JP2001126498A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2001126498A
JP2001126498A JP30865599A JP30865599A JP2001126498A JP 2001126498 A JP2001126498 A JP 2001126498A JP 30865599 A JP30865599 A JP 30865599A JP 30865599 A JP30865599 A JP 30865599A JP 2001126498 A JP2001126498 A JP 2001126498A
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test
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Yayoi Nakamura
弥生 中村
Koji Tanaka
浩司 田中
Yasuhiko Tsukikawa
靖彦 月川
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Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レイアウト面積が小さな出力バッファを備え
た半導体記憶装置を提供する。 【解決手段】 DRAMの出力バッファ49において、
レベルシフタ77は、内部データ信号ZRDH1が
「L」レベルになるか、テストモードシグネチャTMS
IG1が「H」レベルになったことに応じて昇圧電位V
PPを出力する。NチャネルMOSトランジスタ78
は、レベルシフタ77からの昇圧電位VPPに応答して
導通し、データ入出力端子70を電源電位VCCにす
る。内部データ信号ZRDH1とテストモードシグネチ
ャTMSIG1でレベルシフタ77およびNチャネルM
OSトランジスタ78を共用するので、レイアウト面積
が小さくてすみ、高レベルのテストモードシグネチャT
MSIG1′を出力できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置に
関し、特に、テストモード時にテストモードシグネチャ
を出力する半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図15は、従来のダイナミックランダム
アクセスメモリ(以下、DRAMと称す)の構成を示す
ブロック図である。図15を参照して、このDRAM
は、クロック発生回路101、行および列アドレスバッ
ファ102、行デコーダ103、列デコーダ104、メ
モリマット105、入力バッファ108および出力バッ
ファ109を備え、メモリマット105はメモリアレイ
106およびセンスアンプ+入出力制御回路107を含
む。
【0003】クロック発生回路101は、外部から与え
られる制御信号ext.ZRAS,ext.ZCAS,
ext.ZWEに基づいて所定の動作モードを選択し、
DRAM全体を制御する。
【0004】行および列アドレスバッファ102は、外
部から与えられるアドレス信号ext.A0〜ext.
Am(ただし、mは0以上の整数である)に基づいて行
アドレス信号RA0〜RAmおよび列アドレス信号CA
0〜CAmを生成し、生成した信号RA0〜RAmおよ
びCA0〜CAmをそれぞれ行デコーダ103および列
デコーダ104に与える。
【0005】メモリアレイ106は、それぞれが1ビッ
トのデータを記憶する複数のメモリセルを含む。複数の
メモリセルは、予めn個(ただし、nは1以上の整数で
ある)ずつグループ化されている。各メモリセルグルー
プは、行アドレスおよび列アドレスによって決定される
所定のアドレスに配置される。
【0006】行デコーダ103は、行および列アドレス
バッファ102から与えられた行アドレス信号RA0〜
RAmに応答して、メモリアレイ106の行アドレスを
指定する。列デコーダ104は、行および列アドレスバ
ッファ102から与えられた列アドレス信号CA0〜C
Amに応答して、メモリアレイ106の列アドレスを指
定する。
【0007】センスアンプ+入出力制御回路107は、
行デコーダ103および列デコーダ104によって指定
されたアドレスのn個のメモリセルをデータバスDBの
一端に接続する。データバスDBの他端は、入力バッフ
ァ108および出力バッファ109に接続される。入力
バッファ108は、書込モード時に、制御信号ext.
ZWEに応答して、外部から入力されたデータD1〜D
nをデータバスDBを介して選択されたn個のメモリセ
ルに与える。出力バッファ109は、読出モード時に、
外部から入力される制御信号ext.ZOEに応答し
て、選択されたn個のメモリセルからの読出データD1
〜Dnを外部に出力する。
【0008】読出モード時は、外部アドレス信号ex
t.A0〜ext.Amが与えられるとともに、外部制
御信号ext.ZRASが活性化レベルの「L」レベル
にされた後に外部制御信号ext.ZCASが活性化レ
ベルの「L」レベルにされる。これにより、行デコーダ
103および列デコーダ104によってn個のメモリセ
ルが選択され、n個のメモリセルの読出データがセンス
アンプ+入出力制御回路107および出力バッファ10
9を介して外部に出力される。
【0009】書込モード時は、外部データD1〜Dnお
よび外部アドレス信号ext.A0〜ext.Amが与
えられるとともに、外部制御信号ext.ZRASが活
性化レベルの「L」レベルにされた後に外部制御信号e
xt.ZCAS,ext.ZWEが活性化レベルの
「L」レベルにされる。これにより、行デコーダ103
および列デコーダ104によってn個のメモリセルが選
択され、データD1〜Dnが入力バッファ108および
センスアンプ+入出力制御回路107を介して選択され
たn個のメモリセルに書込まれる。
【0010】さて、このようなDRAMでは、出荷前に
DRAMが正常か否かをテストするためのテスト回路が
内蔵されており、外部制御信号ext.ZRAS,ex
t.ZCAS,ext.ZWEの入力タイミングおよび
外部アドレス信号ext.A0〜ext.Amの組合せ
によって種々のテストモードを設定することが可能とな
っている。
【0011】このようなDRAMにおいて、テスト時に
常に所望のテストモードに設定されていれば問題はない
が、もし所望のテストモードとは異なるテストモードが
設定されていたり、全くテストモードが設定されていな
い場合は、所望のテストが行なわれず、不良品が出荷さ
れるおそれがある。
【0012】たとえば、DRAMの内部電源電圧を外部
から強制的に与えるようなテストモードを設定した場
合、内部電源電圧を外部からモニタすることはできず、
内部電源電圧が外部から与えられた電圧になっているか
どうかを判定することはできない。このため、所望のテ
ストが行なわれず、不良品が出荷されるおそれがある。
【0013】しかし、テストモードが設定されている期
間だけ、そのテストモードに応じたテストモードシグネ
チャをDRAMから外部に出力させれば、そのテストモ
ードシグネチャをモニタすることにより、テストモード
が設定されているかどうかを判定できる。そこで、DR
AMには、テストモードに応じたテストモードシグネチ
ャを生成して外部に出力するための回路が内蔵されてい
る。以下、DRAMのテストモードシグネチャに関連す
る部分について詳細に説明する。
【0014】図16は、従来のDRAMのテストモード
の設定に関連する部分の構成を示すブロック図である。
図16において、このDRAMは、入力回路111〜1
13、WCBR判定回路114、スーパーVIH判定回
路115およびアドレス判定回路116を備える。
【0015】入力回路111〜113は、外部制御信号
ext.ZRAS,ext.ZCAS,ext.ZWE
および外部アドレス信号ext.A1〜ext.A3を
DRAM内部に伝達させる。WCBR判定回路114
は、外部制御信号ext.ZRASよりも外部制御信号
ext.ZCAS,ext.ZWEが先に「L」レベル
に立下がったときすなわちWCBRのタイミングで立下
がったときに内部制御信号WCBRを活性化レベルの
「H」レベルにする。
【0016】スーパーVIH判定回路115は、信号W
CBRが活性化レベルの「H」レベルになったことに応
じて活性化され、外部アドレス信号ext.A1用の入
力端子に電源電圧VCCよりも十分に高いスーパーVI
HレベルSVIHが与えられたことに応じて信号φSV
IHを活性化レベルの「H」レベルにする。
【0017】アドレス判定回路116は、信号φSVI
Hが活性化レベルの「H」レベルになったことに応じて
活性化され、外部アドレス信号ext.A2,ext.
A3のレベルの組合せ(00〜11)に応じてテスト信
号TM1〜TM4のうちのいずれかの信号を活性化レベ
ルの「H」レベルにし、リセット信号RESによってリ
セットされる。
【0018】すなわちアドレス判定回路116は、図1
7に示すように、インバータ121〜125、ANDゲ
ート126,127、クロックトインバータ128,1
29およびNORゲート130,131を含む。外部ア
ドレス信号ext.A2は、入力回路113aを介して
ANDゲート126,127の一方入力ノードに入力さ
れる。外部アドレス信号ext.A3は、入力回路11
3bを介してANDゲート126の他方入力ノードに入
力されるとともに、入力回路113bおよびインバータ
121を介してANDゲート127の他方入力ノードに
入力される。
【0019】ANDゲート126,127の出力信号φ
126,φ127は、それぞれクロックトインバータ1
28,129を介してNORゲート130,131の一
方入力ノードに入力される。信号φSVIHは、クロッ
クトインバータ128,129のNチャネルMOSトラ
ンジスタ側のゲートに入力されるとともに、インバータ
122,123を介してクロックトインバータ128,
129のPチャネルMOSトランジスタ側のゲートに入
力される。リセット信号RESは、NORゲート13
0,131の他方入力ノードに入力される。インバータ
124,125は、それぞれNORゲート130,13
1の出力ノードと一方入力ノードの間に接続される。N
ORゲート130,131の出力信号は信号TM1,T
M2となる。
【0020】信号ext.A2,ext.A3がともに
「H」レベルの場合すなわち11の場合は、ANDゲー
ト126,127の出力信号φ126,127がそれぞ
れ「H」レベルおよび「L」レベルになる。信号ex
t.A2,ext.A3がそれぞれ「H」レベルおよび
「L」レベルの場合すなわち10の場合は、ANDゲー
ト126,127に出力信号φ126,φ127は、そ
れぞれ「L」レベルおよび「H」レベルとなる。信号φ
SVIHが活性化レベルの「H」レベルなるとクロック
トインバータ128,129が活性化され、信号φ12
6,φ127がクロックトインバータインバータ12
8,129を介してNORゲート130,131の一方
入力ノードに入力される。
【0021】信号φ126は、NORゲート130およ
びインバータ124からなるラッチ回路にラッチされて
信号TM1となる。信号φ127は、NORゲート13
1およびインバータ125からなるラッチ回路にラッチ
されて信号TM2となる。信号φSVIHが「L」レベ
ルになるとクロックトインバータ128,129が非活
性化され、リセット信号RESが「H」レベルになると
信号TM1,TM2は「L」レベルにリセットされる。
【0022】なお、信号TM3は、外部アドレス信号e
xt.A2およびext.A3がそれぞれ「L」レベル
および「H」レベルになり、かつ信号SVIHが「H」
レベルになった場合に「H」レベルになる。信号TM4
は、外部アドレス信号ext.A2およびext.A3
がともに「L」レベルになり、かつ信号φSVIHが
「H」レベルになった場合に「H」レベルになる。テス
ト信号TM1〜TM4のうちのいずれかの信号が「H」
レベルになると、DRAMはその信号に応じたテストモ
