JP2001183204A

JP2001183204A - 流量計測装置

Info

Publication number: JP2001183204A
Application number: JP37363999A
Authority: JP
Inventors: Kunihiko Sato; 邦彦佐藤; Koichi Fujiwara; 浩一藤原; Atsushi Arai; 淳新井
Original assignee: Unisia Jecs Corp
Current assignee: Hitachi Unisia Automotive Ltd
Priority date: 1999-12-28
Filing date: 1999-12-28
Publication date: 2001-07-06
Anticipated expiration: 2019-12-28
Also published as: DE10065362A1; JP3602762B2; US20010006005A1

Abstract

(57)【要約】【課題】バイパス通路を流量検出素子の上流側で折曲
げることにより、通路内のダスト等が検出素子に高速で
衝突するのを防止し、耐久性を向上させる。【解決手段】吸気通路２内には、通路形成部材４によ
ってバイパス通路５を設け、このバイパス通路５には、
流量検出素子１６の上流側で折曲がった２個の折曲げ通
路部９，１１を設ける。そして、エンジンの吸入空気の
一部を入口側通路部７から折曲げ通路部９，１１へと順
次流通させ、このとき吸入空気中に含まれるダスト等の
異物を衝突壁部８，１０に衝突させることによって減速
する。これにより、折曲げ通路部１１内を通過する異物
の速度を小さく抑えて流量検出素子１６を保護でき、耐
久性、寿命を向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車用エ
ンジン等の吸入空気流量を検出するのに用いて好適な流
量計測装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、自動車用エンジン等では、吸入
空気と燃料とを混合して適切な空燃比の混合気を形成す
るため、流量計測装置によってエンジンの吸入空気流量
を検出し、その検出値に応じて燃料の噴射量等を定める
構成としている。

【０００３】この種の従来技術による流量計測装置は、
エンジンの吸入空気が流れる吸気通路をバイパスして吸
入空気の一部を流通させるバイパス通路と、該バイパス
通路の途中に設けられ、吸入空気の流量を検出する流量
検出素子とを含んで構成されている（例えば特開平９−
３２９４７２号、特開平９−４４８７号公報等）。

【０００４】ここで、エンジンの吸気通路内には、例え
ば内部にバイパス通路が形成された中空構造体からなる
通路形成部材が設けられ、この通路形成部材の外面側に
は、バイパス通路の流入口と流出口とが開口している。
また、バイパス通路のうち流入口に連なる入口側の通路
部位は直線状に形成され、この通路部位の途中には流量
検出素子が配置されている。

【０００５】そして、バイパス通路は、流入口が吸入空
気流の上流側に向けて開口し、入口側の通路部位が吸入
空気の流れ方向に沿って直線状に配置される。この結
果、エンジンの運転中には、吸入空気の一部がバイパス
通路の流入口から入口側の通路部位へと円滑に流入する
ようになり、この吸入空気は流量検出素子の位置を通過
することによって流量を検出された後に、バイパス通路
の流出口から吸気通路に戻る構成となっている。

【０００６】また、流量検出素子は、例えば基板上に設
けられた白金等の金属薄膜にエッチング処理等の微細加
工を施すことにより、感温抵抗体として構成されたもの
がある。そして、感温抵抗体は、流量計測装置の作動時
に給電されることによって発熱し、この状態でバイパス
通路を流れる吸入空気と接触して冷却されることによ
り、吸入空気の流量を温度（抵抗値）の変化として検出
するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術では、バイパス通路のうち入口側の通路部位を吸
入空気の流れ方向に沿って直線状に形成することによ
り、吸入空気をバイパス通路内に円滑に流入させる構成
としている。

【０００８】しかし、例えばダスト捕捉容量の低いエア
クリーナエレメントを使用した場合、エンジンの吸入空
気中には、エアクリーナエレメントにより除去しきれな
かったダスト等の異物粒子が含まれていることがある。
そして、エンジンの加速時等に吸入空気の流速が増大す
ると、吸入空気中の異物も空気流によって加速されるこ
とになり、この異物はバイパス通路の流入口から入口側
の通路部位内へと高速で侵入するようになる。

