JP2001051028A - Lsiテスタ及びlsiテストシステム - Google Patents

Lsiテスタ及びlsiテストシステム

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JP2001051028A
JP2001051028A JP11228448A JP22844899A JP2001051028A JP 2001051028 A JP2001051028 A JP 2001051028A JP 11228448 A JP11228448 A JP 11228448A JP 22844899 A JP22844899 A JP 22844899A JP 2001051028 A JP2001051028 A JP 2001051028A
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section
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JP11228448A
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English (en)
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Hiroaki Kosugi
浩章 小杉
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストパターンを効率的かつLSIテスタの
動作速度に影響をあたえないように圧縮する事により、
LSIテスタ内部におけるメモリやキャシュ間の転送速
度を速め、テスト時間を削減可能なLSIテスタ、LS
Iテストシステム等を提供すること。 【解決手段】 LSIテスタに与えるテストパターンの
圧縮データを生成する圧縮データ生成手段と、前記圧縮
データに基づきLSIのテストを行うLSIテスタとを
含むLSIテストシステムである。前記圧縮データ生成
手段は、同一端子に対応するテストパターン値が所与の
区間で固定値をとる場合に当該固定値区間のテストパタ
ーン値を省略し、省略区間を特定するパターンアドレス
及び省略された固定値を対応する端子に関連づけて記憶
する圧縮情報を含む圧縮データを生成する。前記LSI
テスタは、前記圧縮情報に基づき省略区間に省略された
固定値を補い圧縮前のテストパターンに伸長して、LS
Iのテストを行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、LSIテスタ、L
SIテストシステム、テストパターン圧縮方法及び情報
記憶媒体に関する。
【0002】
【背景技術及び発明が解決しようとする課題】近年では
LSIの集積化がすすみ、ピン数の増大や、同時に使用
されない複数の入出力が同一ピンに割り当てられる等の
ピンの多機能化が進んでいる。このためテスト対象とな
るLSIの各ピンに入力テストパターンを与え、出力を
期待値パターンと比較するLSIテストシステム(LS
Iテスタも含む)においても、テストパターンサイズが
増大することになる。
【0003】しかしテストパターンを格納するキャッシ
ュやメモリの容量には制約があるため、テストパターン
サイズが増大するとデータの読み込みが頻繁に生じるこ
とにより、メモリやキャッシュへのテストデータの転送
時間が増大する。このためテスト時間が増大し、ひいて
はテストされるLSIの製品価格の増大を招くという問
題があった。
【0004】また多ピン、多機能の集積製品は複数のモ
ジュールを含む場合が多く、係る場合には試験の際にモ
ジュール毎の単体テストを行う場合が多い。この場合モ
ジュール単体で使用しない大部分の端子は未使用であ
り、テストパターン値は変化していない。しかし端子が
ある以上対応するテストパターンは存在する。このた
め、未使用端子分の値が変化しないパターンサイズのテ
ストパターン全体に対する割合は想像以上に大きなもの
となっており、テストパターンを格納するキャッシュや
メモリの使用効率の悪化が問題となっていた。
【0005】かかる問題点を解決するためには、テスト
パターンデータの圧縮を行うことが好ましい。しかし集
積化の進んだLSIはシステムの動作速度が早いため、
複雑な圧縮を行うことは困難である。圧縮が複雑である
とそれを伸長するための回路も複雑になり動作速度が落
ちるからである。
【0006】またあえて複雑な圧縮をしたデータを用い
る場合には動作速度を維持するために高価な部品が必要
となりLSIシステム自体の作成に費用がかかりすぎる
という問題点があった。
【0007】本発明は、以上のような技術的課題に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、テス
トパターンを効率的かつLSIテスタの動作速度に影響
をあたえないように圧縮してメモリに格納する事によ
り、LSIテスタ内部におけるメモリやキャシュ間の転
送速度を速め、テスト時間を削減可能なLSIテスタ、
LSIテストシステム、テストパターン圧縮方法及び圧
縮プログラムが記憶された情報記憶媒体を提供する事で
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、LSIの各端
子に対応したテストパターンに基づきLSIのテストを
行うLSIテスタであって、前記LSIの同一端子に対
応するテストパターン値が所与の区間で固定値をとる場
合に当該固定値区間のテストパターン値を省略し、省略
区間を特定するパターンアドレス及び省略された固定値
を対応する端子に関連づけて記憶する圧縮情報を含む圧
縮データを記憶するメモリと、前記圧縮データを読み込
み、前記圧縮情報に基づき省略区間に省略された固定値
を補い圧縮前のテストパターンに伸長するパターン伸長
