JP2001118502A - カラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法及び装置とそれらにより作製したプラズマディスプレイパネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来よりも精度よく、歩留よく、低コストで
製造することができるカラー表示ＰＤＰの蛍光体膜形成
方法及び装置とそれらにより作製したＰＤＰを提供す
る。 【解決手段】 蛍光体液１を直線状凹部に塗布するとき
のノズル２からの蛍光体液吐出量よりも、基板外に向け
て蛍光体液を吐出させるときの蛍光体液の吐出量を多く
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば壁掛けテレ
ビや情報表示用のディスプレイとして用いることができ
る、ＡＣ型のカラー表示プラズマディスプレイパネルの
蛍光体膜形成方法及び装置とそれらにより作製したプラ
ズマディスプレイパネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】ＡＣ型プラズマディスプレイの背面板に
は、細長いストライブ状のリブ間に細長いストライブ状
の凹部が多数併設されており、これらの凹部のうちの赤
色、緑色、青色用の凹部に、赤色、緑色、青色の３色の
蛍光体膜をそれぞれ形成することが必要である。

【０００３】蛍光体膜を形成する方法として、一般に、
スクリーン印刷が用いられている。この方法は、背面板
凹部全体に、各色に合わせたスキージーマスクを通し
て、蛍光体微粒子が溶剤に分散されてなる蛍光体液を流
し込む方法である。問題点として、スキージーの機械的
変形により混色が起こるため、熟練者を要すること、凸
部の上に蛍光体が付着する。さらに、凹部の間隔が細か
い高精細パネルの作製や大型パネルの作成にも、困難で
ある。

【０００４】別の蛍光体膜形成方法として、発明者ら
は、既に特願平１０−００５６３号として特許出願した
発明をした。図１０を用いてこの方法を説明する。この
方法は、ノズル２０から蛍光体液２１を吐出させなが
ら、基板パネル２３上をリブに沿って平行移動させて塗
布し、凹部端部まで塗布したのち、ノズル２０を平行移
動方向と直交する方向へスライドさせて次の凹部上方ま
で移動し、また、基板パネル上をリブに沿って平行移動
させて塗布することを繰り返すことで、直接、各凹部へ
蛍光体液２１を塗布する方法である。

【０００５】上記基板パネル２３はガラス材料からな
り、基板パネル上にはガラス材料とは異種の物質からな
るリブにより凹部がライン状に作製されている。ノズル
２０は、蛍光体が分散された蛍光体液２１を凹部内に吐
出しながら、約０．５ｍ/秒から３ｍ/秒で凹部に沿って
高速に移動し、凹部端部まで吐出した後、上記移動方向
とは直交する方向に、吐出口数に応じて移動したのち、
再び、別の凹部に対して蛍光体液２１を吐出しながら移
動すること繰り返して、基板パネル全体の凹部の内部に
蛍光体液を満たすようにしている。また、このとき、ノ
ズル２０を移動させる代わりに、基板パネル２３自体を
ノズル２０に対して移動させてもよい。ノズル２０の吐
出口の大きさは、凹部の内部に直接、蛍光体液２１を導
入するため、これより小さい直径の円状の口径が必要で
ある。また、この図１０の方法では、３つの吐出口を持
つノズルを用いていた。蛍光体液２１が凹部の９０％を
満たすように吐出量と速度が決定される。この方法を用
いれれば、混色なく、熟練なく、自由形状の蛍光体膜が
作製でき、大型パネル、高精細パネルにも利用できる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】この方法の課題として
は、ノズルからの蛍光体液の吐出が安定して、長期にわ
たって真っ直ぐ出ることが大前提である。例えば、４２
インチのパネルの場合、凹部が２５５６本あり、１本で
も曲がった吐出ラインで蛍光体液を塗布すると、隣接す
る凹部内の他の色と混ざり合って混色となってしまい、
蛍光体液塗布不良となる。また、ノズルからの吐出量が
所定の量から３％以上変化しても、輝度むらが現われ、
不良となる。また、ノズルからの蛍光体液の吐出の長期
の安定性として、８時間以上の安定性してノズルから蛍
光体液を吐出することができないと実質的に生産ができ
ない。また、蛍光体の発光時に高輝度を実現するには、
凹部に均等かつ厚膜に膜形成をしなければならないが、
ノズルから吐出を行うため、蛍光体液の粘度を低く押さ
えなければならない。その結果、塗布終了後、蛍光体液
は凹部の頂上付近から重力作用を受けて、下部に落ちて
膜形成されるため、凹部に均等に膜形成を行うことが困
難である。

【０００７】従って、本発明の目的は、上記問題を解決
することにあって、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低
減させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗
布することができ、凹部に大略均等に膜形成を行うこと
ができて、膜厚や塗布形状や塗布ピッチの精度がよく、
歩留りよく、かつ、低コストで製造することができるカ
ラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方
法及び装置とそれらにより作製したプラズマディスプレ
イパネルを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は以下のように構成する。

【０００９】本発明の第１態様によれば、基板の表面に
有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子が
液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出口が
略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱処
理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプレ
イパネルの蛍光体膜形成方法であって、上記基板の上方
で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出させ
ながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上記
蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズル
からの上記蛍光体液の吐出量よりも、上記基板に上記蛍
光体液を塗布せずに上記基板外に向けて上記蛍光体液を
吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が多くなるよう
にしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレ
イパネルの蛍光体膜形成方法を提供する。

【００１０】本発明の第２態様によれば、上記基板に上
記蛍光体液を塗布せずに上記基板外に向けて上記蛍光体
液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が、上記蛍
光体膜を形成するときの上記ノズルからの上記蛍光体液
の吐出量より１．２倍以上多くなるようにした第１態様
に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光
体膜形成方法を提供する。

【００１１】本発明の第３態様によれば、上記基板の上
方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出さ
せながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上
記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するとき、塗布作業
を停止したのち、上記ノズルに清掃用溶剤を供給して上
記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの清掃
を行うようにした第１又は２態様に記載のカラー表示プ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を提供す
る。