【０００９】このため、従来技術では、バイパス通路に
侵入する異物が入口側の通路部位で流量検出素子に高速
で衝突し、このような異物の衝撃が長期間に亘って繰返
されることにより、流量検出素子の作動不良、損傷等を
招き、耐久性、寿命が低下するという問題がある。

【００１０】特に、流量検出素子を構成する感温抵抗体
は、抵抗体周囲の配線パターン等と共に微小な金属薄膜
によって形成されているため、ダスト捕捉容量の低いエ
アクリーナエレメントを使用した場合には、これらの部
材が異物との僅かな衝突によっても早期に劣化し易い。

【００１１】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、本発明の目的は、被測流体中に含まれる
ダスト等の異物が流量検出素子と直に衝突するのを防止
し、流量検出素子を高速の異物から保護することによ
り、耐久性、寿命を向上できるようにした流量計測装置
を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために本発明は、被測流体が流れる主通路をバイパスし
て被測流体の一部を流通させるバイパス通路と、該バイ
パス通路の途中に設けられ前記被測流体の流量を検出す
る流量検出素子とからなる流量計測装置に適用される。

【００１３】そして、請求項１の発明が採用する構成の
特徴は、バイパス通路は前記流量検出素子よりも上流側
に位置して前記被測流体の流れが衝突する少なくとも１
個の衝突壁部を有し、前記バイパス通路は該衝突壁部の
位置で折曲がる構成としたことにある。

【００１４】このように構成することにより、被測流体
中に含まれるダスト等の異物がバイパス通路に侵入した
ときには、この異物が流量検出素子の位置に達する前に
バイパス通路の折曲がり部位で衝突壁部に衝突させるこ
とができ、被測流体と共に流れる異物の速度を流量検出
素子の上流側で減速することができる。

【００１５】また、請求項２の発明によると、バイパス
通路は、前記主通路から被測流体が流入する入口側通路
部と、該入口側通路部の下流側に位置し前記被測流体が
衝突する第１の衝突壁部と、該第１の衝突壁部の位置で
前記入口側通路部に対し折曲がって形成された第１の折
曲げ通路部と、該第１の折曲げ通路部の下流側に位置し
前記被測流体が衝突する第２の衝突壁部と、該第２の衝
突壁部の位置で前記第１の折曲げ通路部に対し折曲がっ
て形成された第２の折曲げ通路部とを含んで構成し、前
記流量検出素子は第２の折曲げ通路部に設ける構成とし
ている。

【００１６】これにより、被測流体は、入口側通路部か
ら第１の折曲げ通路部、第２の折曲げ通路部へと順次流
通し、第２の折曲げ通路部内で流量検出素子の位置を通
過する。この結果、被測流体の流れ方向は流量検出素子
の上流側で折曲がるように２回変化するから、このとき
に被測流体中の異物を第１，第２の衝突壁部に衝突させ
ることができ、異物が流量検出素子の位置を通過すると
きの速度を２段階で減速することができる。

【００１７】また、請求項３の発明によると、流量検出
素子は基板上に設けた金属薄膜からなる感温抵抗体を有
し、該感温抵抗体は前記被測流体の流量を抵抗値の変化
により検出する構成としてなる請求項１または２に記載
の流量計測装置。

【００１８】これにより、例えば基板上に設けた白金等
の金属薄膜にエッチング処理等の微細加工を施し、感温
抵抗体を形成することができる。そして、この感温抵抗
体の上流側で異物を減速することにより、仮りに異物が
感温抵抗体に衝突した場合でも、微小な金属薄膜からな
る感温抵抗体を保護することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態による
流量計測装置を、添付図面に従って詳細に説明する。

