JP2001167484A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
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- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
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- G11B11/10589—Details
- G11B11/10593—Details for improving read-out properties, e.g. polarisation of light
Abstract
(57)【要約】
【課題】 媒体の再生層の放熱効果を高くし、媒体の温
度変化を急峻にすることで、再生特性を向上させた光磁
気記録媒体を提供する。 【解決手段】 光磁気記録媒体20は、光透過性基板1
1上に、誘電体層12、再生層13、放熱層14、記録
層15、誘電体層16、紫外線硬化樹脂17を順次形成
した断面構造を有する。放熱層14は再生層13に接し
ており、放熱層14の室温での熱伝導率は再生層13の
室温での熱伝導率よりも大きい。
度変化を急峻にすることで、再生特性を向上させた光磁
気記録媒体を提供する。 【解決手段】 光磁気記録媒体20は、光透過性基板1
1上に、誘電体層12、再生層13、放熱層14、記録
層15、誘電体層16、紫外線硬化樹脂17を順次形成
した断面構造を有する。放熱層14は再生層13に接し
ており、放熱層14の室温での熱伝導率は再生層13の
室温での熱伝導率よりも大きい。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光磁気記録媒体の放
熱構造および特性に関し、記録もしくは再生特性の向上
に関するものである。
熱構造および特性に関し、記録もしくは再生特性の向上
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光磁気記録媒体は書き換えが可能で、リ
ムーバブルで記録容量が大きく、また、信頼性の高い記
録媒体として注目されており、コンピュータメモリ等と
して実用化され始めている。また、最近では直径120
mmのディスクで記録容量が6Gバイトの光磁気記録媒
体がAS−MO(Advanced StorageM
agneto Optical disk)規格として
実用化されようとしている。かかる高密度な光磁気記録
媒体からの信号の再生は、レーザ光を照射することによ
って光磁気記録媒体の記録層の磁区を再生層に転写する
と共に、転写した磁区を検出するMSR(Magnet
ically Induced Super Reso
lution)法によって行なわれている。
ムーバブルで記録容量が大きく、また、信頼性の高い記
録媒体として注目されており、コンピュータメモリ等と
して実用化され始めている。また、最近では直径120
mmのディスクで記録容量が6Gバイトの光磁気記録媒
体がAS−MO(Advanced StorageM
agneto Optical disk)規格として
実用化されようとしている。かかる高密度な光磁気記録
媒体からの信号の再生は、レーザ光を照射することによ
って光磁気記録媒体の記録層の磁区を再生層に転写する
と共に、転写した磁区を検出するMSR(Magnet
ically Induced Super Reso
lution)法によって行なわれている。
【0003】さらに、再生時に交番磁界を印加し記録層
の磁区を再生層に拡大転写するといった磁区拡大再生技
術等も開発されており、14Gバイトの信号を記録もし
くは再生することができる光磁気記録媒体も提案されて
いる。また、光磁気記録媒体はレーザ光を照射すること
によって記録もしくは再生を行なうことから、その際に
発生する熱を拡散し、レーザスポットの焦点ぼけを起こ
さないことと、磁性層の酸化を防止することを目的とし
て、基板上に記録層と再生層を含む磁性層をスパッタし
た後でAl等の熱拡散層を付加することが行なわれてい
る。
の磁区を再生層に拡大転写するといった磁区拡大再生技
術等も開発されており、14Gバイトの信号を記録もし
くは再生することができる光磁気記録媒体も提案されて
いる。また、光磁気記録媒体はレーザ光を照射すること
によって記録もしくは再生を行なうことから、その際に
発生する熱を拡散し、レーザスポットの焦点ぼけを起こ
さないことと、磁性層の酸化を防止することを目的とし
て、基板上に記録層と再生層を含む磁性層をスパッタし
た後でAl等の熱拡散層を付加することが行なわれてい
る。
【0004】従来における静磁結合タイプの光磁気記録
媒体10の構造を図1に示して説明する。光透過性基板
1上にSiNからなる誘電体層2、GdFeCoからな
る再生層3、誘電体層4、TbFeCoからなる記録層
5、誘電体層6、Alからなる熱拡散層7が順次積層さ
れており、一般的に熱拡散層7の付加後には酸化防止と
傷などを防ぐために紫外線硬化樹脂等でコーティングし
ている。熱拡散層7は、再生層3および記録層5を含む
磁性層をスパッタした後で付加することで磁性層の酸化
を防止する役目も担うため、熱拡散層7は記録層5の
後、つまり基板1とは逆側に付加されていた。
媒体10の構造を図1に示して説明する。光透過性基板
1上にSiNからなる誘電体層2、GdFeCoからな
る再生層3、誘電体層4、TbFeCoからなる記録層
5、誘電体層6、Alからなる熱拡散層7が順次積層さ
れており、一般的に熱拡散層7の付加後には酸化防止と
傷などを防ぐために紫外線硬化樹脂等でコーティングし
ている。熱拡散層7は、再生層3および記録層5を含む
磁性層をスパッタした後で付加することで磁性層の酸化
を防止する役目も担うため、熱拡散層7は記録層5の
後、つまり基板1とは逆側に付加されていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、記録密度をよ
り高密度にするために照射するレーザの波長が短くなる
