JP2001089225A - イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体およびその原料の製造方法 - Google Patents
イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体およびその原料の製造方法Info
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- JP2001089225A JP2001089225A JP2000217024A JP2000217024A JP2001089225A JP 2001089225 A JP2001089225 A JP 2001089225A JP 2000217024 A JP2000217024 A JP 2000217024A JP 2000217024 A JP2000217024 A JP 2000217024A JP 2001089225 A JP2001089225 A JP 2001089225A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 原料としてα型の酸化アルミニウムを用いる
ことなく、かつ仮焼工程なしに、高密度のＹＡＧ焼結体
を与え得る焼結体用粉末、顆粒、スラリーまたは成形体
の製造方法を提供する。 【解決手段】 酸化イットリウムまたはその前駆体とα
型の酸化アルミニウムを除く酸化アルミニウムまたはそ
の前駆体とをイットリウムとアルミニウムの原子比で３
／４．７〜３／５．２となるように衝撃値３Ｇ〜５０Ｇ
の条件下で混合する。
ことなく、かつ仮焼工程なしに、高密度のＹＡＧ焼結体
を与え得る焼結体用粉末、顆粒、スラリーまたは成形体
の製造方法を提供する。 【解決手段】 酸化イットリウムまたはその前駆体とα
型の酸化アルミニウムを除く酸化アルミニウムまたはそ
の前駆体とをイットリウムとアルミニウムの原子比で３
／４．７〜３／５．２となるように衝撃値３Ｇ〜５０Ｇ
の条件下で混合する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、イットリウム−ア
ルミニウム−ガーネット焼結体の製造方法およびそれに
用いる粉末、顆粒、スラリーまたは成形体の製造方法に
関するものである。詳細には、緻密なイットリウム−ア
ルミニウム−ガーネット焼結体を製造する方法、そのた
めに用いる粉末を、仮焼工程を経ることなく、製造する
方法、さらにはその粉末を用いる顆粒、スラリーまたは
成形体を製造する方法に関するものである。
ルミニウム−ガーネット焼結体の製造方法およびそれに
用いる粉末、顆粒、スラリーまたは成形体の製造方法に
関するものである。詳細には、緻密なイットリウム−ア
ルミニウム−ガーネット焼結体を製造する方法、そのた
めに用いる粉末を、仮焼工程を経ることなく、製造する
方法、さらにはその粉末を用いる顆粒、スラリーまたは
成形体を製造する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、組成式Ｙ3Ａｌ5Ｏ12で示されるイ
ットリウム−アルミニウム−ガーネット（以下、「ＹＡ
Ｇ」と称する。）の高密度焼結体は、その結晶形が立方
晶であり、粒界散乱が起こりにくいことから、レーザー
用NdドープYAG単結晶の代替やハロゲンランプ用チュー
ブ等の透光性を有するセラミックスを目標に開発が進め
られてきた。また近年では、半導体製造装置におけるハ
ロゲン系腐食性ガス雰囲気のプラズマに対する耐食性部
材としての用途が広がりつつある（例えば、特開平１０
−２３６８７１号公報）。この用途では、透光性は特に
要求されないものの、安価であって、かつ高密度なＹＡ
Ｇ焼結体が求められている。
ットリウム−アルミニウム−ガーネット（以下、「ＹＡ
Ｇ」と称する。）の高密度焼結体は、その結晶形が立方
晶であり、粒界散乱が起こりにくいことから、レーザー
用NdドープYAG単結晶の代替やハロゲンランプ用チュー
ブ等の透光性を有するセラミックスを目標に開発が進め
られてきた。また近年では、半導体製造装置におけるハ
ロゲン系腐食性ガス雰囲気のプラズマに対する耐食性部
材としての用途が広がりつつある（例えば、特開平１０
−２３６８７１号公報）。この用途では、透光性は特に
要求されないものの、安価であって、かつ高密度なＹＡ
Ｇ焼結体が求められている。
【0003】耐食性部材用途に適用できる高密度なＹＡＧ焼
結体を提供し得る焼結体用粉末の製造方法として、各種
の方法が提案されている。
結体を提供し得る焼結体用粉末の製造方法として、各種
の方法が提案されている。
【0004】例えば、酸化イットリウムと酸化アルミニウム
を混合した後、この混合物を約１５００℃で仮焼する方
法、硫酸イットリウムと硫酸アルミニウムとの混合水溶
液をスプレー乾燥した後、この乾燥物を約１３００℃で
仮焼する方法（G. de. With 他、Mat. Res. Bull. Vol.
19, p.1669 (1984)）、イットリウムとアルミニウムと
を含有する水溶液を硫酸イオン存在下、尿素で中和し、
得られた沈殿物を洗浄、乾燥した後、この乾燥物を仮焼
する方法（特許第２７９６６３２号公報）、塩化イット
リウムのようなイットリウム化合物の溶液と水酸化アル
ミニウム粉末とを混合し、この混合物を中和して沈殿物
を生成させた後、得られた沈殿物を仮焼し、この仮焼品
を粉砕する方法（特開平８−１８３６１３号公報）があ
る。
を混合した後、この混合物を約１５００℃で仮焼する方
法、硫酸イットリウムと硫酸アルミニウムとの混合水溶
液をスプレー乾燥した後、この乾燥物を約１３００℃で
仮焼する方法（G. de. With 他、Mat. Res. Bull. Vol.
