JP2001044473A - 太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル - Google Patents
太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルInfo
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- Hybrid Cells (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等
の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的
な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護
能力性に優れ、かつ、より低コストで安全な太陽電池モ
ジュ−ルを構成する表面または裏面保護シ−トを安定的
に提供することである。 【解決手段】 耐候性基材層の一方の面に、無機酸化物
の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた
耐候性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を
介して、重層した積層体からなることを特徴とする太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽
電池モジュ−ルに関するものである。
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等
の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的
な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護
能力性に優れ、かつ、より低コストで安全な太陽電池モ
ジュ−ルを構成する表面または裏面保護シ−トを安定的
に提供することである。 【解決手段】 耐候性基材層の一方の面に、無機酸化物
の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた
耐候性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を
介して、重層した積層体からなることを特徴とする太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽
電池モジュ−ルに関するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関するものであり、更に詳しくは、強度に優れ、か
つ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降
雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、耐突き刺し性、その
他等の諸特性に優れ、極めて耐久性に富み、保護能力性
に優れた太陽電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−
トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルに関するも
のである。
ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関するものであり、更に詳しくは、強度に優れ、か
つ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降
雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、耐突き刺し性、その
他等の諸特性に優れ、極めて耐久性に富み、保護能力性
に優れた太陽電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−
トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されて
いる。而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電
卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応
用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広
まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大
規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。と
ころで、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−
ト層としては、例えば、表面保護シ−ト層の場合は、現
在、ガラス板等が、最も一般的に使用され、その他、近
年、フッ素系樹脂シ−ト等の強靱な樹脂シ−ト等も注目
され、その開発が、急速に進められている。また、上記
の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層の場
合は、現在、強度に優れた強靱な樹脂シ−ト等が、最も
一般的に使用され、その他、金属板等も使用されてい
る。而して、一般に、太陽電池モジュ−ルを構成する保
護シ−ト層としては、例えば、表面保護シ−ト層の場合
は、太陽電池が、太陽光を吸収して光起電力することか
ら、太陽光を透過する透過性に富むと共に強度に優れ、
かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐
降雹性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に優れ、
特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、更
に、表面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積
を防止する防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、その保
護能力性が高いこと、その他等の条件を充足することが
必要とされ、また、裏面保護シ−ト層の場合も、ほぼ、
上記の表面保護シ−ト層の場合と同様な条件を充足する
ことが必要とされている。
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されて
いる。而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電
卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応
用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広
まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大
規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。と
ころで、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−
ト層としては、例えば、表面保護シ−ト層の場合は、現
在、ガラス板等が、最も一般的に使用され、その他、近
年、フッ素系樹脂シ−ト等の強靱な樹脂シ−ト等も注目
され、その開発が、急速に進められている。また、上記
の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層の場
合は、現在、強度に優れた強靱な樹脂シ−ト等が、最も
一般的に使用され、その他、金属板等も使用されてい
る。而して、一般に、太陽電池モジュ−ルを構成する保
護シ−ト層としては、例えば、表面保護シ−ト層の場合
は、太陽電池が、太陽光を吸収して光起電力することか
ら、太陽光を透過する透過性に富むと共に強度に優れ、
かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐
降雹性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に優れ、
特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、更
に、表面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積
を防止する防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、その保
護能力性が高いこと、その他等の条件を充足することが
必要とされ、また、裏面保護シ−ト層の場合も、ほぼ、
上記の表面保護シ−ト層の場合と同様な条件を充足する
ことが必要とされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層と
して、現在、最も一般的に使用されているガラス板等
は、太陽光の透過性に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐
水性、耐光性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に
優れ、また、防湿性等にも優れ、更に、表面硬度が硬
く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性
に優れ、その保護能力性が高い等の利点を有するが、強
度、可塑性、耐衝撃性、軽量性等に欠け、更に、その加
工性、施工性等に劣り、かつ、低コスト化等に欠けると
いう問題点がある。また、上記の太陽電池モジュ−ルを
構成する表面保護シ−ト層として、フッ素系樹脂等の強
靱な樹脂シ−トを使用する場合には、ガラス板等と比較
して、強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性等に富むもので
はあるが、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品
性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿性、
防汚性等に欠けるという問題点がある。また、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層として、
強度に優れた強靱な樹脂シ−ト等を使用する場合には、
強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性、低コスト化等に富む
ものではあるが、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐
薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿
性、防汚性等に欠けるという問題点がある。特に、太陽
電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トにおいて
は、通常、約０．１ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ・４０℃・１００
％ＲＨ程度の水蒸気透過度を必要とされ、これにより湿
気等の侵入による太陽電池の劣化等を防止されるもので
あるとされている。しかしながら、上記のようなフッ素
系樹脂シ−ト等の強靱な樹脂シ−ト等からなる太陽電池
モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トにおいては、せ
いぜい、５〜５０ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ・４０℃・１００％
ＲＨ程度の水蒸気透過度しか充足していないものであ
り、その防湿性等の改良効果は、ほとんど認められない
ものであり、相変わらず、太陽電池素子等の構造が、湿
気等の侵入により劣化することは否めないものであり、
充分に満足し得るものであるとは言えないものである。
そこで本発明は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、
耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿
性、防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、
特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向
上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて
耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、より低コスト
で安全な太陽電池モジュ−ルを構成する表面または裏面
保護シ−トを安定的に提供することである。
ば、太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層と
して、現在、最も一般的に使用されているガラス板等
は、太陽光の透過性に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐
水性、耐光性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に
優れ、また、防湿性等にも優れ、更に、表面硬度が硬
く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性
に優れ、その保護能力性が高い等の利点を有するが、強
度、可塑性、耐衝撃性、軽量性等に欠け、更に、その加
工性、施工性等に劣り、かつ、低コスト化等に欠けると
いう問題点がある。また、上記の太陽電池モジュ−ルを
構成する表面保護シ−ト層として、フッ素系樹脂等の強
靱な樹脂シ−トを使用する場合には、ガラス板等と比較
して、強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性等に富むもので
はあるが、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品
性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿性、
防汚性等に欠けるという問題点がある。また、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層として、
強度に優れた強靱な樹脂シ−ト等を使用する場合には、
強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性、低コスト化等に富む
ものではあるが、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐
薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿
性、防汚性等に欠けるという問題点がある。特に、太陽
電池モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トにおいて
は、通常、約０．１ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ・４０℃・１００
％ＲＨ程度の水蒸気透過度を必要とされ、これにより湿
気等の侵入による太陽電池の劣化等を防止されるもので
あるとされている。しかしながら、上記のようなフッ素
系樹脂シ−ト等の強靱な樹脂シ−ト等からなる太陽電池
モジュ−ル用表面または裏面保護シ−トにおいては、せ
いぜい、５〜５０ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ・４０℃・１００％
ＲＨ程度の水蒸気透過度しか充足していないものであ
り、その防湿性等の改良効果は、ほとんど認められない
ものであり、相変わらず、太陽電池素子等の構造が、湿
気等の侵入により劣化することは否めないものであり、
充分に満足し得るものであるとは言えないものである。
そこで本発明は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、
耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿
性、防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、
特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向
上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて
耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、より低コスト
で安全な太陽電池モジュ−ルを構成する表面または裏面
保護シ−トを安定的に提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者は、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する保護シ−ト層について、上記のよう
な問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、耐候性基
材層の一方の面に、酸化珪素あるいは酸化アルミニウム
等のガラス質からなる透明な、かつ、水蒸気バリア性、
酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸着膜を設け、更
に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の２以
上を、溶融押し出し接着性樹脂層、特に、紫外線吸収剤
等を含有する溶融押し出し接着性樹脂層を介して、重層
して積層体を製造し、而して、該積層体を太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トとし、この太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまたは
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、例
えば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、
そのいずれか一方の面を内側にし、充填剤層、光起電力
素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、通常の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積層
し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着す
るラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ルを
製造したところ、太陽光の透過性に優れ、かつ、強度に
優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、耐突き刺し
性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵
入を防止する防湿性を著しく向上させると共に各層間の
積層強度に優れ、、その長期的な性能劣化を最小限に抑
え、極めて耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、よ
り低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造
し得ることを見出して本発明を完成したものである。
ジュ−ルを構成する保護シ−ト層について、上記のよう
な問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、耐候性基
材層の一方の面に、酸化珪素あるいは酸化アルミニウム
等のガラス質からなる透明な、かつ、水蒸気バリア性、
酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸着膜を設け、更
に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の２以
上を、溶融押し出し接着性樹脂層、特に、紫外線吸収剤
等を含有する溶融押し出し接着性樹脂層を介して、重層
して積層体を製造し、而して、該積層体を太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トとし、この太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまたは
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、例
えば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、
そのいずれか一方の面を内側にし、充填剤層、光起電力
素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、通常の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積層
し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着す
るラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ルを
製造したところ、太陽光の透過性に優れ、かつ、強度に
優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、耐突き刺し
性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵
入を防止する防湿性を著しく向上させると共に各層間の
積層強度に優れ、、その長期的な性能劣化を最小限に抑
え、極めて耐久性に富み、保護能力性に優れ、かつ、よ
り低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造
し得ることを見出して本発明を完成したものである。
【０００５】すなわち、本発明は、耐候性基材層の一方
の面に、無機酸化物の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化
物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の２以上を、溶融押し
出し接着性樹脂層を介して、重層した積層体からなるこ
とを特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよび
それを使用した太陽電池モジュ−ルに関するものであ
る。
の面に、無機酸化物の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化
物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の２以上を、溶融押し
出し接着性樹脂層を介して、重層した積層体からなるこ
とを特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよび
それを使用した太陽電池モジュ−ルに関するものであ
る。
【０００６】上記の本発明について以下に図面等を用い
て更に詳しく説明する。なお、本発明において、シ−ト
とは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいずれの場合も
意味するものであり、また、フィルムとは、フィルム状
物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も意味するも
のである。本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルについて
その層構成を図面等を用いて更に具体的に説明すると、
図１、図２、図３および図４は、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トの層構成についてその二三例
を例示する概略的断面図であり、図５、図６および図７
は、図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルの層構
成についてその二三例を例示する概略的断面図である。
て更に詳しく説明する。なお、本発明において、シ−ト
とは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいずれの場合も
意味するものであり、また、フィルムとは、フィルム状
物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も意味するも
のである。本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルについて
その層構成を図面等を用いて更に具体的に説明すると、
図１、図２、図３および図４は、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トの層構成についてその二三例
を例示する概略的断面図であり、図５、図６および図７
は、図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルの層構
成についてその二三例を例示する概略的断面図である。
【０００７】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トＡは、図１に示すように、耐候性基材層１
の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜２を設け、更に、該
無機酸化物の蒸着膜２を設けた耐候性基材層１の２以上
を、溶融押し出し接着性樹脂層３を介して、重層した積
層体４からなることを基本構造とするものである。而し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トに
ついて、具体例を例示すると、図２に示すように、耐候
性基材層１の一方の面に、物理気相成長法あるいは化学
気相成長法等による無機酸化物の蒸着膜２ａを設け、更
に、該無機酸化物の蒸着膜２ａを設けた耐候性基材層１
の２以上を、その一方の無機酸化物の蒸着膜２ａを設け
た耐候性基材層１の無機酸化物の蒸着膜２ａの面と、他
方の無機酸化物２ａを設けた耐候性基材層１の耐候性基
材層１の面とを対向させて重ね合わせ、その層間を、溶
融押し出し接着性樹脂層３を介して、重層した積層体４
ａからなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ1 を挙げ
ることができる。更に、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トについて、別の具体例を例示すると、
図３に示すように、耐候性基材層１の一方の面に、物理
気相成長法あるいは化学気相成長法等による無機酸化物
の蒸着膜２ｂ、２ｂの少なくとも２層以上からなる多層
膜５を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜２ｂ、２ｂの
少なくとも２層以上からなる多層膜５を設けた耐候性基
材層１の２以上を、その一方の多層膜５を設けた耐候性
基材層１の多層膜５の面と、他方の多層膜５を設けた耐
候性基材層１の耐候性基材層１の面とを対向させて重ね
合わせ、その層間を、溶融押し出し接着性樹脂層３を介
して、重層した積層体４ｂからなる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トＡ2 を挙げることができる。
用保護シ−トＡは、図１に示すように、耐候性基材層１
の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜２を設け、更に、該
無機酸化物の蒸着膜２を設けた耐候性基材層１の２以上
を、溶融押し出し接着性樹脂層３を介して、重層した積
層体４からなることを基本構造とするものである。而し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トに
ついて、具体例を例示すると、図２に示すように、耐候
性基材層１の一方の面に、物理気相成長法あるいは化学
気相成長法等による無機酸化物の蒸着膜２ａを設け、更
に、該無機酸化物の蒸着膜２ａを設けた耐候性基材層１
の２以上を、その一方の無機酸化物の蒸着膜２ａを設け
た耐候性基材層１の無機酸化物の蒸着膜２ａの面と、他
方の無機酸化物２ａを設けた耐候性基材層１の耐候性基
材層１の面とを対向させて重ね合わせ、その層間を、溶
融押し出し接着性樹脂層３を介して、重層した積層体４
ａからなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ1 を挙げ
ることができる。更に、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トについて、別の具体例を例示すると、
図３に示すように、耐候性基材層１の一方の面に、物理
気相成長法あるいは化学気相成長法等による無機酸化物
の蒸着膜２ｂ、２ｂの少なくとも２層以上からなる多層
膜５を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜２ｂ、２ｂの
少なくとも２層以上からなる多層膜５を設けた耐候性基
材層１の２以上を、その一方の多層膜５を設けた耐候性
基材層１の多層膜５の面と、他方の多層膜５を設けた耐
候性基材層１の耐候性基材層１の面とを対向させて重ね
合わせ、その層間を、溶融押し出し接着性樹脂層３を介
して、重層した積層体４ｂからなる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トＡ2 を挙げることができる。
【０００８】更にまた、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トについて、また別の具体例を例示する
と、図４に示すように、耐候性基材層１の一方の面に、
まず、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜２ｃを
設け、次いで、該無機酸化物の蒸着膜２ｃの上に、物理
気相成長法による無機酸化物の蒸着膜２ｄを設けて異種
の無機酸化物の蒸着膜２ｃ、２ｄの２層以上からなる複
合膜６を形成し、更に、該異種の無機酸化物の蒸着膜２
ｃ、２ｄの２層以上からなる複合膜６を形成した耐候性
基材層１の２以上を、その一方の複合膜６を形成した耐
候性基材層１の複合膜６の面と、他方の複合膜６を形成
した耐候性基材層１の耐候性基材層１の面とを対向させ
て重ね合わせ、その層間を、溶融押し出し接着性樹脂層
３を介して、重層した積層体４ｃからなる太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トＡ3 を挙げることができる。上記の
例示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその二三例を例示するものであり、本発明
は、これによって限定されるものではないことは勿論で
ある。例えば、図示しないが、上記の図４に示す太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トＡ 3 においては、先に、物理
気相成長法により無機酸化物の蒸着膜を設け、次に、化
学気相成長法により無機酸化物の蒸着膜を設けてもよい
ものである。
−ル用保護シ−トについて、また別の具体例を例示する
と、図４に示すように、耐候性基材層１の一方の面に、
まず、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜２ｃを