ードに設定される。
【0023】図18は、このDRAMのテストモードシ
グネチャの発生および出力に関連する部分の構成を示す
ブロック図である。図18において、このDRAMは、
テストモードシグネチャ発生回路132および出力バッ
ファ133を備える。ただし、同時に入出力可能なデー
タのビット数nは4とする。
【0024】テストモードシグネチャ発生回路132
は、信号WCBRが活性化レベルの「H」レベルになっ
たことに応じて活性化され、テスト信号TM1〜TM4
をテストモードシグネチャTMSIG1〜TMSIG4
として出力する。すなわちテストモードシグネチャ発生
回路132は、図19に示すように、NANDゲート1
41〜144およびインバータ145〜148を含む。
信号WCBRは、NANDゲート141〜144の各々
の一方入力ノードに入力される。信号TM1〜TM4
は、それぞれNANDゲート141〜144の他方入力
ノードに入力される。NANDゲート141〜144の
出力信号は、それぞれインバータ145〜148で反転
されてテストモードシグネチャTMSIG1〜TMSI
G4となる。
【0025】信号WCBRが非活性化レベルの「L」レ
ベルの場合は、テストモードシグネチャTMSIG1〜
TMSIG4はともに「L」レベルに固定される。信号
WCBRが活性化レベルの「H」レベルの場合は、テス
ト信号TM1〜TM4はNANDゲート141〜144
およびインバータ145〜148を通過してテストモー
ドシグネチャTMSIG1〜TMSIG4となる。
【0026】出力バッファ133は、通常の読出モード
時は内部データ信号ZRDH1〜ZRDH4,ZRDL
1〜ZRDL4に従ってデータ信号D1〜D4を外部に
出力し、テストモード時はテストモードシグネチャTM
SIG1〜TMSIG4に従ってテストモードシグネチ
ャTMSIG1′〜TMSIG4′を外部に出力する。
【0027】すなわち出力バッファ133は、図20に
示すように、信号ZRDH1,ZRDL1,TMSIG
1に対応して設けられたバッファ133aを含む。出力
バッファ133は、バッファ133aの他に、それぞれ
信号ZRDH2,ZRDL2,TMSIG2;…;ZR
DH4,ZRDL4,TMSIG4に対応して設けられ
た3組のバッファを含む。4組のバッファは同じ構成で
あるので、バッファ133aのみについて説明する。
【0028】バッファ133aは、インバータ151〜
156、レベルシフタ157およびNチャネルMOSト
ランジスタ158〜160を含む。NチャネルMOSト
ランジスタ158,159は、電源電位VCCのライン
とデータ信号D1用のデータ入出力端子150との間に
並列接続される。NチャネルMOSトランジスタ160
は、データ入出力端子150と接地電位GNDのライン
との間に接続される。信号ZRDH1は、インバータ1
51〜153およびレベルシフタ157を介してNチャ
ネルMOSトランジスタ158のゲートに入力される。
テストモードシグネチャTMSIG1は、NチャネルM
OSトランジスタ159のゲートに入力される。信号Z
RDL1は、インバータ154〜156を介してNチャ
ネルMOSトランジスタ160のゲートに入力される。
レベルシフタ157の出力信号φ157は、入力信号φ
133が「L」レベルの場合は「L」レベルになり、入
力信号φ133が「H」レベルの場合は昇圧電位VPP
となる。
【0029】信号ZRDH1が活性化レベルの「L」レ
ベルになった場合は、レベルシフタ157すなわち出力
信号φ157が昇圧電位VPPとなってNチャネルMO
Sトランジスタ158が導通し、データ信号D1は
「H」レベルになる。テストモードシグネチャTMSI
G1が活性化レベルの「H」レベルになった場合は、N
チャネルMOSトランジスタ159が導通してテストモ
ードシグネチャTMSIG1′は「H」レベルになる。
信号ZRDL1が活性化レベルの「L」レベルになった
場合は、NチャネルMOSトランジスタ160が導通し
てデータ信号D1は「L」レベルになる。
【0030】図21は、図16〜図20で示したDRA
Mのテストモードシグネチャに関連する部分の動作を示
すタイムチャートである。ただし、説明の簡単化のた
め、テストモードシグネチャTMSIG1に関連する部
分の動作のみについて説明する。
【0031】信号ext.ZRAS,ext.ZCA
S,ext.ZWEがWCBRのタイミングで「L」レ
ベルに立下げられて信号WCBRが活性化レベルの
「H」レベルになり、スーパーVIH判定回路115お
よびテストシグネチャ発生回路132が活性化される。
外部アドレス信号ext.A1用の入力端子にスーパー
VIHレベルSVIHが与えられて信号φSVIHが
「H」レベルになり、アドレス判定回路116が活性化
される。外部アドレス信号ext.A2,ext.A3
がともに「H」レベルにされて信号TM1が「H」レベ
ルになり、テストモードシグネチャTMSIG1,TM
SIG1′が「H」レベルになる。このテストモードシ
グネチャTMSIG1′が「H」レベルになっているこ
とを検出することにより、DRAMが信号TM1に応じ
たテストモードに設定されていることを検出することが
できる。
【0032】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のDRA
Mでは、テストモードシグネチャTMSIG1′〜TM
SIG4′を出力するための専用のNチャネルMOSト
ランジスタ159を設け、しかもデータ入出力端子15
0に与えられるサージ電圧に対する耐圧を上げるためN
チャネルMOSトランジスタ159のサイズを大きくし
ていたので、出力バッファ133のレイアウト面積が大
きくなるという問題があった。
【0033】また、出力バッファ133のレイアウト面
積を小さくするためテストモードシグネチャTMSIG
1用のレベルシフタ157を省略していたので、テスト
モードシグネチャTMSIG1′の「H」レベルは電源
電位VCCよりも低いVCC−Vth(ただし、Vth
はNチャネルMOSトランジスタ159のしきい値電圧
である)となっていた。
【0034】また、従来のDRAMでは、テストモード
の設定時は常にテストモードシグネチャTMSIG1′
〜TMSIG4′が出力されていたので、テストモード
シグネチャTMSIG1′〜TMSIG4′と読出デー
タとが衝突するおそれもあった。
【0035】それゆえに、この発明の主たる目的は、レ
イアウト面積が小さな出力バッファを備えた半導体記憶
装置を提供することである。
【0036】また、この発明の他の目的は、テストモー
ドシグネチャと読出データの衝突を防止することが可能
な半導体記憶装置を提供することである。
【0037】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
テストモードを有する半導体記憶装置であって、複数の
メモリセルを含むメモリアレイと、読出モード時に外部
アドレス信号に従って複数のメモリセルのうちのいずれ
かのメモリセルを選択し、そのメモリセルのデータを読
出す読出回路と、読出回路によって読出されたデータが
第1の論理にあることに応じて第1の内部データ信号を
活性化レベルにし、そのデータが第2の論理であること
に応じて第2の内部データ信号を活性化レベルにする第
1の信号発生回路と、テストモードが設定されたことに
応じてテストモードシグネチャを活性化レベルにする第
2の信号発生回路と、第1の内部データ信号およびテス
トモードシグネチャのうちの少なくとも一方が活性化レ
ベルにされたことに応じてデータ出力端子を第1の論理
レベルにし、第2の内部データ信号が活性化レベルにさ
れたことに応じてデータ出力端子を第2の論理レベルに
する出力バッファとを備えたものである。ここで、出力
バッファは、第1の内部データ信号およびテストモード
シグネチャのうちの少なくとも一方が活性化レベルにさ
れたことに応じて第3の内部データ信号を活性化レベル
にする論理回路と、第1の電源電位のラインとデータ出
力端子との間に接続され、第3の内部データ信号が活性
化レベルにされたことに応じて導通する第1のトランジ
スタと、データ出力端子と第2の電源電位のラインとの
間に接続され、第2の内部データ信号が活性化レベルに
されたことに応じて導通する第2のトランジスタとを含
む。
【0038】請求項2に係る発明では、請求項1に係る
発明の出力バッファは、さらに、第3の内部データ信号
が活性化レベルにされたことに応じて、第1の電源電位
から昇圧された昇圧電位を第1のトランジスタの入力電
極に与えて第1のトランジスタを導通させる昇圧電位発
生回路を含む。
【0039】請求項3に係る発明では、請求項1または
2に係る発明の出力バッファは、さらに、テストモード
シグネチャが活性化レベルにされたことに応じて、第2
の内部データ信号が活性化レベルの場合でも第2のトラ
ンジスタを非導通状態に固定する制御回路を含む。
【0040】請求項4に係る発明では、請求項1から3
のいずれかに係る発明のメモリアレイ、読出回路、第1
の信号発生回路および出力バッファは、N組(ただし、
Nは2以上の整数である)設けられる。第2の信号発生
回路は、それぞれが、予め定められた複数の外部アドレ
ス信号が予め定められた第1〜第Nの論理レベルの組合
せにされたことに応じて、第1〜第Nのテストモードを
設定するための第1〜第Nのテスト信号を活性化レベル
にする第1〜第Nのアドレス判定回路と、第1〜第Nの
テスト信号を第1〜第Nのテストモードシグネチャとし
てそれぞれN組の出力バッファに与えるテストモードシ
グネチャ発生回路とを含む。
【0041】請求項5に係る発明では、請求項1から3
のいずれかに係る発明のメモリアレイ、読出回路、第1
の信号発生回路および出力バッファは、N組(ただし、
Nは2以上の整数である)設けられる。第2の信号発生
回路は、それぞれが、予め定められた複数の外部アドレ
ス信号が予め定められた第1〜第M(ただし、MはNよ
りも大きな整数である)の論理レベルの組合せにされた
ことに応じて、第1〜第Mのテストモードを設定するた
めの第1〜第Mのテスト信号を活性化レベルにする第1
〜第Mのアドレス判定回路と、第1〜第Mのテスト信号
のうちの活性化レベルにされたテスト信号の番号を示す
Nビットのテストモードシグネチャを生成し、Nビット
のテストモードシグネチャをそれぞれN組の出力バッフ
ァに与えるテストモードシグネチャ発生回路とを含む。
【0042】請求項6に係る発明は、第1〜第3の外部
制御信号および複数の外部アドレス信号によって制御さ
れる半導体記憶装置であって、複数のメモリセルを含む
メモリアレイと、第1の外部制御信号が活性化レベルに
された後に第2の外部制御信号が活性化レベルにされた
ことに応じて活性化され、複数の外部アドレス信号に従
って複数のメモリセルのうちのいずれかのメモリセルを
選択し、そのメモリセルのデータを読出す読出回路と、
読出回路によって読出されたデータが第1の論理である
ことに応じて第1の内部データ信号を活性化レベルに
し、そのデータが第2の論理であることに応じて第2の
内部データ信号を活性化レベルにする第1の信号発生回
路と、第2および第3の外部制御信号が活性化レベルに
された後に第1の外部制御信号が活性化レベルにされた
ことに応じて活性化され、複数の外部アドレス信号のう
ちの予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定め
られた論理レベルの組合せにされたことに応じて、テス
トモードが設定されていることを示すテストモードシグ
ネチャを活性化レベルにし、第2の外部制御信号が非活
性化レベルにされたことに応じてテストモードシグネチ
ャを非活性化レベルにする第2の信号発生回路と、第1
の内部データ信号およびテストモードシグネチャのうち
の少なくとも一方が活性化レベルにされたことに応じて
データ出力端子を第1の論理レベルにし、第2の内部デ
ータ信号が活性化レベルにされたことに応じてデータ出
力端子を第2の論理レベルにする出力バッファとを備え
たものである。
【0043】請求項7に係る発明では、請求項6に係る