【００１２】本発明の第４態様によれば、基板の表面に
有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子が
液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出口が
略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱処
理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプレ
イパネルの蛍光体膜形成方法であって、上記基板の上方
で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出させ
ながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上記
蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するとき、塗布作業を
停止したのち、上記ノズルに清掃用溶剤を供給して上記
ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの清掃を
行うことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイ
パネルの蛍光体膜形成方法を提供する。

【００１３】本発明の第５態様によれば、上記ノズルの
上記吐出口付近を上記蛍光体液の溶剤で拭き取るように
した第３又は４態様に記載のカラー表示プラズマディス
プレイパネルの蛍光体膜形成方法を提供する。

【００１４】本発明の第６態様によれば、上記ノズルの
上記吐出口付近を上記蛍光体液の溶剤で拭き取る汚れ拭
き取り速度が、１０ｍｍ/秒以上である第５態様に記載
のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形
成方法を提供する。

【００１５】本発明の第７態様によれば、上記基板の上
方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出さ
せながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上
記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するとともに、上記
ノズルの清掃時には、上記基板外の上方で上記ノズルの
上記吐出口から上記蛍光体液を蛍光体液回収部材に向け
て吐出させながら、上記ノズル内部に溶剤を供給して上
記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの清掃
を行うようにした第１〜６のいずれかの態様にカラー表
示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を提
供する。

【００１６】本発明の第８態様によれば、基板の表面に
有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子が
液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出が略
直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱処理
で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプレイ
パネルの蛍光体膜形成方法であって、上記基板の上方で
上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出させな
がら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上記蛍
光体液を上記直線状凹部に塗布するとともに、上記ノズ
ルの清掃時には、上記基板外の上方で上記ノズルの上記
吐出口から上記蛍光体液を蛍光体液回収部材に向けて吐
出させながら、上記ノズル内部に溶剤を供給して上記ノ
ズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの清掃を行
うことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパ
ネルの蛍光体膜形成方法を提供する。

【００１７】本発明の第９態様によれば、上記ノズルの
上記吐出口から吐出される上記蛍光体液の吐出状態を検
出し、その検出結果に基き、上記ノズルの上記吐出口の
清掃を行うか否か判断するようにした第３〜８のいずれ
かの態様に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネ
ルの蛍光体膜形成方法を提供する。

【００１８】本発明の第１０態様によれば、上記ノズル
を洗浄する上記溶剤として、上記蛍光体液で使用する溶
剤を用いる第３〜９のいずれかの態様に記載のカラー表
示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を提
供する。

【００１９】本発明の第１１態様によれば、上記基板外
の上方で上記ノズルの上記吐出口から吐出される上記蛍
光体液が蛍光体液回収部材に回収され、回収された上記
蛍光体を循環させて再び上記ノズルに供給するとき、上
記蛍光体液回収部材に回収された上記蛍光体液を蛍光体
液保持部材に一旦保持して該蛍光体液保持部材内で攪拌
させて、蛍光体の分散を維持させるようにした第１〜１
０のいずれかの態様に記載のカラー表示プラズマディス
プレイパネルの蛍光体膜形成方法を提供する。

【００２０】本発明の第１２態様によれば、第１〜１１
のいずれかの態様に記載のカラー表示プラズマディスプ
レイパネルの蛍光体膜形成方法でカラー表示プラズマデ
ィスプレイパネルの蛍光体膜を形成したプラズマディス
プレイパネルを提供する。

【００２１】本発明の第１３態様によれば、基板の表面
に有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子
が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出口
が略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱
処理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプ
レイパネルの蛍光体膜形成装置であって、上記基板の上
方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出さ
せながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上
記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズ
ルからの上記蛍光体液の吐出量よりも、上記基板に上記
蛍光体液を塗布せずに上記基板外に向けて上記蛍光体液
を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が多くなるよ
うに、上記ノズルに対して蛍光体液供給装置により上記
蛍光体液を供給するようにしたことを特徴とするカラー
表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置を
提供する。

【００２２】本発明の第１４態様によれば、上記基板に
上記蛍光体液を塗布せずに上記基板外に向けて上記蛍光
体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が、上記
蛍光体膜を形成するときの上記ノズルからの上記蛍光体
液の吐出量より１．２倍以上多くなるようにした第１３
態様に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの
蛍光体膜形成装置を提供する。

【００２３】本発明の第１５態様によれば、上記基板の
上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出
させながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて
上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するとき、塗布作
業を停止したのち、上記ノズルに清掃用溶剤を供給して
上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの清
掃を行う清掃機を備えるようにした第１３又は１４態様
に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光
体膜形成装置を提供する。

【００２４】本発明の第１６態様によれば、基板の表面
に有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子
が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出口
が略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱
処理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプ
レイパネルの蛍光体膜形成装置であって、上記基板の上
方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出さ
せながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上
記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するとき、塗布作業
を停止したのち、上記ノズルに清掃用溶剤を供給して上
記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの清掃
を行う清掃機を備えることを特徴とするカラー表示プラ
ズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置を提供す
る。

【００２５】本発明の第１７態様によれば、上記ノズル
の上記吐出口付近を上記蛍光体液の溶剤で拭き取るよう
にした第１５又は１６態様に記載のカラー表示プラズマ
ディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置を提供する。

【００２６】本発明の第１８態様によれば、上記ノズル
の上記吐出口付近を上記蛍光体液の溶剤で拭き取る汚れ
拭き取り速度が、１０ｍｍ/秒以上である第１７態様に
記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体
膜形成装置を提供する。

【００２７】本発明の第１９態様によれば、上記基板の
上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出
させながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて
上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するとともに、上
記ノズルの清掃時には、上記基板外の上方で上記ノズル
の上記吐出口から上記蛍光体液を蛍光体液回収部材に向
けて吐出させながら、上記ノズル内部に溶剤を供給して
上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの清
掃を行う清掃機構を備えるようにした第１３〜１８のい
ずれかの態様にカラー表示プラズマディスプレイパネル
の蛍光体膜形成装置を提供する。