設け、次いで、該無機酸化物の蒸着膜２ｃの上に、物理
気相成長法による無機酸化物の蒸着膜２ｄを設けて異種
の無機酸化物の蒸着膜２ｃ、２ｄの２層以上からなる複
合膜６を形成し、更に、該異種の無機酸化物の蒸着膜２
ｃ、２ｄの２層以上からなる複合膜６を形成した耐候性
基材層１の２以上を、その一方の複合膜６を形成した耐
候性基材層１の複合膜６の面と、他方の複合膜６を形成
した耐候性基材層１の耐候性基材層１の面とを対向させ
て重ね合わせ、その層間を、溶融押し出し接着性樹脂層
３を介して、重層した積層体４ｃからなる太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トＡ3 を挙げることができる。上記の
例示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその二三例を例示するものであり、本発明
は、これによって限定されるものではないことは勿論で
ある。例えば、図示しないが、上記の図４に示す太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トＡ 3 においては、先に、物理
気相成長法により無機酸化物の蒸着膜を設け、次に、化
学気相成長法により無機酸化物の蒸着膜を設けてもよい
ものである。
【０００９】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示すると、
上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図５に示すよ
うに、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
−ト１１として使用し、而して、該太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−ト１１（Ａ）を、そのいずれか一方の面
を内側にし、順次に、充填剤層１２、光起電力素子とし
ての太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、通常の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層１５等を積層
し、次いで、これらを一体として、真空吸引して加熱圧
着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上
記の各層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴを製
造することができる。更に、本発明において、上記の本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用し
て製造した太陽電池モジュ−ルについて、他の一例を例
示すると、上記と同様に、上記の図１に示す本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で
説明すると、図６に示すように、上記の図１に示す本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６として使用し、ま
ず、通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１７、
充填剤層１２、光起電力素子としての太陽電池素子１
３、充填剤層１４、および、上記の太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−ト１６（Ａ）を、そのいずれか一方の面
を対向させて順次に積層し、次いで、これらを一体とし
て、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等の通
常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として太
陽電池モジュ−ルＴ1 を製造することができる。
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示すると、
上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図５に示すよ
うに、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
−ト１１として使用し、而して、該太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−ト１１（Ａ）を、そのいずれか一方の面
を内側にし、順次に、充填剤層１２、光起電力素子とし
ての太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、通常の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層１５等を積層
し、次いで、これらを一体として、真空吸引して加熱圧
着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上
記の各層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴを製
造することができる。更に、本発明において、上記の本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用し
て製造した太陽電池モジュ−ルについて、他の一例を例
示すると、上記と同様に、上記の図１に示す本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で
説明すると、図６に示すように、上記の図１に示す本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６として使用し、ま
ず、通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１７、
充填剤層１２、光起電力素子としての太陽電池素子１
３、充填剤層１４、および、上記の太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−ト１６（Ａ）を、そのいずれか一方の面
を対向させて順次に積層し、次いで、これらを一体とし
て、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等の通
常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として太
陽電池モジュ−ルＴ1 を製造することができる。
【００１０】また、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについて、別の一例を例示する
と、上記と同様に、上記の図１に示す本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説明す
ると、図７に示すように、上記の図１に示す本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−ト１１として使用し、また、上記
の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６と
して使用し、而して、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト１１（Ａ）を、そのいずれか一方の面を内側
にし、順次に、充填剤層１２、光起電力素子としての太
陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記の太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６（Ａ）を、そのいず
れか一方の面を対向させて積層し、次いで、これらを一
体として、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法
等の通常の成形法を利用して、上記の各層を一体成形体
として太陽電池モジュ−ルＴ2 を製造することができ
る。上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルに
ついてその二三例を例示するものであり、本発明はこれ
により限定されるものではない。例えば、図示しない
が、上記の図２、図３、図４等に示す太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トを使用し、上記と同様にして、種々の形
態からなる太陽電池モジュ−ルを製造することができ、
また、上記の太陽電池モジュ−ルにおいては、太陽光の
吸収性、補強、その他等の目的のもとに、更に、他の層
を任意に加えて積層することができるものである。
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについて、別の一例を例示する
と、上記と同様に、上記の図１に示す本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説明す
ると、図７に示すように、上記の図１に示す本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−ト１１として使用し、また、上記
の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６と
して使用し、而して、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト１１（Ａ）を、そのいずれか一方の面を内側
にし、順次に、充填剤層１２、光起電力素子としての太
陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記の太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６（Ａ）を、そのいず
れか一方の面を対向させて積層し、次いで、これらを一
体として、真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法
等の通常の成形法を利用して、上記の各層を一体成形体
として太陽電池モジュ−ルＴ2 を製造することができ
る。上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルに
ついてその二三例を例示するものであり、本発明はこれ
により限定されるものではない。例えば、図示しない
が、上記の図２、図３、図４等に示す太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トを使用し、上記と同様にして、種々の形
態からなる太陽電池モジュ−ルを製造することができ、
また、上記の太陽電池モジュ−ルにおいては、太陽光の
吸収性、補強、その他等の目的のもとに、更に、他の層
を任意に加えて積層することができるものである。
【００１１】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等について更
に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成す
る耐候性基材層としては、まず、それが太陽電池の最表
面を構成する場合には、太陽電池は、太陽光を吸収して
光起電力することから、太陽光の全てを透過する透過性
に優れている性質を有することが望ましいものである。
また、上記の耐候性基材層としては、機械的あるいは化
学的ないし物理的強度に優れ、具体的には、耐候性、耐
熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性
等の諸堅牢性に優れ、特に、耐候性に優れていると共に
水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、また、表
面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止
する防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、その保護能力
性が高いこと等の特性を有することが望ましいものであ
る。更に、上記の耐候性基材層としては、後述する無機
酸化物の蒸着膜を形成する蒸着条件等に耐え、それら無
機酸化物の蒸着膜等の特性を損なうことなく良好に保持
し得ることができ基材が望ましいものである。
陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等について更
に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成す
る耐候性基材層としては、まず、それが太陽電池の最表
面を構成する場合には、太陽電池は、太陽光を吸収して
光起電力することから、太陽光の全てを透過する透過性
に優れている性質を有することが望ましいものである。
また、上記の耐候性基材層としては、機械的あるいは化
学的ないし物理的強度に優れ、具体的には、耐候性、耐
熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性
等の諸堅牢性に優れ、特に、耐候性に優れていると共に
水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、また、表
面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止
する防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、その保護能力
性が高いこと等の特性を有することが望ましいものであ
る。更に、上記の耐候性基材層としては、後述する無機
酸化物の蒸着膜を形成する蒸着条件等に耐え、それら無
機酸化物の蒸着膜等の特性を損なうことなく良好に保持
し得ることができ基材が望ましいものである。
【００１２】本発明において、上記のような耐候性基材
層としては、具体的には、例えば、ポリエチレン系樹
脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹
脂、フッ素系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニト
リル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリ
ルル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、
ポリ塩化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、ポリ（メタ）ア
クリル系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリエチレン
テレフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエ
ステル系樹脂、各種のナイロン等のポリアミド系樹脂、
ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリ
−ルフタレ−ト系樹脂、シリコ−ン系樹脂、ポリスルホ
ン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエ−
テルスルホン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタ−ル
系樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トを使用することができる。本発明に
おいては、上記の樹脂のフィルムないしシ−トの中で
も、特に、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、
ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹
脂、または、ポリエステル系樹脂のフィルムないしシ−
トを使用することが好ましいものである。而して、本発
明において、上記のようなフッ素系樹脂、環状ポリオレ
フィン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ（メタ）
アクリル系樹脂、または、ポリエステル系樹脂のフィル
ムないしシ−トは、機械的特性、化学的特性、光学的特
性等に優れ、具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐
光性、耐防湿性、耐汚染性、耐薬品性、その他等の諸堅
牢性に優れて、太陽電池を構成する保護シ−トとして有
用性を有し、従来のガラス板等と同等の光学特性、耐久
性、保護機能性等を有し、また、そのフレキシブル性や
機械的特性、化学的特性等からガラス板よりも軽く、か
つ、加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点
を有するものである。
層としては、具体的には、例えば、ポリエチレン系樹
脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹
脂、フッ素系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニト
リル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリ
ルル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、
ポリ塩化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、ポリ（メタ）ア
クリル系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリエチレン
テレフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエ
ステル系樹脂、各種のナイロン等のポリアミド系樹脂、
ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリ
−ルフタレ−ト系樹脂、シリコ−ン系樹脂、ポリスルホ
ン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエ−
テルスルホン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタ−ル
系樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トを使用することができる。本発明に
おいては、上記の樹脂のフィルムないしシ−トの中で
も、特に、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、
ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹
脂、または、ポリエステル系樹脂のフィルムないしシ−
トを使用することが好ましいものである。而して、本発
明において、上記のようなフッ素系樹脂、環状ポリオレ
フィン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ（メタ）
アクリル系樹脂、または、ポリエステル系樹脂のフィル
ムないしシ−トは、機械的特性、化学的特性、光学的特
性等に優れ、具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐
光性、耐防湿性、耐汚染性、耐薬品性、その他等の諸堅
牢性に優れて、太陽電池を構成する保護シ−トとして有
用性を有し、従来のガラス板等と同等の光学特性、耐久
性、保護機能性等を有し、また、そのフレキシブル性や
機械的特性、化学的特性等からガラス板よりも軽く、か
つ、加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点
を有するものである。
【００１３】本発明においては、上記のような各種の樹
脂のフィルムないしシ−トのなかでも、特に、例えば、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフル
オロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−テルと
の共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦ
Ａ）、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピ
レンコポリマ−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンと
ペルフルオロアルキルビニルエ−テルとヘキサフルオロ
プロピレンコポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオロエチ
レンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴ
ＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂（ＰＣＴ
ＦＥ）、エチレンとクロロトリフルオロエチレンとのコ
ポリマ−（ＥＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系樹脂（Ｐ
ＶＤＦ）、または、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）等の
フッ素系樹脂の１種ないしそれ以上からなる透明性を有
するフッ素系樹脂シ−トを使用することが好ましいもの
である。なお、本発明においては、上記のフッ素系樹脂
シ−トの中でも、特に、ポリフッ化ビニル系樹脂（ＰＶ
Ｆ）、または、テトラフルオロエチレンとエチレンまた
はプロピレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）からなるフッ
素系樹脂シ−トが、透明性を有し、太陽光の透過性等の
観点から好ましいものである。
脂のフィルムないしシ−トのなかでも、特に、例えば、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフル
オロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−テルと
の共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦ
Ａ）、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピ
レンコポリマ−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンと
ペルフルオロアルキルビニルエ−テルとヘキサフルオロ
プロピレンコポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオロエチ
レンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴ
ＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂（ＰＣＴ
ＦＥ）、エチレンとクロロトリフルオロエチレンとのコ
ポリマ−（ＥＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系樹脂（Ｐ
ＶＤＦ）、または、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）等の
フッ素系樹脂の１種ないしそれ以上からなる透明性を有
するフッ素系樹脂シ−トを使用することが好ましいもの
である。なお、本発明においては、上記のフッ素系樹脂
シ−トの中でも、特に、ポリフッ化ビニル系樹脂（ＰＶ
Ｆ）、または、テトラフルオロエチレンとエチレンまた
はプロピレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）からなるフッ
素系樹脂シ−トが、透明性を有し、太陽光の透過性等の
観点から好ましいものである。
【００１４】また、本発明においては、上記のような各
種の樹脂のフィルムないしシ−トのなかでも、上記のフ
ッ素系樹脂シ−トと共に、特に、例えば、シクロペンタ
ジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよび
その誘導体、シクロヘキサジエンおよびその誘導体、ノ
ルボルナジエンおよびその誘導体、その他等の環状ジエ
ンを重合させてなるポリマ−、あるいは、該環状ジエン
とエチレン、プロピレン、４−メチル−１−ペンテン、
スチレン、ブタジエン、イソプレン、その他等のオレフ
ィン系モノマ−の１種ないしそれ以上とを共重合させて
なるコポリマ−等からなる透明な環状ポリオレフィン系
樹脂シ−トを使用することが好ましいものである。な
お、本発明においては、上記の透明な環状ポリオレフィ
ン系樹脂シ−トの中でも、特に、シクロペンタジエンお
よびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよびその誘導
体、または、ノルボルナジエンおよびその誘導体等の環
状ジエンのポリマ−ないしコポリマ−からなる透明な環
状ポリオレフィン系樹脂シ−トが、耐候性、耐水性等に
優れ、更に、透明性を有し、太陽光の透過性等の観点か
ら好ましいものである。而して、本発明において、上記
のようなフッ素系樹脂シ−トあるいは環状ポリオレフィ
ン系樹脂シ−トを使用することにより、該フッ素系樹脂
シ−トあるは環状ポリオレフィン系樹脂シ−トが有する
機械的特性、化学的特性、光学的特性等の優れた特性、
具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐防湿
性、耐汚染性、耐薬品性、その他等の諸特性を利用して
太陽電池を構成する保護シ−トとするものであり、これ
により、従来のガラス板等と同等の光学特性、耐久性、
保護機能性等を有し、また、そのフレキシブル性や機械
的特性、化学的特性等からガラス板よりも軽く、かつ、
加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点を有
するものである。
種の樹脂のフィルムないしシ−トのなかでも、上記のフ
ッ素系樹脂シ−トと共に、特に、例えば、シクロペンタ
ジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよび
その誘導体、シクロヘキサジエンおよびその誘導体、ノ
ルボルナジエンおよびその誘導体、その他等の環状ジエ
ンを重合させてなるポリマ−、あるいは、該環状ジエン
とエチレン、プロピレン、４−メチル−１−ペンテン、
スチレン、ブタジエン、イソプレン、その他等のオレフ
ィン系モノマ−の１種ないしそれ以上とを共重合させて
なるコポリマ−等からなる透明な環状ポリオレフィン系
樹脂シ−トを使用することが好ましいものである。な
お、本発明においては、上記の透明な環状ポリオレフィ
ン系樹脂シ−トの中でも、特に、シクロペンタジエンお
よびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよびその誘導
体、または、ノルボルナジエンおよびその誘導体等の環
状ジエンのポリマ−ないしコポリマ−からなる透明な環
状ポリオレフィン系樹脂シ−トが、耐候性、耐水性等に
優れ、更に、透明性を有し、太陽光の透過性等の観点か
ら好ましいものである。而して、本発明において、上記
のようなフッ素系樹脂シ−トあるいは環状ポリオレフィ
ン系樹脂シ−トを使用することにより、該フッ素系樹脂
シ−トあるは環状ポリオレフィン系樹脂シ−トが有する
機械的特性、化学的特性、光学的特性等の優れた特性、
具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐防湿
性、耐汚染性、耐薬品性、その他等の諸特性を利用して
太陽電池を構成する保護シ−トとするものであり、これ
により、従来のガラス板等と同等の光学特性、耐久性、
保護機能性等を有し、また、そのフレキシブル性や機械
的特性、化学的特性等からガラス板よりも軽く、かつ、
加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点を有
するものである。
【００１５】本発明において、上記の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、２種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、６〜３００μｍ
位、より好ましくは、９〜１５０μｍ位が望ましい。ま
た、本発明において、各種の樹脂のフィルムないしシ−
トとしては、可視光透過率が、９０％以上、好ましく
は、９５％以上であって、入射する太陽光を全て透過
し、これを吸収する性質を有することが望ましいもので
ある。
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、２種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、６〜３００μｍ
位、より好ましくは、９〜１５０μｍ位が望ましい。ま
た、本発明において、各種の樹脂のフィルムないしシ−
トとしては、可視光透過率が、９０％以上、好ましく
は、９５％以上であって、入射する太陽光を全て透過
し、これを吸収する性質を有することが望ましいもので
ある。
【００１６】なお、上記の各種の樹脂の１種ないしそれ
以上を使用し、その製膜化に際して、例えば、フィルム
の加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、
抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的
特性、強度、その他等を改良、改質する目的で、種々の
プラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、
その添加量としては、極く微量から数十％まで、その目
的に応じて、任意に添加することができる。上記におい
て、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、
酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化繊
維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防
カビ剤、顔料、その他等を使用することができ、更に
は、改質用樹脂等も使用することがてきる。
以上を使用し、その製膜化に際して、例えば、フィルム
の加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、
抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的
特性、強度、その他等を改良、改質する目的で、種々の
プラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、
その添加量としては、極く微量から数十％まで、その目
的に応じて、任意に添加することができる。上記におい
て、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、
酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化繊
維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防
カビ剤、顔料、その他等を使用することができ、更に
は、改質用樹脂等も使用することがてきる。
【００１７】而して、本発明においては、上記の添加剤
の中でも、特に、耐候性、耐突き刺し性等を向上させる
ために、紫外線吸収剤、酸化防止剤、あるいは、強化繊
維の１種ないし２種以上を練れ込み加工してなる各種の
樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましい
ものである。上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の
有害な紫外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−
へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起され
るのを防止するものであり、例えば、ベンゾフェノン
系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリル
ニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒
子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）ある
いは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の
無機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそれ以上を使用す
ることができる。また、上記の酸化防止剤としては、高
分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止するものであり、
例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、そ
の他等の酸化防止剤を使用することができる。更に、上
記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤としては、例え
ば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖に、上記のベン
ゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−
ル系等の酸化防止剤を化学結合させてなるポリマ−型の
紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使用することがで
きる。また、上記の強化繊維としては、例えば、ガラス
繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリアミド繊維、ポリ
エステル繊維、ポリプロピレン繊維、ポリアクリロニト
リル繊維、天然繊維、その他等を使用することができ、
それらは、長ないし短繊維状物、あるいは、織布ないし
不織布状物、その他等で使用することができる。上記の
紫外線吸収剤、酸化防止剤、強化繊維等の含有量として
は、その粒子形状、密度、その他等によって異なるが、
約０．１〜１０重量％位が好ましい。
の中でも、特に、耐候性、耐突き刺し性等を向上させる
ために、紫外線吸収剤、酸化防止剤、あるいは、強化繊
維の１種ないし２種以上を練れ込み加工してなる各種の
樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましい
ものである。上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の
有害な紫外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−
へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起され
るのを防止するものであり、例えば、ベンゾフェノン
系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリル
ニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒
子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）ある
いは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の
無機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそれ以上を使用す
ることができる。また、上記の酸化防止剤としては、高
分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止するものであり、
例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、そ
の他等の酸化防止剤を使用することができる。更に、上
記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤としては、例え
ば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖に、上記のベン
ゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−
ル系等の酸化防止剤を化学結合させてなるポリマ−型の
紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使用することがで
きる。また、上記の強化繊維としては、例えば、ガラス
繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリアミド繊維、ポリ
エステル繊維、ポリプロピレン繊維、ポリアクリロニト
リル繊維、天然繊維、その他等を使用することができ、
それらは、長ないし短繊維状物、あるいは、織布ないし
不織布状物、その他等で使用することができる。上記の
紫外線吸収剤、酸化防止剤、強化繊維等の含有量として
は、その粒子形状、密度、その他等によって異なるが、
約０．１〜１０重量％位が好ましい。
【００１８】また、本発明において、各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トの表面は、後述する無機酸化物の蒸着
膜との密接着性等を向上させるために、必要に応じて、
予め、所望の表面処理層を設けることができるものであ
る。本発明において、上記の表面処理層としては、例え
ば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒
素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処理、
化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処
理を任意に施し、例えば、コロナ処理層、オゾン処理
層、プラズマ処理層、酸化処理層、その他等を形成して
設けることができる。上記の表面前処理は、各種の樹脂
のフィルムないしシ−トと後述する無機酸化物の蒸着膜
との密接着性等を改善するための方法として実施するも
のであるが、上記の密接着性を改善する方法として、そ
の他、例えば、各種の樹脂のフィルムないしシ−トの表
面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤
層、アンカ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、蒸着ア
ンカ−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処理層とす
ることもできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、
例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリ
ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、
（メタ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ
エチレンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系
樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス
系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物
を使用することができる。
ルムないしシ−トの表面は、後述する無機酸化物の蒸着
膜との密接着性等を向上させるために、必要に応じて、
予め、所望の表面処理層を設けることができるものであ
る。本発明において、上記の表面処理層としては、例え
ば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒
素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処理、
化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処
理を任意に施し、例えば、コロナ処理層、オゾン処理
層、プラズマ処理層、酸化処理層、その他等を形成して
設けることができる。上記の表面前処理は、各種の樹脂
のフィルムないしシ−トと後述する無機酸化物の蒸着膜
との密接着性等を改善するための方法として実施するも
のであるが、上記の密接着性を改善する方法として、そ
の他、例えば、各種の樹脂のフィルムないしシ−トの表
面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤
層、アンカ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、蒸着ア
ンカ−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処理層とす
ることもできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、
例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリ
ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、
（メタ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ
エチレンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系
樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス
系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物
を使用することができる。
【００１９】なお、上記の樹脂組成物中には、耐候性等
を向上させるために、例えば、紫外線吸収剤および／ま
たは酸化防止剤等を添加することができる。上記の紫外
線吸収剤としては、前述の紫外線吸収剤の１種ないしそ
れ以上を同様に使用することができる。また、上記の酸
化防止剤としては、前述の酸化防止剤を同様に使用する
ことができる。上記の紫外線吸収剤および／または酸化
防止剤の含有量としては、前述と同様に、その粒子形
状、密度等によって異なるが、約０．１〜１０重量％位
が好ましい。また、上記において、コ−ト剤層の形成法
としては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマル
ジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラ
ビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト
法を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期とし
ては、樹脂のフィルムないしシ−トの製膜後、あるい
は、２軸延伸処理後の後工程として、あるいは、製膜、
あるいは、２軸延伸処理のインライン処理等で実施する
ことができる。
を向上させるために、例えば、紫外線吸収剤および／ま
たは酸化防止剤等を添加することができる。上記の紫外
線吸収剤としては、前述の紫外線吸収剤の１種ないしそ
れ以上を同様に使用することができる。また、上記の酸
化防止剤としては、前述の酸化防止剤を同様に使用する
ことができる。上記の紫外線吸収剤および／または酸化
防止剤の含有量としては、前述と同様に、その粒子形
状、密度等によって異なるが、約０．１〜１０重量％位
が好ましい。また、上記において、コ−ト剤層の形成法
としては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマル
ジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラ
ビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト
法を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期とし
ては、樹脂のフィルムないしシ−トの製膜後、あるい
は、２軸延伸処理後の後工程として、あるいは、製膜、
あるいは、２軸延伸処理のインライン処理等で実施する
ことができる。
【００２０】また、本発明において、上記のような耐候
性基材層においては、例えば、それが、太陽電池の最表
面を構成する場合には、太陽光の光拡散効果あるいは反
射防止効果等を奏するために、その表面にエンボス加工
面を設けることができるものである。上記のエンボス加
工面としては、サブμｍから数百μｍの凹凸形状面でよ
く、その形状としては、ピラミッド型、Ｖ字型、格子模
様型、その他等のいずれのものでもよいものである。
性基材層においては、例えば、それが、太陽電池の最表
面を構成する場合には、太陽光の光拡散効果あるいは反
射防止効果等を奏するために、その表面にエンボス加工
面を設けることができるものである。上記のエンボス加
工面としては、サブμｍから数百μｍの凹凸形状面でよ
く、その形状としては、ピラミッド型、Ｖ字型、格子模
様型、その他等のいずれのものでもよいものである。
【００２１】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着膜について説明すると、か
かる無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、物理気相成
長法、または、化学気相成長法、あるいは、その両者を
併用して、無機酸化物の蒸着膜の１層からなる単層膜あ
るいは２層以上からなる多層膜または複合膜を形成して
製造することができるものである。
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着膜について説明すると、か
かる無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、物理気相成
長法、または、化学気相成長法、あるいは、その両者を
併用して、無機酸化物の蒸着膜の１層からなる単層膜あ
るいは２層以上からなる多層膜または複合膜を形成して
製造することができるものである。
【００２２】上記の物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着膜について更に詳しく説明すると、かかる物理気相
成長法による無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、真
空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング
法、イオンクラスタ−ビ−ム法等の物理気相成長法（Ｐ
ｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ
法、ＰＶＤ法）を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成する
ことができる。本発明において、具体的には、金属の酸
化物を原料とし、これを加熱して蒸気化し、これを耐候
性基材層の一方の上に蒸着する真空蒸着法、または、原
料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導入
して酸化させて耐候性基材層の一方の上に蒸着する酸化
反応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズ
マ助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成する
ことができる。上記において、蒸着材料の加熱方式とし
ては、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エ
レクトロンビ−ム加熱方式（ＥＢ）等にて行うことがで
きる。
蒸着膜について更に詳しく説明すると、かかる物理気相
成長法による無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、真
空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング
法、イオンクラスタ−ビ−ム法等の物理気相成長法（Ｐ
ｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ
法、ＰＶＤ法）を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成する
ことができる。本発明において、具体的には、金属の酸
化物を原料とし、これを加熱して蒸気化し、これを耐候
性基材層の一方の上に蒸着する真空蒸着法、または、原
料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導入
して酸化させて耐候性基材層の一方の上に蒸着する酸化
反応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズ
マ助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成する
ことができる。上記において、蒸着材料の加熱方式とし
ては、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エ
レクトロンビ−ム加熱方式（ＥＢ）等にて行うことがで
きる。
【００２３】本発明において、物理気相成長法による無
機酸化物の薄膜膜を形成する方法について、その具体例
を挙げると、図８は、巻き取り式真空蒸着装置の一例を
示す概略的構成図である。図８に示すように、巻き取り
式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２２の中で、巻き
出しロ−ル２３から繰り出す耐候性基材層１は、ガイド
ロ−ル２４、２５を介して、冷却したコ−ティングドラ
ム２６に案内される。而して、上記の冷却したコ−ティ
ングドラム２６上に案内された耐候性基材層１の上に、
るつぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例えば、金属アル
ミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発させ、
更に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガス等
を噴出し、これを供給しながら、マスク３０、３０を介
して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着
膜を成膜化し、次いで、上記において、例えば、酸化ア
ルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成した耐候性基
材層１を、ガイドロ−ル２５′、２４′を介して送り出
し、巻き取りロ−ル３１に巻き取ることによって、本発
明にかかる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を
形成することができる。なお、本発明においては、上記
のような巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず、第１
層の無機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にし
て、該無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の
蒸着膜を形成するか、あるいは、上記のような巻き取り
式真空蒸着装置を用いて、これを２連に連接し、連続的
に、無機酸化物の蒸着膜を形成することにより、２層以
上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成すること
ができる。
機酸化物の薄膜膜を形成する方法について、その具体例
を挙げると、図８は、巻き取り式真空蒸着装置の一例を
示す概略的構成図である。図８に示すように、巻き取り
式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２２の中で、巻き
出しロ−ル２３から繰り出す耐候性基材層１は、ガイド
ロ−ル２４、２５を介して、冷却したコ−ティングドラ
ム２６に案内される。而して、上記の冷却したコ−ティ
ングドラム２６上に案内された耐候性基材層１の上に、
るつぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例えば、金属アル
ミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発させ、
更に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガス等
を噴出し、これを供給しながら、マスク３０、３０を介
して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着
膜を成膜化し、次いで、上記において、例えば、酸化ア
ルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成した耐候性基
材層１を、ガイドロ−ル２５′、２４′を介して送り出
し、巻き取りロ−ル３１に巻き取ることによって、本発
明にかかる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を
形成することができる。なお、本発明においては、上記
のような巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず、第１
層の無機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にし
て、該無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の
蒸着膜を形成するか、あるいは、上記のような巻き取り
式真空蒸着装置を用いて、これを２連に連接し、連続的
に、無機酸化物の蒸着膜を形成することにより、２層以
上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成すること
ができる。
【００２４】上記において、無機酸化物の蒸着膜として
は、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使用
可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着膜を使用することができる。而して、好まし
いものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着膜を挙げることができる。
而して、上記の金属の酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化
物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のよう
に金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例え
ば、ＳｉＯX 、ＡｌＯX 、ＭｇＯX 等のようにＭＯ
X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の
酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜２０
００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内
で任意に選択して形成することが望ましい。また、本発
明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、使用する
金属、または金属の酸化物としては、１種または２種以
上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物
の蒸着膜を構成することもできる。
は、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使用
可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着膜を使用することができる。而して、好まし
いものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着膜を挙げることができる。
而して、上記の金属の酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化
物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のよう
に金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例え
ば、ＳｉＯX 、ＡｌＯX 、ＭｇＯX 等のようにＭＯ
X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の
酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜２０
００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内
で任意に選択して形成することが望ましい。また、本発
明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、使用する
金属、または金属の酸化物としては、１種または２種以
上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物
の蒸着膜を構成することもできる。
【００２５】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜について更に説明す
ると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気
相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、
ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成するこ
とができる。本発明においては、具体的には、耐候性基
材層の一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アルゴンガ
ス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更に、酸素
供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プラズマ発
生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法を用い
て酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成することがで
きる。上記において、低温プラズマ発生装置としては、
例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ
波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而し
て、本発明においては、高活性の安定したプラズマを得
るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用
することが望ましい。
相成長法による無機酸化物の蒸着膜について更に説明す
ると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気
相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、
ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成するこ
とができる。本発明においては、具体的には、耐候性基
材層の一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アルゴンガ
ス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更に、酸素
供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プラズマ発
生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法を用い
て酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成することがで
きる。上記において、低温プラズマ発生装置としては、
例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ
波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而し
て、本発明においては、高活性の安定したプラズマを得
るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用
することが望ましい。
【００２６】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその一
例を例示して説明すると、図９は、上記のプラズマ化学
気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法について
その概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的
構成図である。上記の図９に示すように、本発明におい
ては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チャンバ−
４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から耐候性基材
層１を繰り出し、更に、該耐候性基材層１を、補助ロ−
ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５周面
上に搬送する。而して、本発明においては、ガス供給装
置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等から酸素
ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガ
ス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通して真
空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導入
し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬送
された耐候性基材層１の上に、グロ−放電プラズマ５０
によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化珪
素等の無機酸化物の蒸着膜を形成し、製膜化する。本発
