JP2001082885A - 熱交換器 - Google Patents

熱交換器

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JP2001082885A
JP2001082885A JP30003599A JP30003599A JP2001082885A JP 2001082885 A JP2001082885 A JP 2001082885A JP 30003599 A JP30003599 A JP 30003599A JP 30003599 A JP30003599 A JP 30003599A JP 2001082885 A JP2001082885 A JP 2001082885A
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heat transfer
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liquid
temperature
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Masao Uratani
昌夫 浦谷
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は液体温度の精密な調整を容易にするこ
とを目的とする。 【解決手段】熱交管用伝熱管を収納する容器内に電気ヒ
ーター、冷却用蛇管及び撹拌機を装置した熱交換器

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】半導体集積回路を製造する過
程で多くの種類の薬品を使用するが、加工精度の進歩に
あわせ、薬品の精密な温度管理が要求される。本装置は
その要求を容易に実現することに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は熱交管用の伝熱管と、電気ヒータ
ー及び冷却用蛇管を別の容器に収納し、熱交換用の伝熱
管が必要とする温度の液体を液送ポンプにより双方の容
器のあいだを循環させていた。
【０００３】従来の方法では液送ポンプの送液量により
熱交換用伝熱管を収納している容器内温度のばらつきが
決まってしまうため、精密な温度管理をするためには大
流量のポンプを必要とした。
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
【課題を解決するための手段】図１は新しい熱交換器の
構造を示したものである。容器中央に円筒を配置し円筒
内に冷却用蛇管、電気ヒーター及び撹拌機を取り付け、
円筒外に伝熱管を取り付ける。ただし、撹拌機は容器内
温度分布にばらつきが生じない、十分な能力のものを使
用する。
【０００５】
【発明実施の形態】伝熱管を収納している容器内の熱伝
達用液体を十分撹拌し容器内の温度分布に、できるだけ
ばらつきをなくすことが、精密な温度管理をするための
最も重要なことであり、従来の液送ポンプを使う方法に
比べ、容器内を直接撹拌する本方法は容易に、容器内の
熱伝達用液体の温度分布のばらつきを少なくできる。
【０００６】
【発明の効果】従来の方法に比較し容易に同じ性能を得
ることができ、かつ、冷却用蛇管や電気ヒーターを収納
していた容器が不要になること、液送ポンプ及びその配
管も全く必要がなくことで、設備としておおいに簡略化
され、コストダウンに大きく寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本案実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１： 熱交換用伝熱管 ２： 冷却用蛇管 ３： 容器 ４： 撹拌機 ５： 円筒 ６： 電気ヒーター

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】液体温度を精密に調整する目的のために、
    伝熱管を収納する容器内に電気ヒーター、冷却用蛇管及
    び撹拌機を装置した熱交換器。
JP30003599A 1999-09-14 1999-09-14 熱交換器 Pending JP2001082885A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013002161A1 (ja) * 2011-06-28 2013-01-03 大陽日酸株式会社 熱交換器
CN110779354A (zh) * 2019-11-13 2020-02-11 山东捷利尔肥业有限公司 一种纳米化复合型液态生物肥料的冷却装置

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