JP2869051B2 - 熱圧着装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は長尺のヒータツー
ルをワークに押圧しパルスヒート方式により加熱するこ
とによりワークを熱圧着するために用いる熱圧着装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、電子機器の小型、軽量、薄型
化に伴って超高密度実装技術が進展している。例えば液
晶パネル等の端子と外部回路の接続端子との接続に際し
ては、その接続端子の間隔はますます狭くすることが要
求され、接続端子のピッチは０．２〜０．５ｍｍあるい
はそれよりさらに微細なものが要求されるようになって
きた。このような微細な接続端子にリード線を接続する
手段の一つとして、異方性導電膜を用いる方法が知られ
ている。

【０００３】この異方性導電膜は、導電粒子を樹脂等の
接着剤の中に均一に分散して形成されている高分子膜で
あり、電気的異方性を持つ。すなわちこれを突出した電
極間に挟んで熱圧着することにより、導電粒子をこの膜
の厚み方向にのみ接触させて導通をとり、上下の電極間
の導電性を得ると共に、その他の方向には絶縁性を持た
せることができるものである。

【０００４】この異方性導電膜は比較的低温での実装が
可能であるため、許容温度の低い液晶パネルとフレキシ
ブル配線板との接続などに多用されている。このような
特性を有する異方性導電膜を用いて電極間例えば端子と
リード線との熱圧着を行う時、安定した電気的特性や接
着強度を得るためには、所定の加圧力、所定の加熱温度
が接続面に均一に加えられることが重要である。

【０００５】このため従来より、所定温度に管理された
ヒータブロックに板状の治具を載せ、この治具に液晶デ
ィスプレイパネルと異方性導電膜とフレキシブルプリン
ト配線板（ＦＰＷＢ）とを順に重ね、上から圧着部分の
長さを持った長尺のヒータツールを圧接する熱圧着装置
が用いられている。ここにヒータブロックは約１００℃
に保ち、ヒータツールは所定周期でパルス状電流を流し
て３００〜４００℃に加熱する（パルスヒート接合方
式）。そしてこのヒータツールをこの温度に所定時間
（約３０秒）保持した後、このヒータツールが冷えるの
を待ってヒータツールをワークから離すものである。加
熱時間、加熱温度は対象ワークにより異なる。

【０００６】ここに用いるヒータツールは電流の供給に
より速やかに温度が十分に上昇し、また電流を切ること
によって速やかに冷えることが必要である。このためそ
の熱容量は十分に小さく作られている。またヒータブロ
ックと治具を予め加熱しておくのは、ヒータツールの加
熱温度を過度に高くする必要をなくし、ヒータツールの
耐久性を向上させるためである。

【０００７】また配線基板の電極にはんだめっきを施し
ておき、この上にＩＣのリードなどを載せて上から長尺
のヒータツールを押圧し、ヒータツールをパルスヒート
方式により発熱させてはんだめっきを溶融（リフロー）
させ、はんだ付けする方法も公知である。

【０００８】図９はこのような熱圧着に用いる従来の熱
圧着ヘッドを示す正面図である。この圧着ヘッド１００
は図示しない昇降装置の下面に取付けられ、図示しない
ヒータブロック上に載せたワークに上方から押圧され
る。

【０００９】この図９において符号１０２はステンレス
スチールなどの金属で作られた加圧ブロック、１０４は
同じく金属製の保持ブロックであり、これらは一体に結
合され、さらに昇降装置に固定されている。保持ブロッ
ク１０４は加圧ブロック１０２の下面に固定され、板状
の水平な舌片を垂下させたものである。

【００１０】この保持ブロック１０４の板状舌片の前面
には黒斑れい岩などで作られた板状のセラミックブロッ
ク１０６が固定されている。すなわち保持ブロック１０
４の前面に当接させたセラミックブロック１０６をベー
クライト製の押えブロック１０８で挟み、複数のボルト
１１０によって保持ブロック１０４に固定したものであ
る。