発明の第2の信号発生回路は、予め定められた複数の外
部アドレス信号が予め定められた論理レベルの組合せに
されたことに応じて、テストモードを設定するためのテ
スト信号を活性化レベルにするアドレス判定回路と、ア
ドレス判定回路から出力されたテスト信号をテストモー
ドシグネチャとして出力バッファに与え、第1の外部制
御信号が活性化レベルであるときに第2の外部制御信号
が非活性化レベルにされたことに応じてテストモードシ
グネチャを非活性化レベルにするテストモードシグネチ
ャ発生回路とを含む。
【0044】請求項8に係る発明では、請求項6に係る
発明のメモリアレイ、読出回路、第1の信号発生回路お
よび出力バッファは、N組(ただし、Nは2以上の整数
である)設けられ、第2の信号発生回路は、それぞれ
が、予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定め
られた第1〜第Nの論理レベルの組合せにされたことに
応じて、第1〜第Nのテストモードを設定するための第
1〜第Nのテスト信号を活性化レベルにする第1〜第N
のアドレス判定回路と、第1〜第Nのアドレス判定回路
から出力された第1〜第Nのテスト信号を第1〜第Nの
テストモードシグネチャとしてN組の出力バッファに与
え、第1の外部制御信号が活性化レベルであるときに第
2の外部制御信号が非活性化レベルにされたことに応じ
て第1〜第Nのテストモードシグネチャを非活性化レベ
ルにするテストモードシグネチャ発生回路とを含む。
【0045】請求項9に係る発明では、請求項6に係る
発明のメモリアレイ、読出回路、第1の信号発生回路お
よび出力バッファは、N組(ただし、Nは2以上の整数
である)設けられる。第2の信号発生回路は、それぞれ
が、予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定め
られた第1〜第M(ただし、MはNよりも大きな整数で
ある)の論理レベルの組合せにされたことに応じて、第
1〜第Mのテストモードを設定するための第1〜第Mの
テスト信号を活性化レベルにする第1〜第Mのアドレス
判定回路と、第1〜第Mのテスト信号のうちの活性化レ
ベルにされたテスト信号の番号を示すNビットのテスト
モードシグネチャを生成してNビットのテストモードシ
グネチャをそれぞれN組の出力バッファに与え、第1の
外部制御信号が活性化レベルであるときに第2の外部制
御信号が非活性化レベルにされたことに応じてNビット
のテストモードシグネチャの各々を非活性化レベルにす
るテストモードシグネチャ発生回路とを含む。
【0046】請求項10に係る発明は、第1〜第3の外
部制御信号および複数の外部アドレス信号によって制御
される半導体記憶装置であって、複数のメモリセルを含
むメモリアレイと、第1の外部制御が活性化レベルにさ
れた後に第2の外部制御信号が活性化レベルにされたこ
とに応じて活性化され、複数の外部アドレス信号に従っ
て複数のメモリセルのうちのいずれかのメモリセルを選
択し、そのメモリセルのデータを読出す読出回路と、読
出回路によって読出されたデータが第1の論理であるこ
とに応じて第1の内部データ信号を活性化レベルにし、
そのデータが第2の論理であることに応じて第2の内部
データ信号を活性化レベルにする第1の信号発生回路
と、第2および第3の外部制御信号が活性化レベルにさ
れた後に第1の外部制御信号が活性化レベルにされたこ
とに応じて活性化され、複数の外部アドレス信号のうち
の予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定めら
れた論理レベルの組合せにされたことに応じて、テスト
モードが設定されていることを示すテストモードシグネ
チャを活性化レベルにする第2の信号発生回路と、第1
の内部データ信号およびテストモードシグネチャのうち
の少なくとも一方が活性化レベルにされたことに応じて
データ出力端子を第1の論理レベルにし、第2の内部デ
ータ信号が活性化レベルにされたことに応じてデータ出
力端子を第2の論理レベルにする出力バッファを備えた
ものである。ここで第2の信号発生回路は、第1の内部
制御信号が活性化レベルにされるテストモード設定期間
に活性化され、予め定められた複数の外部アドレス信号
が予め定められた論理レベルの組合せにされたことに応
じて、テストモードを設定するためのテスト信号を活性
化レベルにするアドレス判定回路と、第2の内部制御信
号が活性化レベルにされるテストモードシグネチャ出力
期間に活性化され、アドレス判定回路から出力されたテ
スト信号をテストモードシグネチャとして出力バッファ
に与えるテストモードシグネチャ発生回路とを含む。
【0047】請求項11に係る発明では、請求項10に
係る発明の第2の信号発生回路は、さらに、第2および
第3の外部制御信号が活性化レベルにされた後に第1の
外部制御信号が活性化レベルにされたことに応じて活性
化され、複数の外部アドレス信号のうちの予め定められ
た複数の外部アドレス信号以外の予め定められた外部ア
ドレス信号が第1の論理レベルにされていることに応じ
て第1の内部制御信号を活性化レベルにし、予め定めら
れた外部アドレス信号が第2の論理レベルにされている
ことに応じて第2の内部制御信号を活性化レベルにする
内部制御信号発生回路を含む。
【0048】請求項12に係る発明では、請求項11に
係る発明の内部制御信号発生回路は、第1の外部制御信
号が活性化レベルであるときに第2の外部制御信号が非
活性化レベルにされたことに応じて、予め定められた外
部アドレス信号が第2の論理レベルにされている場合で
も第2の内部制御信号を非活性化レベルにする。
【0049】請求項13に係る発明では、請求項10か
ら12のいずれかに係る発明のメモリアレイ、読出回
路、第1の信号発生回路および出力バッファは、N組
(ただし、Nは2以上の整数である)設けられる。第2
の信号発生回路は、それぞれが、テストモード設定期間
に活性化され、予め定められた複数の外部アドレス信号
が予め定められた第1〜第Nの論理レベルの組合せにさ
れたことに応じて、第1〜第Nのテストモードを設定す
るための第1〜第Nのテスト信号を活性化レベルにする
第1〜第Nのアドレス判定回路と、テストモードシグネ
チャ出力期間に活性化され、第1〜第Nのアドレス判定
回路から出力された第1〜第Nのテスト信号を第1〜第
NのテストモードシグネチャとしてそれぞれN組の出力
バッファに与えるテストモードシグネチャ発生回路とを
含む。
【0050】請求項14に係る発明では、請求項10か
ら12のいずれかに係る発明のメモリアレイ、読出回
路、第1の信号発生回路および出力バッファは、N組
(ただし、Nは2以上の整数である)設けられる。第2
の信号発生回路は、それぞれが、テストモード設定期間
に活性化され、予め定められた複数の外部アドレス信号
が予め定められた第1〜第M(ただし、MはNよりも大
きな整数である)の論理レベルの組合せにされたことに
応じて、第1〜第Mのテストモードを設定するための第
1〜第Mのテスト信号を活性化レベルにする第1〜第M
のアドレス判定回路と、テストモードシグネチャ出力期
間に活性化され、第1〜第Mのテスト信号のうちの活性
化レベルにされたテスト信号の番号を示すNビットのテ
ストモードシグネチャを生成し、Nビットのテストモー
ドシグネチャをそれぞれN組の出力バッファに与えるテ
ストモードシグネチャ発生回路とを含む。
【0051】
【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施の形態
によるDRAMのテストモードの設定に関連する部分の
構成を示すブロック図である。図1において、このDR
AMは、入力回路1〜3、WCBR判定回路4、スーパ
ーVIH判定回路5およびアドレス判定回路6を備え
る。
【0052】入力回路1〜3は、外部制御信号ext.
ZRAS,ext.ZCAS,ext.ZWEおよび外
部アドレス信号ext.A0〜ext.A3をDRAM
内部に伝達させる。WCBR判定回路は、外部制御信号
ext.ZRASが外部制御信号ext.ZCAS,e
xt.ZWEよりも遅れて立下がったときすなわちWC
BRのタイミングで立下がったときに内部制御信号WC
BRを活性化レベルの「H」レベルにする。
【0053】すなわちWCBR判定回路4は、図2に示
すように、インバータ11〜15、NANDゲート16
〜23およびANDゲート24を含み、NANDゲート
16と17,18と19,20と21,22と23はそ
れぞれフリップフロップ25〜28を構成する。外部制
御信号ext.ZCASは、入力回路1aおよびインバ
ータ11を介してフリップフロップ25のセット端子2
5aに入力される。外部制御信号ext.ZRASは、
入力回路1bおよびインバータ12を介してフリップフ
ロップ25〜28のリセット端子25b〜28bに入力
される。外部制御信号ext.ZWEは、入力回路1c
およびインバータ13を介してフリップフロップ26の
セット端子26aに入力される。フリップフロップ2
5,26の出力端子25c,26cは、それぞれフリッ
プフロップ27,28のセット端子27a,28aに接
続される。インバータ14,15は、それぞれフリップ
フロップ27,28の反転出力端子27d,28dとA
NDゲート24の一方入力ノードおよび他方入力ノード
との間に接続される。ANDゲート24の出力信号が信
号WCBRとなる。
【0054】インバータ11,12,14およびフリッ
プフロップ25,27からなる回路とインバータ13,
12,15およびフリップフロップ26,28からなる
回路とは同じ構成であるので、前者の回路動作について
説明する。図3において、1サイクル目は通常動作のタ
イミングを示しており、2サイクル目はWCBRのタイ
ミングを示している。初期状態では、外部制御信号ex
t.ZRAS,ext.ZCASはともに「H」レベル
にされており、端子25a,25b,27b,27cお
よび信号φ14は「L」レベルになり、端子25c,2
7a,25d,27dは「H」レベルになっている。
【0055】まず時刻t0において外部制御信号ex
t.ZRASが「L」レベルに立下がると、端子25
b,27bが「H」レベルになってフリップフロップ2
5がセットされ、端子25dが「L」レベルになる。し
かし、端子25aが「L」レベルになっているので、端
子25cのレベルは変化せず、信号φ14も「L」レベ
ルのまま変化していない。次いで、時刻t1において外
部制御信号ext.ZCASが「L」レベルに立下がる
と、端子25aが「H」レベルになるが端子25dが
「L」レベルになっているので、端子25cのレベルは
変化せず、信号φ14も「L」レベルのまま変化しな
い。したがって、外部制御信号ext.ZRASが外部
制御信号ext.ZCASよりも先に立下がる通常のタ
イミングでは、信号φ14は「L」レベルのまま変化せ
ず、信号WCBRは「L」レベルのまま変化しない。
【0056】初期状態に戻した後、まず時刻t4におい
て外部制御信号ext.ZCASが「L」レベルに立下
げられると、端子25aが「H」レベルになってフリッ
プフロップ25がリセットされ、これにより端子25
c,27aが「L」レベルになってフリップフロップ2
7がリセットされ、端子27cが「H」レベルになる。
次いで時刻t5において外部制御信号ext.ZRAS
が「L」レベルに立下がると、端子25b,27bが
「H」レベルになってフリップフロップ27がセットさ
れ、これにより端子27dが「L」レベルになって信号
φ14が「H」レベルになる。したがって、外部制御信
号ext.ZRASが外部制御信号ext.ZCASよ
りも後に立下がると、信号φ14が「H」レベルに立上
がる。
【0057】一方、インバータ12,13,15および
フリップフロップ26,28からなる回路では、外部制
御信号ext.ZRASが外部制御信号ext.ZWE
よりも先に立下がる通常のタイミングでは、信号φ15
は「L」レベルのまま変化せず、信号WCBRは「L」
レベルのまま変化しない。また、外部制御信号ext.