19, p.1669 (1984)）、イットリウムとアルミニウムと
を含有する水溶液を硫酸イオン存在下、尿素で中和し、
得られた沈殿物を洗浄、乾燥した後、この乾燥物を仮焼
する方法（特許第２７９６６３２号公報）、塩化イット
リウムのようなイットリウム化合物の溶液と水酸化アル
ミニウム粉末とを混合し、この混合物を中和して沈殿物
を生成させた後、得られた沈殿物を仮焼し、この仮焼品
を粉砕する方法（特開平８−１８３６１３号公報）があ
る。
【0005】しかし、これらの方法では、１０００℃以上の
高温で、アルミニウム−イットリウム含有物質を仮焼す
る工程があり、そのためには仮焼装置が必要となる。ま
た、焼結体用粉末製造のためのエネルギー消費が多くな
る傾向があった。
高温で、アルミニウム−イットリウム含有物質を仮焼す
る工程があり、そのためには仮焼装置が必要となる。ま
た、焼結体用粉末製造のためのエネルギー消費が多くな
る傾向があった。
【0006】一方、仮焼を行うことなしにＹＡＧ焼結体用粉
末を得る方法が提案されている。例えば、真密度５．０
３ｇ／ｃｍ3の酸化イットリウム粉末と純度９９重量％
以上、真密度３．９９ｇ／ｃｍ3の酸化アルミニウム粉
末とを湿式混合する方法（特開平３−２１８９６３号公
報）がある。
末を得る方法が提案されている。例えば、真密度５．０
３ｇ／ｃｍ3の酸化イットリウム粉末と純度９９重量％
以上、真密度３．９９ｇ／ｃｍ3の酸化アルミニウム粉
末とを湿式混合する方法（特開平３−２１８９６３号公
報）がある。
【0007】この真密度３．９９ｇ／ｃｍ3の酸化アルミニ
ウムとは、α型の酸化アルミニウムのことであり、通
常、水酸化アルミニウムを１２００℃以上の高温で焼成
することによって得られるものである。この公報に記載
の方法は、焼結体用粉末の製造原料として、このような
高温で焼成したα型の酸化アルミニウムを用いるため、
原料の調製コストが高くなる問題があった。また、この
ようなα型の酸化アルミニウムを用いた酸化イットリウ
ムとの湿式混合には長時間を要することから、生産性が
十分ではなかった。
ウムとは、α型の酸化アルミニウムのことであり、通
常、水酸化アルミニウムを１２００℃以上の高温で焼成
することによって得られるものである。この公報に記載
の方法は、焼結体用粉末の製造原料として、このような
高温で焼成したα型の酸化アルミニウムを用いるため、
原料の調製コストが高くなる問題があった。また、この
ようなα型の酸化アルミニウムを用いた酸化イットリウ
ムとの湿式混合には長時間を要することから、生産性が
十分ではなかった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、原料
としてα型の酸化アルミニウムを用いることなく、かつ
仮焼工程なしに、高密度のＹＡＧ焼結体を与え得る焼結
体用粉末の製造方法を提供し、さらにはそれを用いて、
ＹＡＧ焼結体とするための顆粒、スラリーまたは成形体
の製造方法を提供することにある。また、本発明の他の
課題は、これらの原料を用いて、高密度のＹＡＧ焼結体
を製造する方法を提供することにある。
としてα型の酸化アルミニウムを用いることなく、かつ
仮焼工程なしに、高密度のＹＡＧ焼結体を与え得る焼結
体用粉末の製造方法を提供し、さらにはそれを用いて、
ＹＡＧ焼結体とするための顆粒、スラリーまたは成形体
の製造方法を提供することにある。また、本発明の他の
課題は、これらの原料を用いて、高密度のＹＡＧ焼結体
を製造する方法を提供することにある。
【0009】本発明者等は、ＹＡＧ焼結体用途に適した粉末
の製造方法について鋭意検討を行った結果、本発明を完
成するに至った。
の製造方法について鋭意検討を行った結果、本発明を完
成するに至った。
【0010】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の第１
は、酸化イットリウムまたはその前駆体とα型の酸化ア
ルミニウムを除く酸化アルミニウムまたはその前駆体と
を、イットリウムとアルミニウムの原子比で３／４．７
〜３／５．２となるように、衝撃値３Ｇ〜５０Ｇの条件
下で、混合することを特徴とするＹＡＧ焼結体用粉末の
製造方法を提供するものである。
は、酸化イットリウムまたはその前駆体とα型の酸化ア
ルミニウムを除く酸化アルミニウムまたはその前駆体と
を、イットリウムとアルミニウムの原子比で３／４．７
〜３／５．２となるように、衝撃値３Ｇ〜５０Ｇの条件
下で、混合することを特徴とするＹＡＧ焼結体用粉末の
製造方法を提供するものである。
【0011】本発明の第２は、上記第１の方法により得られ
る粉末を造粒することを特徴とするＹＡＧ焼結体用顆粒
の製造方法を提供するものである。
る粉末を造粒することを特徴とするＹＡＧ焼結体用顆粒
の製造方法を提供するものである。
【0012】本発明の第３は、上記第１の方法により得られ
る粉末と分散媒とを混合することを特徴とするＹＡＧ焼
結体用スラリーの製造方法を提供するものである。
る粉末と分散媒とを混合することを特徴とするＹＡＧ焼
結体用スラリーの製造方法を提供するものである。
【0013】本発明の第４は、上記第１の方法により得られ
る粉末を成形することを特徴とするＹＡＧ焼結体用成形
体の製造方法を提供するものである。
る粉末を成形することを特徴とするＹＡＧ焼結体用成形
体の製造方法を提供するものである。
【0014】本発明の第５は、上記第１の方法により得られ
る粉末を成形した後、１５００℃〜１８５０℃で焼結す
ることを特徴とするＹＡＧ焼結体の製造方法を提供する
ものである。この方法によれば、高密度の、例えば、相
対密度（ＹＡＧ焼結体の理論密度４．５５ｇ／ｃｍ3に
対する焼結密度の比率を表す。）が９８％以上のＹＡＧ
焼結体を製造することができる。
る粉末を成形した後、１５００℃〜１８５０℃で焼結す
ることを特徴とするＹＡＧ焼結体の製造方法を提供する
ものである。この方法によれば、高密度の、例えば、相
対密度（ＹＡＧ焼結体の理論密度４．５５ｇ／ｃｍ3に
対する焼結密度の比率を表す。）が９８％以上のＹＡＧ
焼結体を製造することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明では、ＹＡＧの原料として、酸化イットリウムま
たはその前駆体と酸化アルミニウムまたはその前駆体が
用いられる。ここでいう酸化イットリウム前駆体とは、
空気中、１５００℃以上１８５０℃以下の温度で焼成し
たときに酸化イットリウムとなる化合物であり、例え
ば、窒化イットリウム、酸窒化イットリウム、水酸化イ
ットリウム、炭化イットリウム、塩化イットリウム、オ
キシ塩化イットリウム、弗化イットリウム、臭化イット
リウム、硫化イットリウム、蓚酸イットリウム、炭酸イ
ットリウム、酢酸イットリウム、ステアリン酸イットリ
ウム、乳酸イットリウム、ラウリン酸イットリウムなど
が包含される。酸化イットリウムまたはその前駆体は、
１種であってもよいし、２種以上混合して用いてもよ