【００１１】セラミックブロック１０６の下部および左
右両側部は保持ブロック１０４の下方および左右両側へ
舌状に突出している。このセラミックブロック１０６の
下面は水平であり、またこの下面および左右両側面には
垂直平面上に位置する溝１１２が連続するように形成さ
れている。

【００１２】１１４はヒータツールであり、このセラミ
ックブロック１０６の溝１１２に下から係入して保持さ
れる。すなわちセラミックブロック１０６の下面の溝１
１２に係入する中央部の両端を垂直に起立させて、セラ
ミックブロック１０６の左右端面の溝１１２に係入させ
るものである。そしてこの中央部の下面を平坦な圧着面
１１４Ａとしてワークに押圧させるものである。ここに
ヒータツール１１４は断面が縦長の矩形であり、モリブ
デン、チタン、タングステン、コバールなどの高抵抗材
料で作られている。

【００１３】ヒータツール１１４の両端には保持ブロッ
ク１０４から絶縁された給電ブロック１１６，１１６が
固定されている。これらの給電ブロック１１６，１１６
は配線コード１１８，１１８を介して電源装置（図示せ
ず）に接続されている。この電源装置からはヒータツー
ル１１４にパルス状の大電流が供給され、この電流によ
りヒータツール１１４は全体が同時に加熱される。

【００１４】なおヒータルール１１４の適宜位置、例え
ば中央付近には、熱電対などの温度センサ１２０が貼着
され、このセンサ１２０の検出温度が一定となるように
電流が制御される。例えば圧着面１１４Ａの中央付近が
３００〜４００℃程度に管理される。

【００１５】

【従来技術の問題点】通常ヒータツール１１４は、セン
サ１２０の検出温度が３００〜４００℃となるように管
理されているが、ヒータツール１１４が長くなるとこの
熱によってヒータツール１１４の熱膨張による伸び量も
大きくなる。

【００１６】特に両端をセラミックブロック１０６の左
右両側縁に沿わせて垂直に起立させたヒータツール１１
４では、その両端がセラミックブロック４５の左右両縁
に沿って立ち上がるように垂直に折曲されて固定されて
いるため、低温時にセラミックブロック１０６に密着す
るようにすると加熱時に中央部が長手方向に大きく伸び
て直線状の中央部が下方へ向かって湾曲する。このため
ワークに対して加圧力を均一にすることが困難であり、
熱圧着面を均等に加熱することができない。この結果熱
圧着の信頼性が低下するおそれがあった。

【００１７】また従来はこのヒータツール１１４をワー
クに押圧した状態でヒータツール１１４に電流を流して
発熱させていた。このためヒータツール１１４の温度上
昇に伴ってヒータツール１１４がワーク１１４を押圧し
ながら長手方向に伸びることになり、このヒータツール
１１４の伸びがワークを長手方向に引張ることになる。
この結果ワークの電極の位置決め精度が低下し、熱圧着
の信頼性低下を招くおそれがあった。

【００１８】さらに、このヒータツール１１４はモリブ
デンやチタン、タングステンあるいはコバールなどの高
抵抗材料により作られるため、両端を直角に折曲した形
状に形成するには放電加工等の特殊な加工方法によらざ
るを得ず、その製作に時間がかかり消耗品であるにもか
かわらず高価であるという問題があった。

【００１９】

【発明の目的】本発明はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、ヒータツールを高温に加熱しても熱圧着面
に加わる圧力を均一に保ちつつ熱圧着面を均一な温度に
加熱することができ、安価なヒータツールを用いること
のできる熱圧着装置を提供することを第１の目的とす
る。また信頼性の高い熱圧着を行うことができる熱圧着
装置を提供することを第２の目的とする。

