JPH0791600A - ガス漏洩検知装置 - Google Patents
ガス漏洩検知装置Info
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- JPH0791600A JPH0791600A JP23648693A JP23648693A JPH0791600A JP H0791600 A JPH0791600 A JP H0791600A JP 23648693 A JP23648693 A JP 23648693A JP 23648693 A JP23648693 A JP 23648693A JP H0791600 A JPH0791600 A JP H0791600A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 毒性の高圧ガスの漏洩検知装置において、ガ
ス供給配管の点検、修理の作業性および安全性の向上を
図る。 【構成】 Ｎ2 ガス供給口１０と、二重構造のガス供給
配管の外管であるフッ素樹脂製配管２０と、内管の溶接
部を被包するフッ素樹脂製伸縮継手３０と、ガス供給装
置４０と、ガス漏洩検知部５０と、ガス漏洩指示部６０
と、Ｎ2 ガスの排気口７０と、毒性ガス供給配管８０な
どによって構成され、内管と外管の間にＮ2 ガスを流
し、ガス供給装置４０から可燃性の高圧ガスを生産装置
９０へ送出する場合に、毒性ガス供給配管８０からその
高圧ガスが漏れたときには、フッ素樹脂製配管２０によ
り外気へのガス漏れを防ぎ、さらにＮ2 ガスの流れとと
もに高圧ガスがガス供給装置４０側へ流れ、ガス漏洩検
知部５０によりその高圧ガスのガス漏れを検知し、ガス
漏洩指示部７０により管理者に知らせる。
ス供給配管の点検、修理の作業性および安全性の向上を
図る。 【構成】 Ｎ2 ガス供給口１０と、二重構造のガス供給
配管の外管であるフッ素樹脂製配管２０と、内管の溶接
部を被包するフッ素樹脂製伸縮継手３０と、ガス供給装
置４０と、ガス漏洩検知部５０と、ガス漏洩指示部６０
と、Ｎ2 ガスの排気口７０と、毒性ガス供給配管８０な
どによって構成され、内管と外管の間にＮ2 ガスを流
し、ガス供給装置４０から可燃性の高圧ガスを生産装置
９０へ送出する場合に、毒性ガス供給配管８０からその
高圧ガスが漏れたときには、フッ素樹脂製配管２０によ
り外気へのガス漏れを防ぎ、さらにＮ2 ガスの流れとと
もに高圧ガスがガス供給装置４０側へ流れ、ガス漏洩検
知部５０によりその高圧ガスのガス漏れを検知し、ガス
漏洩指示部７０により管理者に知らせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス漏洩検知装置に関
し、特にガス供給配管におけるガス漏れによる災害の防
止および安全性を向上する技術に適用して有効な技術に
関する。
し、特にガス供給配管におけるガス漏れによる災害の防
止および安全性を向上する技術に適用して有効な技術に
関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、高圧ガス供給設備に用いられ
るガス供給配管の材質としては、透明塩化ビニールなど
が使用され、ガス供給配管の構造は内管と外管の二重構
造となっており、また内管と外管の間は中空状態である
と考えられる。
るガス供給配管の材質としては、透明塩化ビニールなど
が使用され、ガス供給配管の構造は内管と外管の二重構
造となっており、また内管と外管の間は中空状態である
と考えられる。
【０００３】さらに、ガス供給配管の溶接部に設けられ
た継手部分には各継手ごとにガス漏れを検知するガス漏
洩検知センサを備え、ガス漏れが発生した場合にはいず
れかのガス漏洩検知センサが作動してガス漏れを検知し
ていると考えられる。
た継手部分には各継手ごとにガス漏れを検知するガス漏
洩検知センサを備え、ガス漏れが発生した場合にはいず
れかのガス漏洩検知センサが作動してガス漏れを検知し
ていると考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な技術においては、高圧ガスを供給するガス供給配管の
外管の気密性が悪く、実際に漏れている個所が判断しに
くいため、ガス供給配管の溶接個所の点検、修理が容易
にできないという欠点がある。
な技術においては、高圧ガスを供給するガス供給配管の
外管の気密性が悪く、実際に漏れている個所が判断しに
くいため、ガス供給配管の溶接個所の点検、修理が容易
にできないという欠点がある。
【０００５】さらに、ガス供給配管の外管と内管の間
は、中空状態であるため、可燃性ガスが漏洩した場合に
