JP2000332277A - 太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等
の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長期的
な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護
能力性が高く、かつ、より低コストで安全な太陽電池モ
ジュ−ルを構成する保護シ−トを安定的に提供すること
である。 【解決手段】 フッ素系樹脂シ−トの片面に、無機酸化
物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜を
設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を重層
したことを特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
およびそれを使用した太陽電池モジュ−ルに関するもの
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関し、更に詳しくは、強度に優れ、かつ、耐候性、
耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性に優れ、極めて
耐久性に富み、保護能力が高い太陽電池モジュ−ル用表
面または裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池
モジュ−ルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されて
いる。而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電
卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応
用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広
まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大
規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の太陽
電池モジュ−ルを構成する保護シ−ト層としては、例え
ば、表面保護シ−ト層の場合は、現在、ガラス板等が、
最も一般的に使用され、その他、近年、フッ素系樹脂シ
−ト等の樹脂シ−トも注目され、その開発が、急速に進
められている。また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成
する裏面保護シ−ト層の場合は、現在、強度に優れた樹
脂シ−ト等が、最も一般的に使用され、その他、金属板
等も使用されている。而して、一般に、太陽電池モジュ
−ルを構成する保護シ−ト層としては、例えば、表面保
護シ−ト層の場合は、太陽電池が、太陽光を吸収して光
起電力することから、太陽光を透過する透過性に富むと
共に強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性等の諸堅牢性に優
れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優
れ、更に、表面硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等
の蓄積を防止する防汚性に優れ、極めて耐久性に富み、
その保護能力性が高いこと、その他等の条件を充足する
ことが必要とされ、また、裏面保護シ−ト層の場合も、
ほぼ、上記の表面保護シ−ト層の場合と同様な条件を充
足することが必要とされている。しかしながら、例え
ば、太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層と
して、現在、最も一般的に使用されているガラス板等
は、太陽光の透過性に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐
水性、耐光性、耐薬品性等の諸堅牢性に優れ、また、防
湿性にも優れ、更に、表面硬度が硬く、かつ、表面の汚
れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、その保護能
力性が高い等の利点を有するが、強度、可塑性、耐衝撃
性、軽量性等に欠け、更に、その加工性、施工性等に劣
り、かつ、低コスト化等に欠けるという問題点がある。
また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ
−ト層として、フッ素系樹脂等の樹脂シ−トを使用する
場合には、ガラス板等と比較して、強度、可塑性、耐衝
撃性、軽量性等に富むものではあるが、耐候性、耐熱
性、耐水性、耐光性、耐薬品性等の諸堅牢性に劣り、特
に、防湿性、防汚性等に欠けるという問題点がある。ま
た、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−
ト層として、強度に優れた樹脂シ−ト等を使用する場合
には、強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性、低コスト化等
に富むものではあるが、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐薬品性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿性、防汚
性等に欠けるという問題点がある。そこで本発明は、強
度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐
風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、その他
等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止す
る防湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最
小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護能力が高く、か
つ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成す
る表面または裏面保護シ−トを安定的に提供することで
ある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する保護シ−ト層について、上記のよう
な問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、フッ素系
樹脂シ−トを基材シ−トとして使用し、その片面に、酸
化珪素あるいは酸化アルミニウム等の透明な、ガラス質
からなる無機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸
化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくと
も２層以上を、例えば、接着剤層等を介して、重層して
太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造し、而して、該
太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トまたは太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トとし、例えば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの一方の面を内側にし、充填剤層、光起電力
素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、通常の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積層
し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着す
るラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ルを
製造したところ、太陽光の透過性に優れ、かつ、強度に
優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、その他等の
諸特性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防
湿性を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限
に抑え、極めて耐久性に富み、保護能力が高く、かつ、
より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製
造し得ることを見出して本発明を完成したものである。

【０００５】すなわち、本発明は、フッ素系樹脂シ−ト
の片面に、無機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機
酸化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂シ−トの少なく
とも２層以上を重層したことを特徴とする太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいず
れの場合も意味するものであり、また、フィルムとは、
フィルム状物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も
意味するものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的に説
明すると、図１、図２、図３、図４および図５は、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トの層構成に
ついてその二三例を例示する概略的断面図であり、図
６、図７および図８は、図１に示す本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電
池モジュ−ルの層構成についてその二三例を例示する概
略的断面図である。

【０００７】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トＡは、図１に示すように、フッ素系樹脂シ
−ト１の片面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を設け、更
に、該無機酸化物の蒸着薄膜２を設けたフッ素系樹脂シ
−ト１の少なくとも２層以上を重層した構成からなるこ
とを基本構造とするものである。而して、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、別の例を
例示すると、図２に示すように、フッ素系樹脂シ−ト１
の片面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を設け、更に、該無
機酸化物の蒸着薄膜２を設けたフッ素系樹脂シ−ト１の
少なくとも２層以上を、接着剤層３を介して、重層した
構成からなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ₁ を挙
げることができる。更に、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トについて、他の例を例示すると、図
３に示すように、フッ素系樹脂シ−ト１の片面に、無機
酸化物の蒸着薄膜２を設け、更に、該無機酸化物の蒸着
薄膜２を設けたフッ素系樹脂シ−ト１の少なくとも２層
以上を、強度に優れた樹脂シ−ト４を介在させて、接着
剤層３を介して、重層した構成からなる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トＡ₂ を挙げることができる。また、本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについ
て、他の例を例示すると、図４に示すように、フッ素系
樹脂シ−ト１の片面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を少な
くとも２層以上設けた多層膜５を構成し、更に、該多層
膜５を有するフッ素系樹脂シ−ト１の少なくとも２層以
上を重層した構成からなる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トＡ₃ を挙げることができる。更に、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、他の例を例
示すると、図５に示すように、フッ素系樹脂シ−ト１の
片面に、まず、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着
薄膜２ａを設け、次いで、該無機酸化物の蒸着薄膜２ａ
の上に、物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜２
ｂを設け、異種の無機酸化物の蒸着薄膜２ａ、２ｂの２
層以上からなる複合膜６を構成し、更に、該複合膜６を
有するフッ素系樹脂シ−ト１の少なくとも２層以上を重
層した構成からなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡ
₄ を挙げることができる。上記の例示は、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについてその二三例
を例示するものであり、本発明は、これによって限定さ
れるものではないことは言うまでもないことである。例
えば、図示しないが、無機酸化物の蒸着薄膜を設けたフ
ッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を重層する際に
は、無機酸化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂シ−ト
の無機酸化物の蒸着薄膜の面と無機酸化物の蒸着薄膜の
面、あるいは、無機酸化物の蒸着薄膜の面とフッ素系樹
脂シ−トの面とのいずれの面を対向させて重層してもよ
いものである。

【０００８】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示すると、
上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図６に示すよ
うに、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
−ト１１として使用し、該太陽電池モジュ−ル用表面保
護シ−ト１１（Ａ）のいずれか一方の面を内側にし、順
次に、充填剤層１２、光起電力素子としての太陽電池素
子１３、充填剤層１４、および、通常の太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−ト層１５等を積層し、次いで、これ
らを一体として、真空吸引して加熱圧着するラミネ−シ
ョン法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成
形体として太陽電池モジュ−ルＴを製造することができ
る。更に、本発明において、上記の本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造した太陽電
池モジュ−ルについて、別の一例を例示すると、上記と
同様に、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図７
に示すように、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−ト１６として使用し、通常の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−ト１７、充填剤層１２、光起電力素
子としての太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、
上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６（Ａ）
を順次に積層し、次いで、これらを一体として、真空吸
引して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法
を利用し、上記の各層を一体成形体として太陽電池モジ
ュ−ルＴ₁ を製造することができる。更に、本発明にお
いて、上記の本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについ
て、他の一例を例示すると、上記と同様に、上記の図１
に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
Ａを使用した例で説明すると、図８に示すように、上記
の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１１と
して使用し、また、上記の図１に示す本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−ト１６として使用し、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用表面保護シ−ト１１（Ａ）のいずれか一方の
面を内側にし、順次に、充填剤層１２、光起電力素子と
しての太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記
の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６（Ａ）等を
積層し、次いで、これらを一体として、真空吸引して加
熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用
し、上記の各層を一体成形体として太陽電池モジュ−ル
Ｔ₁ を製造することができる。上記の例示は、本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使
用して製造した太陽電池モジュ−ルについてその二三例
を例示するものであり、本発明はこれにより限定される
ものではない。例えば、図示しないが、上記の太陽電池
モジュ−ルにおいては、太陽光の吸収性、補強、その他
等の目的のもとに、更に、他の層を任意に加えて積層す
ることができるものである。

