JP2001079949A - 熱圧着装置 - Google Patents

熱圧着装置

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thermocompression bonding
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パルスヒート方式により加熱される長尺ヒー
タツールをワークに押圧する熱圧着装置において、ヒー
タツールからワークに伝わる熱量の不均一性によってヒ
ータツールの温度分布の不均一性が増大するのを防ぎ、
長いワークを均質に接合し、熱圧着の信頼性を高める。 【解決手段】 ヒータツールを抵抗温度係数が負のヒー
タ材料で形成する。ヒータ材料は導電性セラミック、特
に炭化シリコンの焼結体が適する。ヒータ材料の少なく
ともワーク圧着面側には熱伝導性が良い電気絶縁材を積
層しておくことにより、ワーク圧着面の絶縁性を得つつ
ワーク圧着面の温度分布を一層均一化できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は長尺のヒータツー
ルをワークに押圧しパルスヒート方式により加熱するこ
とによりワークを熱圧着するために用いる熱圧着装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、電子機器の小型、軽量、薄型
化に伴って超高密度実装技術が進展している。例えば液
晶パネル等の端子と外部回路の接続端子との接続に際し
ては、その接続端子の間隔はますます狭くすることが要
求され、接続端子のピッチは０．２〜０．５ｍｍあるい
はそれよりさらに微細なものが要求されるようになって
きた。このような微細な接続端子にリード線を接続する
手段の一つとして、異方性導電膜を用いる方法が知られ
ている。
【０００３】この異方性導電膜は、導電粒子を樹脂等の
接着剤の中に均一に分散して形成されている高分子膜で
あり、電気的異方性を持つ。すなわちこれを突出した電
極間に挟んで熱圧着することにより、導電粒子をこの膜
の厚み方向にのみ接触させて導通をとり、上下の電極間
の導電性を得ると共に、その他の方向には絶縁性を持た
せることができるものである。
【０００４】この異方性導電膜は比較的低温での実装が
可能であるため、許容温度の低い液晶パネルとフレキシ
ブル配線板との接続などに多用されている。このような
特性を有する異方性導電膜を用いて電極間例えば端子と
リード線との熱圧着を行う時、安定した電気的特性や接
着強度を得るためには、所定の加圧力、所定の加熱温度
が接続面に均一に加えられることが重要である。
【０００５】このため従来より、所定温度に管理された
ヒータブロックに板状の治具を載せ、この治具に液晶デ
ィスプレイパネルと異方性導電膜とフレキシブルプリン
ト配線板（ＦＰＷＢ）とを順に重ね、上から圧着部分の
長さを持った長尺のヒータツールを圧接する熱圧着装置
が用いられている。ここにヒータブロックは約１００℃
に保ち、ヒータツールは所定周期でパルス状電流を流し
て３００〜４００℃に加熱する（パルスヒート接合方
式）。そしてこのヒータツールをこの温度に所定時間
（約３０秒）保持した後、このヒータツールが冷えるの
を待ってヒータツールをワークから離すものである。加
熱時間、加熱温度は対象ワークにより異なる。
【０００６】ここに用いるヒータツールは電流の供給に
より速やかに温度が十分に上昇し、また電流を切ること
によって速やかに冷えることが必要である。このためそ
の熱容量は十分に小さく作られている。通常このヒータ
ツールは、断面が縦長の矩形であり、モリブデン、チタ
ン、タングステン、コバールなどの電気抵抗が大きい高
抵抗材料で作られている。
【０００７】また配線基板の電極にはんだめっきを施し
ておき、この上にＩＣのリードなどを載せて上から長尺
のヒータツールを押圧し、ヒータツールをパルスヒート
方式により発熱させてはんだめっきを溶融（リフロー）
させ、はんだ付けする方法も公知である。
【０００８】このように長尺のヒータツールはワークに
接触する前（無負荷時）には全体が長さ方向に均一な温
度に保たれる。そしてこのヒータツールをワークに押圧
するとヒータツールの熱がワークに逃げるが、ヒータツ
ールの温度はこのヒータツールに取付けた熱電対などに
よって検出したヒータツールの温度が低下すると、ヒー
タツールに流す電流を増やしてヒータツール温度を一定