に従って、従来までの磁性層では再生に重要なカー回転
角が小さくなるなどの性能の劣化が現れ、再生が困難と
なる問題が新たに生じた。さらに、記録密度がより高密
度になることから、記録もしくは再生される1つ1つの
磁区は小さくなるため、レーザ光照射による媒体温度変
化をより急峻にする必要が生じた。
り高密度にするために照射するレーザの波長が短くなる
に従って、従来までの磁性層では再生に重要なカー回転
角が小さくなるなどの性能の劣化が現れ、再生が困難と
なる問題が新たに生じた。さらに、記録密度がより高密
度になることから、記録もしくは再生される1つ1つの
磁区は小さくなるため、レーザ光照射による媒体温度変
化をより急峻にする必要が生じた。
【0006】ところが、前記図1のような静磁結合タイ
プの光磁気記録媒体10においては、再生層3と記録層
5の間には再生層3よりも熱伝導率の低い誘電体層4が
存在しており、従来の光磁気記録媒体の構造では、再生
層3の放熱効果が低く、再生時の媒体の温度変化を急峻
にできなかった。そこで、本発明は再生層からも好適な
放熱効果が得られ、波長の短いレーザ光を用いて記録も
しくは再生が可能な光磁気記録媒体を提供するものであ
る。
プの光磁気記録媒体10においては、再生層3と記録層
5の間には再生層3よりも熱伝導率の低い誘電体層4が
存在しており、従来の光磁気記録媒体の構造では、再生
層3の放熱効果が低く、再生時の媒体の温度変化を急峻
にできなかった。そこで、本発明は再生層からも好適な
放熱効果が得られ、波長の短いレーザ光を用いて記録も
しくは再生が可能な光磁気記録媒体を提供するものであ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明は、光透過性基板上に少なくとも記録層と、該
記録層からの磁区が転写される再生層とを有する光磁気
記録媒体において、前記再生層及び記録層に接して、前
記記録層と再生層との交換結合を遮断する放熱層を有す
ることを特徴とする。
め本発明は、光透過性基板上に少なくとも記録層と、該
記録層からの磁区が転写される再生層とを有する光磁気
記録媒体において、前記再生層及び記録層に接して、前
記記録層と再生層との交換結合を遮断する放熱層を有す
ることを特徴とする。
【0008】また、本発明は、光透過性基板上に少なく
とも記録層と、該記録層からの磁区が転写される再生層
と、該再生層に転写された磁区が静磁結合によってさら
に転写される拡大再生層とを有する光磁気記録媒体にお
いて、前記再生層及び記録層に接して、前記記録層と再
生層との交換結合を遮断する放熱層を有することを特徴
とする。
とも記録層と、該記録層からの磁区が転写される再生層
と、該再生層に転写された磁区が静磁結合によってさら
に転写される拡大再生層とを有する光磁気記録媒体にお
いて、前記再生層及び記録層に接して、前記記録層と再
生層との交換結合を遮断する放熱層を有することを特徴
とする。
【0009】また、本発明は、光透過性基板上に少なく
とも記録層と、該記録層からの磁区が転写される再生層
とを有する光磁気記録媒体において、前記再生層に接す
る第1の放熱層及び前記記録層に接する第2の放熱層を
有することを特徴とする。また、本発明は、光透過性基
板上に少なくとも記録層と、該記録層からの磁区が転写
される再生層と、該再生層に転写された磁区が静磁結合
によってさらに転写される拡大再生層とを有する光磁気
記録媒体において、前記再生層に接する第1の放熱層及
び前記記録層に接する第2の放熱層を有することを特徴
とする。
とも記録層と、該記録層からの磁区が転写される再生層
とを有する光磁気記録媒体において、前記再生層に接す
る第1の放熱層及び前記記録層に接する第2の放熱層を
有することを特徴とする。また、本発明は、光透過性基
板上に少なくとも記録層と、該記録層からの磁区が転写
される再生層と、該再生層に転写された磁区が静磁結合
によってさらに転写される拡大再生層とを有する光磁気
記録媒体において、前記再生層に接する第1の放熱層及
び前記記録層に接する第2の放熱層を有することを特徴
とする。
【0010】また、本発明の光磁気記録媒体は、交換結
合を遮断することが可能な膜厚のうち最低限必要な膜厚
をTexとし、前記再生層を構成する材料の中で、室温
で最も高い熱伝導率を有する材料の熱伝導率をPcと
し、前記放熱層に用いる材料の室温での熱伝導率をpと
し、前記放熱層の膜厚をtとした時に、Pc*Tex/
(p*t)で表される熱拡散係数が1以下であることを
特徴とする。
合を遮断することが可能な膜厚のうち最低限必要な膜厚
をTexとし、前記再生層を構成する材料の中で、室温
で最も高い熱伝導率を有する材料の熱伝導率をPcと
し、前記放熱層に用いる材料の室温での熱伝導率をpと
し、前記放熱層の膜厚をtとした時に、Pc*Tex/
(p*t)で表される熱拡散係数が1以下であることを
特徴とする。
【0011】また、本発明の光磁気記録媒体は、前記放
熱層が非磁性であることを特徴とする。また、本発明の
光磁気記録媒体は、前記放熱層が磁性体から成ることを
特徴とする。
熱層が非磁性であることを特徴とする。また、本発明の
光磁気記録媒体は、前記放熱層が磁性体から成ることを
特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。図2は、本願発明に係る
光磁気記録媒体20の断面構造図である。光磁気記録媒
体20は、光透過性基板11と該光透過性基板11上に
形成された誘電体層12と、該誘電体層12上に形成さ
れた再生層13と、該再生層13上に形成された放熱層
14と、該放熱層14上に形成された記録層15と、該
記録層15上に形成された誘電体層16とを備えてい
る。また、前記誘電体層16積層後には紫外線硬化樹脂
17をコートしてある。
実施の形態について説明する。図2は、本願発明に係る
光磁気記録媒体20の断面構造図である。光磁気記録媒
体20は、光透過性基板11と該光透過性基板11上に
形成された誘電体層12と、該誘電体層12上に形成さ
れた再生層13と、該再生層13上に形成された放熱層
14と、該放熱層14上に形成された記録層15と、該
