JP2001108181A

JP2001108181A - 管継手

Info

Publication number: JP2001108181A
Application number: JP29116799A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Goshima; 憲一五島; Hiroto Matsuo; 博人松尾
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1999-10-13
Filing date: 1999-10-13
Publication date: 2001-04-20

Abstract

(57)【要約】【課題】管継手の内部で発生するガス漏れを簡単な構成
をもって現場で直接視認すること。【解決手段】パイプ４がメスナット２に、パイプ５がオ
スナット３に各々挿通され、メスナット２にオスナット
３が螺合される。両パイプ４，５はガスケット６を介し
て突き合わされる。メスナット２に設けられた検知孔２
ａには、インジケータ７が装着される。インジケータ７
は表示筒８内にピストン９及び表示棒１０が封入され、
それらが上下動可能に設けられる。ンジケータ７の下端
シール栓１２に設けられた孔１２ａは、メスナット２の
密閉空間２０で発生した漏れガスを表示筒８の内部に導
入する。このとき、ピストン９により表示棒１０が押し
上げられることにより、ガス漏れが発生したことが外部
に表示される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、半導体
製造装置等に設けられるガス供給装置において配管を接
続するために使われる管継手に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば、半導体製造装置に設
けられるガス供給装置において配管を接続するために使
われる管継手がある。実用新案登録公報第２５４２０４
３号は、この種の管継手の一例を開示している。

【０００３】図１１に示すようにこの管継手１００は、
通路１０１を有するボディ１０２と、同じく通路１０３
を有しその通路１０３がボディ１０２の一端に突き合わ
されるスリーブ１０４と、ボディ１０２とスリーブ１０
４との間に挟まれるガスケット１０５と、ガスケット１
０５を覆い、ボディ１０２にスリーブ１０４を固着する
ためのユニオンナット１０６と、ユニオンナット１０６
の側部に貫通するように設けられるノズル１０７及びそ
のノズル１０７に接続されるホース１０８とを含む。

【０００４】半導体製造装置で用いられるガスには、ヘ
リウムや窒素のように毒性等のない不活性ガスもある
が、シラン等のように大気中で発火するガスや、ホスフ
ィン、シボラン等のように毒性を有するガスもある。そ
こで、上記の管継手１００では、このように何らかの危
険性を有するガスが万が一ユニオンナット１０６の内部
においてガスケット１０５の周囲へ漏れた場合に、その
漏れガスが管継手１００の外部へ流出してしまうことを
防止し、その漏れガスを任意の位置まで誘導できるよう
に構成している。即ち、ボディ１０２の通路１０１及び
スリーブ１０４の通路１０３を流通するガスが、ガスケ
ット１０５の周囲へ漏れた場合、その漏れガスがノズル
１０７を介してホース１０８により任意の安全な場所ま
で誘導されるようになっている。そして、安全な場所に
誘導された漏れガスを、必要に応じて所定のガス検知器
で検知できるように構成している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来の
管継手１００では、ユニオンナット１０６の内部で万が
一ガス漏れが発生した場合に、別の場所に設けられたガ
ス検知器でガス漏れの発生を検知できるものの、ガス漏
れの発生した管継手１００を現場で直接知ることができ
ない。

【０００６】ここで、ガス検知器での検知結果を管継手
１００の近傍に設けられた警告灯等に表示させることも
考えられる。しかし、この場合、ガス検知器から警告灯
等までの配線が必要になり、ガス漏れ検知のための構成
が複雑になる。しかも、別の場所に設けられたガス検知
器までガスを誘導するために、ホース１０８をある程度
延長する必要がある。このため、ホース１０８の取り回
しが面倒となり、ナット等を回転させて管継手１００そ
れ自体を脱着させる場合にホース１０８が作業の邪魔に
なることも考えられる。

【０００７】一方、上記のような問題は、管継手１００
が複数隣接して設けられた場合に更に複雑になる。即
ち、複数の管継手１００が隣接して設けられた場合に
は、それらに対応して設けられるガス検知器を個々の管
継手１００と整合させる必要があり、管継手１００及び
ガス検知器それぞれの識別が面倒なものになる。しか
も、隣接する複数の管継手１００の中の一つにガス漏れ
が発生しても、そのガス漏れが発生した管継手１００で
あることを現場で直接特定することができない。従っ
て、ガス漏れの管継手１００を特定するために、別の場
所に設けられた複数のガス検知器の検知結果を参照しな
ければならず、特定のための確認作業が面倒なものにな
る。更には、複数の管継手１００に対して複数のガス検
知器を設けるためには、延長させた複数のホース１０８
を配管しなければならず、取り回し作業が面倒になるば
かりでなく、複数本のホース１０８の配管スペースが必
要になり、その分だけ装置が大型化することにもなる。

