DE10065362A1 - Flussratenmeßvorrichtung mit einer Flußratendetektorschutzstruktur - Google Patents

Abstract

Eine Flußratenmeßvorrichtung mit einem Gehäuse, das mit einem Durchlaß gebildet ist, der einen Teil des Gases aufnimmt, das in einem Ansaugdurchlaß strömt. In dem Durchlaß ist ein Flußratenerfassungselement angeordnet, welches eine Flußrate des Teils des Gases erfaßt. In dem Durchlaß stromaufwärts bezüglich des Flußratenerfassungselements ist zumindest eine Aufprallwand angeordnet, auf die der Teil des Gases prallt. Der Durchlaß ist an der Aufprallwand gebogen, um den Teil des Gases umzulenken, um zu verhindern, daß der Teil des Gases direkt auf das Flußratenerfassungselement trifft.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Messen einer Flußrate von Gas, die zur Messung einer Flußrate von Ansaugluft verwendbar ist, die in eine Fahr­ zeugkraftmaschine eingeführt wird.

Allgemein ist eine Fahrzeugkraftmaschine eines Kraftstoff­ einspritzungstyps mit einer Vorrichtung zum Messen einer Flußrate der Ansaugluft vorgesehen, die zum Bilden eines Luft/Kraftstoff-Gemisches mit einem geeigneten Luft/Kraft­ stoff-Verhältnis in der Kraftmaschine eingeführt wird. Eine Menge der Kraftstoffeinspritzung wird basierend auf den Ausgangssignalen bestimmt, die die Flußrate anzeigen, die durch die Vorrichtung gemessen wird. In Japanese Patent Provisional Publication Nr. 9-4487 sind Gasflußratenmeßvor­ richtungen offenbart, von denen jede ein Gehäuse, das in einem Ansaugrohr angeordnet ist, einen Umleitdurchlaß, der in dem Gehäuse gebildet ist, und ein Flußratenerfassungs­ element, das in dem Umleitdurchlaß angeordnet ist, auf­ weist. Der Umleitdurchlaß ermöglicht, daß ein Teil der An­ saugluft, die durch einen Ansaugluftdurchlaß in dem Ansaug­ rohr strömt, in demselben strömt. Der Umleitdurchlaß weist ein Einlaß- und ein Auslaßtor auf, die sich an einer Außen­ oberfläche des Gehäuses öffnen. Der Umleitdurchlaß weist einen sich linear erstreckenden Einlaßabschnitt auf, der mit dem Einlaßtor verbunden ist, und innerhalb dessen das Flußratenerfassungselement angeordnet ist. Das Einlaßtor ist stromaufwärts zu dem Ansaugluftfluß gerichtet, wobei der Einlaßabschnitt linear entlang des Einlaßluftflusses positioniert ist. Der Teil der Ansaugluft, der durch das Einlaßtor in den Einlaßabschnitt des Umleitdurchlasses strömt, strömt an dem Flußratenerfassungselement vorbei und strömt daraufhin durch das Auslaßtor wieder in den Ansaug­ luftdurchlaß. Es ist ein wärmeempfindlicher Widerstand als das Flußratenerfassungselement bekannt, das beispielsweise durch Ätzen eines Metallfilms, wie z. B. eines Platinfilms, der auf einem Substrat angeordnet ist, gebildet ist. Der wärmeempfindliche Widerstand ist darauf angepaßt, auf ein elektrisches Anregen desselben durch die Aktivierungsopera­ tion hin aufgeheizt zu werden. In dem aktivierten Zustand wird der wärmeempfindliche Widerstand durch den Kontakt mit der Ansaugluft, die in dem Umleitdurchlaß strömt, gekühlt, wobei derselbe die Flußrate der Ansaugluft durch Erfassen der Änderung der Temperatur desselben, d. h. der Änderung des Widerstandswerts desselben, erfaßt.

In dem Fall jedoch, daß in einem Ansaugluftsystem des Fahr­ zeugs ein Luftreinigungselement mit einer geringen Stau­ bauffangkapazität verwendet wird, kann auf die Kraftmaschi­ nenbeschleunigungsoperation hin eine Ansaugluft, die Frem­ dobjekte enthält, mit einer relativ hohen Geschwindigkeit durch das Einlaßtor in den Umleitdurchlaß eingebracht wer­ den. Die Fremdobjekte werden dann gegen das Flußratenerfas­ sungselement in dem Einlaßabschnitt des Umleitdurchlasses prallen. Falls das Aufprallen der Fremdobjekte während ei­ ner langen Zeitdauer wiederholt auftritt, wird das Flußra­ tenerfassungselement an Problemen leiden, wie z. B. Fehl­ funktionen, Beschädigungen und dergleichen. Dies kann zu einer Verschlechterung der Haltbarkeit und Lebensdauer des Flußratenerfassungselements führen. Da der wärmeempfindli­ che Widerstand als das Flußratenerfassungselement einen feinen Metallfilm aufweist, tendiert der wärmeempfindliche Widerstand in dem Fall, daß das Luftreinigungselement mit einer geringen Staubauffangkapazität verwendet wird, ferner dazu, in einer kurzen Zeitdauer sogar durch einen leichten Aufprall der Fremdobjekte gegen dasselbe beschädigt zu wer­ den.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Flußratenmeßvorrichtung und eine Vorrichtung zum Messen der Flußrate von Gas mit verbesserter Haltbarkeit und Lebens­ dauer zu schaffen.

Diese Aufgabe wird durch eine Flußratenmeßvorrichtung gemäß Anspruch 1 und eine Vorrichtung gemäß Anspruch 8 gelöst.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Flußratenmeßvorrichtung zu schaffen, die in der Lage ist, zu verhindern, daß Fremdobjekte, die in einem Gas, das ge­ messen werden soll, enthalten sind, direkt mit hoher Ge­ schwindigkeit gegen ein Flußratenerfassungselement prallen, und die Haltbarkeit und Lebensdauer des Flußratenerfas­ sungselements zu verbessern.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Flußratenmeßvorrichtung geschaffen, die in einem Gasdurch­ laß verwendbar ist, in dem Gas strömt, wobei die Vorrich­ tung folgende Merkmale aufweist:
ein Gehäuse;
einen Durchlaß, der durch das Gehäuse gebildet ist, wobei der Durchlaß ermöglicht, daß ein Teil des Gases von dem Gasdurchlaß in denselben strömt;
ein Flußratenerfassungselement, das eine Flußrate des Teils des Gases erfaßt, wobei das Flußratenerfassungselement in dem Durchlaß angeordnet ist; und
zumindest eine Aufprallwand, gegen die der Teil des Gases prallt, wobei die Aufprallwand in dem Durchlaß stromauf­ wärts bezüglich des Flußratenerfassungselements angeordnet ist, und wobei der Durchlaß an der Aufprallwand gebogen ist, um den Teil des Gases umzulenken.

Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung zum Messen einer Flußrate von Gas geschaf­ fen, wobei die Vorrichtung folgende Merkmale aufweist:
eine Wand;
einen Durchlaß, der durch die Wand definiert ist, wobei der Durchlaß einen Einlaßabschnitt und zumindest einen geboge­ nen Abschnitt, der relativ zu dem Einlaßabschnitt gebogen ist, aufweist;
ein Flußratenerfassungselement, das die Flußrate des Gases, das durch den Durchlaß strömt, erfaßt, wobei das Flußraten­ erfassungselement in dem Durchlaß stromabwärts bezüglich des gebogenen Abschnitts angeordnet ist; und
eine Aufprallwand, auf die ein Fluß des Gases, das in den gebogenen Abschnitt des Durchlasses eindringt, trifft, be­ vor der Fluß des Gases das Flußratenerfassungselement er­ reicht.

Die anderen Aufgaben und Merkmale dieser Erfindung werden sich aus der folgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen ergeben.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Vorderansicht einer Flußratenmeßvorrichtung eines ersten Ausführungsbeispiels gemäß der vor­ liegenden Erfindung, die an einem Rohr ange­ bracht ist;

Fig. 2 einen Querschnitt entlang der Linie 2-2 von Fig. 1;

Fig. 3 eine vergrößerte Ansicht eines wichtigen Teils von Fig. 2, die einen Umleitdurchlaß der Vor­ richtung und ein Flußratenerfassungselement zeigt;

Fig. 4 eine vergrößerte perspektivische Ansicht des Flußratenerfassungselements;

Fig. 5 eine Ansicht, die zu derjenigen von Fig. 3 ähn­ lich ist aber die Vorrichtung eines zweiten Aus­ führungsbeispiels gemäß der vorliegenden Erfin­ dung zeigt; und

Fig. 6 eine Ansicht, die zu derjenigen von Fig. 3 ähn­ lich ist, aber eine Modifikation der Vorrichtung des ersten Ausführungsbeispiels zeigt.

Bezugnehmend auf Fig. 1-4 wird eine Flußratenmeßvorrich­ tung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegen­ den Erfindung erklärt, die eine Ansaugluftflußratenmeßvor­ richtung ist, die auf Fahrzeugkraftmaschinen anwendbar ist.

Wie es in Fig. 1 dargestellt ist, ist die Vorrichtung an einem Rohr 1 angebracht. Das Rohr 1 ist in einem Ansaugrohr der Kraftmaschine, die nicht gezeigt ist, angeordnet, in einer allgemein zylindrischen Form gebildet und aus Harz, Metall oder dergleichen hergestellt. Wie es in Fig. 2 dar­ gestellt ist, umfaßt das Rohr 1 eine allgemein zylindrische Wand 1A, die einen Ansaugluftdurchlaß 2 als einen Haupt­ durchlaß definiert, einen Verbindungsflansch 1B, der mit einem stromaufwärtigen Ende der Wand 1A verbunden ist, und einen zylindrischen Verbindungsabschnitt 1C, der mit einem stromabwärtigen Ende der Wand 1A verbunden ist. Das Rohr 1 ist an dem Verbindungsflansch 1B mit einem Luftreiniger und am dem Verbindungsabschnitt 1C mit Zylindern der Kraftma­ schine verbunden. Ansaugluft, die durch den Luftreiniger strömt, dringt in den Ansaugluftdurchlaß 2 ein und strömt in demselben in einer Richtung, die durch den Pfeil A ange­ zeigt ist, zu den Kraftmaschinenzylindern.

An dem Rohr 1 ist ein Sensorträger 3 angebracht. Der Sen­ sorträger 3 umfaßt einen Verbindungsabschnitt, der an einem Sensoranbringungsabschnitt 1D des Rohrs 1 befestigt ist, und einen Elementträgerabschnitt, der mit dem Verbindungs­ abschnitt verbunden ist und in den Ansaugluftdurchlaß 2 vorsteht. Der Elementträgerabschnitt trägt an einem dista­ len Ende desselben ein Flußratenerfassungselement 16, das an einem Elementanbringungsabschnitt 15 angebracht ist. Der Elementträgerabschnitt umfaßt einen Schaltungsaufnahmeab­ schnitt 3A, der eine elektronische Schaltung aufnimmt, die nicht gezeigt ist, und sich in elektronischer kommunikati­ ver Verbindung mit dem Flußratenerfassungselement 16 befin­ det. Das distale Ende des Elementträgerabschnitts ist mit einem Gehäuse 4 als einem Durchlaßbildungsbauglied verbun­ den, in dem ein Umleitdurchlaß 5 gebildet ist, der einen Teil der Ansaugluft in dem Ansaugluftdurchlaß 2 aufnimmt und umlenkt.

Das Gehäuse 4 weist eine allgemein kubische Form auf, wie es aus Fig. 1-3 ersichtlich ist, und ist aus einem Harz­ material hergestellt. Das Gehäuse 4 ist an einer Innenober­ fläche der Wand 1A des Rohrs 1 befestigt. Das Gehäuse 4 um­ faßt eine Wand, die den Umleitdurchlaß 5 definiert. Wie es am besten in Fig. 3 gezeigt ist, umfaßt die Wand des Gehäu­ ses 4 einen inneren Wandabschnitt 4A und einen äußeren Um­ gebungswandabschnitt 4B, zwischen denen der Umleitdurchlaß 5 gebildet ist. Die Wand des Gehäuses 4 ist mit einem Ele­ menteinfügungsloch 4C gebildet, das sich durch einen oberen Wandabschnitt des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B er­ streckt, um bezüglich des Umleitdurchlasses 5 offen zu sein. Das Flußratenerfassungselement 16 steht durch das Einfügungsloch 4C in dem Umleitdurchlaß 5 vor, um der An­ saugluft innerhalb des Umleitdurchlasses 5 ausgesetzt zu sein bzw. bezüglich derselben frei zu liegen. Eine Barriere 4D ist angeordnet, um zu verhindern, daß die Ansaugluft in dem Ansaugluftdurchlaß 2 direkt auf das Flußratenerfas­ sungselement 16 trifft, nachdem dieselbe in der Richtung A, die in Fig. 3 gezeigt ist, geradlinig in den Umleitdurchlaß 5 geströmt ist. Die Barriere 4D ist in der Nähe des Einlaß­ tors 6 des Umleitdurchlasses 5 angeordnet. Die Barriere 4D ist an der Vorderseite des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B positioniert und erstreckt sich von dem oberen Wandab­ schnitt des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B zu dem Ein­ laßtor 6 hinab.

