JPH105541A - ＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置 - Google Patents
ＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置Info
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- JPH105541A JPH105541A JP8164373A JP16437396A JPH105541A JP H105541 A JPH105541 A JP H105541A JP 8164373 A JP8164373 A JP 8164373A JP 16437396 A JP16437396 A JP 16437396A JP H105541 A JPH105541 A JP H105541A
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- sox
- reaction vessel
- gas
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
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- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＮＯｘおよびＳＯｘを高効率で処理すること
ができる優れたＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置を提供する。 【解決手段】 反応容器５上流側に電圧を印加せず添加
ガスを噴出するガスノズル７を装備し、反応容器５下流
側に添加ガスを噴出しかつ電圧を印加する下流側印加ノ
ズル電極８を装備するといった簡単な構成により、反応
容器５上流側で不均一反応によりＳＯｘを除去すると共
にエアロゾル粒子を生成し、反応容器５下流側ではラジ
カル反応と、エアロゾル粒子表面での不均一反応の重畳
によって、従来より極めて効率良くＮＯｘおよびＳ０ｘ
を処理することができる。
ができる優れたＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置を提供する。 【解決手段】 反応容器５上流側に電圧を印加せず添加
ガスを噴出するガスノズル７を装備し、反応容器５下流
側に添加ガスを噴出しかつ電圧を印加する下流側印加ノ
ズル電極８を装備するといった簡単な構成により、反応
容器５上流側で不均一反応によりＳＯｘを除去すると共
にエアロゾル粒子を生成し、反応容器５下流側ではラジ
カル反応と、エアロゾル粒子表面での不均一反応の重畳
によって、従来より極めて効率良くＮＯｘおよびＳ０ｘ
を処理することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、火力発電所、ごみ
焼却場、自転車トンネル等から排出される排ガス中の窒
素酸化物（以下、ＮＯｘと称する。）および硫黄酸化物
（以下、ＳＯｘと称する。）を放電法を基礎として処理
するＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置に関するものである。
焼却場、自転車トンネル等から排出される排ガス中の窒
素酸化物（以下、ＮＯｘと称する。）および硫黄酸化物
（以下、ＳＯｘと称する。）を放電法を基礎として処理
するＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、火力発電所、ごみ焼却場、自転
車トンネルなどから排出される排ガスには、微量のＮＯ
ｘやＳＯｘが含有されている。これらＮＯｘおよびＳＯ
ｘは、酸性雨など環境破壊に深刻な問題を世界的な規模
で引起こしている。そのため、従来より様々なＮＯｘ／
ＳＯｘ処理装置が提案されている。特に近年では、電子
ビーム法や放電法といった乾式のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装
置が多くの注目を集めており、その研究開発が進んでい
る。
車トンネルなどから排出される排ガスには、微量のＮＯ
ｘやＳＯｘが含有されている。これらＮＯｘおよびＳＯ
ｘは、酸性雨など環境破壊に深刻な問題を世界的な規模
で引起こしている。そのため、従来より様々なＮＯｘ／
ＳＯｘ処理装置が提案されている。特に近年では、電子
ビーム法や放電法といった乾式のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装
置が多くの注目を集めており、その研究開発が進んでい
る。
【０００３】放電法を用いたＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置と
は、反応容器内に排ガスを取込むと共に所定の添加ガス
を導入し、この反応容器内で放電を行ってラジカル粒子
（活性種）を生成する装置であり、生成されたラジカル
粒子によってＮＯｘおよびＳＯｘを酸化処理すると共
に、添加ガスと反応させて除去処理を行っている。この
種のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置では、ラジカル粒子の生成
効率が処理能力を左右する重要な要因となっている。ラ
ジカル粒子の生成効率を高めるためには、排ガスおよび
放電により発生するイオンエネルギーの上昇を抑えつ
つ、ラジカル粒子の生成に主な役割を果たす放電空間の
電子エネルギーを上昇させることがポイントとなる。具
体的には電子エネルギーは１０ｅＶ程度が必要であり、
放電形態としては比較的電子エネルギーが高いコロナ放
電が採用されるのが一般的である。
は、反応容器内に排ガスを取込むと共に所定の添加ガス
を導入し、この反応容器内で放電を行ってラジカル粒子
（活性種）を生成する装置であり、生成されたラジカル
粒子によってＮＯｘおよびＳＯｘを酸化処理すると共
に、添加ガスと反応させて除去処理を行っている。この
種のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置では、ラジカル粒子の生成
効率が処理能力を左右する重要な要因となっている。ラ
ジカル粒子の生成効率を高めるためには、排ガスおよび
放電により発生するイオンエネルギーの上昇を抑えつ
つ、ラジカル粒子の生成に主な役割を果たす放電空間の
電子エネルギーを上昇させることがポイントとなる。具
体的には電子エネルギーは１０ｅＶ程度が必要であり、
放電形態としては比較的電子エネルギーが高いコロナ放
電が採用されるのが一般的である。
【０００４】コロナ放電を形成するための電極構成には
種々な構成が知られているが、その一つに図１０に示す