【００２０】

【発明の構成】本発明によれば第１の目的は、パルスヒ
ート方式により加熱される長尺ヒータツールをワークに
押圧しワークを熱圧着する熱圧着装置において、ワーク
の上方で昇降する昇降ブロックと、この昇降ブロックの
下面に略水平に固定された絶縁材製の長尺のヒータツー
ルホルダと、このヒータツールホルダの下面をその長手
方向に縦断するように形成された長溝に下から係合し両
端がこの長溝より突出する直線棒状のヒータツールと、
このヒータツールの両端を保持しこのヒータツールに電
流を導く左右一対の給電手段とを備え、前記給電手段の
少なくとも一方はヒータツールをその長手方向に移動可
能に保持することを特徴とする熱圧着装置、により達成
される。

【００２１】ここに一方の給電手段はヒータツールの一
端をヒータツールの長手方向に移動可能とし、他方の給
電手段はヒータツールをその長手方向に移動しないよう
にヒータツールホルダに固定しておいても、ヒータツー
ルの熱膨張による伸びは吸収することが可能である。し
かし左右一対の給電手段は共にヒータツールの伸縮を吸
収するように設ければヒータツールは左右両方へ均等に
伸びることができるから一層望ましい。ヒータツールの
伸縮を吸収する給電手段は、昇降ブロックの端面に電気
的に絶縁して固定した給電ブロックと、ヒータツールの
端部に固定したシャンクとを板ばねにより弾性的に結合
した構造とすることができる。板ばねに代えてコイルば
ね、トーションばね等を用いてもよい。

【００２２】また昇降ブロックには、ヒータツールホル
ダの少なくとも一側に沿って空冷用パイプを設け、この
パイプからは適時にヒータツールの周辺に冷却用空気を
噴出させてヒータツールホルダやヒータツールを冷却す
るようにすれば、ヒータツールホルダ付近が過熱するの
を防いだり、冷却時間を短くして熱圧着サイクルを短縮
することが可能である。

【００２３】本発明によれば第２の目的は、前記の熱圧
着装置にさらに、ヒータツール温度を検出する温度セン
サと、ワークに押圧する前から加熱しておいたヒータツ
ールをワークに押圧するように昇降ブロックの昇降とヒ
ータツールの電流とを制御するコントローラとを備える
ことにより達成できる。すなわちヒータツールをワーク
の押圧する前から加熱しておくことにより、ワークを熱
圧着している間におけるヒータツールの温度変化による
伸びを小さくあるいは無くすものである。

【００２４】

【実施態様】図１は本発明の一実施態様を示す斜視図、
図２はここに用いる熱圧着ヘッドの正面図、図３はその
右側面図、図４は図２におけるIV-IV線端面図、図５は
給電手段を示す分解斜視図である。また図６は制御系統
図、図７は動作タイミング図、図８は動作の流れ図であ
る。

【００２５】図１において符号１０はＸ−Ｙ移動テーブ
ルであり、水平面上でＸ、Ｙ両方向に移動可能である。
１２はこのテーブル１０の上に載せられたヒータブロッ
クである。このヒータブロック１２は金属製の厚板であ
り、その下面にはアラミド樹脂等の断熱板１４が貼着さ
れ、この断熱板１４がテーブル１０に密着している。

【００２６】ヒータブロック１２には左右方向に貫通す
る小孔（図示せず）が形成され、この小孔内に左右両側
から電気ヒータ１６（一方のみ図示）が挿入されてい
る。ヒータ１６には図示しないヒータ電源回路から電流
が供給され、ヒータブロック１２を加熱し約１００℃に
保持する。

【００２７】１８は板状の治具であり、ヒータブロック
１２の上面に載せられる。この治具１８はアルミニウム
板などで作られ、ヒータブロック１２によって加熱され
ている。

【００２８】２０は配線基板であり、ここでは液晶ディ
スプレイパネルを用いる。この基板２０の上面には、前
後方向に長い多数の電極が横方向（電気ヒータ１６の長
さ方向）に小さいピッチ（約０．２ｍｍ＝２００μｍ）
間隔で並べて形成されている。基板２０は液晶パネルに
代えてフェノール樹脂、ガラスエポキシ樹脂などの硬質
絶縁基板や、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂等の柔
軟な絶縁基板などであってもよい。