手段とを含むことを特徴とする。
【0009】ここにおいてLSIにはVLSIやULS
Iを含む。またテストパターンはLSIの各端子の入力
をテストするための入力パターンでもよいし、LSIの
各端子の出力をテストするための期待値パターンでもよ
い。
【0010】固定値区間を特定するパターンアドレス
は、固定値区間の開始位置及び終了位置のいずれか一方
を指定してもよいし両方を指定してもよい。例えば固定
値区間の開始位置及び終了位置のみで固定値区間が特定
できる場合には、開始位置及び終了位置のパターンアド
レスのみでもよい。即ち固定値区間が所定位置からテス
トパターンの最後までである場合には、固定値区間の開
始位置のパターンアドレスのみ指定すれば足りる。また
固定値区間がテストパターンの最初から所定位置までで
ある場合には、固定値区間の終了位置のパターンアドレ
スのみ指定すれば足りる。
【0011】また固定値区間は一つでもよいし、複数で
もよい。
【0012】本発明によれば、同一ピンに固定値が連続
する場合に当該固定値区間のテストパターン値が省略さ
れるので冗長部分を省略して効率よくメモリを使用する
ことができる。
【0013】従ってテストパターンサイズ及びパターン
数が増大することによる煩雑なデータの読み込みを減少
させ、LSIテスタ内でのメモリ、キャッシュ間でのデ
ータの転送速度を速めることが可能となる。従ってテス
ト時間の増大を防止し、ひいてはテストされるLSIの
製品価格のコストパフォーマンスを向上させることがで
きる。
【0014】また多ピン、多機能の集積製品は複数のモ
ジュールを含む場合が多く、係る場合には試験の際にモ
ジュール毎の単体テストを行う場合が多い。この場合モ
ジュール単体で使用しない大部分の端子は未使用であ
り、テストパターン値は変化していないが端子がある以
上対応するテストパターンは存在する。本発明は端子単
位で省略をおこなうため、未使用端子分のテストパター
ンを効率よく削減することがでる。このため、モジュー
ル毎の単体テスト時のキャッシュやメモリ間の転送速度
を速め、テスト時間の増大を防止することができる。
【0015】しかも本発明は、圧縮内容が動作速度に影
響をあたえるほど複雑でないため、圧縮したために高価
な部品が必要となることもなくコストパフォーマンスの
よいLSIテスタを提供する事ができる。
【0016】また本発明のLSIテスタは、前記パター
ン伸長手段は、パターンアドレスカウンタとLSIの各
端子に対応した固定パターンアドレスレジスタ及び固定
値レジスタを含み、前記圧縮情報に基づき省略区間を特
定するパターンアドレス及び省略された固定値を対応す
る端子別の固定パターンアドレスレジスタ及び固定値レ
ジスタに格納し、パターンアドレスカウンタと固定パタ
ーンアドレスレジスタの値を比較し、パターンアドレス
カウンタが省略区間内にある場合には固定値レジスタに
格納されている値を出力し、省略区間に省略された固定
値を補うことを特徴とする。
【0017】ここにおいてパターンアドレスカウンタが
省略区間内にない場合にはメモリに格納されている圧縮
データの当該端子の当該パターンアドレスに対応するテ
ストパターン値を出力するようにしてもよい。
【0018】本発明によればパターン伸長手段はパター
ンアドレスカウンタとLSIの各端子に対応した固定パ
ターンアドレスレジスタ及び固定値レジスタを含み、パ
ターンアドレスカウンタと固定パターンアドレスレジス
タの値を比較し、パターンアドレスカウンタが省略区間
内にある場合には固定値レジスタに格納されている値を
出力するという簡単な回路で実現可能であり、LSIテ
スタの動作速度にあたえる影響がほとんどなくコストパ
フォーマンスのよいLSIテスタを提供する事ができ
る。
【0019】また本発明のLSIテスタは、前記圧縮デ
ータが、前記固定値区間がテストパターンの先頭から所
与の位置まで、又は所与の位置からテストパターンの最
後までである場合に、当該固定値区間のテストパターン
値が省略されており、省略区間の終了位置のパターンア
ドレス又は開始位置のパターンアドレスのいずれかを、
省略区間を特定するパターンアドレスとして有している
ことを特徴とする。
【0020】ここにおいて前記パターン伸長手段は、パ
ターンアドレスカウンタとLSIの各端子に対応した終
了位置のパターンアドレスレジスタ又は開始位置のパタ
ーンアドレスレジスタのいずれかと固定値レジスタを含
み、前記圧縮情報に基づき省略区間の終了位置のパター
ンアドレス又は開始位置のパターンアドレスと固定値を
対応する端子別の終了位置のパターンアドレスレジスタ
又は開始位置のパターンアドレスレジスタと固定値レジ
スタに格納し、パターンアドレスカウンタと終了位置の
パターンアドレスレジスタ又は開始位置のパターンアド
レスレジスタの値を比較し、パターンアドレスカウンタ
が省略区間内にある場合には固定値レジスタに格納され
ている値を出力し省略された固定値を補うように構成し
てもよい。
【0021】本発明によれば省略区間を特定するための
アドレスは、省略区間の終了位置のパターンアドレス又
は開始位置のパターンアドレスのいずれか一方でよいた
めLSIテスタの回路構成がさらに簡単になり、動作速
度にほとんど影響をあたえない。このためコストパフォ
ーマンスのよいLSIテスタを提供する事ができる。ロ
ーコストなLSIテスタを提供可能である。
【0022】しかも複数のモジュールを含む多ピン、多
機能の集積製品の単体テストを行う場合には、モジュー
ル単体で使用しない大部分の端子は未使用であるため、
固定値区間がテストパターンの先頭から所与の位置ま
で、又は所与の位置からテストパターンの最後までであ
る場合が多い。このため本発明によれば、モジュール単
体テスト時等の未使用端子分のテストパターンを効率よ
く削減することができる。
【0023】また本発明は、LSIテスタに与えるテス
