KR20180053376A - 라이더 센서 - Google Patents

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KR20180053376A
KR20180053376A KR1020187010640A KR20187010640A KR20180053376A KR 20180053376 A KR20180053376 A KR 20180053376A KR 1020187010640 A KR1020187010640 A KR 1020187010640A KR 20187010640 A KR20187010640 A KR 20187010640A KR 20180053376 A KR20180053376 A KR 20180053376A
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클라우스 슈토펠
악셀 뷔트너
라이너 슈닛처
한스-요헨 슈바르츠
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로베르트 보쉬 게엠베하
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Abstract

본 발명은, 광원(12), 광원(12)으로부터 방출되는 광 빔(14)을 편향시킴으로써 모니터링 공간(36)을 스쳐 지나가는 주사 빔(32)을 발생시키기 위한 가동식 편향 미러(18), 및 모니터링 공간(36) 내에서 주사 빔(32)에 충돌된 물체(38)에서 반사된 광을 검출하기 위한 광학 수신기(42)를 구비하는, 특히 자동차를 위한 라이더 센서에 관한 것이며, 광원(12) 및 편향 미러(18)는, 편향된 광 빔(26)을 이용해서 마이크로 광학 부재(22)의 어레이(20)를 스캐닝하도록 설계되어 있고, 각각의 마이크로 광학 부재(22)는 광 빔에 충돌될 때 상기 광 빔을 발산성 빔(28)으로 확장시키며, 마이크로 광학 부재의 어레이(20)에 대해 간격을 두고 광 포커싱 부재(30)가 배열되어 있고, 상기 광 포커싱 부재는 발산성 빔(28)을 주사 빔(32)을 형성하는 빔으로 변형시키며, 상기 빔의 직경은 편향된 빔(26)의 직경보다 큰 것을 특징으로 한다.

Description

라이더 센서
본 발명은, 광원, 광원으로부터 방출되는 광 빔(light beam)을 편향시킴으로써 모니터링 공간을 스쳐 지나가는 주사 빔을 발생시키기 위한 가동식 편향 미러, 및 모니터링 공간 내에서 주사 빔에 충돌된 물체에서 반사된 광을 검출하기 위한 광학 수신기를 구비하는, 특히 자동차를 위한 라이더 센서에 관한 것이다.
라이더 센서는 다른 무엇보다 교통 환경을 탐지하기 위한, 예를 들어 선행하는 차량 또는 다른 장애물의 위치를 검출하기 위한, 자동차를 위한 운전자 보조 시스템에서 사용된다.
전술된 유형의 종래의 라이더 센서에서는, 광원, 예를 들어 반도체 레이저에 의해서 발생하는 광 빔이 광학 수단에 의해 약간 확장됨으로써, 결과적으로 상기 광 빔이 예를 들어 1 내지 2 ㎜의 빔 직경을 갖게 된다. 이 빔은 추후에 편향 미러에서 편향되어, 물체의 위치를 검출하기 위한 주사 빔을 직접 형성한다. 편향 미러가 진동하면서 1차원으로 또는 2차원으로 운동함으로써, 결과적으로 주사 빔은 특정 각 범위를 스쳐 지나가거나, (편향 미러가 2차원으로 운동하는 경우에는) 모니터링 공간을 형성하는 특정 입체각 범위를 스쳐 지나가게 된다.
빔 직경이 작다는 이유로 인해, 상응하게 작은 관성 모멘트를 갖는 소형 편향 미러가 사용될 수 있음으로써, 결과적으로 미러의 역학은 진동 주파수가 높은 경우에도 과부하를 받지 않게 되고, 이로써 모니터링 공간의 스캐닝은 높은 프레임률로 가능해진다.
하지만, 먼지, 비 또는 눈의 경우에는 비교적 높은 흡수 손실 및 분산 손실이 발생한다는 것이 단점인데, 그 이유는 빔 직경이 분산될 입자(예컨대 눈송이)에 비해 상대적으로 작기 때문이다. 이로 인해, 불리한 조건 하에서는, 라이더 센서의 유효 범위 및 감도가 제한된다. 또한, 눈의 안전에 대한 요구에 의해서, 레이저 빔의 최대로 허용되는 강도도 제한된다. 또한, 이와 같은 제한 상황으로부터는, 유효 범위 및 감도와 관련된 제약도 나타난다.
