JP2001035383A - 平面型表示装置とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 平面型表示装置において、高精細度、高密度
表示を向上し、さらに、駆動電力、すなわち消費電力の
低減化を図る。 【解決手段】 第１および第２の基板１および２が相対
向して配置され、第１の基板１に、複数の放電維持電極
３および４が配列されて成る放電維持電極群５が形成さ
れ、第２の基板２に、所要の間隔を保持して配列された
複数の隔壁９と、複数のアドレス電極１０が配列されて
成るアドレス電極群１１とが形成されて成る。そして、
そのアドレス電極１０は、隔壁９の頂面を除く少なくと
も一側面上に形成されるか、あるいは隔壁９内に一側縁
がこの隔壁の少なくとも一側面に臨むかもしくはこの側
面近傍に位置するように形成されて、陰極グロー放電に
よるプラズマ放電表示がなされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、交流プラズマ放電
表示による平面型表示装置とその製造方法に係わる。

【０００２】

【従来の技術】プラズマ放電を利用する平面型表示装置
としては、例えば特開平７−２２０６４１号公報に開示
された表示装置がある。従来の平面型表示装置の例は、
例えば図１２にその一部を分断した概略斜視図を示し、
図１３にその分解斜視図を示すように、例えばガラス基
板より成る第１および第２の基板１０１および１０２が
所要の間隔を保持して対向されて、その周囲が気密的に
封止された偏平容器が構成されて成る。

【０００３】第１の基板１０１の内面には、対となる例
えば透明導電層によって形成された放電維持電極１０３
および１０４が、複数対平行配列されて成る放電維持電
極群１０５が形成される。そして、これら透明導電層に
よって形成される放電維持電極１０３および１０４は、
その抵抗率が高いことから、両電極１０３および１０４
の対向側とは反対側の側縁に沿って導電率の高い金属層
によるいわゆるバス電極１０３ｂおよび１０４ｂが被着
形成されている。

【０００４】第２の基板１０２の内面には、放電維持電
極１０３および１０４の延長方向と直交する方向に延び
る隔壁１０６が所定の間隔をもって平行配列され、これ
ら隔壁１０６間にストライプ状にアドレス電極１０７が
形成されるとともに、同様に隔壁１０６間に、プラズマ
放電によって発生する真空紫外線による励起によって、
それぞれ各色例えば赤、緑および青の各色を発光する各
色の蛍光体Ｒ、ＧおよびＢが塗布された成る。

【０００５】そして、選択されたアドレス電極１０７
と、対の放電維持電極の一方、例えば１０３との間に、
所要の放電開始電圧を印加することによって、これらが
交叉する部分において放電を開始し、この電極１０３と
これと対となる放電維持電極１０４との間に所要の交番
電圧を印加することによって、この部分における放電を
維持して、この放電によって発生する真空紫外線によっ
て、この交叉部に位置する蛍光体を発光させて目的とす
る発光表示を行う。

【０００６】このような、従来一般のプラズマ放電表示
による平面型表示装置においては、その放電開始および
放電維持のいずれも、負グロー放電で行うことを前提と
しているものであり、このため、アドレス電極と放電維
持電極との間隔、対の放電維持電極間の間隔は、この負
グロー放電を生じさせる電極間間隔の、１００μｍ以上
の例えば１３０μｍ〜２００μｍに選定される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、昨今、この
種の平面型表示装置において、益々、画素の高密度化、
高精細度化、更に、広画角化に伴う消費電力の増加の抑
制の要求が高まっている。このような高密度化、高精細
度化を図るには、上述した各電極間の間隔を小さくする
ことが要求される。ところが、従来の負グロー放電によ
る平面型表示装置において、その電極間間隔を１００μ
ｍ以下に狭めると、放電が充分になされず、紫外線発生
効率が低下し、これにより蛍光体の励起が不充分となっ
て、明るさが低下してしまうという問題がある。

【０００８】本発明は、平面型表示装置における高精細
度、高密度表示を向上し、さらに、駆動電力、すなわち
消費電力の低減化を図るものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明におい
ては、平面型表示装置において、そのプラズマ放電すな
わち放電開始（立ち上げ）の放電および放電維持を、共
に主として陰極グロー放電によって、すなわちその放電
が殆ど陰極グロー放電によって、言い換えれば電極面積
等に起因して幾分の負グロー放電が発生する場合がある
としても、陰極線グロー放電が支配的になされ、実質的
に陰極グロー放電による構成とする。以下この陰極グロ
ー放電を、陰極グロー放電と呼称する。

【００１０】本発明による平面型表示装置は、第１およ
び第２の基板が相対向して配置され、第１の基板に、複
数の放電維持電極が配列されて成る放電維持電極群が形
成され、第２の基板に、所要の間隔を保持して配列され
た複数の隔壁と、複数のアドレス電極が配列されて成る
アドレス電極群とが形成されて成る。そして、そのアド
レス電極は、隔壁の頂面を除く少なくとも一側面上に形
成されるか、あるいは隔壁内に一側縁がこの隔壁の少な
くとも一側面に臨むかもしくはこの側面近傍に位置する
ように形成されて、陰極グロー放電によるプラズマ放電
表示がなされる構成とする。

【００１１】また、本発明による平面型表示装置の製造
方法は、第１の基板に、主たる延長方向が、第１の基板
面に沿う第１の方向とされた複数の放電維持電極を並置
配列形成する放電維持電極群の形成工程と、第２の基板
に、この第２の基板面に沿う第２の方向に延びる複数の
隔壁を並置配列形成する隔壁形成工程と、第２の方向と
交叉する方向の斜め上方から導電材を飛翔させて、隔壁
の頂面以外の少なくとも一側面にアドレス電極を形成す
る工程と、隣り合う隔壁間の溝部内に、蛍光体を形成す
る工程と、第１および第２の方向が交叉するように、第
１および第２の基板を対向させてこれら第１および第２
の基板の周辺部を封止する工程とを経て平面型表示装置
を得る。

