JP2001052861A - 有機ledディスプレイの有機層形成用塗液及び有機ledディスプレイの製造法 - Google Patents
有機ledディスプレイの有機層形成用塗液及び有機ledディスプレイの製造法Info
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Abstract
の表面形状を平坦化し、有機層内での界面をなくすこと
で電気的特性の優れた有機LEDディスプレイを得るこ
とを課題とする。 【解決手段】 発光層、又は発光層と電荷輸送層とから
なる有機層を有する有機LEDディスプレイの有機層を
形成するのに必要な有機材料又はその前駆体と溶媒とか
らなり、溶媒中に20℃で10mmHg以下の蒸気圧を
有し、有機材料の変質温度以下又は前駆体の変換温度以
下の沸点を有する低揮発性の液状の溶媒を少なくとも1
種含むことを特徴とする有機LEDディスプレイの有機
層形成用塗液をインクジェット方式により塗布して少な
くとも1層の塗膜を形成する工程と、塗液中の常温で低
揮発性の液状の有機溶媒の沸点以上の温度で、塗膜を加
熱乾燥して有機層を形成する工程を含む有機LEDディ
スプレイの製造方法により上記課題を解決する。
Description
プレイの有機層形成用塗液及び有機LEDディスプレイ
の製造法に関する。更に詳しくは、本発明は、インクジ
ェット方式による有機LEDディスプレイの製造に関
し、ノズルでの目詰まりを防止し、連続して安定的に有
機LEDディスプレイを得ることができる有機LEDデ
ィスプレイの有機層形成用塗液及びその塗液を用いた有
機LEDディスプレイの製造法に関する。
材料を用いた有機LEDディスプレイの作製にはスピン
コート法が用いられていた。この方法は、発光層のパタ
ーニングが不可能であるため、この方法を実際のフルカ
ラー表示パネルの作製方法に適用した例は報告されてい
ない。しかし、近年、パターニングを行うためのひとつ
の方法として、3原色を発光する発光層を、インクジェ
ット方式により作製する方法が提案された(特開平10-1
2377号公報、特開平10-153967号公報、特開平11-54270
号公報、特開平11-54272号公報、Appl. Phys. Lett. 7
2,519,1998、Appl. Phys. Lett. 72,2660,1998)。
材料を溶解させる溶媒として、一部水が使用されている
が、大部分は、ジクロロメタン、ジクロロエタン、メタ
ノールのような揮発性の高い溶剤が使用されている。そ
のため、これらの溶媒を用いてインクジェット方法によ
り、画素を形成した場合、吐出後すぐに高分子材料が乾
燥してしまう。その結果、平坦な膜が形成されず、有機
LEDディスプレイに発光ムラを生じさせるといった問
題が生じる。また、複数回塗液を吐出させることにより
層を形成する場合、上記と同様の原因により層内部で界
面ができ、その結果、電気的特性が劣化するといた問題
が生じる。
野では、低蒸気圧の溶剤を混合することをこの問題の対
策としている。このような低蒸気圧の溶剤は沸点が高い
ことが知られている。この溶剤は、従来の印刷の場合に
は、紙に溶剤が染み込むため、残留溶剤の存在は問題と
ならない。しかし、有機LEDディスプレイの作製にお
いては、ガラス等の基板上に塗液を吐出するため、残留
溶媒は素子特性の劣化の原因となる。このため、有機L
EDディスプレイの作製時には、残留溶剤を完全に除去
する必要が生じる。そのため加熱乾燥により溶剤を飛ば
す必要が生ずる(特開平11−54272号公報)。し
かし、この特許においては乾燥温度を120℃以下にし
ており、このような温度では低揮発性の溶媒を完全に除
去することは不可能である。
り除去する際、高分子材料にも熱が加えられることとな
る。その結果、高分子材料の分解、変質等による素子の
破壊、劣化が生じるという問題があった。更に、高分子
材料からなる多層膜を形成した際に、加熱乾燥される層
とこの層に接する層間で材料同士が混合することによ
り、素子特性の劣化が引き起こされるという問題もあっ
た。
EDディスプレイを作製する場合、ノズルで目詰まりを
起こすという問題が生じていた。目詰まりの解決方法と
して、吉森らは、イソプロピルアルコールを溶媒中に混
入する方法を提案している(第59回応用物理学会学術講
演会,16p-YH-15)。しかし、この方法でも、完全に目
詰まりを防止することはできなかった。
を鑑み、鋭意検討を行った結果、特定の性質の有機溶媒
を含む有機LEDディスプレイの有機層形成用塗液を用
い、インクジェット方式で有機層を形成することで、表
