KR20080079917A - 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은 서로 대향되게 배치된 제 1 기판과, 제 2 기판을 가지는 복수의 기판;과, 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 배치되어서, 방전 셀을 구획하는 복수의 격벽;과, 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 배치된 복수의 방전 전극쌍;과, 방전 셀내에 형성된 형광체층;을 포함하고, 격벽에는 간격이 형성되고, 간격에는 배기 통로부를 가지는 브리지 격벽이 배치된 것으로서, 단일 격벽과 이중 격벽이 혼용된 격벽 사이에 배치된 브리지 격벽 상단면에 진공 배기 공정중에 배기 가스가 배출될 수 있는 통로를 제공하게 됨으로써, 불순 가스의 배기가 원활하게 이루어질 수 있다. 이에 따라, 패널 조립체의 전기, 광학적 특성을 크게 향상시킬 수가 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법{Plasma display panel and the fabrication methode thereof}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제하여 도시한 분리 사시도,

도 2는 도 1의 플라즈마 디스플레이 패널이 결합된 상태를 도시한 단면도,

도 3a 내지 도 3h는 도 1의 격벽을 제조하기 위한 과정을 순차적으로 도시한 단면도로서,

도 3a는 기판상에 어드레스 전극과, 유전체층이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도,

도 3b는 도 3a의 기판상에 격벽 형성용 원소재를 도포하는 상태를 도시한 단면도,

도 3c는 도 3b의 기판상에 포토 레지스터를 도포한 이후의 상태를 도시한 단면도,

도 3d는 도 3c의 기판상에 노광 및 현상하는 상태를 도시한 단면도,

도 3e는 도 3d의 기판상에 에칭액을 분사하는 상태를 도시한 단면도,

도 3f는 도 3e의 기판상에 에칭되는 초기 상태를 도시한 단면도,

도 3g는 도 5f의 기판상에 에칭되는 중기 상태를 도시한 단면도,

도 5h는 도 5g의 기판상에 에칭이 완료된 상태를 도시한 단면도,

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>

100...플라즈마 디스플레이 패널

101...제 1 기판 102...제 2 기판

103...방전 유지 전극쌍 114...격벽

115...제 1 격벽 116...제 2 격벽

117...형광체층 118...브리지 격벽

119...배기 통로부

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 단일 격벽과 이중 격벽을 혼용한 패널에서 배기 통로부를 가지는 브리지 격벽을 형성한 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법에 관한 것이다.

통상적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 방전 전극이 배치된 두 기판 사이에 방전 가스를 방전시키고, 이로 인하여 발생되는 자외선에 의하여 형광체층을 여기시켜 소망하는 숫자, 문자 또는 그래픽을 구현하는 표시 장치이다.

플라즈마 디스플레이 패널은 방전 셀에 인가되는 구동 전압의 형식, 예컨대 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류하고, 전극들의 구성 형태에 따라 대향 방전형 및 면 방전형으로 구분할 수가 있다.

직류형 플라즈마 디스플레이 패널은 모든 전극들이 방전 공간에 노출되는 구조로서, 대응 전극들 사이에 전하의 이동이 직접적으로 이루어진다. 반면에, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 적어도 한 전극이 유전체층에 매립되고, 대응하는 전극들 사이에 직접적인 전하의 이동이 이루어지지 않은 대신에, 유전체층 표면에 방전에 의하여 생성된 이온과 전자가 부착하여 벽전압(wall voltage)을 형성하고, 유지 전압(sustaing voltage)에 의하여 방전 유지가 가능하다.

한편, 대향 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 단위 화소마다 어드레스 전극과 Y 전극이 대향하여 마련되고, 두 전극간에 어드레싱 방전 및 유지 방전이 일어나는 방식이다. 반면에, 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 각 단위 화소마다 어드레스 전극과 그에 해당되는 X 및 Y 전극이 마련되어 어드레싱 방전과 유지 방전이 발생하게 되는 방식이다.

종래의 3전극 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 제 1 기판과, 제 2 기판과, 제 1 기판상에 배치된 한쌍의 방전 유지 전극과, 방전 유지 전극을 매립하는 제 1 유전체층과, 제 1 유전체층의 표면에 형성된 보호막층과, 제 2 기판상에 배치된 어드레스 전극과, 어드레스 전극을 매립하는 제 2 유전체층과, 제 1 및 제 2 기판 사이에 설치된 격벽과, 격벽 내측의 방전 셀내에 형성된 적,녹,청색의 형광체층을 포함한다.

종래의 격벽을 제조하는 방법은 다음과 같다.

