JP2001138317A - セラミックスラリー組成物、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バインダー未溶解物が高精度に除去された、
積層セラミック電子部品の製造に用いるのに適したセラ
ミックスラリー組成物、該セラミックスラリー組成物を
用いたセラミックグリーンシート及び積層セラミック電
子部品の製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 セラミック粉末と分散剤とバインダーと
溶媒とを含有するセラミックスラリー組成物において、
バインダーとして、溶媒とバインダーとを予め混合溶解
し、１００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させたバイン
ダー溶液を用いることにより、バインダー未溶解物の含
有量を減少させる。また、高圧分散させたバインダー溶
液をろ過して、バインダー未溶解物を除去したバインダ
ー溶液を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、セラミックスラ
リー組成物、セラミックグリーンシート及び積層セラミ
ック電子部品の製造方法に関し、詳しくは、積層セラミ
ックコンデンサやセラミック多層基板などのセラミック
電子部品の製造に用いられるセラミックスラリー組成
物、該セラミックスラリー組成物を用いたセラミックグ
リーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサやセラミック
多層基板などの積層セラミック電子部品は、通常、セラ
ミックグリーンシートを積層、圧着し、熱処理して、セ
ラミックや電極を焼結させる工程を経て製造されてい
る。

【０００３】例えば、図１に示すように、セラミック素
子１中に内部電極２が配設され、かつ、セラミック素子
１の両端部に、交互に異なる側の端面に引き出された内
部電極２と導通するように一対の外部電極３ａ，３ｂが
配設された構造を有する積層セラミックコンデンサを製
造する場合、通常は、以下のような方法で製造されてい
る。

【０００４】まず、セラミックグリーンシートに容量
形成用の内部電極を配設することにより、電極配設シー
ト１１（図２）を形成する。 次に、図２に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数積層し、さらにその上下両面側に電極の配設されて
いないセラミックグリーンシート（外層用シート）２１
を積層、圧着することにより、各内部電極２の一端側が
交互に異なる側の端面に引き出された積層体（積層圧着
体）を形成する。 そして、この積層圧着体を所定の条件で焼成してセラ
ミックを焼結させた後、焼成後の積層体（セラミック素
子）１（図１）の両端部に導電性ペーストを塗布、焼付
けして、内部電極２と導通する外部電極３ａ，３ｂ（図
１）を形成する。これにより、図１に示すような積層セ
ラミックコンデンサが得られる。

【０００５】また、積層セラミック多層基板などの他の
積層セラミック電子部品も、セラミックグリーンシート
を積層する工程を経て製造されている。

【０００６】そして、このような積層セラミック電子部
品の製造に用いられるセラミックグリーンシートは、一
般に、セラミック粉末を、分散媒（溶媒）、分散剤、バ
インダー、可塑剤などと所定の割合で配合し、ビーズミ
ル、ボールミル、アトライタ、ペイントシェーカー、サ
ンドミルなどの媒体型分散機を用いて混合・解砕するこ
とにより製造したセラミックスラリーを、ドクターブレ
ード法などの方法により所定の厚さのシートに成形した
後、乾燥させることにより製造されている。

【０００７】ところで、近年、積層セラミックコンデン
サをはじめとする種々の積層セラミック電子部品に対し
ては、他の電子素子に対するのと同様に、小型化、高性
能化が求められるようになっている。そして、そのため
には、積層セラミック電子部品の製造に用いられるセラ
ミックグリーンシートを薄くすることが必要になり、近
年は、厚みが１０μm以下の極めて薄いセラミックグリ
ーンシートを用いることが必要になりつつある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、厚みの
薄いセラミックグリーンシートにはピンホールなどの欠
陥が発生しやすく、そのようなセラミックグリーンシー
トを用いて、図１に示すような積層セラミックコンデン
サを製造した場合、セラミック層を介して対向する内部
電極２間に短絡（ショート不良）が生じることがある。
そして、このようなショート不良の発生原因となるセラ
ミックグリーンシートの欠陥の主たる原因の一つが、セ
ラミックグリーンシートの製造に用いられるセラミック
スラリー中にバインダー未溶解物が存在することであ
り、バインダー未溶解物の含有量がショート不良の発生
率に大きく影響することがわかっている。