に保つように制御している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】近年ヒータツールは長
くして一度に接合できるワークを長くし、接合能率を上
げることが行われている。例えば約３０ｃｍの長さのヒ
ータツールが用いられている。なお複数のワークを一列
に並べて一度に接合したり、長いワークの間にヒータツ
ールに接触しない非接合部があることもある。またワー
クの熱容量が長手方向に不均一になることもある。
【００１０】これらの場合ヒータツールからワークに伝
わる熱量は、ワークに接触する位置で増え、ワークに接
触しない位置で減少する。またワークの熱容量の大きい
位置で増え熱容量の小さい位置で減少する。このためヒ
ータツールの温度は、ワークに接触しない位置やワーク
の熱容量の小さい位置で上昇する。その結果長手方向の
温度分布が不均一になる。
【００１１】前記したように従来のヒータツールはモリ
ブデンなどの高抵抗材料で作られ、従来の材料はいずれ
も抵抗の温度係数（抵抗温度係数）が正である。すなわ
ち温度上昇に伴って電気抵抗が増加するものである。こ
のためヒータツールは前記のようにワークに接触してい
ない位置やワークの熱容量が小さい位置で温度が上昇す
ると、この位置の電気抵抗が増大して発熱量が増える。
するとこの部分が著しく温度上昇して長手方向の温度分
布の不均一性が増幅される。このため長いワークを均質
に接合することが困難になったり、接合の信頼性低下を
招くおそれもあった。また時にはこの温度上昇部分でヒ
ータツールが溶断するおそれも生じ得る。
【００１２】この発明はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、ヒータツールからワークに伝わる熱量の不
均性によってヒータツールの温度分布の不均性が増大す
るのを防ぎ、長いワークを均質に接合し、接合信頼性を
向上させることができる熱圧着装置を提供することを目
的とする。
【００１３】
【発明の構成】本発明によればこの目的は、パルスヒー
ト方式により加熱される長尺のヒータツールをワークに
押圧しワークを熱圧着する熱圧着装置において、前記ヒ
ータツールは、抵抗温度係数が負のヒータ材料で形成さ
れていることを特徴とする熱圧着装置、により達成され
る。
【００１４】ヒータツールのヒータ材料が非電導性であ
るかワークの表面が非電導性である時には、このヒータ
ツールをワークに直接押圧してもよいが、ヒータ材料お
よびワーク表面が電導性である時には、少なくともワー
ク圧着面とワークとの間に熱伝導率が良く電気絶縁性が
高い材料（以下単に絶縁材ともいう）を介してワークに
押圧するのがよい。この絶縁材はヒータツールのワーク
圧着面に接着などで積層してもよい。
【００１５】ヒータ材料としては、負の抵抗温度係数を
持った導電性セラミックス、例えば炭化シリコン（Ｓｉ
Ｃ）の焼結体が最適である。このＳｉＣの焼結体はＳｉ
Ｎの粉末に必要に応じて焼結助材を加え、加圧成形し焼
成することにより焼結したものである。このＳｉＣの焼
結体は良電導性であるので、その少なくともワーク圧着
面には熱伝導性が高い電気絶縁材を積層するのがよい。
この絶縁材としては、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）の焼
結体（セラミックス）が最適である。このＡｌＮ焼結体
はＡｌＮの粉末に焼結助材を加えて焼結したものであ
り、板状に焼結成形したものをヒータツールのワーク押
圧面にセラミック接着剤で接着する。
【００１６】この発明の目的は、パルスヒート方式によ
り加熱される長尺のヒータツールをワークに押圧しワー
クを熱圧着する熱圧着装置において、ワークの上方で昇
降する昇降ブロックと、この昇降ブロックの下面に略水
平に固定された絶縁材製の長尺のヒータツールホルダ
と、このヒータツールホルダの下面をその長手方向に縦
断するように形成された長溝に下から係合する負の抵抗
温度係数を持ったヒータツールと、このヒータツールの
両端に電流を導く左右一対の給電手段とを備え、前記給
電手段の少なくとも一方はヒータツールをその長手方向
に移動可能に保持することを特徴とする熱圧着装置、に
よっても達成される。
【００１７】
【実施態様】図１は本発明の一実施態様を示す斜視図、
図２はここに用いる熱圧着ヘッドの正面図、図３はその
右側面図、図４は図２におけるIV-IV線端面図、図５は
給電手段を示す分解斜視図である。また図６は制御系統