【００２０】ここで、図１ないし図４は本発明による第
１の実施の形態を示し、本実施の形態では、自動車用エ
ンジンに用いる流量検出装置を例に挙げて述べる。

【００２１】１は流量計測装置が設けられた管体で、該
管体１は例えば樹脂材料、金属材料等によって円筒状に
形成され、エンジンの吸気管（図示せず）等の途中に取
付けられるものである。また、管体１の外周側には、後
述のセンサボディ３を取付ける小径筒状の取付部１Ａが
突設されている。

【００２２】また、管体１は、その内部が主通路として
の吸気通路２となり、該吸気通路２は、上流側がエンジ
ンの吸入空気を浄化するエアクリーナに接続されると共
に、下流側がエンジンの各気筒（いずれも図示せず）に
接続されている。そして、吸気通路２には、図２に示す
如く、被測流体となるエンジンの吸入空気がエアクリー
ナから各気筒に向けて矢示Ａ方向に流れる構成となって
いる。

【００２３】３は管体１に取付けられたセンサボディ
で、該センサボディ３は、図２に示す如く基端側が管体
１の取付部１Ａ内に嵌合され、先端側が吸気通路２内に
突出すると共に、この突出端側には後述の流量検出素子
１６が設けられている。また、センサボディ３には、流
量検出素子１６との間で信号の入出力を行う電子回路
（図示せず）を収容した回路収容部３Ａが設けられてい
る。

【００２４】４は吸気通路２内に設けられた通路形成部
材で、該通路形成部材４は、図１ないし図３に示す如
く、例えば樹脂材料等により略四角形状の中空構造体と
して形成され、その内部には通路形成部材４の外郭部位
との間に後述のバイパス通路５を画成する内側壁部４Ａ
が設けられている。また、通路形成部材４は、図３中の
上部側がセンサボディ３に取付けられ、下部側は管体１
の内壁面に固着されることによって吸気通路２内で位置
決めされている。

【００２５】そして、通路形成部材４の前面側には、図
３に示す如く、後述する流入口６の上側に位置して遮断
壁部４Ｂが設けられ、該遮断壁部４Ｂは吸入空気が矢示
Ａ方向へと直線的に流れて流量検出素子１６に達するの
を遮断するものである。また、通路形成部材４の上面側
には、後述の折曲げ通路部１１に開口した素子挿入穴４
Ｃが設けられている。

【００２６】５は通路形成部材４内に略四角形状に折曲
がって形成されたバイパス通路で、該バイパス通路５
は、後述の流入口６、入口側通路部７、衝突壁部８，１
０、折曲げ通路部９，１１、出口側通路部１３および流
出口１４を含んで構成されている。そして、バイパス通
路５は、吸気通路２を流れる吸入空気の一部が流入口６
からバイパスして流入し、流出口１４から流出するもの
である。

【００２７】６は通路形成部材４の前面側に設けられた
流入口で、該流入口６は、図３に示す如く、吸入空気の
流れ方向（矢示Ａ方向）に対し上流側に向けて開口し、
吸入空気をバイパス通路５内に流入させるものである。

【００２８】７はバイパス通路５の流入側部位を構成す
る入口側通路部で、該入口側通路部７は、流入口６から
通路形成部材４の内側壁部４Ａに突き当たる位置まで吸
入空気の流れ方向にほぼ沿って形成されている。また、
この内側壁部４Ａのうち入口側通路部７の下流側が突き
当たる部位は、吸入空気の流れが衝突する第１の衝突壁
部８を構成している。

【００２９】９は衝突壁部８の位置で入口側通路部７に
対しほぼ直角に折曲がって形成された第１の折曲げ通路
部で、該第１の折曲げ通路部９は、衝突壁部８の位置か
ら通路形成部材４の上面側に突き当たる位置まで延びて
いる。また、通路形成部材４の上面側のうち折曲げ通路
部９の下流側が突き当たる部位は、吸入空気の流れが衝
突する第２の衝突壁部１０となっている。

