JP2001104971A - 廃水処理方法および装置 - Google Patents
廃水処理方法および装置Info
- Publication number
- JP2001104971A JP2001104971A JP28616999A JP28616999A JP2001104971A JP 2001104971 A JP2001104971 A JP 2001104971A JP 28616999 A JP28616999 A JP 28616999A JP 28616999 A JP28616999 A JP 28616999A JP 2001104971 A JP2001104971 A JP 2001104971A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wastewater
- treated
- ozone
- water
- substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/72—Treatment of water, waste water, or sewage by oxidation
- C02F1/78—Treatment of water, waste water, or sewage by oxidation with ozone
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/20—Treatment of water, waste water, or sewage by degassing, i.e. liberation of dissolved gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/66—Treatment of water, waste water, or sewage by neutralisation; pH adjustment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2101/00—Nature of the contaminant
- C02F2101/10—Inorganic compounds
- C02F2101/16—Nitrogen compounds, e.g. ammonia
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2101/00—Nature of the contaminant
- C02F2101/30—Organic compounds
- C02F2101/301—Detergents, surfactants
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2101/00—Nature of the contaminant
- C02F2101/30—Organic compounds
- C02F2101/38—Organic compounds containing nitrogen
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Treatment Of Biological Wastes In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 オゾン酸化処理を廃水に含有されている物質
に応じて最適な条件で行えるようにすることにより、難
処理性の物質を迅速に処理可能とするとともに、生物処
理が可能な生成物質へと処理して生物処理工程と組み合
わせることも可能とすることのできる、とくに半導体製
造工程等からの廃水の処理に好適な廃水処理方法および
装置を提供する。 【解決手段】 臭気発生、発泡性、微生物毒性等により
生物処理が困難な物質を含有する廃水に対して、処理対
象となる物質毎に最適なｐＨに調整し、オゾンを添加す
ることにより被処理水中の物質を酸化処理することを特
徴とする廃水処理方法および装置。
に応じて最適な条件で行えるようにすることにより、難
処理性の物質を迅速に処理可能とするとともに、生物処
理が可能な生成物質へと処理して生物処理工程と組み合
わせることも可能とすることのできる、とくに半導体製
造工程等からの廃水の処理に好適な廃水処理方法および
装置を提供する。 【解決手段】 臭気発生、発泡性、微生物毒性等により
生物処理が困難な物質を含有する廃水に対して、処理対
象となる物質毎に最適なｐＨに調整し、オゾンを添加す
ることにより被処理水中の物質を酸化処理することを特
徴とする廃水処理方法および装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、廃水処理方法およ
び装置に関し、とくに、臭気発生、発泡性、微生物毒性
等により生物処理が困難な物質を含有する廃水、例えば
半導体製造工程から排出される有機物等を高濃度で含有
する難処理性の廃水の処理等に好適な廃水処理方法およ
び装置に関する。
び装置に関し、とくに、臭気発生、発泡性、微生物毒性
等により生物処理が困難な物質を含有する廃水、例えば
半導体製造工程から排出される有機物等を高濃度で含有
する難処理性の廃水の処理等に好適な廃水処理方法およ
び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に有機物等を含む廃水は生物処理
によって処理されることが多い。しかしながら、例えば
半導体製造工程では通常多くの有機化合物が使用されて
おり、半導体製造工程から排出される廃液には、アルキ
ルベンゼンスルホン酸（ＡＢＳ）等の界面活性剤や、ジ
メチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）あるいはフェノールを
含有する有機溶剤等等が高濃度で含有されており、これ
らの有機物は、発泡、臭気発生、微生物に対する毒性等
の問題があるため、一般的な活性汚泥システムでは処理
できない。このような生物処理の困難な難処理性の物質
を含有する廃水は通常、産業廃棄物となり、最終的に燃
焼により処理されるが、専用燃焼装置と特別な管理が必
要であり莫大な費用を伴う。したがって、これらの難処
理性の物質を含有する廃水を安全かつ安価に処理する技
術の確立が急務とされている。
によって処理されることが多い。しかしながら、例えば
半導体製造工程では通常多くの有機化合物が使用されて
おり、半導体製造工程から排出される廃液には、アルキ
ルベンゼンスルホン酸（ＡＢＳ）等の界面活性剤や、ジ
メチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）あるいはフェノールを
含有する有機溶剤等等が高濃度で含有されており、これ
らの有機物は、発泡、臭気発生、微生物に対する毒性等
の問題があるため、一般的な活性汚泥システムでは処理
できない。このような生物処理の困難な難処理性の物質
を含有する廃水は通常、産業廃棄物となり、最終的に燃
焼により処理されるが、専用燃焼装置と特別な管理が必
要であり莫大な費用を伴う。したがって、これらの難処
理性の物質を含有する廃水を安全かつ安価に処理する技
術の確立が急務とされている。
【０００３】このような難処理性物質を含有する廃水を
処理するための方法としては、これまでにもいくつか提
案されているが、高濃度の廃水への対応や設備構成上の
問題により実現されていないのが実情である。たとえ
ば、有機物を数千ｐｐｍといった高濃度で含有する廃水
の処理方法として、（１）生物処理によって有機物を分
解する方法、（２）高温、高圧下での酸化処理によって
有機物を分解する方法、（３）アルカリ性条件下でのオ
ゾン添加によって有機物を酸化する方法（たとえば、特
開平１０−１７４９８４号公報）、（４）過酸化水素を
添加し紫外線を照射することによって有機物を分解する
方法等が知られている。
処理するための方法としては、これまでにもいくつか提
案されているが、高濃度の廃水への対応や設備構成上の
問題により実現されていないのが実情である。たとえ
ば、有機物を数千ｐｐｍといった高濃度で含有する廃水
の処理方法として、（１）生物処理によって有機物を分
解する方法、（２）高温、高圧下での酸化処理によって
有機物を分解する方法、（３）アルカリ性条件下でのオ
ゾン添加によって有機物を酸化する方法（たとえば、特
開平１０−１７４９８４号公報）、（４）過酸化水素を
添加し紫外線を照射することによって有機物を分解する
方法等が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記（１）
の方法では、上述の如く含有有機物がＡＢＳやＤＭＳＯ
のようなものである場合、生分解性が悪いため除去する
のが困難であるという問題がある。また、（２）の方法
では、このような難処理性の有機物を酸化処理により除
去することは可能であるものの、設備が著しく高価とな
って処理コストが高くつくという欠点がある。また、
（３）の方法では、オゾン添加による酸化処理がとくに
高濃度で有機物を含有する廃液の処理に有効であること
は認められるものの、含有されている有機物のうちある
種の有機物に対しては除去性能は高いが、他の含有有機
物に対しては必ずしも効率がよくないという問題があ
る。このことは、今回、本発明を完成するに際して判明
したことであるが、たとえば半導体製造工程からの廃水
中にとくに高濃度で含有されているＤＭＳＯについてみ
るに、アルカリ性条件下で処理すると処理速度が却って
遅くなり、処理の効率が悪いことが判明した。さらに上
記（４）の方法では、有機物の含有量や種類が変動する
被処理水に対し設備の最適化が難しく、過剰仕様にせざ
るを得ない場合が多くなって、設備導入等のコストが高
騰するという問題がある。
の方法では、上述の如く含有有機物がＡＢＳやＤＭＳＯ
のようなものである場合、生分解性が悪いため除去する
のが困難であるという問題がある。また、（２）の方法
では、このような難処理性の有機物を酸化処理により除
去することは可能であるものの、設備が著しく高価とな
って処理コストが高くつくという欠点がある。また、
（３）の方法では、オゾン添加による酸化処理がとくに
高濃度で有機物を含有する廃液の処理に有効であること
は認められるものの、含有されている有機物のうちある
種の有機物に対しては除去性能は高いが、他の含有有機
物に対しては必ずしも効率がよくないという問題があ
る。このことは、今回、本発明を完成するに際して判明
したことであるが、たとえば半導体製造工程からの廃水
中にとくに高濃度で含有されているＤＭＳＯについてみ
るに、アルカリ性条件下で処理すると処理速度が却って
遅くなり、処理の効率が悪いことが判明した。さらに上
記（４）の方法では、有機物の含有量や種類が変動する
被処理水に対し設備の最適化が難しく、過剰仕様にせざ
るを得ない場合が多くなって、設備導入等のコストが高