【０００９】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等について更
に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成す
るフッ素系樹脂シ−トとしては、例えば、ポリテトラフ
ルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン
とペルフルオロアルキルビニルエ−テルとの共重合体か
らなるペルフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦＡ）、テトラ
フルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンコポリマ
−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンとペルフルオロ
アルキルビニルエ−テルとヘキサフルオロプロピレンコ
ポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオロエチレンとエチレ
ンまたはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）、ポリ
クロロトリフルオロエチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ）、エチ
レンとクロロトリフルオロエチレンとのコポリマ−（Ｅ
ＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系樹脂（ＰＶＤＦ）、ま
たは、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）からなる透明性を
有するフッ素系樹脂のフィルムないしシ−トを使用する
ことができる。なお、本発明において、上記のフッ素系
樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、ポリフッ化ビニ
ル系樹脂（ＰＶＦ）、または、テトラフルオロエチレン
とエチレン若しくはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴＦ
Ｅ）からなるフッ素系樹脂シ−トが、透明性を有し、太
陽光の透過、吸収性等の観点から特に好ましいものであ
る。而して、本発明において、上記のようなフッ素系樹
脂シ−トを使用することにより、該フッ素系樹脂シ−ト
が有する優れた特性、特に、機械的特性、耐熱性、光学
特性等，更に、耐光性、耐熱性、耐水性、その他等の超
耐候性、耐汚染性、耐薬品性等の諸特性を利用して太陽
電池を構成する保護シ−トとするものであり、これによ
り、従来のガラス板等と同等の光学特性、耐久性を有
し、また、そのフレキシブル性や機械的特性等からガラ
ス板よりも軽く、かつ、加工性等に優れ、そのハンドリ
ングし易い等の利点を有するものである。

【００１０】ところで、本発明において、上記のフッ素
系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、上記
のフッ素系樹脂の１種ないしそれ以上を使用し、押し出
し法、キャスト成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−
ション法、その他等の製膜化法を用いて、上記のフッ素
系樹脂を単独で製膜化する方法、あるいは、２種以上の
フッ素系樹脂を使用して多層共押し出し製膜化する方
法、更には、２種以上のフッ素系樹脂を使用し、製膜化
する前に混合して製膜化する方法等により、フッ素系樹
脂のフィルムないしシ−トを製造し、更に、要すれば、
例えば、テンタ−方式、あるいは、チュ−ブラ−方式等
を利用して１軸ないし２軸方向に延伸してなるフッ素系
樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
本発明において、フッ素系樹脂のフィルムないしシ−ト
の膜厚としては、１２〜３００μｍ位、より好ましく
は、２５〜２００μｍ位が望ましい。また、本発明にお
いて、フッ素系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、
可視光透過率が、９０％以上、好ましくは、９５％以上
であって、入射する太陽光を全て透過し、これを吸収す
る性質を有することが望ましいものである。

【００１１】なお、上記において、フッ素系樹脂の製膜
化に際して、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候
性、機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形
性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、その他等を改良、
改質する目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等
を添加することができ、その添加量としては、極く微量
から数十％まで、その目的に応じて、任意に添加するこ
とができる。また、上記において、一般的な添加剤とし
ては、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補強剤、帯電防止剤、
難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、その他等を
使用することができ、更には、改質用樹脂等も使用する
ことがてきる。本発明においては、上記の添加剤の中で
も、特に、紫外線吸収剤および／または酸化防止剤等を
練れ込み加工してなる環状ポリオレフィン系樹脂のフィ
ルムないしシ−トを使用することが好ましいものであ
る。上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の有害な紫
外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−へと変換
し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起されるのを防
止するものであり、例えば、ベンゾフェノン系、ベンゾ
トリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリルニトリル
系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒子酸化チ
タン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）あるいは超微
粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の無機系等
の紫外線吸収剤の１種ないしそれ以上を使用することが
できる。また、上記の酸化防止剤としては、高分子の光
劣化あるいは熱劣化等を防止するものであり、例えば、
フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、その他等の
酸化防止剤を使用することができる。更に、上記の紫外
線吸収剤あるいは酸化防止剤としては、例えば、ポリマ
−を構成する主鎖または側鎖に、上記のベンゾフェノン
系等の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−ル系等の酸
化防止剤を化学結合させてなるポリマ−型の紫外線吸収
剤あるいは酸化防止剤等も使用することができる。上記
の紫外線吸収剤および／または酸化防止剤の含有量とし
ては、その粒子形状、密度等によって異なるが、約０．
１〜１０重量％位が好ましい。

【００１２】また、本発明において、フッ素系樹脂のフ
ィルムないしシ−トの表面は、必要に応じて、例えば、
コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガ
ス等を用いて低温プラズマ処理、グロ−放電処理、化学
薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処理を
任意に施すことができる。上記の表面前処理は、無機酸
化物の蒸着薄膜を形成する前に別工程で実施してもよ
く、また、例えば、低温プラズマ処理やグロ−放電処理
等による表面処理の場合は、上記の無機酸化物の蒸着薄
膜を形成する前処理としてインライン処理により前処理
で行うことができ、このような場合は、その製造コスト
を低減することができるという利点がある。上記の表面
前処理は、フッ素系樹脂のフィルムないしシ−トと無機
酸化物の蒸着薄膜との密着性を改善するための方法とし
て実施するものであるが、上記の密着性を改善する方法
として、その他、例えば、フッ素系樹脂のフィルムない
しシ−トの表面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アン
ダ−コ−ト剤層、あるいは、蒸着アンカ−コ−ト剤層等
を任意に形成することもできる。上記の前処理のコ−ト
剤層としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組
成物を使用することができる。また、上記において、コ
−ト剤層の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、
あるいは、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−
ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、
その他等のコ−ト法を用いてコ−トすることができ、そ
のコ−ト時期としては、フッ素系樹脂のフィルムないし
シ−トの製膜後、あるいは、２軸延伸処理後の後工程と
して、あるいは、製膜、あるいは、２軸延伸処理のイン
ライン処理等で実施することができる。

【００１３】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着薄膜について説明すると、
かかる無機酸化物の蒸着薄膜としては、例えば、物理気
相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、その両
者を併用して、無機酸化物の蒸着薄膜の１層あるいは２
層以上の多層膜、または、異種の無機酸化物の蒸着薄膜
の２層以上からなる複合膜を形成して、製造することが
できるものである。上記の物理気相成長法による無機酸
化物の蒸着薄膜について更に詳しく説明すると、かかる
物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜としては、
例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−
ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖ
ａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用い
て無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。本発
明において、具体的には、金属の酸化物を原料とし、こ
れを加熱してフッ素系樹脂のフィルムないしシ−トの上
に蒸着する真空蒸着法、または、原料として金属または
金属の酸化物を使用し、酸素を導入して酸化させてフッ
素系樹脂のフィルムないしシ−トの上に蒸着する酸化反
応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ
助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成するこ
とができる。

【００１４】本発明において、物理気相成長法による無
機酸化物の薄膜薄膜を形成する方法について、その具体
例を挙げると、図９は、巻き取り式真空蒸着装置の一例
を示す概略的構成図である。図９に示すように、巻き取
り式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２２の中で、巻
き出しロ−ル２３から繰り出すフッ素系樹脂のフィルム
ないしシ−ト１は、ガイドロ−ル２４、２５を介して、
冷却したコ−ティングドラム２６に案内される。而し
て、上記の冷却したコ−ティングドラム２６上に案内さ
れたフッ素系樹脂のフィルムないしシ−ト１の上に、る
つぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例えば、金属アルミ
ニウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発させ、更
に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガス等を
噴出し、これを供給しながら、マスク３０、３０を介し
て、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄
膜を成膜化し、次いで、上記において、例えば、酸化ア
ルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成したフッ素
系樹脂のフィルムないしシ−ト１を、ガイドロ−ル２
５′、２４′を介して送り出し、巻き取りロ−ル３１に
巻き取ることによって、本発明にかかる物理気相成長法
による無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。
なお、本発明においては、上記のような巻き取り式真空
蒸着装置を用いて、まず、第１層の無機酸化物の蒸着薄
膜を形成し、次いで、同様にして、該無機酸化物の蒸着
薄膜の上に、更に、無機酸化物之蒸着薄膜を形成する
か、あるいは、上記のような巻き取り式真空蒸着装置を
用いて、これを２連に連接し、連続的に、無機酸化物の
蒸着薄膜を形成することにより、２層以上の多層膜から
なる無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。