제 2 기판을 세정한 다음에 격벽용 원소재를 전면 인쇄하고, 이를 건조한 다음에, 드라이 필름 레지스터를 형성하고, 포토 마스크를 정렬하여서 노광 및 현상 하고, 샌드 블라스트(sand blast) 공법으로 격벽이 형성되는 부분 이외의 격벽용 원소재를 제거하고, 잔류하는 포토 레지스터를 박리하고, 소성하여 소망하는 격벽을 완성하게 된다.

그런데, 샌드 블라스트 공법을 이용한 종래의 격벽은 건조후 드라이 필름 레지스터의 현상후에 탄산칼슘(CaCO₃)과 같은 연마제가 제 2 기판상에 고압으로 분사되는 과정에서 제 2 기판상에 미세한 흠을 발생시킬 문제점이 있다.

최근 들어서는, 격벽의 소성후에 포토 레지스터 필름을 형성시키고, 이를 노광 및 현상한 다음에 방전 공간이 형성될 부위에 에칭액을 분사하여 격벽을 성형하는 에칭 공법이 적용되고 있는 추세이다.

또한, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널은 수분 흡착성이 강한 보호막층과, 다공성의 형광체층내에 다량의 불순 가스를 포함하고 있으며, 불순 가스는 패널내에 잔류하여 수명 특성에 많은 악영향을 주어 영구 잔상 및 방전 불안등의 문제를 유발할 수가 있다.

이를 위하여, 진공 배기 공정중에 다량의 불순 가스를 외부로 배출하게 되는데, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 경우, 배기 통로부의 형성이 용이하지 않아서, 불순 가스의 배출이 어려웠다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단일 격벽과 이중 격벽이 혼용된 격벽에 높이를 달리하는 브리지 격벽을 형성하여서 진공 배기 공정 중에 배기 가스가 배출될 수 있는 통로를 제공하는 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은,

서로 대향되게 배치된 제 1 기판과, 제 2 기판을 가지는 복수의 기판;과,

상기 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 배치되어서, 방전 셀을 구획하는 복수의 격벽;과,

상기 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 배치된 복수의 방전 전극쌍;과,

상기 방전 셀내에 형성된 형광체층;을 포함하고,

상기 격벽에는 간격이 형성되고, 상기 간격에는 배기 통로부를 가지는 브리지 격벽이 배치된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 격벽은 패널의 일방향을 따라 배치된 제 1 격벽과, 상기 패널의 타방향을 따라 배치되며, 상기 제 1 격벽과 연결된 제 2 격벽을 포함하고, 상기 제 1 격벽은 인접한 제 2 격벽 사이를 연결하여 방전 공간을 구획한 단일 격벽이고, 상기 제 2 격벽은 상기 제 1 격벽이 한 쌍의 제 2 격벽 사이를 하나건너 하나씩 연결하여서, 상기 제 1 격벽이 연결되지 않은 제 2 격벽 사이에는 상기 간격이 형성된 이중 격벽인 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 브리지 격벽은 간격에 접하는 복수의 제 2 격벽의 외측벽으로부터 서로 대향되는 방향으로 연장되어 형성되어 있다.

나아가, 상기 브리지 격벽의 높이는 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽의 높이보다 낮게 형성되어서, 상기 브리지 격벽의 상단부에는 높이 차이에 상응하는 배기 통로부가 형성된 것을 특징으로 한다.

게다가, 상기 복수의 방전 전극쌍의 패널의 일방향으로 배치된 X 전극과, Y 전극과, 상기 Y 전극과 교차하는 방향으로 배치된 어드레스 전극을 포함하고, 상기 X 전극은 X 버스 전극 라인과, 상기 X 버스 전극 라인과 전기적으로 연결된 X 투명 전극을 가지고, 상기 Y 전극은 Y 버스 전극 라인과, 상기 Y 버스 전극 라인과 전기적으로 연결된 Y 투명 전극을 가지고, 상기 X 버스 전극 라인과, Y 버스 전극 라인은 한 쌍의 제 2 격벽과 대응되는 제 1 기판의 내면을 따라 각각 배치되고, 상기 X 투명 전극과, Y 투명 전극은 방전 공간내로 각각 돌출된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 측면에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은,

기판을 준비하는 단계;

상기 기판상에 격벽 형성용 원소재를 도포하는 단계;

상기 격벽 형성용 원소재상에 포토 레지스터를 도포하는 단계;

상기 포토 레지스터를 노광 및 현상하여서, 제 1 격벽과, 이와 연결되어서 방전 셀을 구획하는 제 2 격벽을 가지는 격벽의 패턴과, 상기 격벽 사이에 형성되는 간격에 배치되는 브리지 격벽의 패턴을 형성하는 단계;

패턴화된 포토 레지스터 사이의 개구를 통하여 에칭액을 투입하여, 배기 통로부를 형성하기 위하여 격벽과, 브리지 격벽의 높이가 서로 다르도록 격벽용 원소재를 에칭하는 단계; 및

상기 격벽용 원소재상에 잔류하는 포토 레지스터를 제거하여 격벽과, 브리지 격벽을 완성하는 단계;를 포함한다.