【００２８】本発明の第２０態様によれば、基板の表面
に有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子
が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出が
略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱処
理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプレ
イパネルの蛍光体膜形成装置であって、上記基板の上方
で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出させ
ながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上記
蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するとともに、上記ノ
ズルの清掃時には、上記基板外の上方で上記ノズルの上
記吐出口から上記蛍光体液を蛍光体液回収部材に向けて
吐出させながら、上記ノズル内部に溶剤を供給して上記
ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの清掃を
行う清掃機構を備えるようにしたことを特徴とするカラ
ー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置
を提供する。

【００２９】本発明の第２１態様によれば、上記ノズル
の上記吐出口から吐出される上記蛍光体液の吐出状態を
検出する監視装置を備え、当該監視装置による上記吐出
状態の検出結果に基き、上記ノズルの上記吐出口の清掃
を行うか否か判断するようにした第１５〜２０のいずれ
かの態様に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネ
ルの蛍光体膜形成装置を提供する。

【００３０】本発明の第２２態様によれば、上記ノズル
を洗浄する上記溶剤として、上記蛍光体液で使用する溶
剤を用いる第１５〜２１のいずれかの態様に記載のカラ
ー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置
を提供する。

【００３１】本発明の第２３態様によれば、上記基板外
の上方で上記ノズルの上記吐出口から吐出される上記蛍
光体液が蛍光体液回収部材に回収され、回収された上記
蛍光体を循環させて再び上記ノズルに供給するとき、上
記蛍光体液回収部材に回収された上記蛍光体液を蛍光体
液保持部材に一旦保持して該蛍光体液保持部材内で攪拌
させて、蛍光体の分散を維持させる分散機を備えるよう
にした第１３〜２２のいずれかの態様に記載のカラー表
示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置を提
供する。

【００３２】本発明の第２４態様によれば、上記ノズル
に上記蛍光体液を供給する配管及び上記蛍光体液を保持
する蛍光体液保持部材の材質をそれぞれ合成樹脂とする
第１３〜２３のいずれかの態様に記載のカラー表示プラ
ズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置を提供す
る。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下に、本発明にかかる実施の形
態を図面に基づいて詳細に説明する。

【００３４】（第１実施形態）本発明の第１実施形態に
かかるＡＣ型のカラー表示プラズマディスプレイパネル
の蛍光体膜形成方法及び装置を、図１〜図４に基いて説
明する。この第１実施形態では、ノズル２の基板パネル
１０への塗布時の吐出量よりも、基板パネル外への吐出
時の吐出量を多くするようにしている。

【００３５】一例としてＡＣ型プラズマディスプレイの
背面板である基板パネル１０には、細長いストライブ状
のリブで囲まれた細長いストライブ状の凹部１０Ｒ，１
０Ｇ，１０Ｂ，…，１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂが多数併設
されており、これらの凹部１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ，
…，１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂのうちの赤色、緑色、青色
用の凹部１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに、上記蛍光体膜形成
方法及び装置により、赤色、緑色、青色の３色の蛍光体
液１をそれぞれ塗布したのち、熱処理により、赤色、緑
色、青色の３色の蛍光体膜をそれぞれ形成する。詳しく
は、まず、緑色の蛍光体液１を緑色用の直線状凹部１０
Ｇ，…，１０Ｇ内に塗布し、自然乾燥させたのち、次
に、赤色の蛍光体液１を赤色用の直線状凹部１０Ｒ，
…，１０Ｒ内に塗布し、自然乾燥させたのち、次に、青
色の蛍光体液１を青色用の直線状凹部１０Ｂ，…，１０
Ｂ内に塗布し、塗布後の上記緑色、赤色、及び青色の蛍
光体液１，…，１を周知のように５１０℃で１０分程度
の熱処理することにより、緑色、赤色、及び青色のそれ
ぞれの蛍光体膜を各対応するそれぞれの色用の直線状凹
部１０内に形成する。各蛍光体液１は、各色の蛍光体微
粒子が液媒体に分散されている。

【００３６】上記蛍光体膜形成装置は、基台４５上に、
基板パネル１０を位置決めして載置する基板載置台５６
を基板搬送装置５７により搬送可能に配置するととも
に、基台４５に固定された機枠４６に、案内レール５０
沿いに往復移動可能でかつ複数の蛍光体液吐出口を有す
るノズル２を配置している。

【００３７】機枠４６には、ノズル駆動装置４７が備え
られている。ノズル駆動装置４７は、モータ４７ｂによ
りボールネジ軸４７ａを正逆回転駆動し、ボールネジ軸
４７ａに螺合したナット（図示せず）をノズル２に固定
することにより、ボールネジ軸４７ａが正逆回転駆動さ
れると、ノズル２が、ボールネジ軸４７ａの軸方向と平
行に機枠４６に配置された案内レール５０の案内されつ
つ、ノズル２が機枠４６の端から端まで移動することに
より、基板載置台５６上に載置される基板パネル１０の
端から端まで蛍光体液を塗布可能となっている。

【００３８】上記基板搬送装置５７は、例えば、モータ
（図示せず）によりボールネジ軸５７ａを正逆回転駆動
し、ボールネジ軸５７ａに螺合したナット（図示せず）
を基板載置台５６の下面に固定することにより、ボール
ネジ軸５７ａが正逆回転駆動されると、基板載置台５６
が両端部において一対のガイド５８，５８により案内さ
れながら、基板載置台５６がノズル２が支持されている
機枠４６の下方を通り抜けつつボールネジ軸５７ａの軸
方向沿いに往復移動可能となっている。

【００３９】蛍光体液保持部材の一例としての蛍光体液
タンク５１内に保持されている蛍光体液は、蛍光体液供
給装置の一例としてのポンプ５５の駆動により、蛍光体
液供給管５３から機枠上部を通って、ノズル２の上部に
配置された蛍光体液ポット５９内に供給される。蛍光体
液ポット５９内に供給された蛍光体液は、ノズル２内に
供給管４９を介して供給される。