トパターンの圧縮を行い、圧縮データを生成する圧縮デ
ータ生成手段と、前記圧縮データに基づきLSIのテス
トを行うLSIテスタとを含むLSIテストシステムで
あって、前記圧縮データ生成手段は、前記LSIの同一
端子に対応するテストパターン値が所与の区間で固定値
をとる場合に当該固定値区間のテストパターン値を省略
し、省略区間を特定するパターンアドレス及び省略され
た固定値を対応する端子に関連づけて記憶する圧縮情報
を含む圧縮データを生成し、前記LSIテスタは、前記
圧縮データを読み込み、前記圧縮情報に基づき省略区間
に省略された固定値を補い圧縮前のテストパターンに伸
長して、LSIのテストを行うことを特徴とする。
【0024】本発明のLSIテストシステムは、前記L
SIテスタが、パターンアドレスカウンタとLSIの各
端子に対応した固定パターンアドレスレジスタ及び固定
値レジスタを含み、前記圧縮情報に基づき省略区間を特
定するパターンアドレス及び固定値を対応する端子別の
固定パターンアドレスレジスタ及び固定値レジスタに格
納し、パターンアドレスカウンタと固定パターンアドレ
スレジスタの値を比較し、パターンアドレスカウンタが
省略区間内にある場合には固定値レジスタに格納されて
いる値を出力し、省略区間に省略された固定値を補うこ
とを特徴とする。
【0025】本発明のLSIシステムは、前記圧縮デー
タが、前記固定値区間がテストパターンの先頭から所与
の位置まで、又は所与の位置からテストパターンの最後
までである場合に、当該固定値区間のテストパターン値
が省略されており、省略区間の終了位置のパターンアド
レス又は開始位置のパターンアドレスのいずれかを省略
区間を特定するパターンアドレスとして有していること
を特徴とする。
【0026】本発明は、LSIテスタに与えるテストパ
ターンを圧縮する方法であって、圧縮前のテストパター
ンを読み込むステップと、読み込んだテストパターンの
前記LSIの同一端子に対応するテストパターン値が所
与の区間で固定値をとる場合に、当該固定値区間を特定
するパターンアドレス及び固定値を対応する端子に関連
づけて記憶する圧縮情報を生成するステップと、前記固
定値区間のテストパターン値を省略した圧縮テストパタ
ーンを生成するステップと、生成された前記圧縮情報と
圧縮テストパターンを圧縮データファイルに書き込むス
テップを含むことを特徴とする。
【0027】本発明のテストパターン圧縮方法は、前記
圧縮データが、前記固定値区間がテストパターンの先頭
から所与の位置まで、又は所与の位置からテストパター
ンの最後までである場合に、当該固定値区間のテストパ
ターン値が省略されており、省略区間の終了位置のパタ
ーンアドレス又は開始位置のパターンアドレスのいずれ
かを省略区間を特定するパターンアドレスとして有して
いることを特徴とする。
【0028】本発明は、LSIテスタに与えるテストパ
ターンを圧縮するためのプログラムを記憶した情報記憶
媒体であって、圧縮前のテストパターンを読み込むステ
ップと、読み込んだテストパターンの前記LSIの同一
端子に対応するテストパターン値が所与の区間で固定値
をとる場合に、当該固定値区間を特定するパターンアド
レス及び固定値を対応する端子に関連づけて記憶する圧
縮情報を生成するステップと、前記固定値区間のテスト
パターン値を省略した圧縮テストパターンを生成するス
テップと、生成された前記圧縮情報と圧縮テストパター
ンを圧縮データファイルに書き込むステップとを実行す
るために必要なプログラムを記憶していることを特徴と
する。
【0029】本発明の情報記憶媒体は、前記圧縮データ
が、前記固定値区間がテストパターンの先頭から所与の
位置まで、又は所与の位置からテストパターンの最後ま
でである場合に、当該固定値区間のテストパターン値が
省略されており、省略区間の終了位置のパターンアドレ
ス又は開始位置のパターンアドレスのいずれか省略区間
を特定するパターンアドレスとして有していることを特
徴とする。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて図面を用いて詳細に説明する。
【0031】1.LSIテストシステム 図1は本実施の形態のLSIテストシステムの構成につ
いて説明するための図である。
【0032】本実施の形態のLSIテストシステム10
は、圧縮データ生成手段20とLSIテスタ100を含
んで構成される。
【0033】圧縮データ生成手段20は、LSIテスタ
に与えるテストパターンの圧縮を行い、圧縮データを生
成する機能を有する。圧縮データ生成手段20は前記L
SIの同一端子に対応するテストパターン値が所与の区
間で固定値をとる場合に当該固定値区間のテストパター
ン値を省略し、省略区間を特定するパターンアドレス及
び省略された固定値を対応する端子に関連づけて記憶す
る圧縮情報を含む圧縮データ30の生成を行う。
【0034】前記LSIテスタ100は、前記圧縮デー
タ30を読み込み、前記圧縮情報に基づき省略区間に省
略された固定値を補い圧縮前のテストパターンに伸長し
て、LSIのテストを行う。
【0035】以下圧縮データの特徴、生成方法、LSI
テスタの構成について詳細に説明する。
【0036】2.圧縮データの特徴 図2(A)(B)は圧縮データの特徴について説明する
ための図である。図2(A)は圧縮前のテストパターン
ファイルの様子を模式的に示した図であり、図2(B)
は圧縮後のテストパターンファイルの様子を模式的に示
した図ある。
【0037】図2(A)(B)ではわかりやすくするた
めにデータの内容を構成要素ごとに改行したテキストデ
ータで表し、各行の右側にデータの内容を表す注釈(図
2(A)の350、図2(B)の352)を付している
が、実際にLSIテスタで処理されるデータはバイナリ
データであり、全てのデータは連続している。
【0038】図2(A)に示すように圧縮前のデータ