【００１２】更に、また、本発明による平面型表示装置
の製造方法は、第１の基板に、主たる延長方向が、第１
の基板面に沿う第１の方向とされた複数対の放電維持電
極を配列形成する放電維持電極群の形成工程と、第２の
基板もしくはこの基板上に形成した絶縁層上に、第２の
方向に延びる複数のストライプ状導電層を並置配列形成
する工程と、ストライプ状導電層上を覆って絶縁層を積
層形成する工程と、この積層絶縁層から第２の基板もし
くはこの基板上に形成された絶縁層に至る深さに、溝加
工を行って隔壁を形成する工程と、隣り合う隔壁間の溝
部内に、蛍光体を形成する工程と、第１および第２の方
向が交叉するように、第１および第２の基板を対向させ
てこれら第１および第２の基板の周辺部を封止する工程
とを経る。このようにして隔壁本体と積層絶縁層とによ
る隔壁が構成され、アドレス電極が、この隔壁本体とこ
の上の積層絶縁層との間に介在された導電層によって形
成され、この導電層によるアドレス電極の一側縁が、隔
壁の側面に臨むかもしくはこの側面近傍に位置するよう
に配置されて成る平面型表示装置を得る。

【００１３】上述の本発明による平面型表示装置は、そ
の放電表示を、実質的に陰極グロー放電による構成とす
ることによって、駆動電力を、負グロー放電による場合
に比して低減化することができるようにするものであ
り、特に大画面表示における節電効果を高めるようにす
るものである。

【００１４】また、その放電維持に際して対となる放電
維持電極の間隔を、５０μｍ以下例えば２０μｍ以下と
いう狭小な間隔とすることができ、ひいては、画素ピッ
チを縮小することができ、高精細度、高密度表示を行う
ことができるものである。

【００１５】因みに、従来の放電維持を、負グロー放電
によって行う構成における、放電維持電極群１０５は、
図１４Ａにその一部（２対の放電維持電極１０３および
１０４のみを図示している）の概略平面図を示し、図１
４Ｂに図１４ＡのＢ−Ｂ線上の断面図を示すように、そ
れぞれ帯状の透明導電層より成る放電維持電極１０３お
よび１０４が、前述したように、１００μｍ以上の例え
ば１３０〜２００μｍ程度の間隔Ｄをもって配列され
る。そして、隣り合う対の放電維持電極の組間の間隔Ｄ
ｃも必要最小限の間隔を必要とすることから、各放電維
持電極１０３および１０４の幅Ｗを例えば３０〜４０μ
ｍ程度の小なる幅に選定しても、対の放電維持電極の各
組のピッチＰは、少なくとも２百数十μｍを必要として
おり、表示画素の高密度、高精細度化の隘路となってい
る。

【００１６】また、本発明装置においては、第２の基板
に隔壁を配列形成し、その側面に、もしくはその側面に
片寄った位置にアドレス電極が配置された構成としたこ
とにより、隔壁によってアドレス電極相互の電気的分離
がなされる。したがって、各側壁間の溝部に、それぞれ
独立した放電部を形成することができることによって、
カラー表示においては、これら隣り合う溝部に順次各色
の蛍光体を配置することができるものである。

【００１７】そして、本発明製造方法では、隔壁の側面
に、アドレス電極を形成する場合においては、導電材を
隔壁の斜め方向からの飛翔によって形成するようにした
ことから、確実にこの側面にアドレス電極を形成するこ
とができる。

【００１８】また、本発明の他の製造方法では、隔壁中
に、アドレス電極を形成する場合においては、隔壁を、
隔壁本体とその上に形成される絶縁層とによって構成
し、その間にアドレス電極を配置する方法によることに
よって、アドレス電極を所要の位置に確実に形成するこ
とができるものである。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明による平面型表示装置は、
第１および第２の基板が相対向して配置され、その周辺
がフリットシール等によって気密的に封止されて、両基
板間に偏平空間が形成された偏平容器によって構成され
る。

【００２０】第１の基板には、複数の放電維持電極が配
列されて成る放電維持電極群が形成され、第２の基板に
は、複数の隔壁が並置配列されると共に、複数のアドレ
ス電極が並置配列されて成るアドレス電極群が形成され
る。

【００２１】放電維持電極群は、放電維持に際して対と
なる複数の放電電極が、その主たる延長方向を、第１の
基板の基板面に沿う一方向（以下Ｘ方向という）とし
て、相互に所要の間隔を保持して平行配列された構成と
することができる。

【００２２】隔壁は、第２の基板の基板面に沿い、Ｘ方
向と交叉、例えば直交する方向（以下Ｙ方向という）に
沿ってそれぞれ延び、相互に所要の間隔を保持して平行
配列されて形成され、例えばこれら各隔壁の少なくとも
一側面上に、アドレス電極が被着形成される。このアド
レス電極は、隣り合う隔壁の互いの対向面間の溝部の底
面に差し渡って形成することもできる。

