JP2001039728A - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法Info
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 屈折率分布が径方向に滑らかに変化したＧＩ
型光ファイバの製造に好適な多孔質母材を容易に得るこ
とのできる多孔質母材の製造方法を提供する。 【解決手段】 バーナー２からガラス原料ガスと火炎を
噴出させ、該火炎中でガラス微粒子３を生成させて出発
材上に堆積させ多孔質ガラス母材５とするＶＡＤ法にお
いて、該多孔質ガラス母材５の先端を該火炎に対して相
対的に振動させることを特徴としている。多孔質母材と
火炎との相対位置を振動させるには、シャフト８に取り
付けられた振動発生機構９による方法、シャフト８の剛
性を十分に高くせずに、回転時の遠心力によってシャフ
ト８をたわませ、多孔質母材の先端が必要量振れるよう
にして製造する方法（ｂ）があり、また、他の方法とし
て、火炎の周辺に取りつけた送風装置からの気流によ
り、火炎の位置を振動させたり（ｃ）、バーナー２にバ
ーナー振動機構１１を取り付け、これにより火炎の位置
を振動させる方法（ｄ）等が挙げられる。
型光ファイバの製造に好適な多孔質母材を容易に得るこ
とのできる多孔質母材の製造方法を提供する。 【解決手段】 バーナー２からガラス原料ガスと火炎を
噴出させ、該火炎中でガラス微粒子３を生成させて出発
材上に堆積させ多孔質ガラス母材５とするＶＡＤ法にお
いて、該多孔質ガラス母材５の先端を該火炎に対して相
対的に振動させることを特徴としている。多孔質母材と
火炎との相対位置を振動させるには、シャフト８に取り
付けられた振動発生機構９による方法、シャフト８の剛
性を十分に高くせずに、回転時の遠心力によってシャフ
ト８をたわませ、多孔質母材の先端が必要量振れるよう
にして製造する方法（ｂ）があり、また、他の方法とし
て、火炎の周辺に取りつけた送風装置からの気流によ
り、火炎の位置を振動させたり（ｃ）、バーナー２にバ
ーナー振動機構１１を取り付け、これにより火炎の位置
を振動させる方法（ｄ）等が挙げられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用多孔
質母材、特には、径方向に屈折率分布が滑らかに変化し
たグレーデッドインデックス型（ＧＩ型）のマルチモー
ド光ファイバを得るのに好適な光ファイバ用多孔質母材
（以下、単に多孔質母材という）の製造方法に関する。
質母材、特には、径方向に屈折率分布が滑らかに変化し
たグレーデッドインデックス型（ＧＩ型）のマルチモー
ド光ファイバを得るのに好適な光ファイバ用多孔質母材
（以下、単に多孔質母材という）の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＶＡＤ法による多孔質母材の製造は、Ｓ
ｉＣｌ4 等のガラス微粒子原料及びＧｅＣｌ4 等の屈折
率調整用添加物を可燃ガス（Ｈ2 ）、助燃ガス（Ｏ2 ）
とともにガラス微粒子合成用バーナーに供給して酸水素
火炎中で加水分解反応させてガラス微粒子を形成し、こ
れをターゲット棒に堆積させることにより行われる。
ｉＣｌ4 等のガラス微粒子原料及びＧｅＣｌ4 等の屈折
率調整用添加物を可燃ガス（Ｈ2 ）、助燃ガス（Ｏ2 ）
とともにガラス微粒子合成用バーナーに供給して酸水素
火炎中で加水分解反応させてガラス微粒子を形成し、こ
れをターゲット棒に堆積させることにより行われる。
【０００３】図１に、一般的なＶＡＤ法による多孔質母
材の製造装置を示す。チャンバ１内において、ガラス微
粒子合成用バーナー２で生成させたガラス微粒子３を、
回転しつつ上昇するターゲット棒４に付着・堆積させて
コアとクラッドからなる多孔質母材５を得る。ガラス微
粒子は主にＳｉＯ2 からなり、その他に屈折率調整用の
ドーパントとしてＧｅＯ2 等を含んでいる。付着しなか
ったガラス微粒子６は、排気管７を通って排気される。
多孔質母材５は、その後、加熱・脱水して透明ガラス化
処理されて光ファイバ用ガラス母材となり、これを線引
きすることで光ファイバが得られる。
材の製造装置を示す。チャンバ１内において、ガラス微
粒子合成用バーナー２で生成させたガラス微粒子３を、