【００１５】上記において、無機酸化物の蒸着薄膜とし
ては、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使
用可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着薄膜を使用することができる。而して、好ま
しいものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着薄膜を挙げることができ
る。而して、上記の金属の酸化物の蒸着薄膜は、ケイ素
酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等の
ように金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、
例えば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の薄膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の酸
化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜２００
０Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内で
任意に選択して形成することが望ましい。また、本発明
においては、使用する金属、または金属の酸化物として
は、１種または２種以上の混合物で使用し、異種の材質
で混合した無機酸化物の蒸着薄膜を構成することもでき
る。

【００１６】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜について更に説明
すると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着
薄膜としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化
学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法
（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ法、ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形
成することができる。本発明においては、具体的には、
フッ素系樹脂のフィルムないしシ−トの一方の面に、有
機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスを原料とし、キャ
リヤ−ガスとして、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不
活性ガスを使用し、更に、酸素供給ガスとして、酸素ガ
ス等を使用し、低温プラズマ発生装置等を利用する低温
プラズマ化学気相成長法（ＣＶＤ法）を用いて酸化珪素
等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。上
記において、低温プラズマ発生装置としては、例えば、
高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズ
マ等の発生装置を使用することがてき、而して、本発明
においては、高活性の安定したプラズマを得るために
は、高周波プラズマ方式による発生装置を使用すること
が望ましい。

【００１７】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法についてその
一例を例示して説明すると、図１０は、上記のプラズマ
化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法に
ついてその概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の
概略的構成図である。上記の図１０に示すように、本発
明においては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チ
ャンバ−４２内に配置された巻き出しロ−ル４３からフ
ッ素系樹脂のフィルムないしシ−ト１を繰り出し、更
に、該フッ素系樹脂のフィルムないしシ−ト１を、補助
ロ−ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５
周面上に搬送する。而して、本発明においては、ガス供
給装置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等から
酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混
合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通し
て真空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導
入し、次に、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬送
されたフッ素系樹脂のフィルムないしシ−ト１の上に、
グロ−放電プラズマ５０によってプラズマを発生させ、
これを照射して、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を
形成し、製膜化する。本発明においては、その際に、冷
却・電極ドラム４５は、チャンバ−外に配置されている
電源５１から所定の電力が印加されており、また、冷却
・電極ドラム４５の近傍には、マグネット５２を配置し
てプラズマの発生が促進されており、次いで、上記で酸
化珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成したフッ素系樹
脂のフィルムないしシ−ト１は、補助ロ−ル５３を介し
て巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発明にかかるプ
ラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を製
造することができるものである。なお、図中、５５は、
真空ポンプを表す。上記の例示は、その一例を例示する
ものであり、これによって本発明は限定されるものでは
ないことは言うまでもないことである。図示しないが、
本発明においては、無機酸化物の蒸着薄膜としては、無
機酸化物の蒸着薄膜の１層だけではなく、２層あるいは
それ以上を積層した積層体の状態でもよく、また、使用
する材料も１種または２種以上の混合物で使用し、ま
た、異種の材質で混合した無機酸化物の蒸着薄膜を構成
することもできる。本発明においては、例えば、上記の
ような低温プラズマ化学気相成長装置を用いて、まず、
第１層の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、次いで、同様
にして、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、更に、無機酸
化物之蒸着薄膜を形成するか、あるいは、上記のような
低温プラズマ化学気相成長装置を用いて、これを２連に
連接し、連続的に、無機酸化物の蒸着薄膜を形成するこ
とにより、２層以上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着
薄膜を形成することができる。

【００１８】上記において、酸化珪素等の無機酸化物の
蒸着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチル
ジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリ
メチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチル
ジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチル
シラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他
等を使用することができる。本発明において、上記のよ
うな有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラ
メチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサ
ンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成
された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、不活性ガスとしては、例え
ば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することがで
きる。

【００１９】本発明において、上記で形成される酸化珪
素の蒸着薄膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸
素ガス等とが化学反応し、その反応生成物がフッ素系樹
脂のフィルムないしシ−トの上に密接着し、緻密な、柔
軟性等に富む薄膜を形成することができ、通常、一般式
ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、０〜２の数を表す）で表され
る酸化珪素を主体とする連続状の蒸着薄膜である。而し
て、上記の酸化珪素の蒸着薄膜としては、透明性、バリ
ア性等の点から、一般式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、１．
３〜１．９の数を表す。）で表される酸化珪素の蒸着膜
を主体とする薄膜であることが好ましいものである。上
記において、Ｘの値は、モノマ−ガスと酸素ガスのモル
比、プラズマのエネルギ−等により変化するが、一般的
に、Ｘの値が小さくなればガス透過度は小さくなるが、
膜自身が黄色性を帯び、透明性が悪くなる。また、上記
の酸化珪素の蒸着薄膜は、珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）を
必須構成元素として有し、更に、炭素（Ｃ）と水素
（Ｈ）のいずれが一方、または、その両者の元素を微量
構成元素として含有する酸化珪素の蒸着膜からなり、か
つ、その膜厚が、５０Å〜５００Åの範囲であり、更
に、上記の必須構成元素と微量構成元素の構成比率が、
膜厚方向において連続的に変化しているものである。更
に、上記の酸化珪素の蒸着薄膜は、炭素からなる化合物
を含有する場合には、その膜厚の深さ方向において炭素
の含有量が減少していることを特徴とするものである。

【００２０】而して、本発明において、上記の酸化珪素
の蒸着薄膜について、例えば、Ｘ線光電子分光装置（Ｘ
ｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏ
ｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（Ｓｅ
ｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓ
ｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、深さ方
向にイオンエッチングする等して分析する方法を利用し
て、酸化珪素の蒸着薄膜の元素分析を行うことより、上
記のような物性を確認することができるものである。ま
た、本発明において、上記の酸化珪素の蒸着薄膜の膜厚
としては、膜厚５０Å〜２０００Å位であることが望ま
しく、具体的には、その膜厚としては、１００〜１００
０Å位が望ましく、而して、上記において、１０００
Å、更には、２０００Åより厚くなると、その膜にクラ
ック等が発生し易くなるので好ましくなく、また、１０
０Å、更には、５０Å未満であると、バリア性の効果を
奏することが困難になることから好ましくないものであ
る。上記のおいて、その膜厚は、例えば、株式会社理学
製の蛍光Ｘ線分析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を
用いて、ファンダメンタルパラメ−タ−法で測定するこ
とができる。また、上記において、上記の酸化珪素の蒸
着薄膜の膜厚を変更する手段としては、蒸着膜の体積速
度を大きくすること、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガ
ス量を多くする方法や蒸着する速度を遅くする方法等に
よって行うことができる。

【００２１】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜として、例えば、
物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して異種
の無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上からなる複合膜を形
成して使用することもできる。而して、上記の異種の無
機酸化物の蒸着薄膜の２層以上からなる複合膜として
は、まず、フッ素系樹脂シ−トの上に、化学気相成長法
により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発
生を防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次いで、
該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法による
無機酸化物の蒸着薄膜を設けて、２層以上からなる複合
膜からなる無機酸化物の蒸着薄膜を構成することが望ま
しいものである。勿論、本発明においては、上記とは逆
くに、フッ素系樹脂シ−トの上に、先に、物理気相成長
法により、無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次に、化学気
相成長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラ
ックの発生を防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設け
て、２層以上からなる複合膜からなる無機酸化物の蒸着
薄膜を構成することもできるものである。

