JP2001165977A - 電位センサ - Google Patents
電位センサInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 音叉振動子に同相モードが発生しにくい電位
センサを提供する。 【解決手段】 電位センサ１０は、音叉振動子１２を含
む。音叉振動子１２は、音叉型の振動体１４を含む。振
動体１４には、２つの圧電素子１６ａおよび１６ｂと１
つの検知電極１７とが形成される。振動体１４の中央部
には、支持部１８が形成される。支持部１８の先端部
は、ケース２２の底板２４に接触され、弾性材１９で固
定される。
センサを提供する。 【解決手段】 電位センサ１０は、音叉振動子１２を含
む。音叉振動子１２は、音叉型の振動体１４を含む。振
動体１４には、２つの圧電素子１６ａおよび１６ｂと１
つの検知電極１７とが形成される。振動体１４の中央部
には、支持部１８が形成される。支持部１８の先端部
は、ケース２２の底板２４に接触され、弾性材１９で固
定される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は電位センサに関
し、特に音叉振動子が使用される電位センサに関する。
し、特に音叉振動子が使用される電位センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来の電位センサの一例を示す斜
視図であり、図２はその電位センサのブロック図であ
る。図１および図２に示す電位センサ１０は、音叉振動
子１２を含む。音叉振動子１２は、金属からなる音叉型
の振動体１４を含む。振動体１４には、２つの圧電素子
１６ａおよび１６ｂと１つの検知電極１７とが取り付け
られる。この場合、圧電素子１６ａは駆動用として圧電
素子１６ｂは帰還用として振動体１４の中間部分にそれ
ぞれ取り付けられ、検知電極１７は振動体１４の先端部
分に取り付けられる。また、振動体１４の中央部には、
金属からなる断面Ｌ字状の支持部１８が形成される。支
持部１８の先端部は、はんだ２０で金属からなるケース
２２に強固に固定される。ケース２２は矩形の底板２４
を含み、ケース２２の底板２４に音叉振動子１２の支持
部１８がはんだ２０で強固に固定される。底板２４の周
囲には、側板２６が形成される。側板２６において、検
知電極１７に対向する部分には、検知用孔２８が形成さ
れる。また、底板２４の両端部には取付片３０がそれぞ
れ形成され、各取付片３０には取付用孔３２が形成され
る。音叉振動子１２の圧電素子１６ａおよび１６ｂに
は、発振回路３４が接続される。また、音叉振動子１２
の検知電極１７は、インピーダンス変換回路３６の入力
端に接続される。インピーダンス変換回路３６の出力端
は、検波回路３８の入力端に接続される。検波回路３８
の別の入力端には、発振回路３４の出力端が接続され
る。検波回路３８の出力端は、積分回路４０の入力端に
接続される。積分回路４０の出力端は、増幅回路４２の
入力端に接続される。増幅回路４２の出力端は、出力端
子４４に接続される。
視図であり、図２はその電位センサのブロック図であ
る。図１および図２に示す電位センサ１０は、音叉振動
子１２を含む。音叉振動子１２は、金属からなる音叉型
の振動体１４を含む。振動体１４には、２つの圧電素子
１６ａおよび１６ｂと１つの検知電極１７とが取り付け
られる。この場合、圧電素子１６ａは駆動用として圧電
素子１６ｂは帰還用として振動体１４の中間部分にそれ
ぞれ取り付けられ、検知電極１７は振動体１４の先端部
分に取り付けられる。また、振動体１４の中央部には、
金属からなる断面Ｌ字状の支持部１８が形成される。支
持部１８の先端部は、はんだ２０で金属からなるケース
２２に強固に固定される。ケース２２は矩形の底板２４
を含み、ケース２２の底板２４に音叉振動子１２の支持
部１８がはんだ２０で強固に固定される。底板２４の周
囲には、側板２６が形成される。側板２６において、検
知電極１７に対向する部分には、検知用孔２８が形成さ
れる。また、底板２４の両端部には取付片３０がそれぞ
れ形成され、各取付片３０には取付用孔３２が形成され
る。音叉振動子１２の圧電素子１６ａおよび１６ｂに
は、発振回路３４が接続される。また、音叉振動子１２
の検知電極１７は、インピーダンス変換回路３６の入力
端に接続される。インピーダンス変換回路３６の出力端
は、検波回路３８の入力端に接続される。検波回路３８
の別の入力端には、発振回路３４の出力端が接続され
る。検波回路３８の出力端は、積分回路４０の入力端に
接続される。積分回路４０の出力端は、増幅回路４２の
入力端に接続される。増幅回路４２の出力端は、出力端
子４４に接続される。
【０００３】この電位センサ１０では、音叉振動子１２