【００３０】１１は衝突壁部１０の位置で折曲げ通路部
９に対しほぼ直角に折曲がって形成された第２の折曲げ
通路部で、該第２の折曲げ通路部１１の下流側には第３
の衝突壁部１２が設けられ、折曲げ通路部１１は、この
衝突壁部１２の位置で出口側通路部１３と連通してい
る。そして、出口側通路部１３は略Ｌ字状に屈曲して形
成され、その下流側は後述の流出口１４と連通してい
る。

【００３１】ここで、バイパス通路５は、図３に示す如
く、吸入空気が第１，第２の衝突壁部８，１０に衝突し
て折曲げ通路部９，１１を流れることにより、その流れ
方向を矢示Ｂ，Ｃに示す如く流量検出素子１６の上流側
でほぼ直角に折曲がる方向へと２回変化させる。これに
より、空気中にダスト等の異物粒子が含まれている場合
でも、バイパス通路５は、この異物を第１，第２の衝突
壁部８，１０に衝突させることにより、吸入空気と共に
流れる異物の速度を流量検出素子１６の上流側で減速す
る構成となっている。

【００３２】１４はバイパス通路５内の吸入空気が流出
する流出口で、該流出口１４は、出口側通路部１３の下
流側に略Ｌ字状に屈曲して形成され、図１に示すように
通路形成部材４の側面に開口している。

【００３３】１５は流量検出素子１６が取付けられた素
子取付部で、該素子取付部１５は、図３に示す如く、基
端側がセンサボディ３の回路収容部３Ａに取付けられ、
先端側が通路形成部材４の素子挿入穴４Ｃを介して折曲
げ通路部１１内に突設されると共に、この突出部位には
流量検出素子１６が固着されている。

【００３４】１６は折曲げ通路部１１の途中位置に設け
られた流量検出素子で、該流量検出素子１６は、図４に
示す如く、例えばシリコン材料、セラミックス材料等に
より形成され薄肉のダイヤフラム部１６Ａ1 が設けられ
た基板１６Ａと、該基板１６Ａのダイヤフラム部１６Ａ
1 上に設けられたヒータ１６Ｂと、該ヒータ１６Ｂの
左，右両側に位置してダイヤフラム部１６Ａ1 上に設け
られ、回路収容部３Ａ内の電子回路との間でブリッジ回
路（図示せず）を構成した感温抵抗体１６Ｃ，１６Ｃと
を有している。また、ヒータ１６Ｂと各感温抵抗体１６
Ｃとは、例えば白金等の金属薄膜にエッチング加工を施
すことによって形成されている。

【００３５】そして、流量検出素子１６の作動時には、
ヒータ１６Ｂが電子回路から給電されることによって発
熱すると、感温抵抗体１６Ｃはヒータ１６Ｂからの熱伝
導を受けつつ、折曲げ通路部１１を流れる吸入空気と接
触して冷却されることにより、吸入空気の流量を温度に
応じた抵抗値の変化として検出するものである。

【００３６】本実施の形態による流量計測装置は上述の
如き構成を有するもので、次にその作動について説明す
る。

【００３７】まず、エンジンの運転中には、図３に示す
如く、その吸入空気が吸気通路２を矢示Ａ方向に流れる
と、吸入空気の一部が流入口６から入口側通路部７に流
入し、この空気流は矢示Ｂの如く衝突壁部８に衝突する
ことにより、流れ方向がほぼ直角に変化して折曲げ通路
部９を流通する。そして、この空気流は、矢示Ｃの如く
衝突壁部１０に衝突することによって折曲げ通路部１１
を流通した後に、流量検出素子１６の位置を通過する。

【００３８】このとき、流量検出素子１６は吸入空気の
流量を検出し、エンジンの吸入空気量に対応した検出信
号を外部に出力する。また、流量検出素子１６の位置を
通過した吸入空気は、矢示Ｄの如く出口側通路部１３を
流通した後に流出口１４から吸気通路２に流出する。