【００４０】機枠４６の近傍でかつ機枠４６に備えられ
たノズル２が移動する範囲の下方には、蛍光体液回収部
材の一例としての蛍光体液受け皿５２が基台４５に配置
されており、蛍光体液受け皿５２に排出された蛍光体液
は蛍光体液回収管５４により蛍光体液タンク５１内に回
収されるようになっている。

【００４１】上記各駆動装置、例えば、基板搬送装置５
７のモータなどの駆動装置、ノズル駆動装置４７のモー
タなどの駆動装置４７ｂなどは制御装置６１により動作
制御されるようになっている。

【００４２】なお、実際には、赤色、緑色、青色の３色
の蛍光体液用として、蛍光体液タンク５１、ポンプ５
５、蛍光体液供給管５３、蛍光体液ポット５９、供給管
４９、ノズル２、蛍光体液受け皿５２、蛍光体液回収管
５４が３個ずつ備えられて、各色毎にそれぞれ独立して
駆動されるようになっている。

【００４３】よって、上記構成によれば、上記制御装置
６１の制御の元に、ポンプ５５を駆動して、蛍光体液タ
ンク５１内に保持されている蛍光体液を蛍光体液供給管
５３を通して蛍光体液ポット５９内に供給し、蛍光体液
ポット５９内から供給管４９を介してノズル２に供給す
る。この結果、ノズル２の複数の吐出口から同時に蛍光
体液を蛍光体液受け皿５２内に吐出することができる。
このとき、上記ノズル２の上記吐出口から上記蛍光体液
１を上記基板パネル１０に向けて吐出させて上記蛍光体
膜を形成するときの上記ノズル２からの上記蛍光体液１
の吐出量（以下、「塗布用吐出量」と称する。）より、
上記基板パネル１０に上記蛍光体膜を塗布せずに上記基
板パネル１０外に向けて上記蛍光体液１を吐出させると
きの上記蛍光体液の吐出量（以下、「非塗布用吐出量」
と称する。）が多くなるようにしている。そして、ノズ
ル２からの蛍光体液１の吐出量が所定の非塗布用吐出量
の値となって安定したのち、塗布を開始するために、上
記非塗布用吐出量より少ない塗布用吐出量になるように
ポンプ５５の駆動を制御装置６１により切り替えるとと
もに、上記基板搬送装置５７により基板載置台５６を機
枠４６に支持されたノズル２の下方に位置させる。よっ
て、ノズル２から蛍光体液１を基板パネル１０の凹部に
向けて吐出開始して蛍光体膜を凹部内に順に形成し始め
る。上記基板搬送装置５７により基板載置台５６ととも
に基板載置台５６に載置された基板パネル１０が機枠４
６の下方を通過していくことにより、ノズル２から吐出
された蛍光体液１が基板パネル１０の凹部内に順に塗布
されていく。凹部の端から端まで塗布が完了すると、制
御装置６１の制御の元に、ノズル２からの蛍光体液が再
び蛍光体液受け皿５２内に吐出する。このときの非塗布
用吐出量は塗布時の塗布用吐出量より上記したように多
いものとなる。

【００４４】次いで、制御装置６１の制御の元に、ノズ
ル駆動装置４７を駆動してノズル２を所定寸法だけ機枠
４６沿いに移動して、別の新しい凹部に対向可能な位置
まで移動する。その後、再び、ノズル２からの蛍光体液
を非塗布用の吐出量でもって再び蛍光体液受け皿５２内
に吐出する。

【００４５】次いで、制御装置６１の制御の元に、非塗
布用の吐出量を塗布用の吐出量に再び変更したのち、ノ
ズル２から蛍光体液１を基板パネル１０の別の新しい凹
部に向けて吐出開始して蛍光体膜を凹部内に形成する。

【００４６】このような動作を各色毎に繰り返すことに
より、全ての凹部に蛍光体膜を形成するようにしてい
る。

【００４７】ここで、上記非塗布用の吐出量を塗布用の
吐出量より多くする理由は以下のとおりである。

【００４８】一般に、図３（ａ）のように所定量の蛍光
体液１をノズル２から長時間吐出させると、数時間内で
図３（ｂ）のように目詰まり３を起こす。そこで、図３
（ａ）のように基板パネル１０に蛍光体液１を吐出させ
るときと、パネル１０に蛍光体液１を吐出させずに、パ
ネル１外の液受けに向けて吐出して蛍光体液１を循環さ
せるとき（例えば、パネルの交換のときに蛍光体液タン
ク５１へ向けて塗布すなわち蛍光体液受け皿５２に向け
て吐出するとき）とで、図４に示すように、蛍光体液１
の吐出量を変化させれば、図３（ｃ）に示すようにノズ
ル２の内部のよどみがなくなる。すなわち、上記基板パ
ネル１０に上記蛍光体液１を塗布せずに上記基板パネル
外に向けて上記蛍光体液１を吐出させるときの上記蛍光
体液１の吐出量Ｖ２が、上記ノズル２の上記吐出口から
上記蛍光体液１を吐出させながら上記基板パネル１０と
上記ノズル２を相対的に移動させて上記蛍光体液１を塗
布させるときの上記ノズル２からの上記蛍光体液１の吐
出量Ｖ１より多くなるようにしている。

【００４９】具体的な例としては、基板パネル１０に塗
布しないときの上記蛍光体液１の非塗布用の吐出量Ｖ１
より、基板パネル１０に塗布するときの上記蛍光体液１
の塗布用の吐出量Ｖ２を１．２倍以上、好ましくは１．
５倍以上大きくすると、８時間以上安定して吐出を行う
ことができて、実質的な生産が可能となる。

【００５０】このように、上記非塗布用の吐出量Ｖ２を
塗布用の吐出量Ｖ１より大きくすると、ノズル２の目詰
まりがなく、かつ、吐出方向が曲がることなく、連続し
て安定して蛍光体液１を真っ直ぐ吐出することができ
る。このようにノズル２の目詰まりがなくなる理由は、
吐出流量を大きくすることで、ノズルの目詰まりの原因
になる蛍光体液沈殿物や他の不純物をノズル内から除去
し、ノズル内を洗浄する効果を発揮するためである。