騰するという問題がある。
【０００５】そのため、半導体製造工程から排出される
ＤＭＳＯ等の難処理性物質を高濃度で含有する廃水は、
専門の廃液処理業者による引き取り処分によって処理し
ているのが実情であった。
ＤＭＳＯ等の難処理性物質を高濃度で含有する廃水は、
専門の廃液処理業者による引き取り処分によって処理し
ているのが実情であった。
【０００６】そこで本発明の課題は、上記のような実情
に鑑み、とくにオゾン添加による有機物の酸化処理の有
効性、およびその方法がとくに高濃度廃水を処理する場
合にコスト的に有利であることに着目し、このオゾン酸
化処理を廃水に含有されている物質に応じて最適な条件
で行えるようにすることにより、含有されている難処理
性の物質を迅速に処理可能とするとともに、生物処理が
可能な生成物質へと処理して生物処理工程と組み合わせ
ることも可能とすることのできる、とくに半導体製造工
程等からの廃水の処理に好適な廃水処理方法および装置
を提供することにある。
に鑑み、とくにオゾン添加による有機物の酸化処理の有
効性、およびその方法がとくに高濃度廃水を処理する場
合にコスト的に有利であることに着目し、このオゾン酸
化処理を廃水に含有されている物質に応じて最適な条件
で行えるようにすることにより、含有されている難処理
性の物質を迅速に処理可能とするとともに、生物処理が
可能な生成物質へと処理して生物処理工程と組み合わせ
ることも可能とすることのできる、とくに半導体製造工
程等からの廃水の処理に好適な廃水処理方法および装置
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る廃水処理方法は、臭気発生、発泡性、
微生物毒性等により生物処理が困難な物質を含有する廃
水に対して、処理対象となる物質毎に最適なｐＨに調整
し、オゾンを添加することにより被処理水中の物質を酸
化処理することを特徴とする方法からなる。つまり、含
有されている処理対象としての難処理性の物質の種類に
応じて、それぞれ最適なｐＨに調整され、そのｐＨ条件
下でオゾン添加による物質の酸化処理が行われる。
に、本発明に係る廃水処理方法は、臭気発生、発泡性、
微生物毒性等により生物処理が困難な物質を含有する廃
水に対して、処理対象となる物質毎に最適なｐＨに調整
し、オゾンを添加することにより被処理水中の物質を酸
化処理することを特徴とする方法からなる。つまり、含
有されている処理対象としての難処理性の物質の種類に
応じて、それぞれ最適なｐＨに調整され、そのｐＨ条件
下でオゾン添加による物質の酸化処理が行われる。
【０００８】上記方法においては、例えば廃水がスルホ
キシド類有機硫黄化合物（例えば、前述のＤＭＳＯ）を
含有する廃水である場合、ｐＨは中性又は酸性条件下に
調整され、そのｐＨ条件下でオゾンを添加することによ
り被処理水中の化合物が酸化処理される工程が含まれ
る。また、廃水がフェノール類に代表されるベンゼン環
を有する有機物を含有する廃水である場合、ｐＨは中性
または酸性条件下に調整され、そのｐＨ条件下でオゾン
を添加することにより被処理水中の有機物が酸化処理さ
れる工程が含まれる。また、廃水がベンゼン環を有する
界面活性剤を含有する廃水である場合、ｐＨはアルカリ
条件下に調整され、そのｐＨ条件下でオゾンを添加する
ことにより被処理水中の界面活性剤が酸化処理される工
程が含まれる。さらに、廃水がアンモニア又はイミノ基
又はアミノ基（第一級から第三級アミンを含む）を有す
る化合物を含有する廃水である場合、ｐＨはアルカリ条
件下に調整され、そのｐＨ条件下でオゾンを添加するこ
とにより被処理水中の物質が酸化処理される工程が含ま
れる。ｐＨをアルカリ性に調整する場合には、１０．５
以上に調整することが好ましい。
キシド類有機硫黄化合物（例えば、前述のＤＭＳＯ）を
含有する廃水である場合、ｐＨは中性又は酸性条件下に
調整され、そのｐＨ条件下でオゾンを添加することによ
り被処理水中の化合物が酸化処理される工程が含まれ
る。また、廃水がフェノール類に代表されるベンゼン環
を有する有機物を含有する廃水である場合、ｐＨは中性
または酸性条件下に調整され、そのｐＨ条件下でオゾン
を添加することにより被処理水中の有機物が酸化処理さ
れる工程が含まれる。また、廃水がベンゼン環を有する
界面活性剤を含有する廃水である場合、ｐＨはアルカリ
条件下に調整され、そのｐＨ条件下でオゾンを添加する
ことにより被処理水中の界面活性剤が酸化処理される工
程が含まれる。さらに、廃水がアンモニア又はイミノ基
又はアミノ基（第一級から第三級アミンを含む）を有す
る化合物を含有する廃水である場合、ｐＨはアルカリ条
件下に調整され、そのｐＨ条件下でオゾンを添加するこ
とにより被処理水中の物質が酸化処理される工程が含ま
れる。ｐＨをアルカリ性に調整する場合には、１０．５
以上に調整することが好ましい。
【０００９】このような難処理性の物質は複数種含有さ
れていてもよく、本発明はそのような場合にとくに有効
である。この場合、処理対象となる物質毎に最適なｐＨ
に順次調整し、各々最適なｐＨ条件下でオゾンを添加す
ることにより被処理水中の複数種の物質が効率よく順次
酸化処理される。
れていてもよく、本発明はそのような場合にとくに有効
である。この場合、処理対象となる物質毎に最適なｐＨ
に順次調整し、各々最適なｐＨ条件下でオゾンを添加す
ることにより被処理水中の複数種の物質が効率よく順次
酸化処理される。
【００１０】本発明に係る方法では、含有物質が難処理
性の物質であっても、上記のように最適なｐＨ条件下で
オゾン添加により酸化処理されるので、充分に迅速にか
つ効率よく各含有物質が処理される。オゾン添加による
酸化処理工程で廃水中の難処理性の物質を生物処理が容
易になるまで酸化処理した後には、処理水中の生成物質
をさらに生物処理により分解し、処理することができ
る。生物処理は、対象となる物質に応じて好気性条件下
または嫌気性条件下で行えばよい。このようにすれば、
従来生物処理が困難であるとされてきた難処理性の物質
が、最終的には生物処理可能となり、オゾン添加による
酸化処理と、生物処理との両方の利点を活かすことが可
能になる。
性の物質であっても、上記のように最適なｐＨ条件下で
オゾン添加により酸化処理されるので、充分に迅速にか
つ効率よく各含有物質が処理される。オゾン添加による
酸化処理工程で廃水中の難処理性の物質を生物処理が容
易になるまで酸化処理した後には、処理水中の生成物質
をさらに生物処理により分解し、処理することができ
る。生物処理は、対象となる物質に応じて好気性条件下
または嫌気性条件下で行えばよい。このようにすれば、
従来生物処理が困難であるとされてきた難処理性の物質
が、最終的には生物処理可能となり、オゾン添加による
酸化処理と、生物処理との両方の利点を活かすことが可
能になる。
【００１１】また、本発明に係る方法においては、上記
ｐＨ調整およびオゾン添加による酸化処理の前段にて、
被処理水中に含有されている低沸点化合物を予め除去す
ることもできる。低沸点化合物の除去は、例えば、被処
理水を低沸点化合物の沸点以上に加熱することにより行
うことができる。このとき、処理対象となる物質によっ
ては、加熱された被処理水を冷却せずに高温のままオゾ
ン添加による酸化処理を行った方が処理効率が高くなる
ものもあり、このような場合には、低沸点化合物の沸点
以上に加熱された被処理水を、敢えて冷却することな
く、例えば被処理水が２５℃以上の温度を保持している
間にオゾンを添加するようにすればよい。
ｐＨ調整およびオゾン添加による酸化処理の前段にて、
被処理水中に含有されている低沸点化合物を予め除去す
ることもできる。低沸点化合物の除去は、例えば、被処
理水を低沸点化合物の沸点以上に加熱することにより行
うことができる。このとき、処理対象となる物質によっ
ては、加熱された被処理水を冷却せずに高温のままオゾ
ン添加による酸化処理を行った方が処理効率が高くなる
ものもあり、このような場合には、低沸点化合物の沸点
以上に加熱された被処理水を、敢えて冷却することな
く、例えば被処理水が２５℃以上の温度を保持している
間にオゾンを添加するようにすればよい。
【００１２】また、本発明に係る方法においては、オゾ
ンの溶解を促進するために被処理水の脱気を行うことが
好ましい。脱気により、被処理水中の溶存酸素等が低減
されるので、添加されてくるオゾンは効率よく迅速に被
処理水中に溶解していき、オゾン添加による酸化処理の
効率がさらに高められる。
ンの溶解を促進するために被処理水の脱気を行うことが
好ましい。脱気により、被処理水中の溶存酸素等が低減
されるので、添加されてくるオゾンは効率よく迅速に被
処理水中に溶解していき、オゾン添加による酸化処理の
効率がさらに高められる。
【００１３】さらに、本発明に係る方法においては、オ
ゾン添加による酸化処理工程において、既知の添加ガス
濃度の下で、排出される排ガスの排オゾンガス濃度を測
定し、排オゾンガス濃度の変化から酸化反応の終点を判
定することもできる。すなわち、処理対象となる物質の
大半が酸化処理されると、添加されているオゾンの消費
量が飽和し、排オゾンガス濃度も飽和するから、その濃
度変化から酸化反応が実質的に終了したことを読み取る
ことができる。そして、この判定に基づき、処理水を次
の工程、例えば生物処理工程に送ったり、オゾン添加を
停止してその使用量を節約したりできる。
ゾン添加による酸化処理工程において、既知の添加ガス
濃度の下で、排出される排ガスの排オゾンガス濃度を測
定し、排オゾンガス濃度の変化から酸化反応の終点を判
定することもできる。すなわち、処理対象となる物質の
大半が酸化処理されると、添加されているオゾンの消費
量が飽和し、排オゾンガス濃度も飽和するから、その濃
度変化から酸化反応が実質的に終了したことを読み取る
ことができる。そして、この判定に基づき、処理水を次
の工程、例えば生物処理工程に送ったり、オゾン添加を
停止してその使用量を節約したりできる。
【００１４】本発明に係る廃水処理装置は、臭気発生、
発泡性、微生物毒性等により生物処理が困難な物質を含
有する廃水の処理装置であって、被処理水を貯留する貯
槽と、処理対象となる物質毎に最適なｐＨに調整する手
段と、被処理水中の物質をオゾンを添加することにより
酸化処理する酸化処理手段と、貯槽からの被処理水を酸
化処理手段に導入し、酸化処理手段からの処理水を貯槽
に戻す循環ラインとを有することを特徴とするものから
なる。
発泡性、微生物毒性等により生物処理が困難な物質を含
有する廃水の処理装置であって、被処理水を貯留する貯
槽と、処理対象となる物質毎に最適なｐＨに調整する手
段と、被処理水中の物質をオゾンを添加することにより
酸化処理する酸化処理手段と、貯槽からの被処理水を酸
化処理手段に導入し、酸化処理手段からの処理水を貯槽
に戻す循環ラインとを有することを特徴とするものから
なる。
【００１５】上記本発明に係る装置においては、廃水
は、ｐＨ調整手段によりそのときの最適なｐＨに調整さ
