KR20070103685A - 각속도 센서 - Google Patents

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KR20070103685A
KR20070103685A KR1020070037184A KR20070037184A KR20070103685A KR 20070103685 A KR20070103685 A KR 20070103685A KR 1020070037184 A KR1020070037184 A KR 1020070037184A KR 20070037184 A KR20070037184 A KR 20070037184A KR 20070103685 A KR20070103685 A KR 20070103685A
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히로시 이시까와
다까유끼 야마지
아끼라 이마이
쇼오지 오가사와라
다까시 가쯔끼
유우지 다까하시
후미히꼬 나까자와
히로아끼 다까기
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후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤
후지쯔 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는 복수의 음차형 진동자 사이의 간섭 노이즈를 저감하는 것이 가능한 각속도 센서를 제공하는 것이다.
본 발명은, 각각이 베이스부와 베이스부로부터 연장하는 복수의 아암부를 갖는 복수의 음차형 진동자를 구비하는 각속도 센서에 관한 발명이고, 상기 복수의 음차형 진동자의 각 음차형 진동자 사이의 공진 주파수의 차│f1 - f2│가 복수의 음차형 진동자의 공진 주파수의 평균(fAvg)의 2 ％ 이상인 것을 특징으로 하는 각속도 센서이다.
음차형 진동자, 아암부, 베이스부, 영역, 지지부, 지지면, 실장면

Description

각속도 센서 {ANGULAR VELOCITY SENSOR}
도1은 제1 실시예에 관한 각속도 센서의 사시도.
도2의 (a)는 제1 실시예에 관한 각속도 센서의 위에서 본 도면이고, 도2의 (b)는 제1 실시예에 관한 각속도 센서의 음차형 진동자 및 지지부의 사시도.
도3의 (a) 및 도3의 (b)는 음차형 진동자의 표면의 전극 패턴을 나타내는 도면.
도4의 (a) 및 도4의 (b)는 음차형 진동자의 진동 모드를 나타내는 도면.
도5는 2개의 음차형 진동자의 공진 주파수의 차에 대한 간섭 노이즈를 나타내는 도면.
도6의 (a) 및 도6의 (b)는 제2 실시예에 관한 각속도 센서의 사시도.
도7의 (a) 및 도7의 (b)는 제3 실시예에 관한 각속도 센서를 설명하기 위한 도면.
도8의 (a) 및 도8의 (b)는 제4 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부를 나타내는 도면.
도9의 (a) 내지 도9의 (d)는 제1 실시예 및 제4 실시예에 관한 각속도 센서에 열 충격 시험을 행한 결과를 나타내는 도면.
도10의 (a) 내지 도10의 (c)는 제5 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부를 나타내는 도면.
도11의 (a) 내지 도11의 (d)는 제6 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부를 나타내는 도면.
도12의 (a) 내지 도12의 (c)는 제7 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부를 나타내는 도면.
도13은 제8 실시예에 관한 각속도 센서의 음차형 진동자를 나타내는 도면.
도14의 (a) 내지 도14의 (c)는 제8 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부를 나타내는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10, 10a, 10b : 음차형 진동자
11, 12 : 아암부
13 : 베이스부
17, 18 : 영역
20 : 지지부
22, 26 : 지지면
23 : 제1 접합 강화부
24 : 실장면
25 : 제2 접합 강화부
30 : 패키지
31 : 프린트 기판
32 : 흡음재
34 : 추
40 : 캡
R1, R2 : 노드를 투영한 영역
S1, S2 : 베이스부의 면
[문헌 1] 일본 특허 공개 평9-292229호 공보
[문헌 2] 일본 특허 제3418245호 명세서
[문헌 3] 국제 공개 제WO03/100350호 팜플렛
본 발명은 각속도 센서에 관한 것으로, 특히 복수의 음차형 진동자를 갖는 각속도 센서에 관한 것이다.
각속도 센서는 회전시의 각속도를 검지하는 센서이고, 카메라의 손 흔들림 방지나 카 네비게이션 등의 시스템, 자동차, 로봇의 자세 제어 시스템 등에 이용되고 있다. 특허 문헌 1에는, 원기둥형 진동자가 복수 설치된 각속도 센서가 개시되어 있다. 특허 문헌 2에는, 원기둥형 진동자를 홀더에는 이점 지지한 복수 축 검지의 각속도 센서가 개시되어 있다. 이와 같이 원기둥형 혹은 막대형의 진동자를 음편형 진동자라 칭하고 있다. 또한, 특허 문헌 3에는, 베이스부와 베이스부로부 터 연장하는 복수의 아암부를 갖는 음차형 진동자가 개시되어 있다.
음편형 진동자는 외부로부터의 진동에 대해, 진동의 균형을 취하여, 진동을 캔슬할 수 없다. 이 때문에, 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2와 같이, 1개의 패키지에 2개의 음편형 진동자를 배치한 경우, 외부 진동에 기인한 각 음편형 진동자의 불필요 진동(누설 진동)이 서로 간섭하여(간섭 노이즈), 각속도의 검출 정밀도를 열화시킨다. 또한, 음편형 진동자는 고유 진동 주파수에 있어서의 부동 영역이 좁다. 이로 인해, 각 음편형 진동자를 지지할 때, 부동 영역 이외를 지지해 버리면, 한쪽의 음편형 진동자의 구동 진동이 다른 쪽의 음편형 진동자에 전파하여 간섭 노이즈가 발생하여, 각속도 검출 정밀도가 열화한다. 또한, 음편형 진동자는 전체가 진동하기 때문에 2군데에서 지지하는 것이 필요하다. 이로 인해, 2군데의 지지부의 위치 정밀도나 균형을 유지하는 것이 어렵다.
