JPH07284675A - 液循環式恒温装置 - Google Patents
液循環式恒温装置Info
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- JPH07284675A JPH07284675A JP7827494A JP7827494A JPH07284675A JP H07284675 A JPH07284675 A JP H07284675A JP 7827494 A JP7827494 A JP 7827494A JP 7827494 A JP7827494 A JP 7827494A JP H07284675 A JPH07284675 A JP H07284675A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 非密閉構造の循環液タンクを備えた液循環式
恒温装置に於いて、循環液タンク内の液の蒸発損失を減
少させる。 【構成】 循環液タンクに、外管の内部に内管を挿入す
ると共に外管の両端部を密閉して成る二重管の前記内管
の基端部をタンク内部空間と連通自在に取付け、当該二
重管の内管の先端開口を大気中へ開放すると共に、前記
内管と外管との間の冷却水通路内へ冷却水を流通させ
る。
恒温装置に於いて、循環液タンク内の液の蒸発損失を減
少させる。 【構成】 循環液タンクに、外管の内部に内管を挿入す
ると共に外管の両端部を密閉して成る二重管の前記内管
の基端部をタンク内部空間と連通自在に取付け、当該二
重管の内管の先端開口を大気中へ開放すると共に、前記
内管と外管との間の冷却水通路内へ冷却水を流通させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置の冷却
等に使用する非密閉構造の循環液タンクを備えた液循環
式恒温装置の改良に関するものであり、循環液タンクか
らの循環液の蒸発損失をほぼ完全に防止できるようにし
た液循環式恒温装置に関するものである。
等に使用する非密閉構造の循環液タンクを備えた液循環
式恒温装置の改良に関するものであり、循環液タンクか
らの循環液の蒸発損失をほぼ完全に防止できるようにし
た液循環式恒温装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置や化学機械装置等に於い
ては、冷却や加熱用の熱媒体の供給に液循環式の恒温装
置が広く利用されている。これ等の液循環式恒温装置は
通常図５に示す如く、非密閉型の循環液タンク１内に所
定量の純水やフロリナート等の循環液２を充填し、ヒー
タ３による加熱と冷却コイル４による冷却を交又に制御
することにより、循環液ポンプ５から冷却対象６へ設定
温度の液２を所定流量で循環流動させるように構成され
ている。尚、図５に於いて、７は温度センサー、８は液
面センサー、９は液面計、１０は液返り管、１１は冷却
水入口、１２は冷却水出口、１３は液補給口、１４は液
排出口、１５は断熱材、１６は通気孔である。
ては、冷却や加熱用の熱媒体の供給に液循環式の恒温装
置が広く利用されている。これ等の液循環式恒温装置は
通常図５に示す如く、非密閉型の循環液タンク１内に所
定量の純水やフロリナート等の循環液２を充填し、ヒー
タ３による加熱と冷却コイル４による冷却を交又に制御
することにより、循環液ポンプ５から冷却対象６へ設定
温度の液２を所定流量で循環流動させるように構成され
ている。尚、図５に於いて、７は温度センサー、８は液
面センサー、９は液面計、１０は液返り管、１１は冷却
水入口、１２は冷却水出口、１３は液補給口、１４は液
排出口、１５は断熱材、１６は通気孔である。
【０００３】而して、前記循環液タンク１はその外周面
が断熱材１５によって断熱されており、また、タンク内
部の上方空間部１ａは通気孔１６を通して外部と連通さ
れている。そのため、タンク１内の循環液２の設定温度
が比較的高温の場合には、タンク空間部１ａに滞留する
液蒸気が通気孔１６を通して外部へ漏洩することなり、
様々な問題を生ずることになる。
が断熱材１５によって断熱されており、また、タンク内