【００２２】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂
シ−トの少なくとも２層以上を重層する方法について説
明すると、かかる重層方法としては、種々の方法を挙げ
ることができる。まず、本発明において、第１の方法と
しては、無機酸化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂シ
−トの少なくとも２層以上を使用し、その層間を、例え
ば、接着剤層を介して、重層する方法を挙げることがで
きる。また、本発明において、第２の方法としては、無
機酸化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂シ−トの少な
くとも２層以上を使用し、その層間に、例えば、単独な
いし共押し出し等の溶融押し出し接着性樹脂層を介し
て、重層する方法を挙げることができる。更に、本発明
において、第３の方法としては、無機酸化物の蒸着薄膜
を設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を使
用し、その層間に、単独ないし共押し出し等による強度
に優れた樹脂シ−トを介在させて、各層間を、例えば、
接着剤層を介して、重層する方法を挙げることができ
る。上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹
脂シ−トの少なくとも２層以上を重層する方法について
その二三例を例示するものであり、本発明はこれによっ
て限定されるものではない。

【００２３】なお、上記の重層方法において、無機酸化
物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂シ−トの無機酸化物
の蒸着薄膜の面、あるいは、フッ素系樹脂シ−トの面等
の重層する際に対向する面には、密接着性を向上させる
ために、必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、オゾ
ン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いて低温プラ
ズマ処理ないし大気圧プラズマ処理、グロ−放電処理、
化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処
理を任意に施すことができる。上記の表面前処理は、無
機酸化物の蒸着薄膜を形成後に別工程で実施してもよ
く、また、例えば、低温プラズマ処理やグロ−放電処理
等による表面処理の場合は、上記の無機酸化物の蒸着薄
膜を形成後、インライン処理により前処理で行うことが
でき、このような場合は、その製造コストを低減するこ
とができるという利点がある。上記の表面前処理は、無
機酸化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂シ−トの重層
対向面の密着性を改善するための方法として実施するも
のであるが、上記の密着性を改善する方法として、その
他、例えば、無機酸化物の蒸着薄膜の面、または、フッ
素系樹脂シ−トの面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、
アンダ−コ−ト剤層、あるいは、アンカ−コ−ト剤層等
を任意に形成することもできる。上記の前処理のコ−ト
剤層としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、アクリル系樹脂、その他等をビヒクルの主
成分とする樹脂組成物を使用することができる。また、
上記において、コ−ト剤層の形成法としては、例えば、
溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等のコ−ト
剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト
法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法を用いてコ−ト
することができる。

【００２４】上記の重層方法において、接着剤層を構成
する接着剤としては、例えば、ポリ酢酸ビニル系接着
剤、アクリル酸のエチル、ブチル、２−エチルヘキシル
エステル等のホモポリマ−、あるいは、これらとメタク
リル酸メチル、アクリロニトリル、スチレン等との共重
合体等からなるポリアクリル酸エステル系接着剤、シア
ノアクリレ−ト系接着剤、エチレンと酢酸ビニル、アク
リル酸エチル、アクリル酸、メタクリル酸等のモノマ−
との共重合体等からなるエチレン共重合体系接着剤、セ
ルロ−ス系接着剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド
系接着剤、ポリイミド系接着剤、尿素樹脂またはメラミ
ン樹脂等からなるアミノ樹脂系接着剤、フェノ−ル樹脂
系接着剤、エポキシ系接着剤ポリウレタン系接着剤、反
応型（メタ）アクリル系接着剤、クロロプレンゴム、ニ
トリルゴム、スチレン−ブタジエンゴム等からなるゴム
系接着剤、シリコ−ン系接着剤、アルカリ金属シリケ−
ト、低融点ガラス等からなる無機系接着剤、その他等の
接着剤を使用することがてきる。上記の接着剤の組成系
は、水性型、溶液型、エマルジョン型、分散型等のいず
れの組成物形態でもよく、また、その性状は、フィルム
・シ−ト状、粉末状、固形状等のいずれの形態でもよ
く、更に、接着機構については、化学反応型、溶剤揮発
型、熱溶融型、熱圧型等のいずれの形態でもよいもので
ある。而して、上記の接着剤は、例えば、ロ−ルコ−ト
法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等
のコ−ト法、あるいは、印刷法等によって施すことがで
きる。

【００２５】また、上記の重層方法において、溶融押し
出し接着性樹脂層を構成する溶融押し出し接着性樹脂と
しては、溶融押し出し成形が可能であり、かつ、熱によ
って溶融し相互に融着し得るものであればよく、例え
ば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度
ポリエチレン、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン、ポ
リプロピレ、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノ
マ−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチ
レン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共
重合体、エチレン−プロピレン共重合体、メチルペンテ
ンポリマ−、ポリエチレン若しくはポリプロピレン等の
ポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、マ
レイン酸、無水マレイン酸、フマ−ル酸、イタコン酸、
その他等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレ
フィン系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエステル系
樹脂、ポリスチレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹
脂、メタロセン触媒を用いて重合したエチレン−α・オ
レフィン共重合体、その他等の樹脂の１種ないしそれ以
上からなる樹脂を使用することができる。なお、本発明
において、上記の溶融押し出し接着性樹脂層としては、
上記に例示の樹脂の１種ないし２種以上を使用し、その
単独ないし共押し出し等による溶融押し出し接着性樹脂
層を構成することができる。而して、本発明において、
上記の溶融押し出し接着性樹脂層を介して重層する場合
には、より強固な接着強度を得るために、例えば、アン
カ−コ−ト剤等の接着助剤等を使用し、そのアンカ−コ
−ト剤層を介して、重層することができる。上記のアン
カ−コ−ト剤としては、例えば、アルキルチタネ−ト等
の有機チタン系、イソシアネ−ト系、ポリエチレンイミ
ン系、ポリプタジエン系、その他等の水性ないし油性の
各種のアンカ−コ−ト剤を使用することができる。上記
のアンカ−コ−ト剤は、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビ
アロ−ルコ−ト、キスコ−ト、その他等のコ−ティング
法を用いてコ−ティングすることができ、そのコ−ティ
ング量としては、０．１〜５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が
望ましい。また、上記の第３の方法においては、ラミネ
−ト用接着剤を使用し、その接着剤層を介して積層する
ことができる。

【００２６】また、上記の重層方法において、強度に優
れた樹脂シ−トとしては、物理的あるいは化学的強度に
優れ、寸法安定性等に富み、かつ、耐候性、耐熱性、耐
水性、耐光性、耐薬品性、絶縁性等等の諸堅牢性に優
れ、更に、可撓性、屈曲性等に富み、その加工適性に優
れた樹脂のフィルムないしシ−トを使用することがで
き、具体的には、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合
体、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリブチレンテレフ
タレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト、ポリテトラメチ
レンテレフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体
等のポリオレフィン系樹脂、ナイロン１２、ナイロン６
６等のポリアミド系樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミ
ド、ポリエ−テルイミド等のポリイミド系樹脂、ポリテ
トラフルオロエチレン、ポリトリフルオロエチレン、ポ
リフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル等の前述のフッ
素系樹脂、ポリエ−テルスルフォン、ポリエ−テルケト
ン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレ−ト、ポ
リエステルエ−テル、全芳香族ポリアミド、ポリカ−ボ
ネ−ト、環状ポリオレフィン系樹脂、その他等の、いわ
ゆる、強靱性に富む各種の樹脂のフィルムないしシ−ト
を使用することができる。而して、これらの樹脂のフィ
ルムないしシ−トは、単独ないし共押し出しのフィルム
ないしシ−ト、あるいは、未延伸、若しくは、一軸方向
または二軸方向に延伸したフィルムないしシ−ト等のい
ずれでもよく、また、その厚さは、６μｍないし３００
μｍ位、好ましくは、１０μｍないし１００μｍ位が望
ましい。