【０００８】この発明は上記事情に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、管継手の内部で発生する流体漏
れを簡単な構成をもって現場で直接視認することを可能
にした管継手を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、第１管と第２管を同一軸
線上で互いに連結するために両管の継目部分に設けられ
る管継手であって、第１管が一端に挿通される筒状の継
手本体と、継手本体の他端に螺合されることにより継手
本体の内部を密閉すると共に第２管が挿通される締付部
材と、継手本体の密閉された内部で第１管と第２管との
間に介在され、両管の継目部分からの流体の漏れを防止
するための漏れ防止手段とを備え、締付部材が継手本体
に締め付けられることにより、両管に互いに対向する推
力を与えて両管を漏れ防止手段を介して互いに圧接した
状態で連結するようにした管継手において、継手本体の
密閉された内部で両管の継目部分から発生した漏れを検
知して表示するための漏れ表示手段を継手本体に設けた
ことを趣旨とする。

【００１０】上記の発明の構成によれば、第１管が挿通
された継手本体に対して第２管が挿通された締付部材が
螺合され締め付けられることにより、両管に互いに対向
する推力が与えられて両管が漏れ防止手段を介して互い
に圧接すると共に、両管の継目部分が継手本体の密閉さ
れた内部に封入されることになる。従って、両管の継目
部分からの流体の漏れは漏れ防止手段により防止され
る。さらに、両管の圧接により、継目部分からの流体の
漏れがさらに防止される。ここで、例えば、地震等の外
部からの衝撃により、万が一、継目部分から流体の漏れ
が発生したとしても、その漏れ流体は継手本体の内部に
封入されることから、外部へ漏れることはない。また、
このときの流体の漏れは、漏れ表示手段により検知され
て外部に表示される。

【００１１】上記目的を達成するために、請求項２に記
載の発明は、請求項１に記載の発明において、漏れ表示
手段は、継手本体に開けられた検知孔と、検知孔に対応
して継手本体に取り付けられた表示筒と、表示筒の内部
に設けられ、検知孔を通じて表示筒の内部に導入される
漏れ流体に感応して可視的変化を示す感応手段とを備え
たことを趣旨とする。

【００１２】上記の発明の構成によれば、請求項１に記
載の発明の作用に加え、継手本体の内部に発生した漏れ
流体は検知孔を通じて表示筒の内部に導入され、感応手
段に作用する。従って、感応手段が漏れ流体に感応して
可視的変化を示すことになり、流体漏れの発生したこと
が外部に表示される。

【００１３】上記目的を達成するために、請求項３に記
載の発明は、請求項２に記載の発明において、感応手段
は、漏れ流体の圧力を受けて前記表示筒の内部で移動す
る移動部材であることを趣旨とする。

【００１４】上記の発明の構成によれば、請求項２に記
載の発明の作用において、移動部材が漏れ流体の圧力を
受けて表示筒の内部で移動することになり、その位置変
化によって流体漏れの発生したことが外部に表示され
る。

【００１５】上記目的を達成するために、請求項４に記
載の発明は、請求項２に記載の発明において、感応手段
は、漏れ流体に化学反応して変色する検知剤であること
を趣旨とする。

【００１６】上記の発明の構成によれば、請求項２に記
載の発明の作用において、漏れ流体が検知剤に作用する
ことにより、化学反応がおこり検知剤が変色し、その色
の変化により流体漏れの発生したことが外部に表示され
る。

【００１７】上記目的を達成するために、請求項５に記
載の発明は、請求項２に記載の発明において、感応手段
は、漏れ流体の圧力を受けて前記表示筒の内部で膨張す
る膨張部材であることを趣旨とする。

【００１８】上記の発明の構成によれば、請求項２に記
載の発明の作用において、膨張部材が漏れ流体の圧力を
受けて表示筒の内部で膨張することになり、その形状変
化によって流体漏れの発生したことが外部に表示され
る。

【００１９】上記目的を達成するために、請求項６に記
載の発明は、請求項１に記載の発明において、漏れ表示
手段は、継手本体に開けられた検知孔と、検知孔に対応
して継手本体に取り付けられた表示筒と、表示筒の内部
に設けられ、検知孔を通じて表示筒の内部に導入される
漏れ流体を受けて作動することにより電気信号を出力す
るセンサとを備えたことを趣旨とする。

【００２０】上記の発明の構成によれば、請求項１に記
載の発明の作用において、漏れ流体がセンサに作用する
ことにより、センサが作動して電気信号を出力する。こ
こで、この電気信号により、例えば、表示筒近傍に設け
られたランプ等の表示装置を作動させることにより、流
体漏れの発生したことが外部に表示される。