図、図７は動作タイミング図、図８は動作の流れ図、図
９はヒータツールの拡大断面図である。
【００１８】図１において符号１０はＸ−Ｙ移動テーブ
ルであり、水平面上でＸ，Ｙ両方向に移動可能である。
１２はこのテーブル１０の上に載せられたヒータブロッ
クである。このヒータブロック１２は金属製の厚板であ
り、その下面にはアラミド樹脂等の断熱板１４が貼着さ
れ、この断熱板１４がテーブル１０に密着している。
【００１９】ヒータブロック１２には左右方向に貫通す
る小孔（図示せず）が形成され、この小孔内に左右両側
から電気ヒータ１６（一方のみ図示）が挿入されてい
る。ヒータ１６には図示しないヒータ電源回路から電流
が供給され、ヒータブロック１２を加熱し約１００℃に
保持する。このヒータブロック１２は、後記する治具１
８や後記するワーク２６を予め加熱しておくことによ
り、後記ヒータツール５０の加熱温度を過度に高くする
必要をなくし、ヒータツール５０の耐久性を向上させる
ものである。
【００２０】１８は板状の治具であり、ヒータブロック
１２の上面に載せられる。この治具１８はアルミニウム
板などで作られ、ヒータブロック１２によって加熱され
ている。
【００２１】２０は配線基板であり、ここでは液晶ディ
スプレイパネルを用いる。この基板２０の上面には、前
後方向に長い多数の電極が横方向（電気ヒータ１６の長
さ方向）に小さいピッチ（約０．２ｍｍ＝２００μｍ）
間隔で並べて形成されている。基板２０は液晶パネルに
代えてフェノール樹脂、ガラスエポキシ樹脂などの硬質
絶縁基板や、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂等の柔
軟な絶縁基板などであってもよい。
【００２２】２２はテープ状に切られた異方性導電膜で
あり、基板２０の電極の上に多数の電極の並列方向に沿
わせて貼着される。この異方性導電膜２２の上には、さ
らに被圧着物２４が載せられる。この被圧着物２４はこ
の場合液晶パネルの駆動用ＬＳＩやＩＣのリードであ
り、これらのリードが異方性導電膜２２を挟んで基板２
０の対応する電極に対向する。
【００２３】被圧着物２４はＬＳＩ，ＩＣのリードに代
えて、フレキシブル配線板などの電極であってもよいの
は勿論である。なお電極と異方性導電膜２２と被圧着物
２４とは、ヒータ１６の長さ方向に沿ってこれらヒータ
１６の上方に位置する。この実施態様では、これら基板
２６、異方性導電膜２２および被圧着物２４の積層体が
熱圧着の対象であるワーク２６となる。
【００２４】３０は熱圧着ヘッドであり、ヘッド保持部
３２に上下動可能に保持されている。この圧着ヘッド３
０は、水平で長いブロック状の昇降ブロック３４を持
ち、この昇降ブロック３４に垂直に植設した左右一対の
ガイドロッド３６，３６がこのヘッド保持部３２に上下
動可能に保持されている。この昇降ブロック３４とヘッ
ド保持部３２との間にはエアシリンダ３８が介在し、こ
のエアシリンダ３８により昇降ブロック３４を昇降させ
ることができる。
【００２５】昇降ブロック３４は、加圧ブロック４０と
その下面に固定された保持ブロック４２とで構成され
る。これらはステンレススチール製である。この保持ブ
ロック４２は、その前面下部が水平に切り欠かれて断面
略逆Ｌ字状に形成され、下部が板状に垂下する舌片４２
Ａとなっている。
【００２６】この板状の舌片４２Ａの前面には、黒斑れ
い岩などの絶縁材で作られた板状のヒータツールホルダ
４４が密着し固定されている。すなわちこのヒータツー
ルホルダ４４は保持ブロック４２とステンレススチール
製の押えブロック４６とに挟まれ、複数のボルト４７
（図２）によって保持ブロック４２に固定されている。
【００２７】ヒータツールホルダ４４の下部は舌状に下
方および左右両側方へ突出し、この下縁は水平であって
図３，４，９に示す溝４８が形成されている。この溝４
８には断面が矩形で直線棒状のヒータツール５０が係入
し保持されている。このヒータツール５０は負の抵抗温
度係数を持ったヒータ材料５０Ａと、熱伝導性が高い電
気絶縁材５０Ｂとを積層したものである。
【００２８】ヒータ材料５０Ａは、導電性セラミック
ス、例えば炭化シリコン（ＳｉＣ）の焼結体が適する。
電気絶縁材５０Ｂは窒化アルミニウム（ＡｌＮ）の焼結
体が適し、ヒータ材料５０Ａの下面（ワーク圧着面）に
セラミック装着される。ここにセラミック接着は、ヒー
タ材料（ＳｉＣ）５０Ａと電気絶縁材（ＡｌＮ）５０Ｂ