い。また、ここで用いる酸化イットリウムまたはその前
駆体は純度の高いものが好ましく、例えば９９重量％以
上、さらには９９．９重量％以上の純度を有するものが
好ましい。なお、酸化イットリウム前駆体の純度は、そ
の前駆体を、空気中、１５００℃以上１８５０℃以下の
温度で焼成して得られる酸化イットリウムのＹ2Ｏ3含有
量を測定することにより、求めることができる。
本発明では、ＹＡＧの原料として、酸化イットリウムま
たはその前駆体と酸化アルミニウムまたはその前駆体が
用いられる。ここでいう酸化イットリウム前駆体とは、
空気中、１５００℃以上１８５０℃以下の温度で焼成し
たときに酸化イットリウムとなる化合物であり、例え
ば、窒化イットリウム、酸窒化イットリウム、水酸化イ
ットリウム、炭化イットリウム、塩化イットリウム、オ
キシ塩化イットリウム、弗化イットリウム、臭化イット
リウム、硫化イットリウム、蓚酸イットリウム、炭酸イ
ットリウム、酢酸イットリウム、ステアリン酸イットリ
ウム、乳酸イットリウム、ラウリン酸イットリウムなど
が包含される。酸化イットリウムまたはその前駆体は、
１種であってもよいし、２種以上混合して用いてもよ
い。また、ここで用いる酸化イットリウムまたはその前
駆体は純度の高いものが好ましく、例えば９９重量％以
上、さらには９９．９重量％以上の純度を有するものが
好ましい。なお、酸化イットリウム前駆体の純度は、そ
の前駆体を、空気中、１５００℃以上１８５０℃以下の
温度で焼成して得られる酸化イットリウムのＹ2Ｏ3含有
量を測定することにより、求めることができる。
【0016】このような酸化イットリウムまたはその前駆体
は、酸化アルミニウムまたはその前駆体と混合される。
酸化アルミニウムを用いる場合、それはα型以外のもの
であり、例えば、中間アルミナまたは遷移アルミナと呼
ばれ、γ、δ、θ、ρ、χ、κ型などの結晶構造を有す
る酸化アルミニウムが挙げられる。また酸化アルミニウ
ム前駆体とは、空気中、１５００℃以上１８５０℃以下
の温度で焼成したときに酸化アルミニウムとなる化合物
であり、例えば、窒化アルミニウム、酸窒化アルミニウ
ム、水酸化アルミニウム、炭化アルミニウム、塩化アル
ミニウム、オキシ塩化アルミニウム、弗化アルミニウ
ム、臭化アルミニウム、蓚酸アルミニウム、硫酸アルミ
ニウム、酢酸アルミニウム、ステアリン酸アルミニウ
ム、アンモニウム明礬、乳酸アルミニウム、ラウリン酸
アルミニウムなどが包含される。酸化アルミニウムまた
はその前駆体は、１種であってもよいし、２種以上混合
して用いてもよい。中でも、アルコキシドの加水分解法
またはバイヤー法等で得られ、擬ベ−マイト、ベーマイ
ト、ギブサイトおよびバイヤライトの結晶構造を有する
水酸化アルミニウム、とりわけ、アルコキシドの加水分
解で得られ、結晶構造が擬ベーマイトである水酸化アル
ミニウムの適用が推奨される。アルコキシドを加水分解
する方法によれば、高純度の水酸化アルミニウムを得る
ことができる。酸化アルミニウムまたはその前駆体は、
純度の高いものが好ましく、例えば９９重量％以上、さ
らには９９．９重量％以上の純度を有するものが好まし
い。なお、酸化アルミニウム前駆体の純度は、その前駆
体を、空気中、１５００℃以上１８５０℃以下の温度で
焼成して得られる酸化アルミニウムのＡｌ2Ｏ3含有量を
測定することにより、求めることができる。
は、酸化アルミニウムまたはその前駆体と混合される。
酸化アルミニウムを用いる場合、それはα型以外のもの
であり、例えば、中間アルミナまたは遷移アルミナと呼
ばれ、γ、δ、θ、ρ、χ、κ型などの結晶構造を有す
る酸化アルミニウムが挙げられる。また酸化アルミニウ
ム前駆体とは、空気中、１５００℃以上１８５０℃以下
の温度で焼成したときに酸化アルミニウムとなる化合物
であり、例えば、窒化アルミニウム、酸窒化アルミニウ
ム、水酸化アルミニウム、炭化アルミニウム、塩化アル
ミニウム、オキシ塩化アルミニウム、弗化アルミニウ
ム、臭化アルミニウム、蓚酸アルミニウム、硫酸アルミ
ニウム、酢酸アルミニウム、ステアリン酸アルミニウ
ム、アンモニウム明礬、乳酸アルミニウム、ラウリン酸
アルミニウムなどが包含される。酸化アルミニウムまた
はその前駆体は、１種であってもよいし、２種以上混合
して用いてもよい。中でも、アルコキシドの加水分解法
またはバイヤー法等で得られ、擬ベ−マイト、ベーマイ
ト、ギブサイトおよびバイヤライトの結晶構造を有する
水酸化アルミニウム、とりわけ、アルコキシドの加水分
解で得られ、結晶構造が擬ベーマイトである水酸化アル
ミニウムの適用が推奨される。アルコキシドを加水分解
する方法によれば、高純度の水酸化アルミニウムを得る
ことができる。酸化アルミニウムまたはその前駆体は、
純度の高いものが好ましく、例えば９９重量％以上、さ
らには９９．９重量％以上の純度を有するものが好まし
い。なお、酸化アルミニウム前駆体の純度は、その前駆
体を、空気中、１５００℃以上１８５０℃以下の温度で
焼成して得られる酸化アルミニウムのＡｌ2Ｏ3含有量を
測定することにより、求めることができる。
【0017】酸化イットリウムまたはその前駆体と酸化アル
ミニウムまたはその前駆体との混合は、イットリウムと
アルミニウムの原子比が３／４．７〜３／５．２となる
範囲で行われ、さらには、この原子比が３／４．８〜３
／５．０７となる範囲で行うことが好ましい。イットリ
ウムに対するアルミニウムの原子比が小さく、混合物中
のアルミニウムの割合が少なくなると、ＹＡＧ単一相か
らなる焼結体を得ることが可能な粉末の製造が困難とな
り、焼結体にはイットリウム−アルミニウム−ペロブス
カイト相が混在するようになる。一方、イットリウムに
対するアルミニウムの原子比が大きく、混合物中のアル
ミニウムの割合が多くなった場合も、ＹＡＧ単一相から
なる焼結体を得ることが可能な粉末の製造が困難とな
り、焼結体にはα型のアルミナ相が混在するようにな
る。酸化イットリウムまたはその前駆体と酸化アルミニ
ウムまたはその前駆体との混合割合が上で示した範囲を
外れると、たとえ、それら後述する衝撃値が３Ｇ〜５０
Ｇとなる条件で混合しても、焼結密度の高いＹＡＧ焼結
体を得ることが可能な粉末の製造が困難になる。また、
この範囲を外れる割合で調製した焼結体用粉末から得ら
れるＹＡＧ焼結体は、耐食性が低下する場合がある。
ミニウムまたはその前駆体との混合は、イットリウムと
アルミニウムの原子比が３／４．７〜３／５．２となる
範囲で行われ、さらには、この原子比が３／４．８〜３
／５．０７となる範囲で行うことが好ましい。イットリ
ウムに対するアルミニウムの原子比が小さく、混合物中
のアルミニウムの割合が少なくなると、ＹＡＧ単一相か
らなる焼結体を得ることが可能な粉末の製造が困難とな
り、焼結体にはイットリウム−アルミニウム−ペロブス
カイト相が混在するようになる。一方、イットリウムに
対するアルミニウムの原子比が大きく、混合物中のアル
ミニウムの割合が多くなった場合も、ＹＡＧ単一相から