【００２３】アドレス電極は、上述したように、各隔壁
の側面上に被着形成することもできるし、各隔壁内に、
これら隔壁の延長方向に沿って延びる導電層によって形
成し、その一側縁が、隔壁の一側面に臨むかもしくはこ
の側面近傍に位置するように、かつこの側面に片寄った
位置に配置することによって構成することができる。こ
のようにアドレス電極を導電層によって形成する場合、
各隔壁は、例えば隔壁を隔壁本体とその頂面に積層形成
した積層絶縁層とによって構成し、この隔壁本体と積層
絶縁層との間に、上述した導電層すなわちアドレス電極
が配置された構成とすることができる。

【００２４】アドレス電極は、例えば各隔壁の両側面に
関してそれぞれ配置することができ、この場合、各隔壁
の両側面に関するアドレス電極は、互いに電気的に分離
して形成する。そして、この場合、隣り合う隔壁の互い
の対向面に関するアドレス電極相互を、その端部におい
て電気的に連結させる。あるいは、これら対向面におけ
るアドレス電極間に差し渡って、隔壁間の溝部の底部に
アドレス電極を延在させて形成することによって上述し
たアドレス電極相互の電気的連結を行う。そして、これ
ら相互に連結されたアドレス電極から共通の端子導出を
行う構成とすることができる。

【００２５】また、隣り合う隔壁の互いの対向面間の溝
部内に、後述するプラズマ放電によって発生する真空紫
外線によって励起発光する蛍光体が塗布される。例えば
カラー表示を行う表示装置においては、例えば赤、緑お
よび青の各発光がなされる蛍光体Ｒ、ＧおよびＢが、順
次２つ置きの溝部内に塗布された配列をもって形成され
る。

【００２６】そして、放電開始、すなわち放電の立ち上
げを行う、アドレス電極とこれに対する対向放電電極と
なる放電維持電極との間隔を、５０μｍ以下、好ましく
は２０μｍ以下の例えば１０μｍに選定する。

【００２７】また、放電維持電極群の放電維持に際して
対となる放電維持電極間の間隔についても５０μｍ以
下、好ましくは２０μｍ以下の例えば１０μｍに選定す
る。

【００２８】また、第１の基板には、井桁状突条が形成
される。この井桁状の突条は、第２の基板の例えば各隔
壁に対向するＹ方向に沿って延びる突条部と、これら突
条部と交叉し放電維持電極のそれぞれ放電維持がなされ
る対向電極の組間においてＸ方向に延びる交叉突条部と
によって構成される。

【００２９】次に、本発明による平面型表示装置の一実
施形態の一例を、その一部の分断概略斜視図を示す図１
を参照して説明するが、本発明装置は、この例に限られ
るものではない。本発明装置においては、それぞれ例え
ばガラス基板より成る第１および第２の基板１および２
が相対向して成り、図示しないが、両基板１および２の
周囲がフリットシール等によって気密的に封止される。

【００３０】そして、この例においては、第１の基板１
が、前面側基板とされ、この第１の基板１側から発光表
示を観察する構成とした場合であり、この場合、少なく
とも第１の基板１は、表示光を透過する透明ガラス基板
によって形成される。

【００３１】第１の基板１の内面には、透明導電層、例
えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）による放電維持に際
して対となる放電維持電極３および４の複数組が、それ
ぞれその主たる延長方向が、基板１の板面に沿うＸ方向
に延びる、例えばストライプ状に相互に平行に並置配列
されて形成された放電維持電極群５が設けられる。両電
極３および４の対向間隔は、実質的に陰極グロー放電が
生じる狭小な間隔、すなわち５０μｍ以下、好ましくは
２０μｍ以下、例えば１０μｍに選定される。

【００３２】そして、これら放電維持電極３および４
が、透明導電層によって形成される場合は、その導電性
が比較的低いことから、これら放電維持電極３および４
の導電性を補償するための導電性にすぐれた例えばＡｌ
による幅狭のいわゆるバス電極３ｂおよび４ｂが、放電
維持電極の主たる延長方向に沿って被着形成される。

【００３３】また、第１の基板１には、図２にその要部
の概略平面図を示すように、放電維持電極３および４を
横切って上述のＸ方向と交叉例えば直交するＹ方向に延
長する突条部６ｙを後述する第２の基板２側に形成する
隔壁９の配置間隔に対応する所定の間隔をもって平行配
列させて形成すると同時に、これら突条部６ｙと交叉し
て、上述のＸ方向に延びる交叉突条部６ｘが形成された
井桁状の突条６を形成する。この交叉突条部６ｘは、対
の放電維持電極の組間に、放電維持電極３および４に一
部跨がって、あるいは跨ることなく形成される。

【００３４】そして、第１の基板１の内面に全面的に例
えばＳｉＯ₂ による誘電体層７を、例えば放電維持電極
３および４の間隔ｄの半分以下の厚さをもって被着し、
更にその上に仕事関数が小さく、かつ電極の保護を行う
例えばＭｇＯによる表面層８を形成する。

【００３５】また、第２の基板２の内面には、図１に示
すように、Ｙ方向に沿って延びる複数のストライプ状の
隔壁９が平行に配列形成される。この隔壁９は、上述し
たように、第１の基板１の突条６の突条部６ｙに対応す
る間隔に選定される。そして、これら隔壁９の頂部を除
いてその側面に、Ｙ方向に沿ってアドレス電極１０が形
成され、アドレス電極群１１が形成される。図１で示し
た例では、各アドレス電極１０を隣り合う隔壁９間に形
成される溝部１２内において、その両側面および底面に
渡って、すなわち断面Ｕ字状に形成した場合である。

【００３６】各溝部１２内には、後述するプラズマ放電
によって発生する真空紫外線による励起によって、それ
ぞれ赤、緑および青の光を発光する各蛍光体Ｒ、Ｇおよ
びＢが、交互に、すなわち２つ置きの溝部１２毎に塗布
される。また、これら電極１０および蛍光体を覆って、
例えば上述したＭｇＯによる表面層１３が形成される。