は、ガス供給配管内において、可燃性ガスが爆発し災害
につながるという問題もある。さらに、毒性ガスがガス
供給配管から漏れた場合には、人体への悪影響および周
辺へ及ぼす環境汚染の問題もある。
は、中空状態であるため、可燃性ガスが漏洩した場合に
は、ガス供給配管内において、可燃性ガスが爆発し災害
につながるという問題もある。さらに、毒性ガスがガス
供給配管から漏れた場合には、人体への悪影響および周
辺へ及ぼす環境汚染の問題もある。
【０００６】また、ガス供給配管距離が長いために、ガ
ス漏洩検知センサの台数が多数必要となり、それに要す
るイニシャルコストも割高になるという問題もある。
ス漏洩検知センサの台数が多数必要となり、それに要す
るイニシャルコストも割高になるという問題もある。
【０００７】そこで、本発明の目的は、ガス供給配管の
外管の材質にフッ素樹脂を用い、さらに内管の溶接部を
被包する伸縮継手を設け、ガス供給配管の内管と外管の
間に不活性ガスを送出することにより、高圧ガス供給設
備の安全性および点検、修理の作業性を向上させるガス
漏洩検知装置を提供することにある。
外管の材質にフッ素樹脂を用い、さらに内管の溶接部を
被包する伸縮継手を設け、ガス供給配管の内管と外管の
間に不活性ガスを送出することにより、高圧ガス供給設
備の安全性および点検、修理の作業性を向上させるガス
漏洩検知装置を提供することにある。
【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１０】すなわち、請求項１記載のガス漏洩検知装
置は、高圧ガスを供給するガス供給装置と、内管と外管
の二重構造のガス供給配管と、ガス供給配管から高圧ガ
スの漏れを検知するガス漏洩検知センサとを備え、高圧
ガスの供給を受ける生産装置へガス供給配管を通して接
続され、高圧ガスをガス供給装置からガス供給配管の内
管を通じて生産装置に送出し、ガス供給配管からのガス
漏れが起こった際に、ガス漏れをガス漏洩検知センサに
より検知するガス漏洩検知装置であって、内管と外管の
間に生産装置側より不活性ガスを送出し、内管のガス漏
れをガス漏洩検知センサにて検知するものである。
置は、高圧ガスを供給するガス供給装置と、内管と外管
の二重構造のガス供給配管と、ガス供給配管から高圧ガ
スの漏れを検知するガス漏洩検知センサとを備え、高圧
ガスの供給を受ける生産装置へガス供給配管を通して接
続され、高圧ガスをガス供給装置からガス供給配管の内
管を通じて生産装置に送出し、ガス供給配管からのガス
漏れが起こった際に、ガス漏れをガス漏洩検知センサに
より検知するガス漏洩検知装置であって、内管と外管の
間に生産装置側より不活性ガスを送出し、内管のガス漏
れをガス漏洩検知センサにて検知するものである。
【００１１】また、請求項２記載のガス漏洩検知装置
は、ガス供給配管の外管として、内管から高圧ガスが漏
れたときに外部への高圧ガスの漏洩を防止するために、
外管の材質としてフッ素樹脂を用いるものである。
は、ガス供給配管の外管として、内管から高圧ガスが漏
れたときに外部への高圧ガスの漏洩を防止するために、
外管の材質としてフッ素樹脂を用いるものである。
【００１２】さらに、請求項３記載のガス漏洩検知装置
は、ガス供給配管の内管の溶接部分を被包する外管に
は、フッ素樹脂を材質とした伸縮継手を使用するもので
ある。
は、ガス供給配管の内管の溶接部分を被包する外管に
は、フッ素樹脂を材質とした伸縮継手を使用するもので
ある。
【００１３】また、請求項４記載のガス漏洩検知装置
は、不活性ガスとして窒素ガスを使用するものである。
は、不活性ガスとして窒素ガスを使用するものである。
【００１４】
【作用】前記したガス漏洩検知装置によれば、ガス供給
配管の外管に化学薬品に対して耐久力が極めて強く、高
温でも安定であるフッ素樹脂を材質として用い、さらに
二重構造とすることにより、ガス供給配管の気密性がよ
くなり、高圧ガスの漏洩を防止することができる。
配管の外管に化学薬品に対して耐久力が極めて強く、高
温でも安定であるフッ素樹脂を材質として用い、さらに
二重構造とすることにより、ガス供給配管の気密性がよ
くなり、高圧ガスの漏洩を防止することができる。
【００１５】そして、内管の溶接部を被包する外管とし
て伸縮継手を使用することにより、高圧ガスの気密性が
良くなり、外気への高圧ガスの漏洩を防ぎ、またガス漏
れの際に、ガス供給配管の継手部分のみの点検、修理を
行えばよくなり、ガス供給配管の点検、修理の作業性を
向上させることができる。
て伸縮継手を使用することにより、高圧ガスの気密性が
良くなり、外気への高圧ガスの漏洩を防ぎ、またガス漏