回転しつつ上昇するターゲット棒４に付着・堆積させて
コアとクラッドからなる多孔質母材５を得る。ガラス微
粒子は主にＳｉＯ2 からなり、その他に屈折率調整用の
ドーパントとしてＧｅＯ2 等を含んでいる。付着しなか
ったガラス微粒子６は、排気管７を通って排気される。
多孔質母材５は、その後、加熱・脱水して透明ガラス化
処理されて光ファイバ用ガラス母材となり、これを線引
きすることで光ファイバが得られる。
【０００４】このようにして得られる光ファイバの屈折
率分布は、多孔質母材製造時の屈折率調整用添加物であ
るドーパントの火炎中での空間分布及び多孔質母材の表
面温度分布、火炎の温度分布によって変化する。光ファ
イバの屈折率分布は、用途に応じて図２（ａ）に示すよ
うなグレーデッドインデックス型や、図２（ｂ）に示す
ようなステップインデックス型などさまざまな形状のも
のがある。
率分布は、多孔質母材製造時の屈折率調整用添加物であ
るドーパントの火炎中での空間分布及び多孔質母材の表
面温度分布、火炎の温度分布によって変化する。光ファ
イバの屈折率分布は、用途に応じて図２（ａ）に示すよ
うなグレーデッドインデックス型や、図２（ｂ）に示す
ようなステップインデックス型などさまざまな形状のも
のがある。
【０００５】ＶＡＤ法での屈折率分布の制御は、従来、
バーナーとスート（ガラス微粒子の堆積体）との相対位
置やガス流量によって調整するといった方法でなされて
きたが、思い通りの屈折率分布を得ることは非常に困難
であった。特にグレーデッドインデックス型のマルチモ
ード光ファイバは、屈折率分布が滑らかに変化している
必要があり、ステップインデックス型のシングルモード
光ファイバなどに比べて、屈折率分布が伝送特性に与え
る影響が遥かに大きいため、ＶＡＤ法で所望の屈折率分
布を有する多孔質母材を得ることは極めて困難であっ
た。
バーナーとスート（ガラス微粒子の堆積体）との相対位
置やガス流量によって調整するといった方法でなされて
きたが、思い通りの屈折率分布を得ることは非常に困難
であった。特にグレーデッドインデックス型のマルチモ
ード光ファイバは、屈折率分布が滑らかに変化している
必要があり、ステップインデックス型のシングルモード
光ファイバなどに比べて、屈折率分布が伝送特性に与え
る影響が遥かに大きいため、ＶＡＤ法で所望の屈折率分
布を有する多孔質母材を得ることは極めて困難であっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、屈折率分布
が径方向に滑らかに変化したＧＩ型光ファイバの製造に
好適な多孔質母材を容易に得ることのできる多孔質母材
の製造方法を提供することを目的としている。
が径方向に滑らかに変化したＧＩ型光ファイバの製造に
好適な多孔質母材を容易に得ることのできる多孔質母材
の製造方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の多孔質母材の製
造方法は、バーナーからガラス原料ガスと火炎を噴出さ
せ、該火炎中でガラス微粒子を生成させて出発材上に堆
積させ多孔質ガラス母材とするＶＡＤ法において、該多
孔質母材の先端を該火炎に対して相対的に振動させるこ
とを特徴とし、多孔質母材の火炎に対する相対的振動
を、多孔質母材の位置を変化させることにより生じさせ
るのが好ましく、この多孔質母材の位置を変化させるに
は、多孔質母材を支持するシャフトを振動させることに
より、あるいは多孔質母材を支持するシャフトをたわま
せることにより行ってもよい。
造方法は、バーナーからガラス原料ガスと火炎を噴出さ
せ、該火炎中でガラス微粒子を生成させて出発材上に堆
積させ多孔質ガラス母材とするＶＡＤ法において、該多
孔質母材の先端を該火炎に対して相対的に振動させるこ
とを特徴とし、多孔質母材の火炎に対する相対的振動
を、多孔質母材の位置を変化させることにより生じさせ
るのが好ましく、この多孔質母材の位置を変化させるに
は、多孔質母材を支持するシャフトを振動させることに
より、あるいは多孔質母材を支持するシャフトをたわま
せることにより行ってもよい。
【０００８】また、多孔質母材の先端に対して、バーナ
ーで生じる火炎の位置を変化させることで相対的に振動
させることもできる。この火炎の位置は、火炎の横方向