面形状を平坦化することができ、層内部での界面の形成
を防止でき、ノズルでの目詰まりを防止することが可能
となることを見い出した。また、塗液を用いて形成した
塗膜を、所定の加熱乾燥工程に付すことで素子の破壊及
び劣化を引き起こさないで残留溶媒を完全に除去するこ
と、更には発光ムラを解消することが可能であることを
見い出した。
光層と電荷輸送層とからなる有機層を有する有機LED
ディスプレイの有機層を形成するのに必要な有機材料又
はその前駆体と溶媒とからなり、溶媒中に20℃で10
mmHg以下の蒸気圧を有し、有機材料の変質温度以下
又は前駆体の変換温度以下の沸点を有する低揮発性の液
状の溶媒を少なくとも1種含むことを特徴とする有機L
EDディスプレイの有機層形成用塗液が提供される。更
に本発明によれば、上記有機LEDディスプレイの有機
層形成用塗液を、インクジェット方式により吐出して少
なくとも1層の塗膜を形成する工程と、塗液中の低揮発
性の液状の溶媒の沸点以上の温度で、塗膜を加熱乾燥し
て有機層を形成する工程を含む有機LEDディスプレイ
の製造方法が提供される。
本発明の対象の有機LEDディスプレイは、例えば図1
に示す如き構成を有している。図1の有機LEDディス
プレイは、基板1上に、第1電極2、発光に寄与する有
機層3及び第2電極4がこの順で形成された構成を有し
ている。
している。より詳しくは、発光層の単層構造、あるい
は、電荷輸送層と発光層の多層構造であってもよい。こ
こで、電荷輸送層及び発光層自体も多層構造を有しても
よい。ここで、本発明の有機LEDディスプレイの有機
層形成用塗液は、有機層中の少なくとも1層を形成する
ために使用される。
形成用塗液は、発光層形成用塗液と電荷輸送層形成用塗
液に大別できる。ここで、発光層形成用塗液には、発光
層形成用の導電性、蛍光性又はその両方の性質を有する
有機材料又はその前駆体を、低揮発性の液状の溶媒を少
なくとも1種含む溶媒に溶解又は分散させた塗液を用い
ることができる。
を基板、電極又は有機膜上に吐出した後でも、塗液はウ
エット状態を保ち続けることが可能となる。その結果、
平坦な膜を形成することができ、発光ムラを解消するこ
とが可能となる。また、吐出した塗液と接するように、
更に塗液を吐出した際に、先に吐出した塗液と後に吐出
した塗液とをウエット状態で混じり合わせることができ
る。そのため従来膜内に生じていた界面の形成を防ぐこ
とができる。よって、電気特性の劣化を防止することが
可能となる。
の揮発性が低下し、その結果、ノズルでの目詰まりを防
止することが可能となる。また、溶媒は、有機材料の変
質温度又は前駆体の変換温度以下の沸点を有することが
好ましい。ここで、変質温度とは、有機材料をある温度
まで過熱し、冷却した際に、有機材料の特性が変わって
しまう温度のことである。例えば、酸化温度、分解温度
等が挙げられる。一方、変換温度とは、前駆体が、目的
の有機材料に変換するときの温度である。例えば、イオ
ン性のチオフェン環の置換基を有する非共役系高分子
が、共役系高分子に変換する時の温度等が挙げられる。
性温度以下又は前駆体の変換温度以上、及び前記低揮発
性の溶媒の沸点以上の温度で加熱乾燥することで、有機
材料に分解、変質等の熱的ダメージを与えることことな
く、加熱乾燥により膜中の残留溶媒を完全に乾燥除去す
ることが可能となる。その結果、残留溶媒に伴う電気的
特性の劣化を防止できる。
び前記低揮発性の液状の溶媒の沸点以上の温度で加熱乾
燥することがよい。これにより有機材料の熱的ダメージ
を完全に防止することができる。また、有機層が多層積
層膜からなる場合、有機溶媒の沸点が、各層を形成する
有機材料の変質温度又は前駆体の変換温度の内、最も低
い温度以下であれば、より低温で残留溶媒を完全除去す
ることが可能となる。有機材料又はその前駆体として
は、有機LEDディスプレイの有機層用の高分子発光材
料又は前駆体、もしくは、有機LEDディスプレイの有
機層用の公知の低分子発光材料等が挙げられる。
公知の材料をいずれも使用することができる。例えば、
PFO、ポリ(ジアルキルフルオレン)(PDAF)、RO-PP
P、CN-PPP、ポリ[2,5−ビス[2-(N,N,N−ト
リエチルアンモニウム)エトキシ]−1,4−フェニレ
ン−オルト−1,4−フェニレン]ジブロマイド(PPP-
NEt3 +)、ポリ[2−メトキシ−5−(2′−エチルヘ
キシルオキシ)]−パラ−フェニレンビニレン(MEH-PP
V)、ポリ[5−メトキシ(2−プロポキシサルフォニ
ド)−1,4−フェニレンビニレン](MPS-PPV)、ポ
