JP2001170439A - ガス分解装置 - Google Patents

ガス分解装置

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JP2001170439A
JP2001170439A JP36363099A JP36363099A JP2001170439A JP 2001170439 A JP2001170439 A JP 2001170439A JP 36363099 A JP36363099 A JP 36363099A JP 36363099 A JP36363099 A JP 36363099A JP 2001170439 A JP2001170439 A JP 2001170439A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガスの分解能力が低い励起分子をガスの分解
能力の高い活性種にして活性種の量を増加させることに
よって、ガスの分解性能を高くすることができるガス分
解装置を提供する。 【解決手段】 ガス流路1に共通接地部2を有し、ガス
流路1に対して直列に配置された複数個の放電発生部3
を具備する。ガスを上流側の放電発生部3から下流側の
放電発生部3に順に通過させて上流側の放電発生部3で
生成された励起分子を下流側の放電発生部3に導入する
ことによって、ガスの分解能力が低い励起分子をガスの
分解能力の高い活性種にして下流側の放電発生部3にお
ける活性種の量を増加させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、室内の空気の清浄
化等に用いるガス分解装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、空気中に含まれる臭いガス
(例えば、たばこ3臭気といわれるアンモニア、アセト
アルデヒド、酢酸)を放電によって分解するガス分解装
置が提案されており、これを粉塵の除去を行なう室内空
気清浄器に具備させて脱臭も行なうようにしたものも提
案されている。このようなガス分解装置は、ガスが流通
するガス流路に一対の放電板を対向させて設けて放電板
間を放電発生部として形成するものであって、放電板間
に印加して放電発生部に放電を起こすと共に放電発生部
にガス(ガスを含む空気)を導入することによって、放
電発生部で生じた活性種(酸素ラジカルやイオンや電子
など)でガスを分解(酸化分解)するものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
らある上記のようなガス分解装置では、放電発生部の放
電で臭いガスを分解する能力の高い活性種が生成される
他に、活性種にまで至っていない励起分子が多数生成さ
れるが、この励起分子は臭いガスの分解にあまり関与し
ていない。そのため、ガス分解装置のガス分解性能が不
十分であった。
【0004】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、ガスの分解能力が低い励起分子をガスの分解能力
の高い活性種にして活性種の量を増加させることによっ
て、ガスの分解性能を高くすることができるガス分解装
置を提供することを目的とするものである。
【0005】また、本発明は、電気集塵機能を合わせ持
つガス分解装置を提供することを目的とするものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
ガス分解装置は、ガス流路1に共通接地部2を有し、ガ
ス流路1に対して直列に配置された複数個の放電発生部
3を具備して成ることを特徴とするものである。
【0007】本発明の請求項2に係るガス分解装置は、
請求項1の構成に加えて、放電発生部3として交流電圧
の印加で放電する交流放電発生部4と直流電圧の印加で
放電する直流放電発生部5とを少なくとも一つずつ具備
し、交流放電発生部4を直流放電発生部5の上流側に配
置して成ることを特徴とするものである。
【0008】本発明の請求項3に係るガス分解装置は、
請求項1の構成に加えて、放電発生部3として交流電圧
の印加で放電する交流放電発生部4を少なくとも二つ具
備し、一方の交流放電発生部4を他方の交流放電発生部
4の上流側に配置して成ることを特徴とするものであ
る。
【0009】本発明の請求項4に係るガス分解装置は、
請求項1の構成に加えて、放電発生部3としてパルス電
圧の印加で放電するパルス放電発生部6と直流電圧の印
加で放電する直流放電発生部5とを少なくとも一つずつ
具備し、パルス放電発生部6を直流放電発生部5の上流
側に配置して成ることを特徴とするものである。
【0010】本発明の請求項5に係るガス分解装置は、
請求項1の構成に加えて、放電発生部3としてパルス電
圧の印加で放電するパルス放電発生部6を少なくとも二
