JP2001070902A - エアシャワー装置 - Google Patents

エアシャワー装置

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JP2001070902A
JP2001070902A JP25347699A JP25347699A JP2001070902A JP 2001070902 A JP2001070902 A JP 2001070902A JP 25347699 A JP25347699 A JP 25347699A JP 25347699 A JP25347699 A JP 25347699A JP 2001070902 A JP2001070902 A JP 2001070902A
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実 本田
Hirokazu Isaka
浩和 井坂
Nobuhiko Nishizawa
伸彦 西澤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 入室者や製品等を清浄化してクリーンルーム
等に出入させるためのエアシャワー装置の構造を仕込み
可能で大量生産し得る組み付け構造のものから構成せし
めて、工期の短縮,コストダウン等を図ると共に無塗装
で防錆効果を上げるようにしたエアシャワー装置を提供
する。 【解決手段】 シャワー室3を挟んで配設される側面室
4の送風部5を構成するジェットプレナムボックス11
は本体側にリベットやビス等により着脱可能に取り付け
られる別体のものからなり、更にジェットプレナムボッ
クス11の各構成部材も相互に組み付けられる別体部材
からなる。また、前記の構成部材は無塗装のガルバニウ
ム鋼板が採用される。以上により、仕込み可能であり、
仕様に合わせて組み上げることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体用クリーン
ルーム,病院手術室,食品・バイオ等の施設において、
これ等の室内と前室との間に設置され、入室者や製品等
をジェットエアによって清浄化するためのエアシャワー
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体クリーンルーム等の清浄室内は清
浄状態に保持されることが必要であり、入室者や製品は
前記清浄室に入る前に塵埃等を完全に除去して清浄化さ
れることが必要である。このため、前記清浄室と前室と
の間には入室者や製品にエアジェットをかけてこれ等を
清浄状態にするためのエアシャワー装置が従来より採用
されている。図5,図6はこの従来のエアシャワー装置
1aの概要構造を示す図である。
【0003】従来のエアシャワー装置1aは、外板2と
天井部8及び床部6とで囲まれる密閉室体からなり、密
閉室体は室内壁9a,9aにより3つの室に画成され
る。即ち、左右の側面室4a,4aと、この両者に挟ま
れるシャワー室3aとからなる。なお、シャワー室3a
の前後には開閉扉10,10が開閉自在に設けられてい
る。図5及び図6は中心線30,31で区切った図から
なり、一方の側面室4a側のみが表示されている。
【0004】側面室4a内には送風部5aが設けられて
いる。この送風部5aは、圧力室28aを形成する圧力
室壁32と、フィルタ14aとファン12a及びジェッ
トノズル13a等とからなる。画成された側面室4aの
下方側には仕切板33が設けられ、ファン12aを収納
する区画室26aが形成される。区画室26aは室内壁
4aの下方に設けた吸入口15aを介してシャワー室3
a側と連通する。また、仕切板33上には圧力室壁32
が載置され内部に圧力室28aを形成する。なお、圧力
室28aの出口側にフィルタ14aが配置され、ファン
12aは圧力室28a内と連通する位置に装着される。
仕切板33の上方に形成されている側面室4aには圧力
緩和室29aが形成される。また、室内壁9aにはジェ
ットノズル13aが複数個配設される。また、シャワー
室3aを介して相対向して配置されるもう1つの側面室
4aには前記した送風部5aが収納される場合もあるが
なくてもよい。また、入室者や製品等の出入するシャワ
ー室3aの前後には開閉扉10,10が配設される。
【0005】以上の構造のシャワー装置1aにおいて、
シャワー室3a内を出入する入室者や製品はファン12
aから圧力室28aやフィルタ14a及び圧力緩和室2