明においては、その際に、冷却・電極ドラム４５は、チ
ャンバ−外に配置されている電源５１から所定の電力が
印加されており、また、冷却・電極ドラム４５の近傍に
は、マグネット５２を配置してプラズマの発生が促進さ
れており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化物の蒸
着膜を形成した耐候性基材層１は、補助ロ−ル５３を介
して巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発明にかかる
プラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を製
造することができるものである。なお、図中、５５は、
真空ポンプを表す。上記の例示は、その一例を例示する
ものであり、これによって本発明は限定されるものでは
ないことは言うまでもないことである。図示しないが、
本発明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、無機
酸化物の蒸着膜の１層だけではなく、２層あるいはそれ
以上を積層した多層膜の状態でもよく、また、使用する
材料も１種または２種以上の混合物で使用し、また、異
種の材質で混合した無機酸化物の蒸着膜を構成すること
もできる。また、本発明においては、上記のような低温
プラズマ化学気相成長装置を用いて、まず、第１層の無
機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、該無
機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着膜を
形成するか、あるいは、上記のような低温プラズマ化学
気相成長装置を用いて、これを２連に連接し、連続的
に、無機酸化物の蒸着膜を形成することにより、２層以
上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成すること
ができる。
長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその一
例を例示して説明すると、図９は、上記のプラズマ化学
気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法について
その概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的
構成図である。上記の図９に示すように、本発明におい
ては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チャンバ−
４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から耐候性基材
層１を繰り出し、更に、該耐候性基材層１を、補助ロ−
ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５周面
上に搬送する。而して、本発明においては、ガス供給装
置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等から酸素
ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガ
ス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通して真
空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導入
し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬送
された耐候性基材層１の上に、グロ−放電プラズマ５０
によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化珪
素等の無機酸化物の蒸着膜を形成し、製膜化する。本発
明においては、その際に、冷却・電極ドラム４５は、チ
ャンバ−外に配置されている電源５１から所定の電力が
印加されており、また、冷却・電極ドラム４５の近傍に
は、マグネット５２を配置してプラズマの発生が促進さ
れており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化物の蒸
着膜を形成した耐候性基材層１は、補助ロ−ル５３を介
して巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発明にかかる
プラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を製
造することができるものである。なお、図中、５５は、
真空ポンプを表す。上記の例示は、その一例を例示する
ものであり、これによって本発明は限定されるものでは
ないことは言うまでもないことである。図示しないが、
本発明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、無機
酸化物の蒸着膜の１層だけではなく、２層あるいはそれ
以上を積層した多層膜の状態でもよく、また、使用する
材料も１種または２種以上の混合物で使用し、また、異
種の材質で混合した無機酸化物の蒸着膜を構成すること
もできる。また、本発明においては、上記のような低温
プラズマ化学気相成長装置を用いて、まず、第１層の無
機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、該無
機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着膜を
形成するか、あるいは、上記のような低温プラズマ化学
気相成長装置を用いて、これを２連に連接し、連続的
に、無機酸化物の蒸着膜を形成することにより、２層以
上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成すること
ができる。
【００２７】上記において、酸化珪素等の無機酸化物の
蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
スとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチルジ
シロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメ
チルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジ
シラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシ
ラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシ
ラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、
フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラ
ン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他等を
使用することができる。本発明において、上記のような
有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラメチ
ルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを
原料として使用することが、その取り扱い性、形成され
た蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料である。ま
た、上記において、不活性ガスとしては、例えば、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等を使用することができる。
蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
スとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチルジ
シロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメ
チルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジ
シラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシ
ラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシ
ラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、
フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラ
ン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他等を
使用することができる。本発明において、上記のような
有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラメチ
ルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを
原料として使用することが、その取り扱い性、形成され
た蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料である。ま
た、上記において、不活性ガスとしては、例えば、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等を使用することができる。
【００２８】本発明において、上記で形成される酸化珪
素の蒸着膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸素
ガス等とが化学反応し、その反応生成物が耐候性基材層
の一方の面に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を
形成することができ、通常、一般式ＳｉＯX （ただし、
Ｘは、０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体と
する連続状の蒸着膜である。而して、上記の酸化珪素の
蒸着膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般式
ＳｉＯX （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表
す。）で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜で
あることが好ましいものである。上記において、Ｘの値
は、モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネ
ルギ−等により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さく
なればガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯
び、透明性が悪くなる。また、上記の酸化珪素の蒸着膜
は、珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）を必須構成元素として有
し、更に、炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）のいずれが一方、ま
たは、その両者の元素を微量構成元素として含有する酸
化珪素の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、５０Å〜
５００Åの範囲であり、更に、上記の必須構成元素と微
量構成元素の構成比率が、膜厚方向において連続的に変
化しているものである。更に、上記の酸化珪素の蒸着膜
は、炭素からなる化合物を含有する場合には、その膜厚
の深さ方向において炭素の含有量が減少していることを
特徴とするものである。而して、本発明において、上記
の酸化珪素の蒸着膜について、例えば、Ｘ線光電子分光
装置（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅ
ｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装
置（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃ
ｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用
い、深さ方向にイオンエッチングする等して分析する方
法を利用して、酸化珪素の蒸着膜の元素分析を行うこと
より、上記のような物性を確認することができる。ま
た、本発明において、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚と
しては、膜厚５０Å〜４０００Å位であることが望まし
く、具体的には、その膜厚としては、１００〜１０００
Å位が望ましく、而して、上記において、１０００Å、
更には、４０００Åより厚くなると、その膜にクラック
等が発生し易くなるので好ましくなく、また、１００
Å、更には、５０Å未満であると、バリア性の効果を奏
することが困難になることから好ましくないものであ
る。上記のおいて、その膜厚は、例えば、株式会社理学
製の蛍光Ｘ線分析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を
用いて、ファンダメンタルパラメ−タ−法で測定するこ
とができる。また、上記において、上記の酸化珪素の蒸
着膜の膜厚を変更する手段としては、蒸着膜の体積速度
を大きくすること、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス
量を多くする方法や蒸着する速度を遅くする方法等によ
って行うことができる。
素の蒸着膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸素
ガス等とが化学反応し、その反応生成物が耐候性基材層
の一方の面に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を
形成することができ、通常、一般式ＳｉＯX （ただし、
Ｘは、０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体と
する連続状の蒸着膜である。而して、上記の酸化珪素の
蒸着膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般式
ＳｉＯX （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表
す。）で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜で
あることが好ましいものである。上記において、Ｘの値
は、モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネ
ルギ−等により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さく
なればガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯
び、透明性が悪くなる。また、上記の酸化珪素の蒸着膜
は、珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）を必須構成元素として有
し、更に、炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）のいずれが一方、ま
たは、その両者の元素を微量構成元素として含有する酸
化珪素の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、５０Å〜
５００Åの範囲であり、更に、上記の必須構成元素と微
量構成元素の構成比率が、膜厚方向において連続的に変
化しているものである。更に、上記の酸化珪素の蒸着膜
は、炭素からなる化合物を含有する場合には、その膜厚
の深さ方向において炭素の含有量が減少していることを
特徴とするものである。而して、本発明において、上記
の酸化珪素の蒸着膜について、例えば、Ｘ線光電子分光
装置（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅ
ｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装
置（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃ
ｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用
い、深さ方向にイオンエッチングする等して分析する方
法を利用して、酸化珪素の蒸着膜の元素分析を行うこと
より、上記のような物性を確認することができる。ま
た、本発明において、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚と
しては、膜厚５０Å〜４０００Å位であることが望まし
く、具体的には、その膜厚としては、１００〜１０００
Å位が望ましく、而して、上記において、１０００Å、
更には、４０００Åより厚くなると、その膜にクラック
等が発生し易くなるので好ましくなく、また、１００
Å、更には、５０Å未満であると、バリア性の効果を奏
することが困難になることから好ましくないものであ
る。上記のおいて、その膜厚は、例えば、株式会社理学
製の蛍光Ｘ線分析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を
用いて、ファンダメンタルパラメ−タ−法で測定するこ
とができる。また、上記において、上記の酸化珪素の蒸
着膜の膜厚を変更する手段としては、蒸着膜の体積速度
を大きくすること、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス
量を多くする方法や蒸着する速度を遅くする方法等によ
って行うことができる。
【００２９】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜として、例えば、物
理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して異種の
無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜を形成し
て使用することもできるものである。而して、上記の異
種の無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜とし
ては、まず、耐候性基材層の上に、化学気相成長法によ
り、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を
防止し得る無機酸化物の蒸着膜を設け、次いで、該無機
酸化物の蒸着膜の上に、物理気相成長法による無機酸化
物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる複合膜からなる
無機酸化物の蒸着膜を構成することが望ましいものであ
る。勿論、本発明においては、上記とは逆くに、耐候性
基材層の上に、先に、物理気相成長法により、無機酸化
物の蒸着膜を設け、次に、化学気相成長法により、緻密
で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を防止し得
る無機酸化物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる複合
膜からなる無機酸化物の蒸着膜を構成することもできる
ものである。
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜として、例えば、物
理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して異種の
無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜を形成し
て使用することもできるものである。而して、上記の異
種の無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜とし
ては、まず、耐候性基材層の上に、化学気相成長法によ
り、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を
防止し得る無機酸化物の蒸着膜を設け、次いで、該無機
酸化物の蒸着膜の上に、物理気相成長法による無機酸化
物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる複合膜からなる
無機酸化物の蒸着膜を構成することが望ましいものであ
る。勿論、本発明においては、上記とは逆くに、耐候性
基材層の上に、先に、物理気相成長法により、無機酸化
物の蒸着膜を設け、次に、化学気相成長法により、緻密
で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を防止し得
る無機酸化物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる複合
膜からなる無機酸化物の蒸着膜を構成することもできる
ものである。
【００３０】なお、本発明においては、上記の耐候性基
材層の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を製膜化する際
の蒸着条件等に対し該耐候性基材層を保護し、例えば、
その黄変、劣化ないし収縮、あるいは、基材の表層ない
し内層等における凝集破壊等を抑制し、更に、耐候性基
材層の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜が良好に製膜化
され、かつ、該耐候性基材層と無機酸化物の蒸着膜との
密接着性等を向上させるために、予め、耐候性基材層の
一方の面に、表面前処理層として、例えば、前述のプラ
ズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成
長法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏ
ｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）、あるいは、
例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−
ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖ
ａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用い
て、無機酸化物の蒸着薄膜を形成することにより、耐蒸
着保護膜を設けることができる。なお、本発明におい
て、上記の酸化珪素等からなる耐蒸着保護膜の膜厚とし
ては、薄膜であり、更に、水蒸気ガス、酸素ガス等に対
するバリア性を有しない非バリア性膜で十分であり、具
体的には、膜厚１５０Å未満であることが望ましく、具
体的には、その膜厚としては、１０〜１００Å位、好ま
しくは、２０〜８０Å位、更に、より好ましくは、３０
〜６０Å位が望ましい。而して、上記において、１５０
Å以上、具体的には、１００Å、更に、８０Å、更に
は、６０Åより厚くなると、蒸着条件等が過酷になり、
積層体が黄変ないし劣化し、更には、凝集破壊等を起こ
し、良好な耐蒸着保護膜を形成することが困難になり、
また、その膜にクラック等が発生し易くなるので好まし
くなく、また、１０Å、更に、３０Å、更には、６０Å
未満であると、耐蒸着保護層としての機能を喪失し、そ
の効果を奏することが困難になることから好ましくない
ものである。
材層の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を製膜化する際
の蒸着条件等に対し該耐候性基材層を保護し、例えば、
その黄変、劣化ないし収縮、あるいは、基材の表層ない
し内層等における凝集破壊等を抑制し、更に、耐候性基
材層の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜が良好に製膜化
され、かつ、該耐候性基材層と無機酸化物の蒸着膜との
密接着性等を向上させるために、予め、耐候性基材層の
一方の面に、表面前処理層として、例えば、前述のプラ
ズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成
長法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏ
ｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）、あるいは、
例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−
ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖ
ａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用い
て、無機酸化物の蒸着薄膜を形成することにより、耐蒸
着保護膜を設けることができる。なお、本発明におい
て、上記の酸化珪素等からなる耐蒸着保護膜の膜厚とし
ては、薄膜であり、更に、水蒸気ガス、酸素ガス等に対
するバリア性を有しない非バリア性膜で十分であり、具
体的には、膜厚１５０Å未満であることが望ましく、具
体的には、その膜厚としては、１０〜１００Å位、好ま
しくは、２０〜８０Å位、更に、より好ましくは、３０
〜６０Å位が望ましい。而して、上記において、１５０
Å以上、具体的には、１００Å、更に、８０Å、更に
は、６０Åより厚くなると、蒸着条件等が過酷になり、
積層体が黄変ないし劣化し、更には、凝集破壊等を起こ
し、良好な耐蒸着保護膜を形成することが困難になり、
また、その膜にクラック等が発生し易くなるので好まし
くなく、また、１０Å、更に、３０Å、更には、６０Å
未満であると、耐蒸着保護層としての機能を喪失し、そ
の効果を奏することが困難になることから好ましくない
ものである。
【００３１】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の
２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を介して、重層し
た積層体について説明すると、まず、かかる積層体を製
造には、上記で説明したように、耐候性基材層の一方の
面に、無機酸化物の蒸着膜を設けた後、該無機酸化物の
蒸着膜を設けた耐候性基材層の２以上を使用し、その一
方のいずれかの面と他方のいずれかの面とを対向させて
重ね合わせ、具体的には、その一方の無機酸化物の蒸着
膜を設けた耐候性基材層の無機酸化物の蒸着膜の面と、
他方の無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の耐候
性基材層の面とを対向させて重ね合わせ、而して、その
両者の層間に、樹脂押出機等を用いて溶融押し出し接着
性樹脂を押し出し、これによって形成される溶融押し出
し接着性樹脂層等を介して積層して積層体を製造する溶
融押し出し積層法を利用して、本発明にかかる積層体を
製造することができるものである。
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の
２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を介して、重層し
た積層体について説明すると、まず、かかる積層体を製
造には、上記で説明したように、耐候性基材層の一方の
面に、無機酸化物の蒸着膜を設けた後、該無機酸化物の
蒸着膜を設けた耐候性基材層の２以上を使用し、その一
方のいずれかの面と他方のいずれかの面とを対向させて
重ね合わせ、具体的には、その一方の無機酸化物の蒸着
膜を設けた耐候性基材層の無機酸化物の蒸着膜の面と、
他方の無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の耐候
性基材層の面とを対向させて重ね合わせ、而して、その
両者の層間に、樹脂押出機等を用いて溶融押し出し接着
性樹脂を押し出し、これによって形成される溶融押し出
し接着性樹脂層等を介して積層して積層体を製造する溶
融押し出し積層法を利用して、本発明にかかる積層体を
製造することができるものである。
【００３２】上記の溶融押し出し積層法において、溶融
押し出し接着性樹脂層を構成する溶融押し出し接着性樹
脂としては、溶融押し出し成形が可能であり、かつ、熱
によって溶融し相互に融着し得るものであればよく、例
えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密
度ポリエチレン、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン、
ポリプロピレ、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオ
ノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エ
チレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸
共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、メチルペン
テンポリマ−、ポリエチレン若しくはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、
マレイン酸、無水マレイン酸、フマ−ル酸、イタコン
酸、その他等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリ
オレフィン系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエステ
ル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、環状ポリオレフィン系
樹脂、メタロセン触媒を用いて重合したエチレン−α・
オレフィン共重合体、その他等の樹脂の１種ないしそれ
以上からなる樹脂を使用することができる。なお、本発
明において、上記の溶融押し出し接着性樹脂層として
は、上記に例示の樹脂の１種ないし２種以上を使用し、
その単独ないし共押し出し等による溶融押し出し接着性
樹脂層を構成することができる。
押し出し接着性樹脂層を構成する溶融押し出し接着性樹
脂としては、溶融押し出し成形が可能であり、かつ、熱
によって溶融し相互に融着し得るものであればよく、例
えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密
度ポリエチレン、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン、
ポリプロピレ、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオ
ノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エ
チレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸
共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、メチルペン
テンポリマ−、ポリエチレン若しくはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、
マレイン酸、無水マレイン酸、フマ−ル酸、イタコン