つ具備し、一方のパルス放電発生部6を他方のパルス放
電発生部6の上流側に配置して成ることを特徴とするも
のである。
【0011】本発明の請求項6に係るガス分解装置は、
請求項1の構成に加えて、放電発生部3として直流電圧
の印加で放電する直流放電発生部5を少なくとも二つ具
備し、一方の直流放電発生部5を他方の直流放電発生部
5の上流側に配置して成ることを特徴とするものであ
る。
【0012】本発明の請求項7に係るガス分解装置は、
請求項1乃至6のいずれかの構成に加えて、多孔を有す
る波形の放電板7で共通接地部2を形成し、放電板7に
対向してガス流路1の上流と下流に放電線8を配置し、
放電板7と放電線8の間を放電発生部3として形成して
成ることを特徴とするものである。
【0013】本発明の請求項8に係るガス分解装置は、
請求項2、4、6のいずれかの構成に加えて、電気集塵
部9を具備して成ることを特徴とするものである。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
【0015】図1にガス分解装置の一例を示す。ガス分
解装置は臭いガス(臭いガスを含む空気)が流通するガ
ス流路1に配置されるものであって、放電板7、上流側
放電電極12、下流側放電電極13、上流側電源14、
下流側電源15を具備して形成されている。放電板7は
多数の貫通孔11が設けられて板状に形成されるもので
あって、例えば、パンチングメタルや金網などを用いる
ことができる。尚、図1に示す放電板7は、パンチング
メタルのような孔あき金属板である。放電板7は貫通孔
11の貫通方向とガスの流通方向(図1に矢印で示す)
をほぼ合致させた状態でガス流路1に配設されている。
また、放電板7は接地されており、放電のための接地電
極として形成されているが、上流側放電電極12と下流
側放電電極13の両方が接地電極として利用する共通接
地部2として形成されている。
【0016】上流側放電電極12と下流側放電電極13
は、複数本の略丸棒状(断面略円形)の放電線8を上下
に並べて形成されるものであり、各放電線8は放電板7
の表面と略平行となるように配設されている。また、上
流側放電電極12は放電板7と所定の間隔を介して放電
板7よりも上流側(ガスが流れてくる方向)に配置され
ていると共に下流側放電電極13は放電板7と所定の間
隔を介して放電板7よりも下流側(ガスが流れていく方
向)に配置されている。そして、上流側放電電極12と
放電板7の間の空間、及び下流側放電電極13と放電板
7の間の空間がそれぞれ放電発生部3として形成されて
いるが、上流側放電電極12と放電板7の間の放電発生
部3は放電板7よりも上流側に位置する上流側放電発生
部16として、また、下流側放電電極13と放電板7の
間の放電発生部3は放電板7よりも下流側に位置する下
流側放電発生部17としてそれぞれ形成されている。従
って、これら上流側放電発生部16と下流側放電発生部
17は放電板7を介してガス流路1のガスの流通方向に
対して直列に真っ直ぐ並べて配置された状態となってい
る。放電板7及び放電線8の材質は金属等の導電特性を
有する導電材料であれば何でもよいが、例えば、ステン
レス鋼材やタングステン材などを用いることができる。
【0017】上流側電源14は上流側放電発生部16に
放電を発生させる大きさの電圧を印加することができる
高圧電源が用いられており、また、下流側電源15は下
流側放電発生部17に放電を発生させる大きさの電圧を
印加することができる高圧電源が用いられている。そし
て、上流側電源14は導体30により上流側放電電極1
2の各放電線8と放電板7に電気的に接続されていると
共に下流側電源15は導体31により下流側放電電極1
3の各放電線8と放電板7に電気的に接続されている。
【0018】上記のように形成されるガス分解装置を用
いて臭いガスの分解を行なうにあたっては次のようにし
て行なう。まず、上流側電源14により上流側放電発生
部16に電圧を印加して放電を発生させると共に下流側
電源15により下流側放電発生部17に電圧を印加して
放電を発生させる。この放電により上流側放電発生部1
6と下流側放電発生部17に活性種と活性種に至らない
励起分子が生成される。次に、ガス(ガスを含む空気)
を上流側放電電極12の上流側から放電線8の間を通過
させて上流側放電発生部16内に導入する。ここで臭い
ガスの一部が上流側放電発生部16で生成された活性種
により分解(酸化分解)されて無臭のガスとなる。この
後、臭いガスは放電板7の貫通孔11を通過して下流側
放電発生部17内に導入されるが、この時、上流側放電
発生部16で生成された励起分子もガスの流れにより貫
通孔11を通過して下流側放電発生部17内に導入され
ることになり、上流側放電発生部16から導入された励