9aを介してジェットノズル13aから噴出されるエア
により清浄化されて半導体用クリーンルーム等内に送ら
れる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】以上の構造の従来のエ
アシャワー装置1aにより入室者や物品は清浄化される
が、エアシャワー装置1a自体の構造に次のような問題
点がある。図5や図6に示すように、まず、室内壁9a
は天井板7aや床部6aに固定されて配置されると共に
圧力室28aを形成する圧力室壁32は外板2に溶接等
により固定され、その下部も仕切板33に溶着固定され
るものからなる。また、仕切板33も室内壁9aと外板
2とに固着される。また、ファン12aを支持するファ
ン支持体21aも外板2に固着される。勿論、天井板7
aも外板2等に固着される。以上のように、従来のエア
シャワー装置1aの各構成部材はほとんど溶接等により
固着されるものであり、別体のものから形成されていな
い。よって、エアシャワー装置1aはその仕様に合わせ
て一品毎に製作する必要があり、仕込み生産ができず、
大量生産によるコストダウン等が図れない問題点があっ
た。また、各構成部材が互いに溶着されるため、材料の
歪みの度合が異なると全体が変形して不良品となる恐れ
もあるため、各構成部材は同一の材料を使用せざる得な
かった。このため、コスト低減や軽量化が難しい問題点
があった。更に、表面に出ない箇所にも錆防止処理が必
要であり、塗装処理等が必要になるが、溶接による塗装
剥がれも生じ易く、補修作業が必要であり作業コストが
大となる問題点がある。また、各部が溶着のため溶接歪
みが生じ易く、作業者に熟練度が要請され、その確保が
難しい問題点もあった。
【0007】一方、前記の問題点を解決した公知技術の
1つとして実開平7−32439号公報のエアシャワー
装置が挙げられるが、このエアシャワー装置はエアジェ
ットノズルの構造に重点をおいたものであり、送風部の
具体的な構造に関しては開示内容が不十分であり、本発
明とは技術内容において相異するものである。また、各
構成部材の材料についても殆ど触れていない。
【0008】本発明は、以上の事情に鑑みて発明された
ものであり、圧力室等を本体と別体化し、仕込み生産が
可能となり大量生産によるコストダウンが図れると共
に、溶接による歪みや後処理もなく作業者の熟練度も必
要なく、工期の短縮が図れ、無塗装化が可能なエアシャ
ワー装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のエアシャワー装
置は、以上の目的を達成するために、請求項1記載の通
り、本発明のエアシャワー装置は外板で囲まれる密閉室
体を中央のシャワー室と該シャワー室と室内壁により仕
切られた左右の側面室とに画成し、前記側面室の一方又
は双方に前記シャワー室内にエアを噴出する送風部を形
成してなるエアシャワー装置であって、前記送風部は、
前記側面室内に着脱可能に取り付けられる別体のジェッ
トプレナムボックスと、該ジェットプレナムボックス側
に連結されて前記シャワー室内のエアを吸引してジェッ
トプレナムボックス側に送るファンと、前記室内壁に配
置される前記シャワー室内にエアを噴出するエアジェッ
トと、該エアジェットの上流側に配置されるフィルタと
を有するものからなり、前記ジェットプレナムボックス
は、ボックス側壁部と、この上下に連結されるボックス
天井板及びボックス底板と、前記ボックス側壁部側に連
結され該ボックス側壁部との間に圧力室を形成すると共
に前記フィルタを設けてなるフィルタ設置壁部とからな
り、前記圧力室と前記室内壁との間の前記ジェットプレ
ナムボックス内には適宜容積の圧力緩和室が形成される
ことを特徴とする。また、請求項2に記載のエアシャワ
ー装置は、請求項1記載のエアシャワー装置において、
前記ジェットプレナムボックスには、前記ファンを支持
するファン支持体が設けられることを特徴とする。ま
た、請求項3に記載のエアシャワー装置は、請求項1ま
たは2記載のエアシャワー装置において、前記ジェット
プレナムボックスの構成部材が、ガリバニウム鋼板から
なることを特徴とする。
【0010】送風部を構成する各部材はすべてリベット
やビス等により着脱可能の状態で互いに取り付けられ
る。特に、ジェットプレナムボックスは夫々別体の板部
材をリベット等により組み合わせたものからなる。以上
の構造のため、溶接歪みやその後処理もなく、仕込み生