ZRASが外部制御信号ext.ZWEよりも後に立下
がるタイミングでは、信号φ15は「H」レベルにな
る。
【0058】したがって、外部制御信号ext.ZRA
Sが外部制御信号ext.ZCAS,ext.ZWEよ
りも後に立下がるWCBRのタイミングでは、信号φ1
4,φ15はともに「H」レベルになって信号WCBR
が「H」レベルになる。信号ext.ZRASが「H」
レベルになると、端子25b〜28bが「L」レベルに
なって端子25d〜28dが「H」レベルになり、信号
φ14,φ15が「L」レベルになって信号WCBRが
「L」レベルになる。
【0059】スーパーVIH判定回路5は、図4に示す
ように、レベル変換回路31、コンパレータ32および
NチャネルMOSトランジスタ33を含む。レベル変換
回路31は、外部アドレス信号ext.A1用の入力端
子30に与えられた電位を所定の電圧だけ降圧してコン
パレータ32の非反転入力端子に与える。レベル変換回
路31の出力電位V31は、入力端子30に外部アドレ
ス信号ext.A1すなわち「H」レベル(電源電位V
CC)または「L」レベル(接地電位GND)が与えら
れた場合は基準電位VRよりも低い電位となり、入力端
子30に電源電位VCCよりも十分に高いVIHレベル
SVIHが与えられた場合は基準電位VRよりも高い電
位となる。コンパレータ32の反転入力端子には基準電
位VRが与えられる。NチャネルMOSトランジスタ3
3は、コンパレータ32の制御端子32aと接地電位G
NDのラインとの間に接続され、そのゲートは信号WC
BRを受ける。コンパレータ32の出力信号がスーパー
VIH判定回路5の出力信号φSVIHとなる。
【0060】信号WCBRが活性化レベルの「H」レベ
ルになるとNチャネルMOSトランジスタ33が導通
し、制御端子32aが接地されてコンパレータ32が活
性化される。外部アドレス信号ext.A1用の入力端
子30にスーパーVIHレベルSVIHが与えられる
と、レベル変換回路31の出力電位V31が基準電位V
Rよりも高くなり、信号φSVIHが活性化レベルの
「H」レベルとなる。信号WCBRが非活性レベルの
「L」レベルの場合、および入力端子30に外部アドレ
ス信号ext.A1が与えられている場合は、信号φS
VIHは非活性化レベルの「L」レベルとなる。
【0061】アドレス判定回路6は、外部アドレス信号
ext.A0が「L」レベルであり、かつ信号φSVI
Hが「H」レベルである場合に活性化され、外部アドレ
ス信号ext.A2,ext.A3の論理レベルの組合
せ(11,10,01,00)に応じてテスト信号TM
1〜TM4のうちのいずれかの信号を活性化レベルの
「H」レベルにし、リセット信号RESによってリセッ
トされる。
【0062】すなわちアドレス判定回路6は、図5に示
すように、インバータ35〜40、ANDゲート41〜
43、クロックトインバータ44,45およびNORゲ
ート46,47を含む。ここでは、図面の簡単化のた
め、信号TM1,TM2を発生する部分のみについて説
明する。信号ext.A2は、入力回路3aを介してA
NDゲート41,42の一方入力ノードに入力される。
信号ext.A3は、入力回路3bを介してANDゲー
ト41の他方入力ノードに入力されるとともに、入力回
路3bおよびインバータ35を介してANDゲート45
の他方入力ノードに入力される。信号ext.A0は、
入力回路3cおよびインバータ36を介してANDゲー
ト43の一方入力ノードに入力される。信号φSVIH
は、ANDゲート43の他方入力ノードに入力される。
【0063】ANDゲート41,42の出力信号φ4
1,φ42は、クロックトインバータ44,45を介し
てNOR回路46,47の一方入力ノードに入力され
る。ANDゲート43の出力信号φ43は、クロックト
インバータ44,45のNチャネルMOSトランジスタ
側のゲートに入力されるとともに、インバータ37,3
8を介してクロックトインバータ44,45のPチャネ
ルMOSトランジスタ側のゲートに入力される。リセッ
ト信号RESは、NORゲート46,47の他方入力ノ
ードに入力される。インバータ39,40は、それぞれ
NORゲート46,47の出力ノードと一方入力ノード
との間に接続される。NORゲート46,47の出力信
号がテスト信号TM1,TM2となる。
【0064】外部アドレス信号ext.A2,ext.
A3がともに「H」レベルの場合すなわち11の場合
は、ANDゲート41,42の出力信号φ41,φ42
がそれぞれ「H」レベルおよび「L」レベルになる。外
部制御信号ext.A2,ext.A3がそれぞれ
「H」レベルおよび「L」レベルの場合すなわち10の
場合は、ANDゲート41,42の出力信号φ41,φ
42がそれぞれ「L」および「H」レベルとなる。信号
ext.A0,φSVIHがそれぞれ「L」レベルおよ
び「H」レベルの場合は、クロックトインバータ44,
45が活性化され、信号φ41,φ42がクロックトイ
ンバータ44,45を介してNORゲート46,47の
一方入力ノードに入力される。
【0065】信号φ41は、NORゲート46およびイ
ンバータ39からなるラッチ回路にラッチされてテスト
信号TM1となる。信号φ42は、NORゲート47お
よびインバータ40からなるラッチ回路にラッチされて
テスト信号TM2となる。信号φSVIHが「L」レベ
ルになると、信号φ43が「L」レベルになってクロッ
クトインバータ44,45が非活性化される。信号RE
Sが「H」レベルになると、信号TM1,TM2は
「L」レベルにリセットされる。リセット信号RES
は、CBR(CAS befor RAS)やROR
(RAS Only Refresh)のタイミングの
ときに「H」レベルになる。
【0066】なお、テスト信号TM3は、外部アドレス
信号ext.A2,ext.A3がそれぞれ「L」レベ
ルおよび「H」レベルになり、かつ信号φ43が「H」
レベルになった場合に「H」レベルになる。また、テス
ト信号TM4は、外部アドレス信号ext.A2,ex
t.A3がともに「L」レベルになり、かつ信号φ43
が「H」レベルになった場合に「H」レベルになる。テ
スト信号TM1〜TM4のうちのいずれかの信号が
「H」レベルになると、DRAMはそのテスト信号に応
じたテストモードに設定される。
【0067】図6は、このDRAMのテストモードシグ
ネチャの発生および出力に関連する部分の構成を示すブ
ロック図である。図6において、このDRAMは、テス
トモードシグネチャ発生回路48および出力バッファ4
9を備える。ただし、同時に入出力可能なデータのビッ
ト数nは4とする。
【0068】テストモードシグネチャ発生回路48は、
信号WCBR,ext.A0がともに「H」レベルにな
ったことに応じて活性化され、テスト信号TM1〜TM
4をテストモードシグネチャTMSIG1〜TMSIG
4として出力し、外部制御信号ext.ZRASが
「L」レベルのときに外部制御信号ext.ZCASが
「H」レベルになったことに応じて非活性化され、テス
トモードシグネチャTMSIG1〜TMSIG4を
「L」レベルに固定する。
【0069】すなわちテストモードシグネチャ発生回路
48は、図7に示すように、入力回路51〜53、イン
バータ54〜59、NANDゲート60〜66およびN
ORゲート67を含み、NANDゲート61,62はフ
リップフロップ68を構成する。信号WCBRは、NA
NDゲート60の一方入力ノードに入力される。信号e
xt.A0は、入力回路51を介してNANDゲート6
0の他方入力ノードに入力される。信号ext.ZCA
Sは、入力回路52およびインバータ54を介してフリ
ップフロップ68のセット端子68aに入力される。信
号ext.ZRASは、入力回路53およびインバータ
55を介してフリップフロップ68のリセット端子68
bに入力される。
【0070】NORゲート67は、NANDゲート60
の出力信号ZREFONおよびフリップフロップ68の
出力信号ZCBRSを受け、その出力信号はNANDゲ
ート63〜66の一方入力ノードに入力される。信号T
M1〜TM4は、それぞれNANDゲート63〜66の
他方入力ノードに入力される。NANDゲート63〜6
6の出力信号は、それぞれインバータ56〜59で反転
されてテストモードシグネチャTMSIG1〜TMSI
G4となる。
【0071】信号WCBR,ext.A0がともに
「H」レベルの場合は、信号ZREFONが活性化レベ
ルの「L」レベルになる。信号ext.ZRAS,ex
t.ZCASがともに「H」レベルの場合は、信号ZC
BRSは「H」レベルとなる。信号ext.ZRASが
「H」レベルのときに信号ext.ZCASが「L」レ
ベルになった場合は、フリップフロップ68がリセット
されて信号ZCBRSは活性化レベルの「L」レベルと
なる。信号ext.ZCASが「H」レベルのときに信
号ext.ZRASが「L」レベルになった場合は、フ
リップフロップ68がセットされて信号ZCBRSは非
活性化レベルの「H」レベルとなる。信号ext.ZR
AS,ext.ZCASがともに「L」レベルになった
場合は、信号ZCBRSは変化しない。
【0072】信号ZREFON,ZCBRSのうちの少
なくとも一方の信号が「H」レベルの場合は、NORゲ
ート67の出力信号φ67が「L」レベルになってテス
トモードシグネチャTMSIG1〜TMSIG4はとも
に「L」レベルに固定される。信号ZREFON,ZC
BRSがともに「L」レベルの場合は、NORゲート6
7の出力信号φ67が「H」レベルになって信号TM1
〜TM4はそれぞれテストモードシグネチャTMSIG
1〜TMSIG4となる。
【0073】このDRAMでは、外部アドレス信号ex
t.A0を「L」レベルにしている限りテストモードシ
グネチャTMSIG1〜TMSIG4は出力されないの
で、テストモードシグネチャと読出データの衝突を防止
することができる。
【0074】出力バッファ49は、通常の読出モード時
は内部データ信号ZRDH1〜ZRDH4,ZRDL1
〜ZRDL4に従ってデータ信号D1〜D4を外部に出
力し、テストモード時はテストモードシグネチャTMS
IG1〜TMSIG4に従ってテストモードシグネチャ
TMSIG1′〜TMSIG4′を外部に出力する。
【0075】すなわち出力バッファ49は、図8に示す
ように、信号ZRDH1,ZRDL1およびテストモー
ドシグネチャTMSIG1に対応して設けられたバッフ
ァ49aを含む。出力バッファ49は、バッファ49a
の他に、それぞれ信号ZRDH2,ZRDL2,TMS
IG2;…;ZRDH4,ZRDL4,TMSIG4に
対応して設けられた3組のバッファを含む。4組のバッ
ファは同じ構成であるので、バッファ49aのみについ
て説明する。
【0076】バッファ49aは、インバータ71〜7
5、NORゲート76、レベルシフタ77およびNチャ
ネルMOSトランジスタ78,79を含む。Nチャネル
MOSトランジスタ78は、電源電位VCCのラインと
データ信号D1用のデータ入出力端子70との間に接続