からの周期的または非周期的な気流により、あるいはバ
ーナーの移動により変化させることができる。この多孔
質母材を脱水・ガラス化して、屈折率分布がグレーデッ
ドインデックス型である光ファイバ用ガラス母材が得ら
れる。
ーで生じる火炎の位置を変化させることで相対的に振動
させることもできる。この火炎の位置は、火炎の横方向
からの周期的または非周期的な気流により、あるいはバ
ーナーの移動により変化させることができる。この多孔
質母材を脱水・ガラス化して、屈折率分布がグレーデッ
ドインデックス型である光ファイバ用ガラス母材が得ら
れる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の多孔質母材の製造方法に
ついて、図３〜図５を用いて詳細に説明する。図３
（ａ）〜（ｄ）は、本発明のＶＡＤ法による多孔質母材
の製造方法を示す。チャンバ１内において、ガラス微粒
子合成用バーナー２で生成したガラス微粒子３を、回転
しつつ上昇するターゲット棒４に付着させて多孔質母材
５を得る。付着しなかったガラス微粒子６は火炎排気ガ
スとともに排気管７からチャンバ１外へ排出される。ガ
ラス微粒子は主にＳｉＯ2 からなり、その他の屈折率調
整用のドーパントとしてＧｅＯ2 等を含んでいる。多孔
質母材中のドーパントの濃度分布は、火炎中のドーパン
トの空間分布と火炎及び多孔質母材表面の温度分布等に
より決まる。このとき、多孔質母材と火炎との相対位置
を変化（振動）させることで、多孔質母材表面における
ドーパントを含むガラス微粒子堆積時の濃度勾配を平均
化し、滑らかな分布とすることができる。
ついて、図３〜図５を用いて詳細に説明する。図３
（ａ）〜（ｄ）は、本発明のＶＡＤ法による多孔質母材
の製造方法を示す。チャンバ１内において、ガラス微粒
子合成用バーナー２で生成したガラス微粒子３を、回転
しつつ上昇するターゲット棒４に付着させて多孔質母材
５を得る。付着しなかったガラス微粒子６は火炎排気ガ
スとともに排気管７からチャンバ１外へ排出される。ガ
ラス微粒子は主にＳｉＯ2 からなり、その他の屈折率調
整用のドーパントとしてＧｅＯ2 等を含んでいる。多孔
質母材中のドーパントの濃度分布は、火炎中のドーパン
トの空間分布と火炎及び多孔質母材表面の温度分布等に
より決まる。このとき、多孔質母材と火炎との相対位置
を変化（振動）させることで、多孔質母材表面における
ドーパントを含むガラス微粒子堆積時の濃度勾配を平均
化し、滑らかな分布とすることができる。
【００１０】多孔質母材と火炎との相対位置を振動させ
るには、図３（ａ）に示すように、多孔質母材を吊って
いるシャフト８に取り付けられた振動発生機構９によっ
て多孔質母材５の先端を振動させ、火炎との相対位置を
変化させることができる。このとき、図示していない多
孔質母材位置検出機構により多孔質母材先端の振幅及び
振動周期を測定し、これを振動発生機構９にフィードバ
ックすることで、振動状態をガラス微粒子の堆積中、多
孔質母材の長手方向にわたって一定とし、品質を長手方
向に安定化させることができる。
るには、図３（ａ）に示すように、多孔質母材を吊って
いるシャフト８に取り付けられた振動発生機構９によっ
て多孔質母材５の先端を振動させ、火炎との相対位置を
変化させることができる。このとき、図示していない多
孔質母材位置検出機構により多孔質母材先端の振幅及び
振動周期を測定し、これを振動発生機構９にフィードバ
ックすることで、振動状態をガラス微粒子の堆積中、多
孔質母材の長手方向にわたって一定とし、品質を長手方
向に安定化させることができる。
【００１１】多孔質母材位置検出機構としては、ＣＣＤ
カメラと画像処理装置を組み合わせた装置、あるいはレ
ーザー距離測定機等が挙げられ、これらを用いて多孔質
母材の位置を検出することができる。また、図３（ｂ）
に示すように、シャフト８の剛性を十分に高くせずに、
回転時に多孔質母材に作用する遠心力によってシャフト
８をたわませ、多孔質母材の先端が必要量振れるように
して製造する方法もある。この方法は、多孔質母材の回
転数を制御することで振幅を一定に保つことができる。
カメラと画像処理装置を組み合わせた装置、あるいはレ
ーザー距離測定機等が挙げられ、これらを用いて多孔質