酸、その他等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリ
オレフィン系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエステ
ル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、環状ポリオレフィン系
樹脂、メタロセン触媒を用いて重合したエチレン−α・
オレフィン共重合体、その他等の樹脂の１種ないしそれ
以上からなる樹脂を使用することができる。なお、本発
明において、上記の溶融押し出し接着性樹脂層として
は、上記に例示の樹脂の１種ないし２種以上を使用し、
その単独ないし共押し出し等による溶融押し出し接着性
樹脂層を構成することができる。
【００３３】而して、本発明において、上記の溶融押し
出し接着性樹脂層を介して重層する場合には、より強固
な接着強度を得るために、例えば、アンカ−コ−ト剤等
の接着助剤等を使用し、そのアンカ−コ−ト剤層を介し
て、重層することができる。上記のアンカ−コ−ト剤と
しては、例えば、アルキルチタネ−ト等の有機チタン
系、イソシアネ−ト系、ポリエチレンイミン系、ポリプ
タジエン系、その他等の水性ないし油性の各種のアンカ
−コ−ト剤を使用することができる。上記のアンカ−コ
−ト剤は、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアロ−ルコ−
ト、キスコ−ト、その他等のコ−ティング法を用いてコ
−ティングすることができ、そのコ−ティング量として
は、０．１〜５ｇ／ｍ2 （乾燥状態）位が望ましい。ま
た、本発明においては、上記の溶融押し出し接着性樹脂
層を構成する溶融押し出し接着性樹脂には、耐候性等を
向上させるために、前述の紫外線防止剤、酸化防止剤、
強化繊維、その他等の添加剤を同様に添加することがで
き、これによって、太陽電池モジュ−ル用保護シ−トの
耐候性、耐光性、強度、耐突き刺し性、その他等を向上
させ、その耐久性等を増すことができるものである。
出し接着性樹脂層を介して重層する場合には、より強固
な接着強度を得るために、例えば、アンカ−コ−ト剤等
の接着助剤等を使用し、そのアンカ−コ−ト剤層を介し
て、重層することができる。上記のアンカ−コ−ト剤と
しては、例えば、アルキルチタネ−ト等の有機チタン
系、イソシアネ−ト系、ポリエチレンイミン系、ポリプ
タジエン系、その他等の水性ないし油性の各種のアンカ
−コ−ト剤を使用することができる。上記のアンカ−コ
−ト剤は、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアロ−ルコ−
ト、キスコ−ト、その他等のコ−ティング法を用いてコ
−ティングすることができ、そのコ−ティング量として
は、０．１〜５ｇ／ｍ2 （乾燥状態）位が望ましい。ま
た、本発明においては、上記の溶融押し出し接着性樹脂
層を構成する溶融押し出し接着性樹脂には、耐候性等を
向上させるために、前述の紫外線防止剤、酸化防止剤、
強化繊維、その他等の添加剤を同様に添加することがで
き、これによって、太陽電池モジュ−ル用保護シ−トの
耐候性、耐光性、強度、耐突き刺し性、その他等を向上
させ、その耐久性等を増すことができるものである。
【００３４】上記の紫外線吸収剤としては、前述と同様
に、太陽光中の有害な紫外線を吸収して、分子内で無害
な熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開始の活
性種が励起されるのを防止するものであり、例えば、ベ
ンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト
系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミ
ン系、超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０
６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０
４μｍ）等の無機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそれ
以上を使用することができる。また、上記の酸化防止剤
としては、高分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止する
ものであり、例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄
系、燐酸系、その他等の酸化防止剤を使用することがで
きる。更に、上記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤と
しては、例えば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖
に、上記のベンゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは
上記のフェノ−ル系等の酸化防止剤を化学結合させてな
るポリマ−型の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使
用することができる。また、上記の強化繊維としては、
例えば、ガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリア
ミド繊維、ポリエステル繊維、ポリプロピレン繊維、ポ
リアクリロニトリル繊維、天然繊維、その他等を使用す
ることができ、それらは、長ないし短繊維状物、あるい
は、織布ないし不織布状物、その他等で使用することが
できる。上記の紫外線吸収剤、酸化防止剤、強化繊維等
の含有量としては、その粒子形状、密度、その他等によ
って異なるが、約０．１〜１０重量％位が好ましい。
に、太陽光中の有害な紫外線を吸収して、分子内で無害
な熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開始の活
性種が励起されるのを防止するものであり、例えば、ベ
ンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト
系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミ
ン系、超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０
６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０
４μｍ）等の無機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそれ
以上を使用することができる。また、上記の酸化防止剤
としては、高分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止する
ものであり、例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄
系、燐酸系、その他等の酸化防止剤を使用することがで
きる。更に、上記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤と
しては、例えば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖
に、上記のベンゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは
上記のフェノ−ル系等の酸化防止剤を化学結合させてな
るポリマ−型の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使
用することができる。また、上記の強化繊維としては、
例えば、ガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリア
ミド繊維、ポリエステル繊維、ポリプロピレン繊維、ポ
リアクリロニトリル繊維、天然繊維、その他等を使用す
ることができ、それらは、長ないし短繊維状物、あるい
は、織布ないし不織布状物、その他等で使用することが
できる。上記の紫外線吸収剤、酸化防止剤、強化繊維等
の含有量としては、その粒子形状、密度、その他等によ
って異なるが、約０．１〜１０重量％位が好ましい。
【００３５】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トについて説明すると、かかる表面保護シ−トとして
は、太陽光の透過性、絶縁性等を有し、更に、耐候性、
耐熱性、耐光性、耐水性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性を有し、物理的
あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、極めて耐久性
に富み、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保
護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優
れていることが必要である。上記の表面保護シ−トとし
ては、具体的には、例えば、公知のガラス板等は勿論の
こと、更に、例えば、フッ素系樹脂、ポリアミド系樹脂
（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレ
ン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン
系樹脂、ポリスチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹
脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セル
ロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフ
ィルムないしシ−トも使用することができる。また、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚と
しては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜
１５０μｍ位が望ましい。
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トについて説明すると、かかる表面保護シ−トとして
は、太陽光の透過性、絶縁性等を有し、更に、耐候性、
耐熱性、耐光性、耐水性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性を有し、物理的
あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、極めて耐久性
に富み、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保
護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優
れていることが必要である。上記の表面保護シ−トとし
ては、具体的には、例えば、公知のガラス板等は勿論の
こと、更に、例えば、フッ素系樹脂、ポリアミド系樹脂
（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレ
ン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン
系樹脂、ポリスチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹
脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セル
ロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフ
ィルムないしシ−トも使用することができる。また、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚と
しては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜
１５０μｍ位が望ましい。
【００３６】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収する
ことから透明性を有することが必要であり、また、表面
保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更
に、光起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性
を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、
更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とう
いことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れてい
ることが必要である。具体的には、上記の充填剤層とし
ては、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、ま
たは、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリ
プロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン
等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性し
た酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−
ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）
アクリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上
の混合物を使用することができる。なお、本発明におい
ては、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透
明性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。而して、本発明においては、太陽光の入射側の充
填剤としては、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考
慮すると、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル系樹脂
が望ましい素材である。なお、上記の充填剤層の厚さと
しては、２００〜１０００μｍ位、好ましくは、３５０
〜６００μｍ位が望ましい。
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収する
ことから透明性を有することが必要であり、また、表面
保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更
に、光起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性
を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、
更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とう
いことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れてい
ることが必要である。具体的には、上記の充填剤層とし
ては、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、ま
たは、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリ
プロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン
等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性し
た酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−
ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）
アクリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上
の混合物を使用することができる。なお、本発明におい
ては、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透
明性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。而して、本発明においては、太陽光の入射側の充
填剤としては、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考
慮すると、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル系樹脂
が望ましい素材である。なお、上記の充填剤層の厚さと
しては、２００〜１０００μｍ位、好ましくは、３５０
〜６００μｍ位が望ましい。
【００３７】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、単結晶シリコン型太陽電池素子、多結
晶シリコン型太陽電池素子等の結晶シリコン太陽電子素
子、シングル接合型あるいはタンデム構造型等からなる
アモルファスシリコン太陽電池素子、ガリウムヒ素（Ｇ
ａＡｓ）やインジウム燐（ＩｎＰ）等のIII −V 族化合
物半導体太陽電子素子、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）
や銅インジウムセレナイド（ＣｕＩｎＳｅ2 ）等のII−
VI族化合物半導体太陽電子素子、その他等を使用するこ
とができる。更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素
子、薄膜微結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子等も使用することができる。而し
て、本発明において、太陽電池素子は、例えば、ガラス
基板、プラスチック基板、金属基板、その他等の基板の
上に、ｐｎ接合構造等の結晶シリコン、ｐ−ｉ−ｎ接合
構造等のアモルファスシリコン、化合物半導体等の起電
力部分が形成されて太陽電池素子を構成するものであ
る。
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、単結晶シリコン型太陽電池素子、多結
晶シリコン型太陽電池素子等の結晶シリコン太陽電子素
子、シングル接合型あるいはタンデム構造型等からなる
アモルファスシリコン太陽電池素子、ガリウムヒ素（Ｇ
ａＡｓ）やインジウム燐（ＩｎＰ）等のIII −V 族化合
物半導体太陽電子素子、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）
や銅インジウムセレナイド（ＣｕＩｎＳｅ2 ）等のII−
VI族化合物半導体太陽電子素子、その他等を使用するこ
とができる。更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素
子、薄膜微結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子等も使用することができる。而し
て、本発明において、太陽電池素子は、例えば、ガラス
基板、プラスチック基板、金属基板、その他等の基板の
上に、ｐｎ接合構造等の結晶シリコン、ｐ−ｉ−ｎ接合
構造等のアモルファスシリコン、化合物半導体等の起電
力部分が形成されて太陽電池素子を構成するものであ
る。
【００３８】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜
１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ
位が望ましい。
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜
１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ
位が望ましい。
【００３９】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
ト層について説明すると、かかる裏面保護シ−トとして
は、絶縁性の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができ、更に、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性を
有し、物理的あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、
更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保護という
ことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れている
ことが必要である。上記の裏面保護シ−トとしては、具
体的には、例えば、ポリアミド系樹脂（各種のナイロ
ン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリ
プロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリス
チレン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系
樹脂、セルロ−ス系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、フ
ッ素系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ
−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルムな
いしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフィ
ルムないしシ−トも使用することができる。また、上記
の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚とし
ては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜１
５０μｍ位が望ましい。
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
ト層について説明すると、かかる裏面保護シ−トとして
は、絶縁性の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができ、更に、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性を
有し、物理的あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、
更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保護という
ことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れている
ことが必要である。上記の裏面保護シ−トとしては、具
体的には、例えば、ポリアミド系樹脂（各種のナイロ
ン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリ
プロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリス
チレン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系
樹脂、セルロ−ス系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、フ
ッ素系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ
−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルムな
いしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフィ
ルムないしシ−トも使用することができる。また、上記
の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚とし
ては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜１
５０μｍ位が望ましい。
【００４０】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。
【００４１】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、上記に挙げた本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまた
は太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、
例えば、上記の本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トを、そのいずれか一方の面を内側にし、順
次に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、
充填剤層、および、通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−ト層等を積層し、更に、必要ならば、各層間に、
その他の素材を任意に積層し、次いで、これらを、真空
吸引等により一体化して加熱圧着するラミネ−ション法
等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体と
して加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを製造する
ことができる。上記において、必要ならば、各層間の接
着性等を高めるために、（メタ）アクリル系樹脂、オレ
フィン系樹脂、ビニル系樹脂、その他等の樹脂をビヒク
ルの主成分とする加熱溶融型接着剤、溶剤型接着剤、光
硬化型接着剤、その他等を使用することができる。
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、上記に挙げた本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまた
は太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、
例えば、上記の本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トを、そのいずれか一方の面を内側にし、順
次に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、
充填剤層、および、通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−ト層等を積層し、更に、必要ならば、各層間に、
その他の素材を任意に積層し、次いで、これらを、真空
吸引等により一体化して加熱圧着するラミネ−ション法
等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体と
して加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを製造する
ことができる。上記において、必要ならば、各層間の接
着性等を高めるために、（メタ）アクリル系樹脂、オレ
フィン系樹脂、ビニル系樹脂、その他等の樹脂をビヒク
ルの主成分とする加熱溶融型接着剤、溶剤型接着剤、光
硬化型接着剤、その他等を使用することができる。
【００４２】また、上記の積層において、各積層対向面
には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、例
えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは
窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処
理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の
前処理を任意に施すことができる。更に、上記の積層に
おいては、各積層対向面に、予め、プライマ−コ−ト剤
層、アンダ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面前処理を行うこ
ともできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。また、上記において、コ−ト剤層
の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるい
は、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−
ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他
等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。
には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、例
えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは
窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処
理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の
前処理を任意に施すことができる。更に、上記の積層に
おいては、各積層対向面に、予め、プライマ−コ−ト剤
層、アンダ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面前処理を行うこ
ともできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。また、上記において、コ−ト剤層
の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるい
は、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−
ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他
等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。
【００４３】更にまた、本発明においては、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トまたは太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表
面または裏面保護シ−トのいずれか一方の面に、上記の
充填剤層を積層して、予め、太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トまたは太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト
と充填剤層とが積層した積層体を製造し、しかる後、そ
の充填剤層間に、光起電力素子としての太陽電池素子を
積層して、更に、必要ならば、その他の素材を任意に積