【００２１】上記目的を達成するために、請求項７に記
載の発明は、請求項１に記載の発明において、漏れ表示
手段は、継手本体に開けられた検知孔と、その検知孔を
封鎖すると共に継手本体に内蔵された表示筒と、表示筒
の内部に設けられ、継目部分から発生した漏れ流体の圧
力を受けて移動することにより検知孔を通じて可視的変
位を示す移動部材とを備えたことを趣旨とする。

【００２２】上記の発明の構成によれば、請求項１に記
載の発明の作用において、移動部材が漏れ流体の圧力を
受けて移動することにより、その移動部材が検知孔を通
じて可視的変位を示すことになり、これによって流体漏
れの発生したことが外部に表示される。

【００２３】

【発明の実施の形態】［第１の実施の形態］以下、本発
明（請求項１〜３に記載の発明）の管継手を半導体製造
装置のガス供給装置において配管を接続するために使わ
れる管継手に具体化した第１の実施の形態を図面を参照
して詳細に説明する。図１は本実施の形態の管継手１を
示す断面図であり、図２は作動中のインジケータ部分を
示す断面図である。

【００２４】図１に示すように、管継手１は、継手本体
としてのメスナット２に対して締付部材としてのオスナ
ット３が螺合されて構成され、それらの内部で第１管と
しての第１パイプ４と第２管としての第２パイプ５が互
いに連結されている。第１パイプ４と第２パイプ５との
継目部分には、漏れ防止手段としてのガスケット６が設
けられている。このガスケット６は、両パイプ４，５の
開口端に圧接した状態で取り付けられている。ガスケッ
ト６は、金属製のガスケット６ａと、第１パイプ４に対
してガスケット６ａを正しい位置に保持するためのガス
ケット支持部材６ｂとから構成されている。また、メス
ナット２に設けられた検知孔２ａには、漏れ表示手段と
してのインジケータ７が対応して設けられている。

【００２５】インジケータ７は、透明な円筒形の表示筒
８の内部にピストン９及びピストン９の上面から上方へ
延接された表示棒１０が封入され、その表示筒８の上下
端にはゴム製のシール栓１１，１２がそれぞれ装着され
ている。上端部のシール栓１１は、中央部に孔１１ａが
設けられ、その孔１１ａには表示棒１０が貫通して上下
移動可能に設けられている。下端部のシール栓１２は、
中央部に孔１２ａが設けられ、下方に延設された凸部１
２ｂがメスナット２の検知孔２ａに密着圧入されてい
る。ピストン９の外周面９ａは表示筒８の内周面８ａに
密着し摺動可能とされ、ピストン９の下面には円柱形の
凹部９ｂが設けられている。さらに、表示棒１０は、ピ
ストン９が最下端に位置したときにシール栓１１の孔１
１ａに没入する色境１０ａを境として、２色に塗り分け
られている。ピストン９及び表示棒１０は移動部材に相
当すると共に感応手段に相当する。この実施の形態で
は、検知孔２ａにシール栓１２の凸部１２ｂが密着圧入
されることから、検知孔２ａからメスナット２の外部へ
ガスが漏れることはない。また、このインジケータ７で
は、シール栓１１の孔１１ａにおいて表示棒１１の移動
が許容されるが、表示筒８の内周面８ａとピストン９の
外周面９ａとの密着により気密性が確保されることか
ら、ガスがインジケータ７の外部へ漏れることはない。

【００２６】図１に示すように、メスナット２の内部に
は、各パイプ４，５上においてガスケット６を中心に一
対をなす第１及び第２のインナーフェルール１３，１４
がそれぞれ配置されると共に、各インナーフェルール１
３，１４に対応して第１及び第２のアウターフェルール
１５，１６がそれぞれ配置されている。各インナーフェ
ルール１３，１４は、断面楔状のリング形状をなし、各
パイプ４，５に設けられた各溝４ａ，５ａにそれぞれ嵌
合されている。各アウターフェルール１５，１６は、ス
ラスト玉軸受けの一方の回転輪が軸方向に延長された形
状をなし、その延長部の内周面に各インナーフェルール
１３，１４の外斜面と同角度の内斜面が形成されてい
る。第１アウターフェルール１５は、その一端がメスナ
ット２の内側底面２ｂに当接し、その内斜面が第１イン
ナーフェルール１３に嵌合している。一方、第２アウタ
ーフェルール１６は、その一端がオスナット３の先端面
３ａに当接し、その内斜面が第２インナーフェルール１
４に嵌合している。また、メスナット２の溝２ｃとオス
ナット３の溝３ｂには、リング状のシール部材１７，１
８がそれぞれ嵌め込まれ、メスナット２とオスナット３
の間には２個のシール部材１９が嵌め込まれている。

