好ましい。
ン等の円柱状ワークよりも柔らかい材質で形成されてい
ることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】 本発明の円柱状ワークの切断方
法は、円柱状ワークと保持具との同時切削開始時に生じ
る切削抵抗の急激な増加を抑制することができる保持具
を用いることにより、ワイヤーと円柱状ワークとの相対
振動を抑制し、ウエハの割れを防止するものである。
法は、円柱状ワークと保持具との同時切削開始時に生じ
る切削抵抗の急激な増加を抑制することができる保持具
を用いることにより、ワイヤーと円柱状ワークとの相対
振動を抑制し、ウエハの割れを防止するものである。
【００１２】 次に、本発明の円柱状ワークの切断方法
で用いた保持具について、図面に基づき説明する。図１
は、本発明の保持具の一例を示すものであり、（ａ）は
概略斜視図であり、（ｂ）は正面図、（ｃ）は円柱状ワ
ークと保持具との同時切削時における切断面を示す概略
断面図である。図１に示すように、本発明の保持具１０
は、円柱状ワーク１を接着剤を用いて固定する円柱状ワ
ーク１の曲面形状に対応した凹部１２と、凹部１２から
溢れ出た接着剤を受容する凹部１２の両端に設けられた
縁部を、凹部１２のワイヤー４の切削終了点（Ｅ−Ｅ）
以降に設けたものである。
で用いた保持具について、図面に基づき説明する。図１
は、本発明の保持具の一例を示すものであり、（ａ）は
概略斜視図であり、（ｂ）は正面図、（ｃ）は円柱状ワ
ークと保持具との同時切削時における切断面を示す概略
断面図である。図１に示すように、本発明の保持具１０
は、円柱状ワーク１を接着剤を用いて固定する円柱状ワ
ーク１の曲面形状に対応した凹部１２と、凹部１２から
溢れ出た接着剤を受容する凹部１２の両端に設けられた
縁部を、凹部１２のワイヤー４の切削終了点（Ｅ−Ｅ）
以降に設けたものである。
【００１３】 これにより、本発明の保持具１０は、図
１（ｃ）に示すように、円柱状ワーク１と保持具１０と
の同時切削時におけるワイヤーによる切断面（Ｃ１−Ｃ
１）を一定にすることができるため、切削抵抗もほぼ一
定にすることができる。以上のことから、本発明の保持
具１０は、ウエハ切断中にワイヤーが振れることがな
く、ウエハの切断面及び切削方向に垂直な力が加わるこ
とがないため、ウエハの割れを防止することができる。
１（ｃ）に示すように、円柱状ワーク１と保持具１０と
の同時切削時におけるワイヤーによる切断面（Ｃ１−Ｃ
１）を一定にすることができるため、切削抵抗もほぼ一
定にすることができる。以上のことから、本発明の保持
具１０は、ウエハ切断中にワイヤーが振れることがな
く、ウエハの切断面及び切削方向に垂直な力が加わるこ
とがないため、ウエハの割れを防止することができる。
【００１４】 また、本発明の保持具１０は、図１
（ｂ）に示すように、縁部１４ａ，１４ｂが凹部の端面
１３ａ，１３ｂと直交していることが好ましい。これに
より、円柱状ワークと保持具との接着作業時における余
分な接着剤を過不足なく除去することができる。
（ｂ）に示すように、縁部１４ａ，１４ｂが凹部の端面
１３ａ，１３ｂと直交していることが好ましい。これに
より、円柱状ワークと保持具との接着作業時における余
分な接着剤を過不足なく除去することができる。
【００１５】 尚、本発明の保持具は、円柱状ワークと
保持具との同時切削時に生じる切削抵抗を抑制するた
め、樹脂又はカーボン等の円柱状ワークよりも柔らかい
材質で形成されていることが好ましい。
保持具との同時切削時に生じる切削抵抗を抑制するた
め、樹脂又はカーボン等の円柱状ワークよりも柔らかい
材質で形成されていることが好ましい。
【００１６】
【発明の効果】 以上の説明から明らかなように、本発
明によれば、円柱状ワークと保持具との同時切削開始時
に生じる切削抵抗の急激な増加を抑制することができる
保持具を用いることにより、ワイヤーと円柱状ワークと
の相対振動を抑制し、ウエハの割れを防止することがで
きる。
明によれば、円柱状ワークと保持具との同時切削開始時
に生じる切削抵抗の急激な増加を抑制することができる
保持具を用いることにより、ワイヤーと円柱状ワークと
の相対振動を抑制し、ウエハの割れを防止することがで
きる。
【図１】 本発明の保持具の一例を示すものであり、
（ａ）は概略斜視図であり、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
円柱状ワークと保持具との同時切削時における切断面を
示す概略断面図である。
（ａ）は概略斜視図であり、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
円柱状ワークと保持具との同時切削時における切断面を
示す概略断面図である。
【図２】 従来の保持具の一例を示すものであり、
（ａ）は概略斜視図であり、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
円柱状ワークと保持具との同時切削時における切断面を
示す概略断面図である。