れつつ、循環ラインを介して貯槽、酸化処理手段へと循
環されている間に処理される。したがって、上記ｐＨ調
整手段により調整されるべき最適なｐＨの指令信号を、
酸化処理手段による処理の進行に応じて順次発する制御
手段を有することが好ましい。
は、ｐＨ調整手段によりそのときの最適なｐＨに調整さ
れつつ、循環ラインを介して貯槽、酸化処理手段へと循
環されている間に処理される。したがって、上記ｐＨ調
整手段により調整されるべき最適なｐＨの指令信号を、
酸化処理手段による処理の進行に応じて順次発する制御
手段を有することが好ましい。
【００１６】また、本発明に係る装置においては、後段
に、酸化処理手段により含有物質が生物処理が容易にな
るまで酸化処理された処理水中の生成物質をさらに分解
処理する生物処理手段を接続することができる。最適な
ｐＨ条件下で充分に処理された処理水中の生成物質が、
容易に効率よく生物処理されることになる。
に、酸化処理手段により含有物質が生物処理が容易にな
るまで酸化処理された処理水中の生成物質をさらに分解
処理する生物処理手段を接続することができる。最適な
ｐＨ条件下で充分に処理された処理水中の生成物質が、
容易に効率よく生物処理されることになる。
【００１７】また、本発明に係る装置においては、前段
に、被処理水中に含有されている低沸点化合物をその沸
点以上に加熱することにより除去する手段を設けること
もできる。
に、被処理水中に含有されている低沸点化合物をその沸
点以上に加熱することにより除去する手段を設けること
もできる。
【００１８】また、本発明に係る装置においては、前記
循環ライン中に、オゾンの溶解を促進する脱気手段が設
けられていることが好ましい。さらに、循環ライン中又
は酸化処理手段の上部に排ガスラインが接続され、該排
ガスラインに排オゾンガス濃度計が設けられていること
が好ましい。排オゾンガス濃度計が設けられる場合に
は、酸化処理手段の運転をその排オゾンガス濃度計の信
号に基づいて制御する手段も設けられていることが好ま
しい。このようなシステムに構成することにより、処理
効率が高く、低ランニングコストで運転可能な装置が実
現される。
循環ライン中に、オゾンの溶解を促進する脱気手段が設
けられていることが好ましい。さらに、循環ライン中又
は酸化処理手段の上部に排ガスラインが接続され、該排
ガスラインに排オゾンガス濃度計が設けられていること
が好ましい。排オゾンガス濃度計が設けられる場合に
は、酸化処理手段の運転をその排オゾンガス濃度計の信
号に基づいて制御する手段も設けられていることが好ま
しい。このようなシステムに構成することにより、処理
効率が高く、低ランニングコストで運転可能な装置が実
現される。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、
本発明の一実施態様に係る廃水処理装置を示している。
廃水処理装置１には、例えば半導体製造工程等から排出
される、臭気発生、発泡性、微生物毒性等により直接的
には生物処理を行うことが困難な難処理性の物質を含有
する廃水２が供給される。本実施態様では、供給されて
くる被処理水としての廃水２は、まず、低沸点化合物除
去装置３において、加熱装置４により、廃水２中に含有
されている低沸点化合物の沸点以上に加熱され、廃水２
中の低沸点化合物が除去された後、貯槽５に送られる。
貯槽５の上部には、必要に応じて開放される排ガス排出
管６が付設されている。
形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、
本発明の一実施態様に係る廃水処理装置を示している。
廃水処理装置１には、例えば半導体製造工程等から排出
される、臭気発生、発泡性、微生物毒性等により直接的
には生物処理を行うことが困難な難処理性の物質を含有
する廃水２が供給される。本実施態様では、供給されて
くる被処理水としての廃水２は、まず、低沸点化合物除
去装置３において、加熱装置４により、廃水２中に含有
されている低沸点化合物の沸点以上に加熱され、廃水２
中の低沸点化合物が除去された後、貯槽５に送られる。
貯槽５の上部には、必要に応じて開放される排ガス排出
管６が付設されている。
【００２０】貯槽５に貯留された被処理水としての廃水
２は、循環ライン７を介して、ポンプ８により酸化処理
手段としての酸化処理装置（反応塔）９へ送られ、酸化
処理装置９からの処理水は貯槽５に戻される。循環ライ
ン７中の酸化処理装置９への送給ラインには、処理対象
となる物質毎に最適なｐＨに調整する手段としてのｐＨ
調整装置１０が接続されており、ｐＨ調整装置１０から
は、そのときの要求に応じて、被処理水中にＮａＯＨや
Ｈ2 ＳＯ4 等のｐＨ調整用のアルカリや酸が添加され
る。酸化処理装置９は、縦長の反応塔からなり、その下
部には、オゾン発生器１１が接続されている。オゾン発
生器１１は、乾燥空気１２からオゾンを生成し、生成し
たオゾンを酸化処理装置９中の被処理水中に添加する。
酸化処理装置９の上部には、排ガスライン１３が接続さ
れており、排ガスライン１３には、排オゾンガス濃度計
１４が設けられている。
２は、循環ライン７を介して、ポンプ８により酸化処理
手段としての酸化処理装置（反応塔）９へ送られ、酸化
処理装置９からの処理水は貯槽５に戻される。循環ライ
ン７中の酸化処理装置９への送給ラインには、処理対象
となる物質毎に最適なｐＨに調整する手段としてのｐＨ
調整装置１０が接続されており、ｐＨ調整装置１０から
は、そのときの要求に応じて、被処理水中にＮａＯＨや
Ｈ2 ＳＯ4 等のｐＨ調整用のアルカリや酸が添加され
る。酸化処理装置９は、縦長の反応塔からなり、その下
部には、オゾン発生器１１が接続されている。オゾン発
生器１１は、乾燥空気１２からオゾンを生成し、生成し
たオゾンを酸化処理装置９中の被処理水中に添加する。
酸化処理装置９の上部には、排ガスライン１３が接続さ
れており、排ガスライン１３には、排オゾンガス濃度計
１４が設けられている。
【００２１】酸化処理装置９から貯槽５への循環ライン
７には、酸化処理装置９からの処理水のｐＨを検知する
ｐＨセンサ１５と、酸化処理装置９におけるオゾンの溶
解を促進するために溶存酸素等を脱気する脱気器１６が
設けられている。
７には、酸化処理装置９からの処理水のｐＨを検知する
ｐＨセンサ１５と、酸化処理装置９におけるオゾンの溶
解を促進するために溶存酸素等を脱気する脱気器１６が
設けられている。
【００２２】本実施態様では、被処理水が循環ライン７
を介して貯槽５と酸化処理装置９との間を循環される間
に、オゾン添加による酸化処理工程で廃水中の難処理性
の物質が生物処理が容易になるまで酸化処理されるが、
所定の酸化処理が終了すると、処理水は生物処理装置１
７に送られ、処理水中の生成物質がさらに生物処理によ
り好気性条件下又は嫌気性条件下で分解され、処理され
る。生物処理装置１７としては、周知の活性汚泥システ
ムを採用できる。被処理水の循環ライン７を介しての循
環と、処理水の生物処理装置１７への送給の切替えは、
電磁弁１８、１９の開閉制御によって行われる。
を介して貯槽５と酸化処理装置９との間を循環される間
に、オゾン添加による酸化処理工程で廃水中の難処理性
の物質が生物処理が容易になるまで酸化処理されるが、
所定の酸化処理が終了すると、処理水は生物処理装置１
７に送られ、処理水中の生成物質がさらに生物処理によ
り好気性条件下又は嫌気性条件下で分解され、処理され
る。生物処理装置１７としては、周知の活性汚泥システ
ムを採用できる。被処理水の循環ライン７を介しての循
環と、処理水の生物処理装置１７への送給の切替えは、
電磁弁１８、１９の開閉制御によって行われる。
【００２３】本実施態様では、上記のような装置の一連
の作動を、手動、自動のいずれでも制御できるようにな
っている。とくに自動制御のために、制御装置２０が設
けられている。制御装置２０には、排オゾンガス濃度計
１４、ｐＨセンサ１５からの信号とともに、必要に応じ
て廃水の含有成分や各部運転条件の設定値等の入力情報
２１が入力され、制御装置２０からは、加熱装置４、ポ
ンプ８、ｐＨ調整装置１０、オゾン発生器１１、電磁弁
１８、１９に作動信号が出力される。
の作動を、手動、自動のいずれでも制御できるようにな
っている。とくに自動制御のために、制御装置２０が設
けられている。制御装置２０には、排オゾンガス濃度計
１４、ｐＨセンサ１５からの信号とともに、必要に応じ
て廃水の含有成分や各部運転条件の設定値等の入力情報
２１が入力され、制御装置２０からは、加熱装置４、ポ
ンプ８、ｐＨ調整装置１０、オゾン発生器１１、電磁弁
１８、１９に作動信号が出力される。
【００２４】上記のように構成された装置を用いて、本
発明に係る方法は、例えば次のように実施される。本発
明における基本的な技術思想は、オゾン添加により難処
理性の物質を酸化処理するに際しては、廃水に含有され
ている物質の種類に応じて、最適なｐＨ条件が存在する
ことを見出したことを出発点とし、含有物質毎に最適な
ｐＨに調整して最も効率のよい処理を可能とするととも
に、望ましくは、生物処理が可能な生成物質へと処理し
て生物処理工程と組み合わせることも可能とすることに
ある。
発明に係る方法は、例えば次のように実施される。本発
明における基本的な技術思想は、オゾン添加により難処
理性の物質を酸化処理するに際しては、廃水に含有され
ている物質の種類に応じて、最適なｐＨ条件が存在する
ことを見出したことを出発点とし、含有物質毎に最適な
ｐＨに調整して最も効率のよい処理を可能とするととも
に、望ましくは、生物処理が可能な生成物質へと処理し
て生物処理工程と組み合わせることも可能とすることに
ある。
【００２５】そこで先ず、廃水に含有されている物質の
種類に応じて、オゾン添加による酸化処理に最適なｐＨ
条件が存在することを確認するために、図１に示した装
置を用い、以下のような実験を行った。被処理水として
の廃水には、半導体製造工程からの廃水を想定し、ここ
ではとくに、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、アル
キルベンゼンスルホン酸（ＡＢＳ）の一種であるドデシ
ルベンゼンスルホン酸ナトリウム（ＤＢＳ）、およびフ
ェノールを含有する各被処理水について実験し、それら
に対する諸特性を調べた。
種類に応じて、オゾン添加による酸化処理に最適なｐＨ
条件が存在することを確認するために、図１に示した装
置を用い、以下のような実験を行った。被処理水として
の廃水には、半導体製造工程からの廃水を想定し、ここ
ではとくに、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、アル
キルベンゼンスルホン酸（ＡＢＳ）の一種であるドデシ
ルベンゼンスルホン酸ナトリウム（ＤＢＳ）、およびフ
ェノールを含有する各被処理水について実験し、それら
に対する諸特性を調べた。
【００２６】酸化処理装置９としての反応塔は高さ５