【００５１】また、蛍光体液１は硬く研磨剤として働く
ため、配管及びタンクを金属で作製すると、魔耗のため
金属粉などが基板パネル１０に塗布されてしまう。これ
を防止するためには、配管及びタンク等は、合成樹脂製
のものを使用するとよい。

【００５２】上記第１実施形態によれば、ノズル２の基
板パネル１０への塗布時の吐出量よりも、基板パネル外
への吐出時の吐出量を多くするようにしたので、基板パ
ネル外への吐出時に詰まることが少なくなり、蛍光体液
塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、長時間
でも安定して蛍光体液を塗布することができる。

【００５３】（第２実施形態）本発明の第２実施形態に
かかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体
膜形成方法及び装置を、図５に基いて説明する。この第
２実施形態では、ノズル２の吐出口付近を適宜拭き取る
ようにしている。

【００５４】図５において、ノズル２より蛍光体液１を
基板パネル１０に長時間塗布すると、ノズル２の吐出口
付近が、蛍光体液等で汚れてくる。そのため、図５に示
すように、定期的に清掃機２１の布またはスクレーパー
などの拭き取り部２１ａがノズル２の吐出口が形成され
た底面２ｄを摺動して吐出口付近の汚れを拭き取るよう
にしている。蛍光体液１を吐出させながら拭き取る場合
には、拭き取る清掃機２１の拭き取り部２１ａがノズル
２の吐出口付近を走る速度が遅いと、吐出口付近の汚れ
を十分に拭き取ることができない。よって、例えば、上
記ノズル２の上記吐出口付近を上記蛍光体液１の溶剤で
拭き取り部２１ａにより拭き取る汚れ拭き取り速度が１
０ｍｍ/秒以上であるようにする。より具体的には、吐
出口付近の汚れを十分に拭き取るためには、蛍光体液１
の粘度との関係を考慮する必要があり、蛍光体液１の粘
度に対するせん断速度以上の速度で清掃機２１を走行さ
せなければ、吐出口付近の汚れを十分に拭き取ることが
できない。一例として、図６に、蛍光体液１の粘度とせ
ん断速度との関係のグラフを示す。このグラフより、蛍
光体液１の粘度が例えば１５３ｃｐｓのときにはせん断
速度１０ｓ^-1以上の速度で清掃機２１を走行させる必要
がある。このとき、吐出口の直径は、一例として１００
〜１６０μｍである。

【００５５】また、清掃機２１の拭き取り部２１ａでノ
ズル吐出口付近を拭き取る場合に、蛍光体液１に用いら
れている溶剤等を、清掃機２１の拭き取り部２１ａとノ
ズル底面２ｄとの接触部分に塗布又は吹き付けるなどし
て配置しておくと、吐出口付近の汚れをより容易に拭き
取ることができる。例えば、蛍光体液１に用いられてい
る溶剤等を清掃機２１の布などの拭き取り部２１ａに予
め含ませておくか、または、布またはスクレーパーなど
の拭き取り部２１ａが走行するノズル底面２ｄに予め湿
らせておくと、効果的に清掃することができる。

【００５６】また、清掃する時期は、一定期間毎に又は
一定数製造する毎に自動的に行うようようにしてもよい
し、図７に示すように、光学式の監視装置５７を設け
て、ノズル２の吐出口からの蛍光体液１に検出光５７Ａ
を常時または間欠的に照射して、検出光照射側とは反対
側にて検出光５７Ａの受光状態を検出することにより、
ノズル２の吐出口からの蛍光体液１の吐出状態を検出す
るようにしてもよい。そして、監視装置５７において、
蛍光体液１のある一定以上の曲がり、または、吐出口で
の目詰まりを検出したときに、制御装置６１の制御の元
に、清掃機２１を動作させて、ノズル吐出口付近の清掃
作業を行うようにしてもよい。

【００５７】上記第２実施形態によれば、ノズル２の吐
出口付近を適宜拭き取るようにしたので、ノズル２の吐
出口付近での目詰まりなどを効果的に除去することがで
き、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることが
でき、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することがで
きる。また、このとき、上記ノズルの上記吐出口付近を
上記蛍光体液の溶剤で拭き取るときには、ノズルから蛍
光体液を吐出しながら行うようにすることにより、蛍光
体液の循環経路内で蛍光体液が詰まることも防止でき
る。

【００５８】（第３実施形態）図８は、本発明の第３実
施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネル
の蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置
の概略図である。この第３実施形態では、クリーニング
液をノズル２に供給する清掃機構を備えて、付着した蛍
光体液を除去可能な清掃用液体溶剤、例えば、蛍光体液
の溶剤などのクリーニング液をノズル２に適宜供給し
て、ノズル２のクリーニングを行えるようにしている。

【００５９】図８において、３９は蛍光体液１の溶剤な
どから構成されるクリーニング液を保持するクリーニン
グ液タンク、４０はクリーニング液タンク３９内のクリ
ーニング液を供給駆動するクリーニング液供給ポンプ、
４１は回収されたクリーニング液からゴミなどを除去す
るフィルタである。４２はクリーニング液供給管、４３
はクリーニング液と蛍光体液１とのノズル２への供給を
切り替える切替弁、４４はクリーニング液回収皿、４５
はクリーニング液回収管、４６は蛍光体液パイパス管で
ある。これらにより、上記清掃機構を構成している。