部の上方空間部１ａは通気孔１６を通して外部と連通さ
れている。そのため、タンク１内の循環液２の設定温度
が比較的高温の場合には、タンク空間部１ａに滞留する
液蒸気が通気孔１６を通して外部へ漏洩することなり、
様々な問題を生ずることになる。
【０００４】例えば、循環液２がフロリナート（弗素系
冷媒液）であって、設定液温度が８０℃、タンク容量が
１６ｌ、タンク内の最少液充填量が１０ｌ、液循環流量
が５ｌ／ｍｉｎの場合には、循環液２は約１ｌ／日の割
合で外部へ蒸発漏洩することが判っている。ところで、
循環液２が蒸発漏洩することにより減量すれば、当然に
不足量だけの液の補充を必要とするが、上記の例の如き
場合には３〜４日に一回の割合で循環液の補充を行なわ
ねばならず、手数が掛り過ぎると云う問題がある。
冷媒液）であって、設定液温度が８０℃、タンク容量が
１６ｌ、タンク内の最少液充填量が１０ｌ、液循環流量
が５ｌ／ｍｉｎの場合には、循環液２は約１ｌ／日の割
合で外部へ蒸発漏洩することが判っている。ところで、
循環液２が蒸発漏洩することにより減量すれば、当然に
不足量だけの液の補充を必要とするが、上記の例の如き
場合には３〜４日に一回の割合で循環液の補充を行なわ
ねばならず、手数が掛り過ぎると云う問題がある。
【０００５】また、循環液２が純水等の場合には補充に
要する費用も比較的少なくてよい。しかし、循環液２が
フロリナートやガルデン等の弗素系の高価な液の場合に
は、１回の補充に数万円の費用を要することになり、恒
温装置のランニングコストが大幅に高騰することにな
る。
要する費用も比較的少なくてよい。しかし、循環液２が
フロリナートやガルデン等の弗素系の高価な液の場合に
は、１回の補充に数万円の費用を要することになり、恒
温装置のランニングコストが大幅に高騰することにな
る。
【０００６】更に、半導体製造プラント等に於いては、
当該液循環式恒温装置をクリーンルーム内（若しくはそ
れに隣接した準クリーンルーム内）に設置しなければな
らない場合があり、大量の循環液蒸気が通気孔１６を通
してタンク外へ漏洩すると、漏洩した蒸気の排出設備の
容量が大きくなり、設備費が高騰することになる。
当該液循環式恒温装置をクリーンルーム内（若しくはそ
れに隣接した準クリーンルーム内）に設置しなければな
らない場合があり、大量の循環液蒸気が通気孔１６を通
してタンク外へ漏洩すると、漏洩した蒸気の排出設備の
容量が大きくなり、設備費が高騰することになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従前の液循環
式恒温装置に於ける上述の如き問題、即ち循環液の設
定温度が高温の場合には、液の蒸発損失が増加し、その
補充に手数がかかると共に装置のランニングコストが上
昇すること、循環液蒸気の放散により環境汚損を生ず
ること等の問題を解決せんとするものであり、極く簡単
な構造の蒸発液回収器を循環液タンクに付加することに
より、循環液の蒸発損失を大幅に減少できるようにした
液循環式恒温装置を提供するものである。
式恒温装置に於ける上述の如き問題、即ち循環液の設
定温度が高温の場合には、液の蒸発損失が増加し、その
補充に手数がかかると共に装置のランニングコストが上
昇すること、循環液蒸気の放散により環境汚損を生ず
ること等の問題を解決せんとするものであり、極く簡単
な構造の蒸発液回収器を循環液タンクに付加することに
より、循環液の蒸発損失を大幅に減少できるようにした
液循環式恒温装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、循環液タンク
の内部空間と外気との連通管を比較的長い金属管とし、
内部を流通する循環液蒸気を冷却することにより凝縮さ
せ、液化回収することを基本とするものである。即ち、
請求項１に記載の発明は、非密閉構造の循環液タンクを
備えた液循環式恒温装置に於いて、前記循環液タンク
に、外管の内部に内管を挿入すると共に外管の両端部を
密閉して成る二重管を、前記内管の基端開口をタンクの
内部空間とへ連通せしめて取付け、当該二重管の内管の
先端開口を大気中へ開放すると共に、前記内管と外管と