層し、次いで、それらを真空吸引等により一体化して加
熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用
し、上記の各層を一体成形体として加熱圧着成形して、
太陽電池モジュ−ルを製造することができる。
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トまたは太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トとして使用し、その太陽電池モジュ−ル用表
面または裏面保護シ−トのいずれか一方の面に、上記の
充填剤層を積層して、予め、太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トまたは太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト
と充填剤層とが積層した積層体を製造し、しかる後、そ
の充填剤層間に、光起電力素子としての太陽電池素子を
積層して、更に、必要ならば、その他の素材を任意に積
層し、次いで、それらを真空吸引等により一体化して加
熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用
し、上記の各層を一体成形体として加熱圧着成形して、
太陽電池モジュ−ルを製造することができる。
【００４４】
【実施例】以下に本発明について実施例を挙げて更に具
体的に本発明を説明する。 実施例１ （１）．ベンゾフェノン系紫外線吸収剤を練り込み加工
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶ
Ｆ）を使用し、これをプラズマ化学蒸着装置の送り出し
ロ−ルに装着し、下記の条件で膜厚５０Åの酸化珪素の
蒸着薄膜を上記のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの一方の
面に形成して、耐蒸着保護膜を設けた。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝５：５：５（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：７．０×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：３．８×１０-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：１５ｋＷ シ−トの搬送速度：１００ｍ／分 （２）．次に、上記で耐蒸着保護膜を設けたポリフッ化
ビニル樹脂シ−トを使用し、上記と同様に、これをプラ
ズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記
の条件で厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の耐蒸
着保護膜面上に形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た積層体について、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸
着膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎ
でコロナ放電処理を行って、蒸着膜面の表面張力を３５
ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させてたコロナ処理面
を形成した。 （３）．次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着膜を設け
たポリフッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、その一方の酸
化珪素の蒸着膜を設けたポリフッ化ビニル樹脂シ−トの
酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、ポリウレタン系樹
脂バインダ−液にエポキシ系のシランカップリング剤を
８重量％を添加してなるプライマ−組成物を使用し、こ
れをグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚０．５ｇ／ｍ
2 （乾燥状態）になるようにコ−ティングしてプライマ
−層を形成し、次に、該プライマ−層の上に、更に、ポ
リウレタン系アンカ−コ−ト剤を使用し、これをグラビ
アロ−ルコ−ト法により、膜厚０．５ｇ／ｍ2 （乾燥状
態）になるようにコ−ティングしてアンカ−コ−ト剤層
を形成した。次いで、上記のアンカ−コ−ト剤層面に、
他方の酸化珪素の蒸着膜を設けたポリフッ化ビニル樹脂
シ−トのポリフッ化ビニル樹脂シ−トの面を対向させて
重ね合わせ、次いで、その両者の層間に、紫外線吸収剤
として、超微粒子酸化チタン粉末１重量％を含有するメ
タロセン触媒を使用して重合したエチレン−α−オレフ
ィン共重合体を使用し、これを押出機を用いて厚さ５０
μｍに溶融押し出ししながら、上記の酸化珪素の蒸着膜
を設けたポリフッ化ビニル樹脂シ−トの両者を溶融押し
出しラミネ−トして積層体を製造し、これを本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トとした。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、ア
モルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置
した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面
を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
体的に本発明を説明する。 実施例１ （１）．ベンゾフェノン系紫外線吸収剤を練り込み加工
した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶ
Ｆ）を使用し、これをプラズマ化学蒸着装置の送り出し
ロ−ルに装着し、下記の条件で膜厚５０Åの酸化珪素の
蒸着薄膜を上記のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの一方の
面に形成して、耐蒸着保護膜を設けた。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝５：５：５（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：７．０×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：３．８×１０-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：１５ｋＷ シ−トの搬送速度：１００ｍ／分 （２）．次に、上記で耐蒸着保護膜を設けたポリフッ化
ビニル樹脂シ−トを使用し、上記と同様に、これをプラ
ズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記
の条件で厚さ８００Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の耐蒸
着保護膜面上に形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た積層体について、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸
着膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎ
でコロナ放電処理を行って、蒸着膜面の表面張力を３５
ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させてたコロナ処理面
を形成した。 （３）．次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着膜を設け
たポリフッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、その一方の酸
化珪素の蒸着膜を設けたポリフッ化ビニル樹脂シ−トの
酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、ポリウレタン系樹
脂バインダ−液にエポキシ系のシランカップリング剤を
８重量％を添加してなるプライマ−組成物を使用し、こ
れをグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚０．５ｇ／ｍ
2 （乾燥状態）になるようにコ−ティングしてプライマ
−層を形成し、次に、該プライマ−層の上に、更に、ポ
リウレタン系アンカ−コ−ト剤を使用し、これをグラビ
アロ−ルコ−ト法により、膜厚０．５ｇ／ｍ2 （乾燥状
態）になるようにコ−ティングしてアンカ−コ−ト剤層
を形成した。次いで、上記のアンカ−コ−ト剤層面に、
他方の酸化珪素の蒸着膜を設けたポリフッ化ビニル樹脂
シ−トのポリフッ化ビニル樹脂シ−トの面を対向させて
重ね合わせ、次いで、その両者の層間に、紫外線吸収剤
として、超微粒子酸化チタン粉末１重量％を含有するメ
タロセン触媒を使用して重合したエチレン−α−オレフ
ィン共重合体を使用し、これを押出機を用いて厚さ５０
μｍに溶融押し出ししながら、上記の酸化珪素の蒸着膜
を設けたポリフッ化ビニル樹脂シ−トの両者を溶融押し
出しラミネ−トして積層体を製造し、これを本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トとした。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、ア
モルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置
した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面
を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００４５】実施例２ （１）．上記の実施例１で製造した耐蒸着保護膜を設け
た厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶ
Ｆ）を使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出
しロ−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラム
の上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着
源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−
ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記
の耐蒸着保護膜面に、膜厚８００Åの酸化アルミニウム
の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−トについて、その
蒸着直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面に、グロ
−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５
００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１
９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧６Ｘ１０
-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴ
ン混合ガスプラズマ処理を行ってプラズマ処理面を形成
した。 （２）．次に、上記で形成した酸化アルミニウムの蒸着
膜を設けたポリフッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、その
一方の酸化アルミニウムの蒸着膜を設けたポリフッ化ビ
ニル樹脂シ−トの酸化アルミニウムの蒸着膜のコロナ処
理面に、ポリウレタン系樹脂バインダ−液にエポキシ系
のシランカップリング剤を８重量％を添加してなるプラ
イマ−組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法
により、膜厚０．５ｇ／ｍ2 （乾燥状態）になるように
コ−ティングしてプライマ−層を形成し、次に、該プラ
イマ−層の上に、更に、ポリウレタン系アンカ−コ−ト
剤を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法により、膜
厚０．５ｇ／ｍ2 （乾燥状態）になるようにコ−ティン
グしてアンカ−コ−ト剤層を形成した。次いで、上記の
アンカ−コ−ト剤層面に、他方の酸化アルミニウムの蒸
着膜を設けたポリフッ化ビニル樹脂シ−トのポリフッ化
ビニル樹脂シ−トの面を対向させて重ね合わせ、次い
で、その両者の層間に、紫外線吸収剤として、超微粒子
酸化チタン粉末１重量％を含有するメタロセン触媒を使
用して重合したエチレン−α−オレフィン共重合体を使
用し、これを押出機を用いて厚さ５０μｍに溶融押し出
ししながら、上記の酸化アルミニウムの蒸着膜を設けた
ポリフッ化ビニル樹脂シ−トの両者を溶融押し出しラミ
ネ−トして積層体を製造し、これを本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トとした。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池
モジュ−ルを製造することができた。
た厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶ
Ｆ）を使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出
しロ−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラム
の上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着
源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−
ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記
の耐蒸着保護膜面に、膜厚８００Åの酸化アルミニウム
の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−トについて、その
蒸着直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面に、グロ
−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５
００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１
９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧６Ｘ１０
-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴ
ン混合ガスプラズマ処理を行ってプラズマ処理面を形成
した。 （２）．次に、上記で形成した酸化アルミニウムの蒸着
膜を設けたポリフッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、その
一方の酸化アルミニウムの蒸着膜を設けたポリフッ化ビ
ニル樹脂シ−トの酸化アルミニウムの蒸着膜のコロナ処
理面に、ポリウレタン系樹脂バインダ−液にエポキシ系
のシランカップリング剤を８重量％を添加してなるプラ
イマ−組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法
により、膜厚０．５ｇ／ｍ2 （乾燥状態）になるように
コ−ティングしてプライマ−層を形成し、次に、該プラ
イマ−層の上に、更に、ポリウレタン系アンカ−コ−ト
剤を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法により、膜
厚０．５ｇ／ｍ2 （乾燥状態）になるようにコ−ティン
グしてアンカ−コ−ト剤層を形成した。次いで、上記の
アンカ−コ−ト剤層面に、他方の酸化アルミニウムの蒸
着膜を設けたポリフッ化ビニル樹脂シ−トのポリフッ化
ビニル樹脂シ−トの面を対向させて重ね合わせ、次い
で、その両者の層間に、紫外線吸収剤として、超微粒子
酸化チタン粉末１重量％を含有するメタロセン触媒を使
用して重合したエチレン−α−オレフィン共重合体を使
用し、これを押出機を用いて厚さ５０μｍに溶融押し出
ししながら、上記の酸化アルミニウムの蒸着膜を設けた
ポリフッ化ビニル樹脂シ−トの両者を溶融押し出しラミ
ネ−トして積層体を製造し、これを本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トとした。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池
モジュ−ルを製造することができた。
【００４６】実施例３ （１）．厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹
脂シ−ト（超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤と
ガラス繊維とを練り加工済）を使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の積層体を
構成するポリジシクロペンタジエン樹脂シ−ト面に形成
した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、出力、１０ｋ
Ｗ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行っ
て、蒸着膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎ
ｅに向上させコロナ処理面を形成した。 （２）．次に、上記でコロナ処理を行った酸化珪素の蒸
着膜を形成したポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを
使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−
ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラムの上に
繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用
い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（Ｅ
Ｂ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記で形成
した酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、膜厚５００Å
の酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出
力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａ
ｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧
６Ｘ１０-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素
／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行ってプラズマ処理
面を形成した。 （３）．次いで、酸化珪素の蒸着膜と酸化アルミニウム
の蒸着膜を設けたポリジシクロペンタジエン樹脂シ−ト
を使用し、上記の実施例２と同様にして、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
脂シ−ト（超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤と
ガラス繊維とを練り加工済）を使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の積層体を
構成するポリジシクロペンタジエン樹脂シ−ト面に形成
した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、出力、１０ｋ
Ｗ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行っ
て、蒸着膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎ
ｅに向上させコロナ処理面を形成した。 （２）．次に、上記でコロナ処理を行った酸化珪素の蒸
着膜を形成したポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを
使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−
ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラムの上に
繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用
い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（Ｅ
Ｂ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記で形成
した酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、膜厚５００Å
の酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出
力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａ
ｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧
６Ｘ１０-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素
／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行ってプラズマ処理
面を形成した。 （３）．次いで、酸化珪素の蒸着膜と酸化アルミニウム
の蒸着膜を設けたポリジシクロペンタジエン樹脂シ−ト
を使用し、上記の実施例２と同様にして、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
【００４７】実施例４ （１）．超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤を練
り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ
−ト（ＰＶＦ）を使用し、これを巻き取り式真空蒸着装
置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、コ−ティングド
ラムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを
蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロン
ビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、
上記のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの一方の面に、膜厚
５０Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成して、耐蒸
着保護膜を設けた。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：２０ＫＷ フィルム搬送速度：５００ｍ／分 （２）．次に、上記で耐蒸着保護膜を設けたポリフッ化
ビニル樹脂シ−トを使用し、以下、上記の実施例２と同
様にして、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による
反応真空蒸着法により、膜厚８００Åの酸化アルミニウ
ムの蒸着膜を上記の耐蒸着保護膜の上に形成し、更に、
酸化アルミニウムの蒸着膜面に、プラズマ処理を行って
プラズマ処理面を形成した。 （３）．次いで、酸化アルミニウムの蒸着膜を設けたポ
リフッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、上記の実施例２と
同様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池
モジュ−ルを製造することができた。
り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ
−ト（ＰＶＦ）を使用し、これを巻き取り式真空蒸着装
置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、コ−ティングド
ラムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを
蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロン
ビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、
上記のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの一方の面に、膜厚
５０Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成して、耐蒸
着保護膜を設けた。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：２０ＫＷ フィルム搬送速度：５００ｍ／分 （２）．次に、上記で耐蒸着保護膜を設けたポリフッ化
ビニル樹脂シ−トを使用し、以下、上記の実施例２と同
様にして、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による
反応真空蒸着法により、膜厚８００Åの酸化アルミニウ
ムの蒸着膜を上記の耐蒸着保護膜の上に形成し、更に、
酸化アルミニウムの蒸着膜面に、プラズマ処理を行って
プラズマ処理面を形成した。 （３）．次いで、酸化アルミニウムの蒸着膜を設けたポ
リフッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、上記の実施例２と
同様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池
モジュ−ルを製造することができた。
【００４８】実施例５ （１）．厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹
脂シ−ト（紫外線吸収剤として超微粒子酸化チタンを練
り込み加工済）を使用し、その一方の面に、上記の実施
例２と同様にして、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方
式による反応真空蒸着法により、膜厚５００Åの酸化ア
ルミニウムの蒸着膜を形成し、更に、プラズマ処理面を
形成した。更に、上記の実施例２と同様にして、上記で
形成した膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜のプ
ラズマ処理面に、同様にして、膜厚５００Åの酸化アル
ミニウムの蒸着膜を形成し、更に、プラズマ処理面を形
成した。 （２）．次いで、上記で２層の酸化アルミニウムの蒸着
膜を設けたポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用
し、上記の実施例２と同様にして、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
脂シ−ト（紫外線吸収剤として超微粒子酸化チタンを練
り込み加工済）を使用し、その一方の面に、上記の実施
例２と同様にして、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方
式による反応真空蒸着法により、膜厚５００Åの酸化ア
ルミニウムの蒸着膜を形成し、更に、プラズマ処理面を
形成した。更に、上記の実施例２と同様にして、上記で
形成した膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜のプ
ラズマ処理面に、同様にして、膜厚５００Åの酸化アル
ミニウムの蒸着膜を形成し、更に、プラズマ処理面を形
成した。 （２）．次いで、上記で２層の酸化アルミニウムの蒸着
膜を設けたポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用
し、上記の実施例２と同様にして、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを
製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
【００４９】実施例６ （１）．超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤を練
り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ
−ト（ＰＶＦ）を使用し、上記の実施例１と同様にし
て、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し、更に、
コロナ処理面を形成した。更に、上記の実施例１と同様
にして、上記で形成した膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着
膜のコロナ処理面に、同様にして、膜厚５００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成し、更に、コロナ処理面を形成し
た。 （２）．次いで、２層の酸化珪素の蒸着膜を設けたポリ
フッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、上記の実施例１と同
様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、ア
モルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置
した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面
を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ
−ト（ＰＶＦ）を使用し、上記の実施例１と同様にし
て、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し、更に、
コロナ処理面を形成した。更に、上記の実施例１と同様
にして、上記で形成した膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着
膜のコロナ処理面に、同様にして、膜厚５００Åの酸化
珪素の蒸着膜を形成し、更に、コロナ処理面を形成し
た。 （２）．次いで、２層の酸化珪素の蒸着膜を設けたポリ
フッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、上記の実施例１と同