リ[2,5−ビスヘキシルオキシ−1,4−フェニレン
(1−シアノビニレン)](CN-PPV)、ポリアルキルチ
オフェン(PAT)等が挙げられる。
公知の材料をいずれも使用することができる。例えば、
テトラフェニルブタジエン(TPB)、クマリン、ナイル
レッド、オキサジアゾール誘導体等が挙げられる。塗液
には、導電性及び蛍光性のない高分子材料が含まれてい
てもよい。例えば、ポリカーボネート(PC)、ポリメチ
ルメタクリレート(PMMA)等が挙げられる。
剤、浸透促進剤等の添加剤、有機LED用、有機光導電
体用の公知のホール輸送材料(例えば、N,N‘−ビス
−(3−メチルフェニル)−N,N‘−ビス−(フェニ
ル)ベンジジン(TPD)、N,N’−ジ(ナフタレン−
1−イル)−N,N‘−ジフェニルベンジジン(NPD)
等があるが、本発明は特にこれらに限定されるものでは
ない)、電子輸送材料(例えば、オキサジアゾール誘導
体(OXO)、アルミキノリール錯体(Alq3)等がある
が、本発明は特にこれらに限定されるものではない)等
の電荷輸送材料、アクセプター、ドナー等のドーパント
等を添加してもよい。
くは分散させる溶媒には、20℃で10mmHg以下の
蒸気圧を有する常温で低揮発性の液状の溶媒が少なくと
も1種含まれている。そのような有機溶媒としては、特
に限定されないが、例えば、エチレングリコール、プロ
ピレングリコール、トリエチレングリコール、エチレン
グリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモ
エチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、トリエチレングリコールモエチルエーテル、グ
リセリン等の多価アルコール及びその誘導体、N,N-ジメ
チルホルムアミド、N-メチル-2-ピロリドン等のアミド
化合物、シクロヘキサノンのような脂環族ケトン、1-プ
ロパノールのような脂肪族アルコール、オクタン、ノナ
ン、デカン等の脂肪族炭化水素、クロロベンゼン、o−
ジクロロベンゼン、o−キシレン等のベンゼン誘導体が
挙げられる。これら有機溶媒は、1種で又は複数種組合
わせて使用することができる。
0mmHgより大きな有機溶媒が含まれていてもよい。
そのような有機溶媒としては、メタノール、ジクロロメ
タン、ベンゼン等が挙げられる。また、蒸気圧が大きな
有機溶媒は、その使用量が、溶媒中で80重量%以下で
あることが好ましい。ここで、溶媒中の発光層形成用の
有機材料又はその前駆体の添加量は、使用する溶媒及び
材料によっても相違するが、10〜0.01重量%の範
囲であることが好ましい。0.01重量%未満の場合、
粘度が低すぎるので好ましくなく、10重量%以上の場
合、粘度が高すぎるので好ましくない。
荷輸送層形成用の導電性、蛍光性又はその両方の性質を
有する有機材料又はその前駆体を、少なくとも20℃での
蒸気圧が10mmHg以下である有機溶媒を含む溶媒に
溶解又は分散させた塗液を用いることができる。
ED用、有機光導電体用の公知の高分子電荷輸送材料又
はその前駆体、もしくは、有機LED用、有機光導電体
用の公知の低分子電荷輸送材料が挙げられる。高分子電
荷輸送材料としては、特に限定されず公知の材料をいず
れも使用することができる。例えば、PPV、ポリナフタ
レンビニレン(PNV)、ポリアニリン(PANI)、3,4
−ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDT)、ポリエチ
レンジオキシチオフェン(PEDOT)、ポリビニルカルバ
ゾール(PVCz)、ポリTPD、ポリオキサジアゾール誘導
体(ポリOXZ)等が挙げられる。高分子電荷輸送材料の
前駆体としては、特に限定されず公知の材料をいずれも
使用することができる。例えば、PPVの前駆体(Pre-
PPV)、PNVの前駆体(Pre-PNV)等が挙げられる。
れず公知の材料をいずれも使用することができる。例え
ば、TPD、NPD、オキサジアゾール誘導体等が挙げられ
る。塗液には、導電性及び蛍光性のない高分子材料が含
まれていてもよい。例えば、PC、PMMA等が挙げられる。
また、必要に応じてpH調整剤、粘度調整剤、浸透促進剤
等の添加剤、アクセプター、ドナー等のドーパント等を
添加してもよい。溶媒には、上記発光層形成用塗液で挙
げた有機溶媒をいずれも使用することができる。
材料又はその前駆体の添加量は、使用する溶媒及び材料
によっても相違するが、10〜0.01重量%の範囲で
あることが好ましい。0.01重量%未満の場合、粘度