【００２７】而して、本発明においては、上記のような
強度に優れた樹脂シ−トを介在させて重層する場合に
は、前述の各種の接着剤は勿論のこと、更に、ラミネ−
ト用接着剤等を介して重層することができる。上記にお
いて、ラミネ−ト用接着剤としては、例えば、１液ない
し２液型の硬化ないし非硬化型のビニル系、（メタ）ア
クリル系、ポリアミド系、ポリエステル系、ポリウレタ
ン系、エポキシ系、フェノ−ル系、ゴム系、その他等の
溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等のラミネ
−ト用接着剤を使用することがてきる。なお、上記のラ
ミネ−ト用接着剤中には、例えば、シランカップリング
剤等の接着促進剤、あるいは、紫外線吸収剤、酸化防止
剤、安定剤、その他等の添加剤等を任意に添加すること
ができる。上記のラミネ−ト用接着剤のコ−ティング法
としては、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアロ−ルコ−
ト、キスコ−ト、その他等のコ−ティング法を用いてコ
−ティングすることができ、そのコ−ティング量として
は、０．１〜１０ｇ／ｍ²（乾燥状態）位が望ましい。

【００２８】また、本発明においては、上記の強度に優
れた樹脂シ−トの中でも、特に、エチレン−酢酸ビニル
共重合体、ポリエチレン系樹脂、または、環状ポリオレ
フィン系樹脂の１種ないし２種以上からなる単独ないし
共押し出しのフィルムないしシ−トを使用することが望
ましいものである。而して、上記の環状ポリオレフィン
系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、シク
ロペンタジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタジエ
ンおよびその誘導体、シクロヘキサジエンおよびその誘
導体、ノルボルナジエンおよびその誘導体、その他等の
環状ジエンのポリマ−、あるいは、該環状ジエンとエチ
レン、プロピレン、４−メチル−１−ペンテン、スチレ
ン、ブタジエン、イソプレン、その他等のオレフィン系
モノマ−の１種ないしそれ以上とのコポリマ−からなる
透明な環状ポリオレフィン系樹脂の１種ないし２種以上
を使用し、これを製膜化してなる環状ポリオレフィン系
樹脂のフィルムないしシ−ト使用することができる。な
お、本発明においては、上記の透明な環状ポリオレフィ
ン系樹脂の中でも、特に、シクロペンタジエンおよびそ
の誘導体、または、ジシクロペンタジエンおよびその誘
導体等の環状ジエンのポリマ−からなる透明な環状ポリ
オレフィン系樹脂が、耐候性、耐水性等に優れ、更に、
透明性を有し、太陽光の透過性等の観点から好ましいも
のである。而して、本発明において、上記のような環状
ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを採用す
ることにより、該環状ポリオレフィン系樹脂が有する優
れた特性、特に、機械的特性、光学特性等、更に、耐候
性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐防湿性、耐汚染性、耐
薬品性、その他等の諸特性を利用して、太陽電池を構成
する表面保護シ−トとするものであり、これにより、従
来のガラス板等と同等の光学特性、耐久性等を有し、ま
た、そのフレキシブル性や機械的特性等からガラス板よ
りも軽く、かつ、加工性等に優れ、そのハンドリングし
易い等の利点を有するものである。また、本発明におい
て、環状ポリオレフィン系樹脂としては、可視光透過率
が、９０％以上、好ましくは、９５％以上であって、入
射する太陽光を全て透過する透過性を有することが望ま
しいものである。ところで、本発明において、上記の環
状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トは、無
機酸化物の蒸着薄膜、あるいは、フッ素系樹脂シ−トと
の密接着性に優れ、その両者の接着強度は極めて強く、
その層間において剥離する等の現象は認められず、更
に、本発明においては、無機酸化物の蒸着薄膜と環状ポ
リオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トとの２層か
らなるバリア性膜を形成し、それにより、その酸素ガ
ス、水蒸気ガス等に対するバリア性、特に、水蒸気バリ
ア性を著しく向上させ、かつ、透明性、耐熱性、耐熱水
性、ラミネ−ト適性、その他等にも優れ、極めて良好な
表面保護シ−トを製造し得るものである。

【００２９】また、本発明において、上記の接着剤層、
溶融押し出し接着性樹脂層、あるいは、強度を有する樹
脂シ−トには、例えば、その加工性、耐熱性、耐候性、
機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、
難燃性、抗カビ性、電気的特性、その他等を改良、改質
する目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添
加することができ、その添加量としては、極く微量から
数十％まで、その目的に応じて、任意に添加することが
できる。また、上記において、一般的な添加剤として
は、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補強剤、帯電防止剤、
難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、その他等を
使用することができ、更には、改質用樹脂等も使用する
ことがてきる。本発明においては、上記の添加剤の中で
も、特に、紫外線吸収剤および／または酸化防止剤等を
使用することが好ましいものである。具体的には、例え
ば、上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の有害な紫
外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−へと変換
し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起されるのを防
止するものであり、例えば、ベンゾフェノン系、ベンゾ
トリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリルニトリル
系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒子酸化チ
タン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）あるいは超微
粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の無機系等
の紫外線吸収剤の１種ないしそれ以上を使用することが
できる。また、上記の酸化防止剤としては、高分子の光
劣化あるいは熱劣化等を防止するものであり、例えば、
フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、その他等の
酸化防止剤を使用することができる。更に、上記の紫外
線吸収剤あるいは酸化防止剤としては、例えば、ポリマ
−を構成する主鎖または側鎖に、上記のベンゾフェノン
系等の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−ル系等の酸
化防止剤を化学結合させてなるポリマ−型の紫外線吸収
剤あるいは酸化防止剤等も使用することができる。上記
の紫外線吸収剤の含有量としては、その粒子形状、密度
等によって異なるが、約０．１〜１０重量％位が好まし
い。

【００３０】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トについて説明すると、かかる表面保護シ−トとして
は、太陽光の透過性、絶縁性等を有し、更に、耐候性、
耐熱性、耐光性、耐水性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性を有し、物理的
あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、極めて耐久性
に富み、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保
護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優
れていることが必要である。上記の表面保護シ−トとし
ては、具体的には、例えば、公知のガラス板等は勿論の
こと、更に、例えば、フッ素系樹脂、ポリアミド系樹脂
（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレ
ン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン
系樹脂、ポリスチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹
脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セル
ロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフ
ィルムないしシ−トも使用することができる。また、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚と
しては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜
１５０μｍ位が望ましい。

【００３１】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収する
ことから透明性を有することが必要であり、また、表面
保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更
に、光起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性
を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、
更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とう
いことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れてい
ることが必要である。具体的には、上記の充填剤層とし
ては、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、ま
たは、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリ
プロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン
等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性し
た酸変性ポリオレンフィン系樹脂、環状ポリオレフィン
系樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリコ−ン系樹
脂、エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他
等の樹脂の１種ないし２種以上の混合物を使用すること
ができる。なお、本発明においては、上記の充填剤層を
構成する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性
等を向上させるために、その透明性を損なわない範囲
で、例えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定剤、紫外線
吸収剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤を任意に添加
し、混合することができるものである。而して、本発明
においては、太陽光の入射側の充填剤としては、耐光
性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考慮すると、フッ素系
樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、環状ポリオレフ
ィン系樹脂、シリコ−ン系樹脂が望ましい素材である。
なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜１００
０μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ位が望
ましい。

【００３２】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、結晶性シリコン太陽電池素子、多結晶
シリコン太陽電池素子、アモルファスシリコン太陽電池
素子、銅インジウムセレナイド太陽電池素子、化合物半
導体太陽電池素子、その他等を使用することができる。
更には、例えば、薄膜多結晶シリコン太陽電池素子、薄
膜微結晶シリコン太陽電池素子、または、薄膜結晶シリ
コン太陽電子素子とアモルファス太陽電池素子のハイブ
リット素子等を使用することができる。

【００３３】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系
樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、
エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その他等の
樹脂の１種ないし２種以上の混合物を使用することがで
きる。なお、本発明においては、上記の充填剤層を構成
する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性等を
向上させるために、その透明性を損なわない範囲で、例
えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収
剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤を任意に添加し、
混合することができるものである。なお、上記の充填剤
層の厚さとしては、２００〜１０００μｍ位、より好ま
しくは、３５０〜６００μｍ位が望ましい。