は、テスト対象となるLSIの端子数を定義する端子数
定義310と前記端子数に対応した番号を記憶している
端子パターン対応320を有し、その後にアドレス1か
らアドレスnまで各パターンアドレスに対応したテスト
パターン(図2の330部分)を記憶している。
【0039】ここにおいて341に示すように端子1に
対応するテストパターンはアドレス1からアドレスnま
で全て0に固定されている。また342に示すように端
子2に対応するテストパターンはアドレス3からアドレ
スnまで全て1に固定されている。また343に示すよ
うに端子3に対応するテストパターンはアドレス2から
アドレスnまで全てLに固定されている。また344に
示すように端子4に対応するテストパターンはアドレス
1からアドレスnまで全てLに固定されている。
【0040】なお’1’または’0’は入力パターンで
あり、’L’’H’’X’は期待値パターンである。
【0041】本実施の形態では341から344のよう
に所与の端子に対応するテストパターンが所与のアドレ
ス以降で固定した値をとる場合に当該固定値区間を圧縮
の対象とする。
【0042】圧縮後のテストパターンは図2(B)に示
すように、端子定義数360、前記端子数に対応した番
号を記憶している端子パターン対応370と、各端子毎
に省略された固定値区間の先頭アドレスを示すパターン
固定アドレス380とパターン固定値390を圧縮情報
400としてヘッダ部分に有している。
【0043】例えば端子1に対しては、図2(A)の3
41に示すように省略された固定値区間の開始アドレス
が1で固定値0であるため、パターン固定アドレスは
1、パターン固定値は0と記憶されている。
【0044】ヘッダ部分400に続くテストパターン値
部分410では、図2(A)の341〜344等の固定
値区間のテストパターン値は省略され、省略された部分
は以降のデータがずれて詰まることになる。このためテ
ストパターン値部分は大幅に圧縮される。なお、各ライ
ンのテストパターンの先頭部分には、当該ラインに省略
されずに書き込まれているパターン数が格納されたライ
ンパターン数フィールドn1、n2、‥が記憶されてい
る(図2(B)の412参照)。
【0045】このように、同一ピンに固定値が連続する
場合に当該固定値区間のテストパターン値が省略される
ので冗長部分を省略して効率よくメモリを使用すること
ができる。
【0046】また端子単位で省略をおこなうため、モジ
ュール毎の単体テスト時の未使用端子分のテストパター
ンを効率よく削減することがでる。
【0047】3.圧縮データの生成方法 次に図2(B)で説明したデータ圧縮を行うためのデー
タ圧縮方法について説明する。図3〜図7は、圧縮デー
タ生成手段のデータ圧縮時の動作例について説明するた
めのフローチャート図である。
【0048】図3に示すように、圧縮データの生成は圧
縮前のテストパターンの読み込み・圧縮処理(ステップ
S10)と圧縮後のテストパターンの書き込み処理(ス
テップS20)とで構成されている。
【0049】図4は、圧縮前のテストパターンの読み込
み・圧縮処理(図3のステップS10)の詳細な動作例
のフローチャート図である。
【0050】まず圧縮前のテストパターンが格納された
ファイルをオープンする。以下は圧縮前のテストパター
ンファイルは図2(A)のような構成を有している場合
の動作例である。
【0051】まず端子数定義310(図2(A)参照)
を読み込み、端子数定義Nに格納する(ステップS12
0)。
【0052】各種変数領域、配列領域の初期化又は初期
値設定を行う(ステップS130)。WLINEはライ
ン数カウンタを格納する変数であり、LINEMAXは
ライン最大値を格納する変数であり、BUF(LINE
MAX)(n)は図2(A)の330部分の全テストパ
ターン値を格納する配列であり、OLD(n)は1ライ
ン前のテストパターンを格納する配列であり、ADR
(n)は、各端子の省略された固定値区間の先頭ライン
のアドレスを格納する配列である。なお1≦n≦Nであ
る。
【0053】次に、図2(A)の端子パターン対応部分
320の読み込みをN端子分行う(ステップS14
0)。
【0054】そしてEOFになるまでステップS150
からS180の処理をくりかえす。まず1ライン分のテ
ストパターン値の読み込みを行い(ステップS15
0)、EOFでない場合には(ステップS160)、W
LINEの更新を行い(ステップS170)、読み込ん
だラインと前ラインとのテストパターンの比較処理を行
う(ステップS180)。
【0055】EOFの場合には(ステップS160)、
ライン最大値を格納する変数LINEMAXにラインカ
ウンタの値WLINEを格納し(ステップS190)、
圧縮前のテストパターンファイルをクローズする(ステ
ップS200)。
【0056】図5は、読み込んだラインと前ラインとの
テストパターンの比較処理(図4のステップS180)
の動作例について説明するためのフローチャート図であ
る。
【0057】端子数をカウントする変数WNを初期設定
し(ステップS210)、ステップS220からS27
0で、各端子毎に読み込んだラインと前ラインとのテス
トパターンの比較処理を行う。
【0058】まず端子数カウンタwnの更新を行う(ス
テップS220)。そして現在処理中のライン(WLI
NE)について、読み込んだテストパターン値を端子パ
ターン対応に基づきBUF(WLINE)(wn)に代
入する(ステップS230)。
【0059】そして現在処理中のライン(WLINE)
の現在処理中の端子(wn)に対応するテストパターン
値であるBUF(WLINE)(wn)と前ラインの当
該端子(wn)のテストパターン値OLD(wn)を比
較する(ステップS240)。テストパターン値が同じ
でない場合には、当該端子の固定値の先頭ラインのアド
レスを格納する配列ADR(wn)に現在のラインカウ