れの際に、ガス供給配管の継手部分のみの点検、修理を
行えばよくなり、ガス供給配管の点検、修理の作業性を
向上させることができる。
【００１６】また、ガス供給配管の外管と内管の間に
は、生産装置側からガス供給装置側へ不活性ガスを送出
することにより、外管内は不活性ガスの雰囲気になって
いるために、たとえば高圧ガスとしての可燃性ガスが漏
洩しても外管内において、その可燃性ガスが爆発するの
を防止し、安全性を向上させることができる。
は、生産装置側からガス供給装置側へ不活性ガスを送出
することにより、外管内は不活性ガスの雰囲気になって
いるために、たとえば高圧ガスとしての可燃性ガスが漏
洩しても外管内において、その可燃性ガスが爆発するの
を防止し、安全性を向上させることができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
【００１８】図１は本発明の一実施例であるガス漏洩検
知装置を示す概略構成図、図２（ａ），（ｃ）は本実施
例におけるＮ2 ガス供給口およびガス供給配管を示す拡
大断面図および（ｂ）は側面図、図３は本実施例におけ
るガス供給配管の継手部分を示す拡大側面図である。
知装置を示す概略構成図、図２（ａ），（ｃ）は本実施
例におけるＮ2 ガス供給口およびガス供給配管を示す拡
大断面図および（ｂ）は側面図、図３は本実施例におけ
るガス供給配管の継手部分を示す拡大側面図である。
【００１９】まず、図１により本実施例のガス漏洩検知
装置の構成を説明する。
装置の構成を説明する。
【００２０】本実施例のガス漏洩検知装置は、たとえば
ガス供給配管からの高圧ガスの漏洩防止および検知を行
うガス漏洩検知装置とされ、高圧ガスのガス漏れの際に
高圧ガスの爆発を抑えるための窒素（Ｎ2 ）ガスを供給
するＮ2 ガス供給口１０と、ガス供給配管の外管である
フッ素樹脂製配管２０と、フッ素樹脂製伸縮継手３０
と、ガス供給装置４０と、ガス漏洩検知部（ガス漏洩検
知センサ）５０と、ガス漏洩指示部６０と、Ｎ2 ガスの
排気口７０と、ガス供給配管の内管である毒性ガス供給
配管８０とによって構成されている。
ガス供給配管からの高圧ガスの漏洩防止および検知を行
うガス漏洩検知装置とされ、高圧ガスのガス漏れの際に
高圧ガスの爆発を抑えるための窒素（Ｎ2 ）ガスを供給
するＮ2 ガス供給口１０と、ガス供給配管の外管である
フッ素樹脂製配管２０と、フッ素樹脂製伸縮継手３０
と、ガス供給装置４０と、ガス漏洩検知部（ガス漏洩検
知センサ）５０と、ガス漏洩指示部６０と、Ｎ2 ガスの
排気口７０と、ガス供給配管の内管である毒性ガス供給
配管８０とによって構成されている。
【００２１】Ｎ2 ガス供給口１０は、図２に示すよう
に、毒性ガス供給配管８０より漏洩してきたガスが可燃
性の場合などに、そのガスの爆発を防ぐための不活性ガ
スであるＮ2 ガスを供給する供給口である。また、図２
は図１のII部分であるガス供給配管の端縁部を拡大した
図である。
に、毒性ガス供給配管８０より漏洩してきたガスが可燃
性の場合などに、そのガスの爆発を防ぐための不活性ガ
スであるＮ2 ガスを供給する供給口である。また、図２
は図１のII部分であるガス供給配管の端縁部を拡大した
図である。
【００２２】フッ素樹脂製配管２０は、化学薬品に対し
て耐久力が極めて強く、高温でも安定であるフッ素樹脂
を使用して造られた配管であり、生産装置９０側のガス
供給配管の端縁には、図２（ｂ）のガス供給配管のＡ−
Ａ断面である図２（ｃ）に示すように内管と外管の間に
シリコン樹脂製シール１００を埋設し、Ｎ2 ガスの気密
性を良くすることによって、Ｎ2 ガスの漏れを防止す
る。
て耐久力が極めて強く、高温でも安定であるフッ素樹脂
を使用して造られた配管であり、生産装置９０側のガス
供給配管の端縁には、図２（ｂ）のガス供給配管のＡ−
Ａ断面である図２（ｃ）に示すように内管と外管の間に
シリコン樹脂製シール１００を埋設し、Ｎ2 ガスの気密
性を良くすることによって、Ｎ2 ガスの漏れを防止す
る。
【００２３】また、フッ素樹脂製配管２０の内側には、
図２（ｂ）のガス供給配管のＢ−Ｂ断面である図２
（ａ）に示すように毒性ガス供給配管８０が設けられ、
ガス供給配管が二重構造となっている。
図２（ｂ）のガス供給配管のＢ−Ｂ断面である図２
（ａ）に示すように毒性ガス供給配管８０が設けられ、
ガス供給配管が二重構造となっている。
【００２４】フッ素樹脂製伸縮継手３０は、図３に示す
ようにガス供給配管の毒性ガス供給配管８０の溶接部８
１を被包するフッ素樹脂製配管２０を継ぎ合わせるため
のものであり、配管の接続はネジ込み継手によってシー
ル性を良くし、溶接個所に伸縮継手を使用し、また継手