記録層15上に形成された誘電体層16とを備えてい
る。また、前記誘電体層16積層後には紫外線硬化樹脂
17をコートしてある。
【0013】前記光透過性基板11は、ガラス,ポリカ
ーボネート(PC),アモルファスポリオレフィン(A
PO),アクリル等の透光性材料から成り、基板表面に
はランドおよびグルーブが形成されている。また、誘電
体層12はSiNから成り、前記再生層13はGdFe
Coから成る。放熱層14は非磁性であるAlなどから
成り、記録層15はTbFeCoから成る。さらに、誘
電体層16はSiNから成る。
ーボネート(PC),アモルファスポリオレフィン(A
PO),アクリル等の透光性材料から成り、基板表面に
はランドおよびグルーブが形成されている。また、誘電
体層12はSiNから成り、前記再生層13はGdFe
Coから成る。放熱層14は非磁性であるAlなどから
成り、記録層15はTbFeCoから成る。さらに、誘
電体層16はSiNから成る。
【0014】誘電体層12は、光透過性基板11上にG
dFeCo等の磁性層を直接形成すると磁性層の品質が
劣化するのでこれを防ぐためと、照射されるレーザ光の
波長に好適な厚さにすることでエンハンス効果が得られ
再生特性を向上させるために形成される。再生層13を
構成するGdFeCoは、室温で面内磁化膜であり、レ
ーザ光が照射され、150℃以上に昇温されると垂直磁
化膜になる。
dFeCo等の磁性層を直接形成すると磁性層の品質が
劣化するのでこれを防ぐためと、照射されるレーザ光の
波長に好適な厚さにすることでエンハンス効果が得られ
再生特性を向上させるために形成される。再生層13を
構成するGdFeCoは、室温で面内磁化膜であり、レ
ーザ光が照射され、150℃以上に昇温されると垂直磁
化膜になる。
【0015】放熱層14を構成するAlは非磁性であ
り、記録層15と再生層13の交換結合を切断する。記
録層15を構成するTbFeCoは、室温で垂直磁化膜
である。誘電体層16は、記録層15を含む磁性層を保
護するために設けられている。また、紫外線硬化樹脂1
7は、光磁気記録媒体20に含まれる磁性層および金属
層等の酸化などの特性劣化や傷から守るためにコートさ
れている。
り、記録層15と再生層13の交換結合を切断する。記
録層15を構成するTbFeCoは、室温で垂直磁化膜
である。誘電体層16は、記録層15を含む磁性層を保
護するために設けられている。また、紫外線硬化樹脂1
7は、光磁気記録媒体20に含まれる磁性層および金属
層等の酸化などの特性劣化や傷から守るためにコートさ
れている。
【0016】光磁気記録媒体20に用いられる各材料の
室温での熱伝導率は、SiNが4.8[W/m・K]、
Gdが14[W/m・K]、Feが83.5[W/m・
K]、Coが100[W/m・K]、Alが235[W
/m・K]、Tbが13[W/m・K]である。よっ
て、GdFeCoよりなる再生層13およびTbFeC
oよりなる記録層15の室温での熱伝導率がCoの熱伝
導率100[W/m・K]よりも大きくなることはな
く、Alであれば十分な放熱効果が得られる。また、再
生層13および記録層15より熱伝導率が極めて小さい
SiNが接している場合は、SiN方向への放熱効果は
著しく小さい。
室温での熱伝導率は、SiNが4.8[W/m・K]、
Gdが14[W/m・K]、Feが83.5[W/m・
K]、Coが100[W/m・K]、Alが235[W
/m・K]、Tbが13[W/m・K]である。よっ
て、GdFeCoよりなる再生層13およびTbFeC
oよりなる記録層15の室温での熱伝導率がCoの熱伝
導率100[W/m・K]よりも大きくなることはな
く、Alであれば十分な放熱効果が得られる。また、再
生層13および記録層15より熱伝導率が極めて小さい
SiNが接している場合は、SiN方向への放熱効果は
著しく小さい。
【0017】補足すると、再生層13に接して積層する
放熱層14の材料が、再生層13を構成する材料の中で
最も熱伝導率が高い材料よりも高い熱伝導率を有する材
料であれば、膜面内方向よりも膜垂直方向への放熱効果
を得ることができる。よって、再生層13がGdFeC
oで構成される場合、この中で一番熱伝導率が高いのは
Coであり、再生層13の熱伝導率はCoの熱伝導率1
00[W/m・K]を超えることはなく、放熱層14は
このCoの熱伝導率100[W/m・K]よりも高い熱
伝導率を有する材料であれば良い。
放熱層14の材料が、再生層13を構成する材料の中で
最も熱伝導率が高い材料よりも高い熱伝導率を有する材
料であれば、膜面内方向よりも膜垂直方向への放熱効果
を得ることができる。よって、再生層13がGdFeC
oで構成される場合、この中で一番熱伝導率が高いのは
Coであり、再生層13の熱伝導率はCoの熱伝導率1
00[W/m・K]を超えることはなく、放熱層14は
このCoの熱伝導率100[W/m・K]よりも高い熱
伝導率を有する材料であれば良い。
【0018】また、再生層にはさまざまな材料が使われ
るが、熱伝導率を考える場合、数%添加した材料の依存
度は非常に小さく、構成する材料として有効と考えるの
は少なくとも10%以上の場合である。このことから、
再生時に再生層13に再生層13よりも熱伝導率の高い
放熱層14を隣接して積層することによって、レーザ光
照射によって再生層13に生じた熱は膜面方向よりも放
熱層14のある膜法線方向に吸収され、再生層13の温
度変化を急峻にすることが可能となり再生特性を向上す
ることができる。
るが、熱伝導率を考える場合、数%添加した材料の依存
度は非常に小さく、構成する材料として有効と考えるの
は少なくとも10%以上の場合である。このことから、
再生時に再生層13に再生層13よりも熱伝導率の高い
放熱層14を隣接して積層することによって、レーザ光
照射によって再生層13に生じた熱は膜面方向よりも放
熱層14のある膜法線方向に吸収され、再生層13の温
度変化を急峻にすることが可能となり再生特性を向上す
ることができる。
【0019】ところで、特開平11−162028号公
報には、再生層と記録層の間に反射層としてAlやAg
からなる金属層を入れることが開示されているが、これ