なる焼結体を得ることが可能な粉末の製造が困難とな
り、焼結体にはα型のアルミナ相が混在するようにな
る。酸化イットリウムまたはその前駆体と酸化アルミニ
ウムまたはその前駆体との混合割合が上で示した範囲を
外れると、たとえ、それら後述する衝撃値が３Ｇ〜５０
Ｇとなる条件で混合しても、焼結密度の高いＹＡＧ焼結
体を得ることが可能な粉末の製造が困難になる。また、
この範囲を外れる割合で調製した焼結体用粉末から得ら
れるＹＡＧ焼結体は、耐食性が低下する場合がある。
【0018】本発明においてはまた、酸化イットリウムまた
はその前駆体と酸化アルミニウムまたはその前駆体と
を、衝撃値３Ｇ〜５０Ｇの条件で混合する。ここで、衝
撃値とは、酸化イットリウムまたはその前駆体および酸
化アルミニウムまたはその前駆体の混合物に加わる加速
度を意味し、自由落下の標準加速度（９．８ｍｓ-2）の
倍数で表し、単位としてＧを用いる。混合時の衝撃値が
３Ｇ未満であると、相対密度９８％以上を達成できるＹ
ＡＧ焼結体用の粉末を得ることができない。衝撃値が５
０Ｇを超えると、相対密度９８％以上を達成できるＹＡ
Ｇ焼結体用の粉末が得られないばかりか、ＹＡＧ焼結体
の耐食性が低下することがある。混合時の衝撃値が５０
Ｇを超えた場合に、その粉末を成形し、さらに焼成して
得られるＹＡＧ焼結体が十分な焼結密度を示さず、また
必要な耐食性を示さないのは、混合時の粉砕メディアや
ミル部材からの汚染が影響していると推察される。な
お、衝撃値は、酸化イットリウムまたはその前駆体と酸
化アルミニウムまたはその前駆体の混合に使用する振動
ミル等の装置のモーターの回転数やミルの振幅を変える
ことによって、調整することができる。
はその前駆体と酸化アルミニウムまたはその前駆体と
を、衝撃値３Ｇ〜５０Ｇの条件で混合する。ここで、衝
撃値とは、酸化イットリウムまたはその前駆体および酸
化アルミニウムまたはその前駆体の混合物に加わる加速
度を意味し、自由落下の標準加速度（９．８ｍｓ-2）の
倍数で表し、単位としてＧを用いる。混合時の衝撃値が
３Ｇ未満であると、相対密度９８％以上を達成できるＹ
ＡＧ焼結体用の粉末を得ることができない。衝撃値が５
０Ｇを超えると、相対密度９８％以上を達成できるＹＡ
Ｇ焼結体用の粉末が得られないばかりか、ＹＡＧ焼結体
の耐食性が低下することがある。混合時の衝撃値が５０
Ｇを超えた場合に、その粉末を成形し、さらに焼成して
得られるＹＡＧ焼結体が十分な焼結密度を示さず、また
必要な耐食性を示さないのは、混合時の粉砕メディアや
ミル部材からの汚染が影響していると推察される。な
お、衝撃値は、酸化イットリウムまたはその前駆体と酸
化アルミニウムまたはその前駆体の混合に使用する振動
ミル等の装置のモーターの回転数やミルの振幅を変える
ことによって、調整することができる。
【0019】酸化イットリウムまたはその前駆体と酸化アル
ミニウムまたはその前駆体の混合は、例えば、振動ミ
ル、遊星ミル、遠心ミルのような市販の装置を用い、酸
化イットリウムまたはその前駆体と酸化アルミニウムま
たはその前駆体とを機械的に攪拌する方法で行うことが
できる。混合は、乾式または水等による湿式のいずれで
行ってもよく、混合時間は、通常、５分以上、好ましく
は１０分以上であり、また１２時間以内、さらには６時
間以内が適当である。
ミニウムまたはその前駆体の混合は、例えば、振動ミ
ル、遊星ミル、遠心ミルのような市販の装置を用い、酸
化イットリウムまたはその前駆体と酸化アルミニウムま
たはその前駆体とを機械的に攪拌する方法で行うことが
できる。混合は、乾式または水等による湿式のいずれで
行ってもよく、混合時間は、通常、５分以上、好ましく
は１０分以上であり、また１２時間以内、さらには６時
間以内が適当である。
【0020】混合では、ＹＡＧの焼結助剤として知られてい
るＳｉＯ2、ＺｒＯ2、ＨｆＯ2、ＭｇＯ、ＣａＯ、Ｓｒ
Ｏ、ＣｄＯ、Ｒ2Ｏ3（Ｒは希土類元素を表す。）、Ｂｉ
2Ｏ3、ＦｅＯ，Ｆｅ2Ｏ3，Ｃｒ2Ｏ3、ＮｉＯ、Ｓｃ
2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ｎｂ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＺｎＯ、Ｍｎ
Ｏ，ＣｏＯ、ＴｉＯ2、ＧｅＯ2のような酸化物を添加し
てもよく、また、１５００℃以上１８５０℃以下の空気
中で焼成したときに前記酸化物となる前駆体物質を添加
してもよい。これらの酸化物や前駆体物質は１種または
２種以上組合せて使用することができる。焼結助剤の添
加量は、通常、得られるＹＡＧ焼結体に対し酸化物換算
で１重量％以下となる量である。原料である酸化イット
リウムもしくはその前駆体または酸化アルミニウムもし
くはその前駆体に焼結助剤となる酸化物やその前駆体物
質が含まれているときは、このような予め含まれている
焼結助剤と混合時に添加する焼結助剤の合計量が、得ら
れるＹＡＧ焼結体に対し酸化物換算で１重量％以下とな
るように、適宜調節して行うことが好ましい。
るＳｉＯ2、ＺｒＯ2、ＨｆＯ2、ＭｇＯ、ＣａＯ、Ｓｒ
Ｏ、ＣｄＯ、Ｒ2Ｏ3（Ｒは希土類元素を表す。）、Ｂｉ
2Ｏ3、ＦｅＯ，Ｆｅ2Ｏ3，Ｃｒ2Ｏ3、ＮｉＯ、Ｓｃ
2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ｎｂ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＺｎＯ、Ｍｎ
Ｏ，ＣｏＯ、ＴｉＯ2、ＧｅＯ2のような酸化物を添加し
てもよく、また、１５００℃以上１８５０℃以下の空気
中で焼成したときに前記酸化物となる前駆体物質を添加
してもよい。これらの酸化物や前駆体物質は１種または
２種以上組合せて使用することができる。焼結助剤の添
加量は、通常、得られるＹＡＧ焼結体に対し酸化物換算
で１重量％以下となる量である。原料である酸化イット
リウムもしくはその前駆体または酸化アルミニウムもし
くはその前駆体に焼結助剤となる酸化物やその前駆体物
質が含まれているときは、このような予め含まれている
焼結助剤と混合時に添加する焼結助剤の合計量が、得ら
れるＹＡＧ焼結体に対し酸化物換算で１重量％以下とな
るように、適宜調節して行うことが好ましい。
【0021】こうして得られる粉末を造粒することにより、
ＹＡＧ焼結体の製造に好適な顆粒を製造することができ
る。この方法によれば、粉塵の発生がなく、ハンドリン
グ性に優れ、かつ大型のＹＡＧ焼結体部材を製造する場
合にも容易に均質で緻密な焼結体とすることが可能な焼
結体用顆粒が得られる。
ＹＡＧ焼結体の製造に好適な顆粒を製造することができ
る。この方法によれば、粉塵の発生がなく、ハンドリン
グ性に優れ、かつ大型のＹＡＧ焼結体部材を製造する場
合にも容易に均質で緻密な焼結体とすることが可能な焼
結体用顆粒が得られる。
【0022】造粒は、例えば、ＹＡＧ焼結体用粉末を皿型造
粒機のような乾式造粒機に供給して行う方法、ＹＡＧ焼