が低くなりすぎるので好ましくなく、10重量%以上の
場合、粘度が高くなりすぎるので好ましくない。また、
図1の有機LEDディスプレイには、各画素の発光層の
重なり、膜厚分布を考慮すると、各画素間に隔壁5を形
成したほうが好ましい。更に、コントラストの観点か
ら、基板の外側には、偏光板7が設けられていることが
好ましい。更にまた、信頼性の観点からは、有機LED
素子の第2電極上には、封止膜又は封止基板6を設ける
ことが好ましい。
限定されず公知の材料をいずれも使用することができ
る。例えば、石英基板、ガラス基板、プラスチック基板
等が挙げられる。また、有機層3は、1層又は複数層か
らなり、その内の少なくとも1層が、本発明による有機
LEDディスプレイの有機層形成用塗液を用いて形成さ
れる。
は、有機層からの発光は、基板側から放出されるので、
発光効率を高めるため、第2電極が反射電極であるこ
と、又は、第2電極上に反射膜を有することが好まし
い。逆に、第2電極を透明材料で構成して、有機層から
の発光を第2電極側から放出させることもできる。この
場合には、第1電極が反射電極であること、又は、第1
電極と基板との間に反射膜を有することが好ましい。
O2、ZnO等の透明材料を使用することができる。反射電
極としては、アルミニウム、カルシウム等の金属、マグ
ネシウム‐銀、リチウム‐アルミニウム等の合金、マグ
ネシウム/銀のような金属同士の積層膜、フッ化リチウ
ム/アルミニウムのような絶縁体と金属との積層膜等を
使用することができる。更に、反射膜としては、公知の
金属膜を使用することができる。
層構造であってもよい。また、隔壁の材質としては、本
発明の有機層に対して、不溶又は難溶であることが好ま
しい。また、ディスプレイとしての表示品位を上げる目
的で、ブラックマトリックス用の材料を用いることがよ
り好ましい。
電極間の接続方法について説明する。第1電極又は第2
電極は、図2に示すように、それぞれの画素に独立の電
極としてもよい。図2中、1は基板、2は第1電極、4
は第2電極を意味する。また、図3に示すように、有機
層に対応したストライプ状の第1電極と第2電極が、共
通の基板上で互いに直交するように構成してもよい。更
に、図4に示すように、第1電極又は第2電極が、薄膜ト
ランジスタ(TFT)を、介して共通の電極(ソースバスラ
イン、ゲートバスライン)に接続されていてもよい。図
4中、11はTFT、12はソースバスライン、13は
ゲートバスラインを意味する。次に、有機LEDディス
プレイの発光層の配置について説明する。
に示すように、ディスプレイの各部分が異なる発光色を
持つエリアから構成されていてもよい。なお、図5は、
図2の第1電極上に発光層を配置した例である。図中、
8は赤色発光画素、9緑色発光画素、10青色発光画素
を意味している。
うに、有機層が、マトリックス状に配置され、そのマト
リックス状に配置された有機層が、好ましくは、各々が
赤色(R)発光画素8、緑色(G)発光画素9、青色
(B)発光画素10から構成されていてもよい。また、
図6(a)の画素の配列に代えて、図6(b)及び
(c)に示すような配列でもよい。更に、図6(d)に
示すように、赤色(R)発光画素、緑色(G)発光画
素、青色(B)発光画素の割合を1:1:1の比以外の
比にしてもよい。また更に、各画素の発光面積は同一で
あっても、異なっていてもよい。なお、図6(a)はス
トライプ配置、図6(b)はモザイク配置、図6(c)
はデルタ配置、図6(d)はスクウェア配置と称され
る。
て説明する。図7に示すように、本発明では、有機層を
インクジェット方式により形成することが好ましい。図
7中、14はインクジェットプリンターヘッドを意味す
る。ここで、本発明をみたす有機層が発光層の場合、第
1電極上又は電荷輸送層上に発光層形成用塗液を吐出す
ることで形成することができる。また、本発明をみたす
有機層が電荷輸送層の場合、第1電極上、電荷輸送層上
又は発光層上に電荷輸送層形成用塗液を吐出することで
形成することができる。
も1層がインクジェット方式により形成されていさえす
れば、他の層はどのような方法で形成してもよい。他の
層の形成方法は、本発明の方法でもよく、公知の方法
(例えば、真空蒸着法等のドライプロセスや、ディップ
コート、スピンコート法等のウエットプロセス)でもよ
い。ここで、有機層が多層積層膜からなる有機LEDデ
ィスプレイを作製する場合には、接する膜間での材料の
混合を防ぐため、後に作製する層に使用する溶媒は先に
形成してある層を溶解させないものを使用することが好
ましい。
