JP3279402B2 - 光ファイバセンサ - Google Patents

光ファイバセンサ

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JP3279402B2
JP3279402B2 JP21258193A JP21258193A JP3279402B2 JP 3279402 B2 JP3279402 B2 JP 3279402B2 JP 21258193 A JP21258193 A JP 21258193A JP 21258193 A JP21258193 A JP 21258193A JP 3279402 B2 JP3279402 B2 JP 3279402B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、検出エリアの広い光フ
ァイバセンサに係り、特に構造を小型化することのでき
る光ファイバセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】投光側の光ファイバから出射した光を被
検出物体を透過させ、前記投光側の光ファイバに平行に
配置された受光側の光ファイバに入射させるため、出射
した光を直角方向に反射させる1対の反射部材を設けて
いる。このような光ファイバを用いた従来の光ファイバ
センサの構成例を図13及び図14に示す。
【0003】図13(a)に示す従来例は、投光側の光
ファイバ1の出射側の凸レンズ2と反射部材としての平
面ミラー3を光ファイバ1の光軸4上に設けたものであ
る。この場合光ファイバ1の開口部1aは凸レンズ2の
焦点位置にあり、光ファイバ1からの出射光は凸レンズ
2により平行光となる。また平面ミラー3は光軸4に対
して45度の角度に配置されており、前記平行光は平面
ミラー3により光軸4に対して直角の方向に反射され
る。
【0004】図14(a)に示す従来例は凸レンズ2及
び平面ミラー3の代りに凹面ミラー5を設けたものであ
る。この場合凹面ミラー5の反射面の形状は、投光側の
光ファイバ1から放射状に出射した光が、すべて光軸4
に対して直角の方向に反射する形状となっている。
【0005】なお、受光側のファイバヘッドの構成も上
記のように構成された投光側のファイバヘッドと対称の
位置で同様に構成されており、両ファイバヘッド間に配
置された被検出物体を光が透過するようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図13、14に示す従
来の光ファイバセンサにより、投光側の光ファイバセン
サ1から発するビーム径を拡大することができ、被検出
物体の広い範囲を検出することができる。しかしながら
図13(a)に示すように凸レンズ2によりビーム径を
拡大する場合には、拡大倍率が凸レンズ2の大きさによ
って決まる。このため広いビーム径が必要な場合大きな
凸レンズ2が必要となり、光ファイバヘッドの外形が大
きくなるという問題があった。この場合は光ビームの強
度は図13(b)に示すように均一である。
【0007】また、図14(a)に示すように凹面ミラ
ー5によりビーム径を拡大する場合には、図14(b)
に示すように光ビームの強度が位置により不均一とな
る。この結果、同じ大きさの被検出物体であっても、検
出範囲内の位置によって検出できたり、できなかったり
して、不安定な検出しかできないという問題があった。
【0008】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、小型の構成でビーム径を拡大して被検出物体を
安定して検出することのできる光ファイバセンサを提供
することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、投光側の光ファイバと、投光側の光ファ
イバから出射する光を平行光とするレンズと、第1の面
方向を有する複数の面と第2の面方向を有する複数の面
とが交互に連続して配置されてなる反射部材とを有する
投光側ファイバヘッドと、受光側の光ファイバを有する
受光側ファイバヘッドとを具備し、記反射部材は、第1
の面方向を有する複数の面が平行光を反射して隙間の開
いた複数個のビームを形成することにより複数個のビー
ムの配列方向に拡大されたビームを投光し、受光側ファ
イバヘッドは、投光側ファイバヘッドと対向して設置さ
れたときに拡大されたビームを受光側の光ファイバに集
光して受光しうることを特徴とする。
【0010】請求項2に記載の光ファイバセンサは、
記受光側ファイバヘッドは、第3の面方向を有する複数
の面と第4の面方向を有する複数の面とが交互に連続し
て配置されてなる反射部材とレンズとを有し、前記受光
側ファイバヘッドが有する前記反射部材は、前記第3の
面方向を有する複数の面が前記拡大されたビームを間引
いて反射するとともに、それによって生じる隙間を圧縮
した複数個のビームを形成することにより前記複数個の
ビームの配列方向に縮小されたビームを形成し、前記受
光側ファイバヘッドが有するレンズは、前記縮小された
光を受光側の光ファイバに集光することにより、前記拡
大されたビームを受光側の光ファイバに集光して受光し
うることを特徴とする。
【0011】請求項3に記載の光ファイバセンサは、
