JP2001108268A - エアシャワーブース - Google Patents
エアシャワーブースInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体クリーンルーム，病院の手術室，食品
・バイオ等に関する施設等々の建屋の入口の前に設置さ
れ、建屋内に入る入室者や製品を予めエアジェットによ
り除塵して清浄化すると共に、簡便構造で安価に実施で
き、床面の水洗が可能で照明も不要なエアシャワーブー
スを提供する。 【解決手段】 ケーシング内にファン，フィルタを設置
し内壁面９にジェットノズル６を有する吹出口５を設け
る送風ユニット２０の上部に骨組み枠状の天井部材３０
が接合される。この天井部材３０のクリーンルーム９０
の入口９１側を除く前端縁及び側縁には樹脂製カーテン
４１，４２が垂下され、天井部材３０も樹脂製カーテン
４３により覆われる。以上の構造のエアシャワーブース
の入口９１側の開放面１２は入口９１の扉９２により閉
止される。エアシャワーブースの空間室１１内に入った
入室者や製品は扉９２により閉止された空間室１１内で
ジェット気流により除塵される。
・バイオ等に関する施設等々の建屋の入口の前に設置さ
れ、建屋内に入る入室者や製品を予めエアジェットによ
り除塵して清浄化すると共に、簡便構造で安価に実施で
き、床面の水洗が可能で照明も不要なエアシャワーブー
スを提供する。 【解決手段】 ケーシング内にファン，フィルタを設置
し内壁面９にジェットノズル６を有する吹出口５を設け
る送風ユニット２０の上部に骨組み枠状の天井部材３０
が接合される。この天井部材３０のクリーンルーム９０
の入口９１側を除く前端縁及び側縁には樹脂製カーテン
４１，４２が垂下され、天井部材３０も樹脂製カーテン
４３により覆われる。以上の構造のエアシャワーブース
の入口９１側の開放面１２は入口９１の扉９２により閉
止される。エアシャワーブースの空間室１１内に入った
入室者や製品は扉９２により閉止された空間室１１内で
ジェット気流により除塵される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体クリーンル
ーム，病院の手術室，食品・バイオ等に関連する施設等
々における建屋の扉付きの入口側に設置され、前記建屋
の入室者や製品等をエアシャワーにより清浄化する手段
を有するエアシャワーブースに係り、特に、設置が容易
で設置場所の水洗清掃ができるエアシャワーブースに関
する。
ーム，病院の手術室，食品・バイオ等に関連する施設等
々における建屋の扉付きの入口側に設置され、前記建屋
の入室者や製品等をエアシャワーにより清浄化する手段
を有するエアシャワーブースに係り、特に、設置が容易
で設置場所の水洗清掃ができるエアシャワーブースに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、半導体用クリーンルーム、病
院の手術室、食品・バイオ等に関連する施設等々のよう
に、入室者や製品等の物品をジェットエアで清浄化する
必要がある場所においては、清浄化のための装置として
エアシャワーが使用されている。然し乍ら、通常のエア
シャワーは、ファン、フィルタ、吹出口からなる送風ユ
ニットと対面する位置に、同構造の送風ユニットか、或
いは、送風しないユニットを配置し、更に、床面と天井
面にも各ユニットを配置し、清浄室と前室とを連絡する
出入口に扉を設けた構造のものが採用されている。
院の手術室、食品・バイオ等に関連する施設等々のよう
に、入室者や製品等の物品をジェットエアで清浄化する
必要がある場所においては、清浄化のための装置として
エアシャワーが使用されている。然し乍ら、通常のエア
シャワーは、ファン、フィルタ、吹出口からなる送風ユ
ニットと対面する位置に、同構造の送風ユニットか、或
いは、送風しないユニットを配置し、更に、床面と天井
面にも各ユニットを配置し、清浄室と前室とを連絡する
出入口に扉を設けた構造のものが採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記のように、従来の
エアシャワーの場合は出入口に扉を設けたものからなる
ため構造が複雑でその分だけコスト高となる。また、従
来のエアシャワーの場合は床面にも床ユニットが設置さ
れているため、食品工場等のように床面を水洗により清
掃する必要がある建屋の場合は床ユニットが清掃作業の
邪魔になる問題点がある。そのため、エアシャワーとし
ては出入口用の固定的な扉もなく、床ユニットのないも
のが要請される。更に、建屋の入口には通常扉が設けら
れているため、この扉をエアシャワーの構成部材として
利用することができればその分だけ構成部材が節約さ
れ、コストの低減が図れる。