ンタ(WLINE)を格納する(ステップS250)。
【0060】次にOLD(wn)にBUF(WLIN
E)(wn)を格納するOLD(wn)の更新処理を行
う(ステップS260)。
【0061】そして端子ラインカウンタwnが端子数定
義Nに達するまでステップS220からS260の処理
を行い、端子ラインカウンタwnが端子数定義Nに達し
たら処理を終了する(ステップS270)。
【0062】図6は、圧縮後のテストパターンの書き込
み処理(図3のステップS20)の動作例について説明
するためのフローチャート図である。
【0063】まず圧縮後のテストパターンを書き込むた
めの圧縮パターンファイルをオープンする(ステップS
310)。
【0064】そして図4のステップS120で読み込ん
だ端子数定義Nを、図2(B)の360に示すように圧
縮パターンファイルに書き込む(ステップS320)。
次に図4のステップS140で読み込んだ端子パターン
対応部分を、図2(B)の370に示すように圧縮パタ
ーンファイルに書き込む(ステップS330)。次に各
端子の省略された固定値区間の先頭ラインのアドレスを
格納する配列ADR(n)(1≦n≦N)を、図2
(B)の380に示すように圧縮パターンファイルに書
き込む(ステップS340)。
【0065】次にBUF(ADR(n))(n)(1≦
n≦N)に格納されているパターン値を各端子のパター
ン固定値部分に書き込む(ステップS350)。ここに
おいてADR(n)はラインを、nは端子番号をあらわ
している。ADR(n)には各端子の省略された固定値
区間の先頭アドレスが格納されているため、BUF(A
DR(n))(n)には、省略された固定値区間の固定
値が格納されていることになる。
【0066】そしてBUF(WLINE)(wn)に格
納されているパターン値部分(図2(a)の330に対
応する部分)の固定値区間を省略して、テストパターン
値部分を書き込む処理を行う(ステップS360)。こ
れにより図2(B)の410に示すように固定値部分が
省略され、その分が詰まって圧縮パターンファイルに書
き込まれることになる。
【0067】そしてテストパターン値部分の書き込みが
すべて終了したら圧縮パターンファイルのクローズを行
う(ステップS370)。
【0068】図7は、固定値区間を省略して、テストパ
ターン値部分を書き込む処理(図6のステップS36
0)の動作例について説明するためのフローチャート図
である。
【0069】まず書き込み用のラインカウンタWLIN
Eを初期化する(ステップS410)。
【0070】そして書き込み用のラインカウンタWLI
NEがライン数最大値LINEMAXに達するまでステ
ップS420からS490の処理を行う。
【0071】まずラインカウンタWLINEの更新を行
い(ステップS420)、1ライン分書き込み用の各種
カウンタ及び出力バッファの初期化を行う(ステップS
430)。wnは端子数カウンタであり、WCOUNT
は各ラインで省略されずに書き込まれるパターン値数の
カウンタで、OUT(n)は圧縮パターンに書き込む1
ライン分のパターン値を格納しておく出力バッファであ
る。
【0072】そしてステップS440からS470で、
1ライン分のパターン値を圧縮して書き込む処理を行
う。
【0073】まず端子数カウンタwnの更新を行い(ス
テップS440)。現在処理中のラインWLINEがパ
ターン固定アドレスADR(wn)より小さい場合に
は、パターンカウンタWCOUNTの更新を行い、当該
端子(wn)の現在のライン(WLINE)のパターン
値BUF(WLINE)(wn)を出力バッファOUT
(WCOUNT)に書き込む(ステップS450、S4
60)。
【0074】wn=端子定義数NになるまでステップS
440からS470の処理を繰り返す(ステップS47
0)。
【0075】wn=端子定義数Nに達したら、各ライン
で省略されずに書き込まれるパターン値数WCOUN
T、各ラインで省略されずに書き込まれるパターン値O
UT(n)(1≦n≦WCOUNT)を圧縮パターンフ
ァイルに書き込む(ステップS480)。
【0076】WLINE=LINEMAXになるまでス
テップS420からステップS480の処理を繰り返す
(ステップS490)。
【0077】このようにすることで図2(B)で説明し
たような圧縮パターンファイルを生成することができ
る。
【0078】4.LSIテスタ図8はLSIテスタ50
0のブロック図である。
【0079】パターンメモリ510は、図3から図7で
説明した圧縮方法で圧縮された図2(B)のような圧縮
データが記憶されている。
【0080】パターン伸長装置520は、前記圧縮デー
タを読み込み、前記圧縮情報に基づき省略区間に省略さ
れた固定値を補い、圧縮パターン512を伸長して圧縮
前のテストパターン522を生成する処理を行う。
【0081】パターン生成装置530は、前記パターン
伸長装置520が生成した圧縮前のテストパターンに基
づき入力パターンと期待値パターンとを分離する処理を
行う。そして基本クロックに同期して入力パターン53
2及び期待値パターン534を出力する。
【0082】テストプログラム格納メモリ562に格納
されたテストプログラムは、波形生成時に必要なデータ
である基準クロックに対する遅れや幅等を規定するため
のタイミングパルスを生成したり、出力ドライバ550
及び電圧レベル比較装置570に電圧を設定するために
必要な処理等を行うプログラムである。
【0083】タイミング生成装置560は、前記テスト
プログラムに基づき遅れ、幅等の時間を規定するタイミ
ングパルス564を発生させる処理をおこなう。
【0084】波形生成装置540は、前記パターン生成
装置530からの入力パターン532と前記タイミング
パルス564を合成し、テストに必要な入力波形542
を生成する。
【0085】出力ドライバ550は、波形生成装置54