【０００９】従来、上述のようなセラミックグリーンシ
ートの製造に用いられるセラミックスラリーに用いられ
るバインダーとしては、ポリビニルブチラール樹脂、セ
ルロース系樹脂、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポリ
ビニルアルコール樹脂などが一般的に用いられており、
これらのバインダーと、トルエン、キシレン、エチルア
ルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール
などの溶媒をあわせて、撹拌混合することにより調製し
たバインダー溶液を用いることが一般的に行われてい
る。

【００１０】しかし、バインダーと溶媒をあわせて、撹
拌混合するだけでは、バインダーを完全に溶解すること
はできず、バインダー溶液中には未溶解物が残存するこ
とになる。これらの未溶解物を分離除去するための一般
的な方法として、ろ過による方法が考えられるが、バイ
ンダー溶液は粘度が高いため、ろ過する際の抵抗が大き
く、目開きの小さいフィルターを用いてろ過するには限
界があり、完全に未溶解物を除去するのは困難であるの
が実情である。

【００１１】また、未溶解物を含むバインダーを添加し
た後のセラミックスラリーをろ過する方法も考えられる
が、その場合も、フィルターにセラミック粉末が詰りや
すいため、目開きの小さいフィルターにてろ過するには
限界がある。

【００１２】本願発明は、このような背景に鑑みてなさ
れたものであり、バインダー未溶解物が高精度に除去さ
れたセラミックスラリー組成物、該セラミックスラリー
組成物を用いたセラミックグリーンシート及び積層セラ
ミック電子部品の製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願発明（請求項１）のセラミックスラリー組成物
の製造方法は、セラミック粉末と分散剤とバインダーと
溶媒とを含有するセラミックスラリー組成物の製造方法
において、少なくとも、(ａ)セラミック粉末と、(ｂ)分
散剤と、(ｃ)溶媒とバインダーとを予め混合溶解し、１
００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させたバインダー溶
液とを所定の割合で配合し、分散させることを特徴とし
ている。

【００１４】溶媒とバインダーとを予め混合溶解し、１
００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させることにより、
バインダーを効率よく溶媒に溶解させることが可能にな
り、得られるバインダー溶液を、セラミック粉末、分散
剤などと所定の割合で配合して、分散させることによ
り、バインダー未溶解物の含有量の少ないセラミックス
ラリー組成物を効率よく製造することが可能になる。そ
して、本願発明のセラミックスラリー組成物を用いてセ
ラミックグリーンシートを製造することにより、欠陥の
少ないセラミックグリーンシートを効率よく製造するこ
とが可能になる。

【００１５】また、請求項２のセラミックスラリー組成
物の製造方法は、前記バインダーとして、溶媒とバイン
ダーとを予め混合して溶解し、１００kg／cm^２以上の圧
力で高圧分散させた後、ろ過することにより調製したバ
インダー溶液を用いることを特徴としている。

【００１６】バインダーを高圧分散させると、粘度が低
下するため、目開きの小さいフィルターにてろ過しやす
くなり、未溶解物を効率よく除去することが可能にな
る。したがって、さらに未溶解物が高精度に除去された
セラミックスラリーを確実に製造することが可能にな
り、本願発明をさらに実効あらしめることができる。

【００１７】本願発明（請求項３）のセラミックスラリ
ー組成物は、少なくともセラミック粉末と分散剤とバイ
ンダーと溶媒とを含有するセラミックスラリー組成物で
あって、前記バインダーとして、溶媒とバインダーとを
予め混合溶解し、１００kg／cm ^２以上の圧力で高圧分散
させたバインダー溶液が用いられていることを特徴とし
ている。

【００１８】溶媒とバインダーとを予め混合溶解し、１
００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させたバインダー溶
液は、バインダーの溶解性に優れていることから、より
バインダー未溶解物の少ないセラミックスラリーを得る
ことが可能になり、本願発明のセラミックスラリー組成
物を用いてセラミックグリーンシートを製造することに
より、欠陥の少ないセラミックグリーンシートを効率よ
く製造することが可能になる。