結体用粉末を分散媒中に、超音波分散機、ボールミル、
媒体攪拌ミルのような分散機能を有する装置で分散させ
た後、得られるスラリーをスプレー造粒機で噴霧する方
法で行うことができる。後者の方法の分散は、通常、分
散媒として水を使用して行うことができ、分散媒へ、ポ
リカルボン酸塩のような分散剤、ポリビニルアルコール
のような有機バインダーまたは潤滑剤を添加して行うこ
とが好ましい。有機バインダーや潤滑剤を使用すること
によって、顆粒を成形して得られる成形体の機械的強度
を高めることができる。
粒機のような乾式造粒機に供給して行う方法、ＹＡＧ焼
結体用粉末を分散媒中に、超音波分散機、ボールミル、
媒体攪拌ミルのような分散機能を有する装置で分散させ
た後、得られるスラリーをスプレー造粒機で噴霧する方
法で行うことができる。後者の方法の分散は、通常、分
散媒として水を使用して行うことができ、分散媒へ、ポ
リカルボン酸塩のような分散剤、ポリビニルアルコール
のような有機バインダーまたは潤滑剤を添加して行うこ
とが好ましい。有機バインダーや潤滑剤を使用すること
によって、顆粒を成形して得られる成形体の機械的強度
を高めることができる。
【0023】また、先に述べた方法で製造された粉末を分散
媒とを混合することにより、ＹＡＧ焼結体の製造に好適
なスラリーを製造することができる。この方法により得
られるスラリーをスリップキャストのような成形方法に
適用すれば、複雑な形状の成形体を容易に得ることがで
きる。さらに、その成形体を焼結させれば、複雑な形状
で、かつ焼結密度が高いＹＡＧ焼結体を容易に得ること
ができる。
媒とを混合することにより、ＹＡＧ焼結体の製造に好適
なスラリーを製造することができる。この方法により得
られるスラリーをスリップキャストのような成形方法に
適用すれば、複雑な形状の成形体を容易に得ることがで
きる。さらに、その成形体を焼結させれば、複雑な形状
で、かつ焼結密度が高いＹＡＧ焼結体を容易に得ること
ができる。
【0024】ＹＡＧ焼結体用粉末と分散媒との混合は、例え
ば、超音波分散機、ボールミルおよび媒体攪拌ミルのよ
うな市販の装置を使って行うことができる。混合では、
分散媒へ有機バインダーや潤滑剤を添加して行うことが
好ましい。有機バインダーや潤滑剤を使用することによ
って、スラリーをスリップキャストにより成形して得ら
れる成形体の強度を高めることができる。また、スラリ
ーの製造は、ＹＡＧ焼結体用粉末を造粒して顆粒にした
後、得られる顆粒と分散媒とを混合する方法で行うこと
もできる。
ば、超音波分散機、ボールミルおよび媒体攪拌ミルのよ
うな市販の装置を使って行うことができる。混合では、
分散媒へ有機バインダーや潤滑剤を添加して行うことが
好ましい。有機バインダーや潤滑剤を使用することによ
って、スラリーをスリップキャストにより成形して得ら
れる成形体の強度を高めることができる。また、スラリ
ーの製造は、ＹＡＧ焼結体用粉末を造粒して顆粒にした
後、得られる顆粒と分散媒とを混合する方法で行うこと
もできる。
【0025】さらに、先に述べた方法で製造された粉末、顆
粒またはスラリーを成形することにより、ＹＡＧ焼結体
の製造に好適な成形体を製造することができる。成形
は、例えば、金型一軸プレス、静水圧プレス、スリップ
キャスト、押し出し成形および射出成形のような各種方
法で行うことができ、プレス時の成形圧は、通常、０．
１Ｔ／ｃｍ2（１０ＭＰａ）以上であり、また、成形装
置の小型化を考えれば、２Ｔ／ｃｍ2（２００ＭＰａ）
以下が適当である。
粒またはスラリーを成形することにより、ＹＡＧ焼結体
の製造に好適な成形体を製造することができる。成形
は、例えば、金型一軸プレス、静水圧プレス、スリップ
キャスト、押し出し成形および射出成形のような各種方
法で行うことができ、プレス時の成形圧は、通常、０．
１Ｔ／ｃｍ2（１０ＭＰａ）以上であり、また、成形装
置の小型化を考えれば、２Ｔ／ｃｍ2（２００ＭＰａ）
以下が適当である。
【0026】本発明ではまた、前述したＹＡＧ焼結体用粉
末、顆粒またはスラリーからの成形品を１５００℃〜１
８５０℃で焼結することにより、最終目的物であるＹＡ
Ｇ焼結体が製造される。焼結体の製造は、通常、ＹＡＧ
焼結体用粉末を金型一軸プレス、静水圧プレス、スリッ
プキャスト、押し出し成形または射出成形した後、得ら
れた成形体を電気炉やガス炉を用い、所定温度で保持す
る方法で行うことができる。焼結温度が１５００℃未満
であると、相対密度として９８％以上の焼結密度を有す
るＹＡＧ焼結体を得ることが困難となる。一方、焼結温
度が１８５０℃を超えると、ＹＡＧ焼結体が異常粒成長
を起こしやすくなり、相対密度として９８％以上の焼結
密度を有するＹＡＧ焼結体を得ることが困難となる。焼
結は、空気雰囲気中、保持時間が３０分以上１２時間以
内となる条件で行うことが好ましい。なお、ＹＡＧ焼結
体用粉末の成形と成形体の焼結を同一装置で行うことも
可能であり、この場合に使用できる装置として、例え
ば、ホットプレス装置や熱間静水圧プレス（ＨＩＰと呼
ばれることがある。）装置がある。
末、顆粒またはスラリーからの成形品を１５００℃〜１
８５０℃で焼結することにより、最終目的物であるＹＡ
Ｇ焼結体が製造される。焼結体の製造は、通常、ＹＡＧ
焼結体用粉末を金型一軸プレス、静水圧プレス、スリッ
プキャスト、押し出し成形または射出成形した後、得ら
れた成形体を電気炉やガス炉を用い、所定温度で保持す
る方法で行うことができる。焼結温度が１５００℃未満
であると、相対密度として９８％以上の焼結密度を有す
るＹＡＧ焼結体を得ることが困難となる。一方、焼結温
度が１８５０℃を超えると、ＹＡＧ焼結体が異常粒成長
を起こしやすくなり、相対密度として９８％以上の焼結
密度を有するＹＡＧ焼結体を得ることが困難となる。焼
結は、空気雰囲気中、保持時間が３０分以上１２時間以
内となる条件で行うことが好ましい。なお、ＹＡＧ焼結
体用粉末の成形と成形体の焼結を同一装置で行うことも
可能であり、この場合に使用できる装置として、例え
ば、ホットプレス装置や熱間静水圧プレス（ＨＩＰと呼
ばれることがある。）装置がある。
【0027】
【発明の効果】以上詳述した様に、本発明のＹＡＧ焼結
体用粉末の製造方法によれば、原料としてα型の酸化ア
ルミニウムを用いることなく、かつ仮焼工程なしに、Ｙ
ＡＧ焼結体の相対密度として９８％を達成することがで
きるＹＡＧ焼結体用粉末を容易に得ることができる。本
発明のＹＡＧ焼結体用顆粒の製造方法によれば、粉塵の
発生がなく、ハンドリング性に優れ、かつ大型のＹＡＧ
焼結体部材を製造する場合にも容易に均質で緻密な焼結
体とすることが可能な焼結体用途に適した顆粒を得るこ
とができる。本発明のＹＡＧ焼結体用スラリーの製造方
法によれば、複雑な形状の成形体、焼結体を容易に得る
ことが可能なスリップ成形に適したスラリーを得ること
ができる。本発明のＹＡＧ焼結体用成形体の製造方法に
よれば、ＹＡＧ焼結体の相対密度として９８％を達成す
ることができる成形体を得ることができる。