Der Umleitdurchlaß 5 weist einen allgemein C-förmigen Schnitt auf, wie es in Fig. 3 gezeigt ist, und umfaßt eine Mehrzahl von gebogenen Abschnitten, die Eckabschnitte des allgemein C-förmigen Schnitts bilden. Der Umleitdurchlaß 5 umfaßt nämlich einen Einlaßabschnitt 7, der sich geradlinig von dem Einlaßtor 6 aus erstreckt, einen Auslaßabschnitt 13 mit einem Auslaßtor 14 und einen Zwischenabschnitt zwischen dem Einlaßabschnitt 7 und dem Auslaßabschnitt 13. Der Zwi­ schenabschnitt umfaßt einen stromaufwärtigen Verbindungsab­ schnitt 9, der mit dem Einlaßabschnitt 7 verbunden und re­ lativ zu demselben gebogen ist, und einen stromabwärtigen Verbindungsabschnitt 11, der mit dem stromaufwärtigen Ver­ bindungsabschnitt 9 verbunden und relativ zu demselben ge­ bogen ist. Der Umleitdurchlaß 5 ermöglicht, daß der Teil der Ansaugluft in dem Ansaugluftdurchlaß 2 in den Einlaßab­ schnitt 7 strömt, durch den stromaufwärtigen und stromab­ wärtigen Verbindungsabschnitt 9 und 11 strömt und durch den Auslaßabschnitt 13 von dem Auslaßtor 14 ausgegeben wird. Der Teil der Ansaugluft, der durch den Umleitdurchlaß 5 strömt, wird folglich wieder in den Ansaugluftdurchlaß 2 zurückgebracht. Das Flußratenerfassungselement 16 des Sen­ sorträgers 3 steht in den stromabwärtigen Verbindungsab­ schnitt 11 des Zwischenabschnitts vor.

Erste und zweite Aufprallwände 8 und 10 sind in dem strom­ aufwärtigen und stromabwärtigen Verbindungsabschnitt 9 und 11 des Umleitdurchlasses 5 stromaufwärts bezüglich des Flußratenerfassungselements 16 angeordnet. Der Teil der An­ saugluft, der durch den Einlaßabschnitt 7 strömt, trifft auf die Aufprallwand 8 und daraufhin auf die Aufprallwand 10, um umgelenkt zu werden. Die Aufprallwand 8 ermöglicht, iaß der Fluß des Teils der Ansaugluft, der durch den Ein- Laßabschnitt 7 strömt, entlang einer Richtung B, die in Fig. 3 gezeigt und im wesentlichen senkrecht zu der Rich­ tung A ist, geändert und in den stromaufwärtigen Verbin­ dungsabschnitt 9 gerichtet wird. Die Aufprallwand 10 ermög­ licht, daß der Fluß des Teils der Ansaugluft, der durch den stromaufwärtigen Verbindungsabschnitt 9 strömt, entlang ei­ ner Richtung C, die in Fig. 3 gezeigt und im wesentlichen senkrecht zu der Richtung B ist, geändert und in den strom­ abwärtigen Verbindungsabschnitt 11 gerichtet wird. Die Auf­ prallwände 8 und 10 verhindern, daß der Teil der Ansaug­ luft, der in den Umleitdurchlaß 5 eindringt, direkt auf das Flußratenerfassungselement 16 trifft, und wirken zusammen, um zu verhindern, daß Fremdobjekte, die in dem Teil der An­ saugluft vorhanden sind, gegen das Flußratenerfassungsele­ ment 16 prallen, wie es später erklärt werden wird.

Spezifischerweise weist der äußere Umgebungswandabschnitt 4B des Gehäuses 4 einen stromaufwärtsseitigen Wandab­ schnitt, der dem Luftreiniger zugewandt ist, und einen stromabwärtsseitigen Wandabschnitt, der den Kraftmaschinen­ zylindern zugewandt ist, relativ zu dem Ansaugluftfluß in der Richtung A, die in Fig. 3 gezeigt ist, auf. Das Einlaß­ tor 6 öffnet sich an einer Außenoberfläche des stromab­ wärtsseitigen Wandabschnitts des äußeren Umgebungswandab­ schnitts 4B und ist zu dem Ansaugluftfluß gerichtet, der in der Richtung A strömt. Der Einlaßabschnitt 7 erstreckt sich geradlinig von dem Einlaßtor 6 und im wesentlichen entlang der Richtung A des Ansaugluftflusses. Der Einlaßabschnitt 7 trifft an einem stromabwärtigen Ende desselben mit der Auf­ prallwand 8 zusammen. Die Aufprallwand 8 ist auf einer re­ lativ zu dem Ansaugluftfluß in der Richtung A stromaufwär­ tigen Seite des inneren Wandabschnitts 4A positioniert. Der Einlaßabschnitt 7 ist mit dem stromaufwärtigen Verbindungs­ abschnitt 9 verbunden, der an der Aufprallwand 8 gebogen ist und sich im wesentlichen senkrecht zu dem Einlaßab­ schnitt 7 erstreckt. Die Aufprallwand 8 ist zwischen dem Einlaßabschnitt 7 und dem stromaufwärtigen Verbindungsab­ schnitt 9 angeordnet. Der stromaufwärtige Verbindungsab­ schnitt 9 trifft an einem stromabwärtigen Ende desselben mit der Aufprallwand 10 zusammen. Die Aufprallwand 10 ist auf der stromaufwärtigen Seite des oberen Wandabschnitts des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B angeordnet. Der stromaufwärtige Verbindungsabschnitt 9 ist mit dem stromab­ wärtigen Verbindungsabschnitt 11 verbunden, in den das Flußratenerfassungselement 16 vorsteht. Der stromabwärtige Verbindungsabschnitt 11 erstreckt sich im wesentlichen senkrecht zu dem stromaufwärtigen Verbindungsabschnitt 9. Der stromabwärtige Verbindungsabschnitt 11 trifft an einem stromabwärtigen Ende desselben mit einem oberen Teil des stromabwärtsseitigen Wandabschnitts des äußeren Umgebungs­ wandabschnitts 4B des Gehäuses 4 zusammen. Der stromabwär­ tige Verbindungsabschnitt 11 ist mit dem Auslaßabschnitt 13 verbunden. Der Auslaßabschnitt 13, der eine allgemeine L- Form aufweist, umfaßt einen stromaufwärtigen Auslaßab­ schnitt 13A, der sich im wesentlichen senkrecht zu dem stromabwärtigen Verbindungsabschnitt 11 erstreckt, und ei­ nen stromabwärtigen Auslaßabschnitt 13B, der mit dem strom­ aufwärtigen Auslaßabschnitt 13A verbunden ist und sich im wesentlichen senkrecht zu demselben erstreckt. Der strom­ aufwärtige Auslaßabschnitt 13A endet an einem unteren Wandabschnitt des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B des Gehäuses 4. Der stromabwärtige Auslaßabschnitt 13B ist mit dem Auslaßtor 14 verbunden, das im wesentlichen senkrecht zu demselben positioniert ist. Das Auslaßtor 14 öffnet sich an einer Außenoberfläche eines aus der Blickrichtung von Fig. 1 aus betrachtet rechten seitlichen Wandabschnitts des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B des Gehäuses 4.