の間の冷却水通路内へ冷却水を流通せしめることを発明
の基本構成とするものである。
の内部空間と外気との連通管を比較的長い金属管とし、
内部を流通する循環液蒸気を冷却することにより凝縮さ
せ、液化回収することを基本とするものである。即ち、
請求項１に記載の発明は、非密閉構造の循環液タンクを
備えた液循環式恒温装置に於いて、前記循環液タンク
に、外管の内部に内管を挿入すると共に外管の両端部を
密閉して成る二重管を、前記内管の基端開口をタンクの
内部空間とへ連通せしめて取付け、当該二重管の内管の
先端開口を大気中へ開放すると共に、前記内管と外管と
の間の冷却水通路内へ冷却水を流通せしめることを発明
の基本構成とするものである。
【０００９】また、請求項２に記載の発明は、非密閉構
造の循環液タンクを備えた液循環式恒温装置に於いて、
前記循環液タンクに液蒸気連通管の基端部をタンクの内
部空間と連通自在に取付け、当該蒸気連通管の所望長さ
部分を大気中に露出させると共に、その先端開口を大気
中へ開放せしめたことを発明の基本構成とするものであ
る。
造の循環液タンクを備えた液循環式恒温装置に於いて、
前記循環液タンクに液蒸気連通管の基端部をタンクの内
部空間と連通自在に取付け、当該蒸気連通管の所望長さ
部分を大気中に露出させると共に、その先端開口を大気
中へ開放せしめたことを発明の基本構成とするものであ
る。
【００１０】更に、請求項３に記載の発明は、非密閉構
造の循環液タンクを備えた液循環式恒温装置に於いて、
前記循環液タンクに、液蒸気連通管と冷却水管とを熱伝
導性セメントにより一体化して成る管体を、前記液蒸気
連通管の基端部をタンク内部空間と連通せしめて取付け
ると共に、前記冷却水管内へ冷却水を流通せしめるよう
にしたことを発明の基本構成とするものである。
造の循環液タンクを備えた液循環式恒温装置に於いて、
前記循環液タンクに、液蒸気連通管と冷却水管とを熱伝
導性セメントにより一体化して成る管体を、前記液蒸気
連通管の基端部をタンク内部空間と連通せしめて取付け
ると共に、前記冷却水管内へ冷却水を流通せしめるよう
にしたことを発明の基本構成とするものである。
【００１１】
【作用】循環液タンクの上方空間部に滞留する循環液蒸
気は、液蒸気連通管を通して外気側へ流出して行く。一
方、連通管の外壁は空冷若しくは水冷により冷却されて
おり、その結果内部を流通する循環液蒸気は冷却によっ
て凝縮され、凝縮した液は管内壁面に沿って下方へ降下
し、循環液タンク内に回収される。
気は、液蒸気連通管を通して外気側へ流出して行く。一
方、連通管の外壁は空冷若しくは水冷により冷却されて
おり、その結果内部を流通する循環液蒸気は冷却によっ
て凝縮され、凝縮した液は管内壁面に沿って下方へ降下
し、循環液タンク内に回収される。
【００１２】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１は本発明の第１実施例に係る液循環式恒温装
置の要部を示す系統図であり、前記図５の場合と同一部
材には同じ参照番号が使用されている。
する。図１は本発明の第１実施例に係る液循環式恒温装
置の要部を示す系統図であり、前記図５の場合と同一部
材には同じ参照番号が使用されている。
【００１３】図１に於いて、１は循環液タンク、２は循
環液、３はヒータ、４はタンク冷却用コイル、５は液循
環ポンプ、７は温度センサー、８は液面センサー、９は
液面計、１０は液返り管、１１は冷却水入口、１２は冷
却水出口、１３は液補給口、１４は液排出口、１７はポ
ンプ冷却用コイル、１８は液補給通路冷却用コイル、１
９はエアー抜きバルブ、２０はフロースイッチ、２１は
温度制御用弁、２２はキャピラリーチューブ、２３は流
量計、２４は流量調整弁、２５は循環液返り口、２６は
循環液送り口、２８は蒸発液回収器である。
環液、３はヒータ、４はタンク冷却用コイル、５は液循
環ポンプ、７は温度センサー、８は液面センサー、９は
液面計、１０は液返り管、１１は冷却水入口、１２は冷
却水出口、１３は液補給口、１４は液排出口、１７はポ
ンプ冷却用コイル、１８は液補給通路冷却用コイル、１