とを焼結によって接合する接合方法である。このヒータ
ツール５０は電気絶縁材（ＡｌＮ）５０Ｂを下にしてヒ
ータ材料（ＳｉＣ）５０Ａの部分をヒータツールホルダ
４４の溝４８に係合させて保持される。
【００２９】ヒータツール５０の下面すなわち電気絶縁
材（ＡｌＮ）５０Ｂの下面は、平坦な圧着面５０Ｃとな
り、この圧着面５０Ｃはワーク２６の圧着領域より長
い。すなわち異方性導電膜２２（図１）の長さよりも長
い。ヒータツール５０の両端はヒータツールホルダ４４
の外側へ突出し、この突出部には保持ブロック４２から
絶縁された給電手段５２，５２（図２）が接続されてい
る。
【００３０】これら給電手段５２，５２は図２，３，５
に示すように構成される。すなわち保持ブロック４２の
端面に電気的に絶縁されて固定される電気銅製の給電ブ
ロック５４と、この給電ブロック５４の下方に間隔を空
けて位置する電気銅製のシャンク５６と、これら給電ブ
ロック５４とシャンク５６とを結合するベリリウム銅製
の２枚の板ばね５８，５８とを持つ。
【００３１】ここにシャンク５６の下端面にはヒータツ
ール５０が係入する溝６０が形成され（図３，５）、こ
の溝６０の一内側壁に沿ってすり割り６２が形成されて
いる。従ってこの溝６０にヒータツール５０を下方から
係入させ、すり割り６２を横断するねじ６４（図３）を
締め付けることによりシャンク５６をヒータツール５０
に固定することができる。またこのねじ６４を緩めるこ
とによりヒータツール５０をシャンク５６から取外すこ
とができる。
【００３２】前記の板ばね５８，５８は、シャンク５６
が左右方向へ移動するのを許容する。すなわち板ばね５
８の平面がヒータツール５０と直交する方向（ヒータツ
ールホルダ４４の側端面と平行）にあって、ヒータツー
ル５０の長手方向への移動を許容する。一対の板ばね５
８は互いに平行であって給電ブロック５４とシャンク５
６を挟む状態で固定される。
【００３３】このヒータツール５０には、配線コード６
６および給電ブロック５４を介して、電源装置（図示せ
ず）からパルス状の大電流が供給され、この電流により
ヒータツール５０は加熱される。なおヒータツール５０
の適宜位置、例えば中央付近には熱電対などの温度セン
サ６８（図２）が貼着され、温度管理される。例えば圧
着面５０Ｃの中央付近が３００〜４００℃位に管理され
る。
【００３４】この実施態様の装置は、作動中連続的にあ
るいは熱圧着終了時に間欠的に圧着箇所を強制冷却する
ための空冷用パイプ７０を備える。すなわち加圧ブロッ
ク４０の前後面に保持アーム７２が固定され、この保持
アーム７２によってパイプ７０は保持ブロック４２の近
くに水平に保持されている。このパイプ７０には保持ブ
ロック４２側に向かって多数の空気噴射口が設けられる
一方、このパイプ７０の両端にはコネクタ７４，７４を
介して冷却空気が供給される。
【００３５】このため空気噴射口から噴出する冷却用空
気が保持ブロック４２や押さえブロック４６あるいはヒ
ータツールホルダ４４に当たり、これらを速やかに冷却
する。なお保持アーム７２の途中には蝶番機構７２Ａが
設けられ、パイプ７０と保持ブロック４２との間隔を調
節可能にしている。
【００３６】図６において８０は温度検出回路であり、
ヒータツール５０に貼った温度センサ６８の出力に基づ
いてヒータツール温度Ｔを検出する。８２はコントロー
ラであり、このヒータツール温度Ｔを所定の時点で所定
温度にするようにヒータツール５０に流す電流を制御す
る。すなわちコントローラ８２は目標とする電流を示す
信号をＰＷＭ（パルス幅制御）回路８４に送り、このＰ
ＷＭ回路８４は目標電流に対応するデューティー比のオ
ン・オフ信号をドライバ８６に送る。ドライバ８６はこ
のＰＷＭ回路８４が出力するオン・オフ信号に基づいて
ヒータツール５０に流す電流をオン・オフ制御する。
【００３７】またコントローラ８２は所定のタイミング
に昇降ブロック３４を昇降させると共に、所定のタイミ
ングに空気バルブ８８を開閉する。この空気バルブ８８
は空気ポンプ９０が空気フィルタ９２を通して吸入し空
冷用パイプ７０に圧送する空気を断続するものである。
【００３８】この圧着装置を使用する際は、Ｘ−Ｙ移動
テーブル１０上のヒータブロック１２に治具１８を載
せ、ヒータブロック１２の電気ヒータ１６に通電して治
具１８表面温度を約１００℃に保つ。この上にワークす
なわち基板２０と異方性導電膜２２と被圧着材２４との
積層体であるワーク２６を載せる。そしてテーブル１０