Stromabwärts bezüglich des Flußratenerfassungselements 16 sind drei Gegenflußaufprallwände angeordnet, die verhin­ dern, daß ein Gegenfluß der Ansaugluft, die von dem Ansaug­ luftdurchlaß 2 durch das Auslaßtor 14 in den Auslaßab­ schnitt 13 eindringt, direkt auf das Flußratenerfassungs­ element 16 trifft. Der Gegenfluß der Ansaugluft trifft auf die Gegenflußaufprallwände, um umgelenkt zu werden. Eine erste Gegenflußaufprallwand ist zwischen dem Auslaßtor 14 und dem stromabwärtigen Auslaßabschnitt 13B des Auslaßab­ schnitts 13 angeordnet, um durch den Gegenfluß getroffen zu werden, der durch das Auslaßtor 14 strömt. Die erste Gegen­ flußaufprallwand ist an dem aus der Blickrichtung von Fig. 1 aus betrachtet linken seitlichen Wandabschnitt des äuße­ ren Umgebungswandabschnitts 4B des Gehäuses 4 positioniert, die dem Auslaßtor 14 gegenüber liegt. Eine zweite Gegen­ flußaufprallwand 12B ist zwischen dem stromaufwärtigen Aus­ laßabschnitt 13A und dem stromabwärtigen Auslaßabschnitt 13B angeordnet, um von dem Gegenfluß getroffen zu werden, der durch den stromabwärtigen Auslaßabschnitt 13B strömt. Die zweite Gegenflußaufprallwand 12B ist an einem unteren Teil des stromabwärtsseitigen Wandabschnitts des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B positioniert. Die dritte Gegen­ flußaufprallwand 12A ist zwischen dem stromaufwärtigen Aus­ laßabschnitt 13A und dem stromabwärtigen Verbindungsab­ schnitt 11 angeordnet, um von dem Gegenfluß getroffen zu werden, der durch den stromaufwärtigen Auslaßabschnitt 13A strömt. Die dritte Gegenflußaufprallwand 12A ist auf der stromabwärtigen Seite des oberen Wandabschnitts des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B positioniert.

Das Flußratenerfassungselement 16, das in dem stromabwärti­ gen Verbindungsabschnitt 11 positioniert ist, ist an dem Elementanbringungsabschnitt 15 befestigt. Der Elementan­ bringungsabschnitt 15 ist mit einem Basisabschnitt dessel­ ben an dem Schaltungsaufnahmeabschnitt 3A des Sensorträgers 3 auf eine derartige Art und Weise befestigt, daß ein Hal­ teabschnitt desselben, der das Flußratenerfassungselement 16 hält, durch das Elementeinfügungsloch 4C in den stromab­ wärtigen Verbindungsabschnitt 11 vorsteht. Wie es in Fig. 4 dargestellt ist, umfaßt das Flußratenerfassungselement 16 eine Basisplatte 16A, eine Membran 16A1, die auf der Basis­ platte 16A angeordnet ist, ein Heizelement 16B, das auf der Membran 16A1 angeordnet ist, und wärmeempfindliche Wider­ stände 16C, 16C, die auf der linken bzw. rechten Seite des Heizelements 16B angeordnet sind. Die wärmeempfindlichen Widerstände 16C, 16C wirken mit der elektronischen Schal­ tung in dem Schaltungsaufnahmeabschnitt 3A zusammen, um ei­ ne Brückenschaltung, die nicht gezeigt ist, zu bilden. Die Basisplatte 16A ist aus Siliziummaterial, Keramikmaterial oder dergleichen hergestellt. Das Heizelement 16B und die wärmeempfindlichen Widerstände 16C, 16C werden durch Ätzen eines Films gebildet, der aus Metall, wie z. B. Platin, hergestellt ist. Auf eine Aktivierung des Flußratenerfas­ sungselements 16 hin wird das Heizelement 16B durch die elektronische Schaltung angeregt und geheizt, um die Wärme an die wärmeempfindlichen Widerstände 16C, 16C zu übertra­ gen. Die wärmeempfindlichen Widerstände 16C, 16C werden durch den Kontakt mit der Ansaugluft, die in den stromab­ wärtigen Verbindungsabschnitt 11 strömt, gekühlt, während dieselben die Wärme von dem Heizelement 16B empfangen. Das Flußratenerfassungselement 16 erfaßt die Flußrate der An­ saugluft durch Erfassen der Änderung des Widerstandswerts der wärmeempfindlichen Widerstände 16C, 16C, die abhängig von der Änderung der Temperatur derselben bewirkt wird.