ｍ、容量２０リットルのものを用いた。オゾンはオゾン
発生器１１により乾燥空気から生成させ、予め定めた一
定流量で反応塔９の底部から吹き込んだ。処理対象の廃
水は反応塔９の上部より下方向へポンプで循環させなが
らオゾンと接触させた。圧力を保つため水深は４ｍ以上
とし、廃水のｐＨは反応塔出口でｐＨセンサ１５によっ
て検知しそれに基づいて制御した。
ｍ、容量２０リットルのものを用いた。オゾンはオゾン
発生器１１により乾燥空気から生成させ、予め定めた一
定流量で反応塔９の底部から吹き込んだ。処理対象の廃
水は反応塔９の上部より下方向へポンプで循環させなが
らオゾンと接触させた。圧力を保つため水深は４ｍ以上
とし、廃水のｐＨは反応塔出口でｐＨセンサ１５によっ
て検知しそれに基づいて制御した。
【００２７】評価用試料は、フェノール、ＤＭＳＯおよ
び代表的なＡＢＳであるＤＢＳを純水に溶解し設定の濃
度とすることによって調製した。また、ＤＭＳＯを主成
分とする、半導体製造工程から排出される剥離液の工程
廃液を純水で濃度調整し試料廃水とした。
び代表的なＡＢＳであるＤＢＳを純水に溶解し設定の濃
度とすることによって調製した。また、ＤＭＳＯを主成
分とする、半導体製造工程から排出される剥離液の工程
廃液を純水で濃度調整し試料廃水とした。
【００２８】まず、オゾン酸化処理における各含有物質
の最適な反応を検討するため、ｐＨを変化させて処理特
性および分解生成物について調べた。図２にＤＢＳ、フ
ェノール、およびＤＭＳＯについて、それぞれの単独溶
液のオゾン酸化処理による反応特性を示す。図２に示し
たように、これらの物質はオゾン添加量に従い濃度が低
下する。
の最適な反応を検討するため、ｐＨを変化させて処理特
性および分解生成物について調べた。図２にＤＢＳ、フ
ェノール、およびＤＭＳＯについて、それぞれの単独溶
液のオゾン酸化処理による反応特性を示す。図２に示し
たように、これらの物質はオゾン添加量に従い濃度が低
下する。
【００２９】ＤＢＳ溶液の場合、中性では反応効率はか
なり低いが、ｐＨを１０．５以上とすると、９１％のＤ
ＢＳが４．３倍量のオゾンで分解され発泡性も消失し
た。この原因としては、アルカリ性条件下でしかも高ｐ
Ｈでオゾンを溶解した場合、ヒドロキシラジカル（・Ｏ
Ｈ）の生成量が多くなり、・ＯＨの強い酸化力により、
難処理性の物質を効率的に分解できるためと考えられ
る。
なり低いが、ｐＨを１０．５以上とすると、９１％のＤ
ＢＳが４．３倍量のオゾンで分解され発泡性も消失し
た。この原因としては、アルカリ性条件下でしかも高ｐ
Ｈでオゾンを溶解した場合、ヒドロキシラジカル（・Ｏ
Ｈ）の生成量が多くなり、・ＯＨの強い酸化力により、
難処理性の物質を効率的に分解できるためと考えられ
る。
【００３０】一方、フェノール溶液に関しては、ｐＨ値
に関係なく１．８倍量のオゾンで９３％のフェノールが
分解される。したがってＤＢＳの場合とは異なる反応機
構で分解が進んでいると考えられるが、フェノールとＤ
ＢＳの分解はともにベンゼン環の分解特性と一致し、い
ずれも生物処理が容易なシュウ酸が生成した。
に関係なく１．８倍量のオゾンで９３％のフェノールが
分解される。したがってＤＢＳの場合とは異なる反応機
構で分解が進んでいると考えられるが、フェノールとＤ
ＢＳの分解はともにベンゼン環の分解特性と一致し、い
ずれも生物処理が容易なシュウ酸が生成した。
【００３１】ＤＭＳＯ溶液の場合、中性では１．２倍量
のオゾンで９５％のＤＭＳＯが分解されるが、アルカリ
性条件下、ｐＨ１０．５以上では中性での処理に比べ約
２倍のオゾン量が必要となった。ＤＭＳＯは高ｐＨ域で
は図３に示すように、反応生成物としては一部ジメチル
スルホン（ＤＭＳＯ2 ）も生成するが、ほとんどがヒド
ロキシラジカル（・ＯＨ）によるラジカル反応によりメ
タンスルホン酸（ＭＳＡ）となり、わずかにＨ2 ＳＯ4
が生成する。中性域での反応は、図４に示すようにＤＭ
ＳＯは酸素付加反応により直接的にＤＭＳＯ2 だけに変
換された。生成したＭＳＡ、ＤＭＳＯ2 はともに問題な
く生物処理できる物質であるが、図２〜図４に示したよ
うに、ＤＭＳＯのオゾン処理は中性で行う方が反応効率
がはるかに高いことが判明した。
のオゾンで９５％のＤＭＳＯが分解されるが、アルカリ
性条件下、ｐＨ１０．５以上では中性での処理に比べ約
２倍のオゾン量が必要となった。ＤＭＳＯは高ｐＨ域で
は図３に示すように、反応生成物としては一部ジメチル
スルホン（ＤＭＳＯ2 ）も生成するが、ほとんどがヒド
ロキシラジカル（・ＯＨ）によるラジカル反応によりメ
タンスルホン酸（ＭＳＡ）となり、わずかにＨ2 ＳＯ4
が生成する。中性域での反応は、図４に示すようにＤＭ
ＳＯは酸素付加反応により直接的にＤＭＳＯ2 だけに変
換された。生成したＭＳＡ、ＤＭＳＯ2 はともに問題な
く生物処理できる物質であるが、図２〜図４に示したよ
うに、ＤＭＳＯのオゾン処理は中性で行う方が反応効率
がはるかに高いことが判明した。
【００３２】このＤＭＳＯは、半導体製造工程からの廃
水中に数千ｐｐｍ以上と特に高濃度で含有されているこ
とが多く、本発明で処理対象となる代表的な難処理性の
物質である。そこでＤＭＳＯのオゾン酸化処理における
ｐＨ依存性をさらに詳しく調べてみた。図５にｐＨ毎の
ＤＭＳＯの処理性を示すが、中性から酸性側で処理を行
った各条件では、アルカリサイドで処理した場合に比
べ、高いＤＭＳＯ分解率が得られた。
水中に数千ｐｐｍ以上と特に高濃度で含有されているこ
とが多く、本発明で処理対象となる代表的な難処理性の
物質である。そこでＤＭＳＯのオゾン酸化処理における
ｐＨ依存性をさらに詳しく調べてみた。図５にｐＨ毎の
ＤＭＳＯの処理性を示すが、中性から酸性側で処理を行
った各条件では、アルカリサイドで処理した場合に比
べ、高いＤＭＳＯ分解率が得られた。
【００３３】さらに、実際の工場廃水には多くの種類の
有機物を含む。今回評価した工場廃水には低沸点化合物
としてのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が特に多く
含まれていたが、ＩＰＡは一般的な生物処理では容易に
処理できるものの、オゾン酸化処理による分解効率は非
常に低く、しかも他の有機物等のオゾン酸化反応を妨害
する。したがってＩＰＡを多量に含んだ廃水の場合、あ
らかじめＩＰＡを除去することが好ましい。除去には、
低沸点化合物に対しては、図１に示したように加熱装置
４を備えた低沸点化合物除去装置３で加熱曝気するのが
有効である。
有機物を含む。今回評価した工場廃水には低沸点化合物
としてのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が特に多く
含まれていたが、ＩＰＡは一般的な生物処理では容易に
処理できるものの、オゾン酸化処理による分解効率は非
常に低く、しかも他の有機物等のオゾン酸化反応を妨害
する。したがってＩＰＡを多量に含んだ廃水の場合、あ
らかじめＩＰＡを除去することが好ましい。除去には、
低沸点化合物に対しては、図１に示したように加熱装置
４を備えた低沸点化合物除去装置３で加熱曝気するのが
有効である。
【００３４】このように、廃水中に共存する低沸点化合
物（たとえば、ＩＰＡ）を、前処理として加熱曝気で取
り除く場合には、続いて、高温のままオゾン処理を行う
必要も生じる。それゆえ、とくにＤＭＳＯの酸化処理特
性の水温による影響を検討した。図６に水温毎のＤＭＳ
Ｏの処理特性を示す。２５℃以上で処理特性の改善が見
られ、とくに４０℃以上で処理した各条件では常温に比
べ、高いＤＭＳＯ除去率が得られた。したがって、前処
理としての加熱曝気によって高温となった廃水をオゾン
酸化処理する際に改めて冷却する必要は全くないことが
判明した。つまり、低沸点化合物の沸点以上に加熱され
た被処理水に、冷却することなく、後のオゾン酸化処理
の対象物質に応じて好適な温度範囲に保持したままで、
たとえば上述した２５℃以上の温度に保持したままで、
オゾンを添加することが、処理効率の面から却って好都
合であることが判明した。
物（たとえば、ＩＰＡ）を、前処理として加熱曝気で取
り除く場合には、続いて、高温のままオゾン処理を行う
必要も生じる。それゆえ、とくにＤＭＳＯの酸化処理特
性の水温による影響を検討した。図６に水温毎のＤＭＳ
Ｏの処理特性を示す。２５℃以上で処理特性の改善が見
られ、とくに４０℃以上で処理した各条件では常温に比
べ、高いＤＭＳＯ除去率が得られた。したがって、前処
理としての加熱曝気によって高温となった廃水をオゾン
酸化処理する際に改めて冷却する必要は全くないことが
判明した。つまり、低沸点化合物の沸点以上に加熱され
た被処理水に、冷却することなく、後のオゾン酸化処理
の対象物質に応じて好適な温度範囲に保持したままで、
たとえば上述した２５℃以上の温度に保持したままで、
オゾンを添加することが、処理効率の面から却って好都
合であることが判明した。
【００３５】さらに、廃水中の初期有機物含有量のオゾ
ン酸化処理への影響を、ＤＭＳＯの場合について調べ
た。図７に示したように高濃度ＤＭＳＯ廃水を処理した
場合、基本的にオゾン添加量に比例して処理が進行して
いる。低濃度域で反応速度の若干の低下がみられるが、
ＤＭＳＯが完全に無くなるまでの処理時間の増加はわず
かである（処理条件：ｐＨ４、水温４０℃）。このよう
に、高濃度廃水ほど、より多くのオゾン添加量を必要と
する。したがって、オゾンの被処理水中への溶解性を上
げることが効率のよい処理にとって必要となるが、オゾ
ンの溶解を促進するためには被処理水の溶存酸素等の脱
気を行うことが有効である。
ン酸化処理への影響を、ＤＭＳＯの場合について調べ
た。図７に示したように高濃度ＤＭＳＯ廃水を処理した
場合、基本的にオゾン添加量に比例して処理が進行して
いる。低濃度域で反応速度の若干の低下がみられるが、
ＤＭＳＯが完全に無くなるまでの処理時間の増加はわず
かである（処理条件：ｐＨ４、水温４０℃）。このよう
に、高濃度廃水ほど、より多くのオゾン添加量を必要と
する。したがって、オゾンの被処理水中への溶解性を上
げることが効率のよい処理にとって必要となるが、オゾ
ンの溶解を促進するためには被処理水の溶存酸素等の脱
気を行うことが有効である。
【００３６】そして、オゾン酸化処理の進行に伴い、被
処理水中の処理対象となる難処理性の物質の含有量は減
少するから、一定量のオゾンを注入し続ける場合、有効
に使用されずに排ガスとともに排出されてくる排オゾン
ガスの量も増加し、オゾン酸化処理が実質的に終了ある
いは終了点に近づくと、その増加も実質的に止まる。こ
のことは、排ガス中の排オゾンガス濃度を監視すること
によって検知できる。例えば図８に示したＤＭＳＯ含有
廃水の実験結果（中性または酸性域での実験）から明ら
かなように、オゾン酸化処理の進行に伴い、ＤＭＳＯが
直接的にＤＭＳＯ2 に酸化され、そのオゾン酸化処理が
実質的に終了した以降では、排ガス中の排オゾンガス濃
度は飽和した値に維持し続けられる。この排オゾンガス