【００３４】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トについて説明すると、かかる太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トとしては、絶縁性の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができ、更に、耐熱性、耐光性、
耐水性等の耐候性を有し、物理的あるいは化学的強度
性、強靱性等に優れ、更に、光起電力素子としての太陽
電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃
吸収性等に優れていることが必要である。上記の裏面保
護シ−トとしては、具体的には、例えば、ポリアミド系
樹脂（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエ
チレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフ
ィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系
樹脂、アセタ−ル系樹脂、セルロ−ス系樹脂、（メタ）
アクリル系樹脂、フッ素系樹脂、その他等の各種の樹脂
のフィルムないしシ−トを使用することができる。上記
の樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、２軸
延伸した樹脂のフィルムないしシ−トも使用することが
できる。また、上記の樹脂のフィルムないしシ−トにお
いて、その膜厚としては、１２〜２００μｍ位、より好
ましくは、２５〜１５０μｍ位が望ましい。

【００３５】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。

【００３６】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、上記に挙げた本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トまた
は太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、
例えば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの
一方の面を内側にし、順次に、充填剤層、光起電力素子
としての太陽電池素子、充填剤層、および、通常の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を積層し、更に、
必要ならば、各層間に、その他の素材を任意に積層し、
次いで、これらを、真空吸引等により一体化して加熱圧
着するラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上
記の各層を一体成形体として加熱圧着成形して、太陽電
池モジュ−ルを製造することができる。上記において、
必要ならば、各層間の接着性等を高めるために、（メ
タ）アクリル系樹脂、オレフィン系樹脂、ビニル系樹
脂、その他等の樹脂をビヒクルの主成分とする加熱溶融
型接着剤、溶剤型接着剤、光硬化型接着剤、その他等を
使用することができる。

【００３７】また、上記の積層においては、各層の対向
面には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、
例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しく
は窒素ガス等を用いて低温プラズマ処理ないし大気圧プ
ラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処理
する酸化処理、その他等の前処理を任意に施すことがで
きる。更に、上記の表面前処理としては、その密着性を
改善する方法として、その他、例えば、予め、プライマ
−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、あるいは、アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成することもできる。上記の
前処理のコ−ト剤層としては、例えば、ポリエステル系
樹脂、ポリウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、その他等
をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用することが
できる。また、上記において、コ−ト剤層の形成法とし
ては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョ
ン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビア
ロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法を
用いてコ−トすることができる。更に、上記の表面前処
理としては、その密着性を改善する方法として、前述の
無機酸化物の蒸着薄膜を形成する方法と同様にして、膜
厚２０〜１００Å位、好ましくは、膜厚３０〜６０Å位
の薄く、バリア性能のない無機酸化物の蒸着薄膜を形成
し、これを表面前処理層とすることもできる。

【００３８】

【実施例】次に、本発明について実施例を挙げて更に具
体的に説明する。 実施例１ （１）．基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル
樹脂シ−ト（ＰＶＦ）を使用し、これを巻き取り式真空
蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ
−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、ア
ルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、
エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸
着法により、上記のポリフッ化ビニル樹脂シ−トの易接
着処理面に、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄
膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 （２）．次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウム
の蒸着薄膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装
置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ
₂ ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガ
スを使用し、混合ガス圧６Ｘ１０^-5Ｔｏｏｒ、処理速度
４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処
理を行って、プラズマ処理面を形成した。 （３）．次に、上記で酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形
成したポリフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その両プ
ラズマ処理面に、２液硬化型のポリウレタン系ラミネ−
ト用接着剤をグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングし
て、厚さ１．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のラミネ−ト用接
着剤層を形成し、次いで、該ラミネ−ト用接着剤層面を
対向させ、その面に、厚さ２０μｍのポリジシクロペン
タジエン樹脂フィルムをドライラミネ−トして、本発明
にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その一方のポリフッ化ビニル樹脂シ−−ト（Ｐ
ＶＦ）面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍ
の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、そ
の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代
わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレン−エチ
レンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦ
Ｅ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽
電池モジュ−ルを製造することができた。また、上記に
おいて、厚さ２０μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂
フィルムの代わりに、厚さ２０μｍのポリシクロペンタ
ジエン樹脂フィルムを使用し、上記と全く同様にして、
同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。更に、上記において、酸化アルミニウムの蒸着薄膜
を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その
酸化アルミニウムの蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂
シ−ト面とを対向させて重層し、上記と同様にして、上
記と同様に本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することがで
きた。

【００３９】実施例２ （１）．基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル
樹脂フィルム（ＰＶＦ）を使用し、これをプラズマ化学
気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条件で
厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記のポリフッ化
ビニル樹脂フィルムの易接着処理面に形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 （２）．次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄
膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着
薄膜面に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎ
でコロナ放電処理を行って、蒸着薄膜面の表面張力を３
５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させたコロナ処理面
を形成した。 （３）．次に、上記で酸化珪素の蒸着薄膜を形成したポ
リフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その両コロナ処理
面に、２液硬化型のポリウレタン系ラミネ−ト用接着剤
をグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ
１．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のラミネ−ト用接着剤層を
形成し、次いで、該ラミネ−ト用接着剤層面を対向させ
て、その面に、厚さ２０μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂フィルムをドライラミネ−トして、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その一方のポリフッ化ビニル樹脂シ−−ト（Ｐ
ＶＦ）面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍ
の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、そ
の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代
わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレン−エチ
レンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦ
Ｅ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽
電池モジュ−ルを製造することができた。また、上記に
おいて、厚さ２０μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂
フィルムの代わりに、厚さ２０μｍのポリシクロペンタ
ジエン樹脂フィルムを使用し、上記と全く同様にして、
同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。更に、上記において、酸化珪素の蒸着薄膜を形成し
たポリフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その酸化珪素
の蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向
させて重層しても、上記と同様にして、上記と同様に本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００４０】実施例３ （１）．基材として、紫外線吸収剤を練り込み加工した
厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶ
Ｆ）を使用し、上記の実施例２と全く同様にして、厚さ
５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更に、その酸
化珪素の蒸着薄膜面に、コロナ放電処理面を形成した。 （２）．次に、上記でコロナ処理を行った酸化珪素の蒸
着薄膜を形成したポリフッ化ビニル樹脂フィルムを使用
し、上記の実施例１と全く同様にして、上記のポリフッ
化ビニル樹脂フィルムの酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処
理面に、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を
形成し、更に、酸化アルミニウムの蒸着薄膜面に、プラ
ズマ処理面を形成した。 （３）．次に、上記で酸化珪素の蒸着薄膜と酸化アルミ
ニウムの蒸着薄膜を形成したポリフッ化ビニル樹脂フィ
ルムの２層を使用し、その両プラズマ処理面に、超微粒
子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）から
なる紫外線吸収剤の微量を添加した２液硬化型のポリウ
レタン系ラミネ−ト用接着剤をグラビアロ−ルコ−ト法
でコ−ティングして、厚さ５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）
のラミネ−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ラミネ−
ト用接着剤層を対向させて積層して、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その一方のポリフッ化ビニル樹脂シ−−ト（Ｐ
ＶＦ）面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍ
の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、そ
の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ化
ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代わりに、紫外線吸収剤
を練り込み加工した厚さ５０μｍのテトラフルオロエチ
レン−エチレンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト
（ＥＴＦＥ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。ま
た、上記において、酸化珪素の蒸着薄膜と酸化アルミニ
ウムの蒸着薄膜とを形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−
トの２層を、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜面とポリ
フッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向させて重層し、上記
と同様にして、上記と同様に本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを
製造することができた。

【００４１】実施例４ 上記の実施例１において製造した酸化アルミニウムの蒸
着薄膜を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶ
Ｆ）の２層を使用し、その両プラズマ処理面に、ポリウ
レタン系アンカ−コ−ト剤をグラビアロ−ルコ−ト法で
コ−ティングして、厚さ０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）の
アンカ−コ−ト剤層を形成し、次いで、該アンカ−コ−
ト剤層面に、ポリジシクロペンタジエン樹脂を使用し、
これを溶融押し出しコ−トして、厚さ１００μｍのポリ
ジシクロペンタジエン樹脂膜を形成して、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。次い
で、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを
太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを使用し、上記の
実施例１と同様にして本発明にかかる太陽電池モジュ−
ルを製造した。また、上記において、ポリジシクロペン
タジエン樹脂の代わりに、ポリシクロペンタジエン樹脂
を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池
モジュ−ルを製造することができた。更に、上記におい
て、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成したポリフッ化
ビニル樹脂シ−トの２層を、その酸化アルミニウムの蒸
着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向させ
て重層し、上記と同様にして、上記と同様に本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電
池モジュ−ルを製造することができた。