또한, 상기 격벽의 패턴은 제 1 격벽이 인접한 제 2 격벽 사이를 연결하여 방전 셀을 구획하되, 한 쌍의 제 2 격벽 사이를 하나 건너 하나씩 연결함으로써, 상기 제 1 격벽이 연결되지 않은 제 2 격벽 사이에 간격이 형성된다.

더욱이, 상기 브리지 격벽의 패턴은 간격에 접하는 인접한 복수의 제 2 격벽의 외측벽으로부터 서로 대향되는 방향으로 연장된다.

나아가, 격벽과, 브리지 격벽의 패턴을 형성하는 단계에서는, 제 1 격벽과, 제 2 격벽에 의하여 구획된 방전 셀을 에칭하기 위한 포토 레지스터의 제 1 개구의 크기가 배기 통로부을 가지는 브리지 격벽을 에칭하기 위한 포토 레지스터의 제 2 개구의 크기보다 크게 형성된 것을 특징으로 한다.

게다가, 격벽용 원소재를 에칭하는 단계에서는, 브리지 격벽이 에칭되는 깊이가 제 1 격벽 및 제 2 격벽에 의하여 구획된 방전 셀의 에칭되는 깊이보다 낮게 되어서, 상기 브리지 격벽의 상단부에는 상기 높이 차이에 상응하는 배기 통로부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

이하에서 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(100)을 일부 절제하여 분리 도시한 것이고, 도 2는 도 1의 플라즈마 디스플레이 패널(100)이 결합된 상태를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(100)에는 제 1 기판(101)과, 제 2 기판(102)이 마련되어 있다. 상기 제 1 기판(101)과, 제 2 기판(102)은 서로 대향되며, 소정 간격 이격되게 간격을 두고 배치되어 있다. 상기 제 1 기판(101)과, 제 2 기판(102)은 대향되는 내면의 가장자리를 따라서 프릿트 글래스(frit glass, 미도시)가 도포되어서, 방전 셀을 외부로부터 밀폐시키고 있다.

상기 제 1 기판(101)은 투명한 기판, 예컨대, 소다 라임 글래스(soda lime glass)로 이루어져 있다. 대안으로는, 상기 제 1 기판(101)은 반투명판이나, 착색된 기판이나, 반사판등을 사용할 수가 있다.

상기 제 1 기판(101)의 내면에는 방전 유지 전극쌍(103)이 배치되어 있다. 상기 방전 유지 전극쌍(103)은 X 전극(104)과, Y 전극(105)을 포함한다. 상기 X 전극(104)은 X 투명 전극(106)과, 상기 X 투명 전극(106)과 연결된 X 버스 전극(107)을 포함하며, 상기 Y 전극(105)은 Y 투명 전극(108)과, 상기 Y 투명 전극(108)과 연결된 Y 버스 전극(109)을 포함한다.

상기 X 전극(104)과, Y 전극(105)은 제 1 유전체층(110)에 의하여 매립되어 있다. 상기 제 1 유전체층(110)은 고유전성의 소재, 예컨대, ZnO-B₂O₃-Bi₂O₃로 이루어질 수가 있다. 상기 제 1 유전체층(110)은 상기 X 전극(104)과, Y 전극(105)이 형성된 영역에만 선택적으로 형성되거나, 상기 제 1 기판(101) 내표면의 전 영역에 걸쳐서 형성시킬 수가 있다.

상기 제 1 유전체층(110)의 표면에는 이의 파손을 방지하고, 2차 전자 방출량을 증대시키기 위하여 마그네슘 옥사이드(MgO)와 같은 보호막층(111)이 증착되어 있다.