【００３９】また、例えばエンジンの各気筒からの吹返
し等によって吸入空気が図３中の矢示Ａ方向と逆向きに
流れる場合には、流出口１４が通路形成部材４の側面に
位置して吸入空気の逆流方向とほぼ直交する方向に開口
しているため、この逆流は、流出口１４からバイパス通
路５内に流入するのを阻止される。また、仮りに吸入空
気が流出口１４から僅かに逆流した場合でも、この逆流
はＬ字状に屈曲した出口側通路１３を流れることによっ
て、流量検出素子１６の位置にほとんど達することなく
減衰する。

【００４０】ところで、仮りに吸入空気中にダスト等の
異物粒子が含まれている場合には、この異物が吸入空気
の流れによって加速されることにより、流入口６から入
口側通路部７に高速で侵入することがある。

【００４１】しかし、この異物は、吸入空気の流れ方向
が折曲げ通路部９，１１によって折曲がるように変化す
るときに、慣性質量が大きいために衝突壁部８，１０に
衝突して減速され、流量検出素子１６の位置を低速で通
過する。

【００４２】かくして、本実施の形態では、バイパス通
路５に２個の折曲げ通路部９，１１を設け、流量検出素
子１６を折曲げ通路部１１の途中に配設する構成とした
ので、これらの折曲げ通路部９，１１は、流量検出素子
１６の上流側で吸入空気の流れ方向をほぼ直角に折曲が
る方向へと２回変化させることができる。このとき、吸
入空気中の異物を衝突壁部８，１０に衝突させることが
でき、これらの２箇所で異物だけを確実に減速させるこ
とができる。

【００４３】即ち、流入口６から入口側通路部７に高速
で侵入してきた異物を、まず衝突壁部８と衝突させて減
速できると共に、さらに衝突壁部１０と衝突させること
によって異物の速度を十分に低下させることができる。

【００４４】これにより、異物が折曲げ通路部１１を通
過するときに流量検出素子１６に高速で衝突するのを防
止でき、仮りに衝突したとしても、このときの衝突エネ
ルギを低減させることができる。

【００４５】従って、微小な金属薄膜等により形成され
た感温抵抗体１６Ｂを吸入空気中に含まれるダスト等の
異物粒子から確実に保護でき、流量検出素子１６の耐久
性、寿命を向上させることができる。

【００４６】次に、図５は本発明による第２の実施の形
態を示し、本実施の形態の特徴は、バイパス通路が流量
検出素子の上流側で１回折曲がる構成としたことにあ
る。なお、本実施の形態では、前記第１の実施の形態と
同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略す
るものとする。

【００４７】２１は管体１に取付けられたセンサボディ
で、該センサボディ２１には第１の実施の形態とほぼ同
様に回路収容部２１Ａが設けられている。しかし、回路
収容部２１Ａの電子回路は、例えば後述する通路形成部
材２３の外側に配置された配線部材２２等を介して流量
検出素子１６と接続されている。

【００４８】２３は管体１の吸気通路２内に設けられた
通路形成部材で、該通路形成部材２３は、第１の実施の
形態とほぼ同様に、その内部に後述のバイパス通路２４
が形成されると共に、センサボディ２１の先端側または
管体１の内壁面に取付けられている。また、通路形成部
材２３の内側壁部２３Ａには、流量検出素子１６が取付
られている。

【００４９】２４は通路形成部材２３内に略コ字状に折
曲がって形成されたバイパス通路で、該バイパス通路２
４は、流入口２５、入口側通路部２６、衝突壁部２７、
折曲げ通路部２８、出口側通路部３０および流出口３１
を含んで構成されている。

【００５０】ここで、流入口２５は通路形成部材２３の
前面側に設けられ、図５中の矢示Ａ方向に流れる吸入空
気流の上流側に向けて開口している。また、入口側通路
部２６は、流入口２５から吸入空気流の流れ方向にほぼ
沿って通路形成部材２３の後面側に突き当たる位置まで
延び、通路形成部材２３のうち入口側通路部２６の下流
側が突き当たる部位は衝突壁部２７を構成している。