様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、ア
モルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置
した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面
を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００５０】実施例７ （１）．厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト
（ＰＶＦ、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤を
練り加工済）を使用し、その一方の面に、１×１０-4Ｔ
ｏｒｒの真空下、高周波誘電加熱方式で純度９９．９％
の一酸化珪素（ＳｉＯ）を加熱蒸発させ、５００Åの酸
化珪素の蒸着膜を形成した。次に、上記で膜厚５００Å
の酸化珪素の蒸着膜を形成した直後に、その酸化珪素の
蒸着膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉ
ｎでコロナ放電処理を行って、蒸着膜面の表面張力を３
５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させてたコロナ処理
面を形成した。 （２）．次いで、酸化珪素の蒸着膜を設けたポリフッ化
ビニル樹脂シ−トを使用し、上記の実施例１と同様にし
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを
製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、ア
モルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置
した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面
を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記のポリフッ化ビニル
樹脂に代えて、エチレン−テトラフルオロエチレンコポ
リマ−からなるフッ素系樹脂を使用し、上記と全く同様
にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
（ＰＶＦ、超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤を
練り加工済）を使用し、その一方の面に、１×１０-4Ｔ
ｏｒｒの真空下、高周波誘電加熱方式で純度９９．９％
の一酸化珪素（ＳｉＯ）を加熱蒸発させ、５００Åの酸
化珪素の蒸着膜を形成した。次に、上記で膜厚５００Å
の酸化珪素の蒸着膜を形成した直後に、その酸化珪素の
蒸着膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉ
ｎでコロナ放電処理を行って、蒸着膜面の表面張力を３
５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させてたコロナ処理
面を形成した。 （２）．次いで、酸化珪素の蒸着膜を設けたポリフッ化
ビニル樹脂シ−トを使用し、上記の実施例１と同様にし
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを
製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、ア
モルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置
した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面
を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記のポリフッ化ビニル
樹脂に代えて、エチレン−テトラフルオロエチレンコポ
リマ−からなるフッ素系樹脂を使用し、上記と全く同様
にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。
【００５１】実施例８ （１）．厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹
脂シ−ト（紫外線吸収剤として超微粒子酸化チタンを練
り込み加工済）を使用し、これをプラズマ化学気相成長
装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条件で厚さ８０
０Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記のポリジシクロペンタ
ジエン樹脂シ−トの片面に形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、出力、１０ｋ
Ｗ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行っ
て、蒸着膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎ
ｅに向上させてたコロナ処理面を形成した。 （２）．次いで、酸化珪素の蒸着膜を設けたポリジシク
ロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記の実施例１と
同様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、ア
モルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置
した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面
を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
脂シ−ト（紫外線吸収剤として超微粒子酸化チタンを練
り込み加工済）を使用し、これをプラズマ化学気相成長
装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条件で厚さ８０
０Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記のポリジシクロペンタ
ジエン樹脂シ−トの片面に形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、出力、１０ｋ
Ｗ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行っ
て、蒸着膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎ
ｅに向上させてたコロナ処理面を形成した。 （２）．次いで、酸化珪素の蒸着膜を設けたポリジシク
ロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記の実施例１と
同様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ
４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、ア
モルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置
した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面
を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
【００５２】実施例９ （１）．超微粒子酸化チタンからなる紫外線吸収剤とガ
ラス繊維とを練り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ
化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を使用し、これをコ−テ
ィングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミ
ニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレ
クトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法
により、上記のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの一方の面
に、膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成し
た。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出
力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａ
ｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧
６Ｘ１０-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素
／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行ってプラズマ処理
面を形成した。 （２）．次いで、酸化アルミニウムの蒸着膜を設けたポ
リフッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、上記の実施例２と
同様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、予め、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−トをアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
した。次に、上記で積層した厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−トの面に、アモルファスシリ
コンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μ
ｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚
さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、
および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、
アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明に
かかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記のポリフッ化ビニル
樹脂に代えて、エチレン−テトラフルオロエチレンコポ
リマ−からなるフッ素系樹脂を使用し、上記と全く同様
にして、同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造すること
ができた。
ラス繊維とを練り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ
化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を使用し、これをコ−テ
ィングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、アルミ
ニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エレ
クトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法
により、上記のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの一方の面
に、膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成し
た。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出
力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ2 ）：アルゴンガス（Ａ
ｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧
６Ｘ１０-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素
／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行ってプラズマ処理
面を形成した。 （２）．次いで、酸化アルミニウムの蒸着膜を設けたポ
リフッ化ビニル樹脂シ−トを使用し、上記の実施例２と
同様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、予め、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−トをアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層
した。次に、上記で積層した厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−トの面に、アモルファスシリ
コンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μ
ｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚
さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、
および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、
アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明に
かかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記のポリフッ化ビニル
樹脂に代えて、エチレン−テトラフルオロエチレンコポ
リマ−からなるフッ素系樹脂を使用し、上記と全く同様
にして、同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造すること
ができた。
【００５３】実施例１０ （１）．上記の実施例１で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪
素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪
素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００５４】実施例１１ （１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化ア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化ア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００５５】実施例１２ （１）．上記の実施例３で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化ア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化ア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
【００５６】実施例１３ （１）．上記の実施例４で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化ア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化ア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００５７】実施例１４ （１）．上記の実施例５で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化ア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化ア
ルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
【００５８】実施例１５ （１）．上記の実施例６で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪
素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪
素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００５９】実施例１６ （１）．上記の実施例７で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪
素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪
素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００６０】実施例１７ （１）．上記の実施例８で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪
素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その酸化珪
素の蒸着膜のコロナ処理面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、
その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接
着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
【００６１】実施例１８ （１）．上記の実施例９で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、ま
ず、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの酸化アルミ
ニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、予め、厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トをアクリル
系樹脂の接着剤層を介して積層した。他方、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの酸化アルミニウムの
蒸着膜のプラズマ処理面に、予め、厚さ４００μｍのエ
チレン−酢酸ビニル共重合体シ−トをアクリル系樹脂の
接着剤層を介して積層した。次いで、上記で、予め、厚
さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トを
積層した太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トとを使用し、その予め積
層した厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−トの層間に、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを挿入し、その太陽電池
素子面を上に向けて、その３者をアクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、ま
ず、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの酸化アルミ
ニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、予め、厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トをアクリル
系樹脂の接着剤層を介して積層した。他方、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トの酸化アルミニウムの
蒸着膜のプラズマ処理面に、予め、厚さ４００μｍのエ
チレン−酢酸ビニル共重合体シ−トをアクリル系樹脂の
接着剤層を介して積層した。次いで、上記で、予め、厚
さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トを
積層した太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トとを使用し、その予め積
層した厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−トの層間に、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムを挿入し、その太陽電池
素子面を上に向けて、その３者をアクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００６２】実施例１９ （１）．上記の実施例１で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、まず、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルフ
ァスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向
させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、まず、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルフ
ァスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向
させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００６３】実施例２０ （１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニ
ウムの蒸着膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その
太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤
層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−
ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化アルミニ
ウムの蒸着膜のプラズマ処理面を対向させ、かつ、その
太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤
層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−
ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００６４】実施例２１ （１）．上記の実施例７で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸
着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素
子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して
積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その酸化珪素の蒸
着膜のコロナ処理面を対向させ、かつ、その太陽電池素
子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して
積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００６５】実施例２２ （１）．上記の実施例８で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、まず、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルフ
ァスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向
させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、まず、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルフ
ァスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを、その酸化珪素の蒸着膜のコロナ処理面を対向
させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込んだ厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トに代えて、紫外線吸収剤を練り込
み加工した厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹
脂シ−トまたはポリノルボルエジエン樹脂シ−トを使用
し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる表面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。
【００６６】実施例２３ （１）．上記の実施例９で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、まず、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トの酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面
に、予め、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−トをアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
た。次に、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト
（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム、上記の予め厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トを積層した太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トを対向さ
せ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル
系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、まず、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トの酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面
に、予め、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−トをアクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
た。次に、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト
（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム、上記の予め厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トを積層した太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トを対向さ
せ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル
系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）に代
えて、厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレ
ンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。
【００６７】実施例２４〜２７ 上記の実施例１において、厚さ５０μｍのポリフッ化ビ
ニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を使用する代わりに、下記の
実施例２４〜２７に示す耐候性基材層（いずれも、紫外
線吸収剤として、超微粒子酸化チタンを練り込み加工
済）を使用し、それ以外は、上記の実施例１と全く同様
にして、同様に、本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。 実施例２４．厚さ１００μｍのポリアミド樹脂シ−ト 実施例２５．厚さ１００μｍのポリカ−ボネ−ト樹脂シ
−ト 実施例２６．厚さ１００μｍのポリメタクリル樹脂シ−
ト 実施例２７．厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレ
−ト樹脂シ−ト
ニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を使用する代わりに、下記の
実施例２４〜２７に示す耐候性基材層（いずれも、紫外
線吸収剤として、超微粒子酸化チタンを練り込み加工
済）を使用し、それ以外は、上記の実施例１と全く同様
にして、同様に、本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。 実施例２４．厚さ１００μｍのポリアミド樹脂シ−ト 実施例２５．厚さ１００μｍのポリカ−ボネ−ト樹脂シ
−ト 実施例２６．厚さ１００μｍのポリメタクリル樹脂シ−
ト 実施例２７．厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレ
−ト樹脂シ−ト
【００６８】実施例２８〜３１ 上記の実施例２において、厚さ５０μｍのポリフッ化ビ
ニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を使用する代わりに、下記の
実施例２８〜３１に示す耐候性基材層（いずれも、紫外
線吸収剤として、超微粒子酸化チタンを練り込み加工
済）を使用し、それ以外は、上記の実施例２と全く同様
にして、同様に、本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。 実施例２８．厚さ１００μｍのポリアミド樹脂シ−ト 実施例２９．厚さ１００μｍのポリカ−ボネ−ト樹脂シ
−ト 実施例３０．厚さ１００μｍのポリアクリル樹脂シ−ト 実施例３１．厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレ
−ト樹脂シ−ト
ニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を使用する代わりに、下記の
実施例２８〜３１に示す耐候性基材層（いずれも、紫外
線吸収剤として、超微粒子酸化チタンを練り込み加工
済）を使用し、それ以外は、上記の実施例２と全く同様