한편, 음차형 진동자는, 외부로부터의 진동을 좌우의 아암부에서 캔슬하는 구조를 갖고 있다. 이로 인해, 음차형 진동자를 복수 이용한 각속도 센서에 있어서는, 각속도의 검출 정밀도의 열화나 간섭 노이즈를 억제할 수 있다. 그러나, 음차형 진동자를 복수 이용한 각속도 센서에 있어서도, 간섭 노이즈의 억제는 충분하다고는 할 수 없다.
본 발명은, 상기 과제에 비추어 이루어진 것으로, 복수의 음차형 진동자 사이의 간섭 노이즈를 저감하는 것이 가능한 각속도 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 각각이 베이스부와 베이스부로부터 연장하는 복수의 아암부를 갖는 복수의 음차형 진동자를 구비하고, 상기 복수의 음차형 진동자의 각 음차형 진동자 사이의 공진 주파수의 차가 상기 복수의 음차형 진동자의 공진 주파수의 평균의 2 ％ 이상인 것을 특징으로 하는 각속도 센서이다. 본 발명에 따르면, 복수의 음차형 진동자 사이의 간섭 노이즈를 저감할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 음차형 진동자의 각각을 각각이 지지하는 복수의 지지부와, 상기 복수의 지지부를 실장하는 실장부를 구비하는 구성으로 할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 실장부에 설치되고 상기 복수의 음차형 진동자의 진동을 흡수하기 위한 흡음부를 구비하는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 흡음부가 음차형 진동자의 진동을 흡수하기 때문에 간섭 노이즈를 한층 저감할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 음차형 진동자 중 적어도 1개의 음차형 진동자에 있어서, 상기 음차형 진동자의 무게 중심은, 상기 음차형 진동자의 무게 중심과 중력 방향 및 상기 음차형 진동자의 길이 방향을 포함하는 투영면에 있어서, 대응하는 지지부의 상기 음차형 진동자를 지지하는 지지면을 상기 투영면에 투영한 영역의 바로 위 또는 상기 대응하는 지지부의 상기 실장부에 실장되는 실장면을 상기 투영면에 투영한 영역의 바로 위에 위치하는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 외부 진동에 기인한 불필요 신호의 출력이나 온도 변화에 기인한 감도 저 하 등을 억제할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 대응하는 음차형 진동자를 지지하는 지지면에 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개와 상기 대응하는 음차형 진동자와의 접합을 강화하기 위한 제1 접합 강화부를 갖는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 제1 접합 강화부에 의해 내열 충격성을 향상시킬 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 상기 실장부에 실장되는 실장면에 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개와 상기 실장부와의 접합을 강화하기 위한 제2 접합 강화부를 갖는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 제2 접합 강화부에 의해 내열 충격성을 향상시킬 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 대응하는 음차형 진동자의 아암부의 면내 진동면과 교차하여 대응하는 음차형 진동자를 지지하는 지지면을 갖는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 사용하는 진동 모드에 있어서 진동이 매우 작은 면에서 음차형 진동자를 지지하기 때문에, 구동 및 검출에 필요한 진동이 억제되는 것을 저감하여 감도가 향상하는 효과를 얻을 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 상기 지지면에 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개와 상기 대응하는 음차형 진동자와의 접합을 강화하기 위한 제1 접합 강화부를 갖는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 제1 접합 강화부에 의해 내열 충격성을 향상시킬 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 상기 실장부에 실장되는 실장면에 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개와 상기 실장부와의 접합을 강화하기 위한 제2 접합 강화부를 갖는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 제2 접합 강화부에 의해 내열 충격성을 향상시킬 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 대응하는 음차형 진동자의 노드를 대응하는 상기 베이스부 중 적어도 1개의 면에 투영한 영역을 포함하여 상기 적어도 1개의 면의 일부를 지지하는 지지면에 있어서, 상기 대응하는 음차형 진동자를 지지하는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에 따르면, 지지면에 가해지는 응력이 저감하여, 지지면과 음차형 진동자와의 박리를 억제할 수 있다.
이하, 도면을 참조로 본 발명의 실시예에 대해 설명한다.
[제1 실시예]
제1 실시예는, 2개의 음차형 진동자를 실장부인 패키지 상에 실장한 각속도 센서의 예이다. 도1은 제1 실시예에 관한 각속도 센서의 사시도이고, 도2의 (a)는 위에서 본 도면(캡은 도시하지 않음), 도2의 (b)는 음차형 진동자(10)와 지지부(20)의 사시도이다. 도1 및 도2의 (a)를 참조로, 2개의 아암부를 갖는 음차형 진동자(10a, 10b)가 지지부(20a, 20b)를 통해 캐비티 타입의 패키지(30)에 고착되어 실장되어 있다. 음차형 진동자(10a, 10b)는 서로 직교하고 있고, 각각 각 길이 방향(아암부의 방향)을 검지축 1, 검지축 2로 하고, 검지축 1, 검지축 2를 중심으로 한 각속도를 검지한다. 패키지(30)에는 예를 들어 기판에 전자 부품이 실장된 제어 회로(42)가 실장되어 있다. 제어 회로(42)는 음차형 진동자(10a, 10b)를 제어하는 회로이고, 음차형 진동자(10a, 10b)에 구동 신호를 공급하고, 음차형 진동 자(10a, 10b)로부터 검출 신호가 입력한다. 패키지(30)는 캡(40)에 의해 덮인다.