される。NチャネルMOSトランジスタ79は、データ
入出力端子70と接地電位GNDのラインとの間に接続
される。信号ZRDH1は、インバータ71を介してN
ORゲート76の一方入力ノードに入力される。信号T
MSIG1は、NORゲート76の他方入力ノードに入
力される。NORゲート76の出力信号ZODH1は、
インバータ72およびレベルシフタ77を介してNチャ
ネルMOSトランジスタ78のゲートに入力される。信
号ZRDL1はインバータ73〜75を介してNチャネ
ルMOSトランジスタ79のゲートに入力される。
【0077】レベルシフタ77は、図9に示すように、
PチャネルMOSトランジスタ81,82、Nチャネル
MOSトランジスタ83,84およびインバータ85を
含む。MOSトランジスタ81と83,82と84は、
それぞれ昇圧電位VPPのラインと接地電位GNDのラ
インとの間に直列接続される。PチャネルMOSトラン
ジスタ81,82のゲートは、それぞれPチャネルMO
Sトランジスタ82,81のドレインに接続される。入
力ノード77aは、NチャネルMOSトランジスタ83
のゲートに直接接続されるとともに、インバータ85を
介してNチャネルMOSトランジスタ84のゲートに接
続される。PチャネルMOSトランジスタ82のドレイ
ンがレベルシフタ77の出力ノード77aとなる。な
お、昇圧電位VPPは、DRAMに内蔵されているVP
P発生回路によって生成される。VPP発生回路は、電
源電位VCCを昇圧して昇圧電位VPPを生成する。
【0078】入力信号φ72が「L」レベルの場合は、
MOSトランジスタ81,84が導通しMOSトランジ
スタ82,83が非導通になって出力信号φ77は接地
電位GNDとなる。入力信号φ72が「H」レベルの場
合は、MOSトランジスタ82,83が導通しMOSト
ランジスタ81,84が非導通になって出力信号φ77
は昇圧電位VPPとなる。
【0079】図8に戻って、信号ZRDH1が活性化レ
ベルの「L」レベルになった場合、またはテストモード
シグネチャTMSIG1が活性化レベルの「H」レベル
になった場合は、NORゲート76の出力信号ZODH
1が「L」レベルになり、レベルシフタ77の出力信号
φ77が昇圧電位VPPとなってNチャネルMOSトラ
ンジスタ78が導通し、データ入出力端子70は電源電
位VCCとなる。また、信号ZRDL1が活性化レベル
の「L」レベルになった場合は、インバータ74の出力
信号ZODL1が「L」レベルになり、NチャネルMO
Sトランジスタ79が導通してデータ入出力端子70は
接地電位GNDとなる。
【0080】このバッファ49aでは、レベルシフタ7
7およびNチャネルMOSトランジスタ78を信号ZR
DH1とテストモードシグネチャTMSIG1で共用す
るので、バッファ49aのレイアウト面積が小さくてす
み、電源電位VCCのテストモードシグネチャTMSI
G1′を出力できる。
【0081】図10は、図1〜図9で示したDRAMの
テストモードシグネチャに関連する部分の動作を示すタ
イムチャートである。ただし、説明の簡単化のため、テ
ストモードシグネチャTMSIG1に関連する部分の動
作のみについて説明する。
【0082】1サイクル目では、テストモードの設定が
行なわれる。すなわち信号ext.ZRAS,ext.
ZCAS,ext.ZWEがWCBRのタイミングで
「L」レベルに立下げられ、これに応じて信号WCBR
が「H」レベルになり信号ZCBRSが「L」レベルに
なる。
【0083】信号WCBRが「H」レベルになるとスー
パーVIH判定回路5が活性化され、外部アドレス信号
ext.A1用の端子にスーパーVIHレベルSVIH
が与えられると信号φSVIHが「H」レベルになる。
信号ext.A0が「L」レベルに立下げられるとアド
レス判定回路6が活性化され、信号ext.A2,ex
t.A3がともに「H」レベルの場合は信号TM1が
「H」レベルになり、信号TM1がラッチされる。信号
ext.A0が「L」レベルであるのでテストモードシ
グネチャ発生回路48は活性化されず、テストモードシ
グネチャTMSIG1は「L」レベルに固定されてバッ
ファ49aの出力信号TMSIG1′も「L」レベルの
まま変化しない。信号ext.ZRAS,ext.ZC
AS,ext.ZWEが「H」レベルに立上げられる
と、信号WCBR,φSVIHが「L」レベルになり、
信号ZCBRSが「H」レベルになる。
【0084】2サイクル目ではテスト、モードシグネチ
ャTMSIG1′の出力が行なわれる。すなわち信号e
xt.ZRAS,ext.ZCAS,ext.ZWEが
WCBRのタイミングで「L」レベルに立下げられ、こ
れに応じて信号WCBRが「H」レベルになり信号ZC
BRSが「L」レベルになる。
【0085】信号WCBRが「H」レベルになるとスー
パーVIH判定回路5が活性化されるが、外部アドレス
信号ext.A1用の端子に「L」レベルが与えられ、
信号φSVIHは「L」レベルのまま変化しない。した
がって、アドレス判定回路6は活性化されず、テスト信
号TM1は「H」レベルのまま変化しない。また、信号
ext.A0が「H」レベルにされてテストモードシグ
ネチャ発生回路48が活性化され、テストモードシグネ
チャTMSIG1が「H」レベルになる。これに応じて
図8のNORゲート76の出力信号ZODH1が「L」
レベルになり、バッファ49aの出力信号TMSIG
1′が「H」レベルになる。信号ext.ZRAS,e
xt.ZCAS,ext.ZWEが「H」レベルに立上
げられると、信号WCBRが「L」レベルになって信号
ZREFONが「H」レベルになり、テストモードシグ
ネチャ発生回路48が非活性化されてテストモードシグ
ネチャTMSIG1′が「L」レベルになる。
【0086】3サイクル目では、2サイクル目と同様に
して信号WCBRが「H」レベルになり、信号ZCBR
S,ZREFONが「H」レベルになってテストモード
シグネチャTMSIG1′が「H」レベルになる。この
状態で信号ext.ZCASが「H」レベルに立上げら
れると、信号ZCBRSが「H」レベルになってテスト
モードシグネチャ発生回路48が非活性化されてテスト
モードシグネチャTMSIG1′が「L」レベルにな
る。
【0087】したがって、この実施の形態では、信号e
xt.ZRASよりも信号ext.ZCASの方が早く
立上がった場合はテストモードシグネチャTMSIG
1′の出力が停止されるので、テストモードシグネチャ
TMSIG1′と読出データD1の衝突が防止される。
以下、テストモードシグネチャTMSIG1′と読出デ
ータD1の衝突が防止される点について、より詳細に説
明する。
【0088】図11は、図15に示したセンスアンプ+
入出力制御回路107に含まれるライト/リード制御回
路86を示すブロック図である。ライト/リード制御回
路86は、信号ZCBRSが「H」レベルの場合に活性
化され、メモリアレイ106からの読出データRDに従
って信号ZRDH1,ZRDL1のうちの一方を「H」
レベルにし、他方を「L」レベルにする。信号ZCBR
Sが「L」レベルの場合はライト/リード制御回路86
は非活性化され、信号ZRDH1,ZRDL1はともに
「H」レベルになる。
【0089】図12において、信号ext.ZRAS,
ext.ZCAS,ext.ZWEがWCBRのタイミ
ングで「L」レベルに立下げられ、信号ZCBRS,W
CBRはそれぞれ「L」レベルおよび「H」レベルにな
り、信号TM1が「H」レベルになりテストモードシグ
ネチャTMSIG1が「H」レベルになったものとす
る。ここまでは、従来でも本願発明でも同じである。
【0090】次に、信号ext.ZRASよりも先に信
号ext.ZCAS,ext.ZWEが「H」レベルに
立上げられると、信号ZCBRSが「H」レベルになっ
てライト/リード制御回路86が活性化される。次いで
信号ext.ZCASが「L」レベルに立下げられると
メモリアレイ106からの読出データRDに従って信号
ZRDH1,ZRDL1のうちの一方が「H」レベルに
なり他方が「L」レベルになる。
【0091】従来のDRAMでは、信号ZRDL1が
「L」レベルになり信号TM1が「H」レベルになる
と、読出データD1とテストモードシグネチャTMSI
G1の衝突が生じていた。すなわち、図20のバッファ
133aでは、信号ZRDL1が「L」レベルになり信
号TMSIG1が「H」レベルになると、NチャネルM
OSトランジスタ159,160がともに導通し、電源
電位VCCのラインからNチャネルMOSトランジスタ
159,160を介して接地電位GNDのラインに貫通
電流が流れてしまう。
【0092】これに対して本願のDRAMでは、信号e
xt.ZRASよりも信号ext.ZCASが先に
「H」レベルに立上げられて信号ZCBRSが「H」レ
ベルに立上がると、テストモードシグネチャ発生回路4
8が非活性化されてテストモードシグネチャTMSIG
1が「L」レベルになる。したがって、バッファ49a
のNチャネルMOSトランジスタ78,79のうちNチ
ャネルMOSトランジスタ79しか導通しないので、貫
通電流が流れることはない。
【0093】図13は、この実施の形態の変更例1によ
るDRAMの出力バッファ49a′の構成を示す回路ブ
ロック図であって、図8と対比される図である。図13
を参照して、この出力バッファ49a′が図8の出力バ
ッファ49aと異なる点は、インバータ74の代わりに
インバータ87およびNANDゲート88が設けられて
いる点である。テストモードシグネチャTMSIG1
は、インバータ87を介してNANDゲート88の一方
入力ノードに入力される。信号ZRDL1は、インバー
タ73を介してNANDゲート88の他方入力ノードに
入力される。NANDゲート88の出力信号ZODL1
は、インバータ75を介してNチャネルMOSトランジ
スタ79のゲートに入力される。
【0094】テストモードシグネチャTMSIG1が
「H」レベルになると、NANDゲート88の出力信号
ZODL1が「H」レベルに固定される。したがって、
テストモードシグネチャTMSIG1が「H」レベルの
期間に信号ZRDL1が「L」レベルになってもNチャ
ネルMOSトランジスタ79が導通することはなく、貫
通電流が流れることはない。この変更例1では、貫通電
流が流れるのを一層確実に防止できる。
【0095】図14は、この実施の形態の変更例2によ
るDRAMのテストモードシグネチャ発生回路90の構
成を示す回路ブロック図であって、図7と対比される図
である。図14を参照して、このテストモードシグネチ
ャ発生回路90が図7のテストモードシグネチャ発生回
路48と異なる点は、NORゲート91〜94およびイ
ンバータ95〜98が追加されている点である。
【0096】このDRAMでは、4つの外部アドレス信
号(たとえばext.A2〜ext.A5)の論理レベ
ルの組合せ(0000〜1111)によって16種類の
テストモードが設定可能になっている。16種類のテス
トモードに対応して信号TM1〜TM16が生成され