は、再生時のレーザ光を反射層で反射せしめることを目
的としており、熱伝導率などは全く考慮されておらず、
またエンハンス効果を高める目的で、再生層と反射層の
間に熱伝導率の低い誘電体層を挿入しており、本願とは
目的及び作用・効果が全く異なっている。
報には、再生層と記録層の間に反射層としてAlやAg
からなる金属層を入れることが開示されているが、これ
は、再生時のレーザ光を反射層で反射せしめることを目
的としており、熱伝導率などは全く考慮されておらず、
またエンハンス効果を高める目的で、再生層と反射層の
間に熱伝導率の低い誘電体層を挿入しており、本願とは
目的及び作用・効果が全く異なっている。
【0020】また、熱伝導率の高い放熱層14に記録層
15が隣接して積層することによって、再生時にレーザ
光照射によって生じた熱は放熱層14に吸収されやす
く、記録層15に書かれた情報を劣化させないように
し、記録時は記録層15の温度変化を急峻にし、記録特
性を向上することができる。放熱層14は再生時および
記録時の両方の放熱層として機能するため、構造が複雑
でなく、作製工程を単純にできる効果もある。
15が隣接して積層することによって、再生時にレーザ
光照射によって生じた熱は放熱層14に吸収されやす
く、記録層15に書かれた情報を劣化させないように
し、記録時は記録層15の温度変化を急峻にし、記録特
性を向上することができる。放熱層14は再生時および
記録時の両方の放熱層として機能するため、構造が複雑
でなく、作製工程を単純にできる効果もある。
【0021】さらに、放熱層14を再生層13と記録層
15の間に挿入すると、放熱層14の材料が再生温度付
近で磁性持たない場合は、放熱効果とともに再生層13
と記録層15の交換結合を遮断する役目も持つことがで
き、放熱層14が透光性の材料から構成されていれば、
放熱効果と共に、再生時のエンハンス効果も得ることが
できる。
15の間に挿入すると、放熱層14の材料が再生温度付
近で磁性持たない場合は、放熱効果とともに再生層13
と記録層15の交換結合を遮断する役目も持つことがで
き、放熱層14が透光性の材料から構成されていれば、
放熱効果と共に、再生時のエンハンス効果も得ることが
できる。
【0022】次に、本願発明の光磁気記録媒体の温度上
昇について図3を用いて説明する。一般にレーザ光はガ
ウス分布で表される強度分布を示し、このような強度分
布を持つレーザ光が図1に示した従来の光磁気記録媒体
10に照射されると、図3(a)のように温度が上昇
し、W1の領域が150℃以上に昇温される。即ち、再
生層3はW1の範囲において垂直磁化膜となる。
昇について図3を用いて説明する。一般にレーザ光はガ
ウス分布で表される強度分布を示し、このような強度分
布を持つレーザ光が図1に示した従来の光磁気記録媒体
10に照射されると、図3(a)のように温度が上昇
し、W1の領域が150℃以上に昇温される。即ち、再
生層3はW1の範囲において垂直磁化膜となる。
【0023】しかし、図3(b)に示すように、同じ強
度分布を持つレーザ光を図2に示した本願発明の光磁気
記録媒体20に照射すると、放熱層14の効果のため、
温度の上昇と下降が急峻になり、150℃以上に昇温さ
れる領域W2はW1に比べて狭くなる。即ち、再生層1
3はW2の範囲において垂直磁化膜となり、従来の光磁
気記録媒体10に比べて再生層のより狭い領域で転写さ
れた磁区を読み出すことが可能となり、記録密度を高密
度にした場合の再生特性を向上させることができる。
度分布を持つレーザ光を図2に示した本願発明の光磁気
記録媒体20に照射すると、放熱層14の効果のため、
温度の上昇と下降が急峻になり、150℃以上に昇温さ
れる領域W2はW1に比べて狭くなる。即ち、再生層1
3はW2の範囲において垂直磁化膜となり、従来の光磁
気記録媒体10に比べて再生層のより狭い領域で転写さ
れた磁区を読み出すことが可能となり、記録密度を高密
度にした場合の再生特性を向上させることができる。
【0024】前記誘電体層12,再生層13,放熱層1
4,記録層15,誘電体層16はいずれもスパッタリン
グ法によって形成され、各層の膜厚は、誘電体層12が
200〜1000Åの範囲であり、再生層13が100
〜1000Åの範囲であり、記録層15が200〜20
00Åの範囲であり、誘電体層16が50〜1000Å
の範囲であり、放熱層14の膜厚は交換結合が遮断され
且つ記録層15からの漏れ磁界が再生層13へ届く範囲
であれば良い。典型的には、誘電体層12が400Åで
あり、再生層13が500Åであり、放熱層14が20
0Åであり、記録層15が600Åであり、誘電体層1
6が700Åである。また、紫外線硬化樹脂17はスピ
ンコートによって塗布され、厚さは約10μmである。
4,記録層15,誘電体層16はいずれもスパッタリン
グ法によって形成され、各層の膜厚は、誘電体層12が
200〜1000Åの範囲であり、再生層13が100
〜1000Åの範囲であり、記録層15が200〜20
00Åの範囲であり、誘電体層16が50〜1000Å
の範囲であり、放熱層14の膜厚は交換結合が遮断され
且つ記録層15からの漏れ磁界が再生層13へ届く範囲
であれば良い。典型的には、誘電体層12が400Åで
あり、再生層13が500Åであり、放熱層14が20
0Åであり、記録層15が600Åであり、誘電体層1
6が700Åである。また、紫外線硬化樹脂17はスピ
ンコートによって塗布され、厚さは約10μmである。
【0025】尚、誘電体層12を構成するSiN、再生
層13を構成するGdFeCo、記録層を構成するTb
FeCo、および誘電体層16を構成するSiNは周知
の条件で形成することができる。続いて、図4を参照し
て放熱層14であるAlの形成条件について説明する。
前述のように、放熱層14であるAlはスパッタリング
法によって形成されるが、ここでターゲットはAlであ
り、スパッタガスとしてのAr流量は40〜80scc
mの範囲であり、典型的には60sccmである。ま
た、反応圧力は0.4〜1.33Paの範囲であり、典
型的には0.93Paである。また、投入パワーは0.