상기 제 2 기판(102)은 상기 제 1 기판(101)과 실질적으로 동일한 소재로 이루어질 수 있다. 상기 제 2 기판(102)의 내면에는 어드레스 전극(112)이 배치되어 있다. 상기 어드레스 전극(112)은 상기 방전 유지 전극쌍(103)과 교차하는 방향으로 배치되어 있다. 상기 어드레스 전극(112)은 제 2 유전체층(113)에 의하여 매립되어 있다. 상기 제 2 유전체층(113)은 고유전성의 소재, 이를테면, PbO-B₂O₃-SiO₂로 이루어져 있다. 상기 제 1 기판(101)과, 제 2 기판(102) 사이에는 이들과 함께 방전 셀을 한정하는 격벽(114)이 배치되어 있다.

한편, 상기 제 1 기판(101)과, 제 2 기판(102)과, 격벽(114)의 결합으로 한정된 방전 셀 내에는 네온(Ne)-크세논(Xe)이나, 헬륨(He)-크세논(Xe)과 같은 방전 가스가 주입되어 있다.

또한, 방전 셀 내에는 방전 가스로부터 발생된 자외선에 의하여 여기되어서 가시광을 방출하기 위한 적색, 녹색, 청색 형광체층(117)이 형성되어 있다. 상기 형광체층(117)은 방전 셀의 어느 영역에도 코팅될 수 있다.

게다가, 상기 형광체층(117)은 적색, 녹색, 청색 형광체층으로 구성되지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고,다른 색상의 형광체층으로 대체하거나, 다른 색 상의 형광체층을 추가적으로 형성시킬 수가 있다. 본 실시예의 경우, 적색 형광체층은 (Y,Gd)BO₃;Eu⁺³으로 이루어지고, 녹색 형광체층은 Zn₂SiO₄:Mn²⁺으로 이루어지고, 청색 형광체층은 BaMgAl₁₀O₁₇:Eu²⁺으로 이루어지는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 격벽(114)에는 간격(g)이 형성되고, 상기 간격(g)에는 브리지 격벽(118)이 배치되고, 상기 브리지 격벽(118)에는 상기 격벽(114)에 대하여 높이 차이를 달리하는 것에 의하여 진공 배기시에 불순 가스가 배출될 수 있는 배기 통로부(119)가 형성되어 있다.

보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도면을 참조하면, 상기 격벽(114)은 패널(100)의 X 방향을 따라 배치된 제 1 격벽(115)과, 상기 패널(100)의 Y 방향을 따라 배치된 제 2 격벽(116)을 포함한다. 상기 제 1 격벽(115)은 어드레스 전극(112)이 배치된 방향과 나란한 방향으로 배치되며, 상기 제 2 격벽(116)은 어드레스 전극(112)이 배치된 방향과 교차하는 방향으로 배치되어 있다.

상기 제 1 격벽(115)과, 제 2 격벽(116)은 다같이 스트라이프형으로 배치되며, 서로 연결되어서 방전 셀을 구획한다. 예컨대, 상기 제 1 격벽(115)과, 제 2 격벽(116)의 결합으로 구획된 방전 셀은 횡단면이 직사각형이다. 상기 격벽(114)은 방전 셀을 구획할 수 있는 구조라면 어느 하나의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이에 따른 방전 셀의 횡단면도도 직사각형뿐만 아니라, 형상이 다른 장방형이나, 원형이나, 타원형등 다양한 실시예가 존재가능하다.

이때, 상기 제 1 격벽(115)은 단일 격벽으로 이루어지고, 상기 제 2 격벽(116)은 이중 격벽으로 이루어진다.

즉, 상기 제 1 격벽(115)은 인접한 한 쌍의 제 2 격벽(116) 사이에 배치되며, 양 단부가 상기 제 2 격벽(116)의 대향되는 내측벽에 각각 연결되어서 방전 셀을 구획하고 있다. 또한, 상기 제 1 격벽(115)은 패널(100)의 Y 방향을 따라 소정 간격 이격되게 배치되며, 패널(100)의 Y 방향을 따라 인접한 방전 셀마다 1개씩 배치된 단일 격벽이다.

제 1 격벽(115)은 인접한 한 쌍의 제 2 격벽(116) 사이를 하나건너 하나씩 연결하여서 제 1 격벽(115)이 연결되지 않은 제 2 격벽(116) 사이에는 간격(g)이 형성되어 있다. 상기 간격(g)은 상기 제 2 격벽(116)이 배치된 방향과 나란한 방향을 따라서 형성되어 있다. 이처럼, 인접한 한 쌍의 제 2 격벽(116)과, 이와 이웃한 다른 한쌍의 제 2 격벽(116) 사이에는 패널(100)의 Y 방향을 따라 간격(g)이 형성되며, 제 2 격벽(116)은 패널(100)의 X 방향을 따라 인접한 방전 셀마다 2개씩 배치된 이중 격벽이다.