濃度の変曲点を検知すれば、オゾン酸化処理の終了点が
実質的に検知されることになる。
処理水中の処理対象となる難処理性の物質の含有量は減
少するから、一定量のオゾンを注入し続ける場合、有効
に使用されずに排ガスとともに排出されてくる排オゾン
ガスの量も増加し、オゾン酸化処理が実質的に終了ある
いは終了点に近づくと、その増加も実質的に止まる。こ
のことは、排ガス中の排オゾンガス濃度を監視すること
によって検知できる。例えば図８に示したＤＭＳＯ含有
廃水の実験結果（中性または酸性域での実験）から明ら
かなように、オゾン酸化処理の進行に伴い、ＤＭＳＯが
直接的にＤＭＳＯ2 に酸化され、そのオゾン酸化処理が
実質的に終了した以降では、排ガス中の排オゾンガス濃
度は飽和した値に維持し続けられる。この排オゾンガス
濃度の変曲点を検知すれば、オゾン酸化処理の終了点が
実質的に検知されることになる。
【００３７】以上のような実験結果から得られた知見を
実質的にすべて盛り込み、望ましい処理を行うことがで
きるようにした装置が、図１に示した廃水処理装置１で
ある。そこで再び図１に示した難処理性有機物含有廃水
処理装置１を参照しながら、廃水経路の上流側から順に
説明する。
実質的にすべて盛り込み、望ましい処理を行うことがで
きるようにした装置が、図１に示した廃水処理装置１で
ある。そこで再び図１に示した難処理性有機物含有廃水
処理装置１を参照しながら、廃水経路の上流側から順に
説明する。
【００３８】先ず、例えば半導体製造工程からの、難処
理性の物質を含有する廃水２は、低沸点化合物除去装置
３において、加熱装置４により、廃水２中に含有されて
いる低沸点化合物（例えば、ＩＰＡ）の沸点以上に加熱
され、廃水２中の低沸点化合物が加熱曝気により除去さ
れる。低沸点化合物が除去された廃水２が、貯槽５に送
られ、貯槽５内に貯留される。低沸点化合物の除去によ
り、後述のオゾン添加による酸化反応が低沸点化合物に
よっては阻害されないことになり、オゾン酸化処理の効
率が向上される。また、この低沸点化合物除去のための
加熱後には、加熱された廃水を敢えて冷却する必要はな
く、そのままの温度条件にて貯槽５へと送ればよい。と
くにＤＭＳＯを多量に含有する廃水の場合には、前述し
たように、高温での酸化処理の方が少ないオゾン量で高
い処理効率が得られる。
理性の物質を含有する廃水２は、低沸点化合物除去装置
３において、加熱装置４により、廃水２中に含有されて
いる低沸点化合物（例えば、ＩＰＡ）の沸点以上に加熱
され、廃水２中の低沸点化合物が加熱曝気により除去さ
れる。低沸点化合物が除去された廃水２が、貯槽５に送
られ、貯槽５内に貯留される。低沸点化合物の除去によ
り、後述のオゾン添加による酸化反応が低沸点化合物に
よっては阻害されないことになり、オゾン酸化処理の効
率が向上される。また、この低沸点化合物除去のための
加熱後には、加熱された廃水を敢えて冷却する必要はな
く、そのままの温度条件にて貯槽５へと送ればよい。と
くにＤＭＳＯを多量に含有する廃水の場合には、前述し
たように、高温での酸化処理の方が少ないオゾン量で高
い処理効率が得られる。
【００３９】貯槽５に貯留された被処理水としての廃水
２は、ポンプ８により循環ライン７を介して酸化処理装
置（反応塔）９に送られる。酸化処理装置９からの処理
水は循環ライン７を介して貯槽５に戻され、循環中に被
処理水中の難処理性の物質が、酸化処理装置９におい
て、オゾン添加により酸化処理される。本実施態様で
は、ｐＨセンサ１５でそのときのｐＨが検知され、その
信号が制御装置２０に送られ、そのときの処理対象とな
る含有物質の種類に応じて、最適な制御すべきｐＨの信
号が制御装置２０から出力され、その出力信号に基づい
てｐＨ調整装置１０が制御される。つまり、ｐＨ調整装
置１０では、そのときの要求に応じて、被処理水中にＮ
ａＯＨやＨ2 ＳＯ4 等のｐＨ調整用のアルカリや酸が添
加される。したがって、酸化処理装置９ではオゾン発生
器１１からのオゾン添加により被処理水中の含有物質に
対し酸化処理が行われるが、このｐＨ調整により、処理
対象となる物質毎に最適なｐＨへの調整が可能になり、
その最適なｐＨ条件下での酸化処理が行われることにな
る。
２は、ポンプ８により循環ライン７を介して酸化処理装
置（反応塔）９に送られる。酸化処理装置９からの処理
水は循環ライン７を介して貯槽５に戻され、循環中に被
処理水中の難処理性の物質が、酸化処理装置９におい
て、オゾン添加により酸化処理される。本実施態様で
は、ｐＨセンサ１５でそのときのｐＨが検知され、その
信号が制御装置２０に送られ、そのときの処理対象とな
る含有物質の種類に応じて、最適な制御すべきｐＨの信
号が制御装置２０から出力され、その出力信号に基づい
てｐＨ調整装置１０が制御される。つまり、ｐＨ調整装
置１０では、そのときの要求に応じて、被処理水中にＮ
ａＯＨやＨ2 ＳＯ4 等のｐＨ調整用のアルカリや酸が添
加される。したがって、酸化処理装置９ではオゾン発生
器１１からのオゾン添加により被処理水中の含有物質に
対し酸化処理が行われるが、このｐＨ調整により、処理
対象となる物質毎に最適なｐＨへの調整が可能になり、
その最適なｐＨ条件下での酸化処理が行われることにな
る。
【００４０】例えば、被処理水がＤＭＳＯとＡＢＳ（と
くに、ＤＢＳ）を含有している場合についてみるに、半
導体製造工程からの廃水の場合には、通常、ＤＭＳＯが
極めて高濃度で（例えば、３０００ｐｐｍ以上の濃度
で）、ＤＢＳが比較的低濃度で（例えば、５０ｐｐｍ程
度の濃度で）含有されている場合が多い。このようなＤ
ＭＳＯとＤＢＳの共存系の場合、まず、ｐＨをアルカリ
サイド（例えば、ｐＨ１０．５以上）に調整し、アルカ
リ性条件下でオゾン添加による酸化処理を行う。この条
件下では、前述したように、ＤＢＳは、ｐＨが中性や酸
性の場合に比べはるかに効率よく酸化処理される。ま
た、このときには、前述したように、ＤＭＳＯの酸化処
理の効率は必ずしも良くない。したがって、含有量の少
ないＤＢＳに対して最適なｐＨ条件下でまずＤＢＳの酸
化処理を行い、少量のＤＢＳの酸化処理が終了する所定
の短い時間経過後に、今度はｐＨを、未だ大半が未処理
として残存しているＤＭＳＯの酸化処理に最適なｐＨ条
件、つまり、中性あるいは酸性側に調整するのである。
このｐＨ調整によって、ＤＭＳＯの酸化処理が少ないオ
ゾン量で効率よく迅速に行われることになる。
くに、ＤＢＳ）を含有している場合についてみるに、半
導体製造工程からの廃水の場合には、通常、ＤＭＳＯが
極めて高濃度で（例えば、３０００ｐｐｍ以上の濃度
で）、ＤＢＳが比較的低濃度で（例えば、５０ｐｐｍ程
度の濃度で）含有されている場合が多い。このようなＤ
ＭＳＯとＤＢＳの共存系の場合、まず、ｐＨをアルカリ
サイド（例えば、ｐＨ１０．５以上）に調整し、アルカ
リ性条件下でオゾン添加による酸化処理を行う。この条
件下では、前述したように、ＤＢＳは、ｐＨが中性や酸
性の場合に比べはるかに効率よく酸化処理される。ま
た、このときには、前述したように、ＤＭＳＯの酸化処
理の効率は必ずしも良くない。したがって、含有量の少
ないＤＢＳに対して最適なｐＨ条件下でまずＤＢＳの酸
化処理を行い、少量のＤＢＳの酸化処理が終了する所定
の短い時間経過後に、今度はｐＨを、未だ大半が未処理
として残存しているＤＭＳＯの酸化処理に最適なｐＨ条
件、つまり、中性あるいは酸性側に調整するのである。
このｐＨ調整によって、ＤＭＳＯの酸化処理が少ないオ
ゾン量で効率よく迅速に行われることになる。
【００４１】この中性あるいは酸性側へのｐＨ調整は、
ｐＨ調整装置１０において被処理水中にＨ2 ＳＯ4 等の
ｐＨ調整用の酸を添加して強制的に調整することも可能
であるが、ＤＭＳＯの場合には、それまでのアルカリ性
条件下での処理において生成物質としてＭＳＡが生成さ
れ、このＭＳＡが酸性側への移行作用をもつため、単に
それまでのＮａＯＨ等の添加を停止し、ｐＨ調整を停止
するだけで、ｐＨは自然に中性を経て酸性側に下がって
くる。アルカリ性条件下においては、ＯＨラジカルを介
して反応させるため、ラジカル連鎖反応によるＯＨラジ
カルの無効消費やＯＨラジカルに選択性がなくあらゆる
有機物の分解に使用されてしまうことからオゾン使用量
が多くなるが、中性あるいは酸性側でのＤＭＳＯの酸化
反応は、ＭＳＡ生成過程を経ることなくＤＭＳＯが直接
的にＤＭＳＯ2 へと変換される反応であるため、オゾン
使用量も少なくて済み、しかも効率のよい迅速な処理が
可能となる。
ｐＨ調整装置１０において被処理水中にＨ2 ＳＯ4 等の
ｐＨ調整用の酸を添加して強制的に調整することも可能
であるが、ＤＭＳＯの場合には、それまでのアルカリ性
条件下での処理において生成物質としてＭＳＡが生成さ
れ、このＭＳＡが酸性側への移行作用をもつため、単に
それまでのＮａＯＨ等の添加を停止し、ｐＨ調整を停止
するだけで、ｐＨは自然に中性を経て酸性側に下がって
くる。アルカリ性条件下においては、ＯＨラジカルを介
して反応させるため、ラジカル連鎖反応によるＯＨラジ
カルの無効消費やＯＨラジカルに選択性がなくあらゆる
有機物の分解に使用されてしまうことからオゾン使用量
が多くなるが、中性あるいは酸性側でのＤＭＳＯの酸化
反応は、ＭＳＡ生成過程を経ることなくＤＭＳＯが直接
的にＤＭＳＯ2 へと変換される反応であるため、オゾン
使用量も少なくて済み、しかも効率のよい迅速な処理が
可能となる。
【００４２】このように処理対象となる物質に応じて、
最適なｐＨに調整され、その最適なｐＨ条件下でオゾン
添加による酸化処理が行われる。最適なｐＨに調整すべ
き、処理対象となる物質としては各種のものが挙げら
れ、含有されている有機物に応じてアルカリ側、あるい
は中性又は酸性側のいずれにｐＨを調整するか決めれば
よい。例えば、廃水が上記ＤＭＳＯのようなスルホキシ
ド類有機硫黄化合物を含有する廃水である場合には、ｐ
Ｈを中性又は酸性条件下に調整すればよい。また、廃水
がフェノール類に代表されるベンゼン環を有する有機物
を含有する廃水である場合にも、ｐＨを中性または酸性
条件下に調整すればよい。また、廃水がベンゼン環を有
する界面活性剤（例えば、上記ＤＢＳに代表されるＡＢ
Ｓ）を含有する廃水である場合には、ｐＨをアルカリ条
件下に調整することにより高い酸化処理効率が得られ
る。さらに、廃水がアンモニア又はイミノ基又はアミノ
基（第一級から第三級アミンを含む）を有する化合物を
含有する廃水である場合にも、ｐＨをアルカリ条件下に
調整すればよい。なお、フェノールを含有する廃水の場
合には、シュウ酸が生成されるため、前述のＤＭＳＯの
場合と同様、酸性側へ自然に移行されるため、それまで
にアルカリ側へのｐＨ調整を行っている場合には、単に
それまでのｐＨ調整を停止するだけで、ｐＨを自然に中
性を経て酸性側に下げることが可能である。
最適なｐＨに調整され、その最適なｐＨ条件下でオゾン
添加による酸化処理が行われる。最適なｐＨに調整すべ
き、処理対象となる物質としては各種のものが挙げら