도2의 (b)를 참조로, 음차형 진동자(10)는 베이스부(13)와 베이스부(13)로부터 연장하는 2개(복수)의 아암부(11, 12)를 갖는다. 음차형 진동자(10)를 지지하기 위한 지지부(20)는 음차형 진동자(10)를 지지하기 위한 지지면(22)과, 패키지(30)에 실장되기 위한 실장면(24)을 갖는다. 음차형 진동자(10)는 예를 들어 접착제 등의 접합 부재에 의해 지지면(22)에 고착된다. 지지부(20)의 실장면(24)은 예를 들어 접착제 등의 접합 부재에 의해 패키지(30)에 고착된다. 접착제로서는 예를 들어 에폭시 수지 등의 접착제를 이용할 수 있다. 또한, 접합 부재로서는 접착제 이외에도, 예를 들어 저융점 유리, 무연 땜납이나 Au-Sn 땜납 등의 땜납을 이용할 수 있다.
도3의 (a) 및 도3의 (b)는 음차형 진동자(10)의 전극 패턴을 나타내는 도면이다. 음차형 진동자(10)는 예를 들어 LiNbO3(니오브산리튬) 또는 LiTaO3(탄탈산리튬) 등의 압전성 재료로 형성되어 있다. 예를 들어 LiNbO3(니오브산리튬) 또는 LiTaO3(탄탈산리튬)을 이용하는 경우에는, 130°내지 140°Y판을 이용하는 것에 의해, 고k23 전기 기계 결합 계수를 얻을 수 있다. 음차형 진동자(10)의 표면에는 Au(금), Al(알루미늄) 또는 Cu(구리) 등의 금속막을 이용한 전극이 형성되어 있다.
도3의 (a)는 음차형 진동자(10)의 표면측을 도시하고, 도3의 (b)는 이면측을 도시한다. 아암부(11)에는 검출 전극(11a, 11b, 11c)이 설치되어 있다. 검출 전극(11a, 11b)은 전극(11d)으로 접속되어 있다. 검출 전극(11a)에는 인출 전 극(11f)이 설치되어 있다. 전극(11c)은 인출 전극(11e)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 아암부(12)에는 검출 전극(12a, 12b, 12c)이 설치되어 있다. 검출 전극(12a, 12b)은 전극(12d)으로 접속되어 있다. 전극(12a)에는 인출 전극(12f)이 설치되어 있다. 전극(12c)은 인출 전극(12e)에 접속되어 있다. 음차형 진동자(10)의 표면에는 구동 전극(14a)이 설치되고, 인출 전극(14b)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 이면에는 구동 전극(15a)이 설치되고, 인출 전극(15b)에 접속되어 있다.
도4의 (a) 및 도4의 (b)는 음차형 진동자(10)의 구동 모드와 검출 모드를 설명하기 위한 도면이다. 도4의 (a)를 참조로, 음차형 진동자(10)의 구동 전극(14a, 15a)에 구동 신호를 인가하는 것에 의해 아암부(11, 12)가 서로 개폐하는 진동 모드를 발생시킨다. 이 진동은 아암부(11, 12) 방향의 면에 평행한 진동이고, 이것을 면내 진동 모드라 한다. 여기서 검지축에 대해 각속도가 가해지면, 코리올리력에 의해 도4의 (b)와 같은 아암부(11, 12)가 전후로 진동하는 진동 모드가 나타난다. 이 진동은 아암부(11, 12) 방향의 면에 수직인 트위스트 진동이고, 이것을 면 수직 진동 모드라 한다. 검출 전극(11a 내지 11c, 12a 내지 12c)에 의해 이 진동 모드를 검출하는 것에 의해 검지축을 중심으로 한 각속도를 검지할 수 있다. 구동에 이용하는 진동 모드를 구동 모드, 검지에 이용하는 진동 모드를 검출 모드라 한다. 구동 모드, 검출 모드는 도4의 (a) 및 도4의 (b)에 도시한 진동 모드로는 한정되지 않는다. 구동 모드에 대해 코리올리력에 의해 검출 모드가 나타나면 좋다. 각 진동 모드에 있어서, 진동하지 않는 영역을 노드라 한다. 도4의 (a)에 있어서 는, 음차형 진동자(10)의 대칭면이 노드 A로 된다. 도4의 (b)에 있어서는, 음차형 진동자(10)의 중심축이 노드 B로 된다.
다음에, 도1의 구조의 음차형 진동자(10)를 이용한 각속도 센서와, 음차형 진동자 대신에 사각기둥으로 이루어지는 음편형 진동자를 이용한 각속도 센서의 간섭 노이즈(누설 진동)를 계산했다. 여기서, 간섭 노이즈라 함은, 2개의 진동자를 동일 패키지에 실장한 경우, 한쪽의 진동자에 고유 진동 주파수의 전압을 가함으로써 구동 진동을 여진시키고, 다른 쪽의 진동자가 간섭에 의해 발생하는 진동의 변위 성분을 구동 진동의 변위 성분으로 규격화한 것이다. 그 결과, 음차형 진동자(10)를 이용한 각속도 센서는 음편형 진동자를 이용한 각속도 센서에 비해, 간섭 노이즈가 약 20 ％인 것을 알았다.