5〜2.5W/cm2の範囲であり、典型的には1.1
3W/cm2である。また、積層時の基板温度は20〜
80℃の範囲であり、典型的には60℃である。
層13を構成するGdFeCo、記録層を構成するTb
FeCo、および誘電体層16を構成するSiNは周知
の条件で形成することができる。続いて、図4を参照し
て放熱層14であるAlの形成条件について説明する。
前述のように、放熱層14であるAlはスパッタリング
法によって形成されるが、ここでターゲットはAlであ
り、スパッタガスとしてのAr流量は40〜80scc
mの範囲であり、典型的には60sccmである。ま
た、反応圧力は0.4〜1.33Paの範囲であり、典
型的には0.93Paである。また、投入パワーは0.
5〜2.5W/cm2の範囲であり、典型的には1.1
3W/cm2である。また、積層時の基板温度は20〜
80℃の範囲であり、典型的には60℃である。
【0026】尚、放熱層14を含む各層をスパッタ形成
する際には、膜の均一性を保つために基板を自転させな
がら、20〜50rpmの範囲で、典型的には33rp
mで公転させている。また、放熱層14に用いる材料は
Alに限定されるものではなく、再生層13および記録
層15の熱伝導率よりも大きいものであればよく、Co
の室温での熱伝導率100[W/m・K]よりも高いこ
とが望ましい。これは放熱層14の接している再生層1
3がGdFeCoであり、記録層15がTbFeCoで
あるので、これらを構成する材料の熱伝導率のなかで最
も高いのはCoであるためである。そのため、Alに変
わる具体的な材料として室温の熱伝導率119[W/m
・K]であるZn、同170[W/m・K]であるW、
同153[W/m・K]であるMg、同220[W/m
・K]であるBe、同401[W/m・K]であるC
u、同318[W/m・K]であるAu、同428[W
/m・K]であるAg、そのほか、AlとAlを含むこ
れらの内、少なくとも1つを使った合金などで良い。
する際には、膜の均一性を保つために基板を自転させな
がら、20〜50rpmの範囲で、典型的には33rp
mで公転させている。また、放熱層14に用いる材料は
Alに限定されるものではなく、再生層13および記録
層15の熱伝導率よりも大きいものであればよく、Co
の室温での熱伝導率100[W/m・K]よりも高いこ
とが望ましい。これは放熱層14の接している再生層1
3がGdFeCoであり、記録層15がTbFeCoで
あるので、これらを構成する材料の熱伝導率のなかで最
も高いのはCoであるためである。そのため、Alに変
わる具体的な材料として室温の熱伝導率119[W/m
・K]であるZn、同170[W/m・K]であるW、
同153[W/m・K]であるMg、同220[W/m
・K]であるBe、同401[W/m・K]であるC
u、同318[W/m・K]であるAu、同428[W
/m・K]であるAg、そのほか、AlとAlを含むこ
れらの内、少なくとも1つを使った合金などで良い。
【0027】また、放熱層14は、金属膜に限定される
ものではなく、グラファイトやSiといった非金属でも
よく、再生層13よりも熱伝導率の高い材料であればよ
い。Siなどの透光性材料であれば、放熱効果を有しつ
つ、再生時にエンハンス効果を得ることも可能である。
本実施例では、放熱層14の材料としてAlを膜厚20
0Åで形成しているが、放熱層14は熱伝導率が再生層
13よりも高い材料を用いればよく、Alよりも熱伝導
率が高い材料を用いた場合には、膜厚を薄くしても同等
の放熱効果を得ることが可能となる。但し、放熱層14
の膜厚を薄くする場合、再生層13と記録層15の交換
結合を遮断することができるだけの膜厚は必要である。
このことから、放熱層14には、交換結合を遮断するこ
とが可能な膜厚Tex(=20Å)、もしくはそれ以上
の膜厚と、さらに放熱層14の室温での熱伝導率pが再
生層13の熱伝導率Pcよりも高いことが必要である。
ものではなく、グラファイトやSiといった非金属でも
よく、再生層13よりも熱伝導率の高い材料であればよ
い。Siなどの透光性材料であれば、放熱効果を有しつ
つ、再生時にエンハンス効果を得ることも可能である。
本実施例では、放熱層14の材料としてAlを膜厚20
0Åで形成しているが、放熱層14は熱伝導率が再生層
13よりも高い材料を用いればよく、Alよりも熱伝導
率が高い材料を用いた場合には、膜厚を薄くしても同等
の放熱効果を得ることが可能となる。但し、放熱層14
の膜厚を薄くする場合、再生層13と記録層15の交換
結合を遮断することができるだけの膜厚は必要である。
このことから、放熱層14には、交換結合を遮断するこ
とが可能な膜厚Tex(=20Å)、もしくはそれ以上
の膜厚と、さらに放熱層14の室温での熱伝導率pが再
生層13の熱伝導率Pcよりも高いことが必要である。
【0028】ここで、再生層13の熱伝導率Pcは、再
生層13を構成する材料の熱伝導率の内で最も高い材料
の熱伝導率を適用し、また、放熱層14に用いる材料の
室温での熱伝導率をp[W/m・K]、その膜厚をt
[Å]とした場合、Pc×Tex/(p×t)で表され
る熱拡散係数が1以下であればよい。但し、このときt
>20Åである。
生層13を構成する材料の熱伝導率の内で最も高い材料
の熱伝導率を適用し、また、放熱層14に用いる材料の
室温での熱伝導率をp[W/m・K]、その膜厚をt
[Å]とした場合、Pc×Tex/(p×t)で表され
る熱拡散係数が1以下であればよい。但し、このときt
>20Åである。
【0029】本願発明に係る光磁気記録媒体20の再生
層13の材料はGdFeCoに限定されるものではな
く、GdFeCoに[Nd,Pr,Pt,Pd]の少な
くとも一種類の元素を含む合金、もしくはCo/Pt等