ようなノズル電極を用いたＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置が提
案されている。すなわち、本装置では、排ガスを取込む
ための直方体状の反応容器５が設けられている。反応容
器５には排ガスを吸入する入口５ａと、反応容器５にて
処理された処理ガスを排出する出口５ｂとが、向い合う
面に形成されている。また、反応容器５の上面および下
面は金属製の平行平板電極１，１から構成されている。
平板電極１，１は大量の排ガスを処理するためのアース
電位電極である。
種々な構成が知られているが、その一つに図１０に示す
ようなノズル電極を用いたＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置が提
案されている。すなわち、本装置では、排ガスを取込む
ための直方体状の反応容器５が設けられている。反応容
器５には排ガスを吸入する入口５ａと、反応容器５にて
処理された処理ガスを排出する出口５ｂとが、向い合う
面に形成されている。また、反応容器５の上面および下
面は金属製の平行平板電極１，１から構成されている。
平板電極１，１は大量の排ガスを処理するためのアース
電位電極である。
【０００５】さらに、反応容器５内には処理効率を向上
させるために放電極としてノズル電極２が装備されてい
る。ノズル電極２には該ノズル電極２に対し正極性の電
圧を印加する電圧供給源６が接続されており、電圧供給
源６から電圧が供給されることによりノズル電極２と平
行平板電極１との間で正極性コロナ放電が形成され、放
電プラズマが生成される。また、ノズル電極２は添加ガ
スを反応容器５内に噴出するようになっている。添加ガ
ス成分としては空気を主成分とし微量なアンモニア（以
下、ＮＨ3 と称する。）を含有するガスが使用される。
させるために放電極としてノズル電極２が装備されてい
る。ノズル電極２には該ノズル電極２に対し正極性の電
圧を印加する電圧供給源６が接続されており、電圧供給
源６から電圧が供給されることによりノズル電極２と平
行平板電極１との間で正極性コロナ放電が形成され、放
電プラズマが生成される。また、ノズル電極２は添加ガ
スを反応容器５内に噴出するようになっている。添加ガ
ス成分としては空気を主成分とし微量なアンモニア（以
下、ＮＨ3 と称する。）を含有するガスが使用される。
【０００６】このようなＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置におい
て、ノズル電極２から添加ガスが噴出されると、反応容
器５内では次のような反応プロセスが行われる。すなわ
ち、放電プラズマが生成された放電空間では電子衝突に
よりにラジカル粒子が生成され、このラジカル粒子によ
ってＮＯｘはＮＯ2 などに酸化処理され、ＳＯｘはＳＯ
2 などに酸化処理される。そして、これらの酸化物と添
加ガスのＮＨ3 とが反応することによってエアロゾルが
生成され、ＮＯｘおよびＳＯｘは無害化される。以上の
ようなＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置では、ノズル電極２先端
近傍の電子エネルギーの高い放電空間に、ノズル電極２
から直接添加ガスを導入することができる。そのため、
ラジカル粒子（ＮＨ、ＮＨ2 など）を多量に生成するこ
とが可能となり、効率良くＮＯｘ／ＳＯｘの処理を行う
ことができる。
て、ノズル電極２から添加ガスが噴出されると、反応容
器５内では次のような反応プロセスが行われる。すなわ
ち、放電プラズマが生成された放電空間では電子衝突に
よりにラジカル粒子が生成され、このラジカル粒子によ
ってＮＯｘはＮＯ2 などに酸化処理され、ＳＯｘはＳＯ
2 などに酸化処理される。そして、これらの酸化物と添
加ガスのＮＨ3 とが反応することによってエアロゾルが
生成され、ＮＯｘおよびＳＯｘは無害化される。以上の
ようなＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置では、ノズル電極２先端
近傍の電子エネルギーの高い放電空間に、ノズル電極２
から直接添加ガスを導入することができる。そのため、
ラジカル粒子（ＮＨ、ＮＨ2 など）を多量に生成するこ
とが可能となり、効率良くＮＯｘ／ＳＯｘの処理を行う
ことができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、環境保全に
対する意識が益々高まりを見せる現在、ＮＯｘおよびＳ
Ｏｘをより高効率で処理するＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置が
求められている。また、従来のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置
ではＮＨ3 添加ガスが高価であり、処理コストが高い点
が課題となっている。
対する意識が益々高まりを見せる現在、ＮＯｘおよびＳ
Ｏｘをより高効率で処理するＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置が
求められている。また、従来のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置
ではＮＨ3 添加ガスが高価であり、処理コストが高い点
が課題となっている。
【０００８】本発明は、以上のような課題を解決するた
めに提案されてものであり、主たる目的は、ＮＯｘおよ
びＳＯｘを高効率で処理することができる優れたＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置を提供することである。
めに提案されてものであり、主たる目的は、ＮＯｘおよ
びＳＯｘを高効率で処理することができる優れたＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置を提供することである。
【０００９】また、本発明の他の目的は、処理コストの
低減化を図るＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置を提供することで
ある。
低減化を図るＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置を提供することで
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１の発明は、ＮＯｘおよびＳＯｘが含有さ
れる排ガスを取込む反応容器を備え、この反応容器内で
排ガス中のＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ／ＳＯ
ｘ処理装置において、前記反応容器上流側に、添加ガス
を噴出し且つ電圧を印加しないガスノズルを装備し、前
記反応容器下流側に、添加ガスを噴出し且つ電圧を印加