Eine Funktionsweise der Vorrichtung gemäß dem ersten Aus­ führungsbeispiel wird im Folgenden erklärt werden.

Während des Kraftmaschinenbetriebs strömt Ansaugluft in dem Ansaugluftdurchlaß 2 des Ansaugrohres 1 in der Richtung A, wie es in Fig. 3 gezeigt ist. Wenn die Ansaugluft innerhalb des Ansaugluftdurchlasses 2 in das Einlaßtor 6 des Umleit­ durchlasses 5 eindringt, trifft die Ansaugluft auf die Bar­ riere 4D, die in der Nähe des Einlaßtores 6 angeordnet ist, um daran gehindert zu werden, geradlinig in der Richtung A zu strömen. Ein Teil der Ansaugluft dringt durch das Ein­ laßtor 6 in den Einlaßabschnitt 7 ein. Der Teil des Ansaug­ luftflusses trifft auf die Aufprallwand 8, um entlang der Richtung B, die im wesentlichen senkrecht zu der Richtung A ist, umgelenkt zu werden, woraufhin dieselbe in den strom­ aufwärtigen Verbindungsabschnitt 9 strömt. Der Ansaugluft­ fluß, der durch den stromaufwärtigen Verbindungsabschnitt 9 fließt, trifft auf die Aufprallwand 10, um entlang der Richtung C umgelenkt zu werden. Der Ansaugluftfluß dringt daraufhin in den stromabwärtigen Verbindungsabschnitt 11 ein und strömt an dem Flußratenerfassungselement 16 vorbei. Folglich ist die Richtung des Ansaugluftflusses, der in den Umleitdurchlaß 5 strömt, stromaufwärts bezüglich des Fluß­ ratenerfassungselements 16 zweimal geändert worden, wobei jedesmal mit dem Treffen des Ansaugluftflusses auf die Auf­ prallwände 8 und 10 die Richtung um im wesentlichen einen rechten Winkel geändert wurde. In dem Fall, daß die Ansaug­ luft, die beliebige Fremdobjekte, wie z. B. Staubkörner, enthält, in den Umleitdurchlaß 5 strömt, werden die Frem­ dobjekte, die in dem Ansaugluftfluß vorhanden sind, eben­ falls mit hoher Geschwindigkeit in das Einlaßtor 6 eindrin­ gen. Die Fremdobjekte, die in dem Ansaugluftfluß vorhanden sind, der durch das Einlaßtor 6 fließt, strömen in das Ein­ laßtor 7 und dann in den stromaufwärtigen und stromabwärti­ gen Verbindungsabschnitt 9 und 11. Zu diesem Zeitpunkt treffen die Fremdobjekte, die in dem Ansaugluftfluß vorhan­ den sind, aufgrund einer größeren Trägheitsmasse derselben auf die Aufprallwände 8 und 10 bzw. stoßen gegen denselben. Folglich kann die Geschwindigkeit der Fremdobjekte auf der stromaufwärtigen Seite des Flußratenerfassungselements 16 reduziert werden, so daß die Fremdobjekte an dem Flußraten­ erfassungselement 16 innerhalb des stromabwärtigen Verbin­ dungsabschnitts 11 mit einer reduzierten Geschwindigkeit vorbeiströmen können. Es kann folglich verhindert werden, daß das Flußratenerfassungselement 16 von den Fremdobjek­ ten, die in der Ansaugluft vorhanden sind, mit hoher Ge­ schwindigkeit getroffen bzw. gestoßen wird. Selbst wenn die Fremdobjekte auf das Flußratenerfassungselement 16 treffen, kann die Aufprallenergie, die durch den Treffer bzw. Stoß bewirkt wird, wegen der reduzierten Geschwindigkeit der Fremdobjekte verringert werden. Dementsprechend kann das Flußratenerfassungselement 16, das den Feinmetallfilm ver­ wendet, vor einer nachteiligen Beeinflussung durch die Fremdobjekte, die in der Ansaugluft vorhanden sind, ge­ schützt werden, so daß die Haltbarkeit und Lebensdauer des Flußratenerfassungselements 16 verbessert werden kann. Das Flußratenerfassungselement 16 erfaßt eine Flußrate der An­ saugluft, die an demselben vorbeiströmt, in dem stromabwär­ tigen Verbindungsabschnitt 11 und erzeugt ein Ausgangs­ signal, das die erfaßte Flußrate der Ansaugluft anzeigt. Die Ansaugluft strömt daraufhin in den Auslaßabschnitt 13, durch den stromaufwärtigen und stromabwärtigen Auslaßab­ schnitt 13A und 13B und kehrt durch das Auslaßtor 14 in den Ansaugluftdurchlaß 2 zurück, wie es durch den Pfeil D ange­ zeigt wird, der in Fig. 3 gezeigt ist.

Falls ein Gegenfluß der Ansaugluft, der in einer Richtung umgekehrt zu der Richtung A strömt, in dem Ansaugluftdurch­ laß 2 auftritt, kann verhindert werden, daß der Gegenfluß der Ansaugluft in das Auslaßtor 14 eindringt, da sich das Auslaßtor 14 in der Richtung öffnet, die im wesentlichen senkrecht zu der Richtung des Gegenflusses ist. Sogar in einem Fall, daß der Gegenfluß der Ansaugluft in das Auslaß­ tor 14 eindringt, kann umgekehrt der Gegenfluß auf die Ge­ genflußaufprallwand an dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen Auslaßabschnitts 13B, der mit dem Auslaßtor 14 verbunden ist, die Gegenflußaufprallwand 12B an dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromaufwärtigen Auslaßab­ schnitts 13A und die Gegenflußaufprallwand 12A an dem stromabwärtigen Endabschnitt des stromabwärtigen Verbin­ dungsabschnitts 11 treffen bzw. dagegen stoßen. Folglich kann der Gegenfluß gedämpft werden, bevor derselbe das Flußratenerfassungselement 16 erreicht, und es kann verhin­ dert werden, daß derselbe direkt auf das Flußratenerfas­ sungselement 16 trifft. Das Flußratenerfassungselement 16 kann davor bewahrt werden, daß durch das direkte Auftreffen des Gegenflusses eine nachteilige Beeinflussung bewirkt wird. Alternativ kann das Flußratenerfassungselement 16 in dem stromaufwärtigen Verbindungsabschnitt 9 oder dem Aus­ laßabschnitt 13 angeordnet sein. Das Auslaßtor 14 kann sich ferner an einer Außenoberfläche des stromabwärtsseitigen Wandabschnitts des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B öff­ nen.