エアシャワーの場合は出入口に扉を設けたものからなる
ため構造が複雑でその分だけコスト高となる。また、従
来のエアシャワーの場合は床面にも床ユニットが設置さ
れているため、食品工場等のように床面を水洗により清
掃する必要がある建屋の場合は床ユニットが清掃作業の
邪魔になる問題点がある。そのため、エアシャワーとし
ては出入口用の固定的な扉もなく、床ユニットのないも
のが要請される。更に、建屋の入口には通常扉が設けら
れているため、この扉をエアシャワーの構成部材として
利用することができればその分だけ構成部材が節約さ
れ、コストの低減が図れる。
【０００４】本発明は、以上の事情に鑑みて発明された
ものであり、構造簡便で比較的安価に実施でき、床面の
水洗が可能であり、入室者や製品の清浄化と出入が容易
にできるエアシャワーブースを提供することを目的とす
る。
ものであり、構造簡便で比較的安価に実施でき、床面の
水洗が可能であり、入室者や製品の清浄化と出入が容易
にできるエアシャワーブースを提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のエアシャワーブ
ースは前記の目的を達成するために、建屋の扉付き入口
を閉止する状態で設置され前記建屋に入る入室者や製品
をエアシャワーにより予め清浄化するためのエアシャワ
ーブースであって、該エアシャワーブースは、ケーシン
グ内にファン，フィルタを設置すると共に前記ケーシン
グの内壁面にジェットノズルを有する吹出口を設ける送
風ユニットと、該送風ユニットの前記内壁面の上方側に
一端縁を接合され前記内壁面と直交する方向に伸延する
略四角形状の天井部材と、該天井部材の前記内壁面側及
び前記入口側を除く端縁から垂下される樹脂製カーテン
とを有し、前記内壁面と前記天井部材及び前記樹脂製カ
ーテン及び前記扉とにより囲まれた空間を清浄室として
形成することを特徴とする。また、請求項２に記載のエ
アシャワーブースは、建屋の扉付き入口を閉止する状態
で設置され前記建屋に入る入室者や製品をエアシャワー
により予め清浄化するためのエアシャワーブースであっ
て、該エアシャワーブースは、ケーシング内にファン，
フィルタを設置すると共に前記ケーシングの内壁面にジ
ェットノズルを有する吹出口を設け互いに対向して配設
される一対の送風ユニットと、該一対の送風ユニットの
内壁面の上方側に端縁を接合し送風ユニット間に架設さ
れる略四角形状の天井部材と、該天井部材の前記内壁面
側及び前記入口側を除く端縁から垂下される樹脂製カー
テンとを有し、前記内壁面と前記天井部材及び前記樹脂
製カーテン及び前記扉とにより囲まれた空間を清浄室と
して形成することを特徴とする。また、請求項３に記載
のエアシャワーブースは、前記天井部材が四端縁を有す
る骨組み枠からなり、その空間部を樹脂製部材により被
覆されることを特徴とする。また、請求項４に記載のエ
アシャワーブースは、前記エアシャワーブースと前記入
口の形成される建屋との間には、前記エアシャワーブー
スと建屋との間の隙間を閉止する気密部材が介装される
ことを特徴とする。また、請求項５に記載のエアシャワ
ーブースは、前記気密部材が、前記エアシャワーブース
側と建屋側との間に介装されて両者に粘着固定される粘
着テープ状部材からなることを特徴とする。また、請求
項６に記載のエアシャワーブースは、前記気密部材が、
前記建屋の入口の周縁に固着されるガスケットからなる
ことを特徴とする。また、請求項７に記載のエアシャワ
ーブースは、前記気密部材として前記ガスケットを使用
する場合において、前記内壁面と対向する位置に配設さ
れる前記樹脂製カーテンには前記ガスケット側に貼着さ
れる折返し部が形成されることを特徴とする。
ースは前記の目的を達成するために、建屋の扉付き入口
を閉止する状態で設置され前記建屋に入る入室者や製品
をエアシャワーにより予め清浄化するためのエアシャワ
ーブースであって、該エアシャワーブースは、ケーシン
グ内にファン，フィルタを設置すると共に前記ケーシン
グの内壁面にジェットノズルを有する吹出口を設ける送
風ユニットと、該送風ユニットの前記内壁面の上方側に
一端縁を接合され前記内壁面と直交する方向に伸延する
略四角形状の天井部材と、該天井部材の前記内壁面側及
び前記入口側を除く端縁から垂下される樹脂製カーテン
とを有し、前記内壁面と前記天井部材及び前記樹脂製カ
ーテン及び前記扉とにより囲まれた空間を清浄室として
形成することを特徴とする。また、請求項２に記載のエ
アシャワーブースは、建屋の扉付き入口を閉止する状態
で設置され前記建屋に入る入室者や製品をエアシャワー
により予め清浄化するためのエアシャワーブースであっ
て、該エアシャワーブースは、ケーシング内にファン，
フィルタを設置すると共に前記ケーシングの内壁面にジ