９はエアー抜きバルブ、２０はフロースイッチ、２１は
温度制御用弁、２２はキャピラリーチューブ、２３は流
量計、２４は流量調整弁、２５は循環液返り口、２６は
循環液送り口、２８は蒸発液回収器である。
【００１４】前記循環液タンク１はステンレス鋼により
製作されており、タンク容量は１６ｌに選定されてい
る。当該タンク１内には循環液２として少なくとも９．
７５ｌ（最低値）の純水が貯留されており、また、タン
ク１内には３相２００Ｖ、４０００Ｗのヒータ３が配設
されている。更に、タンク１の外周面には、タンク冷却
用コイル４として外径９．５３φの銅管が所定のピッチ
で巻付固着されている。
製作されており、タンク容量は１６ｌに選定されてい
る。当該タンク１内には循環液２として少なくとも９．
７５ｌ（最低値）の純水が貯留されており、また、タン
ク１内には３相２００Ｖ、４０００Ｗのヒータ３が配設
されている。更に、タンク１の外周面には、タンク冷却
用コイル４として外径９．５３φの銅管が所定のピッチ
で巻付固着されている。
【００１５】前記タンク１内の循環液２は、設定温度の
８０℃を保持するように制御されており、温度センサー
７の検出値が８０．２℃を越えると、電磁弁２１がｏｎ
−ｏｆｆされて冷却水がタンク冷却用コイル４へ流通さ
れ、ＰＩＤ制御により循環液２が冷却される。また、温
度センサー７の検出値が７９．８℃より下ると、ヒータ
３がｏｎ−ｏｆｆ作動され、所謂ＰＩＤ制御により循環
液２が加熱される。
８０℃を保持するように制御されており、温度センサー
７の検出値が８０．２℃を越えると、電磁弁２１がｏｎ
−ｏｆｆされて冷却水がタンク冷却用コイル４へ流通さ
れ、ＰＩＤ制御により循環液２が冷却される。また、温
度センサー７の検出値が７９．８℃より下ると、ヒータ
３がｏｎ−ｏｆｆ作動され、所謂ＰＩＤ制御により循環
液２が加熱される。
【００１６】タンク１内の循環液２は、液循環ポンプ
（マグネット式ポンプ、３φ２００Ｖ、４００Ｗ、流量
６ｌ／ｍｉｎ、揚程２０〜２５ｍ）５によって液送り口
２６から送出され、被冷却対象（図示省略）を経て液送
り口２５から液返り管１０を通して、タンク１内へ還流
される。尚、本実施例では、液循環系の管径は１２．７
φに選定されている。
（マグネット式ポンプ、３φ２００Ｖ、４００Ｗ、流量
６ｌ／ｍｉｎ、揚程２０〜２５ｍ）５によって液送り口
２６から送出され、被冷却対象（図示省略）を経て液送
り口２５から液返り管１０を通して、タンク１内へ還流
される。尚、本実施例では、液循環系の管径は１２．７
φに選定されている。
【００１７】一方、本発明の要部を形成する蒸発液回収
器２８は、内管２９と外管３０を組み合せた二重管構造
に形成されており、内管２９には外径９．５３φのステ
ンレス鋼管が、また外管３０には外径１５．９φの銅管
が夫々使用されている。また、前記内管２９の下端開口
はタンク１の上方空間部１ａ内へ連通されており、且つ
その上端開口は大気中へ開放されている。更に、外管３
０の上・下端部は内管２９へ溶接されており、これによ
って内管２９と外管３０の間に冷却水通路３１が形成さ
れている。
器２８は、内管２９と外管３０を組み合せた二重管構造
に形成されており、内管２９には外径９．５３φのステ
ンレス鋼管が、また外管３０には外径１５．９φの銅管
が夫々使用されている。また、前記内管２９の下端開口
はタンク１の上方空間部１ａ内へ連通されており、且つ
その上端開口は大気中へ開放されている。更に、外管３
０の上・下端部は内管２９へ溶接されており、これによ
って内管２９と外管３０の間に冷却水通路３１が形成さ
れている。
【００１８】前記蒸発液回収器２８の全長は約２０００
ｍｍに選定されており、コイル状に巻き取りしたうえ厚
さ約１２０ｍｍのタンク断熱材（図示省略）中に配設さ
れている。尚、蒸発液回収器２８の全長は、液２の温度
やタンクの容量によって適宣に選定されるものであり、
通常は１０００ｍｍ〜３０００ｍｍの間に、また、望ま
しくは１５００ｍｍ〜２５００ｍｍの間に選定される。
ｍｍに選定されており、コイル状に巻き取りしたうえ厚