【００２７】次に、上記の構成を有する管継手１の使用
方法を説明する。インジケータ７は、予めメスナット２
の検知孔２ａに装着しておくか、管継手１に両パイプ
４，５が取り付けられた後に検知孔２ａに装着すること
ができる。まず、第１パイプ４の一端をメスナット２に
挿通した状態で、そのパイプ４の一端上に第１アウター
フェルール１５及び第１インナーフェルール１３を順次
装着すると共に、溝４ａに第１インナーフェルール１３
を嵌め込む。そして、この第１パイプ４の開口端にガス
ケット６を装着しておく。同様に、第２パイプ５の一端
をオスナット３に挿通した状態で、そのパイプ５の一端
上に第２アウターフェルール１６及び第２インナーフェ
ルール１４を順次装着すると共に、溝５ａに第２インナ
ーフェルール１４を嵌め込む。ここで、各インナーフェ
ルール１３，１４はその外壁が弾性変形可能であること
から、対応するアウターフェルール１５，１６に対して
容易に装着することができる。次に、第１パイプ４と第
２パイプ５の端面をガスケット６を介して突き合わせた
状態で、オスナット３をメスナット２に螺合して締め付
ける。このとき、各インナーフェルール１３，１４が両
パイプ４，５の全周を囲み、対応するアウターフェルー
ル１５，１６の内斜面の全周に均一に嵌合することか
ら、両パイプ４，５はメスナット２及びオスナット３の
軸線を中心に正確に位置合わせされる。また、オスナッ
ト３をメスナット２に締め付ける際の力が、各アウター
フェルール１５，１６と各インナーフェルール１３，１
４を介して両パイプ４，５に均一に伝達されるので、両
パイプ４，５には互いに対向する推力が与えられ、両パ
イプ４，５がガスケット６を介して互いに圧接した状態
で連結される。

【００２８】従って、正確に突き合わされた両パイプ
４，５の継目部分は、ガスケット６によりガス漏れが防
止されるようになる。さらに、両パイプ４，５が強い推
力で圧接されるので、継目部分の気密性がさらに高ま
り、その継目部分からのガス漏れがさらに防止されるよ
うになる。

【００２９】このように複数の漏れ防止手段を設けて両
パイプ４，５の継目部分からのガス漏れを防いでも、例
えば、地震等の外部からの衝撃が管継手１に加わること
により、両パイプ４，５の継目部分にガス漏れが発生す
るおそれがある。この管継手１では、万が一、両パイプ
４，５の継目部分でガス漏れが発生しても、漏れたガス
はメスナット２とオスナット３により形成される密閉空
間２０の中に封止されることから、管継手１の外部へ漏
れることはない。そして、この漏れたガスは、検知孔２
ａを通じて表示筒８の中に導入されることになる。この
とき、表示筒８の内部では、漏れガスが導入されること
により、図２に示すように、ピストン９の凹部９ｂの圧
力が上昇してピストン９が押し上げられ、これに伴って
表示棒１０が上昇し、その色境１０ａがシール栓１１の
孔１１ａから外部へ押し上げられる。このように、ピス
トン９及び表示棒１０が、検知孔２ａを通じて表示筒８
の内部に導入される漏れガスに感応して可視的変化を示
すことになる。そして、この表示棒１０の位置変化によ
り、ガス漏れの発生したことが外部に表示されるように
なる。この結果、管継手１の内部で発生するガス漏れを
簡単な構成をもって現場で直接視認することができ、作
業者はガス漏れのあった管継手１を容易に特定すること
ができ、部品交換等の必要な処置を速やかに採ることが
できるようになる。すなわち、この実施の形態の管継手
１では、ガス漏れ検知のためにホース１０８を検知器ま
で誘導する必要のある従来例の管継手１００とは異な
り、ホース等の配管が不要となり、ガス漏れ検知に必要
な構成を簡易化・小型化することができ、設置作業を容
易にすることができる。この意味で、ガス漏れ検知のた
めの構成が簡単になるのである。このことは、複数の管
継手１が隣接して設けられた場合に特に有効な利点とな
る。

【００３０】［第２の実施の形態］次に、本発明（請求
項１，２，４に記載の発明）の管継手を具体化した第２
の実施の形態を図面を参照して説明する。図３は本実施
の形態の管継手２１を示す断面図であり、図４は作動中
のインジケータ部分を示す断面図である。尚、本実施の
形態を含む以下の各実施の形態において、インジケータ
部分以外の管継手本体部分の構成は、第１の実施の形態
のそれと同様であるので、同じ番号を付して説明を省略
するものとする。