상기 간격(116)에는 상기 제 2 격벽(116)의 패턴화시 변형을 방지하기 위하여 지지역할을 하는 브리지 격벽(118)이 배치되어 있다. 상기 브리지 격벽(118)은 간격(g)과 접하는 인접한 복수의 제 2 격벽(116)의 외측벽으로부터 서로 대향되는 방향으로 연장되어 형성되어 있다.

상기 브리지 격벽(118)은 양 단부가 상기 제 2 격벽(116)과 일체로 연결되어 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 브리지 격벽(118)은 인접한 한 쌍의 제 1 격벽(115) 사이에 해당되는 제 2 격벽(116)의 영역으로부터 연결되어서, 제 2 격벽(116)의 성형성을 유지하는 것이 바람직하다. 상기 브리지 격벽(118)은 패널(100)의 Y 방향을 따라 소정 간격 이격되게 다수개 배치되어 있다.

그리고, 상기 브리지 격벽(118)의 높이는 상기 제 1 격벽(115)이나 제 2 격벽(116)의 높이보다 낮게 형성되어 있다. 이에 따라, 상기 제 1 격벽(101)과, 제 2 격벽(102)과, 격벽(114)의 결합시, 상기 제 1 기판(101)의 내면에 형성된 보호막층(111)과, 브리지 격벽(118)의 상단부(118a) 사이에는 격벽(115)과 브리지 격벽(118)의 높이 차이와 상응하는 배기 통로부(119)가 형성되어 있다.

상기 브리지 격벽(118)의 상단부(118a)는 격벽(114)과 브리지 격벽(118)의 높이 차이로 인한 배기 통로부(119)를 형성할 수 있는 형상이라면 어느 하나에 한정되는 것은 아니지만, 본 실시예는 에칭에 의하여 상단부(118a)의 중앙 지점이 가장 낮은 높이를 가지며, 양 가장자리지점이 가장 높은 높이를 가지도록 만곡면을 이루도록 형성되어 있다. 상기 배기 통로부(119)는 패널(100)의 Y 방향을 따라서 연통되어 있으며, 진공 배기시에 배기 가스의 통로 역할을 하고 있다.

한편, 상기 X 투명 전극(106)이 방전 셀마다 배치되어 있다. 상기 X 투명 전극(106)은 투명한 도전막, 예컨대, ITO막으로 이루어져 있다. 상기 X 투명 전극(106)은 횡단면이 직사각형의 형상이지만, 이에 한정되는 것은 아니다.

패널(100)의 Y 방향을 따라 인접하게 배치된 X 투명 전극(106)은 X 버스 전극(107)에 의하여 전기적으로 연결되어 있다. 상기 X 버스 전극(107)은 도전성이 우수한 은 페이스트로 이루어져 있다. 상기 X 버스 전극(107)은 상기 제 2 격벽(116)의 상부와 대응되는 제 1 기판(101)의 내면에 배치되어 있으며, 패널(100)의 Y 방향을 따라 스트라이프형으로 배치되어 있다.

상기 Y 투명 전극(108)은 방전 셀마다 배치되어 있으며, 상기 X 투명 전극(106)과 대향되는 위치에 배치되어 있다. 상기 Y 투명 전극(108)은 상기 X 투명 전극(106)과 방전 셀의 중앙에서 방전 갭(discharge gap)을 형성하고 있다. 상기 Y 투명 전극(108)은 상기 X 투명 전극(106)과 실질적으로 동일한 소재이며, 동일한 형상을 유지하는 것이 바람직하다.

패널(100)의 Y 방향을 따라 인접하게 배치된 Y 투명 전극(108)은 Y 버스 전극(109)에 의하여 전기적으로 연결되어 있다. 상기 Y 버스 전극(109)은 상기 X 버스 전극(107)과 실질적으로 동일한 소재이며, 동일한 형상을 유지하는 것이 바람직하다. 상기 Y 버스 전극(109)은 상기 제 2 격벽(116)의 상부와 대응되는 제 1 기판(101)의 내면에 배치되어 있다.

이때, 상기 X 버스 전극(107)과, Y 버스 전극(109)은 인접하게 배치된 한 쌍의 제 2 격벽(116)의 상부와 대응되는 제 1 기판(101)의 내면에 각각 배치되어 있다. 또한, 상기 패널(100)은 방전의 효율을 향상시키기 위하여, 상기 패널(100)의 Y 방향을 따라 한 쌍의 제 2 격벽(116) 상에는 X 버스 전극(107)과, Y 버스 전극(109)이 배치되어 있으며, 이와 이웃한 다른 한 쌍의 제 2 격벽(116) 상에는 전극의 배치가 반대인 Y 버스 전극(109)과, X 버스 전극(107)이 배치된 구조, 이른바, XX-YY 전극 구조이다.