を縮めることにより溶接部８１の点検、修理を可能とし
ている。さらに、伸縮継手を使用することにより、外部
漏れを検出限界に抑え、ナット３１には図示しないベア
リングを採用して、接合部での摺動および配管のねじれ
を防止している。
ようにガス供給配管の毒性ガス供給配管８０の溶接部８
１を被包するフッ素樹脂製配管２０を継ぎ合わせるため
のものであり、配管の接続はネジ込み継手によってシー
ル性を良くし、溶接個所に伸縮継手を使用し、また継手
を縮めることにより溶接部８１の点検、修理を可能とし
ている。さらに、伸縮継手を使用することにより、外部
漏れを検出限界に抑え、ナット３１には図示しないベア
リングを採用して、接合部での摺動および配管のねじれ
を防止している。
【００２５】ガス供給装置４０は、たとえば半導体デバ
イスの各製造工程におけるＣＶＤ(Chemical Vapor Depo
sition) またはエッチング工程などにおいて使用される
ガスのうち、主として製品の材料となるものおよび加工
に用いる特殊材料ガスなどの高圧ガスを生産装置９０に
供給するものである。
イスの各製造工程におけるＣＶＤ(Chemical Vapor Depo
sition) またはエッチング工程などにおいて使用される
ガスのうち、主として製品の材料となるものおよび加工
に用いる特殊材料ガスなどの高圧ガスを生産装置９０に
供給するものである。
【００２６】ガス漏洩検知部５０は、たとえば特殊材料
ガスなどの毒性の高圧ガスが毒性ガス供給配管８０より
漏れていることを検知するためのガス漏洩検知センサを
備える。ガス漏洩指示部６０は、特殊材料ガスなどの高
圧ガスが毒性ガス供給配管８０より漏れていることを管
理者へ知らせるためのものであり、ブザーなどの警報器
を備える。
ガスなどの毒性の高圧ガスが毒性ガス供給配管８０より
漏れていることを検知するためのガス漏洩検知センサを
備える。ガス漏洩指示部６０は、特殊材料ガスなどの高
圧ガスが毒性ガス供給配管８０より漏れていることを管
理者へ知らせるためのものであり、ブザーなどの警報器
を備える。
【００２７】排気口７０は、Ｎ2 ガスを大気中に排出す
るための排気口であり、毒性ガス供給配管８０は、特殊
材料ガスなどの高圧ガスを生産装置９０に供給するため
の配管である。
るための排気口であり、毒性ガス供給配管８０は、特殊
材料ガスなどの高圧ガスを生産装置９０に供給するため
の配管である。
【００２８】生産装置９０は、ガス供給装置４０から供
給される特殊材料ガスなどの毒性の高圧ガスなどを用い
て半導体装置などを製造する装置である。
給される特殊材料ガスなどの毒性の高圧ガスなどを用い
て半導体装置などを製造する装置である。
【００２９】次に、本実施例の作用について説明する。
【００３０】まず、毒性の高圧ガスは、黒塗り矢印の方
向へガス供給装置４０側から内管である毒性ガス供給配
管８０を通して生産装置９０側へ送出され、生産装置９
０側において半導体装置の製造を行う。
向へガス供給装置４０側から内管である毒性ガス供給配
管８０を通して生産装置９０側へ送出され、生産装置９
０側において半導体装置の製造を行う。
【００３１】また、高圧ガスが可燃性ガスの場合には、
その高圧ガスの漏洩による爆発防止のためにＮ2 ガス
は、白塗り矢印の方向へ生産装置９０側のＮ2 ガス供給
口１０からガス供給装置４０側へフッ素樹脂製配管２０
と毒性ガス供給配管８０との間の中空に送出される。
その高圧ガスの漏洩による爆発防止のためにＮ2 ガス
は、白塗り矢印の方向へ生産装置９０側のＮ2 ガス供給
口１０からガス供給装置４０側へフッ素樹脂製配管２０
と毒性ガス供給配管８０との間の中空に送出される。
【００３２】そこで、毒性ガス供給配管８０の溶接部で
あるIII 地点においてガス漏れが発生したとすると、II
I 地点のＮ2 ガスの流れとともに漏れた毒性の高圧ガス
がガス供給装置４０側へ流れ、その高圧ガスはガス漏洩
検知部５０により検知され、検知された情報はガス漏洩
指示部６０に伝達され、警報ブザーが鳴り、管理者はそ
れを確認し、ガス漏れを検知することができる。
あるIII 地点においてガス漏れが発生したとすると、II
I 地点のＮ2 ガスの流れとともに漏れた毒性の高圧ガス
がガス供給装置４０側へ流れ、その高圧ガスはガス漏洩
検知部５０により検知され、検知された情報はガス漏洩
指示部６０に伝達され、警報ブザーが鳴り、管理者はそ
れを確認し、ガス漏れを検知することができる。
【００３３】また、ガス漏れを起こした毒性ガス供給配
管８０の修理には、フッ素樹脂製伸縮継手３０を縮め
て、ガス漏れを起こした部分のみを修理することができ