の遷移金属/貴金属の積層膜であっても良い。これらの
材料で構成される再生層を用いれば短波長のレーザ光を
用いた場合、具体的には波長400nmのレーザ光を用
いた場合に、読み出しに必要なカー回転角が大きく、再
生特性を向上させることができる。
層13の材料はGdFeCoに限定されるものではな
く、GdFeCoに[Nd,Pr,Pt,Pd]の少な
くとも一種類の元素を含む合金、もしくはCo/Pt等
の遷移金属/貴金属の積層膜であっても良い。これらの
材料で構成される再生層を用いれば短波長のレーザ光を
用いた場合、具体的には波長400nmのレーザ光を用
いた場合に、読み出しに必要なカー回転角が大きく、再
生特性を向上させることができる。
【0030】また、本願発明に係る光磁気記録媒体の断
面構造は、前記図2に示すものに限定されるものではな
く、図2の放熱層14と記録層15の間に誘電体層12
0が挿入された図5に示す断面構造であっても良い。誘
電体層120が挿入されたことによって、誘電体層12
0によって記録層15と再生層13の交換結合を遮断す
ることができ、熱伝導率の高い材料を放熱層14に用い
た場合に放熱層の膜厚を薄くすることが可能で、再生時
に誘電体層120のエンハンス効果を得ることが可能に
なり、再生特性がさらに向上する。
面構造は、前記図2に示すものに限定されるものではな
く、図2の放熱層14と記録層15の間に誘電体層12
0が挿入された図5に示す断面構造であっても良い。誘
電体層120が挿入されたことによって、誘電体層12
0によって記録層15と再生層13の交換結合を遮断す
ることができ、熱伝導率の高い材料を放熱層14に用い
た場合に放熱層の膜厚を薄くすることが可能で、再生時
に誘電体層120のエンハンス効果を得ることが可能に
なり、再生特性がさらに向上する。
【0031】また、誘電体層120が挿入されたことに
よって、記録層15の放熱効果が失われるため、第2の
放熱層140を挿入して、記録時の放熱を行うようにす
ることが最良である。誘電体層120は、具体的にはS
iN、第2の放熱層140はAgであって良い。
よって、記録層15の放熱効果が失われるため、第2の
放熱層140を挿入して、記録時の放熱を行うようにす
ることが最良である。誘電体層120は、具体的にはS
iN、第2の放熱層140はAgであって良い。
【0032】また、放熱層14は必ずしも非磁性である
必要はなく、再生層13よりも熱伝導率が高く、記録層
15から磁区を再生層13に転写せしめる時に、交換結
合を遮断し、静磁結合によって転写するものであっても
よい。具体的に光磁気記録媒体210の断面構造を図6
に示す。光磁気記録媒体210は再生層13に接して放
熱層141が形成されており、放熱層141に接して非
磁性層121が形成され、非磁性層121に接して記録
層15が形成されている。
必要はなく、再生層13よりも熱伝導率が高く、記録層
15から磁区を再生層13に転写せしめる時に、交換結
合を遮断し、静磁結合によって転写するものであっても
よい。具体的に光磁気記録媒体210の断面構造を図6
に示す。光磁気記録媒体210は再生層13に接して放
熱層141が形成されており、放熱層141に接して非
磁性層121が形成され、非磁性層121に接して記録
層15が形成されている。
【0033】放熱層141は再生層13よりも熱伝導率
が高く、磁性膜であり、具体的にはCoPt合金であ
る。放熱層141の磁気特性は面内であって、磁化がな
くなるキュリー温度が140℃であり、そのため、14
0℃まで記録層15からの漏れ磁界をマスクすることが
でき、再生特性をより向上できる。非磁性層121は放
熱層141と記録層15との交換結合を遮断するために
形成しているため、磁性をもたないAl,SiNのいず
れかで良い。
が高く、磁性膜であり、具体的にはCoPt合金であ
る。放熱層141の磁気特性は面内であって、磁化がな
くなるキュリー温度が140℃であり、そのため、14
0℃まで記録層15からの漏れ磁界をマスクすることが
でき、再生特性をより向上できる。非磁性層121は放
熱層141と記録層15との交換結合を遮断するために
形成しているため、磁性をもたないAl,SiNのいず
れかで良い。
【0034】この例では、記録層15と放熱層141の
間に非磁性層121を挿入しているが、再生温度以下に
おいて再生層13が記録層15からの影響を受けないの
であれば非磁性層121はなくても良い。非磁性層12
1が存在しない場合は、放熱層141によって再生層1
3と記録層15の交換結合を遮断すればよい。また、放
熱層141は必ずしも再生層13と記録層15の間にな
ければならない必要はなく、再生層13に接して、基板
11側にあってもよい。その場合、放熱層141は再生
層13よりも熱伝導率が高く、記録層15から磁区が転
写される150℃において垂直磁化膜になる磁性膜であ
ればよく、具体的にはCoPt合金もしくはCo/Pt
積層膜であることが好ましい。Co/Pt積層膜の場合
は、熱伝導率の高いPtが再生層14に接している方
が、膜垂直方向への放熱効果が高くなり、より好まし
い。また、CoPt合金やCo/Pt積層膜は青色レー
ザ等の短波長のレーザを用いた場合のカー回転角が大き
く、再生特性が向上する。
間に非磁性層121を挿入しているが、再生温度以下に
おいて再生層13が記録層15からの影響を受けないの
であれば非磁性層121はなくても良い。非磁性層12
1が存在しない場合は、放熱層141によって再生層1
3と記録層15の交換結合を遮断すればよい。また、放
熱層141は必ずしも再生層13と記録層15の間にな
ければならない必要はなく、再生層13に接して、基板
11側にあってもよい。その場合、放熱層141は再生
層13よりも熱伝導率が高く、記録層15から磁区が転