母材の位置を検出することができる。また、図３（ｂ）
に示すように、シャフト８の剛性を十分に高くせずに、
回転時に多孔質母材に作用する遠心力によってシャフト
８をたわませ、多孔質母材の先端が必要量振れるように
して製造する方法もある。この方法は、多孔質母材の回
転数を制御することで振幅を一定に保つことができる。
【００１２】多孔質母材と火炎との位置を相対的に振動
させる他の方法として、図３（ｃ）に示すように、火炎
の周辺に送風装置１０ａ，１０ｂを取りつけ、周期的ま
たは非周期的に送風する気流により、火炎の位置を振動
させたり、図３（ｄ）に示すように、バーナー２にバー
ナー振動機構１１を取り付け、これにより火炎の位置を
振動させる方法等が挙げられる。火炎の位置を振動させ
る方法で製造する場合、図示していない火炎位置検出機
構により、火炎の振幅及び振動周期を測定し、この情報
を送風装置１０ａ，１０ｂあるいはバーナー振動機構１
１にフィードバックすることで、振動状態をガラス微粒
子の堆積中、多孔質母材の長手方向にわたって一定と
し、品質を長手方向に安定化させることができる。火炎
位置検出機構としては、ＣＣＤカメラと画像処理装置を
組み合わせた装置を用いることができる。
させる他の方法として、図３（ｃ）に示すように、火炎
の周辺に送風装置１０ａ，１０ｂを取りつけ、周期的ま
たは非周期的に送風する気流により、火炎の位置を振動
させたり、図３（ｄ）に示すように、バーナー２にバー
ナー振動機構１１を取り付け、これにより火炎の位置を
振動させる方法等が挙げられる。火炎の位置を振動させ
る方法で製造する場合、図示していない火炎位置検出機
構により、火炎の振幅及び振動周期を測定し、この情報
を送風装置１０ａ，１０ｂあるいはバーナー振動機構１
１にフィードバックすることで、振動状態をガラス微粒
子の堆積中、多孔質母材の長手方向にわたって一定と
し、品質を長手方向に安定化させることができる。火炎
位置検出機構としては、ＣＣＤカメラと画像処理装置を
組み合わせた装置を用いることができる。
【００１３】
【実施例】（実施例１）図３（ａ）に示す装置を用い、
多孔質母材５を吊っているシャフト８に取り付けられた
振動発生機構９により、多孔質母材の先端で振動周期５
Ｈｚ、振幅７ｍｍで多孔質母材を振動させつつ、直径１
４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質母材を製造
し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マルチモード光
ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母材の屈折率
分布をプリフォームアナライザにより測定したところ、
径方向における屈折率分布係数αは、図４（ａ）に示す
ように、１．９２〜１．９５であり、非常に滑らかであ
った。また、このガラス母材に必要量のクラッド層をジ
ャケッティングした後に線引きし、伝送帯域を測定した
ところ、０．８５μｍ帯域において６９０ＭＨｚ・ｋ
ｍ、１．３μｍ帯域では２，１２０ＭＨｚ・ｋｍと、極
めて良好な数値を示した。
多孔質母材５を吊っているシャフト８に取り付けられた
振動発生機構９により、多孔質母材の先端で振動周期５
Ｈｚ、振幅７ｍｍで多孔質母材を振動させつつ、直径１
４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質母材を製造
し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マルチモード光
ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母材の屈折率
分布をプリフォームアナライザにより測定したところ、
径方向における屈折率分布係数αは、図４（ａ）に示す
ように、１．９２〜１．９５であり、非常に滑らかであ
った。また、このガラス母材に必要量のクラッド層をジ
ャケッティングした後に線引きし、伝送帯域を測定した
ところ、０．８５μｍ帯域において６９０ＭＨｚ・ｋ
ｍ、１．３μｍ帯域では２，１２０ＭＨｚ・ｋｍと、極
めて良好な数値を示した。
【００１４】（実施例２）図３（ｂ）に示す装置を用
い、多孔質母材５を吊っているシャフト８をたわませ