るので、配管の修理を容易にすることができる。
管８０の修理には、フッ素樹脂製伸縮継手３０を縮め
て、ガス漏れを起こした部分のみを修理することができ
るので、配管の修理を容易にすることができる。
【００３４】以上により、毒性ガス供給配管８０からガ
ス漏れが発生していることを容易に検知することがで
き、また化学薬品に耐久力のあるフッ素樹脂を外管に使
用することにより、外気への毒性の高圧ガスの漏洩を防
止することができる。
ス漏れが発生していることを容易に検知することがで
き、また化学薬品に耐久力のあるフッ素樹脂を外管に使
用することにより、外気への毒性の高圧ガスの漏洩を防
止することができる。
【００３５】従って、本実施例のガス漏洩検知装置によ
れば、二重構造のガス供給配管の外管にフッ素樹脂製配
管２０を設け、また内管の毒性ガス供給配管８０の溶接
部を被包する外管にフッ素樹脂製伸縮継手３０を用い、
ガス供給配管の内管と外管の間に不活性ガスであるＮ2
ガスを流すことにより、毒性および可燃性ガスがガス供
給配管から漏れることを防ぎ、ガス供給配管の溶接部に
付設した継手部分の点検、修理の作業性を向上すること
ができる。
れば、二重構造のガス供給配管の外管にフッ素樹脂製配
管２０を設け、また内管の毒性ガス供給配管８０の溶接
部を被包する外管にフッ素樹脂製伸縮継手３０を用い、
ガス供給配管の内管と外管の間に不活性ガスであるＮ2
ガスを流すことにより、毒性および可燃性ガスがガス供
給配管から漏れることを防ぎ、ガス供給配管の溶接部に
付設した継手部分の点検、修理の作業性を向上すること
ができる。
【００３６】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
において種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
において種々変更可能であることは言うまでもない。
【００３７】たとえば、前記実施例のガス供給配管の内
管と外管の間を流れるガスについては、Ｎ2 ガスを流す
場合について説明したが、本発明は前記実施例に限定さ
れるものではなく、他の不活性ガスについても広く適用
可能である。
管と外管の間を流れるガスについては、Ｎ2 ガスを流す
場合について説明したが、本発明は前記実施例に限定さ
れるものではなく、他の不活性ガスについても広く適用
可能である。
【００３８】また、供給する毒性、可燃性ガスについて
は、半導体製造などに用いるＳｉＨ4 ，ＰＨ3 ，Ｓｉ2
Ｈ6 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，ＢＣｌ3 およびＣｌ2 、さら
に、他の毒性、可燃性ガスについても広く適用可能であ
る。
は、半導体製造などに用いるＳｉＨ4 ，ＰＨ3 ，Ｓｉ2
Ｈ6 ，ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ，ＢＣｌ3 およびＣｌ2 、さら
に、他の毒性、可燃性ガスについても広く適用可能であ
る。
【００３９】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野である半導体製造に用い
られるガス供給設備に適用した場合について説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、他のガス
供給設備についても広く適用可能である。
てなされた発明をその利用分野である半導体製造に用い
られるガス供給設備に適用した場合について説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、他のガス
供給設備についても広く適用可能である。
【００４０】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００４１】(1).ガス供給配管を二重構造とし、さらに
そのガス供給配管の外管の材質にフッ素樹脂を用いるこ
とにより、化学薬品に対して耐久性があり、高温にも安
定した配管となり、ガス供給配管の不備による災害を未
然に防止し、安全性を向上することができる。
そのガス供給配管の外管の材質にフッ素樹脂を用いるこ
とにより、化学薬品に対して耐久性があり、高温にも安
定した配管となり、ガス供給配管の不備による災害を未
然に防止し、安全性を向上することができる。
【００４２】(2).二重構造としたガス供給配管の内管と
外管の間に不活性ガスを流すことにより、たとえば可燃
性の高圧ガスが内管より漏れた場合にも、不燃性の不活
性ガスを流して可燃性ガスの爆発を防止し、安全性を向
上することができる。