を移動させてワーク２６の圧着部分をヒータツール５０
の圧着面５０Ｃの下に位置決めする（図８のステップ１
００）。
【００３９】この状態でコントローラ８２は図７に示す
ように、ある時刻ｔ1からヒータツール５０に大電流Ｉ1
を供給し、ヒータツール５０を速やかに加熱する（ステ
ップ１０２）。コントローラ８２は温度センサ６８が検
出するヒータツール５０の温度Ｔが所定温度Ｔ1になる
ようにヒータ電流Ｉを制御する（ステップ１０４）。こ
の時（ｔ＝ｔ2）のヒータツール温度Ｔ1は、ワークの熱
圧着温度（Ｔ2）とほぼ同一とする。
【００４０】ヒータツール５０は熱膨張により体積が増
大し長手方向に伸びるが、ヒータツール５０の両端はシ
ャンク５６，５６を介して板ばね５８，５８に連結され
ているから、ヒータツール５０の伸びた長さ分板ばね５
８，５８が撓むことによってヒータツールホルダ４４へ
の接触領域内でヒータツール５０が波打つことがない。
【００４１】昇降ヘッド３４を下降させて（ステップ１
０６）、このように予め加熱したヒータツール５０をワ
ークに押圧すれば、所定の加圧力と所定の加熱温度が接
続面に均一に加えられる。ヒータツール５０がワークに
接触するとヒータツール５０の熱がワークに伝わるか
ら、ヒータ温度Ｔは一瞬下がるが、コントローラ８２は
電流ＩをＩ2に増加してヒータ温度ＴをＴ2に保つ（ステ
ップ１０８）。この温度Ｔ2はＴ1とほぼ同一とするのが
望ましい。このようにヒータツール５０を予め加熱して
からワークに押圧するから、ヒータツール５０はワーク
を押圧する際に伸びることがなく、ヒータツールの伸縮
によるワークの位置ずれが発生せず信頼性が向上する。
【００４２】この加熱は約３０秒間続けられた後（ｔ＝
ｔ3，ステップ１１０）、ヒータツール５０の通電が停
止され、空気バルブ８８を開いて冷却風を圧着ヘッド３
０に当ててこれを急冷する（ステップ１１２）。このた
めヒータツール５０およびワーク２６は急速に冷える。
ワーク２６が冷え（Ｔ≦Ｔ3，ステップ１１４）、異方
性導電膜２２内の樹脂が凝固した後圧着ヘッド３０を上
昇させ（ステップ１１６）、ヒータツール５０をワーク
２６から離すと共に、空気バルブ８８を閉じる（ステッ
プ１２０）。
【００４３】そしてワークを移動してワークを交換し、
圧着ヘッド３０の下に新しいワークを位置決めして（ス
テップ１００）、以上の動作を繰り返す。
【００４４】なおワークはヒータツール５０の長手方向
に連続しているとは限らず、複数のワークを適宜間隔を
おいて並べた場合や、ワーク自身に熱伝導性の不均一性
あるいは熱容量の不均一性がある場合がある。このよう
な場合には、ヒータツール５０をワークに押圧するとヒ
ータツール５０からワークに伝わる熱量が長手方向に不
均一になるから、ヒータツール５０の長手方向の温度分
布が不均一になる。
【００４５】ここにヒータツール５０は負の抵抗温度係
数を有するヒータ材料（ＳｉＣ）５０Ａで作られている
から、温度が高い部分の電気抵抗Ｒ（Ω）が小さくな
る。電流Ｉ（Ａ）、通電時間ｔ（ｓｅｃ）とすると、発
熱量Ｑは、Ｑ＝ＲＩ2ｔ（Ｊｏｕｌ）＝０．２４ＲＩ2ｔ
（ｃａｌ）となるから、この温度の高い部分の発熱量Ｑ
は電気抵抗Ｒの減少に伴って減少する。このためこの温
度の高い部分での電気抵抗による温度上昇が抑制され、
ヒータツール５０の長手方向の温度不均一性が改善され
る。すなわちヒータツール５０の温度が均一化される。
【００４６】またこのヒータツール５０は、ワーク圧着
面側に熱伝導率が高い電気絶縁材５０Ｂを積層したの
で、圧着面５０Ｃがこの絶縁材５０Ｂで形成されること
になる。このため圧着面５０Ｃの温度が均一化される。
この実施態様では負の抵抗温度係数を持つヒータ材料５
０Ａに熱伝導率が高い絶縁材５０Ｂを積層したものであ
るが、通常のモリブデン、チタン、タングステン、コバ
ールなどの正の抵抗温度係数を持つ高抵抗材料を用いた
ヒータ材料にこの熱伝導率が高い絶縁材を積層した場合
にも、ヒータツールの温度を均一化できるという効果が
得られる。絶縁材５０Ｂは接着に代えて嵌合などの機械
的結合により固定したり、コーティングなど薄膜状とし
たものでもよい。
【００４７】この発明は異方性導電膜２２を用いて熱圧
着する場合だけでなく、他の熱圧着のためにも用いるこ
とができる。例えば電極に予めはんだめっきなどで所定
量のはんだを供給しておき、ヒータツールで加熱するこ
とによりリフローさせるものにも適用できる。なお本実
施態様では棒状のヒータツール５０の断面を長方形とし