て、多孔質母材の先端で振動周期２〜７Ｈｚ、振幅７ｍ
ｍで多孔質母材を振動するように回転を制御しつつ、直
径１４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質母材を製
造し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マルチモード
光ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母材の屈折
率分布をプリフォームアナライザにより測定したとこ
ろ、径方向における屈折率分布係数αは、図４（ｂ）に
示すように、１．９２〜１．９５であり、非常に滑らか
であった。また、このガラス母材に必要量のクラッド層
をジャケッティングした後に線引きし、伝送帯域を測定
したところ、０．８５μｍ帯域において６９０ＭＨｚ・
ｋｍ、１．３μｍ帯域では２，１２０ＭＨｚ・ｋｍと、
極めて良好な数値を示した。
い、多孔質母材５を吊っているシャフト８をたわませ
て、多孔質母材の先端で振動周期２〜７Ｈｚ、振幅７ｍ
ｍで多孔質母材を振動するように回転を制御しつつ、直
径１４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質母材を製
造し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マルチモード
光ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母材の屈折
率分布をプリフォームアナライザにより測定したとこ
ろ、径方向における屈折率分布係数αは、図４（ｂ）に
示すように、１．９２〜１．９５であり、非常に滑らか
であった。また、このガラス母材に必要量のクラッド層
をジャケッティングした後に線引きし、伝送帯域を測定
したところ、０．８５μｍ帯域において６９０ＭＨｚ・
ｋｍ、１．３μｍ帯域では２，１２０ＭＨｚ・ｋｍと、
極めて良好な数値を示した。
【００１５】（実施例３）図３（ｃ）に示す装置を用
い、送風装置１０ａ，１０ｂによって周期的な気流を作
り、振動周期５Ｈｚ、振幅７ｍｍで火炎を振動させつ
つ、直径１４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質母
材を製造し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マルチ
モード光ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母材
の屈折率分布をプリフォームアナライザにより測定した
ところ、径方向における屈折率分布係数αは、図４
（ｃ）に示すように、１．９３〜１．９６であり、非常
に滑らかであった。また、このガラス母材に必要量のク
ラッド層をジャケッティングした後に線引きし、伝送帯
域を測定したところ、０．８５μｍ帯域において７２０
ＭＨｚ・ｋｍ、１．３μｍ帯域では２，０１０ＭＨｚ・
ｋｍと、極めて良好な数値を示した。
い、送風装置１０ａ，１０ｂによって周期的な気流を作
り、振動周期５Ｈｚ、振幅７ｍｍで火炎を振動させつ
つ、直径１４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質母
材を製造し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マルチ
モード光ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母材
の屈折率分布をプリフォームアナライザにより測定した
ところ、径方向における屈折率分布係数αは、図４
（ｃ）に示すように、１．９３〜１．９６であり、非常
に滑らかであった。また、このガラス母材に必要量のク
ラッド層をジャケッティングした後に線引きし、伝送帯
域を測定したところ、０．８５μｍ帯域において７２０
ＭＨｚ・ｋｍ、１．３μｍ帯域では２，０１０ＭＨｚ・
ｋｍと、極めて良好な数値を示した。
【００１６】（実施例４）図３（ｄ）に示す装置を用
い、振動周期５Ｈｚ・振幅７ｍｍでバーナーを振動させ
つつ、直径１４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質