れ、含有されている有機物に応じてアルカリ側、あるい
は中性又は酸性側のいずれにｐＨを調整するか決めれば
よい。例えば、廃水が上記ＤＭＳＯのようなスルホキシ
ド類有機硫黄化合物を含有する廃水である場合には、ｐ
Ｈを中性又は酸性条件下に調整すればよい。また、廃水
がフェノール類に代表されるベンゼン環を有する有機物
を含有する廃水である場合にも、ｐＨを中性または酸性
条件下に調整すればよい。また、廃水がベンゼン環を有
する界面活性剤（例えば、上記ＤＢＳに代表されるＡＢ
Ｓ）を含有する廃水である場合には、ｐＨをアルカリ条
件下に調整することにより高い酸化処理効率が得られ
る。さらに、廃水がアンモニア又はイミノ基又はアミノ
基（第一級から第三級アミンを含む）を有する化合物を
含有する廃水である場合にも、ｐＨをアルカリ条件下に
調整すればよい。なお、フェノールを含有する廃水の場
合には、シュウ酸が生成されるため、前述のＤＭＳＯの
場合と同様、酸性側へ自然に移行されるため、それまで
にアルカリ側へのｐＨ調整を行っている場合には、単に
それまでのｐＨ調整を停止するだけで、ｐＨを自然に中
性を経て酸性側に下げることが可能である。
【００４３】また、とくに複数種の処理対象物質を含有
する廃水である場合、上述のＤＭＳＯとＤＢＳ含有廃水
の場合のように、そのときの要求に応じて、各含有物質
に対し最も効率のよく酸化処理を行うことのできる最適
なｐＨに調整し、そのｐＨ条件をそのときの物質含有状
態に応じて、順次変更調整していけばよい。
する廃水である場合、上述のＤＭＳＯとＤＢＳ含有廃水
の場合のように、そのときの要求に応じて、各含有物質
に対し最も効率のよく酸化処理を行うことのできる最適
なｐＨに調整し、そのｐＨ条件をそのときの物質含有状
態に応じて、順次変更調整していけばよい。
【００４４】このような最適なｐＨ条件下で廃水が酸化
処理されることにより、実質的に必要最小限のオゾン添
加量で、目標とする酸化処理、つまり、生物処理を容易
に行うことができるまでの酸化処理を行うことができる
ようになる。その結果、本発明に係るオゾン処理では、
ランニングコストを低減することができる。
処理されることにより、実質的に必要最小限のオゾン添
加量で、目標とする酸化処理、つまり、生物処理を容易
に行うことができるまでの酸化処理を行うことができる
ようになる。その結果、本発明に係るオゾン処理では、
ランニングコストを低減することができる。
【００４５】図９において、従来の他の方法と本発明に
係る方法との運転コストの比較を行った。１００００ｍ
ｇ／ｌのＤＭＳＯ廃水を２ｍ3 ／日処理する場合につい
て比較した場合、廃水を産業廃棄物として処理する場合
と比べると、本発明に係る方法では年間２７．１百万円
の運転コスト削減となり、紫外線／過酸化水素処理法
（ＵＶ／Ｈ2 Ｏ2 処理法）に対しても年間８．１百万円
の運転コスト削減となった。オゾン処理のランニングコ
スト比は、産業廃棄物として処理するためのコストの１
／１７程度であり、従来のＵＶ／Ｈ2 Ｏ2 処理の１／６
程度となる。また、オゾン処理法の運転コストは、ＵＶ
／Ｈ2 Ｏ2 処理法によって処理を行った場合に対して、
廃水濃度が高い程コストメリットは大きくなる。さら
に、ＵＶ／Ｈ 2 Ｏ2 処理法と比べると、オゾン処理は着
色・濁度廃水やフッ素を含む廃水に対しても、ＵＶ／Ｈ
2 Ｏ2 処理のように濁りによる光の吸収を受けない、フ
ッ素による材質の腐食を受けない等の利点もある。
係る方法との運転コストの比較を行った。１００００ｍ
ｇ／ｌのＤＭＳＯ廃水を２ｍ3 ／日処理する場合につい
て比較した場合、廃水を産業廃棄物として処理する場合
と比べると、本発明に係る方法では年間２７．１百万円
の運転コスト削減となり、紫外線／過酸化水素処理法
（ＵＶ／Ｈ2 Ｏ2 処理法）に対しても年間８．１百万円
の運転コスト削減となった。オゾン処理のランニングコ
スト比は、産業廃棄物として処理するためのコストの１
／１７程度であり、従来のＵＶ／Ｈ2 Ｏ2 処理の１／６
程度となる。また、オゾン処理法の運転コストは、ＵＶ
／Ｈ2 Ｏ2 処理法によって処理を行った場合に対して、
廃水濃度が高い程コストメリットは大きくなる。さら
に、ＵＶ／Ｈ 2 Ｏ2 処理法と比べると、オゾン処理は着
色・濁度廃水やフッ素を含む廃水に対しても、ＵＶ／Ｈ
2 Ｏ2 処理のように濁りによる光の吸収を受けない、フ
ッ素による材質の腐食を受けない等の利点もある。
【００４６】図１において、酸化処理装置９でオゾンに
より酸化処理された処理水は、循環ライン７を介して再
び貯水５へと戻されるが、このライン中に設けられた脱
気器１６によって処理水中から脱気されることにより、
循環される水中へのオゾン溶解度が高められ、酸化処理
装置９でのオゾン溶解度が高められて、オゾンによる酸
化処理の効率がより高められるとともに、オゾン添加量
をより低減することが可能になる。
より酸化処理された処理水は、循環ライン７を介して再
び貯水５へと戻されるが、このライン中に設けられた脱
気器１６によって処理水中から脱気されることにより、
循環される水中へのオゾン溶解度が高められ、酸化処理
装置９でのオゾン溶解度が高められて、オゾンによる酸
化処理の効率がより高められるとともに、オゾン添加量
をより低減することが可能になる。
【００４７】また、酸化処理装置９において添加される
オゾンの消費量は、処理対象となっている物質の処理が
終了すると飽和してくるが、この終了状態は前述の如く
酸化処理装置９へ添加される既知のオゾン濃度に対し酸
化処理装置９からの排ガス中の排オゾンガス濃度の変
化、とくに排オゾンガス濃度の飽和によって検知可能で
ある。図１に示した装置では、排ガスライン１３に設け
られた排オゾンガス濃度計１４によって検知され、その
検知信号が制御装置２０に送られ、目標とする処理が終
了したこと、つまり、生物処理が容易になるまで充分に
酸化処理されたことが把握される。したがって、それ以
上余分なオゾンの添加を停止することが可能になり、こ
の面からも、オゾンの使用量の低減が可能になる。
オゾンの消費量は、処理対象となっている物質の処理が
終了すると飽和してくるが、この終了状態は前述の如く
酸化処理装置９へ添加される既知のオゾン濃度に対し酸
化処理装置９からの排ガス中の排オゾンガス濃度の変
化、とくに排オゾンガス濃度の飽和によって検知可能で
ある。図１に示した装置では、排ガスライン１３に設け
られた排オゾンガス濃度計１４によって検知され、その
検知信号が制御装置２０に送られ、目標とする処理が終
了したこと、つまり、生物処理が容易になるまで充分に
酸化処理されたことが把握される。したがって、それ以
上余分なオゾンの添加を停止することが可能になり、こ
の面からも、オゾンの使用量の低減が可能になる。
【００４８】このように排オゾンガス濃度計１４によっ
て目標とするオゾン酸化処理が終了したことが検知され
ると、制御装置２０からの指令に基づき、電磁弁１８、
１９が切り替えられ、処理水が生物処理装置１７に送ら
れる。送られる処理水には、難処理性の物質は実質的に
含有されておらず、容易に生物処理される生成物質のみ
が含有されていることになる。この生物処理により、放
流可能な、あるいは回収使用可能な処理水へと処理され
る。生物処理装置１７としては、従来から周知の一般的
な仕様の装置を使用できる。
て目標とするオゾン酸化処理が終了したことが検知され
ると、制御装置２０からの指令に基づき、電磁弁１８、
１９が切り替えられ、処理水が生物処理装置１７に送ら
れる。送られる処理水には、難処理性の物質は実質的に
含有されておらず、容易に生物処理される生成物質のみ
が含有されていることになる。この生物処理により、放
流可能な、あるいは回収使用可能な処理水へと処理され
る。生物処理装置１７としては、従来から周知の一般的
な仕様の装置を使用できる。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る廃水
処理方法および装置によれば、廃水中に含有されている
物質の種類に応じて最適のｐＨ条件下でオゾン酸化処理
を行うようにしたので、少ないオゾン量で極めて効率よ
く目標とする酸化処理を行うことができ、今まで一般的
な生物処理が適用できなかった含有物質でも、オゾン処
理によって有害な物質を副生成せずに生物処理が容易な
物質とすることができる。この本発明に係る廃水処理方
法および装置は、その優れた処理性能とともに装置面、
コスト面からも現実に実施可能なものであり、本発明に
より、とくに半導体製造工程からの難処理性物質含有廃
水の処理に極めて有効な技術を提供することができる。
処理方法および装置によれば、廃水中に含有されている
物質の種類に応じて最適のｐＨ条件下でオゾン酸化処理
を行うようにしたので、少ないオゾン量で極めて効率よ
く目標とする酸化処理を行うことができ、今まで一般的
な生物処理が適用できなかった含有物質でも、オゾン処
理によって有害な物質を副生成せずに生物処理が容易な
物質とすることができる。この本発明に係る廃水処理方
法および装置は、その優れた処理性能とともに装置面、
コスト面からも現実に実施可能なものであり、本発明に
より、とくに半導体製造工程からの難処理性物質含有廃
水の処理に極めて有効な技術を提供することができる。
【００５０】前述したように、本発明に係る技術におい
ては、コストパフォーマンスは廃水濃度が高い程有利で
あり、１％の高濃度ＤＭＳＯ廃水を処理する場合、オゾ
ン処理のランニングコストは、従来のＵＶ／Ｈ2 Ｏ2 処
理の１／６程度であり、産業廃棄物として処理するため
のコストと比較すると実に１／１７程度となり、極めて
大きなコスト低減効果が得られる。
ては、コストパフォーマンスは廃水濃度が高い程有利で
あり、１％の高濃度ＤＭＳＯ廃水を処理する場合、オゾ
ン処理のランニングコストは、従来のＵＶ／Ｈ2 Ｏ2 処
理の１／６程度であり、産業廃棄物として処理するため
のコストと比較すると実に１／１７程度となり、極めて
大きなコスト低減効果が得られる。
【００５１】またＵＶ／Ｈ2 Ｏ2 処理の適用が難しい着
色・濁度廃水やフッ素を含む有機廃水にも容易に適用で
き、対象廃水の種類、適用濃度範囲が広い。
色・濁度廃水やフッ素を含む有機廃水にも容易に適用で
き、対象廃水の種類、適用濃度範囲が広い。
【００５２】本発明に係る技術は環境負荷の低減のみな
らずコスト削減にも極めて有効である。また、本発明に
係る技術は原理自体が難処理性物質の分解技術として非
常に汎用性が高く、この技術によれば、半導体製造工程
からの廃水の処理のみならず、広い分野において低コス
トでの水の処理またはリサイクルまでも可能である。
らずコスト削減にも極めて有効である。また、本発明に
係る技術は原理自体が難処理性物質の分解技術として非
常に汎用性が高く、この技術によれば、半導体製造工程
からの廃水の処理のみならず、広い分野において低コス
トでの水の処理またはリサイクルまでも可能である。
【図１】本発明の一実施態様に係る廃水処理装置の機器