て説明したが、ワークによっては圧着面を逆凸状や片刃
状に形成してもよい。
【００４８】
【発明の効果】請求項１の発明は以上のように、長尺の
ヒータツールを抵抗温度係数が負となるヒータ材料で形
成したものであるから、ヒータツールの温度分布が不均
一になっても温度の高い部分の電気抵抗を減少させて温
度分布の不均一性を抑制することができる。このため長
いワークを均質に接合し、接合の信頼性を向上させるこ
とができる。
【００４９】このヒータ材料の少なくともワーク圧着面
側には熱伝導率が高く電気絶縁材を積層しておくことに
より、圧着面の温度分布を一層均一化でき、発明の効果
は一層顕著になる（請求項２）。ヒータ材料としては導
電性セラミックス（請求項３）、例えば炭化シリコン
（ＳｉＣ）の焼結体が最適である（請求項４）。また積
層する電気絶縁材は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）が最
適である（請求項５）。
【００５０】請求項６の発明は、棒状のヒータツールを
負の抵抗温度係数をもつヒータ材料で形成したから、請
求項１の発明と同様な効果が得られる。またヒータツー
ルの両端を保持する給電手段の少なくとも一方がヒータ
ツールをその長手方向に移動可能に保持するものである
から、棒状のヒータツールの熱膨張による長手方向の伸
びを吸収させることができ、ヒータツールが高温になっ
てもヒータツールの直線状の中央部がワーク方向に湾曲
することがなく、所定の加圧力と所定の加熱温度を圧着
面に均一に加えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施態様を示す斜視図
【図２】ここに用いる熱圧着ヘッドの正面図
【図３】同じく熱圧着ヘッドの右側面図
【図４】図２におけるIV−IV線端面図
【図５】給電手段の分解斜視図
【図６】制御系統図
【図７】動作タイミング図
【図８】動作流れ図
【図９】ヒータツールの拡大断面図
【符号の説明】
３０ 熱圧着ヘッド ３４ 昇降ブロック ４０ 加圧ブロック ４２ 保持ブロック ４４ ヒータツールホルダ ５０ ヒータツール ５０Ａ ヒータ材料（ＳｉＮ） ５０Ｂ 電気絶縁材（ＡｌＮ） ５２ 給電手段 ５４ 給電ブロック ５６ シャンク ５８ 板ばね ６８ 温度センサ ７０ 空冷用パイプ ８２ コントローラ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 パルスヒート方式により加熱される長尺
    のヒータツールをワークに押圧しワークを熱圧着する熱
    圧着装置において、 前記ヒータツールは、抵抗温度係数が負のヒータ材料で
    形成されていることを特徴とする熱圧着装置。
  2. 【請求項２】 ヒータツールは、ヒータ材料の少なくと
    もワーク圧着面側に熱伝導率が高い電気絶縁材が積層さ
    れている請求項１の熱圧着装置。
  3. 【請求項３】 ヒータ材料は負の抵抗温度係数を持った
    導電性セラミックスである請求項１または２の熱圧着装
    置。
  4. 【請求項４】 導電性セラミックスは炭化シリコンの焼
    結体である請求項１〜３のいずれかの熱圧着装置。
  5. 【請求項５】 熱伝導率が高い電気絶縁材は窒化アルミ
    ニウムの焼結体である請求項２〜４のいずれかの熱圧着
    装置。
  6. 【請求項６】 パルスヒート方式により加熱される長尺
    のヒータツールをワークに押圧しワークを熱圧着する熱
    圧着装置において、ワークの上方で昇降する昇降ブロッ
    クと、この昇降ブロックの下面に略水平に固定された絶
    縁材製の長尺のヒータツールホルダと、このヒータツー
    ルホルダの下面をその長手方向に縦断するように形成さ
    れた長溝に下から係合する負の抵抗温度係数を持ったヒ
    ータツールと、このヒータツールの両端に電流を導く左
    右一対の給電手段とを備え、前記給電手段の少なくとも
    一方はヒータツールをその長手方向に移動可能に保持す
    ることを特徴とする熱圧着装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012028219A3 (de) * 2010-08-31 2012-05-31 Lemo Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zum verschweissen von folie und damit hergestellter beutel