상기와 같은 구조를 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(100)의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, Y 전극(105)과 어드레스 전극(112) 사이에 소정의 펄스 전압이 인가되면, 발광될 방전 셀이 선택된다. 선택된 방전 셀의 내측면에는 벽전하(wall charge)가 축적된다.

이어서, X 전극(104)에 “＋” 전압이 인가되고, Y 전극(105)에 이보다 상대적으로 높은 전압이 인가되면, X 전극(104)과, Y 전극(105) 사이에 인가된 전압 차이에 의하여 벽전하가 이동하게 된다.

벽전하의 이동에 의하여 방전 셀내의 방전 가스 원자와 충돌하면서 방전을 일으켜 플라즈마를 생성시키고, 방전은 강한 전계가 형성된 X 투명 전극(106)과, Y 투명 전극(108) 사이의 방전 갭으로부터 방전 셀의 가장자리로 확대된다.

상기 방식으로, 방전이 형성된 다음에는 X 전극(104)과, Y 전극(105) 사이의 전압 차이가 방전 전압보다 낮아지면, 방전은 더 이상 발생되지 않고, 공간 전하 및 벽 전하가 방전 셀에 형성된다.

이때, X 전극(104)과, Y 전극(105)에 인가된 전압의 극성을 서로 바꾸어 주면, 벽전하의 도움을 받아서 방전이 다시 발생하게 된다. 이렇게, X 전극(104)과, Y 전극(105)의 극성을 서로 바꾸어 주면, 처음의 방전 과정을 반복하게 된다. 상기와 같은 과정을 반복하면서 방전이 안정적으로 발생하게 된다.

한편, 방전에 의하여 생성된 자외선은 각 방전 셀에 도포되어 있는 적,녹,청색의 형광체층(117)의 형광체를 여기시키게 된다. 상기 과정을 통하여 가시광을 얻 게 된다. 생성된 가시광은 방전 셀로 방출되어서 정지 화상 또는 동영상을 구현하게 된다.

이하, 상기 격벽(114)을 제조하기 위한 제조 공정을 도 3a 내지 도 3h를 참조하여 단계별로 상세하게 설명하고자 한다.

먼저 도 3a에 도시된 바와 같이,제 1 기판(102)을 준비한다. 준비된 제 1 기판(102) 상에는 어드레스 전극(112)이 패턴화되어 있으며, 상기 어드레스 전극(112)은 제 2 유전체층(113)에 의하여 매립하게 된다.

다음으로, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 기판(102) 상에는 격벽 형성용 원소재(301)를 도포하게 된다. 상기 격벽 형성용 원소재(301)는 다양한 방법으로 전면 코팅할 수 있으며, 본 실시예에서는 스크린(351) 상에 격벽 형성용 원소재(301)를 적재하고, 스퀴지(352)를 일방향을 진행시키는 것에 의하여 전면 도포하는 것이 가능하다.

이어서, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 격벽 형성용 원소재(301)의 윗면에 포토 레지스터(311)를 도포하게 된다. 상기 포토 레지스터(311)는 상기 격벽 형성용 원소재(301)상에 전면 도포된다.

다음으로, 도 3d에 도시된 바와 같이, 도포된 포토 레지스터(311)의 상부에는 소정 간격 이격되게 포토 마스크(321)를 정렬하고, 자외선을 쬐여서 노광 및 현상을 수행하게 된다.

상기 포토 레지스터(311)를 노광 및 현상하고 나면, 도 3e에 도시된 바와 같이, 격벽 형성용 원소재(301)의 표면에는 형성시키고자 하는 격벽과, 브리지 격벽 과 대응되는 부분에는 포토 레지스터의 패턴(311a)이 남게되고, 그 나머지 부분은 제거된다.

이때, 상기 패턴화된 포토 레지스터(311a)은 격벽의 패턴과, 브리지 격벽의 패턴을 포함한다. 격벽의 패턴은 형성될 제 1 격벽이 인접한 제 2 격벽 사이를 연결하여 방전 셀을 구획하되, 한 쌍의 제 2 격벽 사이를 하나 건너 하나씩 연결함으로써, 제 1 격벽이 연결되지 않은 제 2 격벽 사이에는 간격이 형성되어 있다. 또한, 브리지 격벽의 패턴은 간격에 접하는 인접한 복수의 제 2 격벽의 외측벽으로부터 서로 대향되는 방향으로 연장되어 있다.