の検知電極１７ないしケース２２の検知用孔２８が、電
位が測定される被測定物Ａの近傍に配置される。そし
て、この電位センサ１０では、音叉振動子１２の駆動用
の圧電素子１６ａ、帰還用の圧電素子１６ｂおよび発振
回路３４などからなる発振ループによって、音叉振動子
１２が振動する。それによって、音叉振動子１２の検知
電極１７と被測定物Ａとの距離が周期的に変化する。そ
のため、この電位センサ１０では、検知電極１７から信
号が得られる。検知電極１７から得られた信号は、イン
ピーダンス変換回路３６を介して検波回路３８におい
て、帰還用の圧電素子１６ｂから発振回路３４を介して
得られた信号に同期して検波され、その後、積分回路４
０で積分され、増幅回路４２で増幅され、出力端子４４
において出力となる。
の検知電極１７ないしケース２２の検知用孔２８が、電
位が測定される被測定物Ａの近傍に配置される。そし
て、この電位センサ１０では、音叉振動子１２の駆動用
の圧電素子１６ａ、帰還用の圧電素子１６ｂおよび発振
回路３４などからなる発振ループによって、音叉振動子
１２が振動する。それによって、音叉振動子１２の検知
電極１７と被測定物Ａとの距離が周期的に変化する。そ
のため、この電位センサ１０では、検知電極１７から信
号が得られる。検知電極１７から得られた信号は、イン
ピーダンス変換回路３６を介して検波回路３８におい
て、帰還用の圧電素子１６ｂから発振回路３４を介して
得られた信号に同期して検波され、その後、積分回路４
０で積分され、増幅回路４２で増幅され、出力端子４４
において出力となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の電位センサ１０
では、音叉振動子１２の振動を基準として、検知電極１
７から得られた信号を処理することによって出力を得て
いる。そのため、検知電極１７および被測定物Ａの間の
距離の時間変化と音叉振動子１２の振動体１４の左右腕
の振幅の時間変化との位相関係が、常に一定でなければ
ならない。音叉振動子１２の振動モードには、図３に示
すように振動体１４の左右腕が同じ方向に曲がって振動
する同相モードと、図４に示すように振動体１４の左右
腕が逆の方向に曲がって振動する逆相モードとがあり、
これらのモードの周波数は、図５に示すように近い周波
数である。そして、この電位センサ１０では、通常使用
している振動モードは逆相モードである。しかし、電位
センサ１０をたとえばコピー機に搭載した場合、コピー
機内の振動等外的要因によって、同相モードが誘発され
る。この場合、上述の位相関係が不安定になり、出力が
乱れるという現象が発生する。すなわち、音叉振動子１
２の逆相モードにおける振動では、振動体１４の左右腕
が、図６（Ａ）に示すように開いたり、図６（Ｂ）に示
すように真っ直ぐになったり、図６（Ｃ）に示すように
閉じたりする。この場合、検知電極１７および帰還用の
圧電素子１６ｂからは、図７（Ａ）の実線で示す出力お
よび点線で示す出力が得られ、検知電極１７からの出力
を帰還用の圧電素子１６ｂからの出力で検波すれば、図
７（Ｂ）の実線に示す出力が得られる。一方、音叉振動
子１２の同相モードにおける振動では、振動体１４の左
右部が、図８（Ａ）に示すように右に曲がったり、図８
（Ｂ）に示すように真っ直ぐになったり、図８（Ｃ）に
示すように左に曲がったりする。この場合、検知電極１
７および帰還用の圧電素子１６ｂからは、図９（Ａ）の
実線で示す出力および点線で示す出力が得られ、検知電
極１７からの出力を帰還用の圧電素子１６ｂからの出力
で検波すれば、図９（Ｂ）の実線で示す逆の符号の出力
が得られる。したがって、この電位センサ１０では、逆
相モードのみで振動する場合には出力が安定するが、同
相モードでも振動する場合には出力が不安定となる。ま
た、逆相モードの周波数と同相モードの周波数とが近い
ため、発振回路などの条件によっては、振動や衝撃とい
った外的要因がなくても、振動モードが逆相モードから
同相モードに移行してしまうことがある。そのため、音
叉振動子に同相モードが発生しにくい電位センサが望ま
れている。なお、チョッパー型の電位センサにおいて
も、同様に、音叉振動子に同相モードが発生しにくいこ
とが望まれている。
では、音叉振動子１２の振動を基準として、検知電極１
７から得られた信号を処理することによって出力を得て
いる。そのため、検知電極１７および被測定物Ａの間の
距離の時間変化と音叉振動子１２の振動体１４の左右腕
の振幅の時間変化との位相関係が、常に一定でなければ
ならない。音叉振動子１２の振動モードには、図３に示
すように振動体１４の左右腕が同じ方向に曲がって振動
する同相モードと、図４に示すように振動体１４の左右
腕が逆の方向に曲がって振動する逆相モードとがあり、