【００６０】ノズル清掃時以外は、切替弁４３を切り替
えて、ＡからＣに蛍光体液１が流れるようにして、蛍光
体液１が蛍光体液供給管５３からノズル２に供給されて
ノズル２の吐出口から蛍光体液１が吐出される。一方、
ノズル吐出口を清掃するときには、切替弁４３を切り替
えて、ＡからＤに蛍光体液１が流れるようにして、蛍光
体液１が蛍光体液供給管５３から蛍光体液バイパス管４
６を介して蛍光体液受け皿５２にノズル２を通過するこ
となく回収される一方、クリーニング液がＢからＣに流
れるようにする。すなわち、クリーニング液供給ポンプ
４０の駆動により、クリーニング液タンク３９内のクリ
ーニング液が、フィルタ４１を介して、クリーニング液
供給管４２から切替弁４３を通過してノズル２に供給さ
れて、ノズル吐出口からクリーニング液が吐出されて、
ノズル清掃時にのみノズル下方に移動するクリーニング
液回収皿４４内に回収される。回収されたクリーニング
液は、クリーニング液回収管４５から再びクリーニング
液タンク３９内に回収されたのち、クリーニング液供給
ポンプ４０の駆動により、フィルタ４１を介して再利用
されるようにしている。

【００６１】このように構成することにより、蛍光体液
１の循環を停止させることなく、ノズル２の内部及び吐
出口がクリーニング液により清掃され、安定した蛍光体
液１の吐出が可能となる。このクリーニング液による清
掃は、一定期間毎に又は一定数製造する毎に自動的に行
うようにしたり、上記図７の監視装置５７により清掃が
必要となったときに、上記クリーニング動作を行うよう
にしてもよい。

【００６２】上記第３実施形態によれば、蛍光体液１の
循環を停止させることなく、付着した蛍光体液を除去可
能な清掃用液体溶剤、例えば、蛍光体液の溶剤などのク
リーニング液を、ノズル２に適宜供給してノズル２のク
リーニングを行えるようにしたので、蛍光体液塗布不良
及び塗布むらを低減させることができ、長時間でも安定
して蛍光体液を塗布することができる。バイパス管４６
により蛍光体液１の循環を停止させないため、蛍光体液
１の循環経路内で蛍光体液１が詰まることも防止でき
る。また、上記図７の監視装置５７により清掃が必要と
なったときに上記クリーニング動作を行うようにすれ
ば、適切な時にノズルの清掃作業を行うことができる。

【００６３】（第４実施形態）図９は、本発明の第４実
施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネル
の蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置
の概略図である。この第４実施形態では、蛍光体液タン
ク３２に回収された蛍光体液中の蛍光体の分散を常に維
持できるようにしている。

【００６４】図９において、３０は分散機、３１はフィ
ルタである。ノズル２より吐出させた蛍光体液１は、そ
の一部を基板パネル１０に塗布させるとともに、残りは
蛍光体液受け皿５２に向けて吐出させる。蛍光体液受け
皿５２に吐出されて回収された蛍光体液１は、蛍光体液
回収管５４を介して蛍光体液タンク３２に自然落下で送
られるように、蛍光体液回収管５４と蛍光体液タンク３
２を配置する。蛍光体液タンク３２内では、攪拌羽根な
どを回転させて回収された蛍光体液１を攪拌して蛍光体
の分散を維持させる分散機３０を備えている。よって、
分散機３０により蛍光体液１が蛍光体液タンク３２内で
凝集しないように常時攪拌されて分散維持されている。
蛍光体液タンク３２内に回収された蛍光体液１は、必要
ように応じてノズル２へ蛍光体液供給管５３にて送られ
る途中にフィルター３１を通過するようにしている。こ
れは、分散機３０にて分散しきれなかった凝集物を蛍光
体液からフィルタ３１により除去させるために設置され
ている。なお、実験結果より、蛍光体液供給管５３は長
く巻かれているほど分散がよい。

【００６５】また、ノズル外ではなく、ノズル内部に、
さらにゴミなどを除去するフィルターを設置すればよ
い。

【００６６】上記第４実施形態によれば、蛍光体液タン
ク３２に回収された蛍光体液中の蛍光体の分散を常に維
持できるようにしたので、蛍光体液が蛍光体液保持部材
内で常時攪拌されて分散維持されるため、凝集しにくく
なり、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させること
ができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することが
できる。

【００６７】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、その他種々の態様で実施できる。例え
ば、上記各実施形態を適宜組み合わせて使用することに
より、より一層、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減
させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布
することができるようにしてもよい。

【００６８】

【発明の効果】本発明によれば、ノズルの基板への塗布
時の吐出量よりも、基板外への吐出時の吐出量を多くす
るようにしたので、基板外への吐出時に詰まることが少
なくなり、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させる
ことができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布するこ
とができ、凹部に大略均等に膜形成を行うことができ
て、精度よく、歩留りよく、かつ、低コストで製造する
ことができる。

【００６９】本発明によれば、上記ノズルに清掃用溶剤
を供給して上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記
ノズルの清掃を行ったり、上記ノズルの上記吐出口付近
を上記蛍光体液の溶剤で拭き取ったりするようにすれ
ば、ノズルの吐出口付近での目詰まりなどを効果的に除
去することができ、基板外への吐出時に詰まることが少
なくなり、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させる
ことができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布するこ
とができ、凹部に大略均等に膜形成を行うことができ
て、精度よく、歩留りよく、かつ、低コストで製造する
ことができる。また、このとき、上記ノズルに清掃用溶
剤を供給して上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上
記ノズルの清掃を行うとき、蛍光体液を例えばバイパス
通路を介して循環し続けるようにしたり、上記ノズルの
上記吐出口付近を上記蛍光体液の溶剤で拭き取るときに
は、ノズルから蛍光体液を吐出しながら行うようにする
ことにより、蛍光体液の循環経路内で蛍光体液が詰まる
ことも防止できる。

【００７０】また、上記ノズルの上記吐出口から吐出さ
れる上記蛍光体液の吐出状態を検出し、その検出結果に
基き、上記ノズルの上記吐出口の清掃を行うか否か判断
するようにすれば、適切な時期にノズルの清掃を行うこ
とができるとともに、自動化させることもできる。

【００７１】また、上記蛍光体液回収部材に回収された
上記蛍光体液を蛍光体液保持部材に一旦保持して該蛍光
体液保持部材内で攪拌させて、蛍光体の分散を維持させ
るようにすれば、蛍光体液が蛍光体液保持部材内で常時
攪拌されて分散維持されるため、凝集しにくくなり、蛍
光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、
長時間でも安定して蛍光体液を塗布することができる。

