JP4340362B2 - エアシャワー装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用クリーンルーム,病院手術室,食品・バイオ等の施設において、これ等の室内と前室との間に設置され、入室者や製品等をジェットエアによって清浄化するためのエアシャワー装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体クリーンルーム等の清浄室内は清浄状態に保持されることが必要であり、入室者や製品は前記清浄室に入る前に塵埃等を完全に除去して清浄化されることが必要である。このため、前記清浄室と前室との間には入室者や製品にエアジェットをかけてこれ等を清浄状態にするためのエアシャワー装置が従来より採用されている。図5,図6はこの従来のエアシャワー装置1aの概要構造を示す図である。
【0003】
従来のエアシャワー装置1aは、外板2と天井部8及び床部6とで囲まれる密閉室体からなり、密閉室体は室内壁9a,9aにより3つの室に画成される。即ち、左右の側面室4a,4aと、この両者に挟まれるシャワー室3aとからなる。なお、シャワー室3aの前後には開閉扉10,10が開閉自在に設けられている。図5及び図6は中心線30,31で区切った図からなり、一方の側面室4a側のみが表示されている。
【0004】
側面室4a内には送風部5aが設けられている。この送風部5aは、圧力室28aを形成する圧力室壁32と、フィルタ14aとファン12a及びジェットノズル13a等とからなる。画成された側面室4aの下方側には仕切板33が設けられ、ファン12aを収納する区画室26aが形成される。区画室26aは室内壁4aの下方に設けた吸入口15aを介してシャワー室3a側と連通する。また、仕切板33上には圧力室壁32が載置され内部に圧力室28aを形成する。なお、圧力室28aの出口側にフィルタ14aが配置され、ファン12aは圧力室28a内と連通する位置に装着される。仕切板33の上方に形成されている側面室4aには圧力緩和室29aが形成される。また、室内壁9aにはジェットノズル13aが複数個配設される。また、シャワー室3aを介して相対向して配置されるもう1つの側面室4aには前記した送風部5aが収納される場合もあるがなくてもよい。また、入室者や製品等の出入するシャワー室3aの前後には開閉扉10,10が配設される。
【0005】
以上の構造のシャワー装置1aにおいて、シャワー室3a内を出入する入室者や製品はファン12aから圧力室28aやフィルタ14a及び圧力緩和室29aを介してジェットノズル13aから噴出されるエアにより清浄化されて半導体用クリーンルーム等内に送られる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
以上の構造の従来のエアシャワー装置1aにより入室者や物品は清浄化されるが、エアシャワー装置1a自体の構造に次のような問題点がある。図5や図6に示すように、まず、室内壁9aは天井板7aや床部6aに固定されて配置されると共に圧力室28aを形成する圧力室壁32は外板2に溶接等により固定され、その下部も仕切板33に溶着固定されるものからなる。また、仕切板33も室内壁9aと外板2とに固着される。また、ファン12aを支持するファン支持体21aも外板2に固着される。勿論、天井板7aも外板2等に固着される。以上のように、従来のエアシャワー装置1aの各構成部材はほとんど溶接等により固着されるものであり、別体のものから形成されていない。よって、エアシャワー装置1aはその仕様に合わせて一品毎に製作する必要があり、仕込み生産ができず、大量生産によるコストダウン等が図れない問題点があった。また、各構成部材が互いに溶着されるため、材料の歪みの度合が異なると全体が変形して不良品となる恐れもあるため、各構成部材は同一の材料を使用せざる得なかった。このため、コスト低減や軽量化が難しい問題点があった。更に、表面に出ない箇所にも錆防止処理が必要であり、塗装処理等が必要になるが、溶接による塗装剥がれも生じ易く、補修作業が必要であり作業コストが大となる問題点がある。また、各部が溶着のため溶接歪みが生じ易く、作業者に熟練度が要請され、その確保が難しい問題点もあった。
【0007】
一方、前記の問題点を解決した公知技術の1つとして実開平7−32439号公報のエアシャワー装置が挙げられるが、このエアシャワー装置はエアジェットノズルの構造に重点をおいたものであり、送風部の具体的な構造に関しては開示内容が不十分であり、本発明とは技術内容において相異するものである。また、各構成部材の材料についても殆ど触れていない。
【0008】