대안으로서, 레이저 빔이 광학 수단에 의해서 훨씬 더 강하게 확장되는 소위 매크로 스캐너(macro scanner)가 공지되어 있다. 빔 파라미터 곱이 얻어짐으로 인해, 추후에는 원시야(far field)에서 주사 빔의 매우 작은 개방각에 도달할 수 있다. 하지만, 빔의 편향을 위해서는, 매우 크게 치수 설계된 편향 미러가 필요할 것이다. 이와 같은 이유에서, 대부분은 라이더 센서 전체가 방위각 내에서 선회된다. 하지만, 이 경우에는, 센서의 치수 및 관성 질량으로 인해 다만 모니터링 공간의 상대적으로 작은 개방각 및/또는 작은 주사 주파수만 그리고 이로써 낮은 프레임률만 가능하다. 고도(elevation)에서도 각도 분해능이 필요한 경우에는, 대부분 복수의 주사 빔이 상이한 고도각(elevation angle) 하에서 송출되는 다중 빔 시스템에 의해 작업이 이루어진다.
본 발명의 과제는, 눈의 안전이 필요하고 분산 입자에 대한 감도가 낮은 경우에 높은 주사 주파수 및/또는 모니터링 공간의 큰 개방각을 가능하게 하는 라이더 센서를 제공하는 것이다.
상기 과제는 본 발명에 따라, 광원 및 편향 미러가, 편향된 광 빔을 이용해서 마이크로 광학 부재의 어레이를 스캐닝하도록 설계되어 있고, 각각의 마이크로 광학 부재가 광 빔에 충돌될 때 상기 광 빔을 발산성 빔으로 확장시키며, 마이크로 광학 부재의 어레이에 대해 간격을 두고 광 포커싱 부재가 배열되어 있고, 상기 광 포커싱 부재는 발산성 빔을 주사 빔을 형성하는 빔으로 변형시키며, 상기 빔의 직경은 편향된 빔의 직경보다 큼으로써 해결된다.
마이크로 광학 부재 및 광 포커싱 부재가 함께, 매크로 스캐너에서와 유사하게 빔 확장을 야기함으로써, 결과적으로 레이저 빔의 총 출력이 증가된 경우에도 눈의 안전이 보장될 수 있는데, 그 이유는 빔의 직경이 사람 눈의 동공 직경보다 크기 때문이다. 분산 입자에 대한 감도도 매크로 스캐너에서와 유사하게 낮다. 하지만, 편향 미러에 충돌하는 빔이 훨씬 더 작은 직경을 갖기 때문에, 상응하게 높은 주사 주파수를 가능하게 하는 소형 편향 미러가 사용될 수 있다. 편향 미러에서 편향된 빔은 직접적으로 모니터링 공간을 스캐닝하지 않고, 오히려 다만 마이크로 광학 부재의 어레이만을 스캐닝한다. 추후에 주사 빔이 송출되는 방향은, 광 포커싱 부재의 광학 축에 대해 상대적인, 각각 충돌된 마이크로 광학 부재의 위치에 좌우된다. 그렇기 때문에, 모니터링 공간의 개방각은, 광 빔이 편향 미러에서 최대로 편향되는 각도보다 현저하게 더 클 수 있다. 이와 같은 방식에 의해서는, 모니터링 공간의 스캐닝이 넓은 개방각으로 그리고 높은 프레임률로 가능해진다.
본 발명의 바람직한 실시예들 및 개선예들은 종속 청구항들에 명시되어 있다.
마이크로 광학 부재는 선택적으로 광을 굴절시키는 부재(예컨대 분산 렌즈)일 수 있거나 반사형 부재(예컨대 볼록 거울 또는 오목 거울)일 수 있다. 회절 부재(예컨대 DOE = Diffractive Optical Elements)도 사용될 수 있다.
광 포커싱 부재가, 그 초점면에 마이크로 광학 부재의 어레이가 놓여 있는 광학 렌즈일 수 있음으로써, 결과적으로 발산성 빔은 렌즈를 통과한 후에 거의 평행한 빔으로 변형될 수 있다. 대안적으로는, 렌즈 대신에 오목 거울도 생각할 수 있다.
