JP2000258699A5 - - Google Patents
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- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 4
Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 点光源を形成するための共焦点ピンホールと、
点光源からの光ビームを走査する光走査光学系と、
点光源からの光ビームを被検面に集光させる集光光学系とを備えており、
光走査光学系は少なくとも１つの走査ミラーを含む複数の反射面を有し、これら複数の反射面は光ビームが斜めに入射するように配置されており、
点光源からの光ビームの主光線と集光光学系の光軸とが略平行に設定されている、直視型共焦点光学系。
【請求項２】 集光光学系は複数の透過面を含んでおり、これら複数の透過面は、曲面であるか、光ビームが斜めに入射するように配置された平面である、請求項１に記載の直視型共焦点光学系。
【請求項３】 走査光学系は少なくとも１つの透過面を含んでおり、この透過面は光ビームが斜めに入射するように配置されている、請求項１または請求項２に記載の直視型共焦点光学系。
【請求項４】 前記光源からの光を前記走査光学系に伝送するための光ファイバーを有している、請求項１ないし請求項３のいずれかひとつに記載の直視型共焦点光学系。
【請求項５】 前記光ファイバーは単一モード光ファイバーであって、前記光ファイバーの前記走査光学系側の端面が共焦点ピンホールである、請求項４に記載の直視型共焦点光学系。
【請求項６】 前記走査ミラーは２次元走査ミラーである、請求項１ないし請求項５のいずれかひとつに記載の直視型共焦点光学系。
【請求項７】 前記走査光学系は２つの反射面からなる、請求項１ないし請求項６のいずれかひとつに記載の直視型共焦点光学系。
【請求項８】 前記走査光学系の点光源側の反射面は、点光源からの光の光路を９０度以上折り返すように配置され、前記点光源からの光の光軸と前記集光光学系の光軸とが平行に構成されている、請求項７に記載の直視型共焦点光学系。
【請求項１】 点光源を形成するための共焦点ピンホールと、
点光源からの光ビームを走査する光走査光学系と、
点光源からの光ビームを被検面に集光させる集光光学系とを備えており、
光走査光学系は少なくとも１つの走査ミラーを含む複数の反射面を有し、これら複数の反射面は光ビームが斜めに入射するように配置されており、
点光源からの光ビームの主光線と集光光学系の光軸とが略平行に設定されている、直視型共焦点光学系。
【請求項２】 集光光学系は複数の透過面を含んでおり、これら複数の透過面は、曲面であるか、光ビームが斜めに入射するように配置された平面である、請求項１に記載の直視型共焦点光学系。
【請求項３】 走査光学系は少なくとも１つの透過面を含んでおり、この透過面は光ビームが斜めに入射するように配置されている、請求項１または請求項２に記載の直視型共焦点光学系。
【請求項４】 前記光源からの光を前記走査光学系に伝送するための光ファイバーを有している、請求項１ないし請求項３のいずれかひとつに記載の直視型共焦点光学系。
【請求項５】 前記光ファイバーは単一モード光ファイバーであって、前記光ファイバーの前記走査光学系側の端面が共焦点ピンホールである、請求項４に記載の直視型共焦点光学系。
【請求項６】 前記走査ミラーは２次元走査ミラーである、請求項１ないし請求項５のいずれかひとつに記載の直視型共焦点光学系。
【請求項７】 前記走査光学系は２つの反射面からなる、請求項１ないし請求項６のいずれかひとつに記載の直視型共焦点光学系。
【請求項８】 前記走査光学系の点光源側の反射面は、点光源からの光の光路を９０度以上折り返すように配置され、前記点光源からの光の光軸と前記集光光学系の光軸とが平行に構成されている、請求項７に記載の直視型共焦点光学系。
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|---|---|---|---|
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| US09/517,569 US6483626B2 (en) | 1999-03-05 | 2000-03-02 | Direct-view-type confocal point optical system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11058536A JP2000258699A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 直視型共焦点光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000258699A JP2000258699A (ja) | 2000-09-22 |
| JP2000258699A5 true JP2000258699A5 (ja) | 2005-12-22 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11058536A Pending JP2000258699A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 直視型共焦点光学系 |
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