これらのモードの周波数は、図５に示すように近い周波
数である。そして、この電位センサ１０では、通常使用
している振動モードは逆相モードである。しかし、電位
センサ１０をたとえばコピー機に搭載した場合、コピー
機内の振動等外的要因によって、同相モードが誘発され
る。この場合、上述の位相関係が不安定になり、出力が
乱れるという現象が発生する。すなわち、音叉振動子１
２の逆相モードにおける振動では、振動体１４の左右腕
が、図６（Ａ）に示すように開いたり、図６（Ｂ）に示
すように真っ直ぐになったり、図６（Ｃ）に示すように
閉じたりする。この場合、検知電極１７および帰還用の
圧電素子１６ｂからは、図７（Ａ）の実線で示す出力お
よび点線で示す出力が得られ、検知電極１７からの出力
を帰還用の圧電素子１６ｂからの出力で検波すれば、図
７（Ｂ）の実線に示す出力が得られる。一方、音叉振動
子１２の同相モードにおける振動では、振動体１４の左
右部が、図８（Ａ）に示すように右に曲がったり、図８
（Ｂ）に示すように真っ直ぐになったり、図８（Ｃ）に
示すように左に曲がったりする。この場合、検知電極１
７および帰還用の圧電素子１６ｂからは、図９（Ａ）の
実線で示す出力および点線で示す出力が得られ、検知電
極１７からの出力を帰還用の圧電素子１６ｂからの出力
で検波すれば、図９（Ｂ）の実線で示す逆の符号の出力
が得られる。したがって、この電位センサ１０では、逆
相モードのみで振動する場合には出力が安定するが、同
相モードでも振動する場合には出力が不安定となる。ま
た、逆相モードの周波数と同相モードの周波数とが近い
ため、発振回路などの条件によっては、振動や衝撃とい
った外的要因がなくても、振動モードが逆相モードから
同相モードに移行してしまうことがある。そのため、音
叉振動子に同相モードが発生しにくい電位センサが望ま
れている。なお、チョッパー型の電位センサにおいて
も、同様に、音叉振動子に同相モードが発生しにくいこ
とが望まれている。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、音
叉振動子に同相モードが発生しにくい電位センサを提供
することである。
叉振動子に同相モードが発生しにくい電位センサを提供
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる電位セ
ンサは、音叉振動子が使用される電位センサにおいて、
音叉振動子の支持部が弾性材を用いて取付部材に固定さ
れることを特徴とする、電位センサである。この発明に
かかる電位センサでは、たとえば、支持部は取付部材に
接触されかつ弾性材で固定されてもよい。また、この発
明にかかる電位センサでは、たとえば、支持部は取付部
材に弾性材を介して固定されてもよい。さらに、この発
明にかかる電位センサでは、たとえば、支持部は全体が
弾性材で形成されてもよい。また、この発明にかかる電
位センサでは、たとえば、支持部は中間部分が弾性材で
形成されてもよい。
ンサは、音叉振動子が使用される電位センサにおいて、
音叉振動子の支持部が弾性材を用いて取付部材に固定さ
れることを特徴とする、電位センサである。この発明に
かかる電位センサでは、たとえば、支持部は取付部材に
接触されかつ弾性材で固定されてもよい。また、この発
明にかかる電位センサでは、たとえば、支持部は取付部
材に弾性材を介して固定されてもよい。さらに、この発
明にかかる電位センサでは、たとえば、支持部は全体が
弾性材で形成されてもよい。また、この発明にかかる電
位センサでは、たとえば、支持部は中間部分が弾性材で
形成されてもよい。
【０００７】この発明にかかる電位センサでは、音叉振
動子の支持部を弾性材を用いて取付部材に固定している
ので、同相モードが発生しにくくなる。そのため、この
発明にかかる電位センサでは、出力が不安定になりにく
くなる。
動子の支持部を弾性材を用いて取付部材に固定している
ので、同相モードが発生しにくくなる。そのため、この
発明にかかる電位センサでは、出力が不安定になりにく
くなる。
【０００８】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１０はこの発明にかかる電位セ
ンサの一例の要部を示す図解図である。図１０に示す電
位センサ１０では、図１および図２に示す電位センサ１
０と比べて、支持部１８が振動体１４の内側にのびて形
成される。また、支持部１８の先端部は、ケース２２の
底板２４に接触され、弾性材１９で固定される。
ンサの一例の要部を示す図解図である。図１０に示す電
位センサ１０では、図１および図２に示す電位センサ１
０と比べて、支持部１８が振動体１４の内側にのびて形
成される。また、支持部１８の先端部は、ケース２２の