광 포커싱 부재가 동시에 광학 수신기의 대물 렌즈를 형성할 수 있음으로써, 결과적으로 물체에서 반사된 입사 빔은 방출된 빔과 동축이 되고, 이로써 검출된 신호를 평가하는 경우에는 시차 오류가 고려될 필요가 없어진다. 예를 들어 광원과 광 포커싱 부재 사이에 있는, 다시 말해 광원과 편향 미러 사이에 있는, 편향 미러와 마이크로 광학 부재의 어레이 사이에 또는 마이크로 광학 부재의 어레이와 광 포커싱 부재 사이에 있는 빔 경로 내에는, 수신된 광을 검출기 어레이로 편향시키는 빔 스플리터(beam splitter)가 제공될 수 있다. 일 실시예에서는, 마이크로 광학 부재의 어레이도 동시에 빔 스플리터의 기능을 가질 수 있다.
이미징 에러를 보상하기 위해서는, 마이크로 광학 부재의 어레이 또는, 광을 마이크로 광학 부재의 어레이로 편향시키는 미러가 아치형으로 형성되어 있는 경우가 바람직할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 실시예들이 도면을 참조해서 상세하게 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 라이더 센서의 개략도를 도시하고,
도 2는 라이더 센서가 자동차 내에서 물체의 위치를 검출하기 위해 사용되는 일 실시예의 도면을 도시하며, 그리고
도 3 내지 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 라이더 센서의 개략도들을 도시한다.
도 1에 도시된 라이더 센서(10)는, 광 빔(14)을 스펙트럼의 가시광선 범위에서 또는 선택적으로는 또한 적외선 범위에서도 방출하는 반도체 레이저를 광원(12)으로서 구비한다. 이미징 렌즈(16)는 광을 편향 미러(18)를 통해서 마이크로 광학 부재(22)의 어레이(20)에 포커싱 한다. 도시된 예에서, 어레이(20)는, 분산 렌즈의 정밀 그리드를 마이크로 광학 부재(22)로서 구비하는 투명한 플레이트, 예를 들어 유리 플레이트이다.
편향 미러(18)는 도 1의 투영면에 대해 수직으로 진행하는 축(24)을 중심으로 선회할 수 있고, 도 1에서 2중 화살표에 의해 지시되는 바와 같이 진동하도록 운동한다. 광 빔(14)은, 어레이(20)를 스캐닝하는 편향된 빔(26)을 형성하도록 편향 미러(18)에서 편향된다. 편향된 빔(26)에 충돌되는 분산 렌즈의 빔은, 렌즈(30) 형태의 광 포커싱 부재에 충돌하는 발산성 빔(28)을 발생시킨다.
어레이(20)와 렌즈(30)의 간격이 렌즈(30)의 초점 거리에 대략 상응함으로써, 결과적으로 발산성 빔(28)은 렌즈를 통과하면서 거의 평행한 광 다발로 변형되며, 이와 같은 광 다발은 라이더 센서(10)에 의해서 주사 빔(32)으로서 방출된다. 이때, 주사 빔(32)의 송출 방향은, 다름 아닌 편향된 빔(26)에 충돌되는 마이크로 광학 부재(22)의 장소에 좌우된다. 이와 같은 방식에 의해서는, 편향 미러(18)가 간접적으로 주사 빔(32)의 편향도 야기한다.
도 2는, 라이더 센서(10)가 전면 섹션에 장착되어 있고 주행 방향으로 전방을 향하고 있는 자동차(34)를 보여준다. 주사 빔(32)은 편향 미러에 의해서 진동하면서 편향되고, 도시된 예에서 ±12°에 해당하고 라이더 센서(10)에 의해서 스캐닝된 모니터링 공간(36)을 규정하는 각도 범위(±α)를 스쳐 지나간다. 도시된 예에서는, 모니터링 공간(36) 안에 물체(38), 즉 주사 빔(32)에 충돌되고 광선의 일 부분을 반사시키는 선행하는 차량이 존재함으로써, 결과적으로 반사된 빔(40)은 라이더 센서(10)로 되돌아가고, 그곳에서 수신된다.
도 1에 도시된 예에서는, 라이더 센서의 수신기(42)가 렌즈(44) 및 광전자 이미지 센서(46)에 의해서 형성된다. 반사된 빔(40)은 렌즈(30) 옆에 배열되어 있는 렌즈(44)를 통과해서 이미지 센서(46)에 포커싱 된다. 이미지 센서는 예를 들어 CCD-부재의 행 또는 어레이에 의해서 형성된다.