【００３１】管継手２１のインジケータ２２は、第１の
実施の形態のピストン９と表示棒１０に代えて、透明な
表示筒２３内においてガスと化学反応して変色する感応
手段としての検知剤２４が封入されている。表示筒２３
の上端部は、孔の無いシール栓２５により密封される。
表示筒２３の下端部には、第１の実施の形態のシール栓
１２と同様、漏れガスを導入するための孔２６ａを有す
るシール栓２６が設けられる。この実施の形態でも、検
知孔２ａにシール栓２６が密着圧入されることから、検
知孔２ａからメスナット２の外部へガスが漏れることは
ない。また、このインジケータ２２では、表示筒２３の
上端部がシール栓２５によりシールされることから、ガ
スがインジケータ２２の外部へ漏れることはない。

【００３２】検知剤２４としては、例えば、濾紙や他の
薬液吸収剤等に臭化第２水銀を含浸させたものを使用す
ることができる。この検知剤２４は、アルシン（ＡｓＨ
₃：許容濃度０．０５ｐｐｍ）に感応するものであり、
検知剤２４がアルシンに触れると黄色〜黄褐色に発色す
る。また、表示筒２３の近傍に発色後の色を印刷した用
紙を参照用として用意しておいたり、検知剤２４を予め
文字状に設けて発色すると警告文字となるようにしたり
することもできる。

【００３３】この実施の形態の管継手２１によれば、管
継手２１の密閉空間２０において両パイプ４，５の継目
部分でガス漏れが発生した場合、漏れたガスは検知孔２
ａの中のシール栓２６の孔２６ａを通じて表示筒２３の
中に導入され、図４に示すように、検知剤２４を発色さ
せることになる。このように、検知剤２４が、検知孔２
ａを通じて表示筒２３の内部に導入される漏れガスに感
応して可視的変化を示すことになる。この発色により管
継手２１の内部でガス漏れが発生したことが外部に表示
される。この結果、本実施の形態の管継手２１において
も、管継手２１の内部で発生するガス漏れを簡単な構成
をもって現場で直接視認することができるようになり、
作業者がガス漏れのあった管継手２１を容易に特定する
ことができ、部品交換等の必要な処置を速やかに採るこ
とができるようになる。

【００３４】［第３の実施の形態］次に、本発明（請求
項１，２，５に記載の発明）の管継手を具体化した第３
の実施の形態を図面を参照して説明する。図５は本実施
の形態の管継手３１を示す断面図であり、図６は作動中
のインジケータ部分を示す断面図である。

【００３５】管継手３１のインジケータ３２は、第１の
実施の形態のピストン９と表示棒１０に代えて、透明な
表示筒３３の内部に漏れガスが充填されることにより膨
張する感応手段としての膨張部材３４が封入されてい
る。例えば、ゴム製風船状の膨張部材３４が使用され
る。表示筒３３の上端部は、孔の無いシール栓３５を用
いて密封される。表示筒３３の下端部には、第１の実施
の形態のシール栓１２と同様に漏れガスを導入するため
の孔３６ａを有するシール栓３６が設けられている。こ
の実施の形態でも、検知孔２ａにシール栓３６が密着圧
入されることから、検知孔２ａからメスナット２の外部
へガスが漏れることはない。また、このインジケータ３
２では、表示筒３３の上端部がシール栓３５によりシー
ルされることから、ガスがインジケータ３２の外部へ漏
れることはない。

【００３６】この実施の形態の管継手３１によれば、管
継手３１の密閉空間２０において、両パイプ４，５の継
目部分でガス漏れが発生した場合、漏れたガスが検知孔
２ａの中のシール栓３６の孔３６ａを通じて表示筒３３
の中に導入され、図６に示すように、膨張部材３４が漏
れガスの圧力を受けて膨張することになる。このよう
に、膨張部材３４が、検知孔２ａを通じて表示筒３３の
内部に導入される漏れガスに感応して可視的変化を示す
ことになる。そして、この形状変化により、管継手３１
の内部にガス漏れが発生したことが外部に表示される。
この結果、この実施の形態の管継手３１においても、管
継手３１の内部で発生するガス漏れを簡単な構成をもっ
て現場で直接視認することができるようになり、作業者
がガス漏れのあった管継手３１を容易に特定することが
でき、部品交換等の必要な処置を速やかに採ることがで
きるようになる。

【００３７】［第４の実施の形態］次に、本発明（請求
項１，６に記載の発明）の管継手を具体化した第４の実
施の形態を図面を参照して説明する。図７は本実施の形
態の管継手４１を示す断面図である。

【００３８】管継手４１のインジケータ４２は、第１の
実施の形態のピストン９と表示棒１０に代えて、透明な
表示筒４３の内部に、ガス自体を検知し電気伝導度を変
化させて電気信号を出力するガスセンサ４４が封入され
ている。表示筒４３の上端部は、孔の無いシール栓４５
を用いて密封される。表示筒４３の下端部には、第１の
実施の形態のシール栓１２と同様に漏れガスを導入する
ための孔４６ａを有するシール栓４６が設けられてい
る。この実施の形態でも、検知孔２ａにシール栓４６が
密着圧入されることから、検知孔２ａからメスナット２
の外部へガスが漏れることはない。また、このインジケ
ータ４２では、表示筒４３の上端部がシール栓４５によ
りシールされることから、ガスがインジケータ４２の外
部へ漏れることはない。