起分子が下流側放電発生部17内の放電により活性種と
なり、下流側放電発生部17内の活性種の量が増大す
る。この後、下流側放電発生部17内に導入された臭い
ガスの一部が下流側放電発生部17内の活性種により分
解されて無臭のガスとなる。このようにして大部分の臭
いガスが無臭のガスに分解された後、無臭のガスが下流
側放電電極13の下流側へと放電線8の間を通過して導
出される。
【0019】上記のように本発明では、ガス流路1に上
流側放電発生部16と下流側放電発生部17を並べて設
けたので、ガス流路1を流通する臭いガスが上流側放電
発生部16から下流側放電発生部17へと順に通過して
いくことによって、上流側放電発生部16で生成された
励起分子を下流側放電発生部17に導入し、ガスの分解
能力が低い励起分子をガスの分解能力の高い活性種にし
て下流側放電発生部17における活性種の量を増大させ
ることができ、ガスの分解性能を高くすることができる
ものである。
【0020】また、上記の従来例では十分な活性種を作
り出すために非常に高い周波数の電圧を印加したり非常
に高い電圧を印加したりしなければならず、そのために
高価な電源が必要となってコストの点でも問題を有して
いたが、本発明では、上流側電源14と下流側電源15
の一つずつについては、非常に高い周波数の電圧を印加
したり非常に高い電圧を印加したりすることができるも
のを使用する必要がなく、高価な電源が不要となって安
価に形成することができるものである。しかも、周波数
を高くするとエネルギー損失が大きくなるが、本発明で
は、周波数を低くすることができるので、エネルギー効
率を高めることができるものである。尚、上記の実施例
では二つの放電発生部3を形成したが、放電発生部3を
三つ以上形成しても良い。
【0021】図2に他の実施の形態を示す。このガス分
解装置は図1のものにおいて、上流側電源14として交
流電圧を発生する交流電源20を使用している。そし
て、上流側放電電極12は交流電源20で発生する交流
電圧を上流側放電発生部16に印加するための交流印加
放電電極21として形成されており、また、上流側放電
発生部16は交流印加放電電極21からの交流電圧の印
加で放電が発生する交流放電発生部4として形成されて
いる。
【0022】また、下流側電源15としては直流電圧を
発生する直流電源22を使用している。そして、下流側
放電電極13は直流電源22で発生する直流電圧を下流
側放電発生部17に印加するための直流印加放電電極2
3として形成されており、また、下流側放電発生部17
は直流印加放電電極23からの直流電圧の印加で放電が
発生する直流放電発生部5として形成されている。その
他の構成は図1のものと同様に形成されている。
【0023】この実施の形態は上記と同様にしてガスの
分解を行なうことができるものであるが、上流側電源1
4として交流電源20を使用することによって、上流側
放電発生部16を交流電圧の印加で放電が発生する交流
放電発生部4として形成するので、後述のガス分解装置
よりもガス分解性能を高くすることができるものであ
る。
【0024】図3に他の実施の形態を示す。このガス分
解装置は図1のものにおいて、上流側電源14と下流側
電源15として交流電圧を発生する交流電源20を使用
している。そして、上流側放電電極12は上流側の交流
電源20で発生する交流電圧を上流側放電発生部16に
印加するための上流側の交流印加放電電極21として形
成されており、また、上流側放電発生部16は上流側の
交流印加放電電極21からの交流電圧の印加で放電が発
生する上流側の交流放電発生部4として形成されてい
る。さらに、下流側放電電極13は下流側の交流電源2
0で発生する交流電圧を下流側放電発生部17に印加す
るための下流側の交流印加放電電極21として形成され
ており、また、下流側放電発生部17は下流側の交流印
加放電電極21からの交流電圧の印加で放電が発生する
下流側の交流放電発生部4として形成されている。その
他の構成は図1のものと同様に形成されている。
【0025】この実施の形態は上記と同様にしてガスの
分解を行なうことができるものであるが、上流側電源1
4と下流側電源15として交流電源20を使用するの
で、電圧や周波数等の放電条件が同等の単一電源にする
ことができ、放電条件の管理を容易に行なうことができ
るものである。
【0026】図4に他の実施の形態を示す。このガス分
解装置は図1のものにおいて、上流側電源14としてパ
ルス電圧を発生するパルス電源25を使用している。そ
して、上流側放電電極12はパルス電源25で発生する
パルス電圧を上流側放電発生部16に印加するためのパ
ルス印加放電電極26として形成されており、また、上
流側放電発生部16はパルス印加放電電極26からのパ
ルス電圧の印加で放電が発生するパルス放電発生部6と
して形成されている。