도 1에 도시된 배열 상태에서는, 편향 미러(18)와 어레이(20)의 간격이, 어레이(20)를 완전히 스캐닝하기 위해서 편향 미러가 회전되어야만 하는 각도를 결정한다. 이 간격이 크면 클수록, 편향 미러(18)가 선회되어야만 하는 각도 범위는 그만큼 더 작아진다. 그와 달리, 주사 빔(32)이 스쳐 지나감으로써 모니터링 공간(36)을 규정하게 되는 각도 범위는 렌즈(30)의 초점 거리에 그리고 이로써 어레이(20)와 렌즈(30)의 간격에 좌우되며, 그렇기 때문에 편향 미러(18)가 선회되는 각도 범위의 2배를 훨씬 더 초과할 수 있다.
1차원적인 라이더 센서의 경우에는, 주사 빔(32)이 다만 1차원으로만, 예를 들어 도 2에 도시된 바와 같은 방위각으로만 선회된다. 이 경우에는, 서로 조밀하게 나란히 배열된 마이크로 광학 부재(22)의 단 1행의 어레이(20)만 존재한다.
그와 달리, 주사 빔(32)이 또한 고도에서도 선회되는 2차원적인 라이더 센서의 경우에는, 어레이(20)가 도 1의 투영면에 대해 수직인 방향으로도 확장되어 있는 2차원적인 어레이이며, 편향 미러(18)는 축(24)을 중심으로 선회될 수 있을 뿐만 아니라, 미러의 세로 방향으로 축(24)에 대해 직각으로 진행하는 축을 중심으로도 선회될 수 있다.
실질적인 일 예에서는, 광원(12)에 의해서 발생하는 광 빔(14)이 대략 3.3의 회절 치수(M2), 대략 1.7°의 개방각 및 가장 얇은 지점에서 대략 0.14 ㎜의 직경을 갖는다. 이미징 렌즈(16)는 3 ㎜의 직경 및 29 ㎜의 초점 거리를 갖고, 광원에 대한 간격은 76 ㎜이다. 편향 미러(18)는 이미징 렌즈(16)로부터 대략 11 ㎜만큼 떨어져 있고, 마이크로 광학 부재의 어레이(20)로부터 대략 40 ㎜만큼 떨어져 있다. 어레이(20)는 메인 주사 방향(도 1에서는 수직 방향)으로 볼 때 22 ㎜의 길이를 갖고, ㎜당 10개의 마이크로 렌즈를 형성한다. 렌즈(30)는 50 ㎜의 직경 및 50 ㎜의 초점 거리를 갖는다. 이때, 주사 빔(32)은 전술된 ±12°의 각도 범위 안에서 선회될 수 있고, 렌즈의 위치에서 대략 19 ㎜이면서 180 m의 거리에 걸쳐 대략 57 ㎝까지 증가하는 직경을 갖는다. 이로써, 주사 빔(32)의 직경이 심지어 다름 아닌 라이더 센서에서는 사람 눈의 입사 동공(약 7 ㎜)보다 2배 이상만큼 더 큼으로써, 결과적으로 레이저 광선의 총 출력이 높고 그에 상응하게 유효 범위 및 라이더 센서의 감도가 큰 경우에도 필요한 눈의 안전이 유지될 수 있다. 또한, 빔 직경도 눈송이(48), 빗방울, 먼지 입자 등과 같은 분산 입자의 전형적인 직경보다 큼으로써, 결과적으로는 다만 상응하게 적은 분산 손실 및 흡수 손실만 나타나게 된다.
도 3은, 반사형 플레이트에 의해서 형성되는 마이크로 광학 부재(22a)의 어레이(20a)를 갖는 라이더 센서(10a)를 또 다른 실시예로서 보여준다. 이 경우에는, 몇몇 마이크로 광학 부재(22a)가 작은 볼록 거울에 의해서 (또는 선택적으로는 또한 초점 거리가 매우 짧은 오목 거울에 의해서도) 형성된다.
본 실시예에서는, 렌즈(30)가 동시에, 빔 스플리터(50)를 더 구비하는 수신기(42a)의 대물 렌즈, 예를 들어 발산성 빔을 마이크로 광학 부재(22a)로부터 렌즈(30)로 투과시키지만 수신된 광의 일 부분을 이미지 센서(46a)로 편향시키는 반투과성의 미러를 형성한다. 이와 같은 수신기(42a)의 형성은 광을 굴절시키는 부재를 마이크로 광학 부재로서 구비하는 실시예에서도 물론 가능하며, 그 반대로, 반사형 마이크로 광학 부재(22a)와의 조합에서도 렌즈(30)와는 별도로 배열된 수신기가 가능하다.