【００３７】この構成において、隔壁９および井桁状の
突条６の突条部６ｙが、図示の例では誘電体層７、表面
層８および１３を介して突き合わせられ、これらの高さ
および厚さによって第１および第２の基板１および２の
間隔が選定され、同時にアドレス電極１０と、このアド
レス電極１０との間で放電開始がなされる一方の放電維
持電極３または４との間隔が所定の間隔、特に陰極グロ
ー放電がなされる間隔、すなわち５０μｍ以下、好まし
くは２０μｍ以下、例えば１０μｍに選定される。

【００３８】このようにして、第１および第２の基板１
および２の、突条部６ｙおよび隔壁９との共働によって
放電を閉じ込めて他と分離された放電領域を形成し、こ
れら領域において、それぞれ各色の発光がなされる画素
領域を形成する。

【００３９】そして、第１および第２の基板１および２
によって形成された気密空間内を排気し、所要のガス、
例えばＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，Ｘｅ，Ｋｒのうちの１種以上
のガス例えばＮｅとＸｅとの混合ガスのいわゆるペニン
グガスを、安定して高輝度、高効率の放電を維持できる
圧力、例えば０．０５〜５．０気圧に封入する。

【００４０】この本発明装置においても、選択されたア
ドレス電極１０と、対の放電維持電極の一方、例えば放
電維持電極３との間に、所要の放電開始電圧を印加する
ことによって、これらが交叉する部分において放電を立
ち上げ、この電極３とこれと対となる放電維持電極４と
の間に所要の交番電圧を印加することによって、この部
分における放電を維持して、この放電によって発生する
真空紫外線によって、この交叉部に位置する蛍光体を発
光させて目的とする発光表示を行う。

【００４１】このとき、本発明装置においては、その放
電の立ち上げ、すなわち放電開始は、そのアドレス電極
１０と放電維持電極３との間隔が、５０μｍ以下の例え
ば１０μｍに選定されていることから、陰極グロー放電
によるものであり、また、放電維持を行う放電維持電極
との間の間隔も、５０μｍ以下の例えば１０μｍに選定
されていることから、陰極グロー放電による。

【００４２】このように本発明による平面型表示装置
は、放電開始時の放電および放電維持を共に陰極グロー
放電による構成としたことから、駆動電力を、負グロー
放電による場合に比して低減化することができるもので
あり、特に大画面表示において問題となる消費電力の低
減化を図ることができる。

【００４３】また、その放電維持電極間の間隔を狭小な
間隔とすることができることから、画素ピッチを縮小す
ることができ、高精細度、高密度表示を行うことができ
る。

【００４４】次に、本発明による平面型表示装置の製造
方法の一実施形態の一例を説明する。この例は、上述し
た図１の構成による平面型表示装置をを得る場合の一例
であるが、本発明による製造方法はこの例に限られるも
のではない。

【００４５】まず、第１の基板１側の製造方法の一例に
ついて説明する。この場合、図３Ａにその一部の概略斜
視図を示すように、例えば透明のガラス基板より成る第
１の基板１が用意され、この基板１の内面に、放電維持
電極３および４を形成する。

【００４６】これら放電維持電極３および４の形成は、
基板１の内面に全面的に、透明導電層、例えばＩＴＯ
を、例えば約３００ｎｍの厚さに成膜し、フォトリソグ
ラフィによるパターンエッチングを行って、所要のパタ
ーン、図示の例では互いに対向する側縁が、所定の間隔
を保持して対向するジグザグパターンとされた放電維持
電極３および４を形成する。すなわち、例えば全面的に
形成されたＩＴＯ上にフォトレジスト層を塗布、焼き付
けして、所要のパターンの露光および現像を行って目的
とする放電維持電極３および４のパターンに応じたパタ
ーンのエッチングマスクを形成する。そして、このエッ
チングマスクを用いて例えば塩酸および塩化第２鉄の混
合液によるエッチング液によって透明導電層をエッチン
グして放電維持電極３および４を形成する。

【００４７】次に、図３においては示されていないが、
必要に応じて図１および図２で示したバス電極３ｂおよ
び４ｂの形成を行う。このバス電極３ｂおよび４ｂの形
成は、先ず、第１の基板１の内面に、放電維持電極群３
および４を覆って全面的に、良導電性の例えばＡｌを約
１μｍの厚さに蒸着し、前述したと同様のフォトリソグ
ラフィによるパターンエッチングを、例えばエッチング
液としてりん酸を用いて行って各放電維持電極３および
４上に、互いに対向する側とは反対側の側縁に沿って電
極３および４の一部の幅にバス電極３ｂおよび４ｂを形
成する。

【００４８】その後、図３Ｂに示すように、例えば印刷
法によって、前述した突条部６ｙと交叉突条部６ｘによ
る井桁状の突条６を、高さ例えば２０μｍ、幅３０μｍ
〜４０μｍに形成する。その後、図示しないが、図１で
説明した例えばＳｉＯ₂ による誘電体層７をＣＶＤ(Che
mical Vapor Deposition) 法等によって全面的に形成
し、その上にＭｇＯを、厚さ約０．５μｍ〜１．０μｍ
に例えば蒸着して表面層８を形成する。