底板２４に接触され、弾性材１９で固定される。
【００１０】図１１はこの発明にかかる電位センサの他
の例の要部を示す図解図である。図１１に示す電位セン
サ１０では、図１０に示す電位センサ１０と比べて、支
持部１８がクランク状に形成される。このように、支持
部１８の形状は、任意に変更されてもよい。
の例の要部を示す図解図である。図１１に示す電位セン
サ１０では、図１０に示す電位センサ１０と比べて、支
持部１８がクランク状に形成される。このように、支持
部１８の形状は、任意に変更されてもよい。
【００１１】図１２はこの発明にかかる電位センサのさ
らに他の例の要部を示す図解図である。図１２に示す電
位センサ１０では、図１１に示す電位センサ１０と比べ
て、支持部１８がＬ字状に形成され、支持部１８の先端
部が弾性材１９を介してケース２２の底板２４に固定さ
れる。このように、支持部１８は、弾性材１９を介して
ケース２２の底板２４などに固定されてもよい。
らに他の例の要部を示す図解図である。図１２に示す電
位センサ１０では、図１１に示す電位センサ１０と比べ
て、支持部１８がＬ字状に形成され、支持部１８の先端
部が弾性材１９を介してケース２２の底板２４に固定さ
れる。このように、支持部１８は、弾性材１９を介して
ケース２２の底板２４などに固定されてもよい。
【００１２】図１３はこの発明にかかる電位センサのさ
らに他の例の要部を示す図解図である。図１３に示す電
位センサ１０では、上述の各電位センサ１０と比べて、
支持部１８は全体が弾性材でＬ字状に形成され、支持部
１８がケース２２の底板２４に直接固定される。このよ
うに、支持部１８は、全体が弾性材で形成され、ケース
２２の底板２４などに直接固定されてもよい。
らに他の例の要部を示す図解図である。図１３に示す電
位センサ１０では、上述の各電位センサ１０と比べて、
支持部１８は全体が弾性材でＬ字状に形成され、支持部
１８がケース２２の底板２４に直接固定される。このよ
うに、支持部１８は、全体が弾性材で形成され、ケース
２２の底板２４などに直接固定されてもよい。
【００１３】図１４はこの発明にかかる電位センサのさ
らに他の例の要部を示す図解図である。図１４に示す電
位センサ１０では、上述の各電位センサ１０と比べて、
支持部１８の中間部１８ａが弾性材で形成される。この
ように、支持部１８の中間部１８ａが弾性材で形成され
てもよい。
らに他の例の要部を示す図解図である。図１４に示す電
位センサ１０では、上述の各電位センサ１０と比べて、
支持部１８の中間部１８ａが弾性材で形成される。この
ように、支持部１８の中間部１８ａが弾性材で形成され
てもよい。
【００１４】ここで、上述の各電位センサ１０におい
て、逆相モードにおける振動および同相モードにおける
振動などを音叉振動子１２の重心Ｇの位置で比較してみ
る。
て、逆相モードにおける振動および同相モードにおける
振動などを音叉振動子１２の重心Ｇの位置で比較してみ
る。
【００１５】図１、図２、図１０〜図１４に示す各電位
センサ１０において、逆相モードにおける振動では、そ
の振動状態を図１５（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、音叉
振動子１２の振動体１４の左右腕の振動方向が左右対称
となり、重心Ｇの位置が左右に移動しない。
センサ１０において、逆相モードにおける振動では、そ
の振動状態を図１５（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、音叉
振動子１２の振動体１４の左右腕の振動方向が左右対称
となり、重心Ｇの位置が左右に移動しない。
【００１６】また、図１および図２に示す電位センサ１
０において、同相モードにおける振動では、その振動状
態を図１６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、音叉振動子１
２の振動体１４の左右腕の振動方向が同一方向であるた
め、重心Ｇの位置が左右に移動する。このような同相モ
ードにおける振動は、音叉振動子１２の支持部１８をは
んだ２０などで強固に固定し、強制的なノードを発生さ
せた場合にのみ発生する。
０において、同相モードにおける振動では、その振動状
態を図１６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、音叉振動子１
２の振動体１４の左右腕の振動方向が同一方向であるた
め、重心Ｇの位置が左右に移動する。このような同相モ
ードにおける振動は、音叉振動子１２の支持部１８をは
んだ２０などで強固に固定し、強制的なノードを発生さ
せた場合にのみ発生する。
【００１７】しかし、図１０〜図１４に示す各電位セン
サ１０においては、支持部１８が弾性材を用いて固定さ