0からの入力タイミングパターン542をテストプログ
ラムによって設定された電圧566に増幅し入力波形5
52を生成し、テスト対象である測定デバイス(LS
I)590に与える。
【0086】電圧レベル比較装置570は、テストプロ
グラムによって設定された電圧566及び前記タイミン
グパルス564に基づき、測定デバイスから出力された
出力波形602から出力パターン572を生成する。
【0087】期待値比較装置580は、出力パターン5
72と期待値パターン534を比較し、比較結果582
をテスト結果表示装置588に出力し、不一致パターン
584を不一致パターンメモリ584に出力する。不一
致パターンメモリ584によって不一致が発生するまで
の過程を解析することができる。
【0088】本実施の形態のLSIテスタの特徴は、パ
ターン伸長装置520を含んでいる点にある。
【0089】次にこのパターン伸長装置520のブロッ
ク図の一例についてより詳細に説明する。
【0090】図9は、各端子毎にパターン固定アドレス
をひとつ有している場合のパターン伸長装置520のブ
ロック図の一例である。各端子毎にパターン固定アドレ
スをひとつ有している場合とは、例えば省略区間の開始
アドレス又は終了アドレスで省略区間が特定されるよう
な場合、即ち開始アドレス以降最後までが省略区間であ
る場合等や最初から終了アドレスまでが省略区間である
ような場合である。
【0091】パターン伸長装置520は、端子別パター
ン振り分け回路610と、パターンアドレスカウンタ6
20と、圧縮情報設定回路680と、各端子毎に設けら
れたパターン出力回路630−1、630−2‥を含
む。
【0092】パターン出力回路630−1はパターン固
定アドレスレジスタ640−1と固定パターン値レジス
タ650−1とアドレス比較回路660−1とセレクタ
670−1を含む。
【0093】圧縮情報設定回路680では、パターンメ
モリに格納された圧縮データの圧縮情報を読み込み、各
端子に対応したパターン固定アドレス及びパターン固定
値を、パターン出力回路630−1、630−2‥のパ
ターン固定アドレスレジスタ640−1及び固定パター
ン値レジスタ650−1にセットする。
【0094】端子別パターン振り分け回路610は、圧
縮データのパターン値部分を読み込んで、各ラインごと
のパターン値数及び各端子のパターン固定アドレスに基
づき、端子別にテストパターン値を振り分けて出力す
る。
【0095】パターンアドレスカウンタ620は、生成
するパターンのアドレスをカウントするカウンタであ
る。
【0096】アドレス比較装置660−1は、パターン
アドレスカウンタ620の生成するアドレスがパターン
固定アドレスレジスタ640−1に格納されているパタ
ーン固定アドレスと一致した場合には固定パターン値イ
ネーブル信号690−1を出力する。
【0097】そしてパターン出力回路630−1のセレ
クタ670−1は、固定パターン値イネーブル信号69
0−1を受ける以前は、端子別パターン振り分け回路6
10からおくられてきた端子別のテストパターン出力
し、固定パターン値イネーブル信号690−1を受けた
後には、固定パターン値レジスタ650−1に格納され
ている値を出力する(692−1)。
【0098】このように本実施の形態によれば、新たに
追加されているパターン伸長装置520は、簡単な回路
で実現可能であり、LSIテスタの動作速度にあたえる
影響がほとんどないためコストパフォーマンスのよいL
SIテスタを提供する事ができる。
【0099】図10は、各端子毎にパターン固定アドレ
スを複数有している場合のパターン伸長装置520のブ
ロック図の一例である。各端子毎にパターン固定アドレ
スを複数有している場合とは、例えば開始アドレスと終
了アドレスで特定される省略区間が複数あるような場合
である。
【0100】図9の場合と同様にパターン伸長装置52
0は、端子別パターン振り分け回路610と、パターン
アドレスカウンタ620と、圧縮情報設定回路682
と、各端子毎に設けられたパターン出力回路632−
1、632−2‥を含む。
【0101】パターン出力回路632−1はパターン固
定開始アドレスレジスタ642−11、642−12‥
とパターン固定終了アドレスレジスタ644−11、6
44−12‥と固定パターン値レジスタ652−11、
652−12‥とアドレス比較回路662−1とセレク
タ672−1を含む。
【0102】圧縮情報設定回路682では、パターンメ
モリに格納された圧縮データの圧縮情報を読み込み、各
端子に対応したパターン固定開始アドレスとパターン固
定終了アドレス及びパターン固定値を、パターン出力回
路632−1のパターン固定開始アドレスレジスタ64
2−11、642−12‥とパターン固定終了アドレス
レジスタ644−11、644−12‥及び固定パター
ン値レジスタ652−11、652−12‥にセットす
る。
【0103】端子別パターン振り分け回路610は、圧
縮データのパターン値部分を読み込んで、各ラインごと
のパターン値数及び各端子のパターン固定アドレスに基
づき、端子別にテストパターン値を振り分けて出力す
る。
【0104】パターンアドレスカウンタ620は、生成
するパターンのアドレスをカウントするカウンタであ
る。
【0105】アドレス比較装置662−1は、パターン
アドレスカウンタ620の生成するアドレスがパターン
固定開始アドレスレジスタ642−11、642−12
‥に格納されている値以上でパターン固定終了アドレス
レジスタ644−11、644−12‥に格納されてい
る値以下である場合には固定パターン値イネーブル信号
694−1を出力する。
【0106】そしてパターン出力回路632−1のセレ
クタ672−1は、固定パターン値イネーブル信号69
4−1を受けた場合には、固定パターン値レジスタ65