상기 격벽의 패턴과, 브리지 격벽의 패턴을 가지는 포토 레지스터의 패턴(311a)이 남은 다음에는, 그 상부에서 노즐(321)을 통하여 에칭액(322)을 분사시키고, 소정 시간 침식시켜서 소망하는 형상의 격벽(114)과, 브리지 격벽(118)을 형성시키게 된다. 이때, 상기 격벽(114)과 브리지 격벽(118)은 폭보다 높이가 크게 형성된다.

상기 에칭액(322)으로 인하여 격벽 형성용 원소재(301)가 에칭되는 과정은 도 3f 내지 도 3h에 도시된 바와 같이 진행된다.

먼저, 도 3f에 도시된 바와 같이, 상기 에칭액(322)은 패턴화된 포토 레지스터(311a)가 형성되지 않은 부분의 표면으로부터 에칭되어 간다. 이때, 상기 에칭액(322)은 상기 격벽 형성용 원소재(301)의 표면으로부터 등방향으로 진행하게 된다.

이때, 상기 패턴화된 포토 레지스터(311a) 사이의 개구는 도 1에 도시된 격 벽(114)에 의하여 한정된 방전 셀을 형성하기 위하여 에칭액(322)이 분사되는 통로를 제공하는 제 1 개구(331)와, 브리지(118) 상부를 에칭하기 위하여 에칭액(322)이 분사되는 통로를 제공하는 제 2 개구(332)를 포함한다. 상기 제 1 개구(331)의 크기는 제 2 개구(332)의 크기보다 상대적으로 크게 형성되어 있다.

이어서, 도 3g에 도시된 바와 같이, 상기 에칭액(322)에 의한 격벽 형성용 원소재(301)의 에칭은 계속 진행하게 되면서, 상기 제 1 개구(331)의 크기와 제 2 개구(332)의 크기 차이로 인하여, 상기 제 1 개구(331)를 통하여 격벽 형성용 원소재(301)가 에칭되는 에칭량은 상기 제 2 개구(332)를 통하여 상기 격벽 형성용 원소재(301)가 에칭되는 에칭량보다 크다.

이에 따라, 잔류하는 패턴화된 포토 레지스터(311a)를 제거하고 나면, 도 3h에 도시된 바와 같이, 브리지 격벽(118)의 상단부에는 배기 통로부(119)가 형성된다. 상기 배기 통로부(119)는 브리지 격벽(118)이 에칭되는 깊이가 제 1 및 제 2 격벽(115)(116)에 의하여 구획된 방전 셀(S)의 에칭되는 깊이보다 낮게 되어서 형성되는 높이 차이와 상응한다.

이렇게 배기 통로부(119)는 상기 패턴화된 포토 레지스터(311a)를 통하여 형성되는 개구의 크기를 조절하는 것에 의하여 에칭량을 조절하는 것에 의하여 형성가능하다. 또한, 상기 배기 통로부(119)는 간격을 연통하여 형성된다.

이상의 설명에서와 같이 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널과, 이의 제조 방법은 단일 격벽과 이중 격벽이 혼용된 격벽 사이에 배치된 브리지 격벽 상단면에 진공 배기 공정중에 배기 가스가 배출될 수 있는 통로를 제공하게 됨으로써, 불순 가스의 배기가 원활하게 이루어질 수 있다. 이에 따라, 패널 조립체의 전기, 광학적 특성을 크게 향상시킬 수가 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (15)

1. 서로 대향되게 배치된 제 1 기판과, 제 2 기판을 가지는 복수의 기판;과,

   상기 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 배치되어서, 방전 셀을 구획하는 복수의 격벽;과,

   상기 제 1 기판과, 제 2 기판 사이에 배치된 복수의 방전 전극쌍;과,

   상기 방전 셀내에 형성된 형광체층;을 포함하고,

   상기 격벽에는 간격이 형성되고, 상기 간격에는 배기 통로부를 가지는 브리지 격벽이 배치된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 격벽은 패널의 일방향을 따라 배치된 제 1 격벽과, 상기 패널의 타방향을 따라 배치되며, 상기 제 1 격벽과 연결된 제 2 격벽을 포함하고,