【００４２】実施例５ 上記の実施例２において製造した酸化珪素の蒸着薄膜を
形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の２層
を使用し、その両コロナ処理面に、ポリウレタン系アン
カ−コ−ト剤をグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティング
して、厚さ０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）のアンカ−コ−
ト剤層を形成し、次いで、該アンカ−コ−ト剤層面に、
ポリジシクロペンタジエン樹脂を使用し、これを溶融押
し出しコ−トして、厚さ３０μｍのポリジシクロペンタ
ジエン樹脂膜を形成して、本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トを製造した。次いで、上記で製造し
た太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トを使用し、上記の実施例２と同様に
して本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。ま
た、上記において、ポリジシクロペンタジエン樹脂の代
わりに、ポリノルボルナジエン樹脂を使用し、上記と全
く同様にして、同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造す
ることができた。更に、上記において、酸化珪素の蒸着
薄膜を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、
その酸化珪素の蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト面とを対向させて重層しても、上記と同様にして、上
記と同様に本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することがで
きた。

【００４３】実施例６ 上記の実施例１において製造した酸化アルミニウムの蒸
着薄膜を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶ
Ｆ）の２層を使用し、その両プラズマ処理面に、超微粒
子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）から
なる紫外線吸収剤の微量を添加した２液硬化型のポリウ
レタン系ラミネ−ト用接着剤をグラビアロ−ルコ−ト法
でコ−ティングして、厚さ１．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）
のラミネ−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ラミネ−
ト用接着剤層を対向させて、その面に、厚さ２０μｍの
ポリジシクロペンタジエン樹脂フィルムをドライラミネ
−トして、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トを製造した。次いで、上記で製造した太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
−トを使用し、上記の実施例１と同様にして本発明にか
かる太陽電池モジュ−ルを製造した。また、上記におい
て、ポリジシクロペンタジエン樹脂フィルムの代わり
に、ポリシクロペンタジエン樹脂フィルムを使用し、上
記と全く同様にして、同様な本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを
製造することができた。更に、上記において、酸化アル
ミニウムの蒸着薄膜を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ
−トの２層を、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜面とポ
リフッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向させて重層し、上
記と同様にして、上記と同様に本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ル
を製造することができた。

【００４４】実施例７ （１）．上記の実施例１で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの一方のポリフ
ッ化ビニル樹脂シ−ト面に、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンか
らなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４０
０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代
わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレン−エチ
レンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦ
Ｅ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽
電池モジュ−ルを製造することができた。また、上記に
おいて、厚さ２０μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂
フィルムの代わりに、厚さ２０μｍのポリシクロペンタ
ジエン樹脂フィルムを使用し、上記と全く同様にして、
同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。更に、上記において、酸化アルミニウムの蒸着薄膜
を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その
酸化アルミニウムの蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂
シ−ト面とを対向させて重層し、上記と同様にして、上
記と同様に本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することがで
きた。

【００４５】実施例８ （１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの一方のポリフ
ッ化ビニル樹脂シ−ト面に、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンか
らなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４０
０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代
わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレン−エチ
レンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦ
Ｅ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽
電池モジュ−ルを製造することができた。また、上記に
おいて、厚さ２０μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂
フィルムの代わりに、厚さ２０μｍのポリシクロペンタ
ジエン樹脂フィルムを使用し、上記と全く同様にして、
同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。更に、上記において、酸化珪素の蒸着薄膜を形成し
たポリフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その酸化珪素
の蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向
させて重層しても、上記と同様にして、上記と同様に本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００４６】実施例９ （１）．上記の実施例３で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの一方のポリフ
ッ化ビニル樹脂シ−ト面に、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンか
らなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４０
０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ化
ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代わりに、紫外線吸収剤
を練り込み加工した厚さ５０μｍのテトラフルオロエチ
レン−エチレンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト
（ＥＴＦＥ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。ま
た、上記において、酸化珪素の蒸着薄膜と酸化アルミニ
ウムの蒸着薄膜とを形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−
トの２層を、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜面とポリ
フッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向させて重層し、上記
と同様にして、上記と同様に本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを
製造することができた。

【００４７】実施例１０ （１）．上記の実施例４で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの一方のポリフ
ッ化ビニル樹脂シ−ト面に、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンか
らなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４０
０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そ
の太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着
剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ルを製造した。また、上記において、ポリジシクロペ
ンタジエン樹脂の代わりに、ポリシクロペンタジエン樹
脂を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電
池モジュ−ルを製造することができた。更に、上記にお
いて、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成したポリフッ
化ビニル樹脂シ−トの２層を、その酸化アルミニウムの
蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向さ
せて重層し、上記と同様にして、上記と同様に本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽
電池モジュ−ルを製造することができた。

【００４８】実施例１１ 上記の実施例５で製造した太陽電池モジュ−ル用表面保
護シ−トをを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その
太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの一方のポリフッ
化ビニル樹脂シ−ト面に、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンから
なる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００
μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、
上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太
陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層
を介して積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
を製造した。また、上記において、ポリジシクロペンタ
ジエン樹脂の代わりに、ポリノルボルナジエン樹脂を使
用し、上記と全く同様にして、同様な本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジ
ュ−ルを製造することができた。更に、上記において、
酸化珪素の蒸着薄膜を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ
−トの２層を、その酸化珪素の蒸着薄膜面とポリフッ化
ビニル樹脂シ−ト面とを対向させて重層しても、上記と
同様にして、上記と同様に本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製
造することができた。

【００４９】実施例１２ 上記の実施例６で製造した太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、その太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トの一方のポリフッ化ビニ
ル樹脂シ−ト面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビ
ニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太
陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍの
エチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池
素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介し
て積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造
した。また、上記において、ポリジシクロペンタジエン
樹脂フィルムの代わりに、ポリシクロペンタジエン樹脂
フィルムを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、
太陽電池モジュ−ルを製造することができた。更に、上
記において、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成したポ
リフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その酸化アルミニ
ウムの蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂シ−ト面とを
対向させて重層し、上記と同様にして、上記と同様に本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００５０】実施例１３ （１）．上記の実施例１で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍの
エチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシ
リコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８
μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、
厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−
ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを、その太陽電池素子面を上に向けて、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代
わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレン−エチ
レンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦ
Ｅ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽
電池モジュ−ルを製造することができた。また、上記に
おいて、厚さ２０μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂
フィルムの代わりに、厚さ２０μｍのポリシクロペンタ
ジエン樹脂フィルムを使用し、上記と全く同様にして、
同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。更に、上記において、酸化アルミニウムの蒸着薄膜
を形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その
酸化アルミニウムの蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂
シ−ト面とを対向させて重層し、上記と同様にして、上
記と同様に本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することがで
きた。

【００５１】実施例１４ （１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池素子
面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積
層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代
わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレン−エチ
レンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦ
Ｅ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽
電池モジュ−ルを製造することができた。また、上記に
おいて、厚さ２０μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂
フィルムの代わりに、厚さ２０μｍのポリシクロペンタ
ジエン樹脂フィルムを使用し、上記と全く同様にして、
同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。更に、上記において、酸化珪素の蒸着薄膜を形成し
たポリフッ化ビニル樹脂シ−トの２層を、その酸化珪素
の蒸着薄膜面とポリフッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向
させて重層しても、上記と同様にして、上記と同様に本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００５２】実施例１５ （１）．上記の実施例３で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−ト、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池素子
面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積
層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造し
た。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての紫外
線吸収剤を練り込み加工した厚さ５０μｍのポリフッ化
ビニル樹脂シ−ト（ＰＶＦ）の代わりに、紫外線吸収剤
を練り込み加工した厚さ５０μｍのテトラフルオロエチ
レン−エチレンコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト
（ＥＴＦＥ）を使用し、上記と全く同様にして、同様な
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。ま
た、上記において、酸化珪素の蒸着薄膜と酸化アルミニ
ウムの蒸着薄膜とを形成したポリフッ化ビニル樹脂シ−
トの２層を、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜面とポリ
フッ化ビニル樹脂シ−ト面とを対向させて重層し、上記
と同様にして、上記と同様に本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを
製造することができた。