도 4는, 다르게 구성된 수신기(42b)가 제공되어 있다는 점에서 라이더 센서(10a)와 구별되는 라이더 센서(10b)를 보여준다. 상기 수신기는 반투과성 미러 형태의 빔 스플리터(50b)를 구비하며, 빔 스플리터는 광원(12)과 이미징 렌즈(16) 사이에 배열되어 있고, 수신된 광을 단 하나의 감광 부재에 의해서 형성되는 이미지 센서(46b)로 편향시킨다. 이로써, 본 실시예에서는, 수신된 광이 렌즈(30)로부터 어레이(20a)로 포커싱 되고, 그곳에서 편향 미러(18)로 반사되며, 마지막으로 이미징 렌즈(16)를 통과해서 그리고 빔 스플리터(50b)를 거쳐서 이미지 센서(46b)로 포커싱 된다. 이때, 수신된 광이 입사되는 방향은 각각의 시점에 공지된 편향 미러(18)의 각도 위치로부터 나타나며, 이 경우에는, 광의 신호 전파 시간이, 이 시간 안에 편향 미러(18)가 회전하는 회전 각도가 무시될 수 있을 정도로 짧다는 것이 가정된다.
도 5는, 마이크로 광학 부재의 어레이로서 만곡된 어레이(20c)가 제공되어 있다는 점에서 도 4에 따른 라이더 센서와 구별되는 라이더 센서(10c)를 보여준다. 상기 어레이의 곡률은 이미징 에러를 최소화할 수 있다. 본 예에서는, 광을 회절시키는 부재(22c)가 마이크로 광학 부재로서 제공되어 있다. 하지만, 선택적으로는, 광을 굴절시키거나 반사시키는 부재도 제공될 수 있다.
본 예에서, 편향 미러(18)와 어레이(20c) 사이에는 또 다른 미러(52)가 제공되어 있으며, 이 추가 미러는, 광이 렌즈(30)의 광학 축을 따라서 어레이(20c) 상에 떨어지도록 광을 편향시킨다.
도 6은, 도 5의 라이더 센서(10c)와 동일한 기본 구조를 갖지만, 도 5에 따른 만곡된 어레이(20c)가 도 1에 따른 마이크로 광학 부재의 만곡되지 않은 어레이(20)로 대체되었다는 차이점을 갖는 라이더 센서(10d)를 변형된 실시예로서 보여준다. 이를 위해, 본 실시예에서는, 이미징 에러를 보상하기 위하여 평평한 미러(52) 대신에 만곡된 미러(52d)가 제공되어 있다.
도 7은, 광원(12)이, 편향 미러(18) 및 빔 스플리터(50e)의 반투과성 미러를 통해 마이크로 광학 부재의 어레이(20)로 편향되고 선명하게 포커싱 된 평행한 레이저 빔을 발생시키는 라이더 센서(10e)를 보여준다. 수신되고 렌즈(30)에 의해서 포커싱 된 광(본 도면에는 파선으로 도시됨)은 (광투과성) 어레이(20)를 관통해서 빔 스플리터(50e) 상에 떨어지고, 상기 빔 스플리터에 의해서, 평평한 (또는 행 형태의) 이미지 센서(46e) 및 이미징 렌즈(16e)에 의해 형성되는 수신기(42e)로 방출된다. 추가의 이미징 렌즈(16e)는 매우 작은 이미지 센서(46e)의 사용을 가능하게 한다. 또한, 이와 같은 배열 상태에서는, 수신 개구(aperture)가 더 양호하게 활용될 수 있다. 이미지 센서(46)는, 렌즈(30)에서 상기 렌즈의 완전한 횡단면을 채우는 광 다발의 전체 광을 수신한다. 이와 같은 방식에 의해서는, 수신 경로 내에서 더 높은 신호 강도에 도달하게 된다.
마지막으로, 도 8은, 반사형 마이크로 광학 부재의 어레이(20f)가 제공되어 있지만, 이 어레이가 반투과성이고, 이로써 동시에 빔 스플리터로서 기능을 한다는 점에서 라이더 센서(10e)와 구별되는 라이더 센서(10f)를 보여준다.