ェットノズルを有する吹出口を設け互いに対向して配設
される一対の送風ユニットと、該一対の送風ユニットの
内壁面の上方側に端縁を接合し送風ユニット間に架設さ
れる略四角形状の天井部材と、該天井部材の前記内壁面
側及び前記入口側を除く端縁から垂下される樹脂製カー
テンとを有し、前記内壁面と前記天井部材及び前記樹脂
製カーテン及び前記扉とにより囲まれた空間を清浄室と
して形成することを特徴とする。また、請求項３に記載
のエアシャワーブースは、前記天井部材が四端縁を有す
る骨組み枠からなり、その空間部を樹脂製部材により被
覆されることを特徴とする。また、請求項４に記載のエ
アシャワーブースは、前記エアシャワーブースと前記入
口の形成される建屋との間には、前記エアシャワーブー
スと建屋との間の隙間を閉止する気密部材が介装される
ことを特徴とする。また、請求項５に記載のエアシャワ
ーブースは、前記気密部材が、前記エアシャワーブース
側と建屋側との間に介装されて両者に粘着固定される粘
着テープ状部材からなることを特徴とする。また、請求
項６に記載のエアシャワーブースは、前記気密部材が、
前記建屋の入口の周縁に固着されるガスケットからなる
ことを特徴とする。また、請求項７に記載のエアシャワ
ーブースは、前記気密部材として前記ガスケットを使用
する場合において、前記内壁面と対向する位置に配設さ
れる前記樹脂製カーテンには前記ガスケット側に貼着さ
れる折返し部が形成されることを特徴とする。
【０００６】本発明は、以上のように構成されているの
で、建屋に入る前に入室者や製品はエアシャワーブース
の清浄室で十分に除塵され、清浄化された状態で建屋内
に入ることができる。また、本発明のエアシャワーブー
スは建屋の入口側に樹脂製カーテン等を用いることなく
建屋側の扉を利用するため、その分だけ簡便構造とな
り、安価に実施できる。また、樹脂製カーテンを用いる
ため、軽量であると共に簡単に下部をめくり上げること
ができ、建屋の床面の水洗が容易に行われる。また、樹
脂製カーテンで被包されるため清浄室は建屋側の照明に
より明るく保持され特別な光源を必要としない。
で、建屋に入る前に入室者や製品はエアシャワーブース
の清浄室で十分に除塵され、清浄化された状態で建屋内
に入ることができる。また、本発明のエアシャワーブー
スは建屋の入口側に樹脂製カーテン等を用いることなく
建屋側の扉を利用するため、その分だけ簡便構造とな
り、安価に実施できる。また、樹脂製カーテンを用いる
ため、軽量であると共に簡単に下部をめくり上げること
ができ、建屋の床面の水洗が容易に行われる。また、樹
脂製カーテンで被包されるため清浄室は建屋側の照明に
より明るく保持され特別な光源を必要としない。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明のエアシャワーブー
スの実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発
明のエアシャワーブースの全体構造を示す斜視図であ
り、図２はその天井部材の周りを示す部分斜視図、図３
は図１の上面図、図４は図１をクリーンルームの側から
見た斜視図、図５はエアシャワーブースの内部構造を示
す断面図、図６は本発明のエアシャワーブースの作動を
説明するための模式図、図７，図８は本発明のエアシャ
ワーブースに適用される気密部材を示す斜視図，模式
図、図９は気密部材としてガスケットを用いた場合のガ
スケットと樹脂製カーテンとの係合状態を示す部分模式
図、図１０は本発明のエアシャワーブースの他の実施の
形態を示す模式図である。
スの実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発
明のエアシャワーブースの全体構造を示す斜視図であ
り、図２はその天井部材の周りを示す部分斜視図、図３
は図１の上面図、図４は図１をクリーンルームの側から
見た斜視図、図５はエアシャワーブースの内部構造を示
す断面図、図６は本発明のエアシャワーブースの作動を
説明するための模式図、図７，図８は本発明のエアシャ
ワーブースに適用される気密部材を示す斜視図，模式
図、図９は気密部材としてガスケットを用いた場合のガ
スケットと樹脂製カーテンとの係合状態を示す部分模式
図、図１０は本発明のエアシャワーブースの他の実施の
形態を示す模式図である。
【０００８】まず、図１乃至図５により本発明のエアシ
ャワーブースの全体構造を説明する。エアシャワーブー
スは、大別して送風ユニット２０と、天井部材３０と、
樹脂製カーテン４０と、これ等によって囲まれた清浄室
１０等とから構成される箱体状のものからなり、クリー
ンルーム９０に形成される入口９１にこの入口９１を閉