【００２９】２２はテープ状に切られた異方性導電膜で
あり、基板２０の電極の上に多数の電極の並列方向に沿
わせて貼着される。この異方性導電膜２２の上には、さ
らに被圧着物２４が載せられる。この被圧着物２４はこ
の場合液晶パネルの駆動用ＬＳＩやＩＣのリードであ
り、これらのリードが異方性導電膜２２を挟んで基板２
０の対応する電極に対向する。

【００３０】被圧着物２４はＬＳＩ、ＩＣのリードに代
えて、フレキシブル配線板などの電極であってもよいの
は勿論である。なお電極と異方性導電膜２２と被圧着物
２４とは、ヒータ１６の長さ方向に沿ってこれらヒータ
１６の上方に位置する。この実施態様では、これら基板
２６、異方性導電膜２２および被圧着物２４の積層体が
熱圧着の対象であるワーク２６となる。

【００３１】３０は熱圧着ヘッドであり、ヘッド保持部
３２に上下動可能に保持されている。この圧着ヘッド３
０は、水平で長いブロック状の昇降ブロック３４を持
ち、この昇降ブロック３４に垂直に植設した左右一対の
ガイドロッド３６、３６がこのヘッド保持部３２に上下
動可能に保持されている。この昇降ブロック３４とヘッ
ド保持部３２との間にはエアシリンダ３８が介在し、こ
のエアシリンダ３８により昇降ブロック３４を昇降させ
ることができる。

【００３２】昇降ブロック３４は、加圧ブロック４０と
その下面に固定された保持ブロック４２とで構成され
る。これらはステンレススチール製である。この保持ブ
ロック４２は、その前面下部が水平に切り欠かれて断面
略逆Ｌ字状に形成され、下部が板状に垂下する舌片４２
Ａとなっている。

【００３３】この板状の舌片４２Ａの前面には、黒斑れ
い岩などの絶縁材で作られた板状のヒータツールホルダ
４４が密着し固定されている。すなわちこのヒータツー
ルホルダ４４は保持ブロック４２とステンレススチール
製の押えブロック４６とに挟まれ、複数のボルト４７
（図２）によって保持ブロック４２に固定されている。

【００３４】ヒータツールホルダ４４の下部は舌状に下
方および左右両側方へ突出し、この下縁は水平であって
図３，４に示す溝４８が形成されている。この溝４８に
は断面が矩形で直線棒状のヒータツール５０が係入し保
持されている。このヒータツール５０はモリブデンやチ
タン、タングステンあるいはコバールなどの高抵抗材料
により作られ、ヒータツールホルダ４４の溝４８に係合
する形状を持つ。

【００３５】ヒータツール５０の下面は、平坦な圧着面
５０Ａとなり、この圧着面５０Ａはワーク２６の圧着領
域より長い。すなわち異方性導電膜２２（図１）の長さ
よりも長い。ヒータツール５０の両端はヒータツールホ
ルダ４４の外側へ突出し、この突出部には保持ブロック
４２から絶縁された給電手段５２、５２（図２）が接続
されている。

【００３６】これら給電手段５２，５２は図２，３，５
に示すように構成される。すなわち保持ブロック４２の
端面に電気的に絶縁されて固定される電気銅製の給電ブ
ロック５４と、この給電ブロック５４の下方に間隔を空
けて位置する電気銅製のシャンク５６と、これら給電ブ
ロック５４とシャンク５６とを結合するベリリウム銅製
の２枚の板ばね５８，５８とを持つ。

【００３７】ここにシャンク５６の下端面にはヒータツ
ール５０が係入する溝６０が形成され（図３，５）、こ
の溝６０の一内側壁に沿ってすり割り６２が形成されて
いる。従ってこの溝６０にヒータツール５０を下方から
係入させ、すり割り６２を横断するねじ６４（図３）を
締め付けることによりシャンク５６をヒータツール５０
に固定することができる。またこのねじ６４を緩めるこ
とによりヒータツール５０をシャンク５６から取外すこ
とができる。