Bezugnehmend auf Fig. 5 wird nun die Vorrichtung gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden Erfin­ dung erklärt, die sich dadurch unterscheidet, daß der Um­ leitdurchlaß auf der stromaufwärtigen Seite des Flußraten­ erfassungselements einmal gebogen ist. Gleiche Bezugszei­ chen bezeichnen gleiche Bauteile, und folglich können de­ taillierte Erklärungen derselben weggelassen werden.

Wie es in Fig. 5 dargestellt ist, umfaßt ein Sensorträger 21 ähnlich zu dem ersten Ausführungsbeispiel einen Schal­ tungsaufnahmeabschnitt 21A. Eine elektronische Schaltung innerhalb des Schaltungsaufnahmeabschnitts 21A ist mit dem Flußratenerfassungselement 16 durch ein Verdrahtungsbau­ glied 22 verbunden. Das Verdrahtungsbauglied 22 ist außer­ halb eines Gehäuses 23 als ein Durchlaßbildungsbauglied an­ geordnet, das mit einem Umleitdurchlaß 24 gebildet ist. Das Gehäuse 23 ist innerhalb des Ansaugluftdurchlasses 2 ange­ ordnet und ist insbesondere an der Innenoberfläche der Wand 1A des Rohres 1 und dem distalen Ende des Sensorträgers 21 befestigt, der in den Ansaugluftdurchlaß 2 vorsteht. Ent­ sprechend dem Gehäuse 4 des ersten Ausführungsbeispiels weist das Gehäuse 23 eine allgemein kubische Form auf und umfaßt einen inneren Wandabschnitt 23A und einen äußeren Umgebungswandabschnitt 23B, zwischen denen der Umleitdurch­ laß 24 gebildet ist. Das Flußratenerfassungselement 16 ist an dem inneren Wandabschnitt 23A befestigt, um in den Um­ leitdurchlaß 24 vorzustehen.

Der Umleitdurchlaß 24 weist einen allgemein C-förmigen Schnitt auf, wie es in Fig. 5 gezeigt ist, und umfaßt einen Einlaßabschnitt 26 mit einem Einlaßtor 25, einen Auslaßab­ schnitt 30 mit einem Auslaßtor 31 und einem Zwischenab­ schnitt 28 zwischen denselben. Das Einlaßtor 25 öffnet sich an einer Außenoberfläche eines relativ zu dem Ansaugluft­ fluß, der in der Richtung A strömt, stromaufwärtsseitigen Wandabschnitt des äußeren Umgebungswandabschnitts 23B. Der Einlaßabschnitt 26 erstreckt sich geradlinig von dem Ein­ laßtor 25 entlang der Richtung A und trifft an einem strom­ abwärtigen Ende desselben mit einer Aufprallwand 27 zusam­ men. Der Einlaßabschnitt 26 ist mit dem Zwischenabschnitt 28 verbunden, der relativ zu dem Einlaßabschnitt 26 gebogen ist. Der Zwischenabschnitt 28 erstreckt sich im wesentli­ chen senkrecht zu dem Einlaßabschnitt 26. Das Flußratener­ fassungselement 16 ist in dem Zwischenabschnitt 28 positio­ niert. Die Aufprallwand 27 ist an einem oberen Teil eines relativ zu dem Ansaugluftfluß stromabwärtsseitigen Wandab­ schnitt des äußeren Umgebungswandabschnitts 23B positio­ niert. Der Zwischenabschnitt 28 trifft an einem stromabwär­ tigen Ende desselben mit der stromabwärtigen Seite eines unteren Wandabschnitts des äußeren Umgebungswandabschnitts 23B zusammen. Der Zwischenabschnitt 28 ist mit dem Auslaß­ abschnitt 30 kommunikativ verbunden. Der Auslaßabschnitt 30 ist unter einem im wesentlichen rechten Winkel relativ zu dem Zwischenabschnitt 28 gebogen. Der Auslaßabschnitt 30 ist mit dem Auslaßtor 31 verbunden, der sich im wesentli­ chen senkrecht zu demselben durch den seitlichen Wandab­ schnitt des äußeren Umgebungswandabschnitts 23B erstreckt, um sich ähnlich zu dem Auslaßtor 14 des ersten Ausführungs­ beispiels an einer Außenoberfläche des seitlichen Wandab­ schnitts zu öffnen. Es sind ferner zwei Gegenflußaufprall­ wände in dem Umleitdurchlaß 24 stromabwärts bezüglich des Flußratenerfassungselements 16 vorgesehen. Die eine der Ge­ genflußaufprallwände ist, wie es mit 29 angezeigt ist, an dem unteren Teil des stromabwärtsseitigen Wandabschnitts des äußeren Umgebungswandabschnitts 23B positioniert. Die andere der Gegenflußaufprallwände ist auf der stromaufwär­ tigen Seite des seitlichen Wandabschnitts des äußeren Umge­ bungswandabschnitts 23B positioniert, der dem Auslaßtor 31 gegenüberliegt.

Wenn ein Teil der Ansaugluft, die durch den Ansaugluft­ durchlaß 2 strömt, in der Richtung A durch das Einlaßtor 25 in den Einlaßabschnitt 26 eindringt, trifft der Teil der Ansaugluft auf die Aufprallwand 27. Dann ändert sich die Richtung des Flusses des Teils der Ansaugluft, wie es durch den Pfeil E angezeigt wird, so daß der Teil der Ansaugluft in den Zwischenabschnitt 28 eindringt und an dem Flußraten­ erfassungselement 16 in dem Zwischenabschnitt 28 vorbei­ strömt. Der Ansaugluftfluß, der durch den Zwischenabschnitt 28 fließt, dringt in den Auslaßabschnitt 30 und das Auslaß­ tor 31 ein und kehrt daraufhin in den Ansaugluftdurchlaß 2 zurück, wie es durch den Pfeil F angezeigt wird. Falls ein Gegenfluß der Ansaugluft, die von dem Ansaugluftdurchlaß 2 in das Auslaßtor 31 eindringt, auftritt, wird der Gegenfluß auf die zwei Gegenflußaufprallwände treffen bzw. gegen die­ selben stoßen, um gedämpft zu werden.