【００１９】なお、本願発明においては、バインダーと
して、可塑剤、帯電防止剤を含むものを用いることが可
能であり、さらに他の添加剤を含むものを用いることも
可能である。

【００２０】また、本願発明においては、セラミック粉
末、分散剤、バインダーを配合して分散させる際の分散
方法（分散工法）に特別の制約はなく、ビーズミル、ボ
ールミル、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミ
ルなどの媒体型分散機を用いる方法や、固練り法、三本
ロールを用いる方法や、高圧分散など、種々の分散方法
を用いることが可能である。また、セラミック粉末の段
階で、あるいはセラミック粉末と分散剤を配合した段階
で、上記の種々の分散方法のいずれかの方法によって、
予め分散させるように構成することも可能である。

【００２１】なお、セラミックスラリー組成物を調製す
る際における、分散剤やバインダーの添加順序には、特
に制約はないが、通常は、セラミック粉末と分散剤と溶
媒を混合して分散させることにより、分散剤をセラミッ
ク粉末に吸着させた後、バインダーを添加し、再度、混
合・分散させることが好ましい。

【００２２】また、請求項４のセラミックスラリー組成
物は、前記バインダーとして、溶媒とバインダーとを予
め混合して溶解し、１００kg／cm^２以上の圧力で高圧分
散させた後、ろ過することにより調製したバインダー溶
液が用いられていることを特徴としている。

【００２３】バインダーを高圧分散させると、粘度が低
下するため、目開きの小さいフィルターにてろ過しやす
くなり、未溶解物を効率よく除去することが可能になる
ことから、さらに未溶解物が高精度に除去されたセラミ
ックスラリーが得られる。

【００２４】また、請求項５のセラミックスラリー組成
物は、前記セラミック粉末の平均粒径が０．０１〜１μ
mであることを特徴としている。

【００２５】本願発明は、平均粒径が０．０１〜１μm
と微細なセラミック粉末を使用した、厚みの薄いセラミ
ックグリーンシートを製造するためのセラミックスラリ
ー組成物に適用した場合に特に有意義である。すなわ
ち、平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末を使
用し、かつ、バインダーとして、上述のような高圧分散
処理を行ったバインダー溶液を使用したセラミックスラ
リー組成物を用いることにより、厚みが薄く、欠陥の少
ないセラミックグリーンシートを効率よく製造すること
が可能になる。ただし、本願発明は、平均粒径が０．０
１〜１μmの範囲を超える場合にも適用することが可能
である。

【００２６】また、本願発明（請求項６）のセラミック
グリーンシートの製造方法は、請求項３〜５のいずれか
に記載のセラミックスラリー組成物を、所定の基材上に
シート状に成形して、セラミックグリーンシートを形成
することを特徴としている。

【００２７】請求項３〜５のいずれかに記載のセラミッ
クスラリー組成物は、バインダー未溶解物が少ないか、
又は、ほとんど存在しないため、これをシート状に成形
することにより、厚さが薄く、欠陥のない高品質のセラ
ミックグリーンシートを確実に製造することが可能にな
る。また、このセラミックグリーンシートを用いて積層
セラミック電子部品を製造した場合、所望の特性を有す
る高品質で信頼性の高い積層セラミック電子部品を得る
ことが可能になる。

【００２８】また、請求項７のセラミックグリーンシー
トの製造方法は、前記セラミックグリーンシートの厚さ
が０．１〜１０μmであることを特徴としている。

【００２９】本願発明によれば、厚さを薄く（厚さ＝
０．１〜１０μm）した場合にも、高品質のセラミック
グリーンシートを確実に製造することが可能で、積層セ
ラミック電子部品の製造に用いるのに適したセラミック
グリーンシートを得ることが可能になる。

【００３０】また、請求項８記載の積層セラミック電子
部品の製造方法は、請求項６又は７の製造方法により製
造されたセラミックグリーンシートを、卑金属内部電極
とともに積層、切断、焼成した後、外部電極を形成する
ことを特徴としている。