【００３８】前記の板ばね５８，５８は、シャンク５６
が左右方向へ移動するのを許容する。すなわち板ばね５
８の平面がヒータツール５０と直交する方向（ヒータツ
ールホルダ４４の側端面と平行）にあって、ヒータツー
ル５０の長手方向への移動を許容する。一対の板ばね５
８は互いに平行であって給電ブロック５４とシャンク５
６を挟む状態で固定される。

【００３９】このヒータツール５０には、配線コード６
６および給電ブロック５４を介して、電源装置（図示せ
ず）からパルス状の大電流が供給され、この電流により
ヒータツール５０は加熱される。なおヒータツール５０
の適宜位置、例えば中央付近には熱電対などの温度セン
サ６８（図２）が貼着され、温度管理される。例えば圧
着面５０Ａの中央付近が３００〜４００℃位に管理され
る。

【００４０】この実施態様の装置は、作動中連続的にあ
るいは熱圧着終了時に間欠的に圧着箇所を強制冷却する
ための空冷用パイプ７０を備える。すなわち加圧ブロッ
ク４０の前後面に保持アーム７２が固定され、この保持
アーム７２によってパイプ７０は保持ブロック４２の近
くに水平に保持されている。このパイプ７０には保持ブ
ロック４２側に向かって多数の空気噴射口が設けられる
一方、このパイプ７０の両端にはコネクタ７４，７４を
介して冷却空気が供給される。

【００４１】このため空気噴射口から噴出する冷却用空
気が保持ブロック４２や押さえブロック４６あるいはヒ
ータツールホルダ４４に当たり、これらを速やかに冷却
する。なお保持アーム７２の途中には蝶番機構７２Ａが
設けられ、パイプ７０と保持ブロック４２との間隔を調
節可能にしている。

【００４２】図６において８０は温度検出回路であり、
ヒータツール５０に貼った温度センサ６８の出力に基づ
いてヒータツール温度Ｔを検出する。８２はコントロー
ラであり、このヒータツール温度Ｔを所定の時点で所定
温度にするようにヒータツール５０に流す電流を制御す
る。すなわちコントローラ８２は目標とする電流を示す
信号をＰＷＭ（パルス幅制御）回路８４に送り、このＰ
ＷＭ回路８４は目標電流に対応するデューティー比のオ
ン・オフ信号をドライバ８６に送る。ドライバ８６はこ
のＰＷＭ回路８４が出力するオン・オフ信号に基づいて
ヒータツール５０に流す電流をオン・オフ制御する。

【００４３】またコントローラ８２は所定のタイミング
に昇降ブロック３４を昇降させると共に、所定のタイミ
ングに空気バルブ８８を開閉する。この空気バルブ８８
は空気ポンプ９０が空気フィルタ９２を通して吸入し空
冷用パイプ７０に圧送する空気を断続するものである。

【００４４】この圧着装置を使用する際は、Ｘ−Ｙ移動
テーブル１０上のヒータブロック１２に治具１８を載
せ、ヒータブロック１２の電気ヒータ１６に通電して治
具１８表面温度を約１００℃に保つ。この上にワークす
なわち基板２０と異方性導電膜２２と被圧着材２４との
積層体であるワーク２６を載せる。そしてテーブル１０
を移動させてワーク２６の圧着部分をヒータツール５０
の圧着面５０Ａの下に位置決めする（図８のステップ１
００）。

【００４５】この状態でコントローラ８２は図７に示す
ように、ある時刻ｔ₁からヒータツール５０に大電流Ｉ₁
を供給し、ヒータツール５０を速やかに加熱する（ステ
ップ１０２）。コントローラ８２は温度センサ６８が検
出するヒータツール５０の温度Ｔが所定温度Ｔ₁になる
ようにヒータ電流Ｉを制御する（ステップ１０４）。こ
の時（ｔ＝ｔ₂）のヒータツール温度Ｔ₁は、ワークの熱
圧着温度（Ｔ₂）とほぼ同一とする。