【0027】また、下流側電源15としては直流電圧を
発生する直流電源22を使用している。そして、下流側
放電電極13は直流電源22で発生する直流電圧を下流
側放電発生部17に印加するための直流印加放電電極2
3として形成されており、また、下流側放電発生部17
は直流印加放電電極23からの直流電圧の印加で放電が
発生する直流放電発生部5として形成されている。その
他の構成は図1のものと同様に形成されている。
【0028】この実施の形態は上記と同様にしてガスの
分解を行なうことができるものであるが、上流側電源1
4としてパルス電源25を使用するので、上流側放電発
生部16において、ガス分解率に対する電力消費効率を
高くすることができ、省電力化を図ることができるもの
である。
【0029】図5に他の実施の形態を示す。このガス分
解装置は図1のものにおいて、上流側電源14と下流側
電源15としてパルス電圧を発生するパルス電源25を
使用している。そして、上流側放電電極12は上流側の
パルス電源25で発生するパルス電圧を上流側放電発生
部16に印加するための上流側のパルス印加放電電極2
6として形成されており、また、上流側放電発生部16
は上流側のパルス印加放電電極26からのパルス電圧の
印加で放電が発生する上流側のパルス放電発生部6とし
て形成されている。さらに、下流側放電電極13は下流
側のパルス電源25で発生するパルス電圧を下流側放電
発生部17に印加するための下流側のパルス印加放電電
極26として形成されており、また、下流側放電発生部
17は下流側のパルス印加放電電極26からのパルス電
圧の印加で放電が発生する下流側のパルス放電発生部6
として形成されている。その他の構成は図1のものと同
様に形成されている。
【0030】この実施の形態は上記と同様にしてガスの
分解を行なうことができるものであるが、上流側電源1
4と下流側電源15としてパルス電源25を使用するの
で、電圧や繰り返し周波数等の放電条件が同等の単一電
源にすることができ、放電条件の管理が容易に行なうこ
とができるものであり、しかも、上流側電源14と下流
側電源15の両方がパルス電源25であるので、上流側
放電発生部16と下流側放電発生部17の両方におい
て、ガス分解率に対する電力消費効率を高くすることが
でき、より省電力化を図ることができるものである。
【0031】図6に他の実施の形態を示す。このガス分
解装置は図1のものにおいて、上流側電源14と下流側
電源15として直流電圧を発生する直流電源22を使用
している。そして、上流側放電電極12は上流側の直流
電源22で発生するパルス電圧を上流側放電発生部16
に印加するための上流側の直流印加放電電極23として
形成されており、また、上流側放電発生部16は上流側
の直流印加放電電極23からの直流電圧の印加で放電が
発生する上流側の直流放電発生部5として形成されてい
る。さらに、下流側放電電極13は下流側の直流電源2
2で発生する直流電圧を下流側放電発生部17に印加す
るための下流側の直流印加放電電極23として形成され
ており、また、下流側放電発生部17は下流側の直流印
加放電電極23からの直流電圧の印加で放電が発生する
下流側の直流放電発生部5として形成されている。その
他の構成は図1のものと同様に形成されている。
【0032】この実施の形態は上記と同様にしてガスの
分解を行なうことができるものであるが、上流側電源1
4と下流側電源15として直流電源22を使用するの
で、電圧等の放電条件が同等の単一電源にすることがで
き、放電条件の管理が容易に行なうことができるもので
ある。しかも、上流側放電発生部16での放電による副
生成物(特に、オゾン)の分解を下流側放電発生部17
での放電で行なうことができ、副生成物を低減すること
ができるものである。
【0033】図7に他の実施の形態を示す。このガス分
解装置は図1〜図6のものにおいて、放電板7を厚み方
向に蛇行する波形に形成したものである。その他の構成
は図1〜図6のものと同様に形成されている。
【0034】この実施の形態は上記と同様にしてガスの
分解を行なうことができるものであるが、放電板7を厚
み方向に蛇行する波形に形成したので、放電板7の表面
積が大きくなってガス流路1の断面方向のほぼ全てに亘
って放電を発生させることができ、ガスの分解性能を向
上させることができるものである。
【0035】図8に他の実施の形態を示す。このガス分
解装置は図2、図4、図6のもの、すなわち、下流側電
源15として直流電源22を用いたものにおいて、下流
側放電電極13の下流側に電気集塵部9を設けたもので
ある。この電気集塵部9は帯電させた粉塵を吸着するも
のであり、下流側放電発生部17で帯電される粉塵と逆
の極性の電圧が印加されている。また、電気集塵部9は
接地されている。
【0036】この実施の形態は上記と同様にしてガスの