本発明は、以上の事情に鑑みて発明されたものであり、圧力室等を本体と別体化し、仕込み生産が可能となり大量生産によるコストダウンが図れると共に、溶接による歪みや後処理もなく作業者の熟練度も必要なく、工期の短縮が図れ、無塗装化が可能なエアシャワー装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアシャワー装置は、以上の目的を達成するために、請求項1記載の通り、本発明のエアシャワー装置は外板で囲まれる密閉室体を中央のシャワー室と該シャワー室と室内壁により仕切られた左右の側面室とに画成し、前記側面室の一方又は双方に前記シャワー室内にエアを噴出する送風部を形成してなるエアシャワー装置であって、前記送風部は、前記側面室内に着脱可能に取り付けられる別体のジェットプレナムボックスと、該ジェットプレナムボックス側に連結されて前記シャワー室内のエアを吸引してジェットプレナムボックス側に送るファンと、前記室内壁に配置される前記シャワー室内にエアを噴出するエアジェットと、該エアジェットの上流側に配置されるフィルタとを有するものからなり、前記ジェットプレナムボックスは、ボックス側壁部と、この上下に連結されるボックス天井板及びボックス底板と、前記ボックス側壁部側に連結され該ボックス側壁部との間に圧力室を形成すると共に前記フィルタを設けてなるフィルタ設置壁部とからなり、前記圧力室と前記室内壁との間の前記ジェットプレナムボックス内には適宜容積の圧力緩和室が形成されると共に前記ジェットプレナムボックスには、前記ファンを支持するファン支持体が設けられることを特徴とする。
また、請求項2に記載のエアシャワー装置は、請求項1記載のエアシャワー装置において、前記ジェットプレナムボックスの構成部材が、ガリバニウム鋼板からなることを特徴とする。
【0010】
送風部を構成する各部材はすべてリベットやビス等により着脱可能の状態で互いに取り付けられる。特に、ジェットプレナムボックスは夫々別体の板部材をリベット等により組み合わせたものからなる。以上の構造のため、溶接歪みやその後処理もなく、仕込み生産が可能であり、更に、任意の材料、例えば塗装処理の不要な材料を用いることができる。また、組み付けが容易なため熟練作業者を必要としない。また、顧客指定の外板色相に無関係に各部を構成することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のエアシャワー装置の実施の形態を図面を参照して詳述する。
図1及び図2は中心線30,31により左右を表示したもので、一方の側面室の送風部しか表示されていないが、他の側面室も同様の送風部が収納されてもよく、又はなくてもよい。
まず、本発明のエアシャワー素装置1は外板2や天井部8や床部6により囲まれた密閉室体からなり、この密閉室体は天井板7と左右の室内壁9,9により区切られたシャワー室3と、室内壁9,天井板7,外板2,底部6等により画成されてシャワー室3の両側に設けられた側面室4,4からなる。側面室4内には送風部5が収納される。なお、シャワー室3の前後には開閉扉10,10が配設される。また、図1,図2に示すように、室内壁9は天井板7と床部6間に着脱可能に図略のリベット又はビスにより取り付けられている。また、室内壁9の下方側には吸入口15が設けられフィルタ部材16が配設される。
【0012】
送風部5は、大別してジェットプレナムボックス11と、ファン12と、ジェットノズル13及びフィルタ14等からなる。図3,図4に示すように、ジェットプレナムボックス11は、ボックス側壁部17と、ボックス天井板18と、ボックス底板19と、フィルタ設置壁部20及びファン支持体21等とからなる。これ等の各部材には補強のための鍔部22が設けられているが、厚板や十分な強度のある板材を用いる場合には鍔部22は無くてもよい。
【0013】
ボックス側壁部17はコ字形状に曲げられた部材からなり、図1,図2に示すように側面室4の横幅(外板2と室内壁9との間の寸法)にほぼ近い幅寸法を有するものからなる。このボックス側壁部17の上下の開口部はボックス天井板18とボックス底板19により閉止されるがこれ等はすべてリベット又はビス等により連結される。なお、ボックス底板19には通気口23が開口形成される。一方、フィルタ設置壁部20はボックス側壁部17の前方側から挿入されるL字形状の部材からなり、ボックス側壁部17の奥板24とボックス底板19に夫々リベット又はビス等により連結される。なお、フィルタ設置壁部20には前面側に開口部25が形成され、開口部25は図1,図2に示すようにフィルタ14により閉止される。一方、ファン支持体21はボックス側壁部17の奥板24にリベット又はビス等により連結されると共に床部6に近接する位置まで下方側に向かって伸延して配設される。
【0014】