【００５１】また、折曲げ通路部２８は、衝突壁部２７
の位置で入口側通路部２６に対しほぼ直角に折曲がって
形成され、その途中位置には流量検出素子１６が配設さ
れている。さらに、折曲げ通路部２８の下流側には他の
衝突壁部２９が設けられ、折曲げ通路部２８は、この衝
突壁部２９の位置で出口側通路部３０と連通すると共
に、この出口側通路部３０は、折曲げ通路部２８に対し
ほぼ直角に折曲がって形成されている。

【００５２】また、流出口３１は、出口側通路部３０の
下流側からほぼ直角に折曲がって延び、通路形成部材２
３の側面に開口している。そして、これらの出口側通路
部３０と流出口３１とは、第１の実施の形態とほぼ同様
に、吸入空気が流量検出素子１６の位置に逆流するのを
防ぐ構成となっている。

【００５３】そして、吸気通路２を図５中の矢示Ａ方向
に流れる吸入空気の一部が流入口２５から入口側通路部
２６に流入すると、この空気流は矢示Ｅの如く衝突壁部
２７に衝突することにより、流れ方向がほぼ直角に変化
して折曲げ通路部２８を流通した後に、矢示Ｆの如く出
口側通路部３０、流出口３１を介して吸気通路２に流出
する。

【００５４】かくして、このように構成される本実施の
形態でも、前記第１の実施の形態とほぼ同様の作用効果
を得ることができる。即ち、折曲げ通路部２８によって
吸入空気の流れ方向をほぼ直角に折曲がる方向へと変化
させることができ、このときダスト等の異物粒子が衝突
壁部２７に衝突して十分に減速されることにより、流量
検出素子１６を保護することができる。

【００５５】そして、特に本実施の形態では、バイパス
通路２４に１個の折曲げ通路部２８を設ける構成とした
ので、その形状を簡略化でき、通路形成部材２３内に形
成するバイパス通路２４の成形、加工を容易に行うこと
ができる。

【００５６】なお、前記第１の実施の形態では、バイパ
ス通路５の流出口１４が通路形成部材４の側面に開口す
る構成としたが、本発明はこれに限らず、例えば図６に
示す変形例のように、通路形成部材４′の下面側を管体
１の内壁面から離間させて配置し、この下面側にバイパ
ス通路５′の流出口１４′が開口する構成としてもよ
く、また流出口が通路形成部材４′の後面側に開口する
構成としてもよい。

【００５７】また、第１の実施の形態では、流量検出素
子１６をバイパス通路５の第２の折曲げ通路部１１に設
ける構成としたが、本発明はこれに限らず、流量検出素
子１６を第１の折曲げ通路部９または出口側通路部１３
に設ける構成としてよい。

【００５８】また、前記第２の実施の形態においても、
例えば図５中に仮想線で示すように、流量検出素子１
６′をバイパス通路２４の出口側通路部３０に配設する
構成としてもよい。

【００５９】さらに、前記各実施の形態では、通路形成
部材４の上部側をセンサボディ３，２１に取付け、下部
側を管体１の内壁面に固着する構成としたが、本発明は
これに限らず、通路形成部材４の上部側と下部側のうち
いずれか一方を固定すればよい。そして、通路形成部材
４の下部側を固定する場合には、通路形成部材４と管体
１とを一体に樹脂成形する構成としてもよい。

【００６０】また、前記各実施の形態において、第１の
実施の形態では、バイパス通路５を流量検出素子１６の
上流側で２回折曲げ、第２の実施の形態では１回折曲げ
る構成としたが、本発明はこれに限らず、バイパス通路
を流量検出素子の上流側で３回以上折曲げる構成として
もよい。