【００３１】請求項６又は７記載の製造方法により製造
されたセラミックグリーンシートを卑金属内部電極とと
もに積層、切断、焼成した後、外部電極を形成するよう
にした場合、欠陥の少ないセラミックグリーンシートが
用いられることになるため、ショート率が低く信頼性の
高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが
できるようになる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。本
願発明を実施するにあたっては、セラミック粉末の種類
や具体的な組成に特別の制約はなく、チタン酸バリウム
系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸鉛系などの誘
電体セラミック粉末、フェライト系などの磁性体セラミ
ック粉末、圧電体セラミック粉末、アルミナ、シリカな
どの絶縁体セラミック粉末などの種々のセラミック粉末
を用いたセラミックスラリーに広く適用することが可能
である。

【００３３】また、セラミック粉末の粒径についても、
特に制約はないが、電子顕微鏡で求めた平均粒径が０．
０１〜１μmの微細なセラミック粉末を用いてセラミッ
クスラリー組成物を製造する場合に適用したときに、厚
みが薄く、欠陥の少ないセラミックグリーンシートを効
率よく製造することが可能なセラミックスラリー組成物
を得ることが可能になり、この発明による効果が最も発
揮される。また、セラミック粉末は、添加物や夾雑物を
含有していてもよい。例えば、セラミック粉末がチタン
酸バリウムを主成分としている場合に、添加剤としてガ
ラス、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化バリウ
ム、希土類酸化物、酸化カルシウム成分などを含有して
いてもよい。

【００３４】また、本願発明においては、溶媒（分散
媒）の種類に特別の制約はなく、例えば、トルエン、キ
シレンのような芳香族系、あるいはエチルアルコール、
イソプロピルアルコール、ブチルアルコールのようなア
ルコール系などの種々の溶媒を用いることが可能であ
る。また、これらの溶媒のうちの１種を単独で用いても
よく、また、混合して用いてもよい。分散媒としては、
さらに他の有機溶剤を用いることも可能であり、また、
水を用いることも可能である。

【００３５】また、バインダーとしては、ポリビニルブ
チラール樹脂、セルロース系樹脂、アクリル樹脂、酢酸
ビニル樹脂、ポリビニルアルコール樹脂などを用いるこ
とが可能であるが、目的とするセラミックグリーンシー
トに応じて、適宜その種類及び量が選択される。

【００３６】また、本願発明のセラミックスラリー組成
物は可塑剤を含むことが可能であるが、その場合の可塑
剤としては、ポリエチレングリコール、フタル酸エステ
ルなどの種々の可塑剤が適宜用いられる。また、その量
は、目的とするセラミックグリーンシートに応じて選択
される。なお、上述のセラミック粉末、分散媒、可塑剤
などについての諸条件は、本願のすべての請求項の発明
にあてはまるものである。

【００３７】以下に、具体的な実施例を示して本願発明
をさらに詳しく説明する。 ［実施例１］ まず、以下に示すような割合で、セラミック粉末、分
散剤、及び溶媒（溶剤）を配合する。 (ａ)平均粒径０．２μmの誘電体材料（添加成分を含む
セラミック粉末）：１００重量部 (ｂ)アニオン系分散剤：２重量部 (ｃ)溶媒（溶剤）−トルエン：３５重量部，エタノー
ル：３５重量部 次に、この配合原料に、直径２mmのジルコニア製の玉
石５００重量部を添加し、５時間ボールミルにより混合
・解砕して一次セラミックスラリーを得る。 また、以下に示すような割合で、バインダー、可塑
剤、及び溶媒（溶剤）を配合し、攪拌混合した後、５０
０kg／cm^２の圧力で５回処理（高圧分散処理）してバイ
ンダー溶液を得る。 (ａ)バインダー（アクリル樹脂系バインダー）：１０重
量部 (ｂ)可塑剤（ジオクチルフタレイト（以下、「ＤＯ
Ｐ」）：１．４重量部 (ｃ)溶媒（溶剤）−トルエン：１００重量部，エタノー
ル：１００重量部 次に、上記一次セラミックスラリーに上記バインダー
溶液を添加し、１６時間ボールミルにより混合・分散し
てセラミックスラリー組成物を得る。