にして、同様に、本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。 実施例２８．厚さ１００μｍのポリアミド樹脂シ−ト 実施例２９．厚さ１００μｍのポリカ−ボネ−ト樹脂シ
−ト 実施例３０．厚さ１００μｍのポリアクリル樹脂シ−ト 実施例３１．厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレ
−ト樹脂シ−ト
【００６９】比較例１ 基材として、厚さ３ｍｍのガラス板を太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トとして使用し、而して、その一方の
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。
ル用表面保護シ−トとして使用し、而して、その一方の
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。
【００７０】比較例２ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）を太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
して使用し、而して、その一方の面に、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向
けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太
陽電池モジュ−ルを製造した。
ト（ＰＶＦ）を太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
して使用し、而して、その一方の面に、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向
けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太
陽電池モジュ−ルを製造した。
【００７１】比較例３ 基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
して使用し、而して、そのポリジシクロペンタジエン樹
脂シ−トの面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニ
ル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽
電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエ
チレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０
μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
を、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂
の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製
造した。
ン樹脂シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
して使用し、而して、そのポリジシクロペンタジエン樹
脂シ−トの面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニ
ル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽
電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエ
チレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０
μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
を、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂
の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製
造した。
【００７２】比較例４ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）を太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、而
して、その一方のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの面に、
厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−
ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列
に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビ
ニル共重合体シ−ト、および、他方のポリフッ化ビニル
樹脂シ−トを対向させて、かつ、その太陽電池素子面を
上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。
ト（ＰＶＦ）を太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、而
して、その一方のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの面に、
厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−
ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列
に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビ
ニル共重合体シ−ト、および、他方のポリフッ化ビニル
樹脂シ−トを対向させて、かつ、その太陽電池素子面を
上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。
【００７３】比較例５ 基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、而
して、その一方のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−ト
の面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記のポリジシク
ロペンタジエン樹脂シ−トを対向させて、かつ、その太
陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層
を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。
ン樹脂シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、而
して、その一方のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−ト
の面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記のポリジシク
ロペンタジエン樹脂シ−トを対向させて、かつ、その太
陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層
を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。
【００７４】実験例 上記の実施例１〜３１で製造した本発明にかかる保護シ
−トと比較例１〜５にかかる保護シ−トについて、全光
線透過率を測定し、また、上記の実施例１〜３１で製造
した太陽電池モジュ−ルと比較例１〜５で製造した太陽
電池モジュ−ルについて太陽電池モジュ−ル評価試験を
行った。 （１）．全光線透過率の測定 これは、基材フィルムを基準とし、実施例１〜３１で製
造した本発明にかかる保護シ−トと比較例１〜５にかか
る保護シ−トについてカラ−コンピュ−タ−により全光
線透過率（％）を測定した。 （２）．太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜３１で製造した本発明にか
かる保護シ−トと比較例１〜５にかかる保護シ−トにつ
いて、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モ
コン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラ
ン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定し、更に、酸素透
過度は、上記と同様の対象物について、温度２３℃、湿
度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社
製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕
にて測定した。上記の測定結果について下記の表１に示
す。
−トと比較例１〜５にかかる保護シ−トについて、全光
線透過率を測定し、また、上記の実施例１〜３１で製造
した太陽電池モジュ−ルと比較例１〜５で製造した太陽
電池モジュ−ルについて太陽電池モジュ−ル評価試験を
行った。 （１）．全光線透過率の測定 これは、基材フィルムを基準とし、実施例１〜３１で製
造した本発明にかかる保護シ−トと比較例１〜５にかか
る保護シ−トについてカラ−コンピュ−タ−により全光
線透過率（％）を測定した。 （２）．太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜３１で製造した本発明にか
かる保護シ−トと比較例１〜５にかかる保護シ−トにつ
いて、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モ
コン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラ
ン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定し、更に、酸素透
過度は、上記と同様の対象物について、温度２３℃、湿
度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社
製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕
にて測定した。上記の測定結果について下記の表１に示
す。
【００７５】 上記の表１において、水蒸気バリア性の単位は、〔ｇ／ｍ2 ／ｄａｙ・４０℃ ・１００％ＲＨ〕であり、また、酸素バリア性の単位は、〔ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙ ・２３℃・９０％ＲＨ〕である。
【００７６】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜３１にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トは、全光線透過率が高く、また、水蒸気バリア
性、酸素バリア性に優れていた。因みに、実施例１〜３
１にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、
酸素バリア性、および、水蒸気バリア性は、それぞれ、
温度２５℃、相対湿度９０％での酸素透過度が、１ｃｃ
／ｍ2 ・ｄａｙ・ａｔｍ以下であり、また、温度４０
℃、相対湿度１００％での水蒸気透過度が、１ｇ／ｍ2
・ｄａｙ・ａｔｍ以下であった。また、上記の実施例１
〜３１にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを用い
た太陽電池モジュ−ルは、出力低下率も低いものであっ
た。これに対し、比較例１〜５にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トは、全光線透過率は、高いものの、水
蒸気バリア性、酸素バリア性が低く、そのために、それ
を用いて製造した太陽電池モジュ−ルは、出力低下率が
高い等の問題点があった。
うに、実施例１〜３１にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トは、全光線透過率が高く、また、水蒸気バリア
性、酸素バリア性に優れていた。因みに、実施例１〜３
１にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、
酸素バリア性、および、水蒸気バリア性は、それぞれ、
温度２５℃、相対湿度９０％での酸素透過度が、１ｃｃ
／ｍ2 ・ｄａｙ・ａｔｍ以下であり、また、温度４０
℃、相対湿度１００％での水蒸気透過度が、１ｇ／ｍ2
・ｄａｙ・ａｔｍ以下であった。また、上記の実施例１
〜３１にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを用い
た太陽電池モジュ−ルは、出力低下率も低いものであっ
た。これに対し、比較例１〜５にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トは、全光線透過率は、高いものの、水
蒸気バリア性、酸素バリア性が低く、そのために、それ
を用いて製造した太陽電池モジュ−ルは、出力低下率が
高い等の問題点があった。
【００７７】
【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
まず、耐候性基材層の一方の面に、酸化珪素あるいは酸
化アルミニウム等のガラス質からなる透明な、かつ、水
蒸気バリア性、酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸
着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候
性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を介し
て、積層した積層体からなる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまたは太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、例え
ば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、そ
の無機酸化物の蒸着膜面を内側にし、充填剤層、光起電
力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、通常
の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積
層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着
するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ル
を製造して、太陽光の透過性に優れ、かつ、強度に優
れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、その他等の
諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防
湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限
に抑え、極めて耐久性に富み、保護能力性に優れ、か
つ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的
に製造し得ることができるというものである。
まず、耐候性基材層の一方の面に、酸化珪素あるいは酸
化アルミニウム等のガラス質からなる透明な、かつ、水
蒸気バリア性、酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸
着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候
性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を介し
て、積層した積層体からなる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまたは太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、例え
ば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、そ
の無機酸化物の蒸着膜面を内側にし、充填剤層、光起電
力素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、通常
の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積
層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着
するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ル
を製造して、太陽光の透過性に優れ、かつ、強度に優
れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、その他等の
諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防
湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限
に抑え、極めて耐久性に富み、保護能力性に優れ、か
つ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的
に製造し得ることができるというものである。
【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。
【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。
【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。
【図４】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。
【図５】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。
【図６】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。
【図７】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。
【図８】物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸
着装置の概略的構成図である。
形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸
着装置の概略的構成図である。
【図９】化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化学
気相成長装置の概略的構成図である。
形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化学
気相成長装置の概略的構成図である。
Ａ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ1 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ2 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ3 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト １ 耐候性基材層 ２ 無機酸化物の蒸着膜 ２ａ 無機酸化物の蒸着膜 ２ｂ 無機酸化物の蒸着膜 ２ｃ 無機酸化物の蒸着膜 ２ｄ 無機酸化物の蒸着膜 ３ 溶融押し出し接着性樹脂層 ４ 積層体 ４ａ 積層体 ４ｂ 積層体 ４ｃ 積層体 ５ 多層膜 ６ 複合膜 Ｔ 太陽電池モジュ−ル Ｔ1 太陽電池モジュ−ル Ｔ2 太陽電池モジュ−ル １１ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １２ 充填剤層 １３ 太陽電池素子 １４ 充填剤層 １５ 裏面保護シ−ト １６ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト １７ 表面保護シ−ト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴浦 泰樹 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 續木 淳朗 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AA01B AA01E AA17B AA17E AK01C AK03A AK03D AK17A AK17D AK25A AK25D AK41A AK41D AK45A AK45D AK46A AK46D BA05 BA10A BA10E BA13 CA06C CA07C CB00C DG01C DG15 EC18C EH17C EH66B EH66E EJ17 EJ24 EJ39A EJ42 EJ91 GB41 JB01 JB07 JD04 JJ03 JK01 JL00 JL06 JL09A JL09D JL11C JN30 YY00B 5F051 BA14 BA15 BA18 DA17 EA01 EA18 EA20 GA02 GA05 JA04 JA05 5H032 AA06 BB02 BB04 BB05 EE02 EE04 EE05 EE12 HH04
Claims (14)
- 【請求項１】 耐候性基材層の一方の面に、無機酸化物
の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた
耐候性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を
介して、重層した積層体からなることを特徴とする太陽
電池モジュ−ル用保護シ−ト。 - 【請求項２】 耐候性基材層の一方の面に、無機酸化物
の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた
耐候性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を
介して、重層した積層体を太陽電池モジュ−ル用表面保
護シ−トとすることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用
保護シ−ト。 - 【請求項３】 耐候性基材層の一方の面に、無機酸化物
の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた
耐候性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層を
介して、重層した積層体を太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トとすることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用
保護シ−ト。 - 【請求項４】 耐候性基材層が、フッ素系樹脂、環状ポ
リオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド
系樹脂、ポリカボネ−ト系樹脂、または、ポリ（メタ）
アクリル系樹脂のフィルムないしシ−トからなることを
特徴とする上記の請求項１〜３に記載する太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−ト。 - 【請求項５】 無機酸化物の蒸着膜が、無機酸化物の蒸
着膜の１層若しくは２層以上の多層膜、または、異種の
無機酸化物の蒸着膜の２層以上の複合膜からなることを
特徴とする上記の請求項１〜４に記載する太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−ト。 - 【請求項６】 無機酸化物の蒸着膜が、膜厚５０Å以上
〜４０００Å以下からなることを特徴とする上記の請求
項１〜５に記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。 - 【請求項７】 溶融押し出し接着性樹脂層が、紫外線吸
収剤、酸化防止剤、または、強化繊維の１種ないし２種
以上を含有することを特徴とする上記の請求項１〜６に
記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。 - 【請求項８】 積層体が、一方の無機酸化物の蒸着膜を
設けた耐候性基材層の無機酸化物の蒸着膜面に、他方の
無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候性基材層の耐候性基材
層面を対向させて重ね合わせ、その層間を、溶融押し出
し接着性樹脂層を介して、重層した積層体からなること
を特徴とする上記の請求項１〜７に記載する太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト。 - 【請求項９】 積層体が、その最表面にエンボス加工面
を設けた積層体からなることを特徴とする上記の請求項
１〜８に記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。 - 【請求項１０】 積層体が、繊維状物または織布若しく
は不織布状物を含有して重層した積層体からなることを
特徴とする上記の請求項１〜９に記載する太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−ト。 - 【請求項１１】 耐候性基材層の一方の面に、無機酸化
物の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設け
た耐候性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層
を介して、重層した積層体からなる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トを、そのいずれか一方の面に、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層を順次に
積層し、これらを真空吸引して加熱圧着ラミネ−ション
法等により一体成形体としたことを特徴とする太陽電池
モュジュ−ル。 - 【請求項１２】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充
填剤層、および、耐候性基材層の一方の面に、無機酸化
物の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設け
た耐候性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層
を介して、重層した積層体からなる太陽電池モジュ−ル
モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そのいずれか一方の面
を対向させて順次に積層し、これらを真空吸引して加熱
圧着ラミネ−ション法等により一体成形体としたことを
特徴とする太陽電池モジュ−ル。 - 【請求項１３】 耐候性基材層の一方の面に、無機酸化
物の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設け
た耐候性基材層の２以上を、溶融押し出し接着性樹脂層
を介して、重層した積層体からなる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トを、そのいずれか一方の面に、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、耐候性基材層の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜
を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜を設けた耐候性基
材層の２層以上を、重層した積層体からなる太陽電池モ
ジュ−ルモジュ−ル用裏面保護シ−トを、そのいずれか
一方の面を対向させて順次に積層し、これらを真空吸引
して加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体とし
たことを特徴とする太陽電池モュジュ−ル。 - 【請求項１４】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
ト、または、太陽電池モジュ−ルモジュ−ル用裏面保護
シ−トのいずれか一方の面に、予め、充填剤層を積層し
たことを特徴とする上記の請求項１１〜１３に記載する
太陽電池モュジュ−ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11220805A JP2001044473A (ja) | 1999-08-04 | 1999-08-04 | 太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11220805A JP2001044473A (ja) | 1999-08-04 | 1999-08-04 | 太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001044473A true JP2001044473A (ja) | 2001-02-16 |
Family
ID=16756851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11220805A Pending JP2001044473A (ja) | 1999-08-04 | 1999-08-04 | 太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001044473A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2416379A1 (en) * | 2009-03-30 | 2012-02-08 | LINTEC Corporation | Protective sheet for the rear surface of a solar cell module, and solar cell module provided therewith |
-
1999
- 1999-08-04 JP JP11220805A patent/JP2001044473A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2416379A1 (en) * | 2009-03-30 | 2012-02-08 | LINTEC Corporation | Protective sheet for the rear surface of a solar cell module, and solar cell module provided therewith |
| EP2416379A4 (en) * | 2009-03-30 | 2013-11-27 | Lintec Corp | REAR SURFACE PROTECTIVE SHEET FOR SOLAR CELL MODULE AND SOLAR CELL MODULE USING SAID PROTECTIVE SHEET |
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