JP2001174740A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】 光源からの光ビームが入射する入射側反射光学系と、回転軸の周りで揺動可能とされると共に、入射側反射光学系から射出した光ビームを反射偏向する偏向ミラーと、前記偏向ミラーで反射された光ビームが入射する射出側反射光学系とを有し、軸上主光線を光源から出て光学系の絞りを構成する偏向ミラーの中心を通る光線で定義するとき、前記偏向ミラーの前記回転軸が前記光源から前記入射側反射光学系に入射する軸上主光線と略平行に設定されていることを特徴とする走査光学系。
【請求項２】 前記偏向ミラーの前記揺動範囲の何れかの位置において、前記光源から前記入射側反射光学系に入射する軸上主光線と、前記射出側反射光学系から射出する軸上主光線とが略平行になることを特徴とする請求項１記載の走査光学系。
【請求項３】 前記射出側反射光学系から射出する偏向光ビームが被走査面上に集光することを特徴とする請求項１又は２記載の走査光学系。
【請求項４】 前記入射側反射光学系と前記射出側反射光学系は、対称面を１面又は２面持つ回転非対称面からなる偏心配置の反射面を少なくとも１面有することを特徴とする請求項１から３の何れか１項記載の走査光学系。
【請求項５】 前記入射側反射光学系は、入射屈折面と内部反射面と射出屈折面とからなる偏心プリズムであることを特徴とする請求項１から４の何れか１項記載の走査光学系。
【請求項６】 前記入射側反射光学系は、入射屈折面と内部反射面と内部全反射面兼射出屈折面とからなる偏心プリズムであることを特徴とする請求項１から４の何れか１項記載の走査光学系。
【請求項７】 前記射出側反射光学系は、入射屈折面と内部反射面と射出屈折面とからなる偏心プリズムであることを特徴とする請求項１から６の何れか１項記載の走査光学系。
【請求項８】 前記射出側反射光学系は、入射屈折面兼内部全反射面と内部反射面と射出屈折面とからなる偏心プリズであることを特徴とする請求項１から６の何れか１項記載の走査光学系。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の走査光学系は、光源からの光ビームが入射する入射側反射光学系と、回転軸の周りで揺動可能とされると共に、入射側反射光学系から射出した光ビームを反射偏向する偏向ミラーと、前記偏向ミラーで反射された光ビームが入射する射出側反射光学系とを有し、軸上主光線を光源から出て光学系の絞りを構成する偏向ミラーの中心を通る光線で定義するとき、前記偏向ミラーの前記回転軸が前記光源から前記入射側反射光学系に入射する軸上主光線と略平行に設定されていることを特徴とするものである。
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