する下流側印加ノズル電極を装備することを特徴とす
る。
めに、請求項１の発明は、ＮＯｘおよびＳＯｘが含有さ
れる排ガスを取込む反応容器を備え、この反応容器内で
排ガス中のＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ／ＳＯ
ｘ処理装置において、前記反応容器上流側に、添加ガス
を噴出し且つ電圧を印加しないガスノズルを装備し、前
記反応容器下流側に、添加ガスを噴出し且つ電圧を印加
する下流側印加ノズル電極を装備することを特徴とす
る。
【００１１】このような構成を持つ請求項１の発明にお
いて、反応容器上流側では放電していない空間にガスノ
ズルが添加ガスを噴出するので、添加ガスがラジカル粒
子に分解されることがなく、十分な量の添加ガスを用い
て不均一反応によりＳＯｘをエアロゾル化して除去する
ことができる。また、反応容器下流側では下流側印加ノ
ズル電極が電圧を印加することにより放電空間を形成す
ると共に、添加ガスを噴出して多量のラジカル粒子を生
成することができる。このラジカル粒子を利用してＮＯ
ｘおよびＳＯｘの除去処理を行うことができる。さら
に、反応容器上流側のＳＯｘ処理反応で形成されたエア
ロゾル粒子は、反応容器下流側の放電空間中に流れ、Ｎ
Ｏｘ処理反応は上記のラジカル反応のみでなく、エアロ
ゾル表面での不均一反応も重畳し、よりＮＯｘ処理反応
を促進することができる。したがって、ＮＯｘ／ＳＯｘ
処理を反応容器内で効率良く行うことができる。
いて、反応容器上流側では放電していない空間にガスノ
ズルが添加ガスを噴出するので、添加ガスがラジカル粒
子に分解されることがなく、十分な量の添加ガスを用い
て不均一反応によりＳＯｘをエアロゾル化して除去する
ことができる。また、反応容器下流側では下流側印加ノ
ズル電極が電圧を印加することにより放電空間を形成す
ると共に、添加ガスを噴出して多量のラジカル粒子を生
成することができる。このラジカル粒子を利用してＮＯ
ｘおよびＳＯｘの除去処理を行うことができる。さら
に、反応容器上流側のＳＯｘ処理反応で形成されたエア
ロゾル粒子は、反応容器下流側の放電空間中に流れ、Ｎ
Ｏｘ処理反応は上記のラジカル反応のみでなく、エアロ
ゾル表面での不均一反応も重畳し、よりＮＯｘ処理反応
を促進することができる。したがって、ＮＯｘ／ＳＯｘ
処理を反応容器内で効率良く行うことができる。
【００１２】請求項２の発明は、ＮＯｘおよびＳＯｘが
含有される排ガスを取込む反応容器を備え、この反応容
器内で排ガス中のＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置において、前記反応容器上流側に、添
加ガスを噴出し且つ電圧を印加しないガスノズルを装備
し、前記反応容器下流側に、添加ガスを噴出せず且つ電
圧を印加する印加電極を装備することを特徴とする。
含有される排ガスを取込む反応容器を備え、この反応容
器内で排ガス中のＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置において、前記反応容器上流側に、添
加ガスを噴出し且つ電圧を印加しないガスノズルを装備
し、前記反応容器下流側に、添加ガスを噴出せず且つ電
圧を印加する印加電極を装備することを特徴とする。
【００１３】このような請求項２の発明では、印加電極
が添加ガスを噴出せずに電圧を印加するだけなので、前
記請求項１の発明に比べて添加ガスの噴出量を低減する
ことができる。したがって、添加ガスに要するコストを
削減することができる。
が添加ガスを噴出せずに電圧を印加するだけなので、前
記請求項１の発明に比べて添加ガスの噴出量を低減する
ことができる。したがって、添加ガスに要するコストを
削減することができる。
【００１４】請求項３の発明は、請求項１または２記載
のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記反応容器下流
側に装備された電極に対して、パルス電圧を印加するこ
とを特徴とする。
のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記反応容器下流
側に装備された電極に対して、パルス電圧を印加するこ
とを特徴とする。
【００１５】このような請求項３の発明では、放電空間
を形成させるための反応容器下流側の電極に対して、パ
ルス電圧を印加するため、放電電力をラジカル生成に必
要な電子加速のための電子エネルギーへのみ消費するこ
とができる。したがって効率良く放電空間を形成するこ
とが可能である。
を形成させるための反応容器下流側の電極に対して、パ
ルス電圧を印加するため、放電電力をラジカル生成に必
要な電子加速のための電子エネルギーへのみ消費するこ
とができる。したがって効率良く放電空間を形成するこ
とが可能である。
【００１６】請求項４の発明は、請求項１または２記載
のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記反応容器下流
側に装備された電極に対して、パルス電圧および直流電
圧を印加することを特徴とする。
のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記反応容器下流
側に装備された電極に対して、パルス電圧および直流電
圧を印加することを特徴とする。
【００１７】このような請求項４の発明では、反応容器
下流側の電極にパルス電圧に加えて直流電圧を印加する
ため、パルス発生のためのスイッチングを容易にするこ
とができ、スイッチの負荷を減らして長寿命化を図るこ
とができる。
下流側の電極にパルス電圧に加えて直流電圧を印加する
ため、パルス発生のためのスイッチングを容易にするこ
とができ、スイッチの負荷を減らして長寿命化を図るこ
とができる。
【００１８】請求項５の発明は、請求項１、２、３また
は４記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記ガス
ノズルおよび前記下流側印加ノズル電極が噴出する添加
ガスとしてＮＨ3 を用いることを特徴とする。
は４記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記ガス
ノズルおよび前記下流側印加ノズル電極が噴出する添加
ガスとしてＮＨ3 を用いることを特徴とする。
【００１９】このような請求項５の発明では、添加ガス
としてＮＨ3 を用いることにより、排ガス中のＳＯｘを
以下の不均一反応により除去処理することができる。す
なわち、
としてＮＨ3 を用いることにより、排ガス中のＳＯｘを
以下の不均一反応により除去処理することができる。す
なわち、
【化１】 ＳＯ2 ＋ＮＨ3 →（ＮＨ3 ）2 ＳＯ2 ＋Ｏ2 →（ＮＨ4 ）2 ＳＯ4 （エアロゾル） となる。