図1に示すようにボックス底板19と床部6との間には区画室26が形成され、この内部にはファン12が収納される。なお、ファン12はボックス底板19とファン支持体21に支持されて装着されると共にその吹出口27はボックス底板19の通気口23に合致して配置される。図1,図2に示すように、ボックス側壁部17とフィルタ設置壁部20によって囲まれた区画部は圧力室28を形成する。一方、ジェットプレナムボックス11の圧力室28以外の部分は圧力緩和室29となる。以上のように、本発明における送風部5の構成部材はすべて互いに着脱可能に連結できるものからなり、別体のものを組み付けることにより形成される。また、本実施の形態ではジェットプレナムボックス11の各構成部材はガリバニウム鋼材から形成される。ガリバニウム鋼板は塗装処理の不要な処理済鋼板であり、アルミシート鋼板よりも反射効率のよい鋼板であり、建材に広く使用される無錆鋼板である。
【0015】
次に、本実施の形態のエアシャワー装置1によるシャワー室3内の清浄対象物の清浄方法について簡単に説明する。
シャワー室3内のエアは吸入口15からフィルタ部16により濾過されて区画室26内に吸引され、ファン12の吹出口から通気口23側に送られて圧力室28内に入る。圧力室28はフィルタ14により出口側が閉止されているため、ある程度の圧力上昇が生ずる。この圧力エアはフィルタ14を介して圧力緩和室29側に送られて膨脹し、塵埃等を除去した後、ジェットノズル13によりシャワー室3内に噴射される。用済のエアは再び吸入口15から吸引され再び使用されて循環する。以上により、入室者や製品等の清浄化が確実に行われる。
【0016】
以上の説明において、前記したように本実施の形態では側面室4の一方に送風部5を設けた場合を説明したが、双方の側面室4に同一の送風部5を配置することにより、シャワー効率を更に一層向上することができる。また、本実施の形態では、ジェットプレナムボックス11の各構成部材をガルバニウム鋼板としたがこれに限定するものではない。また、前記構成部材としては同一の材料のものを用いる必要がなく、別々の材料を組み付けるものでもよい。
【0017】
【発明の効果】
1)本発明の請求項1に記載のエアシャワー装置によれば、ジェットプレナムボックス等が本体側と別体のものからなり、仕込み生産が可能となり大量生産が図れコストダウンが図れる。また、無溶接のため、溶接に伴う歪みや後処理がなく工期の短縮ができ、熟練者も不要となる。
2)本発明の請求項1に記載のエアシャワー装置によれば、ファン支持体によりファンを支持することによりファンの支持強度の向上が図れ、騒音,振動の発生が防止される。
3)本発明の請求項2に記載のエアシャワー装置によれば、ガルバニウム鋼板を用いることにより無塗装化が図れ、工期の短縮ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のエアシャワー装置の全体構造を示す正面図。
【図2】図2の上面図。
【図3】本発明のエアシャワー装置のジェットプレナムボックスの各構成部材の詳細構造を示す斜視図。
【図4】本発明のジェットプレナムボックスの組み付け形態を示す斜視図。
【図5】従来のエアシャワー装置の全体構造を示す正面図。
【図6】図5の上面図。
【符号の説明】
1 エアシャワー装置
2 外板
3 シャワー室
4 側面室
5 送風部
6 床部
7 天井板
8 天井部
9 室内壁
10 開閉扉
11 ジェットプレナムボックス
12 ファン
13 ジェットノズル
14 フィルタ
15 吸入口
16 フィルタ部
17 ボックス側壁部
18 ボックス天井板
19 ボックス底板
20 フィルタ設置壁部
21 ファン支持体
22 鍔部
23 通気口
24 奥板
25 開口部
26 区画室
27 吹出口
28 圧力室
29 圧力緩和室
30 中心線
31 中心線

Claims (2)

  1. 外板で囲まれる密閉室体を中央のシャワー室と該シャワー室と室内壁により仕切られた左右の側面室とに画成し、前記側面室の一方又は双方に前記シャワー室内にエアを噴出する送風部を形成してなるエアシャワー装置であって、前記送風部は、前記側面室内に着脱可能に取り付けられる別体のジェットプレナムボックスと、該ジェットプレナムボックス側に連結され前記シャワー室内のエアを吸引してジェットプレナムボックス側に送るファンと、前記室内壁に配置されて前記シャワー室内にエアを噴出するエアジェットと、該エアジェットの上流側に配置されるフィルタとを有するものからなり、前記ジェットプレナムボックスは、ボックス側壁部と、この上下に連結されるボックス天井板及びボックス底板と、前記ボックス側壁部側に連結され該ボックス側壁部との間に圧力室を形成すると共に前記フィルタを設けてなるフィルタ設置壁部とからなり、前記圧力室と前記室内壁との間の前記ジェットプレナムボックス内には適宜容積の圧力緩和室が形成されると共に前記ジェットプレナムボックスには、前記ファンを支持するファン支持体が設けられることを特徴とするエアシャワー装置。
  2. 前記ジェットプレナムボックスの構成部材が、ガリバニウム鋼板からなることを特徴とする請求項1に記載のエアシャワー装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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