【００４６】ヒータツール５０は熱膨張により体積が増
大し長手方向に伸びるが、ヒータツール５０の両端はシ
ャンク５６，５６を介して板ばね５８，５８に連結され
ているから、ヒータツール５０の伸びた長さ分板ばね５
８，５８が撓むことによってヒータツールホルダ４４へ
の接触領域内でヒータツール５０が波打つことがない。

【００４７】昇降ヘッド３４を下降させて（ステップ１
０６）、このように予め加熱したヒータツール５０をワ
ークに押圧すれば、所定の加圧力と所定の加熱温度が接
続面に均一に加えられる。ヒータツール５０がワークに
接触するとヒータツール５０の熱がワークに伝わるか
ら、ヒータ温度Ｔは一瞬下がるが、コントローラ８２は
電流ＩをＩ₂に増加してヒータ温度ＴをＴ₂に保つ（ステ
ップ１０８）。この温度Ｔ₂はＴ₁とほぼ同一とするのが
望ましい。このようにヒータツール５０を予め加熱して
からワークに押圧するから、ヒータツール５０はワーク
を押圧する際に伸びることがなく、ヒータツールの伸縮
によるワークの位置ずれが発生せず信頼性が向上する。

【００４８】この加熱は約３０秒間続けられた後（ｔ＝
ｔ₃，ステップ１１０）、ヒータツール５０の通電が停
止され、空気バルブ８８を開いて冷却風を圧着ヘッド３
０に当ててこれを急冷する（ステップ１１２）。このた
めヒータツール５０およびワーク２６は急速に冷える。
ワーク２６が冷え（Ｔ≦Ｔ₃，ステップ１１４）、異方
性導電膜２２内の樹脂が凝固した後圧着ヘッド３０を上
昇させ（ステップ１１６）、ヒータツール５０をワーク
２６から離すと共に、空気バルブ８８を閉じる（ステッ
プ１２０）。

【００４９】そしてワークを移動してワークを交換し、
圧着ヘッド３０の下に新しいワークを位置決めして（ス
テップ１００）、以上の動作を繰り返す。

【００５０】この発明は異方性導電膜２２を用いて熱圧
着する場合だけでなく、他の熱圧着のためにも用いるこ
とができる。例えば電極に予めはんだめっきなどで所定
量のはんだを供給しておき、ヒータツールで加熱するこ
とによりリフローさせるものにも適用できる。なお本実
施態様では棒状のヒータツール５０の断面を長方形とし
て説明したが、ワークによっては圧着面を逆凸状や片刃
状に形成してもよい。

【００５１】

【発明の効果】請求項１の発明は以上のように、棒状の
ヒータツールの両端を保持する給電手段の少なくとも一
方がヒータツールをその長手方向に移動可能に保持する
ものであるから、棒状のヒータツールの熱膨張による長
手方向の伸びを吸収させることができ、ヒータツールが
高温になってもヒータツールの直線状の中央部がワーク
方向に湾曲することがなく、所定の加圧力と所定の加熱
温度を圧着面に均一に加えることができる。また、この
棒状のヒータツールは単なる棒状に形成されたものであ
るから、モリブデンやチタン、タングステンあるいはコ
バールなどの高抵抗材料であっても簡単に製作でき、安
価となる。

【００５２】一対の給電手段は共にヒータツールをその
長手方向に移動可能に保持すれば、ヒータツールの伸縮
は一層円滑に吸収できることになるが（請求項２）、一
方の給電手段のみでヒータツールの伸縮を吸収するよう
にしてもよい。この場合には他方の給電手段はヒータツ
ールを移動不能となるように固定することになる。

【００５３】ヒータツールを伸縮可能に保持する給電手
段は、昇降ブロックの端面に電気的に絶縁して固定した
給電ブロックと、ヒータツールの端部に固定されたシャ
ンクと、これら給電ブロックおよびシャンクを弾性的に
結合する板ばねとで構成することができる（請求項
３）。この場合には板ばね自身に電流を流すことにより
配線コードを減らすことができる。板ばねはその平面が
ヒータツールの長手方向に対して直交する向きに複数枚
設けることができ、この場合には板ばねの枚数や厚さを
変えることによりヒータツールに対する圧力あるいは引
張力を容易に調節することができて便利である。