止する状態で設置される。なお、入口９１には扉９２が
開閉自在に設けられている。また、図１にはエアシャワ
ーブースと入口９１との間の気密を保持するための気密
部材５０の１つである粘着テープ状部材５１，５２が両
者間に夫々粘着して介装される。
ャワーブースの全体構造を説明する。エアシャワーブー
スは、大別して送風ユニット２０と、天井部材３０と、
樹脂製カーテン４０と、これ等によって囲まれた清浄室
１０等とから構成される箱体状のものからなり、クリー
ンルーム９０に形成される入口９１にこの入口９１を閉
止する状態で設置される。なお、入口９１には扉９２が
開閉自在に設けられている。また、図１にはエアシャワ
ーブースと入口９１との間の気密を保持するための気密
部材５０の１つである粘着テープ状部材５１，５２が両
者間に夫々粘着して介装される。
【０００９】図５に示すように送風ユニット２０を構成
するケーシング４内には、下方にシロッコファン１が設
けられ、シロッコファン１の上方に圧力室３が設けら
れ、この圧力室３の前面にＨＥＰＡフィルタ２が設けら
れている。また、ＨＥＰＡフィルタ２と相対向する位置
に配設されるケーシング４の内壁面９にはジェットノズ
ル６を取り付けた吹出口５が設けられている。また、内
壁面９の下方には吸込口７が設けられ、この吸込口７に
はプレフィルタ８が装着される。なお、送風ユニット２
０は床面１００側に図略のアンカボルト等により固定さ
れる。また、内壁面９の上方側にはジェットエア作動ボ
タン６０が設けられている。
するケーシング４内には、下方にシロッコファン１が設
けられ、シロッコファン１の上方に圧力室３が設けら
れ、この圧力室３の前面にＨＥＰＡフィルタ２が設けら
れている。また、ＨＥＰＡフィルタ２と相対向する位置
に配設されるケーシング４の内壁面９にはジェットノズ
ル６を取り付けた吹出口５が設けられている。また、内
壁面９の下方には吸込口７が設けられ、この吸込口７に
はプレフィルタ８が装着される。なお、送風ユニット２
０は床面１００側に図略のアンカボルト等により固定さ
れる。また、内壁面９の上方側にはジェットエア作動ボ
タン６０が設けられている。
【００１０】天井部材３０は、図２に示すように、本実
施の形態では中央部に空間部３１を形成する略四角形状
骨組み枠状のものからなり、その一端縁は送風ユニット
２０の上方側に接合して固定される。また、天井部材３
０は図２，図５に示すように、前記の接合箇所から水平
方向に沿って伸延し、エアシャワーブースの天井体を形
成する。なお、天井部材３０は前記のように空間部３１
を有する骨組み枠状のものでなく、透明な平面板であっ
てもよい。また、天井部材３０は、通常の不透明な天井
板や金属製の箱状体にすることもできるが、その場合
は、照明度が不足するため、エアシャワーブース内に蛍
光灯を設置する必要がある。
施の形態では中央部に空間部３１を形成する略四角形状
骨組み枠状のものからなり、その一端縁は送風ユニット
２０の上方側に接合して固定される。また、天井部材３
０は図２，図５に示すように、前記の接合箇所から水平
方向に沿って伸延し、エアシャワーブースの天井体を形
成する。なお、天井部材３０は前記のように空間部３１
を有する骨組み枠状のものでなく、透明な平面板であっ
てもよい。また、天井部材３０は、通常の不透明な天井
板や金属製の箱状体にすることもできるが、その場合
は、照明度が不足するため、エアシャワーブース内に蛍
光灯を設置する必要がある。
【００１１】天井部材３は送風ユニット２０側に接合す
る端縁の他に前方及び両側に前端縁及び両側縁を有する
が、前端縁及び入口９１側でない側縁からは樹脂製カー
テン４１，４２が垂下される。なお、本実施の形態では
前端縁側の樹脂製カーテン４１は図１，図２等に示すよ
うに天井部材３０の空間部３１を覆う樹脂製カーテン４
３と一体構造のＬ字形状のものからなる。また、樹脂製
カーテン４１，４２の下方には錘４５が設けられ、樹脂
製カーテン４１，４２の垂下状態の保持を図ると共に巻
き上げ時における巻芯として機能する。また、図３，図
４に示すようにエアシャワーブースの入口９１側は開放
された状態に形成される。清浄室１０はこの開放された
開放面１２を除き送風ユニット２０の内壁面９と樹脂製
カーテン４３で覆われた天井部材３０の下面と樹脂製カ
ーテン４１，４２により囲まれた空間室１１からなる。
る端縁の他に前方及び両側に前端縁及び両側縁を有する
が、前端縁及び入口９１側でない側縁からは樹脂製カー
テン４１，４２が垂下される。なお、本実施の形態では
前端縁側の樹脂製カーテン４１は図１，図２等に示すよ
うに天井部材３０の空間部３１を覆う樹脂製カーテン４
３と一体構造のＬ字形状のものからなる。また、樹脂製
カーテン４１，４２の下方には錘４５が設けられ、樹脂