記受光側ファイバヘッドは、反射面を曲面状に構成した
反射部材を用いて、前記拡大されたビーム径の光を受光
側の光ファイバに集光して受光しうることを特徴とす
る。
【0012】請求項4に記載の光ファイバセンサは、
記反射部材は、前記第1の面方向を有する複数の面が前
記投光側の光ファイバの光軸方向に対して45度の角度
をなし、前記第2の面方向を有する複数の面が前記光軸
方向に対して平行となることを特徴とする。
【0013】請求項5に記載の光ファイバセンサは、
記反射部材をプリズム形状とし、前記反射部材の出射面
を前記投光側ファイバヘッドの出射窓としたことを特徴
とする。
【0014】請求項6に記載の光ファイバセンサは、
記反射部材をプリズム形状とし、前記反射部材の出射面
を前記投光側ファイバヘッドの出射窓とするとともに、
前記レンズを前記投光側のファイバヘッドと一体に構成
したことを特徴とする。
【0015】請求項7に記載の光ファイバセンサは、
記投光側の光ファイバの開口部に開口絞りを設けたこと
を特徴とする。
【0016】
【0017】
【0018】
【0019】
【0020】
【0021】
【0022】
【作用】請求項1に記載の光ファイバセンサにおいて
は、投光側ファイバヘッドでは、投光側の光ファイバか
ら出射される光が平行光とされ、反射部材の第1の面方
向を有する複数の面により、平行光が反射されて隙間の
開いた複数個のビームが形成されることにより複数個の
ビームの配列方向に拡大されたビームが投光され、受光
側ファイバヘッドでは、拡大されたビームが受光側の光
ファイバに集光して受光されることにより、被検出物体
101の検出範囲を拡大することができる。
【0023】請求項2に記載の光ファイバセンサにおい
ては、前記受光側ファイバヘッドが有する前記反射部材
の前記第3の面方向を有する複数の面により、前記拡大
されたビームが間引いて反射されるとともに、それによ
って生じる隙間を圧縮した複数個のビームが形成される
ことにより前記複数個のビームの配列方向に縮小された
ビームが形成され、前記受光側ファイバヘッドが有する
レンズにより、前記縮小された光が受光側の光ファイバ
に集光されることにより、前記拡大されたビームを受光
側の光ファイバに集光して受光することができる。
【0024】請求項3に記載の光ファイバセンサにおい
ては、前記受光側ファイバヘッドの反射面を曲面状に構
成した反射部材を用いることにより、前記拡大されたビ
ーム径の光を受光側の光ファイバに集光して受光するこ
とができる。
【0025】請求項4に記載の光ファイバセンサにおい
ては、前記反射部材は、前記第1の面方向を有する複数
の面が前記投光側の光ファイバの光軸方向に対して45
度の角度をなすようにされ、前記第2の面方向を有する
複数の面は前記光軸方向に対して平行となされる。
【0026】請求項5に記載の光ファイバセンサにおい
ては、前記反射部材はプリズム形状とされ、前記反射部
材の出射面は前記投光側ファイバヘッドの出射窓とされ
るので、構造を簡単とし、小型化することができる。
【0027】請求項6に記載の光ファイバセンサにおい
ては、前記反射部材はプリズム形状とされ、前記反射部
材の出射面は前記投光側ファイバヘッドの出射窓とされ
るとともに、前記レンズは前記投光側のファイバヘッド
と一体に構成されるので、構造を簡単とし、小型化する
ことができる。
【0028】請求項7に記載の光ファイバセンサにおい
ては、前記投光側の光ファイバの開口部に開口絞りが設
けられる。
【0029】
【0030】
【0031】
【実施例】以下、本発明の光ファイバセンサの実施例を
図面を参照して説明する。なお、図1乃至図12に示す
各実施例において、図13及び図14に示す従来例の部
分と対応する部分には同一の符号を付してあり、その説
明は適宜省略する。
【0032】図1(a)に示す第1の実施例は、投光側
の光ファイバ11の光軸4上には凸レンズ21と反射部
材31とが設けられており、反射部材31の反射面31
aは鋸歯状に形成されており、反射面31aにはアルミ
ニウムなどの反射率の高い金属が蒸着されている。また
鋸歯状の各反射面31aの凸レンズ21に対向する側の
各面は光軸4に対して45度の角度となっており、凸レ
ンズ21により平行光となって各反射面31aに入射し
た光は、光軸4に対して直角の方向に反射する。このと
き光ファイバ11の開口部11aに開口絞り41を設け
ることにより、点光源とすることができる。
【0033】上記構造によれば、反射部材31の凸レン
ズ21に対向する反射面31aによって、図1(b)に
示すように隙間の開いた複数個のビームが形成され、見
掛け上のビーム径が拡大される。このとき各反射面31
aが光軸4に対して45度の角度となっており、反射部
材31は光軸4に対して鋭角となり長さを長くすること
ができる。この結果凸レンズ21を大きくすることな
く、被検出物体の検出範囲を一方向に拡大することがで
きる。そして反射面31aのピッチ以上の大きさを持つ
被検出物体であれば、前記物体の位置に関係なく均一な
受光量の変化が得られ、安定した検出を行うことができ
る。
【0034】図2に示す第2の実施例では、開口絞り4
1の開口径が大きく、点光源と見なせない場合の反射光
の光強度の分布を示す。図2(b)に示すように、反射