さ約１２０ｍｍのタンク断熱材（図示省略）中に配設さ
れている。尚、蒸発液回収器２８の全長は、液２の温度
やタンクの容量によって適宣に選定されるものであり、
通常は１０００ｍｍ〜３０００ｍｍの間に、また、望ま
しくは１５００ｍｍ〜２５００ｍｍの間に選定される。
【００１９】タンク１の内部空間１ａ内に滞留した液蒸
気は、前記蒸発液回収器２８の内管２９内を通って外気
側へ流通して行く。一方、回収器２８の外管３０と内管
２９の間へは、冷却水入口１１からの冷却水（２０〜３
０℃、４〜８ｌ／ｍｉｎ、１．３〜４ｋｇ／ｃｍ2 ）の
一部が管路３１ａを通して供給されており、当該冷却水
が循環ポンプ冷却用コイル１７を通して流通することに
より、内管２９が冷却される。その結果、内管２９内を
上昇する液蒸気が冷却・凝縮され、液化された循環液２
は内管２９の内壁面に沿って下方へ流下して行く。
気は、前記蒸発液回収器２８の内管２９内を通って外気
側へ流通して行く。一方、回収器２８の外管３０と内管
２９の間へは、冷却水入口１１からの冷却水（２０〜３
０℃、４〜８ｌ／ｍｉｎ、１．３〜４ｋｇ／ｃｍ2 ）の
一部が管路３１ａを通して供給されており、当該冷却水
が循環ポンプ冷却用コイル１７を通して流通することに
より、内管２９が冷却される。その結果、内管２９内を
上昇する液蒸気が冷却・凝縮され、液化された循環液２
は内管２９の内壁面に沿って下方へ流下して行く。
【００２０】本実施例を用いた試験結果によれば、タン
ク内液温度８０℃、液循環量５ｌ／ｍｉｎ、タンク容量
１６ｌ、タンク内最低液量９．７５ｌ、冷却水温度２３
℃、冷却水量１．５ｌ／ｍｉｎ、蒸発液回収器の全長２
０００ｍｍとした場合、循環液（純水）の蒸発損はほぼ
無視できる程度まで減少する。尚、上記試験に於いて
は、循環液２を純水としているが、これが弗素系のフロ
リナートやガルデン、シリコンオイル等であっても、ほ
ぼ同等の蒸発損失の防止効果が発揮される。
ク内液温度８０℃、液循環量５ｌ／ｍｉｎ、タンク容量
１６ｌ、タンク内最低液量９．７５ｌ、冷却水温度２３
℃、冷却水量１．５ｌ／ｍｉｎ、蒸発液回収器の全長２
０００ｍｍとした場合、循環液（純水）の蒸発損はほぼ
無視できる程度まで減少する。尚、上記試験に於いて
は、循環液２を純水としているが、これが弗素系のフロ
リナートやガルデン、シリコンオイル等であっても、ほ
ぼ同等の蒸発損失の防止効果が発揮される。
【００２１】図２は本発明で使用する蒸発液回収器の第
２実施例を示すものである。本実施例に於いては、外径
約９．５３ｍｍφのステンレス管約２０００ｍｍによっ
て蒸発液回収器２８が形成されており、基端部をタンク
１の内部空間１ａ内へ連通させると共に、巻取りした銅
管（液蒸気連通管３２）を断熱材（図示省略）の外方へ
露出させることにより、空気冷却方式で液蒸気を冷却す
るよう構成されている。尚、当該第２実施例の蒸発液回
収器を用いた試験結果によれば、蒸発液回収器以外の条
件を第１実施例の試験の場合と同一にした場合、１日当
りの蒸発液の損失量を、回収器２８を設けない場合の約
１／１０（２４時間連続運転に於いて液損失量約１００
ｃｃ／日）に減少させることができる。
２実施例を示すものである。本実施例に於いては、外径
約９．５３ｍｍφのステンレス管約２０００ｍｍによっ
て蒸発液回収器２８が形成されており、基端部をタンク
１の内部空間１ａ内へ連通させると共に、巻取りした銅
管（液蒸気連通管３２）を断熱材（図示省略）の外方へ
露出させることにより、空気冷却方式で液蒸気を冷却す
るよう構成されている。尚、当該第２実施例の蒸発液回
収器を用いた試験結果によれば、蒸発液回収器以外の条
件を第１実施例の試験の場合と同一にした場合、１日当
りの蒸発液の損失量を、回収器２８を設けない場合の約
１／１０（２４時間連続運転に於いて液損失量約１００
ｃｃ／日）に減少させることができる。
【００２２】図３及び図４は本発明で使用する蒸発液回
収器２８の第３実施例を示すものである。本実施例に於
いては、蒸発液回収器２８が、液蒸気連通管を形成する
外径約９．５３ｍｍのステンレス鋼管３３と冷却水通路
を形成する銅製の冷却水管３４とを、熱伝導性セメント