写される150℃において垂直磁化膜になる磁性膜であ
ればよく、具体的にはCoPt合金もしくはCo/Pt
積層膜であることが好ましい。Co/Pt積層膜の場合
は、熱伝導率の高いPtが再生層14に接している方
が、膜垂直方向への放熱効果が高くなり、より好まし
い。また、CoPt合金やCo/Pt積層膜は青色レー
ザ等の短波長のレーザを用いた場合のカー回転角が大き
く、再生特性が向上する。
【0035】本願発明に係る光磁気記録媒体は、MSR
法によって信号再生を行う光磁気記録媒体のみならず、
磁区拡大によって信号再生を行う光磁気記録媒体として
も使用可能である。その場合の再生層13には拡大再生
層を用いるか、もしくは、MSR再生可能な再生層13
上に非磁性層を介して、拡大再生層を新たに設けた図7
の光磁気記録媒体300のような断面構造であってもよ
い。
法によって信号再生を行う光磁気記録媒体のみならず、
磁区拡大によって信号再生を行う光磁気記録媒体として
も使用可能である。その場合の再生層13には拡大再生
層を用いるか、もしくは、MSR再生可能な再生層13
上に非磁性層を介して、拡大再生層を新たに設けた図7
の光磁気記録媒体300のような断面構造であってもよ
い。
【0036】即ち、光磁気記録媒体300は基板11上
に誘電体層12が形成され、誘電体層12上に拡大再生
層130が形成されており、拡大再生層130上に誘電
体層220が形成され、誘電体層220上に再生層13
が形成され、再生層13上に放熱層14が形成され、放
熱層14上には記録層15が形成され、記録層15上に
は誘電体層16が形成され、誘電体層16上には紫外線
硬化樹脂17が硬化されている断面構造を有している。
に誘電体層12が形成され、誘電体層12上に拡大再生
層130が形成されており、拡大再生層130上に誘電
体層220が形成され、誘電体層220上に再生層13
が形成され、再生層13上に放熱層14が形成され、放
熱層14上には記録層15が形成され、記録層15上に
は誘電体層16が形成され、誘電体層16上には紫外線
硬化樹脂17が硬化されている断面構造を有している。
【0037】拡大再生層130は、具体的にはGdFe
Coから成り、誘電体層220はSiNから成る。熱伝
導率は誘電体層220に比べて拡大再生層130の方が
大きい。次に光磁気記録媒体300の放熱を図8の模式
図を使って説明する。拡大再生層130は誘電体層22
0の熱伝導率に比べて大きいため、光磁気記録媒体30
0に照射されたレーザ光による熱は拡大再生層130に
膜面内方向に拡散され、再生層13に伝わった熱は放熱
層14に拡散され、領域1301、1302が150℃
以上に昇温され、磁区が転写されやすくなる。即ち、領
域1301の方が領域1302よりも広く昇温されるた
め、記録層15の磁化1501を持つ磁区1500は領
域1302に磁化1502を持つ磁区として転写され、
さらに領域1301の磁化1503を持つ磁区に拡大転
写される。よって、記録層15に記録された情報を拡大
再生層130に拡大して再生することが可能になり、再
生特性を向上させることができる。また、拡大された磁
区1503に交番磁界を印加することによってさらに再
生特性を向上させることが可能である。
Coから成り、誘電体層220はSiNから成る。熱伝
導率は誘電体層220に比べて拡大再生層130の方が
大きい。次に光磁気記録媒体300の放熱を図8の模式
図を使って説明する。拡大再生層130は誘電体層22
0の熱伝導率に比べて大きいため、光磁気記録媒体30
0に照射されたレーザ光による熱は拡大再生層130に
膜面内方向に拡散され、再生層13に伝わった熱は放熱
層14に拡散され、領域1301、1302が150℃
以上に昇温され、磁区が転写されやすくなる。即ち、領
域1301の方が領域1302よりも広く昇温されるた
め、記録層15の磁化1501を持つ磁区1500は領
域1302に磁化1502を持つ磁区として転写され、
さらに領域1301の磁化1503を持つ磁区に拡大転
写される。よって、記録層15に記録された情報を拡大
再生層130に拡大して再生することが可能になり、再
生特性を向上させることができる。また、拡大された磁
区1503に交番磁界を印加することによってさらに再
生特性を向上させることが可能である。
【0038】この例で、再生時には再生層13は記録層
15の磁区を正確に転写し、さらに拡大再生層130に
渡す役割をし、実際の再生信号を読み出すのは拡大再生
層130になる。つまり、拡大再生層130の上に誘電
体層220を積層し、再生層13に放熱構造が付加され
た状態で積層されていれば、拡大再生層130に記録層
15の磁区をより正確に転写する転写層の役目をし、転
写された磁区をもう一度拡大再生層に転写することで再
生することが可能となり、放熱層14の効果によって記
録層15の磁区よりも拡大して再生することによって再
生特性が向上する。
15の磁区を正確に転写し、さらに拡大再生層130に
渡す役割をし、実際の再生信号を読み出すのは拡大再生
層130になる。つまり、拡大再生層130の上に誘電
体層220を積層し、再生層13に放熱構造が付加され
た状態で積層されていれば、拡大再生層130に記録層
15の磁区をより正確に転写する転写層の役目をし、転
写された磁区をもう一度拡大再生層に転写することで再
生することが可能となり、放熱層14の効果によって記
録層15の磁区よりも拡大して再生することによって再
生特性が向上する。
【0039】
【発明の効果】以上、詳述した如く本発明に依れば、再
生層から効果的に放熱することができ、再生時の再生層
の温度変化を急峻にすることが可能になり、そのこと
で、より小さい磁区を読み出すことが可能になり、波長