【００６１】

【発明の効果】以上詳述した通り、請求項１の発明によ
れば、バイパス通路は、流量検出素子の上流側で被測流
体の流れが衝突する少なくとも１個の衝突壁部を有し、
この衝突壁部の位置で少なくとも１回折曲がる構成とし
たので、被測流体中に含まれるダスト等の異物がバイパ
ス通路に侵入した場合でも、この異物をバイパス通路の
折曲がり部位で衝突壁部に衝突させることができ、異物
だけを流量検出素子の上流側で十分に減速することがで
きる。これにより、異物が流量検出素子に高速で衝突す
るのを確実に防止でき、仮りに衝突したとしても、この
ときの衝突エネルギを低減して流量検出素子を確実に保
護できると共に、流量検出素子の耐久性、寿命を向上さ
せることができる。

【００６２】また、請求項２の発明によれば、バイパス
通路は、入口側通路部と、第１，第２の衝突壁部と、第
１，第２の折曲げ通路部とを有し、流量検出素子を第２
の折曲げ通路部に設ける構成としたので、これらの折曲
げ通路部は、被測流体の流れ方向を折曲がるように２回
変化させることができ、このときに被測流体中の異物を
第１，第２の衝突壁部に衝突させることによって２段階
で十分に減速することができる。

【００６３】また、請求項３の発明によれば、流量検出
素子は基板上に設けた金属薄膜からなる感温抵抗体を有
する構成としたので、例えばエッチング加工等の微細加
工技術を用いて感温抵抗体を形成することができる。ま
た、被測流体中の異物がバイパス通路の衝突壁部で減速
されることにより、仮りにこの異物が感温抵抗体に衝突
した場合でも、金属薄膜からなる感温抵抗体を保護する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態による流量計測装置
を管体に取付けた状態で示す正面図である。

【図２】図１中の矢示II−II方向からみた流量計測装置
と管体の縦断面図である。

【図３】バイパス通路と流量検出素子とを示す図２中の
要部拡大断面図である。

【図４】流量検出素子を拡大して示す斜視図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態による流量計測装置
の要部拡大断面図である。

【図６】第１の実施の形態の変形例を示す流量計測装置
の要部拡大断面図である。

【符号の説明】

１管体２吸気通路（主通路）３，２１センサボディ４，２３通路形成部材５，２４バイパス通路６，２５流入口７，２６入口側通路部８，１０，２７衝突壁部９，１１，２８折曲げ通路部１３，３０出口側通路部１４，３１流出口１６流量検出素子１６Ａ基板１６Ｂ感温抵抗体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者新井淳神奈川県厚木市恩名1370番地株式会社ユニシアジェックス内Ｆターム(参考） 2F035 AA02 EA03 EA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測流体が流れる主通路をバイパスして
被測流体の一部を流通させるバイパス通路と、該バイパ
ス通路の途中に設けられ前記被測流体の流量を検出する
流量検出素子とからなる流量計測装置において、前記バイパス通路は前記流量検出素子よりも上流側に位
置して前記被測流体の流れが衝突する少なくとも１個の
衝突壁部を有し、前記バイパス通路は該衝突壁部の位置
で折曲がる構成としたことを特徴とする流量計測装置。
【請求項２】前記バイパス通路は、前記主通路から被
測流体が流入する入口側通路部と、該入口側通路部の下
流側に位置し前記被測流体が衝突する第１の衝突壁部
と、該第１の衝突壁部の位置で前記入口側通路部に対し
折曲がって形成された第１の折曲げ通路部と、該第１の
折曲げ通路部の下流側に位置し前記被測流体が衝突する
第２の衝突壁部と、該第２の衝突壁部の位置で前記第１
の折曲げ通路部に対し折曲がって形成された第２の折曲
げ通路部とを含んで構成し、前記流量検出素子は第２の
折曲げ通路部に設ける構成としてなる請求項１に記載の
流量計測装置。
【請求項３】前記流量検出素子は基板上に設けた金属
薄膜からなる感温抵抗体を有し、該感温抵抗体は前記被
測流体の流量を抵抗値の変化により検出する構成として
なる請求項１または２に記載の流量計測装置。