製カーテン４１，４２の垂下状態の保持を図ると共に巻
き上げ時における巻芯として機能する。また、図３，図
４に示すようにエアシャワーブースの入口９１側は開放
された状態に形成される。清浄室１０はこの開放された
開放面１２を除き送風ユニット２０の内壁面９と樹脂製
カーテン４３で覆われた天井部材３０の下面と樹脂製カ
ーテン４１，４２により囲まれた空間室１１からなる。
【００１２】図３は本発明のエアシャワーブースをクリ
ーンルーム９０の入口９１の箇所に設置した状態を示
す。エアシャワーブースは開放面１２を入口９１側に合
致させた状態で設置され、送風ユニット２０や天井部材
３０は入口９１の周辺の壁面９３に夫々当接した状態で
設置される。なお、前記したように、特に天井部材３０
と壁面９３側との間や樹脂製カーテン４１，４３と壁面
９３側との間には隙間が生じ易いため、気密部材５０の
粘着テープ状部材５１，５２を両者間に介装して前記隙
間を塞ぐようにしている。なお、本発明のエアシャワー
ブースの別の形態として、図１の粘着テープ５１，５２
の代わりに、金属製のアングル材を利用して、クリーン
ルーム側は壁面９３とアングル材を挟んで、ビス、ボル
ト等で固定したり、或いは、ガスケットなしでビス、ボ
ルト等で固定した後、コーキング材でアングル材の設置
周囲を気密処理して前記隙間を塞ぐようにする。エアシ
ャワーブース側は、粘着テープ、マジックテープ等で前
記隙間を塞ぐようにする。
ーンルーム９０の入口９１の箇所に設置した状態を示
す。エアシャワーブースは開放面１２を入口９１側に合
致させた状態で設置され、送風ユニット２０や天井部材
３０は入口９１の周辺の壁面９３に夫々当接した状態で
設置される。なお、前記したように、特に天井部材３０
と壁面９３側との間や樹脂製カーテン４１，４３と壁面
９３側との間には隙間が生じ易いため、気密部材５０の
粘着テープ状部材５１，５２を両者間に介装して前記隙
間を塞ぐようにしている。なお、本発明のエアシャワー
ブースの別の形態として、図１の粘着テープ５１，５２
の代わりに、金属製のアングル材を利用して、クリーン
ルーム側は壁面９３とアングル材を挟んで、ビス、ボル
ト等で固定したり、或いは、ガスケットなしでビス、ボ
ルト等で固定した後、コーキング材でアングル材の設置
周囲を気密処理して前記隙間を塞ぐようにする。エアシ
ャワーブース側は、粘着テープ、マジックテープ等で前
記隙間を塞ぐようにする。
【００１３】次に、本発明のエアシャワーブースの作動
を説明する。前記したようにエアシャワーブースをクリ
ーンルーム９０の入口９１の箇所に気密状態を設置す
る。図６に示すように入口９１を扉９２により閉止する
と清浄室１０の空間室１１は閉止空間となる。この状態
で図６に示すように樹脂製カーテン４２等を開いて入室
者や製品１３が空間室１１内に入る。なお、この場合、
樹脂製カーテン４１，４２が、中央に縦に切れ目を入れ
て、そのスリット部をラップさせた分割式のものから作
成されている場合はより入り易いが、分割式でなくても
樹脂製カーテン４１，４２の下部を少しまくり上げるこ
とにより入室者や製品１３は容易に空間室１１内に入る
ことができる。この状態でジェットエア作動ボタン６０
を押して送風ユニット２０を作動させる。この操作によ
り、シロッコファン１は吸込口７から空間室１１の空気
をプレフィルタ８を通して吸い込み、圧力室３側に送
る。送られた空気は圧力室３内で均一に加圧され、更に
ＨＥＰＡフィルタ２を通り清浄化される。この清浄化さ
れた空気はジェットノズル６の吹出口５から一定時間ジ
ェット気流として空気室１１内に吹き出される。このジ
ェット気流は入室者や製品１３に付着している塵埃等を
除去しながら塵埃等と共に樹脂製カーテン４１，４２か
らエアシャワーブースの外方に吐き出され、その一部は
吸込口７から送風ユニット２０内に取り込まれて循環使
用される。ジェット気流の吹き出し停止後、入口９１の
扉９２を開き、入室者や製品１３がクリーンルーム９０
内に入る。以上によりクリーンルーム９０内は入室者や
製品１３に付着していた塵埃等によりより汚染されるこ
とがない。
を説明する。前記したようにエアシャワーブースをクリ
ーンルーム９０の入口９１の箇所に気密状態を設置す
る。図６に示すように入口９１を扉９２により閉止する
と清浄室１０の空間室１１は閉止空間となる。この状態
で図６に示すように樹脂製カーテン４２等を開いて入室
者や製品１３が空間室１１内に入る。なお、この場合、
樹脂製カーテン４１，４２が、中央に縦に切れ目を入れ
て、そのスリット部をラップさせた分割式のものから作
成されている場合はより入り易いが、分割式でなくても
樹脂製カーテン４１，４２の下部を少しまくり上げるこ
とにより入室者や製品１３は容易に空間室１１内に入る