   상기 제 1 격벽은 인접한 제 2 격벽 사이를 연결하여 방전 공간을 구획한 단일 격벽이고,

   상기 제 2 격벽은 상기 제 1 격벽이 한 쌍의 제 2 격벽 사이를 하나건너 하나씩 연결하여서, 상기 제 1 격벽이 연결되지 않은 제 2 격벽 사이에는 상기 간격이 형성된 이중 격벽인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 간격은 상기 제 2 격벽이 배치된 방향과 나란한 방향을 따라 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 브리지 격벽은 간격에 접하는 복수의 제 2 격벽의 외측벽으로부터 서로 대향되는 방향으로 연장되어 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 브리지 격벽은 인접한 한 쌍의 제 1 격벽 사이에 해당하는 제 2 격벽의 영역으로부터 연결된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
6. 제 2 항에 있어서,

   상기 브리지 격벽의 높이는 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽의 높이보다 낮게 형성되어서, 상기 브리지 격벽의 상단부에는 높이 차이에 상응하는 배기 통로부가 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 배기 통로부는 에칭에 의하여 브리지 격벽의 상단부가 만곡면을 이루어 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
8. 제 2 항에 있어서,

   상기 복수의 방전 전극쌍은 상기 제 2 격벽과 대응되는 제 1 기판의 내면에 형성된 버스 전극 라인과, 상기 버스 전극 라인과 전기적으로 연결되며, 방전 공간내로 돌출되는 투명 전극을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널.
9. 제 2 항에 있어서,

   상기 복수의 방전 전극쌍의 패널의 일방향으로 배치된 X 전극과, Y 전극과, 상기 Y 전극과 교차하는 방향으로 배치된 어드레스 전극을 포함하고,

   상기 X 전극은 X 버스 전극 라인과, 상기 X 버스 전극 라인과 전기적으로 연결된 X 투명 전극을 가지고, 상기 Y 전극은 Y 버스 전극 라인과, 상기 Y 버스 전극 라인과 전기적으로 연결된 Y 투명 전극을 가지고,

   상기 X 버스 전극 라인과, Y 버스 전극 라인은 한 쌍의 제 2 격벽과 대응되는 제 1 기판의 내면을 따라 각각 배치되고, 상기 X 투명 전극과, Y 투명 전극은 방전 공간내로 각각 돌출된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
10. 기판을 준비하는 단계;

    상기 기판상에 격벽 형성용 원소재를 도포하는 단계;

    상기 격벽 형성용 원소재상에 포토 레지스터를 도포하는 단계;

    상기 포토 레지스터를 노광 및 현상하여서, 제 1 격벽과, 이와 연결되어서 방전 셀을 구획하는 제 2 격벽을 가지는 격벽의 패턴과, 상기 격벽 사이에 형성되는 간격에 배치되는 브리지 격벽의 패턴을 형성하는 단계;

    패턴화된 포토 레지스터 사이의 개구를 통하여 에칭액을 투입하여, 배기 통로부를 형성하기 위하여 격벽과, 브리지 격벽의 높이가 서로 다르도록 격벽용 원소재를 에칭하는 단계; 및

    상기 격벽용 원소재상에 잔류하는 포토 레지스터를 제거하여 격벽과, 브리지 격벽을 완성하는 단계;를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 격벽의 패턴은 제 1 격벽이 인접한 제 2 격벽 사이를 연결하여 방전 셀을 구획하되, 한 쌍의 제 2 격벽 사이를 하나 건너 하나씩 연결함으로써, 상기 제 1 격벽이 연결되지 않은 제 2 격벽 사이에 간격이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
12. 제 10 항에 있어서,

    상기 브리지 격벽의 패턴은 간격에 접하는 인접한 복수의 제 2 격벽의 외측벽으로부터 서로 대향되는 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
13. 제 10 항에 있어서,

    격벽과, 브리지 격벽의 패턴을 형성하는 단계에서는,

    제 1 격벽과, 제 2 격벽에 의하여 구획된 방전 셀을 에칭하기 위한 포토 레지스터의 제 1 개구의 크기가 배기 통로부을 가지는 브리지 격벽을 에칭하기 위한 포토 레지스터의 제 2 개구의 크기보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
14. 제 10 항에 있어서,

    격벽용 원소재를 에칭하는 단계에서는,

    브리지 격벽이 에칭되는 깊이가 제 1 격벽 및 제 2 격벽에 의하여 구획된 방전 셀의 에칭되는 깊이보다 낮게 되어서, 상기 브리지 격벽의 상단부에는 상기 높이 차이에 상응하는 배기 통로부가 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
15. 제 14 항에 있어서,

    상기 배기 통로부는 상기 간격을 연통하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.

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