系統図である。
系統図である。
【図２】本発明の技術思想の有効性を確認するために行
った実験における一特性図である。
った実験における一特性図である。
【図３】本発明の技術思想の有効性を確認するために行
った実験における別の特性図である。
った実験における別の特性図である。
【図４】本発明の技術思想の有効性を確認するために行
った実験におけるさらに別の特性図である。
った実験におけるさらに別の特性図である。
【図５】本発明の技術思想の有効性を確認するために行
った実験におけるさらに別の特性図である。
った実験におけるさらに別の特性図である。
【図６】本発明の技術思想の有効性を確認するために行
った実験におけるさらに別の特性図である。
った実験におけるさらに別の特性図である。
【図７】本発明の技術思想の有効性を確認するために行
った実験におけるさらに別の特性図である。
った実験におけるさらに別の特性図である。
【図８】本発明の技術思想の有効性を確認するために行
った実験におけるさらに別の特性図である。
った実験におけるさらに別の特性図である。
【図９】本発明による運転コスト低減効果を試算した特
性図である。
性図である。
１ 廃水処理装置 ２ 廃水 ３ 低沸点化合物除去装置 ４ 加熱装置 ５ 貯槽 ６ 排ガス排出管 ７ 循環ライン ８ ポンプ ９ 酸化処理装置 １０ ｐＨ調整装置 １１ オゾン発生器 １２ 乾燥空気 １３ 排ガスライン １４ 排オゾンガス濃度計 １５ ｐＨセンサ １６ 脱気器 １７ 生物処理装置 １８、１９ 電磁弁 ２０ 制御装置 ２１ 入力情報
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多以良 務 東京都港区芝５丁目７番１号 日本電気株 式会社内 (72)発明者 田中 順 東京都江東区新砂１丁目２番８号 オルガ ノ株式会社内 (72)発明者 吉田 重人 東京都江東区新砂１丁目２番８号 オルガ ノ株式会社内 Ｆターム(参考） 4D027 CA00 4D050 AA13 AB02 AB04 AB15 AB17 AB18 AB35 BB02 BC10 BD02 BD06 BD08 CA01 CA03 CA13 CA17
Claims (19)
- 【請求項１】 臭気発生、発泡性、微生物毒性等により
生物処理が困難な物質を含有する廃水に対して、処理対
象となる物質毎に最適なｐＨに調整し、オゾンを添加す
ることにより被処理水中の物質を酸化処理することを特
徴とする廃水処理方法。 - 【請求項２】 廃水がスルホキシド類有機硫黄化合物を
含有する廃水であり、ｐＨを中性又は酸性条件下に調整
し、オゾンを添加することにより被処理水中の化合物を
酸化処理する工程を含む、請求項１の廃水処理方法。 - 【請求項３】 廃水がフェノール類に代表されるベンゼ
ン環を有する有機物を含有する廃水であり、ｐＨを中性
または酸性条件下に調整し、オゾンを添加することによ
り被処理水中の有機物を酸化処理する工程を含む、請求
項１の廃水処理方法。 - 【請求項４】 廃水がベンゼン環を有する界面活性剤を
含有する廃水であり、ｐＨをアルカリ条件下に調整し、
オゾンを添加することにより被処理水中の界面活性剤を
酸化処理する工程を含む、請求項１の廃水処理方法。 - 【請求項５】 廃水がアンモニア又はイミノ基又はアミ
ノ基（第一級から第三級アミンを含む）を有する化合物
を含有する廃水であり、ｐＨをアルカリ条件下に調整
し、オゾンを添加することにより被処理水中の物質を酸
化処理する工程を含む、請求項１の廃水処理方法。 - 【請求項６】 ｐＨを１０．５以上に調整する、請求項
４または５の廃水処理方法。 - 【請求項７】 廃水が請求項２ないし５のいずれか２項
以上に記載の物質を含有する廃水であり、処理対象とな
る物質毎に最適なｐＨに順次調整し、オゾンを添加する
ことにより被処理水中の物質を酸化処理することを特徴
とする、請求項２ないし６のいずれかに記載の廃水処理
方法。 - 【請求項８】 オゾン添加による酸化処理工程で廃水中
の物質を生物処理が容易になるまで酸化処理した後、処
理水中の生成物質をさらに生物処理により分解し、処理
することを特徴とする、請求項１ないし７のいずれかに
記載の廃水処理方法。 - 【請求項９】 前段で、被処理水中に含有されている低
沸点化合物をその沸点以上に加熱することにより予め除
去する、請求項１ないし８のいずれかに記載の廃水処理
方法。 - 【請求項１０】 加熱された被処理水が２５℃以上の温
度を保持している間にオゾンを添加する、請求項９の廃
水処理方法。 - 【請求項１１】 オゾンの溶解を促進するために被処理
水の脱気を行う、請求項１ないし１０のいずれかに記載
の廃水処理方法。 - 【請求項１２】 オゾン添加による酸化処理工程におい
て、既知の添加ガス濃度の下で、排出される排ガスの排
オゾンガス濃度を測定し、排オゾンガス濃度の変化から
酸化反応の終点を判定する、請求項１ないし１１のいず
れかに記載の廃水処理方法。 - 【請求項１３】 臭気発生、発泡性、微生物毒性等によ
り生物処理が困難な物質を含有する廃水の処理装置であ
って、被処理水を貯留する貯槽と、処理対象となる物質
毎に最適なｐＨに調整する手段と、被処理水中の物質を
オゾンを添加することにより酸化処理する酸化処理手段
と、貯槽からの被処理水を酸化処理手段に導入し、酸化
処理手段からの処理水を貯槽に戻す循環ラインとを有す
ることを特徴とする廃水処理装置。 - 【請求項１４】 前記ｐＨ調整手段により調整されるべ
き最適なｐＨの指令信号を、酸化処理手段による処理の
進行に応じて順次発する制御手段を有する、請求項１３
の廃水処理装置。 - 【請求項１５】 後段に、前記酸化処理手段により含有
物質が生物処理が容易になるまで酸化処理された処理水
中の生成物質をさらに分解処理する生物処理手段が接続
されている、請求項１３または１４の廃水処理装置。 - 【請求項１６】 前段に、被処理水中に含有されている
低沸点化合物をその沸点以上に加熱することにより除去
する手段が設けられている、請求項１３ないし１５のい
ずれかに記載の廃水処理装置。 - 【請求項１７】 前記循環ライン中に、オゾンの溶解を
促進する脱気手段が設けられている、請求項１３ないし
１６のいずれかに記載の廃水処理装置。 - 【請求項１８】 前記循環ライン中又は前記酸化処理手
段の上部に排ガスラインが接続され、該排ガスラインに
排オゾンガス濃度計が設けられている、請求項１３ない
し１７のいずれかに記載の廃水処理装置。 - 【請求項１９】 酸化処理手段の運転を前記排オゾンガ
ス濃度計の信号に基づいて制御する手段が設けられてい
る、請求項１８の廃水処理装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28616999A JP2001104971A (ja) | 1999-10-07 | 1999-10-07 | 廃水処理方法および装置 |
| TW89120622A TW487686B (en) | 1999-10-07 | 2000-10-04 | Method of treating waste water and apparatus therefor |
| KR1020000058240A KR100741351B1 (ko) | 1999-10-07 | 2000-10-04 | 폐수처리방법 및 장치 |
| GB0024708A GB2359302A (en) | 1999-10-07 | 2000-10-09 | Treatment of waste water with ozone |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28616999A JP2001104971A (ja) | 1999-10-07 | 1999-10-07 | 廃水処理方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001104971A true JP2001104971A (ja) | 2001-04-17 |
Family
ID=17700844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28616999A Pending JP2001104971A (ja) | 1999-10-07 | 1999-10-07 | 廃水処理方法および装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001104971A (ja) |
| KR (1) | KR100741351B1 (ja) |
| GB (1) | GB2359302A (ja) |
| TW (1) | TW487686B (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005224771A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 排水処理装置 |
| JP2005324118A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Kurita Water Ind Ltd | 水処理方法及び水処理装置 |
| JP2009221638A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Oji Paper Co Ltd | クラフトパルプの製造方法 |
| JP2013188722A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Toshiba Corp | アミン分解方法 |
| CN104003545A (zh) * | 2013-11-12 | 2014-08-27 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种油田集中式压裂废水处理工艺 |
| JP2016150316A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | 千代田化工建設株式会社 | 水処理方法 |
| KR101789528B1 (ko) * | 2017-01-19 | 2017-10-26 | 주식회사 도원엔바이로 | 난분해성 유기 폐수 처리시스템 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030061227A (ko) * | 2002-01-11 | 2003-07-18 | 한국전력공사 | 오존을 이용한 탈황폐수의 처리방법 |
| JP4983011B2 (ja) * | 2005-12-01 | 2012-07-25 | 栗田工業株式会社 | 界面活性剤含有水の処理方法および処理装置 |