吐出でもよいし、図8に示すように多液を同一の場所に
吐出させてもよいし、図9に示すように異なる場所に吐
出させてよい。塗液を吐出するノズルは、各発光色で異
なるノズルを用いることが好ましい。更に、1つの発光
色でも、製造速度を考えると複数のノズルを用いること
が好ましい。また、液の吐出方式としては、作製する有
機LEDディスプレイの発光色の配置により、コンティ
ニアスタイプでもよいし、オンデマンドタイプでもよ
い。また更に、熱による有機発光材料又はその前駆体
を、溶解又は分散した塗液の変質を防ぐためピエゾ方式
が好ましい。加熱乾燥は、本発明の条件を満たしさえす
れば、1層毎に行ってもよいし、多層膜を形成した後に
行ってもよいし、陰極を形成した後に行ってもよい。
おいては、溶媒中に含まれる常温で低揮発性の有機溶媒
の沸点以上の温度で加熱乾燥する必要がある。更に、溶
媒の内で沸点の最も高い溶媒の沸点以上で加熱乾燥する
ことが好ましい。特に、溶媒の内で沸点の最も高い溶媒
の沸点以上、かつ、有機材料の変質温度以下で加熱乾燥
を行うことがより好ましい。更に、溶媒の内で沸点の最
も高い溶媒の沸点以上、かつ有機材料の融点以下で行う
ことがより好ましい。
てもよい。この内、材料の酸化を防ぐために不活性ガス
下で行うことがより好ましい。また、大気圧下で行って
もよいが、減圧下で行ってもよい。また、有機層が、互
いに接する2層から構成されている場合は、加熱乾燥の
温度を、2つの層を形成する有機材料の融点のうち高い
方の融点以下にすることが好ましい。これにより層間で
の材料の混合を防ぐことが可能となり、その結果、素子
の電気的特性の劣化を防止することが可能となる。
いる場合は、層が接する界面が複数個存在することとな
る。そのため、加熱乾燥の温度は、互いに接する2つの
層の有機材料の融点の内、高い方の融点を比較して、最
も低い融点以下にすることが好ましい。これにより層間
での材料の混合を防ぐことが可能となり、その結果、素
子の電気的特性の劣化を防止することが可能となる。
上に200℃の融点、160℃の融点を持つ有機材料を積層し
た場合は、接する2つの層を形成する有機材料の融点の
うち高い方の融点とは200℃である。従って、加熱乾燥
の温度は200℃以下となる。3層構造の場合、ITO上に180
℃の融点、200℃の融点、160℃の融点を持つ有機材料を
積層した場合は、互いに接する層を構成する有機材料と
は、180℃の融点の有機材料と200℃の融点を持つ有
機材料、200℃の融点を持つ有機材料と160℃の融
点を持つ有機材料のことである。互いに接する2つの層
(180℃と200℃、200℃と160℃)を形成する有機材
料の融点のうち高い融点とは、200℃と200℃である。従
って、加熱乾燥の温度は200℃以下となる。
の融点、160℃の融点、200℃の融点を持つ有機材料を積
層した場合は、互いに接する層を構成する有機材料と
は、180℃の融点の有機材料と160℃の融点を持つ有機材
料、160℃の融点を持つ有機材料と200℃の融点を持つ有
機材料のことである。互いに接する2つの層(180℃と16
0℃、160℃と200℃)を形成する有機材料の融点のうち
高い融点とは、180℃と200℃である。従って、この内の
低い融点とは180℃となり加熱乾燥の温度は180℃以下と
なる。
するが、本発明はこれら実施例により限定されるもので
はない。 (実施例1)20×50mmで、150nmの膜厚を持つITO付き
ガラス基板を、フォトリソグラフィ法に付して、4mm
ピッチで2mm幅の3本の陽極としてのITO透明ストライプ
電極を作製した。
ール、アセトン、純水を用いた各10分間の超音波洗浄
と、10分間のUVオゾン処理、10分間のO2プラズマ処
理に付した。次に、PC0.6g、NPD0.14g、TPB0.12g及びP
BD0.14gを、クロロベンゼン9gに溶かして、緑色発光層
形成用塗液を作製した。次に、前記塗液を用い市販のイ
ンクジェットプリンターにてガラス基板上に100nmの発
光層を形成した。次に、蒸着法により0.9nm のLiF層を
発光層上に形成し、陰極として、厚さ0.2μm、幅2mm、
ピッチ2mmのAl電極をシャドウマスクを用いた蒸着法に
より形成することで有機LEDディスプレイを得た。得
られた有機LEDディスプレイを、エポキシ樹脂を用い
て封止した。
クロロメタン9gを用いたこと以外は実施例1と同様に
して有機LEDディスプレイを得た。
加熱処理を行ったこと以外は実施例1と同様にして有機
LEDディスプレイを得た。
間加熱処理を行ったこと以外は実施例1と同様にして有
機LEDディスプレイを得た。