【００５３】比較例１ 基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−トを使用し、これを太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トとし、更に、これを太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トとして使用し、その片面に、厚さ４００μｍ
のエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファス
シリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３
８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向
けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して順次に積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５４】比較例２ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィ
ルム（ＰＶＦ）を使用し、これを太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トとし、更に、これを太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トとして使用し、その片面に、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファ
スシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ
３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ
−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向
けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太
陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５５】比較例３ 基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−トを使用し、これを太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トとし、更に、これを太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとし
て使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの
片面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−
酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池素子面を上
に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５６】比較例４ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィ
ルム（ＰＶＦ）を使用し、これを太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トとし、更に、これを太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トと太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、その太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト
の片面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素
子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その太陽電池素子面を
上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５７】実験例 上記の実施例１〜１５で製造した本発明にかかる保護シ
−トと比較例１〜４にかかる保護シ−トについて、全光
線透過率を測定し、また、上記の実施例１〜１５で製造
した太陽電池モジュ−ルと比較例１〜４で製造した太陽
電池モジュ−ルについて太陽電池モジュ−ル評価試験を
行った。 （１）．全光線透過率の測定 これは、基材フィルムを基準とし、実施例１〜１５で製
造した本発明にかかる保護シ−トと比較例１〜４にかか
る保護シ−トについてカラ−コンピュ−タ−を使用して
全光線透過率（％）を測定した。 （２）．太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜１５で製造した本発明にか
かる保護シ−トと比較例１〜４にかかる保護シ−トにつ
いて、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モ
コン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラ
ン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定し、更に、酸素透
過度は、上記と同様の対象物について、温度２３℃、湿
度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社
製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕
にて測定した。上記の測定結果について下記の表１に示
す。

【００５８】 上記の表１において、水蒸気透過度は、〔ｇ／ｍ² ／ｄ
ａｙ・４０℃・１００％ＲＨ〕の単位であり、また、酸
素透過度は、〔ｃｃ／ｍ² ／ｄａｙ・２３℃・９０％Ｒ
Ｈ〕の単位である。

【００５９】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜１５にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トは、全光線透過率が高く、また、水蒸気バリア
性、酸素バリア性に優れていた。また、実施例１〜１５
にかかる保護シ−トを使用した太陽電池モジュ−ルは、
その出力低下率も低いものであった。これに対し、比較
例１〜４にかかる保護シ−トは、全光線透過率が高いも
のの、水蒸気バリア性、酸素バリア性が低く、そのた
め、これを使用した太陽電池モジュ−ルは、出力低下率
が高い等の問題点があった。

【００６０】

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
まず、フッ素系樹脂シ−トを基材シ−トとして使用し、
その片面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニウム等
の透明な、ガラス質からなる無機酸化物の蒸着薄膜を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹
脂シ−トの少なくとも２層を、例えば、接着剤層等を介
して、重層して太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造
し、而して、該太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トまたは太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−トとして使用し、例えば、上記の太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その一方の面を
内側にし、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素
子、充填剤層、および、通常の太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−ト層等を順次に積層し、次いで、これらを一
体的に真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション法等を
利用して太陽電池モジュ−ルを製造して、太陽光の透過
性に優れ、かつ、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱性、
耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿
性、防汚性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸
素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その長
期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、
保護能力が高く、かつ、より低コストで安全な太陽電池
モジュ−ルを安定的に製造し得ることができるというも
のである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図４】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図５】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図６】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図７】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図８】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図９】物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸
着装置の概略的構成図である。

【図１０】化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜
を形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化
学気相成長装置の概略的構成図である。

【符号の説明】

Ａ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₁ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₂ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₃ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₄ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト １ フッ素系樹脂シ−ト ２ 無機酸化物の蒸着薄膜 ２ａ 無機酸化物の蒸着薄膜 ２ｂ 無機酸化物の蒸着薄膜 ３ 接着剤層 ４ 強度に優れた樹脂シ−ト ５ 多層膜 ６ 複合膜 Ｔ 太陽電池モジュ−ル Ｔ₁ 太陽電池モジュ−ル Ｔ₂ 太陽電池モジュ−ル １１ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １２ 充填剤層 １３ 太陽電池素子 １４ 充填剤層 １５ 裏面保護シ−ト １６ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト １７ 表面保護シ−ト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴浦 泰樹 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 後藤 貴和 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 新尾 栄樹 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 續木 淳朗 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AA17B AA17D AA19 AK01E AK01G AK17A AK17C AK28 AK51G BA04 BA05 BA07 BA08 BA10A BA10D BA13 CA06A CA06C CA06E CA06G CA07A CA07C CA07E CA07G CB02 EH23G EH66B EH66D EJ61 GB41 JB01 JB07 JD04 JJ03 JK01 JL06 JL09 JM02B JM02D JN01A JN01C YY00A YY00C 5F051 BA14 BA15 BA18 EA01 EA18 GA03 GA05 JA02 JA05

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フッ素系樹脂シ−トの片面に、無機酸化
   物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜を
   設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を重層
   したことを特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−
   ト。
2. 【請求項２】 フッ素系樹脂シ−トの片面に、無機酸化
   物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜を
   設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を重層
   して太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを構成するこ
   とを特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
3. 【請求項３】 フッ素系樹脂シ−トの片面に、無機酸化
   物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜を
   設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を重層
   して太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを構成するこ
   とを特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
4. 【請求項４】 接着剤層、溶融押し出し接着性樹脂層、
   または、強度に優れた樹脂シ−トを介して、重層したこ
   とを特徴とする上記の請求項１〜３に記載する太陽電池
   モジュ−ル用保護シ−ト。
5. 【請求項５】 フッ素系樹脂シ−トが、可視光透過率９
   ０％以上であることを特徴とする上記の請求項１〜４に
   記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
6. 【請求項６】 フッ素系樹脂シ−トが、紫外線吸収剤お
   よび／または酸化防止剤を含有することを特徴とする上
   記の請求項１〜５に記載する太陽電池モジュ−ル用保護
   シ−ト。
7. 【請求項７】 無機酸化物の蒸着薄膜が、無機酸化物の
   蒸着薄膜の１層若しくは２層以上の多層膜、または、異
   種の無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上の複合膜からなる
   ことを特徴とする上記の請求項１〜６に記載する太陽電
   池モジュ−ル用保護シ−ト。
8. 【請求項８】 接着剤層、溶融押し出し接着性樹脂層、
   または、強度に優れた樹脂シ−トが、紫外線吸収剤およ
   び／または酸化防止剤を含有することを特徴とする上記
   の請求項４〜７に記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ
   −ト。
9. 【請求項９】 フッ素系樹脂シ−トの片面に、無機酸化
   物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜を
   設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を重層
   したことからなる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト
   の一方の面に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電
   池素子、充填剤層、および、太陽電池モジュ−ル用裏面
   保護シ−ト層を順次に積層し、これらを真空吸引して加
   熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体としたこと
   を特徴とする太陽電池モジュ−ル。
10. 【請求項１０】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
    ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充
    填剤層、および、フッ素系樹脂シ−トの片面に、無機酸
    化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜
    を設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を重
    層して構成した太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを
    順次に積層し、これらを真空吸引して加熱圧着ラミネ−
    ション法等により一体成形体としたことを特徴とする太
    陽電池モジュ−ル。
11. 【請求項１１】 フッ素系樹脂シ−トの片面に、無機酸
    化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜
    を設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２層以上を重
    層して構成した太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの
    一方の面に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池
    素子、充填剤層、および、フッ素系樹脂シ−トの片面
    に、無機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物
    の蒸着薄膜を設けたフッ素系樹脂シ−トの少なくとも２
    層以上を重層して構成した太陽電池モジュ−ル用裏面保
    護シ−トを順次に積層し、これらを真空吸引して加熱圧
    着ラミネ−ション法等により一体成形体としたことを特
    徴とする太陽電池モジュ−ル。