【００４９】次に、第２の基板に係わる製造方法の一例
を、各工程における一部の斜視図を示す図４〜図６の各
ＡおよびＢと図７を参照して説明する。この場合、先ず
図４Ａに示すように、例えばガラス基板による第２の基
板を用意し、その一主面にＹ方向に延び、Ｘ方向に所要
の間隔をもって平行配列された隔壁９を形成する。これ
ら隔壁９の両端（図４においては、その一端のみが示さ
れている）が相互に連結する連結部９ｃが形成される。
これら隔壁９およびその連結部９ｃは、印刷法によって
形成することができる。例えば、ガラスペーストを複数
回、重ね印刷する。この場合の１回の印刷の厚さは約１
０μｍであり、この印刷を繰り返すことによって、高さ
（厚さ）５０μｍから８０μｍのストライプ状印刷を行
う。その後、例えば５００℃〜６００℃のベーキングを
行う。このようにすると、３０μｍ〜６０μｍの高さ
の、隔壁９を形成することができる。

【００５０】その後、隔壁９の少なくとも１側面に、隔
壁９の頂部を除いて導電層の形成を行ってアドレス電極
の形成を行う。この例では、隔壁９の両側面と、各隔壁
９間に形成される溝部１２の底面とに差し渡ってアドレ
ス電極の形成を行うようにした場合である。この場合、
先ず、図４Ｂに示すように、Ｙ方向に沿って形成された
隔壁９に対し、矢印をもって模式的に示すように、隔壁
９の対応する一側面側の斜め上方から、主としてこの一
側面に導電材１４を被着する。

【００５１】次いで、図５Ａに矢印をもって模式的に示
すように、隔壁９の他方の側面側の斜め上方、すなわち
図４Ｂで説明した斜め上方とは反対側の斜め上方から同
様の例えばＡｌによる導電材１４を、飛翔方向に方向性
を有する例えば蒸着法によって飛翔させ、主として隔壁
９の他側面に被着する。

【００５２】更に、図５Ｂに矢印をもって模式的に示す
ように、基板１の上方から基板面にほぼ垂直方向に沿っ
て同様のＡｌ等の導電材を飛翔させて、溝部１２内の底
部に、導電材１４を被着形成する。

【００５３】その後、図６Ａに示すように、各溝部１２
内と、これより連結部９ｃ上に延在させて、それぞれス
トライプ状の例えばフォトレジストによるエッチングレ
ジスト１５をフォトリソグラフィによって形成する。こ
の場合、エッチングレジスト１５の厚さは、溝部１２内
において、隔壁９の頂部に形成された導電材１４を外部
に露呈させることができる厚さに選定する。次に、この
エッチングレジスト１５をマスクとして導電材１４に対
するエッチングを行って、隔壁９の頂部上の導電材１４
を、連結部９ｃ上に跨がって除去して、各隔壁９の両側
面に形成されている導電材１４を電気的に分離する。

【００５４】その後、図６Ｂに示すように、エッチング
レジスト１５を除去する。このようにして、各溝部１２
に関してそれぞれの底面とこれを挟んで対向する隔壁９
の各一側面に形成された導電材１４によってアドレス１
０が形成されたアドレス電極群１１が形成される。そし
て、この場合、各アドレス電極１０の端部に、隔壁９の
連結部９ｃ上に延在する端子部１０ａを形成することが
できる。図６Ｂの例では、アドレス電極１０の全ての端
子部１０ａが、同一端部に形成された構成とした場合で
あるが、例えば隣り合うアドレス電極１０の１つ置き
に、溝部１２の両端から導出する構成とすることもでき
る。

【００５５】その後、図７に示すように、各隔壁９間の
溝部１２内に、順次各色の蛍光体Ｒ、ＧおよびＢをを有
する例えば感光性の蛍光体スラリーの塗布、焼き付けを
繰返し作業によって赤、緑および青の各蛍光体Ｒ、Ｇお
よびＢを形成する。

【００５６】更に、図１で説明したように、全面的にＭ
ｇＯ等の表面層１３の形成を行う。このようにして、第
２の基板２に係わる製造がなされる。

【００５７】その後、両第１および第２の基板１および
２を、前述した位置関係に対向させ、前述したように、
その周辺をフリットシールして、排気および前述した所
要のガス封入を行って、目的とする平面型表示装置を得
る。この場合、各電極３および４の端部による端子部、
およびアドレス電極１０の端子部１０ａは、気密空間外
に延在した各基板１および２の外側部に導出して、それ
ぞれ給電端子とすることができる。

【００５８】上述した例においては、各アドレス電極１
０を溝部１２の内側面および底面に渡って形成した場合
で、このように溝部１２の底面にアドレス電極１０の形
成を行うときは、この電極１０がいわば光反射面として
機能し、蛍光体Ｒ、ＧおよびＢよりの後方への発光を反
射させて、前面パネル側、すなわち第１の基板１から前
方に効率良く導出させることができ、明るい表示を行う
効果がある。しかしながら、例えば溝部１２の一側面に
のみ形成することもでき、この場合においては、図５Ａ
およびＢの工程を省略することができる。

【００５９】また、アドレス電極１０を、溝部１２の底
面を除く両側面にのみ形成する場合は、図５Ｂの工程を
省略することができる。

【００６０】また、上述した方法では、隔壁９の形成
を、ガラスペーストの繰り返しパターン印刷の重ね印刷
によって印形成した場合であるが、例えば全面的に、例
えば５０μｍ〜８０μｍに印刷して、乾燥させこれをサ
ンドブラストによってパターン化することによって形成
することもできる。この場合、サンドブラストのマスク
を形成する。このマスクの形成は、全面的に感光剤フィ
ルムを積層し、これを、平行ストライプ状に露光焼き付
けし、現像して所要のパターンのマスクを形成する。そ
の後、マスクの開口を通じてサンドブラストすることに
よって不要部分のガラス層を除去し、その後、感光材フ
ィルムを除去し、５００℃〜６００℃のベーキングを行
うことによって所要の高さの隔壁９の形成を行うことが
できる。