【００２０】また、ＮＨ3 が反応容器下流側の放電空間
に存在するとき、
に存在するとき、
【化２】ＮＨ3 ＋ｅ（電子）→ＮＨ、ＮＨ2 の生成 という電子衝突解離でアンモニアラジカル粒子（ＮＨ、
ＮＨ2 ）を生成する。
ＮＨ2 ）を生成する。
【００２１】そして、以下のアンモニアラジカル反応に
よりＮＯｘを処理することができる。
よりＮＯｘを処理することができる。
【００２２】
【化３】ＮＯ＋ＮＨ2 →Ｈ2 ０＋Ｎ2 ＮＯ＋ＮＨ→Ｎ2 ＋ＯＨ ＮＯ＋ＯＨ＋Ｎ2 →ＨＮＯ2 ＋Ｎ2 さらに、ＨＮＯ2 はＮＨ3 存在下ではエアロゾル化す
る。
る。
【００２３】請求項６の発明は、請求項１、２、３また
は４記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記ガス
ノズルが噴出する添加ガスとしてＮＨ3 を使用し、前記
下流側印加ノズル電極が噴出する添加ガスとしてハイド
ロカーボン系ガスであるＣｎＨｍを使用することを特徴
とする。
は４記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記ガス
ノズルが噴出する添加ガスとしてＮＨ3 を使用し、前記
下流側印加ノズル電極が噴出する添加ガスとしてハイド
ロカーボン系ガスであるＣｎＨｍを使用することを特徴
とする。
【００２４】このような請求項６の発明では、反応容器
上流側ではガスノズルがＮＨ3 を噴出するので、排ガス
中のＳＯｘを上述した不均一反応により除去処理するこ
とができる。また、ＮＨ3 が反応容器下流側の放電空間
にまで流れていけば、放電空間内でアンモニアラジカル
粒子（ＮＨ、ＮＨ2 ）を生成する。ただし、反応容器下
流側の放電空間には下流側印加ノズル電極が噴出したＣ
ｎＨｍが主に存在する。このとき放電空間では、
上流側ではガスノズルがＮＨ3 を噴出するので、排ガス
中のＳＯｘを上述した不均一反応により除去処理するこ
とができる。また、ＮＨ3 が反応容器下流側の放電空間
にまで流れていけば、放電空間内でアンモニアラジカル
粒子（ＮＨ、ＮＨ2 ）を生成する。ただし、反応容器下
流側の放電空間には下流側印加ノズル電極が噴出したＣ
ｎＨｍが主に存在する。このとき放電空間では、
【化４】ＣｎＨｍ＋ｅ（電子）→Ｈの生成 Ｎ2 ＋ｅ（電子）→Ｎの生成 ＮとＨの再結合→ＮＨ、ＮＨ2 の生成 という電子衝突解離およびＮ、Ｈ原子の再結合反応が起
き、アンモニアラジカル粒子（ＮＨ、ＮＨ2 ）を生成す
ることになる。そして、前述したアンモニアラジカル反
応によりＮＯｘを処理することができる。このようなＣ
ｎＨｍはＮＨ3 よりも安価であるため、請求項６の発明
では、処理にかかるコストを大幅に低減することができ
るという作用がある。
き、アンモニアラジカル粒子（ＮＨ、ＮＨ2 ）を生成す
ることになる。そして、前述したアンモニアラジカル反
応によりＮＯｘを処理することができる。このようなＣ
ｎＨｍはＮＨ3 よりも安価であるため、請求項６の発明
では、処理にかかるコストを大幅に低減することができ
るという作用がある。
【００２５】請求項７の発明は、請求項１、２、３、
４、５または６記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置におい
て、前記反応容器下流側に装備された電極を多段に配置
することを特徴とする。このような請求項７の発明で
は、電圧印加する電極数を多段化したことにより、電極
１本当たりの放電入力を抑制することができ、過剰な放
電入力を行わずに済む。
４、５または６記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置におい
て、前記反応容器下流側に装備された電極を多段に配置
することを特徴とする。このような請求項７の発明で
は、電圧印加する電極数を多段化したことにより、電極
１本当たりの放電入力を抑制することができ、過剰な放
電入力を行わずに済む。
【００２６】請求項８の発明は、ＮＯｘおよびＳＯｘが
含有される排ガスを取込む反応容器を備え、この反応容
器内で排ガス中のＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置において、前記反応容器上流側に、添
加ガスとしてハイドロカーボン系ガスであるＣｎＨｍを
噴出し且つ電圧を印加する上流側印加ノズル電極を装備
し、前記反応容器下流側に、ＳＯｘの除去処理を行う反
応空間を設けることを特徴とする。
含有される排ガスを取込む反応容器を備え、この反応容
器内で排ガス中のＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置において、前記反応容器上流側に、添
加ガスとしてハイドロカーボン系ガスであるＣｎＨｍを
噴出し且つ電圧を印加する上流側印加ノズル電極を装備
し、前記反応容器下流側に、ＳＯｘの除去処理を行う反
応空間を設けることを特徴とする。
【００２７】このような請求項８の発明において、反応
容器上流側では上流側印加ノズル電極が電圧を印加する
ことにより放電空間を形成すると共に、添加ガスである
ＣｎＨｍを噴出して多量のアンモニアラジカル（ＮＨ、
ＮＨ2 ）およびＮＨ3 を多量に生成することができる。
そして、先の化学式３にて示したアンモニアラジカル反
応によりＮＯｘををＨ2 ０、Ｎ2 、ＨＮＯ2 に処理する
ことができる。さらに、ＨＮＯ2 はＮＨ3 存在下ではエ
アロゾル化する。また、反応容器上流側にて生成された
ＮＨ3 は、Ｓ０ｘのみを含有した排ガス流に乗って反応
容器下流へと流され、反応空間に至る。Ｓ０ｘはＮＨ3
共存下での不均一反応によりエアロゾル粒子となる。つ
まり、反応容器下流側の反応空間にてＳ０ｘを処理する
ことができる。
容器上流側では上流側印加ノズル電極が電圧を印加する
ことにより放電空間を形成すると共に、添加ガスである
ＣｎＨｍを噴出して多量のアンモニアラジカル（ＮＨ、
ＮＨ2 ）およびＮＨ3 を多量に生成することができる。
そして、先の化学式３にて示したアンモニアラジカル反
応によりＮＯｘををＨ2 ０、Ｎ2 、ＨＮＯ2 に処理する
ことができる。さらに、ＨＮＯ2 はＮＨ3 存在下ではエ
アロゾル化する。また、反応容器上流側にて生成された
ＮＨ3 は、Ｓ０ｘのみを含有した排ガス流に乗って反応
容器下流へと流され、反応空間に至る。Ｓ０ｘはＮＨ3
共存下での不均一反応によりエアロゾル粒子となる。つ
まり、反応容器下流側の反応空間にてＳ０ｘを処理する
ことができる。
【００２８】請求項９の発明は、請求項８記載のＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置において、前記反応空間にアース電位
電極を装備することを特徴とする。このような請求項９
の発明では、反応空間にアース電位電極を設置したた
め、反応空間で不均一反応により生じたエアロゾル粒子