体用粉末の製造方法によれば、原料としてα型の酸化ア
ルミニウムを用いることなく、かつ仮焼工程なしに、Ｙ
ＡＧ焼結体の相対密度として９８％を達成することがで
きるＹＡＧ焼結体用粉末を容易に得ることができる。本
発明のＹＡＧ焼結体用顆粒の製造方法によれば、粉塵の
発生がなく、ハンドリング性に優れ、かつ大型のＹＡＧ
焼結体部材を製造する場合にも容易に均質で緻密な焼結
体とすることが可能な焼結体用途に適した顆粒を得るこ
とができる。本発明のＹＡＧ焼結体用スラリーの製造方
法によれば、複雑な形状の成形体、焼結体を容易に得る
ことが可能なスリップ成形に適したスラリーを得ること
ができる。本発明のＹＡＧ焼結体用成形体の製造方法に
よれば、ＹＡＧ焼結体の相対密度として９８％を達成す
ることができる成形体を得ることができる。
【0028】また、本発明の焼結体の製造方法によれば、相
対密度９８％以上の焼結密度を有するＹＡＧ焼結体を容
易に得ることができる。
対密度９８％以上の焼結密度を有するＹＡＧ焼結体を容
易に得ることができる。
【0029】
【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説
明するが、実施例は本発明の一実施態様を示すものであ
り、これにより本発明が制約されるものではない。 実施例１ 原料として、純度９９．９重量％、平均粒子径４．７μ
ｍである酸化イットリウム２１ｇとアルコキシド加水分
解法により得られた純度９９．９９重量％、結晶構造が
擬ベーマイト型である水酸化アルミニウム２１ｇを内容
積３Ｌの振動ミルに仕込み、衝撃値６Ｇで８４分乾式混
合して、ＹＡＧ焼結体用粉末を得た。このときの水酸化
アルミニウムと酸化イットリウムの混合物の組成は、イ
ットリウムとアルミニウムの原子比で３／４．７であっ
た。上で得られたＹＡＧ焼結体用粉末を成形圧０．３Ｔ
／ｃｍ2（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次いで成形
圧１．５Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧プレスで
成形した後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時間焼結し
て、ＹＡＧ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は、焼結密
度が４．４５ｇ／ｃｍ3であり、相対密度９８%であっ
た。
明するが、実施例は本発明の一実施態様を示すものであ
り、これにより本発明が制約されるものではない。 実施例１ 原料として、純度９９．９重量％、平均粒子径４．７μ
ｍである酸化イットリウム２１ｇとアルコキシド加水分
解法により得られた純度９９．９９重量％、結晶構造が
擬ベーマイト型である水酸化アルミニウム２１ｇを内容
積３Ｌの振動ミルに仕込み、衝撃値６Ｇで８４分乾式混
合して、ＹＡＧ焼結体用粉末を得た。このときの水酸化
アルミニウムと酸化イットリウムの混合物の組成は、イ
ットリウムとアルミニウムの原子比で３／４．７であっ
た。上で得られたＹＡＧ焼結体用粉末を成形圧０．３Ｔ
／ｃｍ2（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次いで成形
圧１．５Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧プレスで
成形した後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時間焼結し
て、ＹＡＧ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は、焼結密
度が４．４５ｇ／ｃｍ3であり、相対密度９８%であっ
た。
【0030】実施例２ 原料として、純度９９．９重量％、平均粒子径５．１μ
ｍである酸化イットリウム１．３ｋｇとアルコキシド加
水分解法による得られた純度９９．９９重量％、結晶構
造が擬ベーマイト型である水酸化アルミニウム１．３ｋ
ｇを内容積５０Ｌの振動ミルに仕込み、衝撃値６Ｇで３
時間乾式混合して、ＹＡＧ焼結体用粉末を得た。このと
きの酸化イットリウムと水酸化アルミニウムの混合物の
組成は、イットリウムとアルミニウムの原子比で３／
５．１５であった。上で得られたＹＡＧ焼結体用粉末
０．５ｋｇ、水５．５ｋｇおよび分散剤としてポリカル
ボン酸塩７．７ｇを湿式媒体攪拌ミルに入れ、攪拌して
ＹＡＧ焼結体用粉末を分散させ、スラリー化した後、有
機バインダーとしてポリビニルアルコールをＹＡＧ焼結
体用粉末に対し３重量％添加し、得られたスラリーをス
プレー造粒機で噴霧して、ＹＡＧ焼結体用顆粒を得た。
得られたＹＡＧ焼結体用顆粒を成形圧０．３Ｔ／ｃｍ2
（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次いで成形圧１．５
Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧プレスで成形した
後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時間焼結して、ＹＡ
Ｇ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は焼結密度が４．５
１ｇ／ｃｍ3であり、相対密度９９%であった。
ｍである酸化イットリウム１．３ｋｇとアルコキシド加
水分解法による得られた純度９９．９９重量％、結晶構
造が擬ベーマイト型である水酸化アルミニウム１．３ｋ
ｇを内容積５０Ｌの振動ミルに仕込み、衝撃値６Ｇで３
時間乾式混合して、ＹＡＧ焼結体用粉末を得た。このと
きの酸化イットリウムと水酸化アルミニウムの混合物の
組成は、イットリウムとアルミニウムの原子比で３／
５．１５であった。上で得られたＹＡＧ焼結体用粉末
０．５ｋｇ、水５．５ｋｇおよび分散剤としてポリカル
ボン酸塩７．７ｇを湿式媒体攪拌ミルに入れ、攪拌して
ＹＡＧ焼結体用粉末を分散させ、スラリー化した後、有
機バインダーとしてポリビニルアルコールをＹＡＧ焼結
体用粉末に対し３重量％添加し、得られたスラリーをス
プレー造粒機で噴霧して、ＹＡＧ焼結体用顆粒を得た。
得られたＹＡＧ焼結体用顆粒を成形圧０．３Ｔ／ｃｍ2
（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次いで成形圧１．５
Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧プレスで成形した
後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時間焼結して、ＹＡ
Ｇ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は焼結密度が４．５
１ｇ／ｃｍ3であり、相対密度９９%であった。