母材を製造し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マル
チモード光ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母
材の屈折率分布をプリフォームアナライザにより測定し
たところ、径方向における屈折率分布係数αは、図４
（ｄ）に示すように、１．９１〜１．９５であり、非常
に滑らかであった。また、このガラス母材に必要量のク
ラッド層をジャケッティングした後に線引きし、伝送帯
域を測定したところ、０．８５μｍ帯域において６５０
ＭＨｚ・ｋｍ、１．３μｍ帯域では２，３１０ＭＨｚ・
ｋｍと、極めて良好な数値を示した。
い、振動周期５Ｈｚ・振幅７ｍｍでバーナーを振動させ
つつ、直径１４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質
母材を製造し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マル
チモード光ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母
材の屈折率分布をプリフォームアナライザにより測定し
たところ、径方向における屈折率分布係数αは、図４
（ｄ）に示すように、１．９１〜１．９５であり、非常
に滑らかであった。また、このガラス母材に必要量のク
ラッド層をジャケッティングした後に線引きし、伝送帯
域を測定したところ、０．８５μｍ帯域において６５０
ＭＨｚ・ｋｍ、１．３μｍ帯域では２，３１０ＭＨｚ・
ｋｍと、極めて良好な数値を示した。
【００１７】（比較例１）図１に示す装置を用い、直径
１４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質母材を製造
し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マルチモード光
ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母材の屈折率
分布をプリフォームアナライザにより測定したところ、
径方向における屈折率分布係数αは、図５に示すよう
に、１．８５〜２．０１であり、径方向に一定とはなら
なかった。また、このガラス母材に必要量のクラッド層
をジャケッティングした後に線引きし、伝送帯域を測定
したところ、０．８５μｍ帯域において３００ＭＨｚ・
ｋｍ、１．３μｍ帯域では６２０ＭＨｚ・ｋｍと、実施
例１〜４と比較して非常に悪いものであった。
１４０ｍｍφ、長さ１，５００ｍｍの多孔質母材を製造
し、脱水・ガラス化処理を施してＧＩ型マルチモード光
ファイバ用ガラス母材を得た。このガラス母材の屈折率
分布をプリフォームアナライザにより測定したところ、
径方向における屈折率分布係数αは、図５に示すよう
に、１．８５〜２．０１であり、径方向に一定とはなら
なかった。また、このガラス母材に必要量のクラッド層
をジャケッティングした後に線引きし、伝送帯域を測定
したところ、０．８５μｍ帯域において３００ＭＨｚ・
ｋｍ、１．３μｍ帯域では６２０ＭＨｚ・ｋｍと、実施
例１〜４と比較して非常に悪いものであった。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、多孔質母材と火炎の位
置を相対的に振動させることで、多孔質母材の径方向の
屈折率分布の変化をより滑らかにすることができる。こ
れにより、特に、ＧＩ型光ファイバの特性の向上を図る
ことができる。
置を相対的に振動させることで、多孔質母材の径方向の
屈折率分布の変化をより滑らかにすることができる。こ
れにより、特に、ＧＩ型光ファイバの特性の向上を図る
ことができる。
【図１】 ＶＡＤ法による多孔質母材の製造装置の要部
を示す概略説明図である。
を示す概略説明図である。
【図２】 光ファイバの径方向の屈折率分布を示し、
（ａ）はグレーデッドインデックス型、（ｂ）はステッ
プインデックス型である。
（ａ）はグレーデッドインデックス型、（ｂ）はステッ
プインデックス型である。
【図３】 （ａ）〜（ｄ）は、それぞれ異なる態様の本