【００６１】また、上述した例では、アドレス電極１０
を溝部１２内に被着形成した場合であるが、図８に、そ
の一部の分断斜視図を示すように、隔壁９内にアドレス
電極１０を形成するストライプ状導電層を隔壁９の延長
方向（Ｙ方向）に沿って延在させるように埋め込んで形
成することができる。この例では、そのアドレス電極１
０は、各隔壁９の対応する一側面に片寄って配置して、
アドレス電極１０の一側縁が、各隔壁９の対応する各一
側面に臨んで形成した場合である。

【００６２】この場合の、アドレス電極１０と、隔壁９
の形成方法の一例を、図９および図１０の、各工程にお
ける一部の概略断面図を参照して説明する。この場合、
図９Ａに示すように、第２の基板２上、もしくはこの第
２の基板２上に形成した絶縁層上に、最終的にアドレス
電極を形成する導電層１６を、図において紙面と直交す
るＹ方向に延長してストライプ状に形成する。このスト
ライプ状導電層１６の形成は、Ａｌ等の導電材を全面的
に例えば蒸着によって形成し、その後、フォトリソグラ
フィによるパターンエッチングによって所定の幅および
間隔に形成する。あるいは、銀ペースト等の導電ペース
トを印刷することによって上述したパターンの導電層１
６を形成する。

【００６３】その後、図９Ｂに示すように、全面的に絶
縁層１７を、例えば鉛ガラスペースト等の絶縁ペースト
を全面的に印刷して乾燥させることによって形成する。
次に、図９Ｃに示すように、ストライプ状導電層１６の
例えば一側縁上を覆って導電層１６の延長方向に沿う、
すなわちＹ方向に延びるストライプ状のサンドブラスト
のマスク１８を形成する。このマスク１８は、例えばド
ライフィルムレジストを絶縁層１７上に積層し、その
後、上述した溝部１２の形成部を露光および現像処理す
ることによって除去することによって形成する。

【００６４】その後、図１０Ａに矢印をもって模式的に
示すように、基板２の上方から、サンドブラストを行っ
て、マスク１８によって覆われていない部分を彫り込ん
で、溝部１２の形成、すなわち溝部１２間に隔壁９を形
成する。

【００６５】そして、図１０Ｂに示すように、マスク１
８を除去する。このようにすると、いわば隔壁本体９Ａ
上に絶縁層１７が形成された隔壁９が形成される。そし
て、これら隔壁９の一側面に端縁が臨むアドレス電極１
０が形成される。その後は、各溝部１２内に、例えばス
クリーン印刷等によって、各色の蛍光体Ｒ、ＧおよびＢ
を所定の配列順序をもって形成する。

【００６６】その後は、前述したと同様の工程を経て、
目的とするすなわち図８で示した本発明による平面型表
示装置を得る。

【００６７】上述の本発明製造方法によれば、アドレス
電極と放電維持電極との間隔、放電維持電極３および４
の間隔が、上述した陰極グロー放電を可能にする必要充
分に狭小とされた、本発明による平面型表示装置を得る
ことができる。

【００６８】そして、例えば図１１に、２対の放電維持
電極３および４の配置を代表的に示すように、例えば図
１４で示した従来における放電維持電極１０３および１
０４間の間隔Ｄに比し、本発明構成による間隔、すなわ
ちギャップｇの間隔ｄが、ｄ≪Ｄとされたことにより、
ピッチｐを、従来のピッチＰと同等程度に選定するとき
は、各電極３および４の幅ωを、従来の幅Ｗに比し、ω
≫Ｗとすることができ、各電極３および４の長手方向の
導電性を高めることができる。また、このとき、両電極
３および４の占有幅を大とすることができることから、
両放電維持電極３および４間の、ギャップｇを、図１１
に示すように、湾曲ないしは屈曲させ、かつその振幅Ｗ
_G を充分大にすることができることによって、ギャップ
の対向長を大とすることができ、放電の効率を高めるこ
とができ、真空紫外線の発生を高めることができ、より
輝度の向上を図ることができる。

【００６９】尚、本発明による平面型表示装置、またそ
の製造方法は、上述した例に限られるものではなく、種
々の変形変更を行うことができる。例えば第１および第
２の基板１および２は、上述したように、平面型表示装
置を構成する気密偏平容器を構成する前面および背面パ
ネル自体によって構成することもできるし、気密偏平容
器内に配置される相対向する基板によって構成すること
もできるなど種々の変形変更を行うことができるもので
ある。

【００７０】また、上述した例では、第１の基板１側か
ら発光表示の観察を行うようにした場合であるが、第２
の基板２側から観察する構成とすることもできるもので
あり、この場合は、アドレス電極８を透明導電層によっ
て構成する。

【００７１】

【発明の効果】上述したように、本発明装置において
は、上述したように、主として陰極グロー放電によって
行う構成としたことによって、駆動電力を、負グロー放
電による場合に比して低減化することができる。あるい
は、駆動電力を従来と同等もしくは従来に近い大きさと
するときは、その発光効率、発光輝度を高めることがで
きる。例えば従来と同等の駆動電力とするとき、その明
るさは、４割以上高めることができた。