がこの電極上に付着する。したがって、この効果により
エアロゾル表面での不均一反応が重畳し、Ｓ０ｘ処理反
応をより促進することができる。
／ＳＯｘ処理装置において、前記反応空間にアース電位
電極を装備することを特徴とする。このような請求項９
の発明では、反応空間にアース電位電極を設置したた
め、反応空間で不均一反応により生じたエアロゾル粒子
がこの電極上に付着する。したがって、この効果により
エアロゾル表面での不均一反応が重畳し、Ｓ０ｘ処理反
応をより促進することができる。
【００２９】請求項１０の発明は、請求項８または９記
載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記上流側印加
ノズル電極に対してパルス電圧を印加することを特徴と
する。このような請求項１０の発明は、前記請求項３と
同様の作用を持つことができる。
載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記上流側印加
ノズル電極に対してパルス電圧を印加することを特徴と
する。このような請求項１０の発明は、前記請求項３と
同様の作用を持つことができる。
【００３０】請求項１１の発明は、請求項８または９記
載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記上流側印加
ノズル電極に対してパルス電圧および直流電圧を印加す
ることを特徴とする。このような請求項１１の発明は、
前記請求項４と同様の作用を持つことができる。
載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前記上流側印加
ノズル電極に対してパルス電圧および直流電圧を印加す
ることを特徴とする。このような請求項１１の発明は、
前記請求項４と同様の作用を持つことができる。
【００３１】請求項１２の発明は、請求項８、９、１０
または１１記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前
記上流側印加ノズル電極を多段に配置することを特徴と
する。このような請求項１１の発明は、前記請求項７と
同様の作用を持つことができる。
または１１記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置において、前
記上流側印加ノズル電極を多段に配置することを特徴と
する。このような請求項１１の発明は、前記請求項７と
同様の作用を持つことができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下、図１から図９を用いて本発
明の実施の形態の一例を具体的に説明する。なお、図１
０に示した従来例と同一の部材に関しては、同一符号を
付し、説明は省略する。
明の実施の形態の一例を具体的に説明する。なお、図１
０に示した従来例と同一の部材に関しては、同一符号を
付し、説明は省略する。
【００３３】［１］第１の実施形態…図１参照 （構成）第１の実施形態は請求項１、３および５を包含
するものである。図１に示すように、反応容器５の上流
側には添加ガスとしてＮＨ3 を噴出し（噴出量はＳＯｘ
量の２倍）を噴出し、且つ電圧を印加しないガスノズル
７が装備されている。このガスノズル７はアース電位に
保持されている。また、反応容器５の下流側には添加ガ
スとしてＮＨ3 を噴出し（噴出量はＮＯｘと同量）、且
つ電圧を印加する下流側印加ノズル電極８が装備されて
いる。下流側印加ノズル電極８には正極性の電圧を印加
する電圧供給源６が接続されている。
するものである。図１に示すように、反応容器５の上流
側には添加ガスとしてＮＨ3 を噴出し（噴出量はＳＯｘ
量の２倍）を噴出し、且つ電圧を印加しないガスノズル
７が装備されている。このガスノズル７はアース電位に
保持されている。また、反応容器５の下流側には添加ガ
スとしてＮＨ3 を噴出し（噴出量はＮＯｘと同量）、且
つ電圧を印加する下流側印加ノズル電極８が装備されて
いる。下流側印加ノズル電極８には正極性の電圧を印加
する電圧供給源６が接続されている。
【００３４】（下流側印加ノズル電極８に対する電圧印
加法）…図２参照 上記下流側印加ノズル電極８への電圧印加法としてはパ
ルス電圧印加を採用する。パルス電圧の立上がり時間お
よびパルス幅時間（共に図３に図示）は、短い程、処理
効率は向上する。これは、電圧印加法をパルス化するこ
とにより放電電力がラジカル生成に必要な電子加速のた
めのエネルギーへのみ消費されるためである。
加法）…図２参照 上記下流側印加ノズル電極８への電圧印加法としてはパ
ルス電圧印加を採用する。パルス電圧の立上がり時間お
よびパルス幅時間（共に図３に図示）は、短い程、処理
効率は向上する。これは、電圧印加法をパルス化するこ
とにより放電電力がラジカル生成に必要な電子加速のた
めのエネルギーへのみ消費されるためである。
【００３５】（作用効果）第１の実施形態に係るＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置の作用は次の通りである。すなわち、
反応容器５上流側のガスノズル７がＮＨ3 を噴出する
と、ＮＨ3 は反応容器５内に一様に行き渡る。これによ
り排ガス中のＮＯｘ／ＳＯｘの内、ＳＯｘがＮＨ3 と不
均一反応を起こし、（ＮＨ4 ）2 ＳＯ4 といったエアロ
ゾル粒子となる。
／ＳＯｘ処理装置の作用は次の通りである。すなわち、
反応容器５上流側のガスノズル７がＮＨ3 を噴出する
と、ＮＨ3 は反応容器５内に一様に行き渡る。これによ
り排ガス中のＮＯｘ／ＳＯｘの内、ＳＯｘがＮＨ3 と不
均一反応を起こし、（ＮＨ4 ）2 ＳＯ4 といったエアロ
ゾル粒子となる。
【００３６】このエアロゾル粒子は、ＮＯｘのみを含有
した排ガス流に乗って反応容器５の下流側へ流れる。反
応容器５の下流側では電圧供給源６の働きによりノズル
電極２ａと平行平板電極１との間でコロナ放電プラズマ
を形成しており、この放電空間にエアロゾル粒子と気体
の混相排ガスに入る。このとき、下流側印加ノズル電極
８はＮＨ3 を噴出しているので、電子衝突解離によりア
ンモニアラジカル（ＮＨ1 ）を多量に生成することがで
きる。なお、添加ガスとしてはＮＨ3 を用いる場合、ア
ンモニアラジカル生成に必要な放電電力が少ないといっ
たメリットがある。
した排ガス流に乗って反応容器５の下流側へ流れる。反
応容器５の下流側では電圧供給源６の働きによりノズル
電極２ａと平行平板電極１との間でコロナ放電プラズマ
を形成しており、この放電空間にエアロゾル粒子と気体
の混相排ガスに入る。このとき、下流側印加ノズル電極
８はＮＨ3 を噴出しているので、電子衝突解離によりア
ンモニアラジカル（ＮＨ1 ）を多量に生成することがで
きる。なお、添加ガスとしてはＮＨ3 を用いる場合、ア