도5는, 다른 형상[예를 들어 아암부(11, 12)의 길이가 다름]을 갖는 2개의 음차형 진동자(10a, 10b)의 공진 주파수의 차│f1 - f2│를 음차형 진동자(10a, 10b)의 공진 주파수의 평균(fAvg)으로 규격화한│f1 - f2│/fAvg와 간섭 노이즈의 관계를 나타낸 도면이다. 흑색 원은 실측치, 실선은 계산 결과를 나타내고 있다. 공진 주파수의 차│f1 - f2│가 0일 때에 비해 간섭 노이즈를 1/10(즉 20 dB 감소)로 하는 것을 목표로 하면,│f1 - f2│/fAvg를 2 ％ 이상으로 하는 것에 의해 간섭 노이즈를,│f1 - f2│가 0일 때의 대략 20 dB 감소로 할 수 있다. 또한,│f1 - f2│/fAvg를 6 ％ 이상으로 하면,│f1 - f2│가 0일 때보다 간섭 노이즈를 20 dB 감소로 할 수 있다. 보다 바람직하게는│f1 - f2│/fAvg를 10 ％ 이상으로 하는 것에 의해 더욱 간섭 노이즈를 저감할 수 있다.
음편형 진동자를 이용한 각속도 센서에 있어서는, 진동자의 공진 주파수가 예를 들어 30 ㎑일 때, 복수의 공진 주파수의 차는 예를 들어 200 ㎐ 정도로 하고 있다. 즉,│f1 - f2│/fAvg는 0.7 ％ 정도이다. 이에 반해, 복수의 음차형 진동자(10a, 10b)를 이용한 각속도 센서에 있어서는, 간섭 노이즈를 저감하기 위해서는│f1 - f2│/fAvg를 2 ％ 이상으로 하는 것이 요구된다. 또한, 6 ％ 이상이 바람직하고, 10 ％ 이상이 더욱 바람직하다. 또한,│f1 - f2│/fAvg를 크게 하면 복수의 음차형 진동자(10) 사이의 각속도의 감도의 차가 커진다. 이로 인해,│f1 - f2│/fAvg는 음차형 진동자(10) 사이의 각속도의 감도의 차가 허용되는 정도 이하여야만 하지만, 허용되는 정도는 각속도 센서가 사용되는 시스템에 따라 다르다. 또한, 음차형 진동자(10)를 3개 이상 포함하는 각속도 센서에 있어서는, 각 음차형 진동자(10) 사이의 공진 주파수의 차가 각각 공진 주파수의 평균(fAvg)의 2 ％ 이상인 것이 요구된다.
[제2 실시예]
제2 실시예는│f1 - f2│/fAvg가 2 ％ 이상인 각속도 센서에 있어서, 실장부인 프린트 기판(31) 상에 흡음부를 설치한 예이다. 도6의 (a) 및 도6의 (b)를 참조로, 프린트 기판(31)에 2개의 직교하는 음차형 진동자(10a, 10b)가 지지부(20a, 20b)를 통해 실장되어 있다. 도6의 (a)를 참조로, 프린트 기판(31) 상에 음차형 진동자(10a, 10b)의 진동을 흡수하기 위한 흡음부로서 흡음재(32)가 설치되어 있다. 흡음재(32)는 프린트 기판(31)의 진동을 흡수하는 연성의 재료이고, 예를 들어 에폭시 수지나 실리콘 수지 등의 수지를 이용할 수 있다. 도6의 (b)를 참조로, 흡음부로서 흡음재(32) 상에 추(34)가 설치되어 있다. 그 밖의 구성은 도6의 (a)와 동일하다. 흡음재(32)는 추(34)를 접착하는 접착제로서의 기능도 갖고 있다. 도6의 (b)는 추(34)에 의해 프린트 기판(31)의 진동을 더욱 흡수시킬 수 있다. 제2 실시예에 따르면, 한쪽의 음차형 진동자(10a) 또는 진동자(10b)로부터 다른 쪽의 음차형 진동자(10b) 또는 진동자(10a)로의 프린트 기판(31)을 전파하는 진동을 흡음부가 흡수하는 것에 의해, 간섭 노이즈를 저감할 수 있다. 흡음부는 한쪽의 음차형 진동자(10a) 또는 음차형 진동자(10b)로부터 다른 쪽의 음차형 진동자(10b) 또는 음차형 진동자(10a)로의 진동을 흡수하기 위해, 음차형 진동자(10a, 10b) 사이에 배치하는 것이 바람직하다. 흡음부로서는, 프린트 기판(31) 등의 실장부의 두께를 부분적으로 두껍게 하여 관성 모멘트를 크게 하고 음차형 진동자(10a, 10b)의 진동을 전파하기 어렵게 하는 것에 의해, 진동을 흡수해도 좋다.
[제3 실시예]
제3 실시예는│f1 - f2│/fAvg가 2 ％ 이상인 각속도 센서에 있어서, 음차형 진동자의 무게 중심을 지지부 위로 한 예이다. 도7의 (a) 및 도7의 (b)는, 음차형 진동자(10)의 무게 중심과 중력 방향 및 음차형 진동자(10)의 길이 방향을 포함하는 투영면을 도시하는 도면이다. 또한, 그 밖의 구성은 제1 실시예와 마찬가지이 므로 설명을 생략한다. 도7의 (a)를 참조로, 각속도 센서의 음차형 진동자(10)의 무게 중심(G)을 지지부(20)의 음차형 진동자(10)를 지지하기 위한 지지면(22)을 도7의 (a)의 투영면에 수직으로 투영한 영역의 바로 위로 한다. 이것에 의해, 외부로부터의 단기적인 진동, 충격이 가해진 경우에도, 음차형 진동자(10)가 진동 운동을 억제할 수 있다. 음차형 진동자(10)가 진동 운동하는 경우, 검지축을 중심으로 회전하고 있지 않음에도 불구하고 회전하고 있다고 오인하여 불필요한 신호를 출력하는 일이 있다. 도7의 (a)의 각속도 센서는, 진동 운동을 억제할 수 있기 때문에 불필요 신호의 출력을 억제할 수 있다. 또한, 각속도 센서를 예를 들어 차량 탑재 용도와 같이 온도 변화가 큰 환경에서 사용하는 경우, 지지면(22)에 있어서 음차형 진동자(10)를 고착하는 예를 들어 접착제 등의 접합 부재가, 온도 변화에 의해 경도가 변화하고, 연성으로 된 상태에서는 음차형 진동자(10)가 경사지는 일이 있다. 이것에 의해, 음차형 진동자(10)의 감도 또는 오프셋량의 변동이 생겨 버린다. 이러한 경우라도, 음차형 진동자(10)의 무게 중심(G)을 지지면(22)의 바로 위로 하는 것에 의해, 온도 변화에 기인한 음차형 진동자(10)의 감도 또는 오프셋량의 변동을 억제할 수 있다.