Claims (17)

  1. 광원(12), 광원(12)으로부터 방출되는 광 빔(14)을 편향시킴으로써 모니터링 공간(36)을 스쳐 지나가는 주사 빔(32)을 발생시키기 위한 가동식 편향 미러(18), 및 모니터링 공간(36) 내에서 주사 빔(32)에 충돌된 물체(38)에서 반사된 광을 검출하기 위한 광학 수신기(42; 42a; 42b; 42e)를 구비하는, 특히 자동차를 위한 라이더 센서에 있어서,
    광원(12) 및 편향 미러(18)는, 편향된 광 빔(26)을 이용해서 마이크로 광학 부재(22; 22a; 22c)의 어레이(20; 20a, 20c; 20f)를 스캐닝하도록 설계되어 있고, 각각의 마이크로 광학 부재는 광 빔에 충돌될 때 상기 광 빔을 발산성 빔(28)으로 확장시키며,
    마이크로 광학 부재의 어레이(20; 20a, 20c; 20f)에 대해 간격을 두고 광 포커싱 부재(30)가 배열되어 있고, 상기 광 포커싱 부재는 발산성 빔(28)을 주사 빔(32)을 형성하는 빔으로 변형시키며, 상기 빔의 직경은 편향된 빔(26)의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는, 라이더 센서.
  2. 제1항에 있어서, 마이크로 광학 부재(22)는 마이크로 렌즈인, 라이더 센서.
  3. 제1항에 있어서, 마이크로 광학 부재(22a)는 반사형 부재인, 라이더 센서.
  4. 제1항에 있어서, 마이크로 광학 부재(22c)는 광을 회절시키는 부재인, 라이더 센서.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 광원(12)으로부터 방출되는 광 빔(14)을 편향 미러(18)를 거쳐서 마이크로 광학 부재의 어레이(20; 20a)로 포커싱 하는 이미징 렌즈(16)를 구비한, 라이더 센서.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 방출된 광 빔(14) 및 편향된 광 빔(26)은 최대 5 ㎜의 직경을 갖고, 광을 포커싱 하는 부재(30)는 15 ㎜ 이상의 직경을 갖는, 라이더 센서.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 광을 포커싱 하는 부재(30)는 동시에 수신기(42a; 42b; 42e)의 대물 렌즈를 형성하는, 라이더 센서.
  8. 제7항에 있어서, 수신된 광을 수신기의 이미지 센서(46a; 46b; 46e)로 편향시키기 위해, 광원(12)과 광 포커싱 부재(30) 사이의 빔 경로에 빔 스플리터(50; 50b; 50e)를 구비하는, 라이더 센서.
  9. 제8항에 있어서, 빔 스플리터(50)는 마이크로 광학 부재의 어레이(20a)와 광 포커싱 부재(30) 사이에 배열되어 있는, 라이더 센서.
  10. 제8항에 있어서, 빔 스플리터(50b)는 광원(12)과 편향 미러(18) 사이에 배열되어 있는, 라이더 센서.
  11. 제8항에 있어서, 빔 스플리터(50e)는 편향 미러(18)와 마이크로 광학 부재의 어레이(20) 사이에 배열되어 있는, 라이더 센서.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 수신기(42b; 42e)는 광 포커싱 부재(30)에 의해서 사전에 포커싱 된 수신된 광을 이미지 센서(46b; 46e)에 포커싱 하기 위한 렌즈(16; 16e)를 구비하는, 라이더 센서.
  13. 제12항에 있어서, 수신기(46e)의 렌즈(16e) 및 광 포커싱 부재(30)는 하나의 공동 광학 축을 가지며, 빔 스플리터(50e)는 편향 미러(18)로부터 유래하는 광을 광 포커싱 부재(30)로 편향시키고 수신된 광을 수신기(42) 내부로 방출하도록 상기 공동 광학 축 상에 배열되어 있는, 라이더 센서.
  14. 제13항에 있어서, 상기 빔 스플리터는 마이크로 광학 부재의 어레이(20f)에 의해서 형성되는, 라이더 센서.
  15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 마이크로 광학 부재의 어레이(20c)는 만곡되어 있는, 라이더 센서.
  16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 광 포커싱 부재(30)의 광학 축 상에는, 편향 미러(18)로부터 편향된 빔을 마이크로 광학 부재의 어레이(20; 20c)로 편향시키는 미러(52; 52d)가 배열되어 있는, 라이더 센서.
  17. 제16항에 있어서, 미러(52d)는 만곡되어 있는, 라이더 센서.
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