| ES2296511B1 (es) * | 2006-03-22 | 2009-03-16 | Jesus Manuel Taboada Presedo | Instalacion para la esterilizacion de la salmuera procedente de la conservacion de productos agricolas, conservas de pescados y cueros. |
| JP5135697B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2013-02-06 | 栗田工業株式会社 | 界面活性剤含有排水の処理方法 |
| KR100944725B1 (ko) * | 2007-12-07 | 2010-02-26 | 엄환섭 | 오존과 산성도 증가에 의한 바닷물속의 미생물 제거 방법 |
| US9126855B2 (en) | 2012-06-14 | 2015-09-08 | Air Products And Chemicals, Inc. | Methods for using ozone to enhance anaerobic digestion |
| CN110937765A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-03-31 | 中海油天津化工研究设计院有限公司 | 一种分段式臭氧组合bfa深度处理难降解有机废水的方法 |
| CN111792751A (zh) * | 2020-06-18 | 2020-10-20 | 神马实业股份有限公司 | 一种己内酰胺生产废水的处理方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55147193A (en) * | 1979-05-07 | 1980-11-15 | Mitsubishi Electric Corp | Treatment process for waste water containing thiosulfate |
| JPS58104693A (ja) * | 1981-11-13 | 1983-06-22 | Kanagawaken | 廃水及び用水の光オゾン処理法 |
| DE4244482A1 (de) * | 1992-12-30 | 1994-07-07 | Solvay Deutschland | Verfahren zur Abwasserbehandlung |
| DE4314108A1 (de) * | 1993-04-29 | 1994-11-03 | Solvay Deutschland | Verfahren zur Behandlung von organische und anorganische Verbindungen enthaltenden Abwässern, vorzugsweise aus der Epichlorhydrin-Herstellung |
| US6007726A (en) * | 1998-04-29 | 1999-12-28 | Nalco Chemical Company | Stable oxidizing bromine formulations, methods of manufacture thereof and methods of use for microbiofouling control |
| DE50005436D1 (de) * | 1999-06-18 | 2004-04-01 | Bayer Ag | Verfahren zum abbau organischer verbindungen in wasser |
-
1999
- 1999-10-07 JP JP28616999A patent/JP2001104971A/ja active Pending
-
2000
- 2000-10-04 TW TW89120622A patent/TW487686B/zh active
- 2000-10-04 KR KR1020000058240A patent/KR100741351B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-10-09 GB GB0024708A patent/GB2359302A/en not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005224771A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 排水処理装置 |
| US8562828B2 (en) | 2004-02-16 | 2013-10-22 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Wastewater treatment apparatus |
| JP2005324118A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Kurita Water Ind Ltd | 水処理方法及び水処理装置 |
| JP2009221638A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Oji Paper Co Ltd | クラフトパルプの製造方法 |
| JP2013188722A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Toshiba Corp | アミン分解方法 |
| CN104003545A (zh) * | 2013-11-12 | 2014-08-27 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种油田集中式压裂废水处理工艺 |
| CN104003545B (zh) * | 2013-11-12 | 2016-01-06 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种油田集中式压裂废水处理工艺 |
| JP2016150316A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | 千代田化工建設株式会社 | 水処理方法 |
| KR101789528B1 (ko) * | 2017-01-19 | 2017-10-26 | 주식회사 도원엔바이로 | 난분해성 유기 폐수 처리시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2359302A (en) | 2001-08-22 |
| TW487686B (en) | 2002-05-21 |
| KR20010050843A (ko) | 2001-06-25 |
| KR100741351B1 (ko) | 2007-07-20 |
| GB0024708D0 (en) | 2000-11-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001104971A (ja) | 廃水処理方法および装置 | |
| Hermosilla et al. | The application of advanced oxidation technologies to the treatment of effluents from the pulp and paper industry: a review | |
| Aplin et al. | Comparison of three advanced oxidation processes for degradation of textile dyes | |
| Beltrán et al. | pH sequential ozonation of domestic and wine-distillery wastewaters | |
| JPH11290878A (ja) | Ｔｏｃ成分除去の制御方法 | |
| CA3049269A1 (en) | A system and process for treating water | |
| KR101476864B1 (ko) | 유기물 제거 방법 및 장치 | |
| US6780223B2 (en) | Method and apparatus for treating an exhaust gas containing volatile organic compounds | |
| Koito et al. | A novel treatment technique for DMSO wastewater | |
| Thanh et al. | Removal of non-biodegradable organic matters from membrane bioreactor permeate by oxidation processes | |
| JPH0531490A (ja) | 有機性汚水の生物処理方法 | |
| JP2007222766A (ja) | 熱分解ガスの処理方法 | |
| JP4488396B2 (ja) | 廃水処理方法 | |
| JP2000288547A (ja) | 廃水の浄化処理方法及びその装置 | |
| JPH1157753A (ja) | Ｔｏｃ成分の除去方法及び装置 | |
| KR20010051550A (ko) | 생물학적으로 거의 분해가 되지 않는 폐수를 처리하면서오존을 감소시킬 수 있는 방법 및 장치 | |
| JPH10314763A (ja) | 有機物含有廃液の処理方法 | |
| CN214060130U (zh) | 一种采用臭氧氧化的废水处理设备 | |
| JP4282962B2 (ja) | 廃水の中和処理方法 | |
| JP2002126730A (ja) | 排水処理装置及び処理方法 | |
| KR100345728B1 (ko) | 암모니아 탈기법을 이용한 코크스 폐수중 질소화합물 제거방법 | |
| Wen et al. | Degradation of DMSO in aqueous solutions by the Fenton reaction based advanced oxidation processes | |
| Dhale et al. | Subcritical mineralization of sodium salt of dodecyl benzene sulfonate using sonication—wet oxidation (soniwo) technique | |
| JP4508317B2 (ja) | ジメチルスルホキシド含有排水の処理方法及び処理装置 | |
| EP1149946A1 (en) | Treatment of pulp mill condensate with ozone |