【００３９】ガスセンサ４４としては、例えば、熱線型
半導体式・半導体式と呼ばれる金属酸化物半導体の電気
伝導度の変化を利用するもの、或いは、接触燃焼式と呼
ばれる触媒上で低温燃焼させることにより抵抗が変化す
るもの等を利用することができる。接触燃焼式のガスセ
ンサ４４では、水素化物（アルシン：ＡｓＨ₃、シラン
ＳｉＨ₃）等の可燃性ガスが白金触媒上で吸着燃焼する
と、温度変化により白金触媒の抵抗が変化する。その変
化をブリッジ回路で電圧出力として取り出す方法等を採
用することができる。このようにして出力される電気信
号により、インジケータ４２の近傍に設けられた表示ラ
ンプ（図示略）等の表示装置を作動させるように構成す
る。

【００４０】この実施の形態の管継手４１によれば、管
継手４１の密閉空間２０において、両パイプ４，５の継
目部分でガス漏れが発生した場合、漏れたガスが検知孔
２ａの中のシール栓４６の孔４６ａを通じて表示筒４３
の中に導入され、これを受けてガスセンサ４４の電気伝
導度が変化し、ガスセンサ４４から電気信号が出力され
る。このように、ガスセンサ４４は、検知孔２ａを通じ
て表示筒４３の内部に導入される漏れガスを受けて作動
することにより電気信号を出力することになる。そし
て、この電気信号により表示ランプ等が点灯することに
より、管継手４１の内部にガス漏れが発生したことが外
部に表示される。この結果、この実施の形態の管継手４
１においても、管継手４１の内部で発生するガス漏れを
簡単な構成をもって現場で直接視認することができるよ
うになり、作業者がガス漏れのあった管継手４１を容易
に特定することができ、部品交換等の必要な処置を速や
かに採ることができるようになる。尚、この実施の形態
の管継手４１では、インジケータ４２に付随して表示ラ
ンプ等の表示装置を必要とするが、この表示装置をイン
ジケータ４２に一体的に取り付ければ、配線等が錯綜す
ることもない。

【００４１】［第５の実施の形態］次に、本発明（請求
項１，６に記載の発明）の管継手を具体化した第５の実
施の形態を図面を参照して説明する。図８は本実施の形
態の管継手５１を示す断面図である。

【００４２】管継手５１のインジケータ５２は、第１の
実施の形態のピストン９と表示棒１０に代えて、表示筒
５３の内部に、ピストン５４と、そのピストン５４に対
応する近接センサ５５とが設けられる。表示筒５３の上
端部は、近接センサ５５から延びる信号端子５５ａを外
部へ導出するための孔５６ａを備えたシール栓５６が設
けられる。表示筒５３の下端部には、第１の実施の形態
のシール栓１２と同様に漏れたガスを導入するための孔
５７ａを有するシール栓５７が設けられる。さらに、ピ
ストン５４とシール栓５６との間には、ピストン５４を
下方へ付勢するためのバネ５８が設けられる。この実施
の形態では、検知孔２ａにシール栓５７が密着圧入され
ることから、検知孔２ａからメスナット２の外部へガス
が漏れることはない。また、このインジケータ５２で
は、シール栓５６の孔５６ａを通じて信号端子５５ａが
外部へ導出されるが、表示筒４３の内周面とピストン５
４の外周面との密着により気密性が確保されることか
ら、ガスがインジケータ４２の外部へ漏れることはな
い。

【００４３】この実施の形態の管継手５１によれば、管
継手５１の密閉空間２０において、両パイプ４，５の継
目部分でガス漏れが発生した場合、漏れたガスが検知孔
２ａの中のシール栓５７の孔５７ａを通じて表示筒５３
の中に導入され、そのガスの圧力を受けてピストン５４
がバネ５８に抗して上昇する。このピストン５４が近接
センサ５５に近接することにより、同センサ５５から電
気信号が出力される。このように、近接センサ５５は、
検知孔２ａを通じて表示筒５３の内部に導入される漏れ
ガスをピストン５４の移動を介して受けて作動すること
により電気信号を出力することになる。そして、この電
気信号により、インジケータ５２の近傍に設けられた表
示ランプ（図示略）等を動作させることにより、管継手
５１の内部にガス漏れが発生したことが外部に表示され
る。この結果、この実施の形態の管継手５１において
も、管継手５１の内部で発生するガス漏れを簡単な構成
をもって現場で直接視認することができるようになり、
作業者がガス漏れのあった管継手５１を容易に特定する
ことができ、部品交換等の必要な処置を速やかに採るこ
とができるようになる。尚、この実施の形態の管継手５
１でも、インジケータ５２に付随して表示ランプ等を必
要とするが、この表示ランプ等をインジケータ５２に一
体的に取り付ければ、配線等が錯綜することもない。