３５によって一体化した管体を用いて形成されている。
即ち、蒸発液回収器２８を形成する管３３，３４の長さ
は約２０００ｍｍに選定されており、液蒸気が通るステ
ンレス鋼管３３の基端開口はタンク１の内部空間１ａ内
へ、またその他端開口は大気中へ連通されている。
収器２８の第３実施例を示すものである。本実施例に於
いては、蒸発液回収器２８が、液蒸気連通管を形成する
外径約９．５３ｍｍのステンレス鋼管３３と冷却水通路
を形成する銅製の冷却水管３４とを、熱伝導性セメント
３５によって一体化した管体を用いて形成されている。
即ち、蒸発液回収器２８を形成する管３３，３４の長さ
は約２０００ｍｍに選定されており、液蒸気が通るステ
ンレス鋼管３３の基端開口はタンク１の内部空間１ａ内
へ、またその他端開口は大気中へ連通されている。
【００２３】当該第３実施例の蒸発液回収器を用いた試
験結果によれば、蒸発液回収器以外の条件を前記第１実
施例の試験の場合の条件と同一とした場合、循環液の蒸
発損失はほとんど無視できる程度にまで減少し、第１実
施例の場合とほぼ同等の蒸発損失の防止効果が発揮され
る。
験結果によれば、蒸発液回収器以外の条件を前記第１実
施例の試験の場合の条件と同一とした場合、循環液の蒸
発損失はほとんど無視できる程度にまで減少し、第１実
施例の場合とほぼ同等の蒸発損失の防止効果が発揮され
る。
【００２４】
【発明の効果】請求項１に記載の液循環式恒温装置に於
いては、二重管構造の蒸発液回収器を配設し、内管の基
端開口を循環液タンクの内部空間と連通自在に固設する
と共に、その先端開口を大気中へ開放し、更に内・外管
間の冷却水通路に冷却水を流通させて液蒸気を強制冷却
する構成としている。その結果、蒸発液の損失をほぼ零
近くにまで減少させることができ、循環液の補充作業が
不必要となる。
いては、二重管構造の蒸発液回収器を配設し、内管の基
端開口を循環液タンクの内部空間と連通自在に固設する
と共に、その先端開口を大気中へ開放し、更に内・外管
間の冷却水通路に冷却水を流通させて液蒸気を強制冷却
する構成としている。その結果、蒸発液の損失をほぼ零
近くにまで減少させることができ、循環液の補充作業が
不必要となる。
【００２５】また、請求項２に記載の液循環式恒温装置
に於いては、循環液タンクに液蒸気連通管の基端開口を
タンクの内部空間と連通自在に取付け、当該液蒸気連通
管の所望の長さ部分を大気中に露出させると共に、その
先端開口を大気中へ開放する構成の蒸発液回収器を配設
している。その結果、タンクの内部空間内に発生した液
蒸気は、蒸気連通管を通して流通する間に空気冷却によ
って凝縮され、冷却水等を用いることなく経済的にタン
ク内へ有効に回収される。
に於いては、循環液タンクに液蒸気連通管の基端開口を
タンクの内部空間と連通自在に取付け、当該液蒸気連通
管の所望の長さ部分を大気中に露出させると共に、その
先端開口を大気中へ開放する構成の蒸発液回収器を配設
している。その結果、タンクの内部空間内に発生した液
蒸気は、蒸気連通管を通して流通する間に空気冷却によ
って凝縮され、冷却水等を用いることなく経済的にタン
ク内へ有効に回収される。
【００２６】更に、請求項３に記載の液循環式恒温装置
に於いては、液蒸気連通管と冷却水管とを熱伝導性セメ
ントにより固着した構造の蒸発液回収器を配設し、冷却
水管内に冷却水を流通させて液蒸気を強制冷却する構成
としている。その結果、蒸発液の損失をほぼ零近くまで
減少させることができると共に、蒸発液回収器も比較的
安価に製造することができる。本発明は上述の通り、極
めて簡単な構成にも拘わらず優れた実用的効用を奏する
ものである。
に於いては、液蒸気連通管と冷却水管とを熱伝導性セメ
ントにより固着した構造の蒸発液回収器を配設し、冷却
水管内に冷却水を流通させて液蒸気を強制冷却する構成
としている。その結果、蒸発液の損失をほぼ零近くまで
減少させることができると共に、蒸発液回収器も比較的
安価に製造することができる。本発明は上述の通り、極
めて簡単な構成にも拘わらず優れた実用的効用を奏する
ものである。