도7의 (b)를 참조로, 각속도 센서의 음차형 진동자(10)의 무게 중심(G)을 지지부(20)의 음차형 진동자(10)가 실장되기 위한 실장면(24)을 도7의 (b)의 투영면에 투영한 영역의 바로 위로 한다. 이것에 의해, 도7의 (a)와 마찬가지로, 진동 운동을 억제하여 불필요 신호의 출력을 억제할 수 있다. 또한, 온도 변화에 기인한 실장면(24)의 접합 부재의 열화에 의해, 음차형 진동자(10)의 감도 또는 오프셋 량이 변동하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 음차형 진동자(10)의 무게 중심(G)을 지지면(22)을 투영면에 투영한 영역의 바로 위 또는 실장면(24)을 투영면에 투영한 영역의 바로 위로 하는 것은 복수의 음차형 진동자(10) 중 적어도 1개이면 좋다. 또한, 제2 실시예의 구성에 제3 실시예의 구성을 이용해도 좋다.
[제4 실시예]
제4 실시예는,│f1 - f2│/fAvg가 2 ％ 이상인 각속도 센서에 있어서, 지지면이 음차형 진동자와의 접합을 강화하기 위한 접합 강화부(제1 접합 강화부)를 갖는 예이다. 도8의 (a) 및 도8의 (b)는 제4 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부(20)를 나타내는 도면이다. 도8의 (a)를 참조로, 지지면(22)은 지지부(20)를 관통하는 구멍 또는 슬릿(23a)을 갖고 있다. 도8의 (b)를 참조로, 지지면(22)은 절결부(23b)를 갖고 있다. 이와 같이, 음차형 진동자(10)와의 접합을 강화하기 위한 접합 강화부를 설치한다. 접합 강화부로서는, 제4 실시예의 슬릿(23a) 또는 절결부(23b)와 같이 지지면(22)의 표면적을 크게 하고, 접착재 등의 접합 부재와의 접합 면적을 크게 한 구성으로 할 수 있다. 이것에 의해, 앵커 효과에 의해 음차형 진동자(10)와 지지부(20)와의 결합 강화를 도모할 수 있다.
도9의 (a) 내지 도9의 (d)는 음차형 진동자(10)와 지지부(20)와의 접합 강화의 향상의 효과를 나타내는 도면이다. 지지면(22)에 접합 강화부를 갖지 않는 제1 실시예 및 지지부(22)에 접합 강화부로서 도8의 (a)의 슬릿(23a)을 갖는 제4 실시예를 이용하여, -55 ℃와 125 ℃에서 각 30분 유지하는 열 충격 시험을 행했다. 도9의 (a) 및 도9의 (c)는 각각 제1 실시예에 관한 복수의 각속도 센서 및 제4 실시예에 관한 복수의 각속도 센서에 대해, 열 충격 시험을 행하기 전과 행한 후의 구동 모드와 검출 모드와의 공진 주파수의 차[이조(離調)(Δf)]를 열 충격 횟수(사이클)에 대해 나타낸 도면이다. 도9의 (b) 및 도9의 (d)는 각각 제1 실시예에 관한 복수의 각속도 센서 및 제4 실시예에 관한 복수의 각속도 센서에 대해, 검출 모드의 임피던스의 변화를 열 충격 횟수에 대해 나타낸 도면이다.
도9의 (a)와 같이, 제1 실시예에 있어서는 열 충격 횟수가 100회를 넘으면 이조(Δf)가 급격히 커지는 것에 반해, 도9의 (c)와 같이, 제4 실시예에서는 열 충격 횟수를 1000회 행해도 이조(Δf)는 2 ㎐ 정도이다. 또한, 도9의 (b)와 같이, 제1 실시예에 있어서는, 열 충격 횟수가 100회를 넘으면 검출 모드의 임피던스의 변화가 커지는 것에 반해, 도9의 (d)와 같이, 제4 실시예에 있어서는, 열 충격 횟수를 1000회 행해도 검출 모드의 임피던스는 거의 변화하지 않는다. 예를 들어 차량 탑재 용도에 각속도 센서를 이용하는 경우의 기준은, 열 충격 횟수를 최저 1000회, 혹은 3000회 행한 후에, 이조(Δf)는 5 ㎐ 이하에서, 검출 모드의 임피던스 변화는 거의 없는 것이 요구된다. 도9의 (a)와 같이, 제1 실시예에 있어서는, 이 기준을 만족시킬 수 없지만, 제4 실시예에 있어서는, 도9의 (c)와 같이, 열 충격 횟수 1000회 후의 이조(Δf)를 5 ㎐ 이하로 할 수 있다. 이와 같이, 지지면(22)에 접합 강화부를 설치하는 것에 의해 내열 충격성을 향상시킬 수 있다. 또한, 음차형 진동자(10)를 지지하는 복수의 지지부(20) 중 적어도 1개의 지지면(22)이 접합 강화부를 갖고 있으면 좋다. 또한, 제2 실시예 및 제3 실시예의 구성에 제4 실시 예의 구성을 이용해도 좋다.