EP2505339A1 (en) * 2009-04-10 2012-10-03 Atsunobu Sakamoto Heater of impulse sealer covered with ceramics
JP2016141101A (ja) * 2015-02-04 2016-08-08 ムネカタインダストリアルマシナリー株式会社 熱溶着装置
JP2019511398A (ja) * 2016-03-23 2019-04-25 フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツゥア フェアデルング デア アンゲヴァンドテン フォァシュング エー．ファウ． 材料連続性を有する、又は材料連続性及び形状適合性を有する、少なくとも１つの金属製又はセラミック製の構成要素と、熱可塑性ポリマーから形成されるか、または熱可塑性ポリマーによって形成される構成要素と、の接続を、確立又は分離するための装置及び方法
JP7275246B1 (ja) 2021-12-28 2023-05-17 三菱重工業株式会社 融着装置及び融着方法
US11999114B2 (en) 2021-12-28 2024-06-04 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Welding device and welding method

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2505339A1 (en) * 2009-04-10 2012-10-03 Atsunobu Sakamoto Heater of impulse sealer covered with ceramics
EP2505339A4 (en) * 2009-04-10 2013-05-22 Atsunobu Sakamoto HEATER OF A CERAMIC-COATED IMPULSE WELDING DEVICE
WO2012028219A3 (de) * 2010-08-31 2012-05-31 Lemo Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zum verschweissen von folie und damit hergestellter beutel
JP2016141101A (ja) * 2015-02-04 2016-08-08 ムネカタインダストリアルマシナリー株式会社 熱溶着装置
JP2019511398A (ja) * 2016-03-23 2019-04-25 フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツゥア フェアデルング デア アンゲヴァンドテン フォァシュング エー．ファウ． 材料連続性を有する、又は材料連続性及び形状適合性を有する、少なくとも１つの金属製又はセラミック製の構成要素と、熱可塑性ポリマーから形成されるか、または熱可塑性ポリマーによって形成される構成要素と、の接続を、確立又は分離するための装置及び方法
JP7013383B2 (ja) 2016-03-23 2022-01-31 フラウンホーファー－ゲゼルシャフト ツゥア フェアデルング デア アンゲヴァンドテン フォァシュング エー．ファウ． 材料連続性を有する、又は材料連続性及び形状適合性を有する、少なくとも１つの金属製又はセラミック製の構成要素と、熱可塑性ポリマーから形成されるか、または熱可塑性ポリマーによって形成される構成要素と、の接続を、確立又は分離するための装置及び方法
JP7275246B1 (ja) 2021-12-28 2023-05-17 三菱重工業株式会社 融着装置及び融着方法
JP2023098045A (ja) * 2021-12-28 2023-07-10 三菱重工業株式会社 融着装置及び融着方法
US11999114B2 (en) 2021-12-28 2024-06-04 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Welding device and welding method

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