【図１】本発明の第１実施例に係る液循環式恒温装置の
構成系統図である。
構成系統図である。
【図２】本発明で使用する蒸発液回収器の第２実施例を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図３】蒸発液回収器の第３実施例を示す説明図であ
る。
る。
【図４】図３のＡ−Ａ視断面図である。
【図５】従前の液循環式恒温装置の構成系統図である。
１は循環液タンク、２は循環液、３はヒータ、４はタン
ク冷却用コイル、５は液循環ポンプ、７は温度センサ
ー、８は液面センサー、９は液面計、１０は液返り管、
１１は冷却水入口、１２は冷却水出口、１３は液補給
口、１４は液排出口、１７はポンプ冷却用コイル、１８
は液補給通路冷却用コイル、１９はエアー抜きバルブ、
２０はフロースイッチ、２１は温度制御用弁、２２はキ
ャピラリーチューブ、２３は流量計、２４は流量調整
弁、２５は循環液返り口、２６は循環液送り口、２８は
蒸発液回収器、２９は内管、３０は外管、３１ａは管
路、３１は冷却水通路、３２，３３は液蒸気連通管、３
４は冷却水管、３５はサーモセメント。
ク冷却用コイル、５は液循環ポンプ、７は温度センサ
ー、８は液面センサー、９は液面計、１０は液返り管、
１１は冷却水入口、１２は冷却水出口、１３は液補給
口、１４は液排出口、１７はポンプ冷却用コイル、１８
は液補給通路冷却用コイル、１９はエアー抜きバルブ、
２０はフロースイッチ、２１は温度制御用弁、２２はキ
ャピラリーチューブ、２３は流量計、２４は流量調整
弁、２５は循環液返り口、２６は循環液送り口、２８は
蒸発液回収器、２９は内管、３０は外管、３１ａは管
路、３１は冷却水通路、３２，３３は液蒸気連通管、３
４は冷却水管、３５はサーモセメント。
Claims (3)
- 【請求項１】 非密閉構造の循環液タンクを備えた液循
環式恒温装置に於いて、前記循環液タンクに、外管内に
内管を挿入すると共に外管の両端部を密閉して成る二重
管を、前記内管の基端開口をタンクの内部空間へ連通せ
しめて取付け、当該二重管の内管の先端開口を大気中へ
開放すると共に前記内管と外管との間の冷却水通路へ冷
却水を流通させるようにしたことを特徴とする液循環式
恒温装置。 - 【請求項２】 非密閉構造の循環液タンクを備えた液循
環式恒温装置に於いて、前記循環液タンクに、液蒸気連
通管の基端部をタンクの内部空間と連通自在に取付け、
当該蒸気連通管の所望長さ部分を大気中に露出させると
共に、その先端開口を大気中へ開放せしめたことを特徴
とする液循環式恒温装置。 - 【請求項３】 非密閉構造の循環液タンクを備えた液循
環式恒温装置に於いて、前記循環液タンクに、液蒸気連
通管と冷却水管とを熱伝導性セメントにより一体化して
成る管体を、前記液蒸気連通管の基端部をタンク内部空
間と連通せしめて取付けると共に、前記冷却水管内へ冷
却水を流通させるようにしたことを特徴とする液循環式
恒温装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7827494A JP2959951B2 (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | 液循環式恒温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7827494A JP2959951B2 (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | 液循環式恒温装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07284675A true JPH07284675A (ja) | 1995-10-31 |