れるので、すなわち、支持部１８が強固に固定されない
ので、固定部の自由度が増し、強制的なノードが発生せ
ず、剛体モードにおける振動となる。そのため、図１０
〜図１４に示す各電位センサ１０においては、音叉振動
子１２の振動状態を図１７（Ａ）〜（Ｃ）に示すよう
に、自由空間内の状態とほぼ同じ状態が得られ、重心Ｇ
の位置が左右に移動せず、同相モード自体の発生を大幅
に抑制することができる。
サ１０においては、支持部１８が弾性材を用いて固定さ
れるので、すなわち、支持部１８が強固に固定されない
ので、固定部の自由度が増し、強制的なノードが発生せ
ず、剛体モードにおける振動となる。そのため、図１０
〜図１４に示す各電位センサ１０においては、音叉振動
子１２の振動状態を図１７（Ａ）〜（Ｃ）に示すよう
に、自由空間内の状態とほぼ同じ状態が得られ、重心Ｇ
の位置が左右に移動せず、同相モード自体の発生を大幅
に抑制することができる。
【００１８】そのため、図１０〜図１４に示す各電位セ
ンサ１０では、音叉振動子１２を固定したケース２２を
たとえばコピー機に搭載すると、コピー機内の振動や衝
撃がケース２２や支持部１８などを介して、音叉振動子
１２に伝えられるが、音叉振動子１２の支持部１８の自
由度が高いので、外部からの振動や衝撃が緩和され、同
相モードの誘発が抑制される。
ンサ１０では、音叉振動子１２を固定したケース２２を
たとえばコピー機に搭載すると、コピー機内の振動や衝
撃がケース２２や支持部１８などを介して、音叉振動子
１２に伝えられるが、音叉振動子１２の支持部１８の自
由度が高いので、外部からの振動や衝撃が緩和され、同
相モードの誘発が抑制される。
【００１９】発明者のＦＦＴ解析によれば、図１および
図２に示す電位センサ１０のケース２２に衝撃を印加し
た場合、図１８に示す周波数特性が得られ、図１２に示
す電位センサ１０のケース２２に衝撃を印加した場合、
図１９に示す周波数特性が得られた。図１８および図１
９に示す周波数特性より、衝撃を印加した場合、図１お
よび図２に示す電位センサ１０では同相モードによる振
動が発生するのに対して、図１２に示す電位センサ１０
では同相モードによる振動が発生しないことがわかる。
図２に示す電位センサ１０のケース２２に衝撃を印加し
た場合、図１８に示す周波数特性が得られ、図１２に示
す電位センサ１０のケース２２に衝撃を印加した場合、
図１９に示す周波数特性が得られた。図１８および図１
９に示す周波数特性より、衝撃を印加した場合、図１お
よび図２に示す電位センサ１０では同相モードによる振
動が発生するのに対して、図１２に示す電位センサ１０
では同相モードによる振動が発生しないことがわかる。
【００２０】
【発明の効果】この発明によれば、電位センサにおい
て、振動や衝撃が加わっても、同相モードの発生が抑制
され、同相モードが発生しにくい。そのため、電位セン
サにおいて、逆相モードでの安定な発振が可能となり、
安定な出力が得られる。
て、振動や衝撃が加わっても、同相モードの発生が抑制
され、同相モードが発生しにくい。そのため、電位セン
サにおいて、逆相モードでの安定な発振が可能となり、
安定な出力が得られる。
【図１】従来の電位センサの一例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す電位センサのブロック図である。
【図３】音叉振動子の同相モードにおける振動状態を示
す図解図である。
す図解図である。
【図４】音叉振動子の逆相モードにおける振動状態を示
す図解図である。
す図解図である。
【図５】音叉振動子の周波数特性を示すグラフである。
【図６】音叉振動子の逆相モードにおける振動状態を示
す図解図である。
す図解図である。
【図７】音叉振動子の逆相モードにおける各出力を示す
グラフである。
グラフである。
【図８】音叉振動子の同相モードにおける振動状態を示
す図解図である。
す図解図である。
【図９】音叉振動子の同相モードにおける各出力を示す
グラフである。
グラフである。
【図１０】この発明にかかる電位センサの一例の要部を
示す図解図である。
示す図解図である。
【図１１】この発明にかかる電位センサの他の例の要部
を示す図解図である。
を示す図解図である。
【図１２】この発明にかかる電位センサのさらに他の例
の要部を示す図解図である。
の要部を示す図解図である。
【図１３】この発明にかかる電位センサのさらに他の例
の要部を示す図解図である。
の要部を示す図解図である。
【図１４】この発明にかかる電位センサのさらに他の例
の要部を示す図解図である。
の要部を示す図解図である。
【図１５】音叉振動子の逆相モードにおける振動状態を
示す図解図である。
示す図解図である。
【図１６】音叉振動子の同相モードにおける振動状態を