【００７２】また、上記いずれかのカラー表示プラズマ
ディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法でカラー表示プ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜を形成したプラズ
マディスプレイパネルは、蛍光体液塗布不良及び塗布む
らが低減されたものとなっており、凹部に大略均等に膜
形成されており、精度よく、歩留りよく、かつ、低コス
トで製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態にかかるカラー表示プ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施す
るための蛍光体膜形成装置のノズルにより基板パネルに
塗布する状態を示す斜視図である。

【図２】 図１の上記蛍光体膜形成装置の斜視図であ
る。

【図３】 （ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれノズルか
ら蛍光体液を吐出するときの正常な状態、目詰まりが生
じた状態、第１実施形態により蛍光体液の吐出量を変化
させてノズルの内部のよどみがなくなった状態を示す説
明図である。

【図４】 図１の上記蛍光体膜形成装置のノズルから蛍
光体液を吐出するときの非塗布用の吐出量と塗布用の吐
出量とを示すグラフである。

【図５】 本発明の第２実施形態にかかるカラー表示プ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施す
るための蛍光体膜形成装置のノズルと清掃機とを示す正
面図である。

【図６】 図５の清掃機でノズル吐出口付近を走行させ
るときの清掃機の速度すなわちせん断速度と蛍光体液の
粘度との関係を示すグラフである。

【図７】 上記第２実施形態において清掃作業の必要時
を検出するための光学式の監視装置を備えた蛍光体膜形
成装置の概略図である。

【図８】 本発明の第３実施形態にかかるカラー表示プ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施す
るための蛍光体膜形成装置の概略図である。

【図９】 本発明の第４実施形態にかかるカラー表示プ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施す
るための蛍光体膜形成装置の概略図である。

【図１０】 従来の蛍光体膜形成方法を実施するための
蛍光体膜形成装置の概略図である。

【符号の説明】

１…蛍光体液、２…ノズル、１０…基板パネル、３０…
分散機、３１…フィルタ、３２…蛍光体液タンク、３９
…クリーニング液タンク、４０…クリーニング液供給ポ
ンプ、４１…フィルタ、４２…クリーニング液供給管、
４３…切替弁、４４…クリーニング液回収皿、４５…ク
リーニング液回収管、４６…蛍光体液バイパス管、４７
…ノズル駆動装置、４７ａ…ボールネジ軸、４７ｂ…モ
ータ、４９…供給管、５０…案内レール、５１…蛍光体
液タンク、５２…蛍光体液受け皿、５３…蛍光体液供給
管、５４…蛍光体液回収管、５５…ポンプ、５６…基板
載置台、５７…基板搬送装置、５７ａ…ボールネジ軸、
５８…ガイド、５９…蛍光体液ポット、６１…制御装
置。