| JP2959951B2 JP2959951B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=13657405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7827494A Expired - Fee Related JP2959951B2 (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | 液循環式恒温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2959951B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19653888C1 (de) * | 1996-12-21 | 1998-05-20 | Julabo Labortechnik Gmbh | Laborkältethermostat |
| WO2001003169A1 (fr) * | 1999-07-02 | 2001-01-11 | Tokyo Electron Limited | Installation, procede et dispositif de fabrication de semi-conducteurs |
| WO2001003168A1 (fr) * | 1999-07-02 | 2001-01-11 | Tokyo Electron Limited | Installation de fabrication de semi-conducteurs |
| CN112058332A (zh) * | 2019-06-10 | 2020-12-11 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种恒温液槽 |
-
1994
- 1994-04-18 JP JP7827494A patent/JP2959951B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19653888C1 (de) * | 1996-12-21 | 1998-05-20 | Julabo Labortechnik Gmbh | Laborkältethermostat |
| WO2001003169A1 (fr) * | 1999-07-02 | 2001-01-11 | Tokyo Electron Limited | Installation, procede et dispositif de fabrication de semi-conducteurs |
| WO2001003168A1 (fr) * | 1999-07-02 | 2001-01-11 | Tokyo Electron Limited | Installation de fabrication de semi-conducteurs |
| US6370897B1 (en) | 1999-07-02 | 2002-04-16 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing facility |
| US6427462B1 (en) | 1999-07-02 | 2002-08-06 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing facility, semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method |
| CN112058332A (zh) * | 2019-06-10 | 2020-12-11 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种恒温液槽 |
| CN112058332B (zh) * | 2019-06-10 | 2022-02-11 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种恒温液槽 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2959951B2 (ja) | 1999-10-06 |
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