る。信号TM1〜TM16は、図5で示したアドレス判
定回路6と同様の構成のアドレス判定回路によって生成
される。NORゲート91は、奇数番の信号TM1,T
M3,…,TM15を受ける。NORゲート92は、信
号TM2,TM3,TM6,TM7,TM10,TM1
1,TM14,TM15を受ける。NORゲート93
は、信号TM4〜TM7,TM12〜TM15を受け
る。NORゲート94は、信号TM8〜TM15を受け
る。NORゲート91〜94の出力信号は、それぞれイ
ンバータ95〜98で反転されてNANDゲート63〜
66の他方入力ノードに入力される。
【0097】信号φ67が「H」レベルになるとテスト
モードシグネチャ発生回路90が活性化され、テスト信
号TM1〜TM15がNORゲート91〜94、インバ
ータ95〜98、NANDゲート63〜66およびイン
バータ56〜59を通過してテストモードシグネチャT
MSIG1〜TMSIG4となる。4つのテストモード
シグネチャTMSIG〜TMSIG4の論理レベルの組
合せ(0001〜1111)で15種類のテストモード
シグネチャを出力することができる。
【0098】たとえば信号TM1が「H」レベルで信号
TM2〜TM15が「L」レベルの場合は、テストモー
ドシグネチャTMSIG1が「H」レベルでテストモー
ドシグネチャTMSIG2〜TMSIG4が「L」レベ
ルとなり(0001)、信号TM1〜TM14が「L」
レベルで信号TM15が「H」レベルの場合はテストモ
ードシグネチャTMSIG1〜TMSIG4がともに
「H」レベルとなる(1111)。さらに、テストモー
ドシグネチャTMSIG1〜TMSIG4がともに
「L」レベルのとき(0000)もシグネチャ出力とみ
なせば、4ビットのテストモードシグネチャTMSIG
1〜TMSIG4によって16種類のテストモードが特
定される。
【0099】なお、今回開示された実施の形態はすべて
の点で例示であって制限的なものではないと考えられる
べきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特
許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の
意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意
図される。
【0100】
【発明の効果】以上のように、請求項1に係る発明で
は、出力バッファは、第1の内部データ信号およびテス
トモードシグネチャのうちの少なくとも一方が活性化レ
ベルにされたことに応じて第3の内部データ信号を活性
化レベルにする論理回路と、第1の電源電圧のラインと
データ出力端子との間に接続され、第3の内部データ信
号が活性化レベルにされたことに応じて導通する第1の
トランジスタと、データ出力端子と第2の電源電位のラ
インとの間に接続され、第2の内部データ信号が活性化
レベルにされたことに応じて導通する第2のトランジス
タとを含む。したがって、第1のトランジスタは第1の
内部データ信号とテストモードシグネチャの両方で共用
されるので、第1の内部データ信号用のトランジスタと
テストモードシグネチャ用のトランジスタとが別々設け
られていた従来に比べレイアウト面積が小さくてすむ。
【0101】請求項2に係る発明では、請求項1に係る
発明の出力バッファは、さらに、第3の内部データ信号
が活性化レベルにされたことに応じて、第1の電源電位
から昇圧された昇圧電位を第1のトランジスタの入力電
極に与えて第1のトランジスタを導通させる昇圧電位発
生回路を含む。この場合は、昇圧電位発生回路は第1の
内部データ信号およびテストモードシグネチャのうちの
少なくとも一方が活性化レベルにされたことに応じて昇
圧電位を出力するので、第1の内部データ信号用の昇圧
電位発生回路のみが設けられていた従来に比べ、高レベ
ルのテストモードシグネチャを出力できる。
【0102】請求項3に係る発明では、請求項1または
2に係る発明の出力バッファは、テストモードシグネチ
ャが活性化レベルにされたことに応じて第2の内部デー
タ信号が活性化レベルの場合でも第2のトランジスタを
非導通状態に固定する制御回路をさらに含む。したがっ
て、テストモードシグネチャと読出データが衝突して出
力バッファに貫通電流が流れることが防止される。
【0103】請求項4に係る発明では、請求項1から3
のいずれかに係る発明のメモリアレイ、読出回路、第1
の信号発生回路および出力バッファはN組(ただし、N
は2以上の整数である)設けられ、第2の信号発生回路
は、それぞれが、予め定められた複数の外部アドレス信
号が予め定められた第1〜第Nの論理レベルの組合せに
されたことに応じて、第1〜第Nのテストモードを設定
するための第1〜第Nのテスト信号を活性化レベルにす
る第1〜第Nのアドレス判定回路と、第1〜第Nのテス
ト信号を第1〜第Nのテストモードシグネチャとしてそ
れぞれN組の出力バッファに与えるテストモードシグネ
チャ発生回路とを含む。この場合は、N種類のテストモ
ードシグネチャをそれぞれN組のデータ出力端子に出力
することができる。
【0104】請求項5に係る発明では、請求項1から3
のいずれかに係る発明のメモリアレイ、読出回路、第1
の信号発生回路および出力バッファは、N組(ただし、
Nは2以上の整数である)設けられ、第2の信号発生回
路は、それぞれが、予め定められた複数の外部アドレス
信号が予め定められた第1〜第M(ただし、MはNより
も大きな整数である)の論理レベルの組合せにされたこ
とに応じて、第1〜第Mのテストモードを設定するため
の第1〜第Mのテスト信号を活性化レベルにする第1〜
第Mのアドレス判定回路と、第1〜第Mのテスト信号の
うちの活性化レベルにされたテスト信号の番号を示すN
ビットのテストモードシグネチャを生成し、それぞれN
組の出力バッファに与えるテストモードシグネチャ発生
回路とを含む。この場合は、M種類のテストモードのう
ちの設定されているテストモードを示すNビットのテス
トモードシグネチャをそれぞれN組のデータ出力端子に
出力することができる。
【0105】請求項6に係る発明では、第2の信号発生
回路は、第2および第3の外部制御信号が活性化レベル
にされた後に第1の外部制御信号が活性化レベルにされ
たことに応じて活性化され、複数の外部アドレス信号の
うちの予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定
められた論理レベルの組合せにされたことに応じて、テ
ストモードが設定されていることを示すテストモードシ
グネチャを活性化レベルにし、第2の外部制御信号が非
活性化レベルにされたことに応じてテストモードシグネ
チャを非活性化レベルにする。したがって、第2の外部
制御信号が再び活性化レベルにされて第2の内部データ
信号が活性化レベルにされた場合でも、テストモードシ
グネチャと第2の内部データ信号とが衝突することはな
い。
【0106】請求項7に係る発明では、請求項6に係る
発明の第2の信号発生回路は、予め定められた複数の外
部アドレス信号が予め定められた論理レベルの組合せに
されたことに応じてテスト信号を活性化レベルにするア
ドレス判定回路と、アドレス判定回路から出力されたテ
スト信号をテストモードシグネチャとして出力バッファ
に与え、第1の外部制御信号が活性化レベルであるとき
に第2の外部制御信号が非活性化レベルにされたことに
応じてテストモードシグネチャを非活性化レベルにする
テストモードシグネチャ発生回路とを含む。この場合
は、第2の信号発生回路を容易に構成できる。
【0107】請求項8に係る発明では、請求項6に係る
発明のメモリアレイ、読出回路、第1の信号発生回路お
よび出力バッファは、N組(ただし、Nは2以上の整数
である)設けられ、第2の信号発生回路は、それぞれ
が、予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定め
られた第1〜第Nの論理レベルの組合せにされたことに
応じて第1〜第Nのテスト信号を活性化レベルにする第
1〜第Nのアドレス判定回路と、第1〜第Nのテスト信
号を第1〜第NのテストモードシグネチャとしてN組の
出力バッファに与え、第1の外部制御信号が活性化レベ
ルであるときに第2の外部制御信号が非活性化レベルに
されたことに応じて第1〜第Nのテストモードシグネチ
ャの各々を非活性化レベルにするテストモードシグネチ
ャ発生回路とを含む。この場合は、N種類のテストモー
ドシグネチャをそれぞれN個のデータ出力端子に出力で
きる。
【0108】請求項9に係る発明では、請求項6に係る
発明のメモリアレイ、読出回路、第1の信号発生回路お
よび出力バッファはN組(ただし、2以上の整数であ
る)設けられ、第2の信号発生回路は、それぞれが、予
め定められた複数の外部アドレ信号が予め定められた第
1〜第M(ただし、MはNよりも大きな整数である)の
論理レベルの組合せにされたことに応じて第1〜第Mの
テスト信号を活性化レベルにする第1〜第Mのアドレス
判定回路と、活性化レベルにされたテスト信号の番号を
示すNビットのテストモードシグネチャを生成してN組
の出力バッファに与え、第1の外部制御信号が活性化レ
ベルであるときに第2の外部制御信号が非活性化レベル
にされたことに応じてNビットのテストモードシグネチ
ャの各々を非活性化レベルにするテストモードシグネチ
ャ発生回路とを含む。この場合は、M種類のテストモー
ドのうちの設定されているテストモードを示すNビット
のテストモードシグネチャをそれぞれN個のデータ出力
端子に出力することができる。
【0109】請求項10に係る発明では、第2の信号発
生回路は、第1の内部制御信号が活性化レベルにされる
テストモードセット期間に活性化され、予め定められた
複数の外部アドレス信号が予め定められた論理レベルの
組合せにされたことに応じてテスト信号を活性化レベル
にするアドレス判定回路と、第2の内部制御信号が活性
化レベルにされるテストモードシグネチャ出力期間に活
性化され、テスト信号をテストモードシグネチャとして
出力バッファに与えるテストモードシグネチャ発生回路
とを含む。したがって、テストモードを設定するための
テストモード設定期間とテストモードシグネチャを出力
する出力期間とを分け、第2の内部制御信号を非活性化
レベルにしている限りテストモードシグネチャは出力さ
れないので、テストモードシグネチャと読出データの衝
突を防止することができる。
【0110】請求項11に係る発明では、請求項10に
係る発明の第2の信号発生回路は、さらに、第2および
第3の外部制御信号が活性化レベルにされた後に第1の
外部制御信号が活性化レベルにされたことに応じて活性
化され、予め定められた外部アドレス信号が第1の論理
レベルにされていることに応じて第1の内部制御信号を
活性化レベルにし、予め定められた外部アドレス信号が
第2の論理レベルにされていることに応じて第2の内部
制御信号を活性化レベルにする内部制御信号発生回路を
含む。この場合は、第1および第2の内部制御信号を容
易に生成できる。