ことができる。この状態でジェットエア作動ボタン６０
を押して送風ユニット２０を作動させる。この操作によ
り、シロッコファン１は吸込口７から空間室１１の空気
をプレフィルタ８を通して吸い込み、圧力室３側に送
る。送られた空気は圧力室３内で均一に加圧され、更に
ＨＥＰＡフィルタ２を通り清浄化される。この清浄化さ
れた空気はジェットノズル６の吹出口５から一定時間ジ
ェット気流として空気室１１内に吹き出される。このジ
ェット気流は入室者や製品１３に付着している塵埃等を
除去しながら塵埃等と共に樹脂製カーテン４１，４２か
らエアシャワーブースの外方に吐き出され、その一部は
吸込口７から送風ユニット２０内に取り込まれて循環使
用される。ジェット気流の吹き出し停止後、入口９１の
扉９２を開き、入室者や製品１３がクリーンルーム９０
内に入る。以上によりクリーンルーム９０内は入室者や
製品１３に付着していた塵埃等によりより汚染されるこ
とがない。
【００１４】エアシャワーブースの不使用時において室
内を清浄化するには樹脂製カーテン４１，４２を巻くり
上げれば簡単にできると共に、エアシャワーブースを設
置した床面１００等の水洗もエアシャワーブースに床面
がないため簡単に行うことができる。
内を清浄化するには樹脂製カーテン４１，４２を巻くり
上げれば簡単にできると共に、エアシャワーブースを設
置した床面１００等の水洗もエアシャワーブースに床面
がないため簡単に行うことができる。
【００１５】図７は、気密部材の別の実施の形態を示す
ものである。図１等に示した気密部材は粘着テープ状部
材５１，５２であるが、図７の気密部材はガスケット５
３からなる。このガスケット５３を図示のように入口９
１の周縁の壁面９３に予め貼着し、図８に示すようにエ
アシャワーブースをガスケット５３に押し付けることに
より気密性を保持することができる。なお、この場合、
図９に示すように樹脂製カーテン４１の端部の気密性を
保持するために樹脂製カーテン４１の端部に折返し部４
４を形成し、ガスケット５３とエアシャワーブースとの
間で挟持して固着することにより気密保持の完全化が図
れる。
ものである。図１等に示した気密部材は粘着テープ状部
材５１，５２であるが、図７の気密部材はガスケット５
３からなる。このガスケット５３を図示のように入口９
１の周縁の壁面９３に予め貼着し、図８に示すようにエ
アシャワーブースをガスケット５３に押し付けることに
より気密性を保持することができる。なお、この場合、
図９に示すように樹脂製カーテン４１の端部の気密性を
保持するために樹脂製カーテン４１の端部に折返し部４
４を形成し、ガスケット５３とエアシャワーブースとの
間で挟持して固着することにより気密保持の完全化が図
れる。
【００１６】図１０は本発明のエアシャワーブースの別
の実施の形態を示すものである。このエアシャワーブー
スは一対の送風ユニット２０を互いに相向して配置する
ものからなる。天井部材３０は一対の送風ユニット２
０，２０の上部に架設される。この場合、図１に示した
前端縁の樹脂製カーテン４１は不要になるため、樹脂製
カーテンとしては天井部材３０を覆う樹脂製カーテン４
３と側縁の樹脂製カーテン４２のみが設けられる。この
エアシャワーブースをガスケット５３等の気密部材５０
を介してクリーンルーム９０側に当接して配設すること
により前記の図１等に示したエアシャワーブースとほぼ
同様の効果を上げることができる。勿論、図１０に示し
たエアシャワーブースは図１のものに較べてジェット気
流２が倍となり、入室者や製品１３の塵埃除去効率を向
上させることができる。また、一対の送風ユニット２
０，２０の内の一方側を単にケーシング４のみの部材と
してエアシャワーブースを形成することも可能である。
の実施の形態を示すものである。このエアシャワーブー
スは一対の送風ユニット２０を互いに相向して配置する
ものからなる。天井部材３０は一対の送風ユニット２
０，２０の上部に架設される。この場合、図１に示した
前端縁の樹脂製カーテン４１は不要になるため、樹脂製
カーテンとしては天井部材３０を覆う樹脂製カーテン４
３と側縁の樹脂製カーテン４２のみが設けられる。この
エアシャワーブースをガスケット５３等の気密部材５０
を介してクリーンルーム９０側に当接して配設すること
により前記の図１等に示したエアシャワーブースとほぼ
同様の効果を上げることができる。勿論、図１０に示し
たエアシャワーブースは図１のものに較べてジェット気
流２が倍となり、入室者や製品１３の塵埃除去効率を向
上させることができる。また、一対の送風ユニット２
０，２０の内の一方側を単にケーシング４のみの部材と
してエアシャワーブースを形成することも可能である。
【００１７】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のエアシ