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の表面に有する複数の併設された直
   線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体
   液を、所定の間隔で吐出口が略直線状に配置されたノズ
   ルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成するカ
   ラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方
   法であって、 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光
   体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に
   移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布すると
   きの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量よりも、上
   記基板に上記蛍光体液を塗布せずに上記基板外に向けて
   上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量
   が多くなるようにしたことを特徴とするカラー表示プラ
   ズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
2. 【請求項２】 上記基板に上記蛍光体液を塗布せずに上
   記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記
   蛍光体液の吐出量が、上記蛍光体膜を形成するときの上
   記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量より１．２倍以上
   多くなるようにした請求項１に記載のカラー表示プラズ
   マディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
3. 【請求項３】 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出
   口から上記蛍光体液を吐出させながら上記基板と上記ノ
   ズルを相対的に移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹
   部に塗布するとき、塗布作業を停止したのち、上記ノズ
   ルに清掃用溶剤を供給して上記ノズルの上記吐出口から
   吐出させて上記ノズルの清掃を行うようにした請求項１
   又は２に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネル
   の蛍光体膜形成方法。
4. 【請求項４】 基板の表面に有する複数の併設された直
   線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体
   液を、所定の間隔で吐出口が略直線状に配置されたノズ
   ルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成するカ
   ラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方
   法であって、 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光
   体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に
   移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布すると
   き、塗布作業を停止したのち、上記ノズルに清掃用溶剤
   を供給して上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記
   ノズルの清掃を行うことを特徴とするカラー表示プラズ
   マディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
5. 【請求項５】 上記ノズルの上記吐出口付近を上記蛍光
   体液の溶剤で拭き取るようにした請求項３又は４に記載
   のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形
   成方法。
6. 【請求項６】 上記ノズルの上記吐出口付近を上記蛍光
   体液の溶剤で拭き取る汚れ拭き取り速度が、１０ｍｍ/
   秒以上である請求項５に記載のカラー表示プラズマディ
   スプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
7. 【請求項７】 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出
   口から上記蛍光体液を吐出させながら上記基板と上記ノ
   ズルを相対的に移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹
   部に塗布するとともに、 上記ノズルの清掃時には、上記基板外の上方で上記ノズ
   ルの上記吐出口から上記蛍光体液を蛍光体液回収部材に
   向けて吐出させながら、上記ノズル内部に溶剤を供給し
   て上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの
   清掃を行うようにした請求項１〜６のいずれかにカラー
   表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
8. 【請求項８】 基板の表面に有する複数の併設された直
   線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体
   液を、所定の間隔で吐出が略直線状に配置されたノズル
   から吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成するカラ
   ー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法
   であって、 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光
   体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に
   移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布すると
   ともに、 上記ノズルの清掃時には、上記基板外の上方で上記ノズ
   ルの上記吐出口から上記蛍光体液を蛍光体液回収部材に
   向けて吐出させながら、上記ノズル内部に溶剤を供給し
   て上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの
   清掃を行うことを特徴とするカラー表示プラズマディス
   プレイパネルの蛍光体膜形成方法。
9. 【請求項９】 上記ノズルの上記吐出口から吐出される
   上記蛍光体液の吐出状態を検出し、その検出結果に基
   き、上記ノズルの上記吐出口の清掃を行うか否か判断す
   るようにした請求項３〜８のいずれかに記載のカラー表
   示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
10. 【請求項１０】 上記ノズルを洗浄する上記溶剤とし
    て、上記蛍光体液で使用する溶剤を用いる請求項３〜９
    のいずれかに記載のカラー表示プラズマディスプレイパ
    ネルの蛍光体膜形成方法。
11. 【請求項１１】 上記基板外の上方で上記ノズルの上記
    吐出口から吐出される上記蛍光体液が蛍光体液回収部材
    に回収され、回収された上記蛍光体を循環させて再び上
    記ノズルに供給するとき、上記蛍光体液回収部材に回収
    された上記蛍光体液を蛍光体液保持部材に一旦保持して
    該蛍光体液保持部材内で攪拌させて、蛍光体の分散を維
    持させるようにした請求項１〜１０のいずれかに記載の
    カラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成
    方法。
12. 【請求項１２】 請求項１〜１１のいずれかに記載のカ
    ラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方
    法でカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜
    を形成したプラズマディスプレイパネル。
13. 【請求項１３】 基板の表面に有する複数の併設された
    直線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光
    体液を、所定の間隔で吐出口が略直線状に配置されたノ
    ズルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成する
    カラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成
    装置であって、 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光
    体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に
    移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布すると
    きの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量よりも、上
    記基板に上記蛍光体液を塗布せずに上記基板外に向けて
    上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量
    が多くなるように、上記ノズルに対して蛍光体液供給装
    置により上記蛍光体液を供給するようにしたことを特徴
    とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体
    膜形成装置。
14. 【請求項１４】 上記基板に上記蛍光体液を塗布せずに
    上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上
    記蛍光体液の吐出量が、上記蛍光体膜を形成するときの
    上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量より１．２倍以
    上多くなるようにした請求項１３に記載のカラー表示プ
    ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置。
15. 【請求項１５】 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐
    出口から上記蛍光体液を吐出させながら上記基板と上記
    ノズルを相対的に移動させて上記蛍光体液を上記直線状
    凹部に塗布するとき、塗布作業を停止したのち、上記ノ
    ズルに清掃用溶剤を供給して上記ノズルの上記吐出口か
    ら吐出させて上記ノズルの清掃を行う清掃機を備えるよ
    うにした請求項１３又は１４に記載のカラー表示プラズ
    マディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置。
16. 【請求項１６】 基板の表面に有する複数の併設された
    直線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光
    体液を、所定の間隔で吐出口が略直線状に配置されたノ
    ズルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成する
    カラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成
    装置であって、 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光
    体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に
    移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布すると
    き、塗布作業を停止したのち、上記ノズルに清掃用溶剤
    を供給して上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記
    ノズルの清掃を行う清掃機を備えることを特徴とするカ
    ラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装
    置。
17. 【請求項１７】 上記ノズルの上記吐出口付近を上記蛍
    光体液の溶剤で拭き取るようにした請求項１５又は１６
    に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光
    体膜形成装置。
18. 【請求項１８】 上記ノズルの上記吐出口付近を上記蛍
    光体液の溶剤で拭き取る汚れ拭き取り速度が、１０ｍｍ
    /秒以上である請求項１７に記載のカラー表示プラズマ
    ディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置。
19. 【請求項１９】 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐
    出口から上記蛍光体液を吐出させながら上記基板と上記
    ノズルを相対的に移動させて上記蛍光体液を上記直線状
    凹部に塗布するとともに、 上記ノズルの清掃時には、上記基板外の上方で上記ノズ
    ルの上記吐出口から上記蛍光体液を蛍光体液回収部材に
    向けて吐出させながら、上記ノズル内部に溶剤を供給し
    て上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの
    清掃を行う清掃機構を備えるようにした請求項１３〜１
    ８のいずれかにカラー表示プラズマディスプレイパネル
    の蛍光体膜形成装置。
20. 【請求項２０】 基板の表面に有する複数の併設された
    直線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光
    体液を、所定の間隔で吐出が略直線状に配置されたノズ
    ルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成するカ
    ラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装
    置であって、 上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光
    体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に
    移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布すると
    ともに、 上記ノズルの清掃時には、上記基板外の上方で上記ノズ
    ルの上記吐出口から上記蛍光体液を蛍光体液回収部材に
    向けて吐出させながら、上記ノズル内部に溶剤を供給し
    て上記ノズルの上記吐出口から吐出させて上記ノズルの
    清掃を行う清掃機構を備えるようにしたことを特徴とす
    るカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形
    成装置。
21. 【請求項２１】 上記ノズルの上記吐出口から吐出され
    る上記蛍光体液の吐出状態を検出する監視装置を備え、
    当該監視装置による上記吐出状態の検出結果に基き、上
    記ノズルの上記吐出口の清掃を行うか否か判断するよう
    にした請求項１５〜２０のいずれかに記載のカラー表示
    プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置。
22. 【請求項２２】 上記ノズルを洗浄する上記溶剤とし
    て、上記蛍光体液で使用する溶剤を用いる請求項１５〜
    ２１のいずれかに記載のカラー表示プラズマディスプレ
    イパネルの蛍光体膜形成装置。
23. 【請求項２３】 上記基板外の上方で上記ノズルの上記
    吐出口から吐出される上記蛍光体液が蛍光体液回収部材
    に回収され、回収された上記蛍光体を循環させて再び上
    記ノズルに供給するとき、上記蛍光体液回収部材に回収
    された上記蛍光体液を蛍光体液保持部材に一旦保持して
    該蛍光体液保持部材内で攪拌させて、蛍光体の分散を維
    持させる分散機を備えるようにした請求項１３〜２２の
    いずれかに記載のカラー表示プラズマディスプレイパネ
    ルの蛍光体膜形成装置。
24. 【請求項２４】 上記ノズルに上記蛍光体液を供給する
    配管及び上記蛍光体液を保持する蛍光体液保持部材の材
    質をそれぞれ合成樹脂とする請求項１３〜２３のいずれ
    かに記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍
    光体膜形成装置。