【0111】請求項12に係る発明では、請求項11に
係る発明の内部制御信号発生回路は、第1の外部制御信
号が活性化レベルであるときに第2の外部制御信号が非
活性化レベルにされたことに応じて、予め定められた外
部アドレス信号が第2の論理レベルにされている場合で
も第2の内部制御信号を非活性化レベルにする。この場
合は、第2の外部制御信号が再び活性化レベルにされて
第2の内部データ信号が活性化レベルにされた場合で
も、テストモードシグネチャと第2の内部データ信号と
は衝突することはない。
【0112】請求項13に係る発明では、請求項10か
ら12のいずれかに係る発明のメモリアレイ、読出回
路、第1の信号発生回路および出力バッファは、N組
(ただし、Nは2以上の整数である)設けられ、第2の
信号発生回路は、それぞれが、テストモード設定期間に
活性化され、予め定められた複数の外部アドレス信号が
予め定められた第1〜第Nの論理レベルの組合せにされ
たことに応じて、第1〜第Nのテストモードを活性化レ
ベルにする第1〜第Nのアドレス判定回路と、テストモ
ードシグネチャ出力期間に活性化され、第1〜第Nのテ
スト信号を第1〜第Nのテストモードシグネチャとして
それぞれN組の出力バッファに与えるテストモードシグ
ネチャ発生回路とを含む。この場合は、N種類のテスト
モードシグネチャをそれぞれN個のデータ出力端子に出
力することができる。
【0113】請求項14に係る発明では、請求項10か
ら12のいずれかに係る発明のメモリアレイ、読出回
路、第1の信号発生回路および出力バッファは、N組
(ただし、Nは2以上の整数である)設けられ、第2の
信号発生回路は、それぞれが、テストモード設定期間に
活性化され、予め定められた複数の外部アドレス信号が
予め定められた第1〜第M(ただし、MはNよりも大き
な整数である)の論理レベルの組合せにされたことに応
じて、第1〜第Mのテスト信号を活性化レベルにする第
1〜第Mのアドレス判定回路と、テストモードシグネチ
ャ出力期間に活性化され、活性化レベルにされたテスト
信号の番号を示すNビットのテストモードシグネチャを
生成し、N組の出力バッファに与えるテストモードシグ
ネチャ発生回路とを含む。この場合は、M種類のテスト
モードのうちの設定されているテストモードを示すNビ
ットのテストモードシグネチャをそれぞれN個のデータ
出力端子に出力することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施の形態によるDRAMのテ
ストモードの設定に関連する部分の構成を示すブロック
図である。
【図2】 図1に示したWCBR判定回路の構成を示す
回路図である。
【図3】 図2に示したWCBR判定回路の動作を示す
タイムチャートである。
【図4】 図1に示したスーパーVIH判定回路の構成
を示す回路ブロック図である。
【図5】 図1に示したアドレス判定回路の構成を示す
回路図である。
【図6】 図1で説明したDRAMのテストモードシグ
ネチャの発生および出力に関連する部分の構成を示すブ
ロック図である。
【図7】 図6に示したテストモードシグネチャ発生回
路の構成を示す回路ブロック図である。
【図8】 図6に示した出力バッファに含まれるバッフ
ァの構成を示す回路ブロック図である。
【図9】 図8に示したレベルシフタの構成を示す回路
図である。
【図10】 図1〜図9に示したDRAMのテストモー
ドシグネチャに関連する部分の動作を示すタイムチャー
トである。
【図11】 図1〜図10で示したDRAMの効果を説
明するためのブロック図である。
【図12】 図1〜図10で説明したDRAMの効果を
説明するためのタイムチャートである。
【図13】 この実施の形態の変更例を示す回路ブロッ
ク図である。
【図14】 この実施の形態の他の変更例を示す回路ブ
ロック図である。
【図15】 従来のDRAMの全体構成を示すブロック
図である。
【図16】 図15に示したDRAMに含まれるテスト
モードの設定に関連する部分の構成を示すブロック図で
ある。
【図17】 図16に示したアドレス判定回路の構成を
示す回路図である。
【図18】 図15に示したDRAMに含まれるテスト
モードシグネチャの発生および出力に関連する部分の構
成を示すブロック図である。
【図19】 図18に示したテストモードシグネチャ発
生回路の構成を示す回路図である。
【図20】 図18に示した出力バッファに含まれるバ
ッファの構成を示す回路ブロック図である。
【図21】 図16〜図20で示したテストモードシグ
ネチャに関連する部分の動作を示すタイムチャートであ
る。
【符号の説明】
1〜3,51〜53,111〜113 入力回路、4,
114 WCBR判定回路、5,115 スーパーVI
H判定回路、6,116 アドレス判定回路、11〜1
5,35〜40,54〜59,71〜75,85,8
7,95〜98,121〜125,145〜148,1
51〜156 インバータ、16〜23,60〜66,
88,141〜144 NANDゲート、24,41〜
43,126,127 ANDゲート、25〜28,6
8 フリップフロップ、30 アドレス信号入力端子、
31 レベル変換回路、32 コンパレータ、33,7
8,79,83,84,159,160 NチャネルM
OSトランジスタ、44,45,128,129 クロ
ックトインバータ、46,47,67,76,91〜9
4,130,131 NORゲート、48,132 テ
ストモードシグネチャ発生回路、49,109,133
出力バッファ、49a,133a バッファ、70,
150 データ入出力端子、77,157 レベルシフ
タ、81,82PチャネルMOSトランジスタ、86
ライト/リード制御回路、101 クロック発生回路、
102 行および列アドレスバッファ、103 行デコ
ーダ、104 列デコーダ、105 メモリマット、1
06 メモリアレイ、107センスアンプ+入出力制御
回路、108 入力バッファ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 月川 靖彦 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 2G032 AA01 AA07 AE11 AE14 AG02 AG07 AK11 AK14 AL08 5B024 AA01 AA07 AA15 BA21 BA29 CA07 CA27 EA04 5L106 AA01 DD12 GG01 GG05

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テストモードを有する半導体記憶装置で
    あって、 複数のメモリセルを含むメモリアレイ、 読出モード時に外部アドレス信号に従って前記複数のメ
    モリセルのうちのいずれかのメモリセルを選択し、その
    メモリセルのデータを読出す読出回路、 前記読出回路によって読出されたデータが第1の論理に
    あることに応じて第1の内部データ信号を活性化レベル
    にし、該データが第2の論理であることに応じて第2の
    内部データ信号を活性化レベルにする第1の信号発生回
    路、 前記テストモードが設定されたことに応じてテストモー
    ドシグネチャを活性化レベルにする第2の信号発生回
    路、および前記第1の内部データ信号および前記テスト
    モードシグネチャのうちの少なくとも一方が活性化レベ
    ルにされたことに応じてデータ出力端子を第1の論理レ
    ベルにし、前記第2の内部データ信号が活性化レベルに
    されたことに応じて前記データ出力端子を第2の論理レ
    ベルにする出力バッファを備え、 前記出力バッファは、 前記第1の内部データ信号および前記テストモードシグ
    ネチャのうちの少なくとも一方が活性化レベルにされた
    ことに応じて第3の内部データ信号を活性化レベルにす
    る論理回路、 前記第1の電源電位のラインと前記データ出力端子との
    間に接続され、前記第3の内部データ信号が活性化レベ
    ルにされたことに応じて導通する第1のトランジスタ、
    および前記データ出力端子と第2の電源電位のラインと
    の間に接続され、前記第2の内部データ信号が活性化レ
    ベルにされたことに応じて導通する第2のトランジスタ
    を含む、半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記出力バッファは、さらに、前記第3
    の内部データ信号が活性化レベルにされたことに応じ
    て、前記第1の電源電位から昇圧された昇圧電位を前記
    第1のトランジスタの入力電極に与えて前記第1のトラ
    ンジスタを導通させる昇圧電位発生回路を含む、請求項
    1に記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記出力バッファは、さらに、前記テス
    トモードシグネチャが活性化レベルにされたことに応じ
    て、前記第2の内部データ信号が活性化レベルの場合で
    も前記第2のトランジスタを非導通状態に固定する制御
    回路を含む、請求項1または請求項2に記載の半導体記
    憶装置。
  4. 【請求項4】 前記メモリアレイ、前記読出回路、前記
    第1の信号発生回路および前記出力バッファは、N組
    (ただし、Nは2以上の整数である)設けられ、 前記第2の信号発生回路は、 それぞれが、前記予め定められた複数の外部アドレス信
    号が予め定められた第1〜第Nの論理レベルの組合せに
    されたことに応じて、第1〜第Nのテストモードを設定
    するための第1〜第Nのテスト信号を活性化レベルにす
    る第1〜第Nのアドレス判定回路、および第1〜第Nの
    テスト信号を第1〜第Nのテストモードシグネチャとし
    てそれぞれN組の出力バッファに与えるテストモードシ
    グネチャ発生回路を含む、請求項1から請求項3のいず
    れかに記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記メモリアレイ、前記読出回路、前記
    第1の信号発生回路および前記出力バッファは、N組
    (ただし、Nは2以上の整数である)設けられ、 前記第2の信号発生回路は、 それぞれが、前記予め定められた複数の外部アドレス信
    号が予め定められた第1〜第M(ただし、MはNよりも
    大きな整数である)の論理レベルの組合せにされたこと
    に応じて、第1〜第Mのテストモードを設定するための
    第1〜第Mのテスト信号を活性化レベルにする第1〜第
    Mのアドレス判定回路、および前記第1〜第Mのテスト
    信号のうちの活性化レベルにされたテスト信号の番号を
    示すNビットのテストモードシグネチャを生成し、該N
    ビットのテストモードシグネチャをそれぞれN組の出力
    バッファに与えるテストモードシグネチャ発生回路を含