ンモニアラジカル生成に必要な放電電力が少ないといっ
たメリットがある。
【００３７】そして、先の化学式３にて示したアンモニ
アラジカル反応によりＮＯｘをＨ2０、Ｎ2 、ＨＮＯ2
に処理する。さらに、ＨＮＯ2 はＮＨ3 存在下ではエア
ロゾル化する。このとき、放電空間中には反応容器５上
流側のＳＯｘ処理反応で形成されたエアロゾル粒子が存
在するため、ＮＯｘ処理反応は上記のラジカル反応のみ
でなく、エアロゾル表面での不均一反応も重畳し、より
ＮＯｘ処理反応を進めることができる。このエアロゾル
粒子が存在することによるＮＯｘ処理反応の促進は、メ
カニズム自体は十分に解明されていないものの、出願人
の実験から十分確認されている。
アラジカル反応によりＮＯｘをＨ2０、Ｎ2 、ＨＮＯ2
に処理する。さらに、ＨＮＯ2 はＮＨ3 存在下ではエア
ロゾル化する。このとき、放電空間中には反応容器５上
流側のＳＯｘ処理反応で形成されたエアロゾル粒子が存
在するため、ＮＯｘ処理反応は上記のラジカル反応のみ
でなく、エアロゾル表面での不均一反応も重畳し、より
ＮＯｘ処理反応を進めることができる。このエアロゾル
粒子が存在することによるＮＯｘ処理反応の促進は、メ
カニズム自体は十分に解明されていないものの、出願人
の実験から十分確認されている。
【００３８】以上述べたような第１の実施形態によれ
ば、反応容器５上流側に電圧を印加せず添加ガスを噴出
するガスノズル７を装備し、反応容器５下流側に添加ガ
スを噴出し、且つ電圧を印加する下流側印加ノズル電極
８を装備するといった簡単な構成により、反応容器５上
流側で不均一反応によりＳＯｘを除去すると共にエアロ
ゾル粒子を生成し、反応容器５下流側ではラジカル反応
と、エアロゾル粒子表面での不均一反応の重畳により、
エアロゾル粒子表面での不均一反応の重畳によって、従
来より極めて効率の良いＮＯｘ／Ｓ０ｘ処理装置を実現
することができる。また、パルス電圧を印加して放電空
間を形成するので、放電電力をラジカル生成に必要な電
子エネルギーへのみ消費することができ、放電空間の発
生効率を高めることができる。
ば、反応容器５上流側に電圧を印加せず添加ガスを噴出
するガスノズル７を装備し、反応容器５下流側に添加ガ
スを噴出し、且つ電圧を印加する下流側印加ノズル電極
８を装備するといった簡単な構成により、反応容器５上
流側で不均一反応によりＳＯｘを除去すると共にエアロ
ゾル粒子を生成し、反応容器５下流側ではラジカル反応
と、エアロゾル粒子表面での不均一反応の重畳により、
エアロゾル粒子表面での不均一反応の重畳によって、従
来より極めて効率の良いＮＯｘ／Ｓ０ｘ処理装置を実現
することができる。また、パルス電圧を印加して放電空
間を形成するので、放電電力をラジカル生成に必要な電
子エネルギーへのみ消費することができ、放電空間の発
生効率を高めることができる。
【００３９】なお、請求項５に対応する第１の実施形態
の変形例として、パルス電圧のみを印加するのではな
く、あらかじめコロナ放電が発生しないＶ1 （図３に示
す）以下の直流のバイアス電圧Ｖ0 （図４に図示）を印
加しておき、Ｖd （図４に図示）のパルス電圧をスイッ
チングするように構成するものがある。このような例に
よれば、パルス発生のためのスイッチングを容易化する
ことができるので、スイッチの負荷を減少することがで
き、長寿命化を図ることが可能である。
の変形例として、パルス電圧のみを印加するのではな
く、あらかじめコロナ放電が発生しないＶ1 （図３に示
す）以下の直流のバイアス電圧Ｖ0 （図４に図示）を印
加しておき、Ｖd （図４に図示）のパルス電圧をスイッ
チングするように構成するものがある。このような例に
よれば、パルス発生のためのスイッチングを容易化する
ことができるので、スイッチの負荷を減少することがで
き、長寿命化を図ることが可能である。
【００４０】また、請求項６に対応する第１の実施形態
の変形例として、下流側印加ノズル電極８が噴出する添
加ガスとして、ＮＨ3 に代えて、より安価なハイドロカ
ーボン系ガスであるＣＨ4 を用いたものを示すことがで
きる。このような例では、上記の作用効果に加えて、処
理にかかるコストの低減化を図ることができるといった
メリットがある。
の変形例として、下流側印加ノズル電極８が噴出する添
加ガスとして、ＮＨ3 に代えて、より安価なハイドロカ
ーボン系ガスであるＣＨ4 を用いたものを示すことがで
きる。このような例では、上記の作用効果に加えて、処
理にかかるコストの低減化を図ることができるといった
メリットがある。
【００４１】［２］第２の実施形態…図５参照 （構成）第２の実施形態は請求項２を包含するものであ
り、反応容器５の下流側には上記下流側印加ノズル電極
８に代えて、電圧供給源６が接続された印加電極９が装
備されている。印加電極９は添加ガスを噴出しないよう
に構成されている。
り、反応容器５の下流側には上記下流側印加ノズル電極
８に代えて、電圧供給源６が接続された印加電極９が装
備されている。印加電極９は添加ガスを噴出しないよう
に構成されている。
【００４２】（作用効果）以上のような第２の実施形態
において、反応容器５上流側でのＳ０ｘ処理反応過程は
上述と同様であるが、反応容器５下流側では印加電極９
が添加ガスを噴出せずに電圧を印加するだけなので、前
記第１の実施形態と比較して添加ガスの噴出量を低減す
ることができる。したがって、第１の実施形態の作用効
果に加えて、添加ガスに要するコストを削減することが
できる。
において、反応容器５上流側でのＳ０ｘ処理反応過程は
上述と同様であるが、反応容器５下流側では印加電極９
が添加ガスを噴出せずに電圧を印加するだけなので、前
記第１の実施形態と比較して添加ガスの噴出量を低減す
ることができる。したがって、第１の実施形態の作用効
果に加えて、添加ガスに要するコストを削減することが
できる。
【００４３】［３］第３の実施形態…図６、図７参照 （構成）第３の実施形態は請求項７を包含するものであ
る。図６に示した実施形態では下流側印加ノズル電極
８，８が、図７に示した実施形態では印加電極９が、反
応容器５のほぼ中央と出口５ｂ寄りの２か所に配置され
ている。
る。図６に示した実施形態では下流側印加ノズル電極
８，８が、図７に示した実施形態では印加電極９が、反
応容器５のほぼ中央と出口５ｂ寄りの２か所に配置され
ている。
【００４４】（作用効果）このような実施形態において
は、電圧印加する電極数を多段化したため、電極１本当
たりの放電入力を抑制することができ、過剰な放電入力
を行わずに済む。したがって、ＮＯｘ処理に要する電力
効率を一層高めることができる。
は、電圧印加する電極数を多段化したため、電極１本当
たりの放電入力を抑制することができ、過剰な放電入力
を行わずに済む。したがって、ＮＯｘ処理に要する電力
効率を一層高めることができる。