【００３８】次に、このセラミックスラリー組成物を、
ドクターブレード法によりシート状に成形してセラミッ
クグリーンシートを作製した。

【００３９】それから、このセラミックグリーンシート
を用いて、図１に示すように、セラミック素子１中に内
部電極２が配設され、かつ、セラミック素子１の両端部
に、交互に異なる側の端面に引き出された内部電極２と
導通するように一対の外部電極３ａ，３ｂが配設された
構造を有する積層セラミックコンデンサを製造した。

【００４０】なお、積層セラミックコンデンサの製造方
法は以下の通りである。 まず、上述のようにして作製したセラミックグリーン
シートに、Ｎｉペーストをスクリーン印刷することによ
り、容量形成用の内部電極が配設された電極配設シート
を形成する。 次に、図２に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数積層し、さらにその上下両面側に電極の配設されて
いないセラミックグリーンシート（外層用シート）２１
を積層、圧着することにより、各内部電極２の一端側が
交互に異なる側の端面に引き出された積層体（積層圧着
体）を形成する。 そして、この積層圧着体を、ダイサーにより所定のサ
イズにカットした後、脱バインダー及び焼成を行う。脱
バインダーは、窒素雰囲気中で熱処理することにより行
う。また、焼成は、弱還元性雰囲気で所定の温度に加熱
することにより行う。 それから、焼成後の積層体（セラミック素子）１の両
端部にＡｇを導電成分とする導電性ペーストを塗布、焼
付けすることにより、内部電極２と導通する外部電極３
ａ，３ｂ（図１）を形成する。これにより、図１に示す
ような、Ｎｉを内部電極２とする積層セラミックコンデ
ンサが得られる。

【００４１】上記のようにして製造した積層セラミック
コンデンサのショート率（ショート発生率）を測定した
結果、１３％と良好であった。また、静電容量の温度特
性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００４２】［実施例２］バインダーをアクリル樹脂系
バインダーから、ポリビニルブチラール樹脂系バインダ
ーに変更したこと以外は、上記実施例１と同じ条件でセ
ラミックスラリー組成物を製造した。そして、このセラ
ミックスラリー組成物からセラミックグリーンシートを
製造し、さらに得られたセラミックグリーンシートを用
いて、積層セラミックコンデンサを製造した。なお、セ
ラミックグリーンシート及び積層セラミックコンデンサ
の製造方法は、上記実施例１の場合と同様である。

【００４３】得られた積層セラミックコンデンサのショ
ート率を測定した結果、９％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００４４】［実施例３］分散剤を水溶性のアニオン系
分散剤に、バインダーを水溶性のアクリル樹脂系バイン
ダーに変更するとともに、溶媒を水に変更したこと以外
は、上記実施例１と同じ条件でセラミックスラリー組成
物を製造した。そして、このセラミックスラリー組成物
からセラミックグリーンシートを製造し、さらに得られ
たセラミックグリーンシートを用いて、積層セラミック
コンデンサを製造した。なお、セラミックグリーンシー
ト及び積層セラミックコンデンサの製造方法は、上記実
施例１の場合と同様である。

【００４５】得られた積層セラミックコンデンサのショ
ート率を測定した結果、１６％と良好であった。また、
静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであっ
た。

【００４６】[実施例４]バインダー溶液として、９９％
カットろ過精度で、目開きが０．１μm以下のフィルタ
ーにてろ過したバインダー溶液（ろ過バインダー溶液）
を用いたこと以外は、上記実施例１と同じ条件でセラミ
ックスラリー組成物を製造した。そして、このセラミッ
クスラリー組成物からセラミックグリーンシートを製造
し、さらに得られたセラミックグリーンシートを用い
て、積層セラミックコンデンサを製造した。なお、セラ
ミックグリーンシート及び積層セラミックコンデンサの
製造方法は、上記実施例１の場合と同様である。

