JP5132211B2 - リークテスターおよびリークテスト法 - Google Patents
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Description
これらの継手部では、その内部を流れるガスが漏洩しないことを確認する必要がある。特に、内部を流れるガスがシランなどの有害な半導体製造用ガスである場合は、その漏洩を完璧に防ぐ必要がある。
しかし、この発泡試験では、大量のガスの漏洩を検知することはできるが、微量の漏洩では発泡を観察することができず、長時間放置して配管内の圧力の低下を検出する放置試験が採られている。
なお、容器や配管の微小な漏れ箇所を特定する方法が特許文献1に開示されている。このものは容器、配管内にオゾンを封入し、オゾンと反応して発色する検査液を塗布するものである。
請求項1にかかる発明は、ガス配管の継手部におけるガスの漏洩を検知するためのリークテスターであって、
このリークテスターは、テストガスが封入された継手部を包囲して密閉空間を形成するプローブと、このプローブ内の大気とテストガスとを導入してこのガス中の酸素濃度の経過値または湿度の経過値を計測するディテクターを備えたことを特徴とするリークテスターである。
請求項3にかかる発明は、プローブとディテクターとが一体とされており、プローブに表示部が設けられていることを特徴とする請求項1記載のリークテスターである。
請求項4にかかる発明は、テストガスが、大気よりも水分量が少ないガスであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のリークテスターである。
図1において、符号1は、プローブを示し、符号2はディテクターを示す。
プローブ1は、テストガスが封入された継手部の全体を包囲して密閉空間を形成するもので、この例では、ステンレス鋼などからなり、全体形状が中空の有底円筒状であって、その長手方向に沿って二分できる二つ割り構造とされており、その一方が可動部11、他方が固定部12とされている。
このプローブ1は、その内部空間に継手部を密閉状態で収容した際に、プローブ1と継手部との空隙ができるだけ生じないようにすることが重要である。
貫通孔15を形成する封止板14の内周縁には、ゴムなどからなる幕状のシール材16が半ば埋め込まれて設けられている。
また、前記可動部11と固定部12とが閉じ合わさった場合には、両者が気密に結合されるように構成されている。
なお、プローブ1の外径、長さ、貫通孔15の内径などは、測定対象となる継手部の大きさ、形状等に合わせて適宜変更する必要があり、継手部をプローブ1内の空間内に完全に収容することができるようにすることが大事である。
このディテクター2内には、図示しないセンサー部と処理部と表示部21と電池からなる電源が内蔵されている。また、ディテクター2内には、前記固定部12の連通孔に連通する流路が形成され、プローブ1内のガスがこの流路を通ってセンサー部に送られるようになっている。
また、処理部では、前記経過値から初期値を差し引いた差を経過時間で除して濃度変化速度を算出し、この速度をリーク速度として出力することもできる。
この例では、検知対象となる継手部として、ガスボンベの容器弁(図示せず)の導出口31と配管32とを袋ナット33にて機械的に結合した継手部を対象としているが、本発明での継手部としては前述のステンレス鋼管などの鋼管同士の溶接継ぎ手、配管と弁、圧力計、温度計、ガスボンベなどとの機械的継ぎ手などがある。
そして、配管32内には一定圧力(大気圧〜14.7MPa)のテストガスが封入されている。テストガスには、水分量が0.001vol%以下の乾燥した窒素純度99.99vol%以上の乾燥高純窒素や同様の純度の乾燥高純ヘリウムなどが用いられる。
この時、封止板14、14・・のシール材16、16・・が配管32と導出口31との外周面に密着するようにする。
初期状態でのプローブ1内のガスは大部分が大気であるので、酸素濃度の初期値は20.9vol%であり、湿度の初期値はその周囲の大気の湿度を示す。
これにより、ディテクター2の表示部21には、酸素濃度の経過値あるいは湿度の経過値が表示されるとともに漏洩を示す警告であるマークが点滅または点灯する。また、リーク速度も表示される。
また、従来のように発泡液を用いる必要がないので、ガス配管内を発泡液で汚染することがなく、このような汚染を特に嫌う半導体製造用ガスのガス配管の漏洩検知方法としては極めて好ましいものとなる。
なお、前述の実施形態では、プローブ1とディテクター2とを一体とした形態を示したが、本発明ではこれ以外にプローブとディテクターとを別体とし、両者間を可撓性の配管で接続した形態を採ることも可能であるが、この場合には配管内部の体積が増加することになるため、酸素濃度あるいは湿度の変化に時間を要することになる。
この例のリークテスターでは、プローブ1内にディテクターが内蔵されて一体化されており、プローブ1の外表面に表示部21が設けられている点が先の例と異なるところである。
図3に示した3個のリークテスターの内、左側および中央のリークテスターの表示部21は酸素濃度(容積比)20.9%を示し、これら2箇所の継手部では漏洩がないことが確認される。また、右側のリークテスターの表示部21は酸素濃度(容積比)13.6%を示しており、この継手部では漏洩があることが判明する。
このようにして、継手部での漏洩の有無と漏洩箇所の特定が一度に行えることになる。
Claims (5)
- ガス配管の継手部におけるガスの漏洩を検知するためのリークテスターであって、
このリークテスターは、テストガスが封入された継手部を包囲して密閉空間を形成するプローブと、このプローブ内の大気とテストガスとを導入してこのガス中の酸素濃度の経過値または湿度の経過値を計測するディテクターを備えたことを特徴とするリークテスター。 - プローブとディテクターとが一体とされており、ディテクターがテスターのグリップを兼ねていることを特徴とする請求項1記載のリークテスター。
- プローブとディテクターとが一体とされており、プローブに表示部が設けられていることを特徴とする請求項1記載のリークテスター。
- テストガスが、大気よりも水分量が少ないガスであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のリークテスター。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載のリークテスターを用い、テストガスが封入された継手部をプローブにより包囲し、プローブ内の大気とテストガスとをディテクターに導入し、ガス中の酸素濃度または湿度の経時変化に基づいて継手部からのガスの漏洩を検知することを特徴とするリークテスト法。
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