[제5 실시예]
제5 실시예는,│f1 - f2│/fAvg가 2 ％ 이상인 각속도 센서에 있어서, 실장면이 실장부와의 접합을 강화하기 위한 접합 강화부(제2 접합 강화부)를 갖는 예이다. 도10의 (a) 내지 도10의 (c)는 제5 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부(20)를 나타내는 도면이다. 그 밖의 구성은 제1 실시예와 마찬가지이다. 도10의 (a)를 참조로, 실장면(24)은 지지부(20)를 관통하는 구멍 또는 슬릿(25a)을 갖고 있다. 도10의 (b)를 참조로, 실장면(24)은 절결부(25b)를 갖고 있다. 도10의 (c)를 참조로, 실장면(24)은 피트(25c)(아래로부터 보아 볼록부)를 갖고 있다. 제5 실시예와 같이, 실장면(24)에 실장부와의 접합을 강화하기 위한 접합 강화부를 설치한다. 접합 강화부로서는, 제5 실시예의 슬릿(25a), 절결부(25b) 또는 피트(25c)와 같이, 실장면(24)의 표면적을 크게 하고, 접착재 등의 접합 부재와의 접합 면적을 크게 한 구성으로 할 수 있다. 이것에 의해, 앵커 효과에 의해 실장부인 패키지(30)와 지지부(20)와의 접합 강화를 도모할 수 있다. 또한, 음차형 진동자(10)를 지지하는 복수의 지지부(20) 중 적어도 1개의 실장면(24)이 접합 강화부를 갖고 있으면 좋다. 또한, 제2 실시예 내지 제4 실시예의 구성에 제5 실시예의 구성을 이용해도 좋다.
[제6 실시예]
제6 실시예는,│f1 - f2│/fAvg가 2 ％ 이상인 각속도 센서에 있어서, 음차형 진동자(10)의 아암부(11, 12)의 면내 진동면과 교차하는 지지면(26)을 갖고, 지지면(26)이 접합 강화부(제1 접합 강화부)를 갖는 예이다. 도11의 (a) 내지 도11의 (d)는 제6 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부(20)를 나타내는 도면이다. 그 밖의 구성은 제1 실시예와 마찬가지이다. 도11의 (a)를 참조로, 지지면(26)은 음차형 진동자(10)의 면내 진동 모드[도4의 (a)의 진동 모드]의 진동 방향의 면에 대해 직교하고 있다. 또한, 지지면(26)은 지지부(20)를 관통하는 구멍 또는 슬릿(27a)을 갖고 있다. 또한, 지지면(26)과 실장면(24)은 부재(29a)에 의해 접속된다. 도11의 (b)를 참조로, 지지면(26)은 절결부(27b)를 갖고 있다. 그 밖의 구성은 도11의 (a)와 동일하다. 도11의 (c)를 참조로, 지지면(26)과 실장면(24)은 부재(29a)와는 다른 형상의 부재(29b)에 의해 접속된다. 그 밖의 구성은 도11의 (a)와 동일하다. 도11의 (d)를 참조로, 지지면(26)은 절결부(27b)를 갖고 있다. 그 밖의 구성은 도11의 (c)와 동일하다.
제6 실시예와 같이, 지지면(26)은 음차형 진동자(10)의 아암부(11, 12)의 면내 진동 모드[도4의 (a)의 진동 모드]의 진동 방향의 면인 면내 진동면[즉, 복수의 아암부(11, 12)의 방향의 면]에 대해 직교하고 있다. 면내 진동면은, 도4의 (a)의 면내 진동 모드 및 도4의 (b)의 면 수직 진동 모드에 있어서도 진동이 큰 면이다. 그로 인해, 제1 실시예 내지 제5 실시예와 같이, 지지면(22)이 이 면을 지지하면, 구동 모드나 검출 모드로서 사용하는 진동 모드를 억제해 버린다. 한편, 면내 진동 모드에 직교하는 면은 면내 진동 모드 및 면 수직 진동 모드에 있어서 진동이 작은 면이다. 따라서, 면내 진동 모드에 직교하는 면에서 음차형 진동자(10)를 지 지하는 것에 의해, 제1 실시예 내지 제5 실시예와 같이 진동 모드가 억제되는 효과를 억제할 수 있다. 또한, 지지면(26)은 음차형 진동자(10)의 면내 진동 모드에 대해 직교하고 있는 경우가 가장 상기 효과가 크게 바람직하지만, 지지면(26)은 면내 진동 모드와 교차하고 있으면 그 효과를 발휘할 수 있다. 또한, 지지면(26)에 음차형 진동자(10)와의 접합을 강화하기 위한 접합 강화부(제1 접합 강화부)를 설치한다. 이것에 의해, 지지부(20)와 음차형 진동자(10)와의 접합 강화를 도모할 수 있다. 또한, 지지부(20)의 지지면(26)과 실장면(24)을 접속하는 부재(29a) 또는 부재(29b)는 임의의 형상으로 할 수 있다. 음차형 진동자(10)를 지지하는 복수의 지지부(20) 중 적어도 1개의 지지면(26)이 접합 강화부를 갖고 있으면 좋다. 또한, 제2 실시예 및 제3 실시예의 구성에 제6 실시예의 구성을 이용해도 좋다.