【００４５】［４］第４の実施形態…図８参照 （構成）第４の実施形態は請求項８を包含するものであ
る。図８に示すように、反応容器５上流側には添加ガス
としてハイドロカーボン系ガスであるＣＨ4 を噴出し且
つ電圧を印加する上流側印加ノズル電極１０が装備され
ている。上流側印加ノズル電極１０には正極性の電圧を
印加する電圧供給源６が接続されている。また、反応容
器５下流側にはＳＯｘの除去処理を行う反応空間１１が
設けられている。
る。図８に示すように、反応容器５上流側には添加ガス
としてハイドロカーボン系ガスであるＣＨ4 を噴出し且
つ電圧を印加する上流側印加ノズル電極１０が装備され
ている。上流側印加ノズル電極１０には正極性の電圧を
印加する電圧供給源６が接続されている。また、反応容
器５下流側にはＳＯｘの除去処理を行う反応空間１１が
設けられている。
【００４６】（作用効果）第４の実施形態に係るＮＯｘ
／ＳＯｘ処理装置の作用は次の通りである。すなわち、
反応容器５上流側では上流側印加ノズル電極１０と平行
平板電極１との間にコロナ放電プラズマが発生し、放電
空間を形成する。このとき、電極１０近傍の電子エネル
ギーの高い放電空間に添加ガスであるＣＨ4 を導入する
ことで、電子衝突解離が起き、アンモニアラジカル（Ｎ
Ｈ、ＮＨ2 ）およびＮＨ3 を多量に生成することができ
る。そして、先の化学式３にて示したアンモニアラジカ
ル反応によりＮＯｘををＨ2 ０、Ｎ2 、ＨＮＯ2 に処理
する。さらに、ＨＮＯ2 はＮＨ3 存在下ではエアロゾル
化する。
／ＳＯｘ処理装置の作用は次の通りである。すなわち、
反応容器５上流側では上流側印加ノズル電極１０と平行
平板電極１との間にコロナ放電プラズマが発生し、放電
空間を形成する。このとき、電極１０近傍の電子エネル
ギーの高い放電空間に添加ガスであるＣＨ4 を導入する
ことで、電子衝突解離が起き、アンモニアラジカル（Ｎ
Ｈ、ＮＨ2 ）およびＮＨ3 を多量に生成することができ
る。そして、先の化学式３にて示したアンモニアラジカ
ル反応によりＮＯｘををＨ2 ０、Ｎ2 、ＨＮＯ2 に処理
する。さらに、ＨＮＯ2 はＮＨ3 存在下ではエアロゾル
化する。
【００４７】また、反応容器５上流側にて生成されたＮ
Ｈ3 は、反応容器５下流へＳ０ｘのみを含有した排ガス
流に乗って流され、反応空間１１に達する。ここでＳ０
ｘはＮＨ3 共存下での不均一反応（前述した化学式１参
照）によりエアロゾル粒子となり、反応容器５下流側の
反応空間１１にて除去処理を行うことができる。
Ｈ3 は、反応容器５下流へＳ０ｘのみを含有した排ガス
流に乗って流され、反応空間１１に達する。ここでＳ０
ｘはＮＨ3 共存下での不均一反応（前述した化学式１参
照）によりエアロゾル粒子となり、反応容器５下流側の
反応空間１１にて除去処理を行うことができる。
【００４８】［５］第５の実施形態…図９参照 （構成）第５の実施形態は請求項９を包含するものであ
る。図９に示すように、反応空間１１にアース電位電極
１２が装備されている点を特徴としている。
る。図９に示すように、反応空間１１にアース電位電極
１２が装備されている点を特徴としている。
【００４９】（作用効果）このような第５の実施形態に
おいて、反応容器５上流側ではＮ０ｘ処理反応が上記第
４の実施形態と同様のアンモニアラジカル反応が起き、
ＮＯｘが除去処理される。また、反応容器５下流側の反
応空間１１では不均一反応によりＳ０ｘがエアロゾル粒
子化され、除去処理される。このとき、反応空間１１に
はアース電位電極１２を設置しているため、エアロゾル
粒子がこの電極１２上に付着する。したがって、この効
果によりエアロゾル表面での不均一反応が重畳し、Ｓ０
ｘ処理反応をより一層促進することができる。
おいて、反応容器５上流側ではＮ０ｘ処理反応が上記第
４の実施形態と同様のアンモニアラジカル反応が起き、
ＮＯｘが除去処理される。また、反応容器５下流側の反
応空間１１では不均一反応によりＳ０ｘがエアロゾル粒
子化され、除去処理される。このとき、反応空間１１に
はアース電位電極１２を設置しているため、エアロゾル
粒子がこの電極１２上に付着する。したがって、この効
果によりエアロゾル表面での不均一反応が重畳し、Ｓ０
ｘ処理反応をより一層促進することができる。
【００５０】［６］他の実施形態 なお、本発明は以上のような実施形態に限定されるもの
ではなく、例えば、第２〜第５の実施形態において、電
圧を印加する電極への電圧印加法として、パルス電圧印
加を採用したものや、パルス電圧および直流電圧を印加
するものを組み合わせても良い。また、反応容器５上流
側の電圧を印加するノズル電極を多段にした実施形態
も、過剰な放電入力が抑制されＮＯｘ／Ｓ０ｘ処理効率
向上のため有効である。
ではなく、例えば、第２〜第５の実施形態において、電
圧を印加する電極への電圧印加法として、パルス電圧印
加を採用したものや、パルス電圧および直流電圧を印加
するものを組み合わせても良い。また、反応容器５上流
側の電圧を印加するノズル電極を多段にした実施形態
も、過剰な放電入力が抑制されＮＯｘ／Ｓ０ｘ処理効率
向上のため有効である。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
反応容器上流側に電圧を印加せず添加ガスを噴出するガ
スノズルを装備し、反応容器下流側に添加ガスを噴出し
かつ電圧を印加する下流側印加ノズル電極を装備すると
いった簡単な構成により、反応容器上流側で不均一反応
によりＳＯｘを除去すると共にエアロゾル粒子を生成
し、反応容器下流側ではラジカル反応と、反応容器上流
側で生成したエアロゾル粒子表面での不均一反応との重
畳によってＮＯｘを極めて効率良く除去処理することが
できる。
反応容器上流側に電圧を印加せず添加ガスを噴出するガ
スノズルを装備し、反応容器下流側に添加ガスを噴出し
かつ電圧を印加する下流側印加ノズル電極を装備すると
いった簡単な構成により、反応容器上流側で不均一反応
によりＳＯｘを除去すると共にエアロゾル粒子を生成
し、反応容器下流側ではラジカル反応と、反応容器上流
側で生成したエアロゾル粒子表面での不均一反応との重
畳によってＮＯｘを極めて効率良く除去処理することが
できる。
【図１】本発明の第１の実施形態の構成図。
【図２】電圧の立上り時間とパルス幅とを示す波形図。
【図３】印加電圧と放電電流の関係を示すグラフ。
【図４】直流のバイアス電圧とパルス電圧とを示す波形
図。
図。
【図５】本発明の第２の実施形態の構成図。
【図６】本発明の第３の実施形態の構成図（下流側印加
ノズル電極８，８が２か所の例）。
ノズル電極８，８が２か所の例）。
【図７】本発明の第３の実施形態の構成図（印加電極９
が２か所の例）。
が２か所の例）。
【図８】本発明の第４の実施形態の構成図。
【図９】本発明の第５の実施形態の構成図。
【図１０】従来のＮＯｘ／Ｓ０ｘ処理装置の構成図。