【００７２】また、アドレス電極１０を隔壁９の側面に
形成するものであるので、このアドレス電極１０と、放
電維持電極との間隔を、上述したように、５０μｍ以
下、更には２０μｍ以下の陰極グロー放電を発生させる
ことのできる充分小なる間隔に選定することができる。
そして、その放電空間は、隔壁９によって設定された溝
部１２における大きな空間を確保できるものであり、ま
た、各隔壁９間に各蛍光体Ｒ、ＧおよびＢを形成するこ
とから、蛍光体の塗布面積は大きく確保できて、明るい
表示を行うことができるものである。また、隣り合う溝
部１２に、各蛍光体Ｒ、ＧおよびＢが塗布されることか
ら、画素ピッチは、充分小となる。

【００７３】更に、放電維持電極３および４間の間隔
は、従来に比し、充分小さい、例えば１／１０以下にも
小さくすることができることから、各対の放電維持電極
の配置ピッチｐを、従来のピッチＰに比し、充分小さく
することができることから、画素の高密度化、高精細度
化を図ることができる。

【００７４】そして、駆動電力の低減化により、発熱の
低減化が図られることから、放熱ファンの使用の回避、
あるいは放熱ファンの個数もしくはパワーの低減化を図
ることができるとか、放熱フィンの個数、面積の低減化
等を図ることができ、大面積表示における、装置全体の
小型化、軽量化等を図ることができる。

【００７５】そして、更に対の放電維持電極間の、ギャ
ップｇの形状を、湾曲ないしは屈曲パターンとすること
によって、その長さを大とすることができることから、
より効率の高い放電、すなわち発生する真空紫外線量を
増加させることができ、より輝度の向上を図ることがで
きる。

【００７６】また、実際の製造においては、第１および
第２の基板１および２を、ガラス基板、特に廉価な鉛ガ
ラス等によって構成する場合、その製造過程における熱
処理によって大きな収縮が生じる。この収縮は、例えば
１０ｃｍが、数１００℃の熱処理で、２０μｍ〜３０μ
ｍにも及び、しかも製品毎のばらつきが大きく、また、
この収縮は、画面の中央部と、周辺部とで相違すること
から、同一基板において、複数のパターンの電極形成工
程を行う場合、例えばそのパターンエッチングにおける
露光マスク等の位置合せに、各部において狂いが生じる
とか、製品毎のばらつきが生じることから、特に陰極グ
ロー放電におけるように、放電電極間の距離を５０μｍ
未満好ましくは２０μｍ以下に形成する場合、特にその
寸法精度に高い精度が要求されることから、歩留り、信
頼性に問題が生じる。

【００７７】ところが、上述したように、第１の基板１
に対となる放電維持電極を形成し、第２の基板２にアド
レス電極を形成する構成とするときは、対の放電維持電
極は、同一工程で形成し、また、アドレス電極に関して
は、この放電維持電極とは、別の第２の基板２に形成す
ることから、相互に熱の影響による位置ずれの影響が回
避されることから、放電開始の放電および放電維持の放
電の双方に関して陰極グロー放電を行う場合において
も、そのアドレス電極と放電維持電極との間隔、放電維
持電極相互の間隔を、目的とする間隔に高い精度をもっ
て製造することができる。

【００７８】また、上述したように、突条６を井桁状と
するときは、両基板１および２にず１が生じても、両基
板１および２の間隔、したがって、アドレス電極と放電
維持電極との間隔を所定の間隔に保持することができ
る。

【００７９】また、本発明製造方法によれば、目的とす
る本発明による平面型表示装置のアドレス電極が、隔壁
の側面に形成される構成とするにも係わらず、斜め方向
の導電材料の飛翔、あるいは隔壁内への導電層の形成に
よって容易、確実にその形成を行うことができ、信頼性
が高く、特性の均一化が図られた平面型表示装置を得る
ことができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による平面型表示装置の一例の要部の概
略斜視図である。

【図２】図１に示す平面型表示装置の、第１の基板１の
要部の平面図である。

【図３】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置の
製造方法の一例の各一部工程における斜視図である。

【図４】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置の
製造方法の一例の各一部工程における斜視図である。

【図５】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置の
製造方法の一例の各一部工程における斜視図である。

【図６】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置の
製造方法の一例の各一部工程における斜視図である。

【図７】本発明による平面型表示装置の製造方法の一例
の一部工程における斜視図である。

【図８】本発明による平面型表示装置の他の一例の要部
の概略斜視図である。

【図９】Ａ〜Ｃは、本発明による平面型表示装置の製造
方法の一例の各一部工程における断面図である。

【図１０】ＡおよびＢは、本発明による平面型表示装置
の製造方法の一例の各一部工程における断面図である。

【図１１】本発明装置の放電維持電極の一例の平面図で
ある。

【図１２】従来装置の要部の概略斜視図である。

【図１３】従来装置の要部の分解斜視図である。

【図１４】ＡおよびＢは、従来装置の放電維持電極の配
置を示す平面図およびそのＢ−Ｂ線上の断面図である。

【符号の説明】

１・・・第１の基板、２・・・第２の基板、３，４・・
・放電維持電極、３ｂ，４ｂ・・・バス電極、５・・・
放電維持電極群、６・・・突条、６ｙ・・・突条部、６
ｘ・・・交叉突条部、７・・・誘電体層、８，１３・・
・表面層、９・・・隔壁、９ｃ・・・連結部、９Ａ・・
・隔壁本体、１０・・・アドレス電極、１０ａ・・・端
子部、１１・・・アドレス電極群、１２・・・溝部、１
４・・・導電材、１５・・・エッチングレジスト、１６
・・・導電層、１７・・・絶縁層、１８・・・マスク、
１０１・・・第１の基板、１０２・・・第２の基板、１
０３，１０４・・・対の放電維持電極、１０５・・・放
電維持電極群、１０６・・・隔壁、１０７・・・アドレ
ス電極、Ｒ・・・赤の蛍光体、Ｇ・・・緑の蛍光体、Ｂ
・・・青の蛍光体