部材31から距離が離れた位置では光強度の強度分布が
ほぼ均一となり、図1に示す場合と同様に被検出物体の
大きさが反射面31aのピッチ以上の大きさであれば、
前記物体の位置に関係なく均一な受光量の変化が得ら
れ、安定した検出を行うことができる。
【0035】図3に示す第3の実施例は、反射部材31
の隣接する反射面31a、31bのうち、一方の反射面
31aを光軸4に対して45度の角度とし、他方の反射
面31bを光軸4に対してほぼ平行としたものである。
このようにすることにより、隣接する反射面31a、3
1bのなす角度αを大きくすることができ、作製を容易
としコストを低減することができる。
【0036】図4に各実施例に用いられるレンズの形状
例を示す。(a)は両面が球面状に突出した凸レンズ2
1aであり、(b)は外周が円筒状に形成された小径の
凸レンズ21bである。また(c)は光軸4に対して直
角な平面と外周が外側に向って突出する円弧状の断面を
有するレンズ21cであり、(d)は光軸4に対して一
方の面が直角方向の平面で他方の面が球面状となった凸
レンズ21dである。いずれのレンズ21を用いても反
射物体31に対して均一な強度の光を入射することがで
きる。
【0037】図5に示す第4の実施例は反射部材51を
断面が三角形のプリズム状とし、反射部材51の反射面
51aをブレーズ化グレーティング面としたものであ
る。反射面51aは図5(c)に(a)のA部を拡大し
て示すように、グレーティングの周期Pを数μmとし、
斜面の長さを1μm程度とした。このように構成するこ
とにより、回折現象により隙間のないほぼ均一の光強度
の反射光が得られる。この場合、グレーティングの周期
が小さいため、図1に示す第1の実施例の場合よりも、
さらに小さい被検出物体を安定して検出することができ
る。
【0038】図6に示す第5の実施例は、投光側の光フ
ァイバ11、凸レンズ21及び反射部材31からなる投
光側ファイバヘッド61に対向して、対称の位置にそれ
ぞれ受光側の光ファイバ12、凸レンズ22及び反射部
材32が配置されてなる受光側ファイバヘッド62を設
け、投光側の光ファイバ11の開口径より受光側の光フ
ァイバ12の開口径を大きくしたものである。このよう
に構成することにより、反射部材31、32の取り付け
角度の傾きの変化による受光量の変化を少くすることが
でき、ファイバヘッド61、62の取り付けが簡単とな
る。
【0039】図7に示す第6の実施例は、図6に示す受
光側の多数の反射面を持つ反射部材32の代りに凹面ミ
ラー71を用いたものである。凹面ミラー71の反射面
71aの形状は、入射する平行光を受光側の光ファイバ
12の開口部に集光できる形状となっている。このよう
に構成することにより、反射部材31、71の取付けの
傾きや、前後方向の対称位置のずれによる入射光量への
影響を少くすることができ、ファイバヘッド61、62
の取付けの調整が容易となる。
【0040】図8に示す第7の実施例は、反射部材31
の反射面に多数の反射面81aを有するプリズム形状と
なっている部材81を金属蒸着により固定して出射窓を
構成し、この出射窓に凸レンズ21を一体に構成したも
のである。この構造により反射部材31の反射面の汚れ
の発生を防止することができる。
【0041】図9に示す第8の実施例は投光側のファイ
バヘッド61と受光側のファイバヘッド62とを一体に
形成したものである。
【0042】図10に示す第9の実施例は凸レンズ2
1、22の焦点位置にそれぞれ反射部材としてのミラー
91、92を光軸に対して45度の角度に設け、光ファ
イバ11、12を凸レンズ21、22の光軸に対して直
角の方向に近接して設けたものである。
【0043】図9及び図10に示す実施例によると、光
ファイバセンサの構成を簡単とし小型化することができ
る。
【0044】上記各実施例では、投光側光ファイバ11
から出射した光が被検出物体を透過して受光側光ファイ
バ12に入射する透過型光ファイバセンサについて説明
したが、図11及び図12に示すように被検出物体10
1に投光側光ファイバ11から光を入射し、被検出物体
101から反射する光を受光側光ファイバ12に入射さ
せる反射型光ファイバセンサ102に応用することもで
きる。この場合の反射部材として上記各実施例で示した
ものを用い、それぞれの反射面を被検出物体101側に
対向させる。なお符号103は検出範囲である。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ファイ
バセンサによれば、多数の反射面を有する反射部材を用
いたので、ビームを拡大して広い範囲で被検出物体を検
出することができ、しかも均一の光強度で安定した検出
を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ファイバセンサの第1の実施例の構
成を示す説明図である。
【図2】本発明の第2の実施例の構成及び作用を示す説
明図である。
【図3】本発明の第3の実施例の構成を示す説明図であ
る。
【図4】本発明の各実施例に用いられるレンズの形状例
を示す側面図である。
【図5】本発明の第4の実施例の構成を示す説明図であ
る。
【図6】本発明の第5の実施例の構成を示す断面図であ
る。
【図7】本発明の第6の実施例の構成を示す断面図であ
る。