【００４４】［第６の実施の形態］次に、本発明（請求
項１〜３に記載の発明）の管継手を具体化した第６の実
施の形態を図面を参照して説明する。図９は本実施の形
態の管継手６１を示す断面図であり、図１０は作動中の
インジケータ部分の拡大断面図である。

【００４５】この管継手６１は、インジケータ６２の本
体部分がメスナット２に内蔵されている点で前記各実施
の形態と異なる。すなわち、インジケータ６２は、メス
ナット２に内蔵された短筒６３の中にピストン６４と、
そのピストン６４の上面から上方へ延接された表示棒６
５とが封入されている。短筒６３の上端は、検知孔２ａ
に装着されたゴム製のシール栓６６によって保持されて
いる。

【００４６】また、表示棒６５はシール栓６６の中央部
に設けられた孔６６ａを通して外部へ突出可能となって
いる。ピストン６４の外周面６４ａは短筒６３の内周面
６３ａに密着され、摺動可能になっている。ピストン６
４が最下端に位置するとき、ピストン６４の下面はガス
ケット６に当接し、表示棒６５の先端部６５ａはシール
栓６６の内部に没入することになる。ピストン６４とシ
ール栓６６の間には、ピストン６４を下方へ付勢するた
めのバネ６７が設けられる。この実施の形態では、ピス
トン６４及び表示棒６５は移動部材に相当し、短筒６
３、ピストン６４及びシール栓６６は表示筒に相当す
る。このインジケータ６２では、シール栓６６の孔６６
ａで表示棒６５の移動が許容されるが、短筒６３の内周
面６３ａとピストン６４との密着により気密性が確保さ
れているので、ガスが管継手６１の外部へ漏れることは
ない。

【００４７】この実施の形態の管継手６１によれば、管
継手６１の密閉空間２０において、両パイプ４，５の継
目部分でガス漏れが発生した場合、その漏れたガスによ
ってピストン６４がバネ６７に抗して押し上げられる。
このように、ピストン６４が継目部から発生した漏れガ
スの圧力を受けて移動することにより、表示棒６５が検
知孔２ａを通じて可視的変位を示すことになる。そし
て、図１０に示すように、表示棒６５の先端部６５ａが
シール栓６６の外部へ押し出されることにより、管継手
６１の内部にガス漏れが発生したことが外部に表示され
る。この結果、この実施の形態の管継手６１において
も、管継手６１の内部で発生するガス漏れを簡単な構成
をもって現場で直接視認することができるようになり、
作業者がガス漏れのあった管継手６１を容易に特定する
ことができ、部品交換等の必要な処置を速やかに採るこ
とができるようになる。また、この管継手６１では、メ
スナット２からのインジケータ６２の突出部分が小さく
てすむので、管継手６１の周囲のスペースが狭い場合に
も有効に使用することができる。

【００４８】尚、この発明は前記各実施の形態に限定さ
れるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範
囲で構成の一部を適宜に変更して実施することもでき
る。

【００４９】

【発明の効果】上記請求項１に記載の発明の構成によれ
ば、万が一、第１管と第２管との継目部分に流体の漏れ
が発生しても、その漏れは継手本体の内部に封入され外
部へ漏れることはなく、この流体の漏れは漏れ表示手段
により検知されて外部に表示される。この結果、管継手
の内部で発生する流体の漏れを簡単な構成をもって現場
で直接視認することができる。

【００５０】上記請求項２に記載の発明の構成によれ
ば、感応手段が漏れ流体に感応して可視的変化を示すこ
とになり、管継手の内部で漏れの発生したことが外部に
表示される。この結果、管継手の内部で発生する流体の
漏れを簡単な構成をもって現場で直接視認することがで
きる。

【００５１】上記請求項３に記載の発明の構成によれ
ば、移動部材が漏れ流体の圧力を受けて移動することに
より管継手の内部で漏れの発生したことが外部に表示さ
れる。この結果、管継手の内部で発生する流体の漏れを
簡単な構成をもって現場で直接視認することができる。

【００５２】上記請求項４に記載の発明の構成によれ
ば、検知剤が漏れ流体に対して化学反応をおこして変色
することにより管継手の内部で漏れの発生したことが外
部に表示される。この結果、管継手の内部で発生する流
体の漏れを簡単な構成をもって現場で直接視認すること
ができる。