分解を行なうことができるものであるが、電気集塵部9
を設けたので、下流側放電発生部17の通過によりガス
中に含まれている粉塵を帯電させて電気集塵部9で集塵
することができ、ガスの分解と共に集塵(除塵)も行な
うことができるものである。
【0037】尚、上記の図1〜図8の実施の形態におい
て、上流側放電電極12と放電板7の間隔は13mm、
下流側放電電極13と放電板7の間隔は8〜13mm、
交流電圧を用いた場合は放電発生部3に印加される電圧
が4kV以上で周波数が10kHz以上(エネルギー効
率や音も考慮に入れると25kHz程度)、直流電圧を
用いた場合は放電発生部3に印加される電圧が6.5k
V以上、パルス電圧を用いた場合は放電発生部3に印加
される電圧が4kV以上で繰り返し周波数が10kHz
以上(エネルギー効率や音も考慮に入れると25kHz
程度)でパルス幅が2〜10msecにそれぞれ設定す
ることが好ましいが、これらは装置の大きさや所望のガ
ス分解能力の大きさなどによって、適宜、設計変更可能
である。
【0038】
【発明の効果】上記のように本発明の請求項1の発明
は、ガス流路に共通接地部を有し、ガス流路に対して直
列に配置された複数個の放電発生部を具備するので、ガ
スを上流側の放電発生部から下流側の放電発生部に順に
通過させて上流側の放電発生部で生成された励起分子を
下流側の放電発生部に導入することによって、ガスの分
解能力が低い励起分子をガスの分解能力の高い活性種に
して下流側の放電発生部における活性種の量を増加させ
ることができ、ガスの分解性能を高くすることができる
ものである。
【0039】また、本発明の請求項2の発明は、放電発
生部として交流電圧の印加で放電する交流放電発生部と
直流電圧の印加で放電する直流放電発生部とを少なくと
も一つずつ具備し、交流放電発生部を直流放電発生部の
上流側に配置するので、ガスを上流側の交流放電発生部
から下流側の直流放電発生部に順に通過させて交流放電
発生部で生成された励起分子を直流放電発生部に導入す
ることによって、ガスの分解能力が低い励起分子をガス
の分解能力の高い活性種にして直流放電発生部における
活性種の量を増加させることができ、ガスの分解性能を
高くすることができるものである。
【0040】また、本発明の請求項3の発明は、放電発
生部として交流電圧の印加で放電する交流放電発生部を
少なくとも二つ具備し、一方の交流放電発生部を他方の
交流放電発生部の上流側に配置するので、ガスを上流側
の交流放電発生部から下流側の交流放電発生部に順に通
過させて上流側の交流放電発生部で生成された励起分子
を下流側の交流放電発生部に導入することによって、ガ
スの分解能力が低い励起分子をガスの分解能力の高い活
性種にして下流側の交流放電発生部における活性種の量
を増加させることができ、ガスの分解性能を高くするこ
とができるものである。また、両方の交流放電発生部に
対して電圧や周波数等の放電条件が同等の単一電源を使
用することができ、放電条件の管理を容易に行なうこと
ができるものである。
【0041】また、本発明の請求項4の発明は、放電発
生部としてパルス電圧の印加で放電するパルス放電発生
部と直流電圧の印加で放電する直流放電発生部とを少な
くとも一つずつ具備し、パルス放電発生部を直流放電発
生部の上流側に配置するので、ガスを上流側のパルス放
電発生部から下流側の直流放電発生部に順に通過させて
パルス放電発生部で生成された励起分子を直流放電発生
部に導入することによって、ガスの分解能力が低い励起
分子をガスの分解能力の高い活性種にして直流放電発生
部における活性種の量を増加させることができ、ガスの
分解性能を高くすることができるものである。
【0042】また、本発明の請求項5の発明は、放電発
生部としてパルス電圧の印加で放電するパルス放電発生
部を少なくとも二つ具備し、一方のパルス放電発生部を
他方のパルス放電発生部の上流側に配置するので、ガス
を上流側のパルス放電発生部から下流側のパルス放電発
生部に順に通過させて上流側のパルス放電発生部で生成
された励起分子を下流側のパルス放電発生部に導入する
ことによって、ガスの分解能力が低い励起分子をガスの
分解能力の高い活性種にして下流側のパルス放電発生部
における活性種の量を増加させることができ、ガスの分
解性能を高くすることができるものである。また、両方
のパルス放電発生部に対して電圧や繰り返し周波数等の
放電条件が同等の単一電源を使用することができ、放電
条件の管理を容易に行なうことができるものである。
【0043】また、本発明の請求項6の発明は、放電発
生部として直流電圧の印加で放電する直流放電発生部を
少なくとも二つ具備し、一方の直流放電発生部を他方の
直流放電発生部の上流側に配置するので、ガスを上流側
の直流放電発生部から下流側の直流放電発生部に順に通