（ａ）は概略斜視図であり、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
円柱状ワークと保持具との同時切削時における切断面を
示す概略断面図である。
【図３】 円柱状ワークの切断方法の一例を示す概略断
面図である。
面図である。
１…円柱状ワーク、２…スラリー供給管、３…スラリ
ー、４…ワイヤー、５…ワイヤー用ローラー、６…作業
台、７…保持具、８…凹部、９…縁部、１０…保持具、
１２…凹部、１３…凹部の端面、１４…縁部。
ー、４…ワイヤー、５…ワイヤー用ローラー、６…作業
台、７…保持具、８…凹部、９…縁部、１０…保持具、
１２…凹部、１３…凹部の端面、１４…縁部。
Claims (4)
- 【請求項１】 作業台に保持具で保持された円柱状ワー
クを、高速で走行するワイヤーに押しつけるとともに、
研磨砥粒を含有するスラリーを該ワイヤーに供給しつ
つ、該円柱状ワークをウエハに切断する円柱状ワークの
切断方法であって、 該円柱状ワークと保持具との同時切削開始時に生じる切
削抵抗の急激な増加を抑制することができる保持具を用
いることにより、該ワイヤーと該円柱状ワークとの相対
振動を抑制し、ウエハの割れを防止することを特徴とす
る円柱状ワークの切断方法。 - 【請求項２】 ワイヤーソー用の作業台に円柱状ワーク
を保持する保持具であって、 円柱状ワークを接着剤を用いて固定する円柱状ワークの
曲面形状に対応した凹部と、 該凹部から溢れ出た接着剤を受容する該凹部の両端に設
けられた縁部と、を備えたものであり、 該縁部を、該凹部のワイヤーの切削終了点以降に設けた
ことを特徴とする保持具。 - 【請求項３】 縁部が、凹部の端面と直交している請求
項２に記載の保持具。 - 【請求項４】 保持具が、樹脂又はカーボン等の円柱状
ワークよりも柔らかい材質で形成されている請求項２又
は３に記載の保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36450999A JP2001185513A (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | 円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36450999A JP2001185513A (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | 円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001185513A true JP2001185513A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=18481996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36450999A Withdrawn JP2001185513A (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | 円柱状ワークの切断方法及びこれに用いる保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001185513A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007051356A1 (fr) * | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Jianzhong Yuan | Procédé de traitement d’une plaquette de silicium utilisée pour une cellule solaire |
| JP2011049438A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Komatsu Ntc Ltd | ワーク固着用接着剤の除去方法およびその装置 |
-
1999
- 1999-12-22 JP JP36450999A patent/JP2001185513A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007051356A1 (fr) * | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Jianzhong Yuan | Procédé de traitement d’une plaquette de silicium utilisée pour une cellule solaire |
| JP2011049438A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Komatsu Ntc Ltd | ワーク固着用接着剤の除去方法およびその装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070306 |