１…平行平板電極 ２…ノズル電極 ５…反応容器 ６…電圧供給源 ７…ガスノズル ８…下流側印加ノズル電極 ９…印加電極 １０…上流側印加ノズル電極 １１…反応空間 １２…アース電位電極
Claims (12)
- 【請求項１】 ＮＯｘおよびＳＯｘが含有される排ガス
を取込む反応容器を備え、この反応容器内で排ガス中の
ＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置
において、 前記反応容器上流側に、添加ガスを噴出し且つ電圧を印
加しないガスノズルを装備し、 前記反応容器下流側に、添加ガスを噴出し且つ電圧を印
加する下流側印加ノズル電極を装備することを特徴とす
るＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項２】 ＮＯｘおよびＳＯｘが含有される排ガス
を取込む反応容器を備え、この反応容器内で排ガス中の
ＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置
において、 前記反応容器上流側に、添加ガスを噴出し且つ電圧を印
加しないガスノズルを装備し、 前記反応容器下流側に、添加ガスを噴出せず且つ電圧を
印加する印加電極を装備することを特徴とするＮＯｘ／
ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項３】 前記反応容器下流側に装備された電極に
対して、パルス電圧を印加することを特徴とする請求項
１または２記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項４】 前記反応容器下流側に装備された電極に
対して、パルス電圧および直流電圧を印加することを特
徴とする請求項１または２記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装
置。 - 【請求項５】 前記ガスノズルおよび前記下流側印加ノ
ズル電極が噴出する添加ガスとしてＮＨ3 を用いること
を特徴とする請求項１、２、３または４記載のＮＯｘ／
ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項６】 前記ガスノズルが噴出する添加ガスとし
てＮＨ3 を使用し、前記下流側印加ノズル電極が噴出す
る添加ガスとしてハイドロカーボン系ガスであるＣｎＨ
ｍを使用することを特徴とする請求項１、２、３または
４記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項７】 前記反応容器下流側に装備された電極を
多段に配置することを特徴とする請求項１、２、３、
４、５または６記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項８】 ＮＯｘおよびＳＯｘが含有される排ガス
を取込む反応容器を備え、この反応容器内で排ガス中の
ＮＯｘおよびＳＯｘを処理するＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置
において、 前記反応容器上流側に、添加ガスとしてハイドロカーボ
ン系ガスであるＣｎＨｍを噴出し且つ電圧を印加する上
流側印加ノズル電極を装備し、 前記反応容器下流側に、ＳＯｘの除去処理を行う反応空
間を設けることを特徴とするＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項９】 前記反応空間にアース電位電極を装備す
ることを特徴とする請求項８記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理
装置。 - 【請求項１０】 前記上流側印加ノズル電極に対してパ
ルス電圧を印加することを特徴とする請求項８または９
記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項１１】 前記上流側印加ノズル電極に対してパ
ルス電圧および直流電圧を印加することを特徴とする請
求項８または９記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置。 - 【請求項１２】 前記上流側印加ノズル電極を多段に配
置することを特徴とする請求項８、９、１０または１１
記載のＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8164373A JPH105541A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | ＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8164373A JPH105541A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | ＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH105541A true JPH105541A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=15791910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8164373A Pending JPH105541A (ja) | 1996-06-25 | 1996-06-25 | ＮＯｘ／ＳＯｘ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH105541A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001170439A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-06-26 | Matsushita Electric Works Ltd | ガス分解装置 |
-
1996
- 1996-06-25 JP JP8164373A patent/JPH105541A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001170439A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-06-26 | Matsushita Electric Works Ltd | ガス分解装置 |
| JP4529209B2 (ja) * | 1999-12-22 | 2010-08-25 | パナソニック株式会社 | ガス分解装置 |
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