発明の多孔質母材の製造方法を説明する概略説明図であ
る。
発明の多孔質母材の製造方法を説明する概略説明図であ
る。
【図４】 （ａ）〜（ｄ）は、それぞれ実施例１〜４で
得られた光ファイバの屈折率分布係数の径方向分布を示
すグラフである。
得られた光ファイバの屈折率分布係数の径方向分布を示
すグラフである。
【図５】 比較例１による光ファイバの屈折率分布係数
の径方向分布を示すグラフである。
の径方向分布を示すグラフである。
１…チャンバ ２…バーナー ３…ガラス微粒子 ４…ターゲット棒 ５…多孔質母材 ６…付着しなかったガラス微粒子 ７…排気管 ８…シャフト ９…振動発生機構 １０ａ，１０ｂ…送風装置 １１…バーナー振動機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 4G021 EA01 EB13
Claims (8)
- 【請求項１】 バーナーからガラス原料ガスと火炎を噴
出させ、該火炎中でガラス微粒子を生成させて出発材上
に堆積させ多孔質ガラス母材とするＶＡＤ法において、
該多孔質ガラス母材の先端を火炎に対して相対的に振動
させることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材
の製造方法。 - 【請求項２】 前記多孔質ガラス母材の火炎に対する相
対的振動を、多孔質ガラス母材の位置を変化させること
により生じさせる請求項１に記載の光ファイバ用多孔質
ガラス母材の製造方法。 - 【請求項３】 前記多孔質ガラス母材の位置を、多孔質
ガラス母材を支持するシャフトを振動させることにより
変化させる請求項２に記載の光ファイバ用多孔質ガラス
母材の製造方法。 - 【請求項４】 前記多孔質ガラス母材の位置を、多孔質
ガラス母材を支持するシャフトをたわませることにより
変化させる請求項２に記載の光ファイバ用多孔質ガラス
母材の製造方法。 - 【請求項５】 前記多孔質ガラス母材の先端に対して、
バーナーで生じる火炎の位置を変化させることにより相
対的に振動させる請求項１に記載の光ファイバ用多孔質
ガラス母材の製造方法。 - 【請求項６】 前記火炎の位置を、火炎の横方向からの
周期的または非周期的な気流により変化させる請求項５
に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項７】 前記火炎の位置を、バーナーの移動によ
り変化させる請求項５に記載の光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材の製造方法。 - 【請求項８】 脱水・ガラス化して得られる光ファイバ
用ガラス母材の屈折率分布がグレーデッドインデックス
型である請求項１乃至７のいずれかに記載の光ファイバ
用多孔質ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21478899A JP3952431B2 (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21478899A JP3952431B2 (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001039728A true JP2001039728A (ja) | 2001-02-13 |
| JP3952431B2 JP3952431B2 (ja) | 2007-08-01 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21478899A Expired - Fee Related JP3952431B2 (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3952431B2 (ja) |
-
1999
- 1999-07-29 JP JP21478899A patent/JP3952431B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP3952431B2 (ja) | 2007-08-01 |
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