ャワーブースは、清浄室の建屋の入口側を開放し、その
部分の閉止部材として建屋側の扉を利用したためその分
だけ簡便構造のものになり、安価に実施することができ
る。また、清浄室内の入室者や製品は単一又は一対の送
風ユニットからのジェット気流により塵埃を効果的に除
去され、清浄化された状態で入室することができる。ま
た、エアシャワーブースと建屋との間は気密部材により
シールされるため、清浄室内への塵埃等の侵入が防止さ
れる。また、樹脂製カーテンを用いるため、室内の水洗
や清掃が容易にできる。また、樹脂製カーテンを使用す
るため照明用の電源も特に必要としない。
ャワーブースは、清浄室の建屋の入口側を開放し、その
部分の閉止部材として建屋側の扉を利用したためその分
だけ簡便構造のものになり、安価に実施することができ
る。また、清浄室内の入室者や製品は単一又は一対の送
風ユニットからのジェット気流により塵埃を効果的に除
去され、清浄化された状態で入室することができる。ま
た、エアシャワーブースと建屋との間は気密部材により
シールされるため、清浄室内への塵埃等の侵入が防止さ
れる。また、樹脂製カーテンを用いるため、室内の水洗
や清掃が容易にできる。また、樹脂製カーテンを使用す
るため照明用の電源も特に必要としない。
【図１】本発明のエアシャワーブースの全体構造とこれ
が設置されるクリーンルーム等を示す斜視図。
が設置されるクリーンルーム等を示す斜視図。
【図２】天井部材とその取り付け構造を示す部分斜視
図。
図。
【図３】本発明のエアシャワーブースのクリーンルーム
側への取り付け状態を示す上面図。
側への取り付け状態を示す上面図。
【図４】本発明のエアシャワーブースをクリーンルーム
の入口側から見た構造を示す斜視図。
の入口側から見た構造を示す斜視図。
【図５】本発明のエアシャワーブースの内部構造を示す
断面図。
断面図。
【図６】本発明のエアシャワーブースの作動状態を説明
するための模式図。
するための模式図。
【図７】気密部材のガスケットを入口側に貼着した状態
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図８】気密部材のガスケットを介してクリーンルーム
側に固着された本発明のエアシャワーブースを示す模式
図。
側に固着された本発明のエアシャワーブースを示す模式
図。
【図９】図８の場合におけるガスケットと樹脂製カーテ
ンの折返し部との係合状態を示す模式図。
ンの折返し部との係合状態を示す模式図。
【図１０】本発明のエアシャワーブースの別の実施の形
態を示す模式図。
態を示す模式図。
１ シロッコファン ２ ＨＥＰＡフィルタ ３ 圧力室 ４ ケーシング ５ 吹出口 ６ ジェットノズル ７ 吸込口 ８ プレフィルタ ９ 内壁面 １０ 清浄室 １１ 空間室 １２ 開放面 １３ 入室者や製品 ２０ 送風ユニット ３０ 天井部材 ３１ 空間部 ４０ 樹脂製カーテン ４１ 樹脂製カーテン ４２ 樹脂製カーテン ４３ 樹脂製カーテン ４４ 折返し部 ４５ 錘 ５０ 気密部材 ５１ 粘着テープ状部材 ５２ 粘着テープ状部材 ５３ ガスケット ６０ ジェットエア作動ボタン ９０ クリーンルーム ９１ 入口 ９２ 扉 ９３ 壁面 １００ 床面
Claims (7)
- 【請求項１】 建屋の扉付き入口を閉止する状態で設置
され前記建屋に入る入室者や製品をエアシャワーにより
予め清浄化するためのエアシャワーブースであって、該
エアシャワーブースは、ケーシング内にファン，フィル
タを設置すると共に前記ケーシングの内壁面にジェット
ノズルを有する吹出口を設ける送風ユニットと、該送風
ユニットの前記内壁面の上方側に一端縁を接合され前記
内壁面と直交する方向に伸延する略四角形状の天井部材
と、該天井部材の前記内壁面側及び前記入口側を除く端
縁から垂下される樹脂製カーテンとを有し、前記内壁面
と前記天井部材及び前記樹脂製カーテン及び前記扉とに
より囲まれた空間を清浄室として形成することを特徴と
するエアシャワーブース。 - 【請求項２】 建屋の扉付き入口を閉止する状態で設置
され前記建屋に入る入室者や製品をエアシャワーにより
予め清浄化するためのエアシャワーブースであって、該
エアシャワーブースは、ケーシング内にファン，フィル
タを設置すると共に前記ケーシングの内壁面にジェット
ノズルを有する吹出口を設け互いに対向して配設される
一対の送風ユニットと、該一対の送風ユニットの内壁面
の上方側に端縁を接合し送風ユニット間に架設される略
四角形状の天井部材と、該天井部材の前記内壁面側及び
前記入口側を除く端縁から垂下される樹脂製カーテンと
を有し、前記内壁面と前記天井部材及び前記樹脂製カー
テン及び前記扉とにより囲まれた空間を清浄室として形