[제7 실시예]
제7 실시예는,│f1 - f2│/fAvg가 2 ％ 이상인 각속도 센서에 있어서, 음차형 진동자(10)의 아암부(11, 12)의 면내 진동면과 교차하는 지지면(26)을 갖고, 실장면(24)이 접합 강화부(제2 접합 강화부)를 갖는 예이다. 도12의 (a) 내지 도12의 (c)는 제7 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부(20)를 나타내는 도면이다. 그 밖의 구성은 제1 실시예와 마찬가지이다. 도12의 (a)를 참조로, 지지면(26)은 음차형 진동자(10)의 면내 진동 모드에 직교하고 있다. 또한, 실장면(24)은 지지부(20)를 관통하는 구멍 또는 슬릿(25a)을 갖고 있다. 도12의 (b)를 참조로, 실장면(24)은 절결부(25b)를 갖고 있다. 도12의 (c)를 참조로, 실장면(24)은 피 트(25c)(아래로부터 보아 볼록부)를 갖고 있다.
제7 실시예와 같이, 지지면(26)이 음차형 진동자(10)의 아암부(11, 12)의 면내 진동면과 교차하고, 음차형 진동자(10)와의 접합을 강화하기 위한 접합 강화부를 설치한다. 이것에 의해, 지지부(20)와 음차형 진동자(10)와의 접합 강화를 도모할 수 있다. 또한, 지지부(20)의 지지면(26)과 실장면(24)을 접속하는 부재(29a) 또는 부재(29b)는 임의의 형상으로 할 수 있다. 또한, 음차형 진동자(10)를 지지하는 복수의 지지부(20) 중 적어도 1개의 지지면(26)이 접합 강화부를 갖고 있으면 좋다. 또한, 제2 실시예, 제3 실시예 및 제6 실시예의 구성에 제7 실시예의 구성을 이용해도 좋다.
[제8 실시예]
제8 실시예는,│f1 - f2│/fAvg가 2 ％ 이상인 각속도 센서에 있어서, 지지면을 음차형 진동자(10)의 노드 부근에 설치한 예이다. 도13은 음차형 진동자(10)의 지지부(20)의 지지면이 접합 부재를 통해 접하는 면을 설명하기 위한 도면이다. 예를 들어, 도4의 (a) 및 도4의 (b)의 진동 모드를 이용한 경우, 도4의 (a)의 노드 A와 도4의 (b)의 노드 B와의 공통의 노드는 노드 B로 된다. 도13을 참조로, 노드 B를 음차형 진동자(10)의 베이스부(13)의 하면(S1)에 수직으로 투영한 영역이 영역(R1)(직선)이고, 후면(S2)에 투영한 영역은 노드 B와 후면(S2)이 교차한 영역(R2)(점)이다. 제8 실시예에서는, 영역(R1)을 포함하는 하면(S1)의 일부의 영역(17) 또는 영역(R2)을 포함하는 후면(S2)의 일부의 영역(18)이 지지면에 의해 지 지되어 있다.
도14의 (a) 내지 도14의 (b)는 제8 실시예에 관한 각속도 센서의 지지부(20)를 나타내는 도면이다. 그 밖의 구성은 제1 실시예와 마찬가지이다. 도14의 (a)를 참조로, 지지면(22a)은 베이스(13)의 하면(S1)의 일부인 영역(17)을 지지한다. 도14의 (b)를 참조로, 지지면(26a)은 베이스부(13)의 후면(S2)의 일부인 영역(18)을 지지한다. 도14의 (c)를 참조로, 지지면(22b, 26a)은 각각 영역(17, 18)을 지지한다.
제8 실시예에 따르면, 음차형 진동자(10)의 노드를 베이스부(13) 중 적어도 1개의 면(S1) 또는 면(S2)에 투영한 영역(R1) 또는 영역(R2), 즉 면(S1) 또는 면(S2)의 일부의 영역(17) 또는 영역(18)을 지지하는 지지면(22a, 22b) 또는 지지면(26a)에 있어서 음차형 진동자(10)를 지지한다. 노드 B는 음차형 진동자(10)의 진동하지 않는 영역이다. 따라서, 베이스부(13)의 면(S1) 또는 면(S2) 중 노드 B에 가장 가까운 영역, 즉 면(S1) 또는 면(S2)에 노드 B를 수직으로 투영한 영역(R1) 또는 영역(R2)은 진동이 작은 영역으로 된다. 따라서, 영역(R1) 또는 영역(R2)을 포함하는 일부의 면에서 음차형 진동자(10)를 지지면에서 지지하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 지지면에 가해지는 응력이 저감하여, 지지면과 음차형 진동자(10)와의 박리를 억제할 수 있다. 또한, 제8 실시예에서는, 구동 모드의 노드 A 및 검출 모드의 노드 B의 양방에 공통의 노드 B의 근방을 지지면에서 지지했지만, 구동 모드 또는 검출 모드의 노드의 근방을 지지면에서 지지해도 좋다. 또한, 복수의 음차형 진동자(10) 중 적어도 1개에 적용하면 좋다. 또한, 제2 실시예 내지 제7 실시예의 구성에 제8 실시예의 구성을 적용해도 좋다.
실장부로서, 제1 실시예는 패키지(30), 제2 실시예는 프린트 기판(31)을 이용한 예였지만, 음차형 진동자(10a, 10b)를 실장하는 기능을 갖고 있으면, 그 밖의 부재라도 좋다. 음차형 진동자(10a, 10b)는 아암부(11, 12)가 2개의 예였지만 아암부가 3개 이상의 복수의 음차형 진동자라도 좋다. 지지부(20)는 제1 실시예 내지 제8 실시예에 있어서 나타낸 형상으로 한정되지 않고, 음차형 진동자(10)를 지지하는 지지면(22)과 실장부에 실장되는 실장면(24)을 갖고 있으면 좋다. 또한, 이상은 진동자가 2개인 경우에 대해 기술했지만, 물론 진동자가 3개 이상인 경우에도 적용할 수 있는 것은 물론이다.