【００４７】得られた積層セラミックコンデンサのショ
ート率を測定した結果、６％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００４８】［実施例５］高圧分散処理を行う際の圧力
を１０００kg／cm^２とし、さらにバインダー溶液とし
て、９９％カットろ過精度で、目開きが０．１μm以下
のフィルターにてろ過したろ過バインダー溶液を用いた
こと以外は、上記実施例２と同じ条件で、セラミックス
ラリー組成物を製造した。そして、このセラミックスラ
リー組成物からセラミックグリーンシートを製造し、さ
らに得られたセラミックグリーンシートを用いて、積層
セラミックコンデンサを製造した。なお、セラミックグ
リーンシート及び積層セラミックコンデンサの製造方法
は、上記実施例１の場合と同様である。

【００４９】得られたセラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、４％と良好であった。また、静電容
量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００５０】［比較例１］バインダーを攪拌混合しただ
けで、高圧分散処理を行っていないものを用いたこと以
外は、上記実施例１と同じ条件でセラミックスラリー組
成物を製造した。そして、このセラミックスラリー組成
物からセラミックグリーンシートを製造し、さらに得ら
れたセラミックグリーンシートを用いて、積層セラミッ
クコンデンサを製造した。なお、セラミックグリーンシ
ート及び積層セラミックコンデンサの製造方法は、上記
実施例１の場合と同様である。

【００５１】得られた積層セラミックコンデンサのショ
ート率を測定した結果、ショート率は４９％と高かっ
た。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するも
のであった。

【００５２】［比較例２］高圧分散処理を行う際の圧力
を５０kg／cm^２としたこと以外は、上記実施例２と同じ
条件で、セラミックスラリー組成物を製造した。そし
て、このセラミックスラリー組成物からセラミックグリ
ーンシートを製造し、さらに得られたセラミックグリー
ンシートを用いて、積層セラミックコンデンサを製造し
た。なお、セラミックグリーンシート及び積層セラミッ
クコンデンサの製造方法は、上記実施例１の場合と同様
である。

【００５３】得られた積層セラミックコンデンサのショ
ート率を測定した結果、ショート率は３７％と高かっ
た。また、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するも
のであった。

【００５４】なお、本願発明は、上記の発明の実施の形
態及び実施例に限定されるものではなく、セラミック粉
末や溶媒の種類、具体的な分散方法や条件その他に関
し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を
加えることが可能である。

【００５５】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
セラミックスラリー組成物の製造方法は、セラミック粉
末と分散剤とバインダーと溶媒とを含有するセラミック
スラリー組成物を製造する場合において、バインダーと
して、溶媒とバインダーとを予め混合溶解し、１００kg
／cm^２以上の圧力で高圧分散させたバインダー溶液を用
いるようにしているので、バインダー未溶解物の含有量
の少ないセラミックスラリー組成物を効率よく製造する
ことが可能になる。

【００５６】また、バインダーを高圧分散させると、粘
度が低下するため、目開きの小さいフィルターにてろ過
しやすくなるので、請求項２のように、バインダー溶液
をろ過することにより、未溶解物を効率よく除去するこ
とが可能になる。したがって、さらに未溶解物が高精度
に除去されたセラミックスラリーを確実に製造すること
が可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが
できる。

【００５７】また、本願発明（請求項３）のセラミック
スラリー組成物は、セラミック粉末と分散剤とバインダ
ーと溶媒とを含有するセラミックスラリー組成物におい
て、バインダーとして、溶媒とバインダーとを予め混合
溶解し、１００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させたバ
インダーが用いられており、このように高圧分散させた
バインダー溶液は、バインダーの溶解性に優れているこ
とから、バインダー未溶解物の少ないセラミックスラリ
ーを得ることが可能になる。そして、本願発明のセラミ
ックスラリー組成物を用いてセラミックグリーンシート
を製造することにより、欠陥の少ないセラミックグリー
ンシートを効率よく製造することが可能になる。

【００５８】また、バインダーを高圧分散させると、粘
度が低下するため、目開きの小さいフィルターにてろ過
しやすくなり、未溶解物を効率よく除去することが可能
になることから、請求項４のように、バインダー溶液を
ろ過することにより、さらにバインダー未溶解物の含有
量が少ないセラミックスラリー組成物を確実に得ること
が可能になる。