産が可能であり、更に、任意の材料、例えば塗装処理の
不要な材料を用いることができる。また、組み付けが容
易なため熟練作業者を必要としない。また、顧客指定の
外板色相に無関係に各部を構成することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明のエアシャワー装置
の実施の形態を図面を参照して詳述する。図1及び図2
は中心線30,31により左右を表示したもので、一方
の側面室の送風部しか表示されていないが、他の側面室
も同様の送風部が収納されてもよく、又はなくてもよ
い。まず、本発明のエアシャワー素装置1は外板2や天
井部8や床部6により囲まれた密閉室体からなり、この
密閉室体は天井板7と左右の室内壁9,9により区切ら
れたシャワー室3と、室内壁9,天井板7,外板2,底
部6等により画成されてシャワー室3の両側に設けられ
た側面室4,4からなる。側面室4内には送風部5が収
納される。なお、シャワー室3の前後には開閉扉10,
10が配設される。また、図1,図2に示すように、室
内壁9は天井板7と床部6間に着脱可能に図略のリベッ
ト又はビスにより取り付けられている。また、室内壁9
の下方側には吸入口15が設けられフィルタ部材16が
配設される。
【0012】送風部5は、大別してジェットプレナムボ
ックス11と、ファン12と、ジェットノズル13及び
フィルタ14等からなる。図3,図4に示すように、ジ
ェットプレナムボックス11は、ボックス側壁部17
と、ボックス天井板18と、ボックス底板19と、フィ
ルタ設置壁部20及びファン支持体21等とからなる。
これ等の各部材には補強のための鍔部22が設けられて
いるが、厚板や十分な強度のある板材を用いる場合には
鍔部22は無くてもよい。
【0013】ボックス側壁部17はコ字形状に曲げられ
た部材からなり、図1,図2に示すように側面室4の横
幅(外板2と室内壁9との間の寸法)にほぼ近い幅寸法
を有するものからなる。このボックス側壁部17の上下
の開口部はボックス天井板18とボックス底板19によ
り閉止されるがこれ等はすべてリベット又はビス等によ
り連結される。なお、ボックス底板19には通気口23
が開口形成される。一方、フィルタ設置壁部20はボッ
クス側壁部17の前方側から挿入されるL字形状の部材
からなり、ボックス側壁部17の奥板24とボックス底
板19に夫々リベット又はビス等により連結される。な
お、フィルタ設置壁部20には前面側に開口部25が形
成され、開口部25は図1,図2に示すようにフィルタ
14により閉止される。一方、ファン支持体21はボッ
クス側壁部17の奥板24にリベット又はビス等により
連結されると共に床部6に近接する位置まで下方側に向
かって伸延して配設される。
【0014】図1に示すようにボックス底板19と床部
6との間には区画室26が形成され、この内部にはファ
ン12が収納される。なお、ファン12はボックス底板
19とファン支持体21に支持されて装着されると共に
その吹出口27はボックス底板19の通気口23に合致
して配置される。図1,図2に示すように、ボックス側
壁部17とフィルタ設置壁部20によって囲まれた区画
部は圧力室28を形成する。一方、ジェットプレナムボ
ックス11の圧力室28以外の部分は圧力緩和室29と
なる。以上のように、本発明における送風部5の構成部
材はすべて互いに着脱可能に連結できるものからなり、
別体のものを組み付けることにより形成される。また、
本実施の形態ではジェットプレナムボックス11の各構
成部材はガリバニウム鋼材から形成される。ガリバニウ
ム鋼板は塗装処理の不要な処理済鋼板であり、アルミシ
ート鋼板よりも反射効率のよい鋼板であり、建材に広く
使用される無錆鋼板である。
【0015】次に、本実施の形態のエアシャワー装置1
によるシャワー室3内の清浄対象物の清浄方法について
簡単に説明する。シャワー室3内のエアは吸入口15か
らフィルタ部16により濾過されて区画室26内に吸引
され、ファン12の吹出口から通気口23側に送られて
圧力室28内に入る。圧力室28はフィルタ14により
出口側が閉止されているため、ある程度の圧力上昇が生
ずる。この圧力エアはフィルタ14を介して圧力緩和室
29側に送られて膨脹し、塵埃等を除去した後、ジェッ
トノズル13によりシャワー室3内に噴射される。用済
のエアは再び吸入口15から吸引され再び使用されて循
環する。以上により、入室者や製品等の清浄化が確実に