外管の間に不活性ガスを流すことにより、たとえば可燃
性の高圧ガスが内管より漏れた場合にも、不燃性の不活
性ガスを流して可燃性ガスの爆発を防止し、安全性を向
上することができる。
【００４３】(3).ガス供給配管の継手部分ごとにガス漏
れセンサを複数備えていた技術に対して、１カ所のみに
ガス漏洩検知センサを備えるだけでよくなり、ガス漏洩
検知センサおよびガス漏洩検知センサの設置などに要す
るイニシャルコストを低減することができる。
れセンサを複数備えていた技術に対して、１カ所のみに
ガス漏洩検知センサを備えるだけでよくなり、ガス漏洩
検知センサおよびガス漏洩検知センサの設置などに要す
るイニシャルコストを低減することができる。
【００４４】(4).ガス供給配管の溶接部ごとに伸縮継手
を設けることにより、ガス漏れが発生した場合にその継
手部分のみを点検および修理すればよくなり、ガス供給
配管の点検、修理に要する作業性を向上させることがで
きる。
を設けることにより、ガス漏れが発生した場合にその継
手部分のみを点検および修理すればよくなり、ガス供給
配管の点検、修理に要する作業性を向上させることがで
きる。
【図１】本発明の一実施例であるガス漏洩検知装置を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
【図２】（ａ），（ｃ）は本実施例におけるＮ2 ガス供
給口およびガス供給配管を示す拡大断面図および（ｂ）
は側面図である。
給口およびガス供給配管を示す拡大断面図および（ｂ）
は側面図である。
【図３】本実施例におけるガス供給配管の継手部分を示
す拡大側面図である。
す拡大側面図である。
１０ Ｎ2 ガス供給口 ２０ フッ素樹脂製配管（外管） ３０ フッ素樹脂製伸縮継手 ３１ ナット ４０ ガス供給装置 ５０ ガス漏洩検知部（ガス漏洩検知センサ） ６０ ガス漏洩指示部 ７０ 排気口 ８０ 毒性ガス供給配管（内管） ８１ 溶接部 ９０ 生産装置 １００ シリコン樹脂製シール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深沢 雅人 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 清水 高興 東京都小平市上水本町５丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体事業部内
Claims (4)
- 【請求項１】 高圧ガスを供給するガス供給装置と、内
管と外管の二重構造のガス供給配管と、該ガス供給配管
から高圧ガスの漏れを検知するガス漏洩検知センサとを
備え、高圧ガスの供給を受ける生産装置へ該ガス供給配
管を通して接続され、高圧ガスを該ガス供給装置から該
ガス供給配管の内管を通じて該生産装置に送出し、該ガ
ス供給配管からのガス漏れが起こった際に、ガス漏れを
該ガス漏洩検知センサにより検知するガス漏洩検知装置
であって、前記内管と前記外管の間に前記生産装置側よ
り不活性ガスを送出し、該内管のガス漏れを前記ガス漏
洩検知センサにて検知することを特徴とするガス漏洩検
知装置。 - 【請求項２】 前記ガス供給配管の前記外管は、前記内
管から高圧ガスが漏れたときに外部への高圧ガスの漏洩
を防止するために、該外管の材質としてフッ素樹脂を用
いることを特徴とする請求項１記載のガス漏洩検知装
置。 - 【請求項３】 前記ガス供給配管の前記内管の溶接部分
を被包する前記外管には、フッ素樹脂を材質とした伸縮
継手を使用することを特徴とする請求項１または２記載
のガス漏洩検知装置。 - 【請求項４】 前記不活性ガスとして窒素ガスを使用す
ることを特徴とする請求項１，２または３記載のガス漏
洩検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23648693A JPH0791600A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | ガス漏洩検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23648693A JPH0791600A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | ガス漏洩検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0791600A true JPH0791600A (ja) | 1995-04-04 |
Family