0−1に格納されている値を出力し、それ以外の場合に
は端子別パターン振り分け回路610からおくられてき
た端子別のテストパターンを出力する(696−1)。
【0107】なお、本発明は本実施形態に限定されず、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
【0108】例えば、本実施の形態では、所与のパター
ンアドレス以降最後まで固定値が続く場合を例に取り圧
縮ファイルの例や圧縮方法について説明したがこれに限
らない。開始アドレスと終了アドレスの両方で省略区間
が特定されるような場合でもよい。また省略区間が複数
あるような場合でもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態のLSIテストシステムの構成に
ついて説明するための図である。
【図2】図2(A)(B)は圧縮データの特徴について
説明するための図である。
【図3】圧縮データ生成手段のデータ圧縮時の動作例に
ついて説明するためのフローチャート図である。
【図4】圧縮前のテストパターンの読み込み・圧縮処理
の詳細な動作例のフローチャート図である。
【図5】読み込んだラインと前ラインとのテストパター
ンの比較処理の動作例について説明するためのフローチ
ャート図である。
【図6】圧縮後のテストパターンの書き込み処理の動作
例について説明するためのフローチャート図である。
【図7】固定値区間を省略して、テストパターン値部分
を書き込む処理の動作例について説明するためのフロー
チャート図である。
【図8】LSIテスタのブロック図である。
【図9】各端子毎にパターン固定アドレスをひとつ有し
ている場合のパターン伸長装置のブロック図の一例であ
る。
【図10】各端子毎にパターン固定アドレスを複数有し
ている場合のパターン伸長装置のブロック図の一例であ
る。
【符号の説明】
10 LSIテストシステム 20 圧縮データ生成手段 30 圧縮データ 100 LSIテスタ 380 パターン固定アドレス 390 パターン固定アドレス 500 LSIテスタ 510 パターンメモリ 512 圧縮パターン 520 パターン伸長装置 522 圧縮前のテストパターン 530 パターン生成装置 532 入力パターン 540 波形生成装置 542 入力タイミングパターン 550 出力ドライバ 552 入力波形 560 タイミング設定 562 テストプログラム格納メモリ 564 タイミングパルス 570 電圧レベル比較装置 572 出力パターン 580 期待値比較装置 584 不一致パターン格納メモリ 586 不一致パターン 588 テスト結果比較装置 590 測定デバイス(LSI) 602 出力波形 610 端子別パターン振り分け回路 620 パターンアドレスカウンタ 630−1,630−2 パターン出力回路 640−1 パターン固定アドレスレジスタ 650−1 固定パターン値レジスタ 660−1 アドレス比較回路 670−1 セレクタ 680 圧縮情報設定回路

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 LSIの各端子に対応したテストパター
    ンに基づきLSIのテストを行うLSIテスタであっ
    て、 前記LSIの同一端子に対応するテストパターン値が所
    与の区間で固定値をとる場合に当該固定値区間のテスト
    パターン値を省略し、省略区間を特定するパターンアド
    レス及び省略された固定値を対応する端子に関連づけて
    記憶する圧縮情報を含む圧縮データを記憶するメモリ
    と、 前記圧縮データを読み込み、前記圧縮情報に基づき省略
    区間に省略された固定値を補い圧縮前のテストパターン
    に伸長するパターン伸長手段とを含むことを特徴とする
    LSIテスタ。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 前記パターン伸長手段は、 パターンアドレスカウンタとLSIの各端子に対応した
    固定パターンアドレスレジスタ及び固定値レジスタを含
    み、 前記圧縮情報に基づき省略区間を特定するパターンアド
    レス及び省略された固定値を対応する端子別の固定パタ
    ーンアドレスレジスタ及び固定値レジスタに格納し、 パターンアドレスカウンタと固定パターンアドレスレジ
    スタの値を比較し、パターンアドレスカウンタが省略区
    間内にある場合には固定値レジスタに格納されている値
    を出力し、省略区間に省略された固定値を補うことを特
    徴とするLSIテスタ。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2のいずれかにおいて、 前記圧縮データが、 前記固定値区間がテストパターンの先頭から所与の位置
    まで、又は所与の位置からテストパターンの最後までで
    ある場合に、当該固定値区間のテストパターン値が省略
    されており、省略区間の終了位置のパターンアドレス又
    は開始位置のパターンアドレスのいずれかを、省略区間
    を特定するパターンアドレスとして有することを特徴と
    するLSIテスタ。
  4. 【請求項4】 LSIテスタに与えるテストパターンの
    圧縮を行い、圧縮データを生成する圧縮データ生成手段
    と、 前記圧縮データに基づきLSIのテストを行うLSIテ
    スタとを含むLSIテストシステムであって、 前記圧縮データ生成手段は 前記LSIの同一端子に対応するテストパターン値が所
    与の区間で固定値をとる場合に当該固定値区間のテスト
    パターン値を省略し、省略区間を特定するパターンアド
    レス及び省略された固定値を対応する端子に関連づけて
    記憶する圧縮情報を含む圧縮データを生成し、 前記LSIテスタは、 前記圧縮データを読み込み、前記圧縮情報に基づき省略