の短いレーザ光を用いた再生において、再生特性を向上
することができる。
生層から効果的に放熱することができ、再生時の再生層
の温度変化を急峻にすることが可能になり、そのこと
で、より小さい磁区を読み出すことが可能になり、波長
の短いレーザ光を用いた再生において、再生特性を向上
することができる。
【0040】また、本発明に依れば、放熱層の熱伝導率
を再生層の熱伝導率よりも大きくすることで、熱を膜法
線方向に放熱しやすい構造にし、膜面内方向への熱の拡
散を少なくすることができ、再生時の再生層の温度変化
を急峻にすることが可能になり、そのことで、より小さ
い磁区を読み出すことが可能になり、波長の短いレーザ
光を用いた再生において、再生特性を向上することがで
きる。
を再生層の熱伝導率よりも大きくすることで、熱を膜法
線方向に放熱しやすい構造にし、膜面内方向への熱の拡
散を少なくすることができ、再生時の再生層の温度変化
を急峻にすることが可能になり、そのことで、より小さ
い磁区を読み出すことが可能になり、波長の短いレーザ
光を用いた再生において、再生特性を向上することがで
きる。
【0041】また、放熱層が再生層と記録層の両方に接
していることから、再生層と記録層の両方の放熱が可能
となり、構造が簡単で、再生時の再生層の温度変化を急
峻にすることが可能になり、そのことで、より小さい磁
区を読み出すことが可能になり、波長の短いレーザ光を
用いた再生において、再生特性を向上することができ
る。
していることから、再生層と記録層の両方の放熱が可能
となり、構造が簡単で、再生時の再生層の温度変化を急
峻にすることが可能になり、そのことで、より小さい磁
区を読み出すことが可能になり、波長の短いレーザ光を
用いた再生において、再生特性を向上することができ
る。
【0042】また、記録時には記録層の温度変化を急峻
にすることが可能となり、記録特性も向上することがで
きる。さらに、放熱層が記録層と再生層の交換結合を遮
断する役目も持つことができる。
にすることが可能となり、記録特性も向上することがで
きる。さらに、放熱層が記録層と再生層の交換結合を遮
断する役目も持つことができる。
【図1】従来の光磁気記録媒体の断面構造図である。
【図2】本願発明に係る光磁気記録媒体の断面構造図で
ある。
ある。
【図3】レーザ強度分布と、150℃以上に昇温される
領域の関係を示す図である。
領域の関係を示す図である。
【図4】図2に示す光磁気記録媒体の放熱層の形成条件
である。
である。
【図5】本願発明に係る光磁気記録媒体の他の断面構造
図である。
図である。
【図6】本願発明に係る光磁気記録媒体のもう1つの断
面構造図である。
面構造図である。
【図7】光磁気記録媒体の拡大再生層を用いた断面構造
図である。
図である。
【図8】昇温される領域の模式図である。
1、11 光透過性基板 6、12、16、120、220 誘電体層 3、13 再生層 5、15 記録層 7 熱拡散層 10、20、200、210、300 光磁気記録媒体 14 放熱層 17 紫外線硬化樹脂 121 非磁性層 130 拡大再生層 140 第2の放熱層 141 磁性膜である放熱層 1301、1302 150℃以上に昇温される領域 1500 記録されている磁区 1501,1502,1503 磁化
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 11/105 531 G11B 11/105 531V
Claims (7)
- 【請求項1】 光透過性基板上に少なくとも記録層と、
該記録層からの磁区が転写される再生層とを有する光磁
気記録媒体において、 前記再生層及び記録層に接して、前記記録層と再生層と
の交換結合を遮断する放熱層を有することを特徴とする
光磁気記録媒体。 - 【請求項2】 光透過性基板上に少なくとも記録層と、
該記録層からの磁区が転写される再生層と、該再生層に
転写された磁区が静磁結合によってさらに転写される拡
大再生層とを有する光磁気記録媒体において、 前記再生層及び記録層に接して、前記記録層と再生層と
の交換結合を遮断する放熱層を有することを特徴とする
光磁気記録媒体。 - 【請求項3】 光透過性基板上に少なくとも記録層と、
該記録層からの磁区が転写される再生層とを有する光磁
気記録媒体において、 前記再生層に接する第1の放熱層及び前記記録層に接す
る第2の放熱層を有することを特徴とする光磁気記録媒
体。 - 【請求項4】 光透過性基板上に少なくとも記録層と、
該記録層からの磁区が転写される再生層と、該再生層に
転写された磁区が静磁結合によってさらに転写される拡
大再生層とを有する光磁気記録媒体において、 前記再生層に接する第1の放熱層及び前記記録層に接す
る第2の放熱層を有することを特徴とする光磁気記録媒
体。 - 【請求項5】 さらに、交換結合を遮断することが可能
な膜厚のうち最低限必要な膜厚をTexとし、前記再生
層を構成する材料の中で、室温で最も高い熱伝導率を有
する材料の熱伝導率をPcとし、前記放熱層に用いる材
料の室温での熱伝導率をpとし、前記放熱層の膜厚をt
とした時に、Pc*Tex/(p*t)で表される熱拡
散係数が1以下であることを特徴とする請求項1乃至請
求項4記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項6】 前記放熱層が非磁性であることを特徴と
する請求項1乃至請求項5記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項7】 前記放熱層が磁性体から成ることを特徴
とする請求項1乃至請求項5記載の光磁気記録媒体。
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