이상, 본 발명의 실시예에 대해 상세하게 서술했는데, 본 발명은 이러한 특정한 실시예에 한정되는 것은 아니고, 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 요지의 범위 내에 있어서 다양한 변형ㆍ변경이 가능하다.
본 발명에 따르면, 복수의 음차형 진동자 사이의 간섭 노이즈를 저감하는 것이 가능한 각속도 센서를 제공할 수 있다.

Claims (10)

  1. 각각이 베이스부와 베이스부로부터 연장하는 복수의 아암부를 갖는 복수의 음차형 진동자를 구비하고,
    상기 복수의 음차형 진동자의 각 음차형 진동자 사이의 공진 주파수의 차가 상기 복수의 음차형 진동자의 공진 주파수의 평균의 2 ％ 이상인 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 음차형 진동자의 각각을 각각이 지지하는 복수의 지지부와,
    상기 복수의 지지부를 실장하는 실장부를 구비하는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  3. 제2항에 있어서, 상기 실장부에 설치되고 상기 복수의 음차형 진동자의 진동을 흡수하기 위한 흡음부를 구비하는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 복수의 음차형 진동자 중 적어도 1개의 음차형 진동자에 있어서, 상기 음차형 진동자의 무게 중심은, 상기 음차형 진동자의 무게 중심과 중력 방향 및 상기 음차형 진동자의 길이 방향을 포함하는 투영면에 있어서, 대응하는 지지부의 상기 음차형 진동자를 지지하는 지지면을 상기 투영면 에 투영한 영역의 바로 위 또는 상기 대응하는 지지부의 상기 실장부에 실장되는 실장면을 상기 투영면에 투영한 영역의 바로 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 대응하는 음차형 진동자를 지지하는 지지면에 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개와 상기 대응하는 음차형 진동자와의 접합을 강화하기 위한 제1 접합 강화부를 갖는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  6. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 상기 실장부에 실장되는 실장면에 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개와 상기 실장부와의 접합을 강화하기 위한 제2 접합 강화부를 갖는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  7. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 대응하는 음차형 진동자의 아암부의 면내 진동면과 교차하여 대응하는 음차형 진동자를 지지하는 지지면을 갖는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  8. 제7항에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 상기 지지면에 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개와 상기 대응하는 음차형 진동자와의 접합을 강화하기 위한 제1 접합 강화부를 갖는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  9. 제7항에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 상기 실장부에 실장되는 실장면에 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개와 상기 실장부와의 접합을 강화하기 위한 제2 접합 강화부를 갖는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  10. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 지지부 중 적어도 1개는, 대응하는 음차형 진동자의 노드를 대응하는 상기 베이스부 중 적어도 1개의 면에 투영한 영역을 포함하여 상기 적어도 1개의 면의 일부를 지지하는 지지면에 있어서, 상기 대응하는 음차형 진동자를 지지하는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
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JP4850572B2 (ja) * 2006-04-19 2012-01-11 富士通株式会社 角速度センサ
JP4678427B2 (ja) 2008-06-23 2011-04-27 株式会社村田製作所 振動ジャイロ
JP2011209002A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Seiko Epson Corp 振動片、角速度センサー、および電子機器
JP5845669B2 (ja) * 2011-07-11 2016-01-20 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイスおよび電子機器
JP6044101B2 (ja) 2012-04-10 2016-12-14 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法および電子機器

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02306111A (ja) * 1989-05-19 1990-12-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度検出装置
US5193391A (en) * 1990-11-14 1993-03-16 Cage Donald R Controlled vibration angular rate sensor
DE69308659T2 (de) * 1992-06-11 1997-10-02 Sagem Schwingstabgyroskop-Messvorrichtung mit Resonator
US5861705A (en) * 1994-11-01 1999-01-19 Fujitsu Limited Tuning-fork vibratory gyro and sensor system using the same
WO1996031754A1 (fr) * 1995-04-04 1996-10-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Capteur de vitesse angulaire
US5698784A (en) * 1996-01-24 1997-12-16 Gyration, Inc. Vibratory rate gyroscope and methods of assembly and operation
US6182508B1 (en) * 1996-12-18 2001-02-06 Denso Corporation Structure of angular rate sensor
US6151965A (en) * 1998-01-21 2000-11-28 Denso Corporation Structure of angular rate sensor for minimizing output noise
JP2000009476A (ja) * 1998-06-26 2000-01-14 Fujitsu Ltd 音叉型振動ジャイロ
JP2001116551A (ja) * 1999-10-18 2001-04-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2001349900A (ja) * 1999-12-28 2001-12-21 Fujitsu Ltd 加速度センサ及び加速度センサ装置
US6462530B1 (en) * 2001-01-25 2002-10-08 Bei Technologies, Inc. Redundant rate sensor and method
TW567664B (en) * 2001-10-09 2003-12-21 Ebauchesfabrik Eta Ag Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case
JP4389480B2 (ja) * 2003-05-28 2009-12-24 セイコーエプソン株式会社 振動子の支持機構及び振動子ユニット
JP4715153B2 (ja) * 2004-10-07 2011-07-06 パナソニック株式会社 角速度センサ
JP4658625B2 (ja) * 2005-01-25 2011-03-23 日本電波工業株式会社 角速度センサ及びその製造方法

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Publication number Publication date
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