ID=17001449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23648693A Pending JPH0791600A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | ガス漏洩検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0791600A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19615935B4 (de) * | 1996-04-22 | 2006-02-09 | BEB Erdgas und Erdöl GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum Transportieren von nassem Sauergas |
| JP2009163363A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon Inc | 入力装置 |
| RU2484361C1 (ru) * | 2011-12-12 | 2013-06-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Газпром трансгаз Самара" | Способ контроля безопасности при производстве ремонтных (огневых) работ на объектах магистральных трубопроводов и система для его осуществления |
| DE102013216044A1 (de) * | 2013-08-13 | 2015-02-19 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Transportvorrichtung für Flüssigkeiten und/oder Gase |
| WO2016145228A1 (en) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | Edwards Lifesciences Corportion | Surgical conduit leak testing |
-
1993
- 1993-09-22 JP JP23648693A patent/JPH0791600A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19615935B4 (de) * | 1996-04-22 | 2006-02-09 | BEB Erdgas und Erdöl GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum Transportieren von nassem Sauergas |
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| RU2484361C1 (ru) * | 2011-12-12 | 2013-06-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Газпром трансгаз Самара" | Способ контроля безопасности при производстве ремонтных (огневых) работ на объектах магистральных трубопроводов и система для его осуществления |
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| WO2016145228A1 (en) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | Edwards Lifesciences Corportion | Surgical conduit leak testing |
| CN107407614A (zh) * | 2015-03-10 | 2017-11-28 | 爱德华兹生命科学公司 | 手术管道泄漏测试 |
| CN107407614B (zh) * | 2015-03-10 | 2020-06-02 | 爱德华兹生命科学公司 | 手术管道泄漏测试 |
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