過させて上流側の直流放電発生部で生成された励起分子
を下流側の直流放電発生部に導入することによって、ガ
スの分解能力が低い励起分子をガスの分解能力の高い活
性種にして下流側の直流放電発生部における活性種の量
を増加させることができ、ガスの分解性能を高くするこ
とができるものである。また、両方の直流放電発生部に
対して電圧等の放電条件が同等の単一電源を使用するこ
とができ、放電条件の管理が容易に行なうことができる
ものである。しかも、上流側の直流放電発生部での放電
による副生成物の分解を下流側の直流放電発生部での放
電で行なうことができ、副生成物を低減することができ
るものである。
【0044】また、本発明の請求項7の発明は、多孔を
有する波形の放電板で共通接地部を形成し、放電板に対
向してガス流路の上流と下流に放電線を配置し、放電板
と放電線の間を放電発生部として形成するので、放電板
の表面積が大きくなってガス流路の断面方向のほぼ全て
に亘って放電を発生させることができ、ガスの分解性能
を向上させることができるものである。
【0045】また、本発明の請求項8の発明は、電気集
塵部を具備するので、ガスの分解と共に電気集塵機能も
合わせ持たせることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示す概略の正面図
である。
【図2】同上の他の実施の形態の一例を示す概略の正面
図である。
【図3】同上の他の実施の形態の一例を示す概略の正面
図である。
【図4】同上の他の実施の形態の一例を示す概略の正面
図である。
【図5】同上の他の実施の形態の一例を示す概略の正面
図である。
【図6】同上の他の実施の形態の一例を示す概略の正面
図である。
【図7】同上の他の実施の形態の一例を示す概略の正面
図である。
【図8】同上の他の実施の形態の一例を示す概略の正面
図である。
【符号の説明】
1 ガス流路 2 共通接地部 3 放電発生部 4 交流放電発生部 5 直流放電発生部 6 パルス放電発生部 7 放電板 8 放電線 9 電気集塵部
フロントページの続き (72)発明者 才ノ本 良典 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 4C080 AA09 BB02 CC02 CC08 CC12 QQ11 4D054 AA11 BA02 BB11 CA01 CA04 CA05 EA27

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガス流路に共通接地部を有し、ガス流路
    に対して直列に配置された複数個の放電発生部を具備し
    て成ることを特徴とするガス分解装置。
  2. 【請求項2】 放電発生部として交流電圧の印加で放電
    する交流放電発生部と直流電圧の印加で放電する直流放
    電発生部とを少なくとも一つずつ具備し、交流放電発生
    部を直流放電発生部の上流側に配置して成ることを特徴
    とする請求項1に記載のガス分解装置。
  3. 【請求項3】 放電発生部として交流電圧の印加で放電
    する交流放電発生部を少なくとも二つ具備し、一方の交
    流放電発生部を他方の交流放電発生部の上流側に配置し
    て成ることを特徴とする請求項1に記載のガス分解装
    置。
  4. 【請求項4】 放電発生部としてパルス電圧の印加で放
    電するパルス放電発生部と直流電圧の印加で放電する直
    流放電発生部とを少なくとも一つずつ具備し、パルス放
    電発生部を直流放電発生部の上流側に配置して成ること
    を特徴とする請求項1に記載のガス分解装置。
  5. 【請求項5】 放電発生部としてパルス電圧の印加で放
    電するパルス放電発生部を少なくとも二つ具備し、一方
    のパルス放電発生部を他方のパルス放電発生部の上流側
    に配置して成ることを特徴とする請求項1に記載のガス
    分解装置。
  6. 【請求項6】 放電発生部として直流電圧の印加で放電
    する直流放電発生部を少なくとも二つ具備し、一方の直
    流放電発生部を他方の直流放電発生部の上流側に配置し
    て成ることを特徴とする請求項1に記載のガス分解装
    置。
  7. 【請求項7】 多孔を有する波形の放電板で共通接地部
    を形成し、放電板に対向してガス流路の上流と下流に放
    電線を配置し、放電板と放電線の間を放電発生部として
    形成して成ることを特徴とする請求項1乃至6のいずれ
    かに記載のガス分解装置。
  8. 【請求項8】 電気集塵部を具備して成ることを特徴と
    する請求項2、4、6のいずれかに記載のガス分解装
    置。
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