Die Vorrichtung des zweiten Ausführungsbeispiels kann im wesentlichen die selben Effekte wie diejenigen des ersten Ausführungsbeispiels zeigen. Das heißt, daß mit der Anord­ nung der Aufprallwand 27 und durch die dortige Biegung des Zwischenabschnitts 28 verhindert werden kann, daß der An­ saugluftfluß, der von dem Einlaßabschnitt 26 in den Zwi­ schenabschnitt 28 strömt, direkt auf das Flußratenerfas­ sungselement 16 trifft bzw. direkt gegen dasselbe stößt. Folglich können jegliche Fremdobjekte, die in dem Ansaug­ luftfluß vorhanden sind, auf die Aufprallwand 27 treffen bzw. gegen dieselbe stoßen, bevor dieselben das Flußraten­ erfassungselement 16 erreichen. Die Aufprallenergie der Fremdobjekte kann reduziert werden, wodurch das Flußraten­ erfassungselement 16 vor dem direkten Treffer der Fremdob­ jekte mit einer großen Aufprallenergie geschützt werden kann. Ferner kann sogar dann, wenn der Gegenfluß der An­ saugluft von dem Ansaugluftdurchlaß 2 in das Auslaßtor 31 eindringt, mit dem Vorsehen der zwei Gegenflußaufprallwände verhindert werden, daß das Flußratenerfassungselement 16 durch den Gegenfluß nachteilig beeinträchtigt wird.

Da zusätzlich die Vorrichtung des zweiten Ausführungsbei­ spiels die einfache Struktur aufweist, bei der der Umleit­ durchlaß 24 lediglich an dem Zwischenabschnitt 28 gebogen ist, kann die Bildung des Umleitdurchlasses 24 in dem Ge­ häuse 23 vereinfacht werden.

Alternativ kann das Flußratenerfassungselement in einer Po­ sition positioniert sein, wie sie mit 56 in dem Auslaßab­ schnitt 30 angezeigt ist.

Bezugnehmend auf Fig. 6 wird nun eine Modifikation der Vor­ richtung des ersten Ausführungsbeispiels gezeigt, die sich bezüglich der Aufnahme des Gehäuses in dem Rohr und der An­ ordnung des Auslaßtors des Umleitdurchlasses unterscheidet. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen gleiche Bauteile, und de­ taillierte Erklärungen für dieselben können folglich wegge­ lassen werden.

Wie es in Fig. 6 dargestellt ist, umfaßt die Vorrichtung ein Gehäuse 104 als das Durchlaßbildungsbauglied mit einem Umleitdurchlaß 105. Das Gehäuse 104 ist in dem Ansaugluft­ durchlaß 2 mit einem Zwischenraum zwischen der Außenober­ fläche des unteren Wandabschnitts des äußeren Umgebungs­ wandabschnitts 4B und der Innenoberfläche der Wand 1A des Rohrs 1 angeordnet. Der Umleitdurchlaß 105 umfaßt ein Aus­ laßtor 114, das sich durch den unteren Wandabschnitt des äußeren Umgebungswandabschnitts 4B erstreckt, um sich an einer Außenoberfläche des unteren Wandabschnitts zu öffnen. Ein Teil der Ansaugluft, die von dem Ansaugluftdurchlaß 2 in den Einlaßabschnitt 7 eindringt, strömt durch den strom­ aufwärtigen und stromabwärtigen Verbindungsabschnitt 9 und 11 des Zwischenabschnitts und den Auslaßabschnitt 13 und strömt in das Auslaßtor 114, wie es durch den Pfeil G ange­ zeigt ist. Der Teil der Ansaugluft strömt daraufhin aus dem Auslaßtor 114 in den Ansaugluftdurchlaß 2 aus.

Wie es aus der vorhergehenden Beschreibung ersichtlich wird, kann der Umleitdurchlaß stromaufwärts bezüglich des Flußratenerfassungselements dreimal oder mehr gebogen sein. Ferner kann das Gehäuse als das Durchlaßbildungsbauglied in einem direkten Kontakt mit dem Rohr angeordnet sein, wie es bei dem ersten Ausführungsbeispiel erklärt wurde, oder ohne einen direkten Kontakt mit demselben, wie es bei dem zwei­ ten Ausführungsbeispiel erklärt wurde. In dem Fall des An­ bringens des Gehäuses an dem Rohr mit dem direkten Kontakt zu demselben kann das Gehäuse unter Verwendung des selben Harzmaterials einstückig mit dem Rohr gebildet sein.

Der gesamte Inhalt der japanischen Basispatentanmeldung Nr. 11-373639, die am 28. Dezember 1999 eingereicht wurde, ein­ schließlich der Beschreibung, der Ansprüche und Zeichnun­ gen, werden hierin unter Bezugnahme aufgenommen.

Claims (12)

1. Flußratenmeßvorrichtung, die in einem Gasdurchlaß (2) verwendbar ist, in dem Gas strömt, wobei die Vorrich­ tung folgende Merkmale aufweist:
ein Gehäuse (4; 23);
einen Durchlaß (5; 24), der durch das Gehäuse (4; 23) gebildet ist, wobei der Durchlaß (5; 24) ermöglicht, daß ein Teil des Gases von dem Gasdurchlaß (2) in den­ selben strömt;
ein Flußratenerfassungselement (16), das eine Flußrate des Teils des Gases erfaßt, wobei das Flußratenerfas­ sungselement (16) in dem Durchlaß (5; 24) angeordnet ist; und
zumindest eine Aufprallwand (8, 10; 27), gegen die der Teil des Gases prallt, wobei die Aufprallwand (8, 10; 27) in dem Durchlaß (5; 24) stromaufwärts bezüglich des Flußratenerfassungselements (16) angeordnet ist, und wobei der Durchlaß (5; 24) an der Aufprallwand (8, 10; 27) gebogen ist, um den Teil des Gases umzulenken.

2. Flußratenmeßvorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der der Durchlaß (5) einen Einlaßabschnitt (7), durch den der Teil des Gases in den Durchlaß (5) eindringt, einen ersten Verbindungsabschnitt (9), der mit dem Einlaßab­ schnitt (7) verbunden und relativ zu demselben gebogen ist, und einen zweiten Verbindungsabschnitt (11), der mit dem ersten gebogenen Abschnitt (9) verbunden und relativ zu demselben gebogen ist, aufweist, wobei die Aufprallwand (8, 10) eine erste Aufprallwand (8), die zwischen dem Einlaßabschnitt (7) und dem ersten Ver­ bindungsabschnitt (9) angeordnet ist, und eine zweite Aufprallwand (10), die zwischen dem ersten Verbin­ dungsabschnitt (9) und dem zweiten Verbindungsab­ schnitt (11) angeordnet ist, aufweist, und wobei das Flußratenerfassungselement (16) innerhalb des zweiten Verbindungsabschnitts (11) angeordnet ist.

3. Flußratenmeßvorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der das Flußratenerfassungselement (16) einen wärme­ empfindlichen Widerstand (16C) mit einer Basisplatte (16A) und einem Metallfilm, der auf der Basisplatte (16A) angeordnet ist, aufweist, wobei der wärmeemp­ findliche Widerstand (16C) aufgebaut ist, um durch Er­ fassen einer Änderung eines Widerstandswerts eine Flußrate des Gases zu erfassen, das an dem Flußraten­ erfassungselement (16) vorbeiströmt.

4. Flußratenmeßvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der der Durchlaß (5; 24) einen Auslaßab­ schnitt (13A, 13B; 30) aufweist, durch den der Teil des Gases in den Gasdurchlaß (2) zurückgeleitet wird, wobei die Vorrichtung ferner eine Gegenflußaufprall­ wand (12A, 12B; 29) aufweist, die verhindert, daß ein Gegenfluß des Gases, das von dem Gasdurchlaß (2) in den Auslaßabschnitt (13A; 30) eindringt, direkt auf das Flußratenerfassungselement (16) trifft, wobei die Gegenflußaufprallwand (12A, 12B; 29) in dem Durchlaß (5; 24) stromabwärts bezüglich des Flußratenerfas­ sungselements (16) angeordnet ist.

5. Flußratenmeßvorrichtung gemäß Anspruch 2, bei der der Durchlaß (5) einen Auslaßabschnitt (13A, 13B) auf­ weist, durch den der Teil des Gases in den Gasdurchlaß (2) zurückgeleitet wird, wobei der Auslaßabschnitt (13A, 13B) stromabwärts bezüglich des zweiten Verbin­ dungsabschnitts (11) angeordnet ist, wobei die Vor­ richtung ferner eine Gegenflußaufprallwand (12A, 12B) aufweist, die verhindert, daß ein Gegenfluß des Gases, das von dem Gasdurchlaß (2) in den Auslaßabschnitt (13A) eindringt, direkt auf das Flußratenerfassungs­ element (16) trifft, wobei die Gegenflußaufprallwand (12A, 12B) in dem Auslaßabschnitt (13A, 13B) angeord­ net ist.

6. Flußratenmeßvorrichtung gemäß Anspruch 5, bei der die Gegenflußaufprallwand (12A, 12B) eine Mehrzahl von Ge­ genflußaufprallwänden aufweist.

7. Flußratenmeßvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, die ferner eine Barriere (4D) aufweist, die verhindert, daß das Gas in dem Gasdurchlaß (2) direkt auf das Flußratenerfassungselement (16) trifft, wobei die Barriere (4D) in der Nähe des Einlaßabschnitts (7) angeordnet ist.

8. Vorrichtung zum Messen einer Flußrate von Gas, wobei die Vorrichtung folgende Merkmale aufweist:
eine Wand (4; 23);
einen Durchlaß (5; 24), der durch die Wand (4; 23) de­ finiert ist, wobei der Durchlaß (5; 24) einen Einlaß­ abschnitt (7; 26) und zumindest einen gebogenen Ab­ schnitt (9, 11; 28), der relativ zu dem Einlaßab­ schnitt (7; 26) gebogen ist, aufweist;
ein Flußratenerfassungselement (16), das die Flußrate des Gases, das durch den Durchlaß (5; 24) strömt, er­ faßt, wobei das Flußratenerfassungselement (16) in dem Durchlaß (5; 24) stromabwärts bezüglich des gebogenen Abschnitts (9, 11; 28) angeordnet ist; und
eine Aufprallwand (8, 10; 27), auf die ein Fluß des Gases, das in den gebogenen Abschnitt (9, 11; 28) des Durchlasses (5; 24) eindringt, trifft, bevor der Fluß des Gases das Flußratenerfassungselement (16) er­ reicht.

9. Vorrichtung gemäß Anspruch 8, bei der der Durchlaß (5) einen Auslaßabschnitt (13A, 13B) mit einem Auslaßtor (14) aufweist, wobei der Auslaßabschnitt (13A, 13B) stromabwärts bezüglich des gebogenen Abschnitts (9, 11) angeordnet ist und einen gebogenen Abschnitt auf­ weist, der relativ zu dem Auslaßtor (14) gebogen ist, wobei die Vorrichtung ferner eine Gegenflußaufprall­ wand (12A, 12B) aufweist, die verhindert, daß ein Ge­ genfluß des Gases, das von dem Auslaßtor (14) in den gebogenen Abschnitt (9, 11; 28) des Auslaßabschnitts (13) eindringt, direkt auf das Flußratenerfassungsele­ ment (16) trifft.

10. Vorrichtung gemäß Anspruch 9, bei der der gebogene Ab­ schnitt des Auslaßabschnitts (13A, 138) eine Mehrzahl von gebogenen Abschnitten aufweist, wobei die Gegen­ flußaufprallwand (12A, 12B) eine Mehrzahl von Gegen­ flußaufprallwänden aufweist.

11. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 8 bis 10, bei der das Flußratenerfassungselement (16) einen wär­ meempfindlichen Widerstand (16C) mit einer Basisplatte (16A) und einem Metallfilm, der auf der Basisplatte (16A) angeordnet ist, aufweist, wobei der wärmeemp­ findliche Widerstand (16C) aufgebaut ist, um durch Er­ fassen einer Änderung eines Widerstandswerts eine Flußrate des Gases, das an dem Flußratenerfassungsele­ ment (16) vorbeiströmt, zu erfassen.

12. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 8 bis 11, die ferner eine Barriere (4D) aufweist, die verhindert, daß Gas direkt auf das Flußratenerfassungselement (16) trifft, wobei die Barriere (9D) in der Nähe des Ein­ laßabschnitts (7) angeordnet ist.