    む、請求項1から請求項3のいずれかに記載の半導体記
    憶装置。
  6. 【請求項6】 第1〜第3の外部制御信号および複数の
    外部アドレス信号によって制御される半導体記憶装置で
    あって、 複数のメモリセルを含むメモリアレイ、 前記第1の外部制御信号が活性化レベルにされた後に前
    記第2の外部制御信号が活性化レベルにされたことに応
    じて活性化され、前記複数の外部アドレス信号に従って
    前記複数のメモリセルのうちのいずれかのメモリセルを
    選択し、そのメモリセルのデータを読出す読出回路、 前記読出回路によって読出されたデータが第1の論理で
    あることに応じて第1の内部データ信号を活性化レベル
    にし、該データが第2の論理であることに応じて第2の
    内部データ信号を活性化レベルにする第1の信号発生回
    路、 前記第2および第3の外部制御信号が活性化レベルにさ
    れた後に前記第1の外部制御信号が活性化レベルにされ
    たことに応じて活性化され、前記複数の外部アドレス信
    号のうちの予め定められた複数の外部アドレス信号が予
    め定められた論理レベルの組合せにされたことに応じ
    て、テストモードが設定されていることを示すテストモ
    ードシグネチャを活性化レベルにし、前記第2の外部制
    御信号が非活性化レベルにされたことに応じて該テスト
    モードシグネチャを非活性化レベルにする第2の信号発
    生回路、および前記第1の内部データ信号および前記テ
    ストモードシグネチャのうちの少なくとも一方が活性化
    レベルにされたことに応じてデータ出力端子を第1の論
    理レベルにし、前記第2の内部データ信号が活性化レベ
    ルにされたことに応じて前記データ出力端子を第2の論
    理レベルにする出力バッファを備える、半導体記憶装
    置。
  7. 【請求項7】 前記第2の信号発生回路は、 前記予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定め
    られた論理レベルの組合せにされたことに応じて、前記
    テストモードを設定するためのテスト信号を活性化レベ
    ルにするアドレス判定回路、および前記アドレス判定回
    路から出力されたテスト信号を前記テストモードシグネ
    チャとして前記出力バッファに与え、前記第1の外部制
    御信号が活性化レベルであるときに前記第2の外部制御
    信号が非活性化レベルにされたことに応じて前記テスト
    モードシグネチャを非活性化レベルにするテストモード
    シグネチャ発生回路を含む、請求項6に記載の半導体記
    憶装置。
  8. 【請求項8】 前記メモリアレイ、前記読出回路、前記
    第1の信号発生回路および前記出力バッファは、N組
    (ただし、Nは2以上の整数である)設けられ、 前記第2の信号発生回路は、 それぞれが、前記予め定められた複数の外部アドレス信
    号が予め定められた第1〜第Nの論理レベルの組合せに
    されたことに応じて、第1〜第Nのテストモードを設定
    するための第1〜第Nのテスト信号を活性化レベルにす
    る第1〜第Nのアドレス判定回路、および前記第1〜第
    Nのアドレス判定回路から出力された第1〜第Nのテス
    ト信号を第1〜第NのテストモードシグネチャとしてN
    組の出力バッファに与え、前記第1の外部制御信号が活
    性化レベルであるときに前記第2の外部制御信号が非活
    性化レベルにされたことに応じて前記第1〜第Nのテス
    トモードシグネチャを非活性化レベルにするテストモー
    ドシグネチャ発生回路を含む、請求項6に記載の半導体
    記憶装置。
  9. 【請求項9】 前記メモリアレイ、前記読出回路、前記
    第1の信号発生回路および前記出力バッファは、N組
    (ただし、Nは2以上の整数である)設けられ、 前記第2の信号発生回路は、 それぞれが、前記予め定められた複数の外部アドレス信
    号が予め定められた第1〜第M(ただし、MはNよりも
    大きな整数である)の論理レベルの組合せにされたこと
    に応じて、第1〜第Mのテストモードを設定するための
    第1〜第Mのテスト信号を活性化レベルにする第1〜第
    Mのアドレス判定回路、および前記第1〜第Mのテスト
    信号のうちの活性化レベルにされたテスト信号の番号を
    示すNビットのテストモードシグネチャを生成して該N
    ビットのテストモードシグネチャをそれぞれN組の出力
    バッファに与え、前記第1の外部制御信号が活性化レベ
    ルであるときに前記第2の外部制御信号が非活性化レベ
    ルにされたことに応じて前記Nビットのテストモードシ
    グネチャの各々を非活性化レベルにするテストモードシ
    グネチャ発生回路を含む、請求項6に記載の半導体記憶
    装置。
  10. 【請求項10】 第1〜第3の外部制御信号および複数
    の外部アドレス信号によって制御される半導体記憶装置
    であって、 複数のメモリセルを含むメモリアレイ、 前記第1の外部制御が活性化レベルにされた後に前記第
    2の外部制御信号が活性化レベルにされたことに応じて
    活性化され、前記複数の外部アドレス信号に従って前記
    複数のメモリセルのうちのいずれかのメモリセルを選択
    し、そのメモリセルのデータを読出す読出回路、 前記読出回路によって読出されたデータが第1の論理で
    あることに応じて第1の内部データ信号を活性化レベル
    にし、該データが第2の論理であることに応じて第2の
    内部データ信号を活性化レベルにする第1の信号発生回
    路、 前記第2および第3の外部制御信号が活性化レベルにさ
    れた後に前記第1の外部制御信号が活性化レベルにされ
    たことに応じて活性化され、前記複数の外部アドレス信
    号のうちの予め定められた複数の外部アドレス信号が予
    め定められた論理レベルの組合せにされたことに応じ
    て、テストモードが設定されていることを示すテストモ
    ードシグネチャを活性化レベルにする第2の信号発生回
    路、および前記第1の内部データ信号および前記テスト
    モードシグネチャのうちの少なくとも一方が活性化レベ
    ルにされたことに応じてデータ出力端子を第1の論理レ
    ベルにし、前記第2の内部データ信号が活性化レベルに
    されたことに応じて前記データ出力端子を第2の論理レ
    ベルにする出力バッファを備え、 前記第2の信号発生回路は、 第1の内部制御信号が活性化レベルにされるテストモー
    ド設定期間に活性化され、前記予め定められた複数の外
    部アドレス信号が予め定められた論理レベルの組合せに
    されたことに応じて、前記テストモードを設定するため
    のテスト信号を活性化レベルにするアドレス判定回路、
    および第2の内部制御信号が活性化レベルにされるテス
    トモードシグネチャ出力期間に活性化され、前記アドレ
    ス判定回路から出力されたテスト信号を前記テストモー
    ドシグネチャとして前記出力バッファに与えるテストモ
    ードシグネチャ発生回路を含む、半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】 前記第2の信号発生回路は、さらに、
    前記第2および第3の外部制御信号が活性化レベルにさ
    れた後に前記第1の外部制御信号が活性化レベルにされ
    たことに応じて活性化され、前記複数の外部アドレス信
    号のうちの予め定められた複数の外部アドレス信号以外
    の予め定められた外部アドレス信号が第1の論理レベル
    にされていることに応じて前記第1の内部制御信号を活
    性化レベルにし、前記予め定められた外部アドレス信号
    が第2の論理レベルにされていることに応じて前記第2
    の内部制御信号を活性化レベルにする内部制御信号発生
    回路を含む、請求項10に記載の半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】 前記内部制御信号発生回路は、前記第
    1の外部制御信号が活性化レベルであるときに前記第2
    の外部制御信号が非活性化レベルにされたことに応じ
    て、前記予め定められた外部アドレス信号が第2の論理
    レベルにされている場合でも前記第2の内部制御信号を
    非活性化レベルにする、請求項11に記載の半導体記憶
    装置。
  13. 【請求項13】 前記メモリアレイ、前記読出回路、前
    記第1の信号発生回路および前記出力バッファは、N組
    (ただし、Nは2以上の整数である)設けられ、 前記第2の信号発生回路は、 それぞれが、前記テストモード設定期間に活性化され、
    前記予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定め
    られた第1〜第Nの論理レベルの組合せにされたことに
    応じて、第1〜第Nのテストモードを設定するための第
    1〜第Nのテスト信号を活性化レベルにする第1〜第N
    のアドレス判定回路、および前記テストモードシグネチ
    ャ出力期間に活性化され、前記第1〜第Nのアドレス判
    定回路から出力された第1〜第Nのテスト信号を第1〜
    第NのテストモードシグネチャとしてそれぞれN組の出
    力バッファに与えるテストモードシグネチャ発生回路を
    含む、請求項10から請求項12のいずれかに記載の半
    導体記憶装置。
  14. 【請求項14】 前記メモリアレイ、前記読出回路、前
    記第1の信号発生回路および前記出力バッファは、N組
    (ただし、Nは2以上の整数である)設けられ、 前記第2の信号発生回路は、 それぞれが、前記テストモード設定期間に活性化され、
    前記予め定められた複数の外部アドレス信号が予め定め
    られた第1〜第M(ただし、MはNよりも大きな整数で
    ある)の論理レベルの組合せにされたことに応じて、第
    1〜第Mのテストモードを設定するための第1〜第Mの
    テスト信号を活性化レベルにする第1〜第Mのアドレス
    判定回路、および前記テストモードシグネチャ出力期間
    に活性化され、前記第1〜第Mのテスト信号のうちの活
    性化レベルにされたテスト信号の番号を示すNビットの
    テストモードシグネチャを生成し、該Nビットのテスト
    モードシグネチャをそれぞれN組の出力バッファに与え
    るテストモードシグネチャ発生回路を含む、請求項10
    から請求項12のいずれかに記載の半導体記憶装置。
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