【００５９】また、本願発明は、請求項５のように、平
均粒径が０．０１〜１μmと微細なセラミック粉末を使
用した、厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造す
るためのセラミックスラリー組成物に適用した場合に特
に有意義であり、厚みが薄く、欠陥の少ないセラミック
グリーンシートを効率よく製造することが可能になる。

【００６０】また、請求項３〜５のいずれかに記載のセ
ラミックスラリー組成物は、バインダー未溶解物が少な
いか、又は、ほとんど存在しないため、請求項６のよう
に、これをシート状に成形することにより、厚さが薄
く、欠陥のない高品質のセラミックグリーンシートを確
実に製造することが可能になる。また、このセラミック
グリーンシートを用いて積層セラミック電子部品を製造
した場合、所望の特性を有する高品質で信頼性の高い積
層セラミック電子部品を得ることが可能になる。

【００６１】また、請求項７のセラミックグリーンシー
トの製造方法のように、セラミックグリーンシートの厚
さを薄く（厚さ＝０．１〜１０μm）した場合にも、高
品質のセラミックグリーンシートを確実に製造すること
が可能で、積層セラミック電子部品の製造に用いるのに
適したセラミックグリーンシートを得ることが可能にな
る。

【００６２】また、本願発明（請求項８）の積層セラミ
ック電子部品の製造方法は、請求項６又は７の方法によ
り製造されたセラミックグリーンシートを卑金属内部電
極とともに積層、切断、焼成した後、外部電極を形成す
るようにしており、欠陥の少ないセラミックグリーンシ
ートが用いられているので、ショート率が低く信頼性の
高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが
できる。得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】セラミックグリーンシートを積層して製造され
る積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図であ
る。

【図２】積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図
である。

【符号の説明】

１ セラミック素子 ２ 内部電極 ３ａ，３ｂ 外部電極 １１ 電極配設シート ２１ 外層用シート

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】セラミック粉末と分散剤とバインダーと溶
   媒とを含有するセラミックスラリー組成物の製造方法に
   おいて、 少なくとも、 (ａ)セラミック粉末と、 (ｂ)分散剤と、 (ｃ)溶媒とバインダーとを予め混合溶解し、１００kg／
   cm^２以上の圧力で高圧分散させたバインダー溶液とを配
   合し、分散させることを特徴とするセラミックスラリー
   組成物の製造方法。
2. 【請求項２】前記バインダーとして、溶媒とバインダー
   とを予め混合して溶解し、１００kg／cm^２以上の圧力で
   高圧分散させた後、ろ過することにより調製したバイン
   ダー溶液を用いることを特徴とする請求項１記載のセラ
   ミックスラリー組成物の製造方法。
3. 【請求項３】セラミック粉末と分散剤とバインダーと溶
   媒とを含有するセラミックスラリー組成物であって、 前記バインダーとして、溶媒とバインダーとを予め混合
   溶解し、１００kg／cm ^２以上の圧力で高圧分散させたバ
   インダー溶液が用いられていることを特徴とするセラミ
   ックスラリー組成物。
4. 【請求項４】前記バインダーとして、溶媒とバインダー
   とを予め混合して溶解し、１００kg／cm^２以上の圧力で
   高圧分散させた後、ろ過することにより調製したバイン
   ダー溶液が用いられていることを特徴とする請求項３記
   載のセラミックスラリー組成物
5. 【請求項５】前記セラミック粉末の平均粒径が０．０１
   〜１μmであることを特徴とする請求項３又は４記載の
   セラミックスラリー組成物
6. 【請求項６】請求項３〜５のいずれかに記載のセラミッ
   クスラリー組成物を、所定の基材上にシート状に成形し
   て、セラミックグリーンシートを形成することを特徴と
   するセラミックグリーンシートの製造方法。
7. 【請求項７】前記セラミックグリーンシートの厚さが
   ０．１〜１０μmであることを特徴とする請求項６記載
   のセラミックグリーンシートの製造方法。
8. 【請求項８】請求項６又は７の製造方法により製造され
   たセラミックグリーンシートを、卑金属内部電極ととも
   に積層、切断、焼成した後、外部電極を形成することを
   特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。