示す図解図である。
示す図解図である。
【図１７】音叉振動子の剛体モードにおける振動状態を
示す図解図である。
示す図解図である。
【図１８】図１および図２に示す電位センサのケースに
衝撃を印加した場合のＦＦＴ解析による周波数特性を示
すグラフである。
衝撃を印加した場合のＦＦＴ解析による周波数特性を示
すグラフである。
【図１９】図１２に示す電位センサのケースに衝撃を印
加した場合のＦＦＴ解析による周波数特性を示すグラフ
である。
加した場合のＦＦＴ解析による周波数特性を示すグラフ
である。
１０ 電位センサ １２ 音叉振動子 １４ 振動体 １６ａ、１６ｂ 圧電素子 １７ 検知電極 １８ 支持部 １８ａ 中間部 １９ 弾性材 ２０ はんだ ２２ ケース ２４ 底板 ２６ 側板 ２８ 検知用孔 ３０ 取付片 ３２ 取付用孔 ３４ 発振回路 ３６ インピーダンス変換回路 ３８ 検波回路 ４０ 積分回路 ４２ 増幅回路 ４４ 出力端子 Ａ 被測定物
Claims (5)
- 【請求項１】 音叉振動子が使用される電位センサにお
いて、 前記音叉振動子の支持部が弾性材を用いて取付部材に固
定されることを特徴とする、電位センサ。 - 【請求項２】 前記支持部は前記取付部材に接触されか
つ前記弾性材で固定される、請求項１に記載の電位セン
サ。 - 【請求項３】 前記支持部は前記取付部材に前記弾性材
を介して固定される、請求項１に記載の電位センサ。 - 【請求項４】 前記支持部は全体が前記弾性材で形成さ
れる、請求項１に記載の電位センサ。 - 【請求項５】 前記支持部は中間部分が前記弾性材で形
成される、請求項１に記載の電位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34783199A JP2001165977A (ja) | 1999-12-07 | 1999-12-07 | 電位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34783199A JP2001165977A (ja) | 1999-12-07 | 1999-12-07 | 電位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001165977A true JP2001165977A (ja) | 2001-06-22 |
Family
ID=18392909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34783199A Pending JP2001165977A (ja) | 1999-12-07 | 1999-12-07 | 電位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001165977A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009130456A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Epson Toyocom Corp | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子 |
-
1999
- 1999-12-07 JP JP34783199A patent/JP2001165977A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009130456A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Epson Toyocom Corp | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子 |
| US7759848B2 (en) | 2007-11-20 | 2010-07-20 | Epson Toyocom Corporation | Tuning fork type piezoelectric resonator having a node of common mode vibration in constructed part of base |
| JP4553157B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2010-09-29 | エプソントヨコム株式会社 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子 |
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