ジクロロベンゼン9gを用いたこと以外は実施例1と同
様にして有機LEDディスプレイを得た。
間加熱処理を行ったこと以外は実施例4と同様にして有
機LEDディスプレイを得た。
間加熱処理を行ったこと以外は実施例4と同様にして有
機LEDディスプレイを得た。
間加熱処理を行ったこと以外は実施例4と同様にして有
機LEDディスプレイを得た。
を持つITO付きガラス基板を、フォトリソグラフィ法に
付して、4mmピッチで2mm幅の3本の陽極としてのITO
透明ストライプ電極を作製した。
ール、アセトン、純水を用いた各10分間の超音波洗浄
と、10分間のUVオゾン処理、10分間のO2プラズマ処
理に付した。次に、PC0.8g及びNPD0.2gをクロロベンゼ
ン9gに溶かして正孔輸送層形成用塗液を作製した次
に、前記塗液を用い市販のインクジェットプリンターに
て80nmの正孔輸送層をガラス基板上に形成した。次に、
ポリエチレンオキシド0.6g、NPD0.14g、C60.12g、PBD
0.14gをo-キシレン9gに溶かして発光層形成用塗液を作
製した
トプリンターにて60nmの発光層を正孔輸送層上に形成し
た。次に、PC0.8g及びPBD0.2gをクロロベンゼン9gに
溶かして電子輸送層形成用塗液を作製した次に、前記塗
液を用い市販のインクジェットプリンターにて80nmの電
子輸送層を発光層上に形成した。次に、蒸着法により0.
9nm のLiF層を電子輸送層上に形成し、陰極として、厚
さ0.2μm、幅2mm、ピッチ2mmのAl電極をシャドウマス
クを用いた蒸着法により形成することで有機LEDディ
スプレイを得た。得られた有機LEDディスプレイを、
エポキシ樹脂を用いて封止した。
0分間加熱処理を行ったこと以外は実施例8と同様にし
て有機LEDディスプレイを得た。
で30分間加熱処理を行ったこと以外は実施例8と同様に
して有機LEDディスプレイを得た。
厚を持つITO付きガラス基板を、フォトリソグラフィ法
に付して、4mmピッチで2mm幅の3本の陽極としてのIT
O透明ストライプ電極を作製した。次に、ガラス基板
を、イソプロピルアルコール、アセトン、純水を用いた
各10分間の超音波洗浄と、10分間のUVオゾン処理、
10分間のO2プラズマ処理に付した。
ロヘキサノールの70:30(重量比)の混合溶媒9.99gに
溶かして緑色発光層形成用塗液を作製した。次に、前記
塗液を用い市販のインクジェットプリンターにて100nm
の発光層をガラス基板上に形成した。次に、窒素雰囲気
下で180℃で2時間加熱処理し、Pre-PPVをPPVに変換し
た。次に、発光層上に真空蒸着法によりAlq3を60nm積層
し、電子輸送層とした。次に、蒸着法により0.9nm のLi
F層を電子輸送層上に形成し、陰極として、厚さ0.2μ
m、幅2mm、ピッチ2mmのAl電極をシャドウマスクを用
いた蒸着法により形成することにより有機LEDディス
プレイを得た。得られた有機LEDディスプレイを、エ
ポキシ樹脂を用いて封止した。
ールの混合溶媒の代わりに、メタノール9.99g用い
たこと以外は実施例11と同様にして有機LEDディス
プレイを得た。
ノールの混合溶媒の代わりに、メタノールとグリセリン
の70:30の混合溶媒を9.99g用いたこと以外は実施
例11と同様にして有機LEDディスプレイを得た。
を持つITO付きガラス基板を、フォトリソグラフィ法に
付して、4mmピッチで2mm幅の3本の陽極としてのITO
透明ストライプ電極を作製した。次に、ガラス基板を、
イソプロピルアルコール、アセトン、純水を用いた各1
0分間の超音波洗浄と、10分間のUVオゾン処理、10
分間のO2プラズマ処理に付した。次に、3,4-ポリエチレ
ンジオキシチオフェン(以下、PEDTと略す。)1gをメタ
ノール9gに溶かした液を用いてスピンコート法により、
60nmの正孔輸送層をガラス基板上に形成した。
溶かして赤色発光層形成用塗液を作製した。次に、前記
塗液を用い市販のインクジェットプリンターにて100nm
の発光層を正孔輸送層上に形成した。次に、蒸着法によ
り0.9nm のLiF層を発光層上に形成し、陰極として、厚
さ0.2μm、幅2mm、ピッチ2mmのAl電極をシャドウマス
クを用いた蒸着法により形成することで有機LEDディ
スプレイを得た。得られた有機LEDディスプレイを、
エポキシ樹脂を用いて封止した。
ゼンを9.99g用いたこと以外は実施例13と同様に
して有機LEDディスプレイを得た。
間加熱処理を行ったこと以外は比較例3と同様にして有
機LEDディスプレイを得た。
分間加熱処理を行ったこと以外は実施例13と同様にし