【００５３】上記請求項５に記載の発明の構成によれ
ば、膨張部材が漏れ流体の圧力を受けて膨張することに
より管継手の内部で漏れの発生したことが外部に表示さ
れる。この結果、管継手の内部で発生する流体の漏れを
簡単な構成をもって現場で直接視認することができる。

【００５４】上記請求項６に記載の発明の構成によれ
ば、漏れ流体がセンサに作用することにより、センサが
作動して電気信号を出力することにより、管継手の内部
で漏れの発生したことが外部に表示される。この結果、
管継手の内部で発生する流体の漏れを簡単な構成をもっ
て現場で直接視認することができる。

【００５５】上記請求項７に記載の発明の構成によれ
ば、移動部材が漏れ流体の圧力を受けて移動し検知孔を
通じて可視的変位を示すことになり、これによって流体
漏れの発生したことが外部に表示される。この結果、管
継手の内部で発生する流体の漏れを簡単な構成をもって
現場で直接視認することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係る管継手の構造を示す断
面図である。

【図２】同じく、作動中のインジケータを示す断面図で
ある。

【図３】第２の実施の形態に係る管継手の構造を示す断
面図である。

【図４】同じく、作動中のインジケータを示す断面図で
ある。

【図５】第３の実施の形態に係る管継手の構造を示す断
面図である。

【図６】同じく、作動中のインジケータを示す断面図で
ある。

【図７】第４の実施の形態に係る管継手の構造を示す断
面図である。

【図８】第５の実施の形態に係る管継手の構造を示す断
面図である。

【図９】第６の実施の形態に係る管継手の構造を示す断
面図である。

【図１０】同じく、作動中のインジケータを示す拡大断
面図である。

【図１１】従来の管継手を示す断面図である。

【符号の説明】

１管継手２メスナット（継手本体）２ａ検知孔３オスナット（締付部材）４第１パイプ（第１管）５第２パイプ（第２管）６ガスケット７インジケータ８表示筒９ピストン１０表示棒２１管継手２３表示筒２４検知剤３１管継手３３表示筒３４膨張部材４１管継手４３表示筒４４ガスセンサ５１管継手５３表示筒５４ピストン５５近接センサ６１管継手６３短筒６４ピストン６５表示棒６６シール栓

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１管と第２管を同一軸線上で互いに連
結するために前記両管の継目部分に設けられる管継手で
あって、前記第１管が一端に挿通される筒状の継手本体と、前記継手本体の他端に螺合されることにより前記継手本
体の内部を密閉すると共に前記第２管が挿通される締付
部材と、前記継手本体の密閉された内部で前記第１管と前記第２
管との間に介在され、前記両管の継目部分からの流体の
漏れを防止するための漏れ防止手段と、を備え、前記締
付部材が前記継手本体に締め付けられることにより、前
記両管に互いに対向する推力を与えて前記両管を漏れ防
止手段を介して互いに圧接した状態で連結するようにし
た管継手において、前記継手本体の密閉された内部で前記両管の継目部分か
ら発生した漏れを検知して表示するための漏れ表示手段
を前記継手本体に設けたことを特徴とする管継手。
【請求項２】前記漏れ表示手段は、前記継手本体に開けられた検知孔と、前記検知孔に対応して前記継手本体に取り付けられた表
示筒と、前記表示筒の内部に設けられ、前記検知孔を通じて前記
表示筒の内部に導入される漏れ流体に感応して可視的変
化を示す感応手段とを備えたことを特徴とする請求項１
に記載の管継手。
【請求項３】前記感応手段は、前記漏れ流体の圧力を
受けて前記表示筒の内部で移動する移動部材であること
を特徴とする請求項２に記載の管継手。
【請求項４】前記感応手段は、前記漏れ流体に化学反
応して変色する検知剤であることを特徴とする請求項２
に記載の管継手。
【請求項５】前記感応手段は、前記漏れ流体の圧力を
受けて前記表示筒の内部で膨張する膨張部材であること
を特徴とする請求項２に記載の管継手。
【請求項６】前記漏れ表示手段は、前記継手本体に開けられた検知孔と、前記検知孔に対応して前記継手本体に取り付けられた表
示筒と、前記表示筒の内部に設けられ、前記検知孔を通じて前記
表示筒の内部に導入される漏れ流体を受けて作動するこ
とにより電気信号を出力するセンサとを備えたことを特
徴とする請求項１に記載の管継手。
【請求項７】前記漏れ表示手段は、前記継手本体に開けられた検知孔と、前記検知孔を封鎖すると共に前記継手本体に内蔵された
表示筒と、前記表示筒の内部に設けられ、前記継目部分から発生し
た漏れ流体の圧力を受けて移動することにより前記検知
孔を通じて可視的変位を示す移動部材とを備えたことを
特徴とする請求項１に記載の管継手。