【図8】本発明の第7の実施例の構成を示す説明図であ
る。
【図9】本発明の第8の実施例の構成を示す断面図であ
る。
【図10】本発明の第9の実施例の構成を示す断面図で
ある。
【図11】本発明の一実施例による反射型光ファイバセ
ンサの構成を示す正面側斜視図である。
【図12】図11の側面側斜視図である。
【図13】従来の光ファイバセンサの一例の構成を示す
説明図である。
【図14】従来の光ファイバセンサの他の一例の構成を
示す説明図である。
【符号の説明】
4 光軸 11、12 光ファイバ 11a 開口部 21、22 凸レンズ(レンズ) 31、32、51、71 反射部材 31a、31b、32a、71a 反射面 41 開口絞り 51a ブレーズ化グレーティング面 61、62 ファイバヘッド 101 被検出物体
フロントページの続き (72)発明者 中村 新 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オムロン株式会社内 (56)参考文献 特開 平6−326349(JP,A) 特開 平2−238393(JP,A) 特開 昭59−32813(JP,A) 特開 平3−100601(JP,A) 特開 昭57−8899(JP,A) 特開 昭51−107845(JP,A) 実開 昭63−92307(JP,U) 実開 平1−158990(JP,U) 実開 平4−4289(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/17 - 21/61 G01V 8/00 - 8/26 G02B 6/00 - 6/00 346

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 投光側の光ファイバと、 前記投光側の光ファイバから出射する光を平行光とする
    レンズと、 第1の面方向を有する複数の面と第2の面方向を有する
    複数の面とが交互に連続して配置されてなる反射部材と
    を有する投光側ファイバヘッドと、 受光側の光ファイバを有する受光側ファイバヘッドとを
    具備し、 前記反射部材は、前記第1の面方向を有する複数の面が
    前記平行光を反射して隙間の開いた複数個のビームを形
    成することにより前記複数個のビームの配列方向に拡大
    されたビームを投光し、 前記受光側ファイバヘッドは、前記投光側ファイバヘッ
    ドと対向して設置されたときに前記拡大されたビームを
    前記受光側の光ファイバに集光して受光しうる ことを特
    徴とする光ファイバセンサ。
  2. 【請求項2】 前記受光側ファイバヘッドは、第3の面
    方向を有する複数の面と第4の面方向を有する複数の面
    とが交互に連続して配置されてなる反射部材とレンズと
    を有し、 前記受光側ファイバヘッドが有する前記反射部材は、前
    記第3の面方向を有する複数の面が前記拡大されたビー
    ムを間引いて反射するとともに、それによって生じる隙
    間を圧縮した複数個のビームを形成することにより前記
    複数個のビームの配列方向に縮小されたビームを形成
    し、 前記受光側ファイバヘッドが有するレンズは、前記縮小
    された光を受光側の光ファイバに集光することにより、
    前記拡大されたビームを受光側の光ファイバに集光して
    受光しうる ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイ
    バセンサ。
  3. 【請求項3】 前記受光側ファイバヘッドは、反射面を
    曲面状に構成した反射部材を用いて、前記拡大されたビ
    ーム径の光を受光側の光ファイバに集光して受光しうる
    ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバセンサ。
  4. 【請求項4】 前記反射部材は、前記第1の面方向を有
    する複数の面が前記投光側の光ファイバの光軸方向に対
    して45度の角度をなし、前記第2の面方向を有する複
    数の面が前記光軸方向に対して平行となる ことを特徴と
    する請求項1乃至3のいずれかに記載の光ファイバセン
    サ。
  5. 【請求項5】 前記反射部材をプリズム形状とし、前記
    反射部材の出射面を前記投光側ファイバヘッドの出射窓
    とした ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記
    載の光ファイバセンサ。
  6. 【請求項6】 前記反射部材をプリズム形状とし、前記
    反射部材の出射面を前記投光側ファイバヘッドの出射窓
    とするとともに、前記レンズを前記投光側のファイバヘ
    ッドと一体に構成した ことを特徴とする請求項1乃至3
    のいずれかに記載の光ファイバセンサ。
  7. 【請求項7】 前記投光側の光ファイバの開口部に開口
    絞りを設けた ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれ
    かに記載の光ファイバセンサ。
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