て有機LEDディスプレイを得た。
に直流電圧を印加したときの200mA/cm2での、電気的特
性としての輝度を測定した。得られた結果を表1に示
す。また、以上の実施例により作製した塗液を使用し
て、インクジェットプリンターにより吐出試験を行った
結果も合わせて表1に示す。なお、吐出試験の評価基準
は、○を100回で吐出不良が生じなかったものとし、×
を100回未満で吐出不良が生じたものとした。
を使用した塗液は、ノズルでの目詰まりが生じず、イン
クジェットプリンター方式に使用するのに適しているこ
とが分かった。また、実施例1と比較例1、実施例13
と比較例3を比較すると、輝度を劣化させることなくイ
ンクジェットプリンタ方式で発光層を形成できることが
分かった。
例8と9、実施例13と14とを比較すると、有機材料
の変質温度以下で加熱乾燥を行うことで、輝度を向上で
きることが分かった。
ガラス基板を、フォトリソグラフィ法により、220μmピ
ッチで200μm幅の陽極としてのITOからなるストライプ
状の透明電極を作製した。次に、ガラス基板を、イソプ
ロピルアルコール、アセトン、純水を用いた各10分間
の超音波洗浄と、10分間のUVオゾン処理、10分間の
O2プラズマ処理に付した。次に、感光性ポリイミドを用
いて、透明電極と平行の方向には220μmピッチ、40μm
幅、5μm膜厚で、透明電極と直行する方向には320μmピ
ッチで、40μm幅、5μm膜厚の格子状の隔壁をフォトレ
ジスト法により作製した。次に、実施例4と同様にして
ガラス基板上にストライプ状の青色発光層を形成した。
上で青色発光層と平行に緑色発光層を形成した。次に、
実施例18と同様にしてガラス基板上で青色発光層と平
行に赤色発光層を形成した。次に、蒸着法により0.9nm
のLiF層を各発光層上に形成し、陰極として、厚さ0.2μ
m、幅300μm、ピッチ320μmのAl電極をシャドウマスク
を用いた蒸着法により形成することで有機LEDディス
プレイを得た。得られた有機LEDディスプレイを、エ
ポキシ樹脂を用いて封止した。以上のようにして作製し
た有機LEDディスプレイは、陽極及び陰極間でのショ
ートは観測されなかった。また、作製した有機LEDデ
ィスプレイに40Vのパルス電圧を印加することで赤、
緑、青の発光が観測された。
ンジスタを形成してから、実施例15と同様の陽極及び
隔壁を形成した。次に、実施例15と同様にして青色、
緑色、赤色の発光層を形成した。次に、蒸着法により0.
9nm のLiF層を発光層上に形成し、陰極として、厚さ0.2
μm、幅300μm、ピッチ320μmのAl電極をシャドウマス
クを用いた蒸着法により形成することで有機LEDディ
スプレイを得た。得られた有機LEDディスプレイを、
エポキシ樹脂を用いて封止した。以上のようにして作製
した有機LEDディスプレイに5V直流電圧を印加するこ
とで赤、緑、青の発光が観測された。
10mmHg以下の蒸気圧を有する低揮発性の液状の溶
媒を少なくとも1種類使用することにより、塗液を基
板、電極又は有機膜上に吐出した後でも、塗液をウエッ
ト状態にち続けることが可能となる。その結果、平坦な
膜を形成することができ、発光ムラを解消することが可
能となる。また、吐出した塗液に接するように、更に塗
液を吐出した際に、先に吐出した塗液と後に吐出した塗
液とをウエット状態で混合することができるので、従来
膜内に生じていた界面の形成を防ぐことができる。その
ため、界面の形成に伴う、電気特性の劣化を防止するこ
とが可能となる。
液の揮発性が低下し、その結果、ノズルでの目詰まりを
防止することが可能となる。また、溶媒中の常温で低揮
発性の液状の有機溶媒が、有機材料の変質温度又は前駆
体の有機材料への変換温度以下の沸点を有する場合、有
機材料の変性温度以下又は前駆体の変換温度以上で加熱
乾燥すれば、有機材料に分解、変質等の熱的ダメージを
与えることことなく、残留溶媒を完全に乾燥除去するこ
とが可能となる。よって、残留溶媒に伴う電気的特性の
劣化を防止できる。また、更に溶媒中の常温で低揮発性
の液状の有機溶媒が、有機材料の融点以下の沸点を有す
る場合、完全に電気的特性の劣化を防止できる。
有機溶媒の沸点を、各層を形成する有機材料の変質温度
又は前駆体の変換温度の内最も低い温度以下にすること
で、より低い加熱条件で残留溶媒を完全除去することが
可能となる。また、本発明の塗液を用い、インクジェッ
ト方式により形成される有機層を少なくとも1層含む2
層積層膜を有する有機LEDディスプレイの製造工程に
おいて、加熱乾燥の温度を、上記条件を満たし、かつ、