成することを特徴とするエアシャワーブース。 - 【請求項３】 前記天井部材が四端縁を有する骨組み枠
からなり、その空間部を樹脂製部材により被覆されるこ
とを特徴とする請求項１又は２に記載のエアシャワーブ
ース。 - 【請求項４】 前記エアシャワーブースと前記入口の形
成される建屋との間には、前記エアシャワーブースと建
屋との間の隙間を閉止する気密部材が介装されることを
特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のエアシャワ
ーブース。 - 【請求項５】 前記気密部材が、前記エアシャワーブー
ス側と建屋側との間に介装されて両者に粘着固定される
粘着テープ状部材からなることを特徴とする請求項４に
記載のエアシャワーブース。 - 【請求項６】 前記気密部材が、前記建屋の入口の周縁
に固着されるガスケットからなることを特徴とする請求
項４に記載のエアシャワーブース。 - 【請求項７】 前記気密部材として前記ガスケットを使
用する場合において、前記内壁面と対向する位置に配設
される前記樹脂製カーテンには前記ガスケット側に貼着
される折返し部が形成されることを特徴とする請求項４
に記載のエアシャワーブース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28357599A JP2001108268A (ja) | 1999-10-04 | 1999-10-04 | エアシャワーブース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28357599A JP2001108268A (ja) | 1999-10-04 | 1999-10-04 | エアシャワーブース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001108268A true JP2001108268A (ja) | 2001-04-20 |
Family
ID=17667311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28357599A Pending JP2001108268A (ja) | 1999-10-04 | 1999-10-04 | エアシャワーブース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001108268A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019113247A (ja) * | 2017-12-22 | 2019-07-11 | 株式会社フジタ | エアシャワー装置及び玄関 |
| KR102222135B1 (ko) * | 2020-04-14 | 2021-03-02 | 오윤경 | 출입구 설치형 접이식 차폐 및 소독 부스 |
| CN113757850A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-12-07 | 江苏盈达机电科技有限公司 | 一种水冷空调机组清洗控制方法 |
-
1999
- 1999-10-04 JP JP28357599A patent/JP2001108268A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019113247A (ja) * | 2017-12-22 | 2019-07-11 | 株式会社フジタ | エアシャワー装置及び玄関 |
| KR102222135B1 (ko) * | 2020-04-14 | 2021-03-02 | 오윤경 | 출입구 설치형 접이식 차폐 및 소독 부스 |
| CN113757850A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-12-07 | 江苏盈达机电科技有限公司 | 一种水冷空调机组清洗控制方法 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060718 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090122 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090210 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090413 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090818 |