    区間に省略された固定値を補い、圧縮前のテストパター
    ンに伸長してLSIのテストを行うことを特徴とするL
    SIテストシステム。
  5. 【請求項5】 請求項4において、 前記LSIテスタは、 パターンアドレスカウンタとLSIの各端子に対応した
    固定パターンアドレスレジスタ及び固定値レジスタを含
    み、 前記圧縮情報に基づき省略区間を特定するパターンアド
    レス及び固定値を対応する端子別の固定パターンアドレ
    スレジスタ及び固定値レジスタに格納し、 パターンアドレスカウンタと固定パターンアドレスレジ
    スタの値を比較し、パターンアドレスカウンタが省略区
    間内にある場合には固定値レジスタに格納されている値
    を出力し、省略区間に省略された固定値を補うことを特
    徴とするLSIシステム。
  6. 【請求項6】 請求項4または5のいずれかにおいて、 前記圧縮データは、 前記固定値区間がテストパターンの先頭から所与の位置
    まで、又は所与の位置からテストパターンの最後までで
    ある場合に、当該固定値区間のテストパターン値が省略
    されており、省略区間の終了位置のパターンアドレス又
    は開始位置のパターンアドレスのいずれかを省略区間を
    特定するパターンアドレスとして有することを特徴とす
    るLSIテストシステム。
  7. 【請求項7】 LSIテスタに与えるテストパターンを
    圧縮する方法であって、 圧縮前のテストパターンを読み込むステップと、 読み込んだテストパターンの前記LSIの同一端子に対
    応するテストパターン値が所与の区間で固定値をとる場
    合に、当該固定値区間を特定するパターンアドレス及び
    固定値を対応する端子に関連づけて記憶する圧縮情報を
    生成するステップと、 前記固定値区間のテストパターン値を省略した圧縮テス
    トパターンを生成するステップと、 生成された前記圧縮情報と圧縮テストパターンを圧縮デ
    ータファイルに書き込むステップを含むことを特徴とす
    るテストパターン圧縮方法。
  8. 【請求項8】 請求項7において、 前記圧縮データが、 前記固定値区間がテストパターンの先頭から所与の位置
    まで、又は所与の位置からテストパターンの最後までで
    ある場合に、当該固定値区間のテストパターン値が省略
    されており、省略区間の終了位置のパターンアドレス又
    は開始位置のパターンアドレスのいずれかを省略区間を
    特定するパターンアドレスとして有することを特徴とす
    るテストパターン圧縮方法。
  9. 【請求項9】 LSIテスタに与えるテストパターンを
    圧縮するためのプログラムを記憶した情報記憶媒体であ
    って、 圧縮前のテストパターンを読み込むステップと、 読み込んだテストパターンの前記LSIの同一端子に対
    応するテストパターン値が所与の区間で固定値をとる場
    合に、当該固定値区間を特定するパターンアドレス及び
    固定値を対応する端子に関連づけて記憶する圧縮情報を
    生成するステップと、 前記固定値区間のテストパターン値を省略した圧縮テス
    トパターンを生成するステップと、 生成された前記圧縮情報と圧縮テストパターンを圧縮デ
    ータファイルに書き込むステップとを実行するために必
    要なプログラムを記憶していることを特徴とする情報記
    憶媒体。
  10. 【請求項10】 請求項9において、 前記圧縮データが、 前記固定値区間がテストパターンの先頭から所与の位置
    まで、又は所与の位置からテストパターンの最後までで
    ある場合に、当該固定値区間のテストパターン値が省略
    されており、省略区間の終了位置のパターンアドレス又
    は開始位置のパターンアドレスのいずれか省略区間を特
    定するパターンアドレスとして有していることを特徴と
    する情報記憶媒体。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003040741A1 (fr) * 2001-11-06 2003-05-15 Renesas Thechnology Corp. Procede et appareil permettant de tester une composante electronique, ainsi que procede de commercialisation associe
JP2006322931A (ja) * 2005-04-21 2006-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 集積回路検査装置
CN113190391A (zh) * 2019-04-23 2021-07-30 神讯电脑(昆山)有限公司 烧机实时检测方法及其系统

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WO2003040741A1 (fr) * 2001-11-06 2003-05-15 Renesas Thechnology Corp. Procede et appareil permettant de tester une composante electronique, ainsi que procede de commercialisation associe
JP2006322931A (ja) * 2005-04-21 2006-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 集積回路検査装置
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