接する2つの層を形成する有機材料の融点のうち高い方
の融点以下に設定することで、加熱乾燥により接する2
層が混じり合うことによる、素子の電気的特性の劣化を
防止することが可能となる。
ト方式により形成される有機層を少なくとも1層を含む
3層以上の多層積層膜を有する有機LEDディスプレイ
は、層が接する界面が複数個存在する。この場合、加熱
乾燥の温度を、互いに接する2つの層の有機材料の融点
のうち高い方の融点と、他の互いに接する2つの層の有
機材料の融点のうち高い方の融点とを比較して、最も低
い融点以下の温度に設定することで接する層が混じり合
うことによる、素子の電気的特性の劣化を防止すること
が可能となる。
ット方法を用いて作製した有機LEDディスプレイで問
題になっていた、表面形状、層内部で形成される界面、
残留溶剤による電気的特性の劣化、インクジェットプリ
ンターのノズルでの目詰まり等の問題を解決することが
可能となり、優れた電気的特性を持つ有機LEDディス
プレイを簡単に、安価に製造することができる。
である。
面透視図である。
面透視図である。
面透視図である。
置の概念部分平面図である。
置の概念部分平面図である。
成工程の概略図である。
成工程の概念部分断面図と概念部分平面図である。
成工程の概念部分断面図と概念部分平面図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 発光層、又は発光層と電荷輸送層とから
なる有機層を有する有機LEDディスプレイの有機層を
形成するのに必要な有機材料又はその前駆体と溶媒とか
らなり、溶媒中に20℃で10mmHg以下の蒸気圧を
有し、有機材料の変質温度以下又は前駆体の変換温度以
下の沸点を有する低揮発性の液状の溶媒を少なくとも1
種含むことを特徴とする有機LEDディスプレイの有機
層形成用塗液。 - 【請求項2】 低揮発性の液状の溶媒が、有機材料の融
点以下の沸点を有する請求項1に記載の塗液。 - 【請求項3】 有機層が多層積層膜からなる場合、低揮
発性の液状の溶媒が、各層を形成する有機材料の変質温
度又は、前駆体の変換温度の内の最も低い温度以下の沸
点を有する請求項1に記載の塗液。 - 【請求項4】 低揮発性の液状の溶媒が、各層を形成す
る有機材料の融点のうち最も低い温度以下の沸点を有す
る請求項3に記載の塗液。 - 【請求項5】 低揮発性の液状の溶媒が、エチレングリ
コール、プロピレングリコール、トリエチレングリコー
ル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコー
ルモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエ
チルエーテル、グリセリン、N,N−ジメチルホルムア
ミド、N−メチル−2−ピロリドン、シクロヘキサノ
ン、シクロヘキサノール、1−プロパノール、オクタ
ン、ノナン、デカン、クロロベンゼン、o−ジクロロベ
ンゼン又はo−キシレンである請求項1〜4のいずれか
1つに記載の塗液。 - 【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1つに記載の有
機LEDディスプレイの有機層形成用塗液を、インクジ
ェット方式により吐出して少なくとも1層の塗膜を形成
する工程と、塗液中の低揮発性の液状の溶媒の沸点以上
の温度で、塗膜を加熱乾燥して有機層を形成する工程を
含む有機LEDディスプレイの製造方法。 - 【請求項7】 加熱乾燥が、有機材料の変質温度以下又
は、前駆体の変換温度以上で行われる請求項6に記載の
製造方法。 - 【請求項8】 加熱乾燥が、有機材料の変質温度以下で
行われる請求項7に記載の製造方法。 - 【請求項9】 有機LEDディスプレイが有機材料から
なる有機層を2層有し、その内の少なくとも1層をイン
クジェット方式により形成する場合、加熱乾燥が、互い
に接する2層の有機材料の融点のうち高い方の融点以下
の温度で行われる請求項6〜8のいずれか1つに記載の
製造方法。 - 【請求項10】 有機LEDディスプレイが有機材料か
らなる有機層を3層以上有し、その内の少なくとも1層
をインクジェット方式により形成する場合、加熱乾燥
が、互いに接する2つの層の有機材料の融点のうち高い
方の融点を、他の互いに接する2つの層の有機材料の融
点のうち高い方の融点と比較して、最も低い融点以下の
温度で行われる請求項6〜8のいずれか1つに記載の製
造方法。
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