行われる。
【0016】以上の説明において、前記したように本実
施の形態では側面室4の一方に送風部5を設けた場合を
説明したが、双方の側面室4に同一の送風部5を配置す
ることにより、シャワー効率を更に一層向上することが
できる。また、本実施の形態では、ジェットプレナムボ
ックス11の各構成部材をガルバニウム鋼板としたがこ
れに限定するものではない。また、前記構成部材として
は同一の材料のものを用いる必要がなく、別々の材料を
組み付けるものでもよい。
【0017】
【発明の効果】1)本発明の請求項1に記載のエアシャ
ワー装置によれば、ジェットプレナムボックス等が本体
側と別体のものからなり、仕込み生産が可能となり大量
生産が図れコストダウンが図れる。また、無溶接のた
め、溶接に伴う歪みや後処理がなく工期の短縮ができ、
熟練者も不要となる。 2)本発明の請求項2に記載のエアシャワー装置によれ
ば、ファン支持体によりファンを支持することによりフ
ァンの支持強度の向上が図れ、騒音,振動の発生が防止
される。 3)本発明の請求項3に記載のエアシャワー装置によれ
ば、ガルバニウム鋼板を用いることにより無塗装化が図
れ、工期の短縮ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のエアシャワー装置の全体構造を示す正
面図。
【図2】図2の上面図。
【図3】本発明のエアシャワー装置のジェットプレナム
ボックスの各構成部材の詳細構造を示す斜視図。
【図4】本発明のジェットプレナムボックスの組み付け
形態を示す斜視図。
【図5】従来のエアシャワー装置の全体構造を示す正面
図。
【図6】図5の上面図。
【符号の説明】
1 エアシャワー装置 2 外板 3 シャワー室 4 側面室 5 送風部 6 床部 7 天井板 8 天井部 9 室内壁 10 開閉扉 11 ジェットプレナムボックス 12 ファン 13 ジェットノズル 14 フィルタ 15 吸入口 16 フィルタ部 17 ボックス側壁部 18 ボックス天井板 19 ボックス底板 20 フィルタ設置壁部 21 ファン支持体 22 鍔部 23 通気口 24 奥板 25 開口部 26 区画室 27 吹出口 28 圧力室 29 圧力緩和室 30 中心線 31 中心線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西澤 伸彦 茨城県結城市作の谷415番地 日本無機株 式会社結城工場内 Fターム(参考) 3B116 AA46 AB51 BB25 BB32 BB62 3L058 BE02 BF04

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外板で囲まれる密閉室体を中央のシャワ
    ー室と該シャワー室と室内壁により仕切られた左右の側
    面室とに画成し、前記側面室の一方又は双方に前記シャ
    ワー室内にエアを噴出する送風部を形成してなるエアシ
    ャワー装置であって、前記送風部は、前記側面室内に着
    脱可能に取り付けられる別体のジェットプレナムボック
    スと、該ジェットプレナムボックス側に連結され前記シ
    ャワー室内のエアを吸引してジェットプレナムボックス
    側に送るファンと、前記室内壁に配置されて前記シャワ
    ー室内にエアを噴出するエアジェットと、該エアジェッ
    トの上流側に配置されるフィルタとを有するものからな
    り、前記ジェットプレナムボックスは、ボックス側壁部
    と、この上下に連結されるボックス天井板及びボックス
    底板と、前記ボックス側壁部側に連結され該ボックス側
    壁部との間に圧力室を形成すると共に前記フィルタを設
    けてなるフィルタ設置壁部とからなり、前記圧力室と前
    記室内壁との間の前記ジェットプレナムボックス内には
    適宜容積の圧力緩和室が形成されることを特徴とするエ
    アシャワー装置。
  2. 【請求項2】 前記ジェットプレナムボックスには、前
    記ファンを支持するファン支持体が設けられることを特
    徴とする請求項1に記載のエアシャワー装置。
  3. 【請求項3】 前記ジェットプレナムボックスの構成部
    材が、ガリバニウム鋼板からなることを特徴とする請求
    項1又は2に記載のエアシャワー装置。
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