【0031】比較例１ 原料として、純度９９．９重量％、平均粒子径４．７μ
ｍである酸化イットリウム３２ｇと純度９９．９９重量
％、結晶構造がα型である酸化アルミニウム２４ｇを内
容積３Ｌの振動ミルに仕込み、衝撃値６Ｇで８４分乾式
混合してＹＡＧ焼結体用粉末を得た。このときの酸化イ
ットリウムと酸化アルミニウムの混合物中の組成は、イ
ットリウムとアルミニウムの原子比で３／５であった。
上で得られたＹＡＧ焼結体用粉末を成形圧０．３Ｔ／ｃ
ｍ2（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次いで成形圧
１．５Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧プレスで成
形した後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時間焼結し
て、ＹＡＧ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は焼結密度
が４．２８ｇ／ｃｍ3であり、相対密度９４%であった。
ｍである酸化イットリウム３２ｇと純度９９．９９重量
％、結晶構造がα型である酸化アルミニウム２４ｇを内
容積３Ｌの振動ミルに仕込み、衝撃値６Ｇで８４分乾式
混合してＹＡＧ焼結体用粉末を得た。このときの酸化イ
ットリウムと酸化アルミニウムの混合物中の組成は、イ
ットリウムとアルミニウムの原子比で３／５であった。
上で得られたＹＡＧ焼結体用粉末を成形圧０．３Ｔ／ｃ
ｍ2（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次いで成形圧
１．５Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧プレスで成
形した後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時間焼結し
て、ＹＡＧ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は焼結密度
が４．２８ｇ／ｃｍ3であり、相対密度９４%であった。
【0032】比較例２ 原料として、純度９９．９重量％、平均粒子径４．７μ
ｍである酸化イットリウム１．３ｋｇ、純度９９．９９
重量％、結晶構造がα型である酸化アルミニウム１ｋｇ
および水１．３ｋｇを湿式媒体攪拌ミルに入れ、分散さ
せてスラリー化した後、有機バインダーとしてポリビニ
ルアルコールを酸化アルミニウムと酸化イットリウムと
の合計に対し３重量％添加し、得られたスラリーをスプ
レー造粒機で噴霧して、ＹＡＧ焼結体用顆粒を得た。こ
のときの酸化イットリウムと酸化アルミニウムの混合物
中の組成は、イットリウムとアルミニウムの原子比で３
／５であった。得られたＹＡＧ焼結体用顆粒を成形圧
０．３Ｔ／ｃｍ2（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次
いで成形圧１．５Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧
プレスで成形した後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時
間焼結して、ＹＡＧ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は
焼結密度が３．４０ｇ／ｃｍ3であり、相対密度７５%で
あった。
ｍである酸化イットリウム１．３ｋｇ、純度９９．９９
重量％、結晶構造がα型である酸化アルミニウム１ｋｇ
および水１．３ｋｇを湿式媒体攪拌ミルに入れ、分散さ
せてスラリー化した後、有機バインダーとしてポリビニ
ルアルコールを酸化アルミニウムと酸化イットリウムと
の合計に対し３重量％添加し、得られたスラリーをスプ
レー造粒機で噴霧して、ＹＡＧ焼結体用顆粒を得た。こ
のときの酸化イットリウムと酸化アルミニウムの混合物
中の組成は、イットリウムとアルミニウムの原子比で３
／５であった。得られたＹＡＧ焼結体用顆粒を成形圧
０．３Ｔ／ｃｍ2（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次
いで成形圧１．５Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧
プレスで成形した後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時
間焼結して、ＹＡＧ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は
焼結密度が３．４０ｇ／ｃｍ3であり、相対密度７５%で
あった。
【0033】比較例３ 原料として、純度９９．９重量％、平均粒子径４．７μ
ｍである酸化イットリウム２１ｇとアルコキシド加水分
解法により得られた純度９９．９９重量％、結晶構造が
ベーマイト型である水酸化アルミニウム２１ｇを内容積
３Ｌの転動ミルに仕込み、衝撃値１Ｇで２４時間乾式混
合して、ＹＡＧ焼結体用粉末を得た。このときの酸化イ
ットリウムと酸化アルミニウムの混合物中の組成は、イ
ットリウムとアルミニウムの原子比で３／４．７であっ
た。上で得られたＹＡＧ焼結体用粉末を成形圧０．３Ｔ
／ｃｍ2（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次いで成形
圧１．５Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧プレスで
成形した後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時間焼結し
て、ＹＡＧ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は焼結密度
が４．１３ｇ／ｃｍ3であり、相対密度９１%であった。
ｍである酸化イットリウム２１ｇとアルコキシド加水分
解法により得られた純度９９．９９重量％、結晶構造が
ベーマイト型である水酸化アルミニウム２１ｇを内容積
３Ｌの転動ミルに仕込み、衝撃値１Ｇで２４時間乾式混
合して、ＹＡＧ焼結体用粉末を得た。このときの酸化イ
ットリウムと酸化アルミニウムの混合物中の組成は、イ
ットリウムとアルミニウムの原子比で３／４．７であっ
た。上で得られたＹＡＧ焼結体用粉末を成形圧０．３Ｔ
／ｃｍ2（３０ＭＰａ）の金型一軸プレス、次いで成形
圧１．５Ｔ／ｃｍ2（１５０ＭＰａ）の静水圧プレスで
成形した後、１６８０℃の空気雰囲気中で５時間焼結し
て、ＹＡＧ焼結体を得た。このＹＡＧ焼結体は焼結密度
が４．１３ｇ／ｃｍ3であり、相対密度９１%であった。
Claims (5)
- 【請求項1】 酸化イットリウムまたはその前駆体とα
型の酸化アルミニウムを除く酸化アルミニウムまたはそ
の前駆体とを、イットリウムとアルミニウムの原子比で