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１および第２の基板が相対向して配置
   され、 上記第１の基板に、複数の放電維持電極が配列されて成
   る放電維持電極群が形成され、 上記第２の基板に、所要の間隔を保持して配列された複
   数の隔壁と、複数のアドレス電極が配列されて成るアド
   レス電極群とが形成され、 上記アドレス電極は、上記隔壁の頂面を除く少なくとも
   一側面上に形成されるか、あるいは上記隔壁内に一側縁
   が上記隔壁の上記少なくとも一側面に臨むかもしくは該
   側面近傍に位置するように形成され、 主として陰極グロー放電によるプラズマ放電表示がなさ
   れることを特徴とする平面型表示装置。
2. 【請求項２】 上記放電維持電極は、その主たる延長方
   向が、上記第１の基板の基板面に沿う第１の方向とされ
   て配列され、 上記隔壁は、上記第２の基板に、該基板面に沿い、上記
   第１の方向と交叉する第２の方向に延長して並置配列形
   成されて成ることを特徴とする請求項１に記載の平面型
   表示装置。
3. 【請求項３】 上記アドレス電極が、隣り合う隔壁間の
   溝の底面に差し渡って形成されて成ることを特徴とする
   請求項１に記載の平面型表示装置。
4. 【請求項４】 上記アドレス電極が、上記隔壁の両側面
   に対して相互に電気的に分離されて形成され、 隣り合う隔壁の相対向する側面に関するアドレス電極同
   士が、端部において相互に電気的に連結されて成ること
   を特徴とする請求項１に記載の平面型表示装置。
5. 【請求項５】 上記隔壁は、隔壁本体と該隔壁本体上に
   積層された積層絶縁層とによって形成され、 上記アドレス電極が、上記隔壁本体と上記積層絶縁層と
   の間に介在された導電層によって形成され、該導電層の
   一側縁が上記隔壁の側面に臨むかもしくは該側面近傍に
   位置するように配置されて成ることを特徴とする請求項
   １に記載の平面型表示装置。
6. 【請求項６】 隣り合う上記隔壁の互いの対向面間の溝
   部内に、蛍光体が塗布されて成ることを特徴とする請求
   項１に記載の平面型表示装置。
7. 【請求項７】 隣り合う上記隔壁の互いの対向面間の溝
   部の順次２つ置きの溝部内に、赤、緑および青の各色を
   発光する蛍光体が塗布されて成ることを特徴とする請求
   項１に記載の平面型表示装置。
8. 【請求項８】 上記アドレス電極と、該アドレス電極と
   対向する上記放電維持電極との間隔が、５０μｍ以下に
   選定されて主として陰極グロー放電による放電開始がな
   されることを特徴とする請求項１に記載の平面型表示装
   置。
9. 【請求項９】 上記アドレス電極と、該アドレス電極と
   対向する上記放電維持電極との間隔が、２０μｍ以下に
   選定されて主として陰極グロー放電による放電開始がな
   されることを特徴とする請求項１に記載の平面型表示装
   置。
10. 【請求項１０】 上記第１の基板に、上記第２の方向に
    沿って延びる突条部と、上記隔壁と交叉する方向に延び
    る交叉突条部とによる井桁状突条が形成されて成ること
    を特徴とする請求項２に記載の平面型表示装置。
11. 【請求項１１】 第１の基板に、主たる延長方向が、該
    第１の基板面に沿う第１の方向とされた複数の放電維持
    電極を並置配列形成する放電維持電極群の形成工程と、 上記第２の基板に、該第２の基板面に沿う第２の方向に
    延びる複数の隔壁を並置配列形成する隔壁形成工程と、 上記第２の方向と交叉する方向の斜め上方から導電材を
    飛翔させて、上記隔壁の頂面以外の少なくとも一側面に
    アドレス電極を形成する工程と、 上記隣り合う隔壁間の溝部内に、蛍光体を形成する工程
    と、 上記第１および第２の方向が交叉するように、上記第１
    および第２の基板を対向させてこれら第１および第２の
    基板の周辺部を封止する工程とを有することを特徴とす
    る平面型表示装置の製造方法。
12. 【請求項１２】 第１の基板に、主たる延長方向が、該
    第１の基板面に沿う第１の方向とされた複数対の放電維
    持電極を配列形成する放電維持電極群の形成工程と、 上記第２の基板もしくは該基板上に形成した絶縁層上
    に、第２の方向に延びる複数のストライプ状導電層を並
    置配列形成する工程と、 上記ストライプ状導電層上を覆って絶縁層を積層形成す
    る工程と、 該積層絶縁層から上記第２の基板もしくは該基板上に形
    成された絶縁層に至る深さに、溝加工を行って隔壁を形
    成する工程と、 上記隣り合う隔壁間の溝部内に、蛍光体を形成する工程
    と、 上記第１および第２の方向が交叉するように、上記第１
    および第２の基板を対向させてこれら第１および第２の
    基板の周辺部を封止する工程とを有し、 上記隔壁が、上記隔壁本体と上記積層絶縁層とにより構
    成され、 上記アドレス電極が、上記隔壁本体と上記積層絶縁層と
    の間に介在された上記導電層によって形成され、該導電
    層による上記アドレス電極の一側縁が上記隔壁の側面に
    臨むかもしくは該側面近傍に位置するように配置されて
    成る平面型表示装置を得ることを特徴とする平面型表示
    装置の製造方法。