【００５４】昇降ブロックにはヒータツールホルダに沿
って延在する空冷用パイプを設け、このパイプからヒー
タツール周辺に冷却用空気を噴出するように構成すれ
ば、ヒータツール付近の冷却を促進させることができる
（請求項４）。この冷却空気の噴出は連続的であっても
よいが熱圧着動作終了に伴い電流供給を停止して冷却す
るタイミングに合わせて間欠的に行ってもよい。このよ
うに強制冷却を行うことにより連続的作動時間を長くで
き、また熱圧着の動作間隔時間を短縮して装置の作業能
率を高めることができる。

【００５５】この熱圧着装置は、ヒータツール温度を検
出する温度センサと、ワークを押圧する前に加熱してお
いたヒータツールをワークに押圧するように昇降ブロッ
クの昇降とヒータツール電流を制御するコントローラを
備えるのが望ましい（請求項５）。この場合にはヒータ
ツールがワークに接触してから熱膨張により伸びる量を
ほぼ無くすか、仮に伸びがあってもその量を極めて僅か
とすることができるから、ヒータツールの伸びによるワ
ークの変位が発生することがない。このため熱圧着の信
頼性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様を示す斜視図

【図２】ここに用いる熱圧着ヘッドの正面図

【図３】同じく熱圧着ヘッドの右側面図

【図４】図２におけるIV−IV線端面図

【図５】給電手段の分解斜視図

【図６】制御系統図

【図７】動作タイミング図

【図８】動作流れ図

【図９】従来装置の熱圧着ヘッドを示す正面図

【符号の説明】

３０ 熱圧着ヘッド ３４ 昇降ブロック ４０ 加圧ブロック ４２ 保持ブロック ４４ ヒータツールホルダ ５０ ヒータツール ５２ 給電手段 ５４ 給電ブロック ５６ シャンク ５８ 板ばね ６８ 温度センサ ７０ 空冷用パイプ ８２ コントローラ

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H05K 3/32 - 3/36 H01L 21/603

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パルスヒート方式により加熱される長尺
   ヒータツールをワークに押圧しワークを熱圧着する熱圧
   着装置において、ワークの上方で昇降する昇降ブロック
   と、この昇降ブロックの下面に略水平に固定された絶縁
   材製の長尺のヒータツールホルダと、このヒータツール
   ホルダの下面をその長手方向に縦断するように形成され
   た長溝に下から係合し両端がこの長溝より突出する直線
   棒状のヒータツールと、このヒータツールの両端を保持
   しこのヒータツールに電流を導く左右一対の給電手段と
   を備え、前記給電手段の少なくとも一方はヒータツール
   をその長手方向に移動可能に保持することを特徴とする
   熱圧着装置。
2. 【請求項２】 左右一対の給電手段は共にヒータツール
   をその長手方向に移動可能に保持する請求項１の熱圧着
   装置。
3. 【請求項３】 少なくとも一方の給電手段は、前記昇降
   ブロックの端面に電気的に絶縁されて固定された給電ブ
   ロックと、ヒータツールの端部に固定されたシャンク
   と、これら給電ブロックとシャンクとを弾性的に結合す
   る板ばねとを有する請求項１または２の熱圧着装置。
4. 【請求項４】 昇降ブロックにはヒータツールホルダに
   沿って延在しヒータツール周辺に冷却用空気を噴出する
   空冷用パイプが保持されている請求項１〜３のいずれか
   の熱圧着装置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかの熱圧着装置で
   あって、さらにヒータツール温度を検出する温度センサ
   と、予め加熱したヒータツールをワークに押圧するよう
   に昇降ブロックの昇降位置およびヒータツールの電流を
   制御するコントローラとを備える熱圧着装置。