３／４．７〜３／５．２となるように、衝撃値３Ｇ〜５
０Ｇの条件下で、混合することを特徴とするイットリウ
ム−アルミニウム−ガーネット焼結体用粉末の製造方
法。 - 【請求項2】 請求項１記載の方法により得られる粉末
を造粒することを特徴とするイットリウム−アルミニウ
ム−ガーネット焼結体用顆粒の製造方法。 - 【請求項3】 請求項１記載の方法により得られる粉末
と分散媒とを混合することを特徴とするイットリウム−
アルミニウム−ガーネット焼結体用スラリーの製造方
法。 - 【請求項4】 請求項１記載の方法により得られる粉末
を成形することを特徴とするイットリウム−アルミニウ
ム−ガーネット焼結体用成形体の製造方法。 - 【請求項5】 請求項１記載の方法により得られる粉末
を成形した後、１５００℃〜１８５０℃で焼結すること
を特徴とするイットリウム−アルミニウム−ガーネット
焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000217024A JP2001089225A (ja) | 1999-07-19 | 2000-07-18 | イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体およびその原料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-204690 | 1999-07-19 | ||
| JP20469099 | 1999-07-19 | ||
| JP2000217024A JP2001089225A (ja) | 1999-07-19 | 2000-07-18 | イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体およびその原料の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001089225A true JP2001089225A (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=26514596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000217024A Pending JP2001089225A (ja) | 1999-07-19 | 2000-07-18 | イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体およびその原料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001089225A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1433764A2 (en) * | 2002-12-25 | 2004-06-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Sintered bodies of yttrium-aluminium garnet, a method of producing the same and sintering aid therefor |
| WO2004067474A1 (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Konoshima Chemical Co., Ltd. | 希土類ガーネット焼結体とその製造方法 |
| WO2009087912A1 (ja) * | 2008-01-07 | 2009-07-16 | Sumitomo Chemical Company, Limited | チタン酸アルミニウムセラミックスの製造方法 |
-
2000
- 2000-07-18 JP JP2000217024A patent/JP2001089225A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1433764A2 (en) * | 2002-12-25 | 2004-06-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Sintered bodies of yttrium-aluminium garnet, a method of producing the same and sintering aid therefor |
| EP1433764A3 (en) * | 2002-12-25 | 2004-09-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Sintered bodies of yttrium-aluminium garnet, a method of producing the same and sintering aid therefor |
| US7371704B2 (en) | 2002-12-25 | 2008-05-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Sintered bodies of yttrium-aluminum garnet, a method of producing the same and sintering aid therefor |
| WO2004067474A1 (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Konoshima Chemical Co., Ltd. | 希土類ガーネット焼結体とその製造方法 |
| CN1307123C (zh) * | 2003-01-27 | 2007-03-28 | 神岛化学工业株式会社 | 稀土类石榴石烧结体及其制造方法 |
| US7253129B2 (en) | 2003-01-27 | 2007-08-07 | Konoshima Chemical Co., Ltd. | Rare earth garmet sintered compact |
| KR100875528B1 (ko) | 2003-01-27 | 2008-12-23 | 고노시마 가가쿠고교 가부시키가이샤 | 희토류 가넷 소결체와 그 제조방법 |
| WO2009087912A1 (ja) * | 2008-01-07 | 2009-07-16 | Sumitomo Chemical Company, Limited | チタン酸アルミニウムセラミックスの製造方法 |
| JP2010100510A (ja) * | 2008-01-07 | 2010-05-06 | Sumitomo Chemical Co Ltd | チタン酸アルミニウムセラミックスの製造方法 |
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